JP2009218372A - 露光装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板Wを露光する露光装置100であって、基板Wを保持する保持部50と、流体Lを収容する容器63と、保持部50を支持する被駆動部61と、被駆動部61を容器63に接続して弾性変形が可能な弾性部62と、を含み、被駆動部61と弾性部62とは容器63を密閉する蓋として機能する支持部60と、容器63に接続されて流体Lの通路として機能する管74と、管74に接続されて容器内の流体Lの量を調節するピストン部と、を含む駆動部70と、を有する。
【選択図】図5
Description
W 基板
L 流体
50 チャック(保持部)
60 支持部
61 被駆動部
62 弾性部
70 駆動部
73 ピストン
74 管
75 移動部
90 制御部
92 変位センサーユニット(計測手段)
100 露光装置
Claims (9)
- 基板を露光する露光装置であって、
前記基板を保持する保持部と、
流体を収容する容器と、前記保持部を支持する被駆動部と、前記被駆動部を前記容器に接続して弾性変形が可能な弾性部と、を含み、前記被駆動部と前記弾性部とは前記容器を密閉する蓋として機能する支持部と、
前記容器に接続されて前記流体の通路として機能する管と、前記管に接続されて前記容器内の前記流体の量を調節するピストン部と、を含む駆動部と、
を有することを特徴とする露光装置。 - 光学素子を有し、前記光学素子を介して基板を露光する露光装置であって、
前記光学素子を保持する保持部と、
流体を収容する容器と、前記保持部を支持する被駆動部と、前記被駆動部を前記容器に接続して弾性変形が可能な弾性部と、を含み、前記被駆動部と前記弾性部とは前記容器を密閉する蓋として機能する支持部と、
前記容器に接続されて前記流体の通路として機能する管と、前記管に接続されて前記容器内の前記流体の量を調節するピストン部と、を含む駆動部と、
を有することを特徴とする露光装置。 - 前記ピストン部に含まれるピストンを変位させることにより前記容器内の前記液体の量を変化させて前記被駆動部を変位させるモーターと、
前記保持部の前記光学部材を保持する面の位置を計測する計測手段と、
前記計測手段の計測結果に基づいて前記モーターの駆動量を制御する制御部と、
を有することを特徴とする請求項1又は2に記載の露光装置。 - 前記保持部と前記支持部とを収納する筺体を有し、
前記駆動部は前記筺体の外部に配置されていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の露光装置。 - 前記流体は、液体であることを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の露光装置。
- 前記被駆動部は円盤形状を有し、前記弾性部は円環形状を有することを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載の露光装置。
- 前記弾性部は、前記円盤の軸と径とを含む断面内において屈曲していることを特徴とする請求項6に記載の露光装置。
- 原版のパターンからの光を前記基板に投影する投影光学系を有し、
前記光学素子は、前記投影光学系中の光学素子であることを特徴とする請求項2に記載の露光装置。 - 請求項1乃至8のいずれかに記載の露光装置を用いて基板を露光する工程と、
前記工程で露光された基板を現像する工程と、
を有することを特徴とするデバイス製造方法。
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