JP2009213007A - 任意波形発生装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】 アナログデジタル変換器を用いてデジタルデータをアナログ信号に変換し、半導体リレーを用いて経路の切替を行う任意波形発生装置では、半導体リレーのオン抵抗のばらつきおよび温度変動によって出力電圧が変化するために、正確な波形を発生することができなかったという課題を解決する。
【解決手段】 差動増幅器の非反転入力端子に定電圧を与え、出力端子と反転入力端子との間にデジタルアナログ変換器の出力信号が伝搬する経路に配置されている半導体リレーと同じ特性で同じ数の半導体リレーと抵抗の直列回路を挿入し、反転入力端子と共通電位点との間に抵抗を配置した基準電圧源を用いて、デジタルアナログ変換器にフルスケールを決める基準電圧を与えるようにした。半導体リレーのオン抵抗が変化するとそれをキャンセルするように基準電圧が変化するので、出力電圧は変化しない。そのため、正確な波形を出力できる。

【選択図】 図1

Description

本発明は、LSIテスタや測定器等に用いられる任意波形発生装置に関し、特にゲイン誤差およびその温度変化の小さい任意波形発生装置に関するものである。
図3に任意波形発生装置の構成を示す。図3において、デジタルアナログ変換器10は入力されたデジタルデータDATAをアナログ信号に変換して出力する。11はデジタルアナログ変換器10のフルスケールを決める基準電圧を出力する定電圧源である。
デジタルアナログ変換器10の出力は抵抗R1を介し、半導体リレーS1、S3に入力される。半導体リレーS1の出力は半導体リレーS2に入力され、この半導体リレーS2の出力はバッファアンプ13に入力される。
また、半導体リレーS3の出力はローパスフィルタ12に入力され、このローパスフィルタ12の出力は半導体リレーS4に入力される。この半導体リレーS4の出力はバッファアンプ13に入力される。バッファアンプ13の入力端子と共通電位点の間には抵抗R2が接続される。バッファアンプ13の出力OUTが任意波形発生装置の出力になる。
半導体リレーS1、S2のオン、オフは信号Qで制御され、半導体リレーS3、S4のオン、オフは信号XQで制御される。信号QとXQは相補的に変化する。信号Qが高レベル、XQが低レベルになると、半導体リレーS1とS2がオン、S3とS4がオフになる。デジタルアナログ変換器10の出力は抵抗R1、半導体リレーS1、S2を経由し、バッファアンプ13に入力される。
信号Qが低レベル、XQが高レベルになると、半導体リレーS1とS2がオフ、S3とS4がオンになる。デジタルアナログ変換器10の出力は抵抗R1、半導体リレーS3、ローパスフィルタ12、半導体リレーS4を経由してバッファアンプ13に入力される。
定電圧源11の出力電圧をVREFとすると、デジタルアナログ変換器10の出力電圧のフルスケールはVREFになる。デジタルアナログ変換器10のフルスケールに対応する入力デジタルデータをFCODEとすると、入力デジタルデータがDCODEのときの出力電圧VDAは下記(1)式になる。
DA=VREF×DCODE/FCODE ・・・・・ (1)
ローパスフィルタ12の直流抵抗を0とすると、このローパスフィルタ12の入力電圧と出力電圧は等しくなる。従って、どちらの経路を通っても、バッファアンプ13の入力端子点Pでの電圧Vは下記(2)式で与えられる。なお、抵抗R1、R2の抵抗値を同じ符号で表す。また、半導体リレーS1〜S4は同じ特性を有しているとし、そのオン抵抗をrONとする。なお、デジタルアナログ変換器10の出力電圧VDAは前記(1)式で与えられる。
=VDA×R2/(R1+2rON+R2)
=VREF×DCODE×R2/FCODE/(R1+2rON+R2)
・・・・・ (2)
バッファアンプ13の利得を1とすると、出力電圧VOUTはVに等しくなる。
前記(1)、(2)式から、出力電圧VOUTは入力デジタルデータDCODEに比例することがわかる。例えば、DCODE=0とするとVOUT=0になり、DCODE=FCODEとすると、出力電圧VOUTは下記(3)式になる。
OUT=VREF×R2/(R1+2rON+R2) ・・・・・・ (3)
このような任意波形発生装置では、デジタルアナログ変換器10に入力するデジタルデータDATAを時系列的に変化させることにより、任意の波形を発生させることができる。また、半導体リレーS1〜S4を制御して途中の経路にローパスフィルタ12を挿入することにより、高調波ノイズを除去することができる。
特開平7−297718
しかしながら、このような任意波形発生装置には次のような課題があった。半導体リレーS1〜S4のオン抵抗rONは一定値ではなく、その特性によってばらつく。また、このオン抵抗rONは周囲温度によって変化する。前記(3)式から明らかなように、オン抵抗rONが変化すると出力電圧VOUTが変化する。そのため、機器毎に出力電圧VOUTがばらつき、また周囲温度が変化すると出力電圧VOUTも変化してしまうという課題があった。
例えば、R1=R2=50Ω、VREF=2Vとし、rONが5〜15Ωの範囲でばらつくとすると、rONが5Ω、15Ω時のフルスケール時の出力電圧V5、V15は、
V5=2×50/(50+2×5+50)=0.909V
V15=2×50/(50+2×15+50)=0.769V
となり、出力電圧VOUTは±8.7%程度ばらつく。
また、一般に半導体リレーのオン抵抗は+0.5%/℃の温度係数を有しているので、周囲温度T℃のときのオン抵抗を10Ωとすると、(T+1)℃のときの温度係数は10.05Ωになる。周囲温度T、(T+1)のときの出力電圧をそれぞれVT、VT1とすると、
VT=2×50/(50+2×10+50)=0.8333V
VT1=2×50/(50+2×10.05+50)=0.8326V
になり、約−0.1%/℃の割合で出力電圧が変化する。
従って本発明の目的は、半導体リレーのオン抵抗にばらつきや温度変化があっても出力電圧がばらつかない任意波形発生装置を提供することにある。
このような課題を解決するために、本発明のうち請求項1記載の発明は、
デジタルデータが入力され、このデジタルデータをアナログ信号に変換するデジタルアナログ変換器と、
前記デジタルアナログ変換器の出力信号が伝搬される経路を切り替える、半導体リレーで構成された切替スイッチと、
前記切替スイッチで切り替えられた経路を伝搬した信号が入力されるバッファアンプと、
前記デジタルアナログ変換器のフルスケールを決定する基準電圧を出力し、
差動入力端子を具備し、前記アナログデジタル変換器に前記基準電圧を出力する増幅器と、
前記増幅器の一方の差動入力端子に一定電圧を出力する定電圧源と、
その一端が前記増幅器の出力端子に接続される第1の抵抗と、
前記経路に配置されている半導体リレーと同じ数の半導体リレーが直列接続され、その一端が前記第1の抵抗の他端に接続され、他端が前記増幅器の他方の差動入力端子に接続される半導体リレー群と、
前記増幅器の前記他方の差動入力端子と共通電位点の間に接続される第2の抵抗と、
を具備した基準電圧源と、
を具備したものである。半導体リレーのオン抵抗のばらつき、あるいは周囲温度によるオン抵抗の変化があっても、出力電圧は変化しない。
請求項2記載の発明は、請求項1記載の発明において、
前記定電圧源の出力電圧を分圧して、前記増幅器の前記一方の差動入力端子に印加するようにしたものである。定電圧源の出力電圧によらず、デジタルアナログ変換器の出力電圧を任意に決めることができる。
請求項3記載の発明は、請求項1若しくは請求項2記載の発明において、
前記切替スイッチは、ローパスフィルタが配置されている経路と、ローパスフィルタが配置されていない経路を切り替えるようにしたものである。ローパスフィルタで高調波ノイズを除去するかどうかを選択できる。
請求項4記載の発明は、請求項1乃至請求項3いずれかに記載の発明において、
前記経路中に配置されている半導体リレーの数を2としたものである。1段のローパスフィルタを切り替えることができる。
請求項5記載の発明は、請求項1乃至請求項3いずれかに記載の発明において、
前記経路中に配置されている半導体リレーの数を4としたものである。2段のローパスフィルタを切り替えることができる。
以上説明したことから明らかなように、本発明によれば次のような効果がある。
請求項1,2、3、4および5の発明によれば、デジタルデータが入力されるデジタルアナログ変換器と、半導体リレーで構成され、複数の経路を切り替える切替スイッチを有する任意波形発生装置であって、前記デジタルアナログ変換器の基準電圧を、差動入力端子を有する増幅器の一方の入力端子に定電圧を与え、出力端子とこの増幅器の他方の入力端子との間に第1の抵抗と前記経路に配置されるのと同じ数の半導体リレーが直列接続された半導体リレー群の直列回路を接続し、第2の抵抗を増幅器の他方の入力端子と共通電位点の間に接続する構成の基準電圧源から供給するようにしたものである。
経路中に配置されている半導体リレーのオン抵抗がばらつき、あるいは周囲温度によってオン抵抗が変化しても、基準電圧源の出力電圧がこの変化をキャンセルするように変化するので、任意波形発生装置の出力電圧が変化することはない。そのため、正確な波形を出力することができるという効果がある。
以下本発明を図面を用いて詳細に説明する。図1は本発明に係る任意波形発生装置の一実施例を示す構成図である。なお、図3と同じ要素には同一符号を付し、説明を省略する。図1において、20は基準電圧源であり、フルスケールを決定する基準電圧をデジタルアナログ変換器10に出力する。なお、デジタルアナログ変換器10、抵抗R1、R2、半導体リレーS1〜S4、ローパスフィルタ12、バッファアンプ13の構成は図3と同じなので、説明を省略する。
半導体リレーS1〜S4で、デジタルアナログ変換器10の出力信号が伝搬する経路を切り替える切替スイッチを構成している。半導体リレーS1、S2をオン、S3、S4をオフにすることによりS1からS2に至る経路に切り替えることができ、S1、S2をオフ、S3、S4をオンにすることにより、S3、ローパスフィルタ12、S4に至る経路に切り替えることができる。いずれの経路にも半導体リレーは2個含まれている。
基準電圧源20は定電圧源21、抵抗R10〜R13、増幅器24、半導体リレー25および26で構成されている。半導体リレー25、26は、半導体リレーS1〜S4と同じ特性を有するものを用いる。抵抗R12、R13はそれぞれ第1、第2の抵抗に相当し、半導体リレー25、26で半導体リレー群を構成している。また、増幅器24は非反転、反転の2つの差動入力端子を有している。
定電圧源21は一定電圧を出力し、そのマイナス側は共通電位点に接続される。抵抗R10、R11は直列接続され、この直列回路は定電圧源21に並列に接続される。この抵抗R10、R11の接続点は増幅器24の非反転入力端子に接続される。すなわち、定電圧源21の出力電圧は抵抗R10、R11で分圧され、増幅器24の非反転入力端子に印加される。
抵抗R12の一端は増幅器24の出力端子に接続され、他端は半導体リレー25に接続される。半導体リレー25の他端は半導体リレー26の一端に接続され、その他端は増幅器24の反転入力端子に接続される。また、抵抗R13は増幅器24の反転入力端子と共通電位点の間に接続される。
増幅器24の出力はアナログデジタル変換器10に入力される。また、半導体リレー25、26のオンオフ制御端子には正電源VDDが印加される。すなわち、半導体リレー25、26は常にオンになっている。
次に、この実施例の動作を説明する。抵抗R10〜R12の抵抗値を同じ符号で表し、半導体リレー25、26のオン抵抗をrON、定電圧源21の出力電圧をV、増幅器24の出力電圧をVREFとすると、増幅器24の反転入力端子と非反転入力端子の電位は同じになるので、下記(4)が成立する。なお、半導体リレー25、26はS1〜S4と同じ特性を有しているので、オン抵抗も同じであるとしてよい。
REF=(R12+2rON+R13)×R11×V/R13/(R10+R11)
・・・・・・・・・・ (4)
R1=R12、R2=R13とすると、前記(4)式は下記(5)式になる。
REF=(R1+2rON+R2)×R11×V/R2/(R10+R11)
・・・・・・・・・・ (5)
前記(5)式のVREFを前記(2)式に代入すると、分母、分子の(R1+2rON+R2)の項がキャンセルされて、下記(6)式になる。
=R11×V×DCODE/(R11+R12)/FCODE ・・・ (6)
すなわち、バッファアンプ13の入力電圧Vには半導体リレーS1〜S4のオン抵抗によって変化しない。バッファアンプ13の利得は一定なので、出力電圧VOUTも半導体リレーS1〜S4のオン抵抗の影響を受けない。
なお、この実施例では定電圧源21の出力電圧を抵抗R10、R11で分圧して増幅器24の非反転入力端子に入力するようにしたが、抵抗R10、R11を用いないで、定電圧源21の出力電圧を直接非反転入力端子に入力するようにしてもよい。この場合、VREF=Vになる。但し、抵抗R10、R11で分圧すると、分圧比を変えるだけでデジタルアナログ変換器10に印加する基準電圧を変えることができる。
また、R1=R12、R2=R13として説明したが、必ずしもこれに限定されることはない。要は、前記(2)式の分母の(R1+2RON+R2)と、前記(4)式の分子の(R12+2RON+R13)が実用的な範囲でキャンセルされるように抵抗値を選択すればよい。
図2に本発明の他の実施例を示す。この実施例はローパスフィルタを2段にしたものである。なお、図1と同じ要素には同一符号を付し、説明を省略する。図2において、S5〜S8は半導体リレー、40はローパスフィルタである。半導体リレーS1〜S8は同じ特性を有するものを用いる。
半導体リレーS5とS7の一端は半導体リレーS2、S4の接続点に接続される。40はローパスフィルタであり、その入力側は半導体リレーS7に接続され、出力側は半導体リレーS8に接続される。また、半導体リレーS5の他端はS6の一端に接続される。半導体リレーS6とS8の他端は共通接続され、バッファアンプ13の入力端子に接続される。半導体リレーS1、S2のオンオフは信号Q1で制御され、S3、S4のオンオフは信号XQ1で制御される。また、半導体リレーS5、S6のオンオフは信号Q2で制御され、S7、S8のオンオフは信号XQ2で制御される。
この実施例は、図1実施例の半導体リレーS2、S4とバッファアンプ13との間に、半導体リレーS5〜S8とローパスフィルタ40で構成される回路を挿入したものである。ローパスフィルタを用いないときは半導体リレーS1、S2、S5、S6をオンにし、S3、S4、S7、S8をオフにする。また、ローパスフィルタを用いるときは、半導体リレーS1〜S8のオンオフを逆にする。いずれの場合も4個の半導体リレーが直列に接続される。また、ローパスフィルタ12、40の直列抵抗を0とすると、これらのローパスフィルタによる電圧降下は発生しない。
30は基準電圧源であり、その出力電圧はアナログデジタル変換器10に入力される。アナログデジタル変換器10のフルスケールは基準電圧源30の出力電圧によって決定される。
基準電圧源30は、定電圧源21、抵抗R10〜R13、増幅器24、および半導体リレー31〜34で構成される。半導体リレー31〜34は、半導体リレーS1〜S8と同じ特性を有するものを用いる。半導体リレー31〜34は直列接続し、この直列回路を抵抗R12とR13の間に接続する。また、オンオフ制御端子には正電源VDDを印加し、常時オンにする。半導体リレー31〜34で半導体リレー群を構成している。
この実施例は半導体リレーが4個直列に接続されるので、バッファアンプ13の入力側P点の電圧は、前記(2)式を修正した下記(7)式になる。なお、VREFは基準電圧源30の出力電圧、R1、R2は抵抗R1、R2の抵抗値、rONは半導体リレー31〜34のオン抵抗である。
=VDA×R2/(R1+4rON+R2)
=VREF×DCODE×R2/FCODE/(R1+4rON+R2)
・・・・・ (7)
抵抗R12とR13の間には4個の半導体リレー31〜34が直列に接続されているので、基準電圧源30の出力電圧VREFは前記(4)式を修正した下記(8)式になる。
REF=(R12+4rON+R13)×R11×V/R13/(R10+R11)
・・・・・・・・・・ (8)
R1=R12、R2=R13とすると、(7)式の(R1+4rON+R2)と(8)式の(R12+4rON+R13)はキャンセルされ、バッファアンプ13の入力側の電圧Vは半導体リレーS1〜S8のオン抵抗には依存しなくなる。
なお、この実施例でも抵抗R10、R11を省略し、定電圧源21の出力電圧を直接増幅器24の非反転入力端子に印加するようにしてもよい。また、図1、図2では直列接続される半導体リレーの個数が2と4の場合について説明したが、それ以外の個数であってもよい。要は、アナログデジタル変換器10とバッファアンプ13の間に直列接続される半導体リレーと同じ個数、特性の半導体リレーを抵抗R12とR13の間に直列接続するようにすればよい。
本発明の一実施例を示す構成図である。 本発明の他の実施例を示す構成図である。 従来の任意波形発生装置の構成図である。
符号の説明
10 デジタルアナログ変換器
12、40 ローパスフィルタ
13 バッファアンプ
20、30 基準電圧源
21 定電圧源
24 増幅器
R1、R2、R10〜R13 抵抗
S1〜S8、25、26、31〜34 半導体リレー

Claims (5)

  1. デジタルデータが入力され、このデジタルデータをアナログ信号に変換するデジタルアナログ変換器と、
    前記デジタルアナログ変換器の出力信号が伝搬される経路を切り替える、半導体リレーで構成された切替スイッチと、
    前記切替スイッチで切り替えられた経路を伝搬した信号が入力されるバッファアンプと、
    前記デジタルアナログ変換器のフルスケールを決定する基準電圧を出力し、
    差動入力端子を具備し、前記アナログデジタル変換器に前記基準電圧を出力する増幅器と、
    前記増幅器の一方の差動入力端子に一定電圧を出力する定電圧源と、
    その一端が前記増幅器の出力端子に接続される第1の抵抗と、
    前記経路に配置されている半導体リレーと同じ数の半導体リレーが直列接続され、その一端が前記第1の抵抗の他端に接続され、他端が前記増幅器の他方の差動入力端子に接続される半導体リレー群と、
    前記増幅器の前記他方の差動入力端子と共通電位点の間に接続される第2の抵抗と、
    を具備した基準電圧源と、
    を具備したことを特徴とする任意波形発生装置。
  2. 前記定電圧源の出力電圧を分圧して、前記増幅器の前記一方の差動入力端子に印加するようにしたことを特徴とする請求項1記載の任意波形発生装置。
  3. 前記切替スイッチは、ローパスフィルタが配置されている経路と、ローパスフィルタが配置されていない経路を切り替えるようにしたことを特徴とする請求項1若しくは請求項2記載の任意波形発生装置。
  4. 前記経路中に配置されている半導体リレーの数が2であることを特徴とする請求項1乃至請求項3いずれかに記載の任意波形発生装置。
  5. 前記経路中に配置されている半導体リレーの数が4であることを特徴とする請求項1乃至請求項3いずれかに記載の任意波形発生装置。
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US11022676B2 (en) 2014-09-12 2021-06-01 Denso Corporation Filter apparatus and target detection apparatus

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