JP2009200073A - Aggregate ceramic laminate, aggregate ceramic multilayer board, and ceramic multilayer board - Google Patents
Aggregate ceramic laminate, aggregate ceramic multilayer board, and ceramic multilayer board Download PDFInfo
- Publication number
- JP2009200073A JP2009200073A JP2008036879A JP2008036879A JP2009200073A JP 2009200073 A JP2009200073 A JP 2009200073A JP 2008036879 A JP2008036879 A JP 2008036879A JP 2008036879 A JP2008036879 A JP 2008036879A JP 2009200073 A JP2009200073 A JP 2009200073A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- product
- aggregate
- conductor pattern
- ceramic
- ceramic laminate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Abstract
Description
本発明は、セラミック多層基板などの積層セラミック電子部品の製造に用いられる集合セラミック積層体に関し、詳しくは、分割することにより、複数個の積層セラミック電子部品を効率よく得ることが可能な、いわゆる複数個取り(多数個取り)用の集合セラミック積層体、該集合セラミック積層体から得られるセラミック多層基板、その前駆体である集合セラミック多層基板に関し、さらには、焼結済みの集合セラミック積層体の製造方法に関する。 The present invention relates to an aggregate ceramic laminated body used for manufacturing a multilayer ceramic electronic component such as a ceramic multilayer substrate, and more particularly, a so-called plural ceramic electronic component capable of efficiently obtaining a plurality of multilayer ceramic electronic components by dividing. Collective ceramic laminate for single-piece production (multi-piece production), ceramic multilayer substrate obtained from the aggregate ceramic laminate, and aggregate ceramic multilayer substrate as a precursor thereof, and further manufacture of sintered ceramic laminate Regarding the method.
近年、電子部品の小型化が進み、それに伴って、導体を3次元的に配置したセラミック多層基板が、小型化、高密度実装化に適した回路基板として、広く用いられるに至っている。 In recent years, electronic components have been miniaturized, and accordingly, a ceramic multilayer substrate in which conductors are three-dimensionally arranged has been widely used as a circuit substrate suitable for miniaturization and high-density mounting.
ところで、このようなセラミック多層基板の製造方法として、例えば、個々の製品の導体となる製品用導体パターンが複数配設された製品部と、製品部の周囲の捨て代部とを備えたセラミックグリーンシートを積層、圧着して集合セラミック積層体を形成し、この集合セラミック積層体を焼成した後、表面にチップ型電子部品を搭載し、捨て代部を除去するとともに、集合セラミック積層体を個々のセラミック多層基板に分割する、いわゆる複数個取りの製造方法が知られている。 By the way, as a manufacturing method of such a ceramic multilayer substrate, for example, a ceramic green provided with a product part in which a plurality of product conductor patterns serving as conductors of individual products are arranged, and a waste part around the product part Sheets are laminated and pressed to form an aggregate ceramic laminate. After firing the aggregate ceramic laminate, chip-type electronic components are mounted on the surface, and the discard margin is removed. A so-called multi-cavity manufacturing method for dividing a ceramic multilayer substrate is known.
しかしながら、上述のような製造方法の場合、製品部には導体パターンが配設されているのに対し、捨て代部には導体パターンが配設されていなかったり、製品部よりも著しく低い密度で導体パターンが配設されていたりするため、セラミックグリーンシートを積層した後、圧着する工程で製品部と捨て代部の伸びや変形の程度が異なるため、捨て代部の近傍に配設された製品用の導体パターンが変形して特性変動を生じるという問題点がある。 However, in the case of the manufacturing method as described above, the conductor pattern is disposed in the product part, whereas the conductor pattern is not disposed in the disposal allowance part, or the density is significantly lower than the product part. Since the conductor pattern is arranged, the product part and the disposal margin part are different in the degree of elongation and deformation in the process of laminating the ceramic green sheets and then crimping, so the product arranged in the vicinity of the disposal part There is a problem in that the conductor pattern for use is deformed to cause characteristic fluctuations.
特に、製品部に容量形成用の電極パターンが形成されている場合、その変形は特性に直接かつ大きく影響するため、製品部と捨て代部の境界部付近における製品用導体パターンの変形を抑制することが必要になる。 In particular, when an electrode pattern for forming a capacitor is formed in the product part, the deformation directly and greatly affects the characteristics, and therefore, the deformation of the product conductor pattern in the vicinity of the boundary between the product part and the disposal margin part is suppressed. It will be necessary.
また、製品部と捨て代部における導体パターンの配設態様の差により、集合セラミック積層体の、製品部と捨て代部の境界部に、段差が形成され、チップ型電子部品が搭載される表面の平坦性が損なわれたり、層間剥離の原因となったりするという問題点がある。 In addition, due to the difference in the arrangement pattern of the conductor pattern between the product portion and the disposal margin portion, a step is formed at the boundary between the product portion and the disposal margin portion of the aggregate ceramic laminate, and the surface on which the chip-type electronic component is mounted There is a problem in that the flatness of the film is impaired or delamination occurs.
このような問題点を解決するため、例えば、製品部に製品用導体パターンを配設し、捨て代部にもダミー導体パターンを配設することが示唆されている(特許文献1の段落0005参照)。
また、捨て代部にダミー導体パターンを配設することは、その他の特許文献にも示されている(例えば、特許文献2の図1など参照)。
しかしながら、セラミック多層基板を製造する場合に、集合セラミック積層体の捨て代部にも導体パターンを配設することが知られているとしても、従来の技術では、製品部と捨て代部における導体パターンの形状や配設態様、導体パターンの配設密度などの相違に基づき、製品部と捨て代部ではその伸びが異なり、上述のような特性の変動や不具合を十分に抑制することは困難であるのが実情である。
In addition, the provision of a dummy conductor pattern in the discard margin is also shown in other patent documents (see, for example, FIG. 1 of Patent Document 2).
However, when manufacturing a ceramic multilayer substrate, it is known that a conductor pattern is also provided in the discarding part of the aggregate ceramic laminate, but in the conventional technology, the conductor pattern in the product part and the discarding part is used. Based on the difference in the shape, arrangement mode, arrangement density of the conductor pattern, etc., the product portion and the disposal margin portion have different elongations, and it is difficult to sufficiently suppress the above-described characteristic fluctuations and defects. Is the actual situation.
本発明は上記課題を解決するためになされたものであり、圧着時の製品部と捨て代部の伸びの差による特性変動や段差の発生などのない集合セラミック積層体、該集合セラミック積層体から得られる、特性のばらつきの少ないセラミック多層基板、その前駆体である集合セラミック多層基板、さらには、焼結済みの集合セラミック積層体を高い寸法精度で製造することが可能な製造方法を提供することを目的とする。 The present invention has been made in order to solve the above-described problems, and is an aggregate ceramic laminate that does not have a characteristic variation or a step due to a difference in elongation between a product portion and a disposal allowance portion during crimping, from the aggregate ceramic laminate. To provide a manufacturing method capable of manufacturing an obtained ceramic multilayer substrate with little variation in characteristics, an aggregate ceramic multilayer substrate as a precursor thereof, and a sintered aggregate ceramic laminate with high dimensional accuracy. With the goal.
上記課題を解決するために、本発明の集合セラミック積層体は、
個々の製品の導体となる複数の製品用導体パターンが配設された製品部と、前記製品部の周囲の領域である捨て代部とを有するセラミックグリーンシートを積層した集合セラミック積層体であって、
前記捨て代部に、前記製品部に配設された前記製品用導体パターンと同じ形状を有するダミー導体パターンが、前記製品部と同じ態様で配設されていること
を特徴としている。
In order to solve the above problems, the aggregate ceramic laminate of the present invention is:
An assembly ceramic laminate in which ceramic green sheets having a product portion in which a plurality of product conductor patterns serving as conductors of individual products are disposed and a disposal portion that is a region around the product portion are laminated. ,
A dummy conductor pattern having the same shape as the product conductor pattern disposed in the product portion is disposed in the discarding portion in the same manner as the product portion.
また、請求項2の集合セラミック積層体は、前記製品部の前記製品用導体パターンが容量形成用電極パターンを含むものであり、前記製品部の周囲の領域である捨て代部にも、前記容量形成用電極パターンを含む前記製品用導体パターンと同じ形状を有するダミー導体パターンが、前記製品部と同じ態様で配設されていることを特徴としている。 Further, in the aggregate ceramic laminate according to claim 2, the product conductor pattern of the product portion includes a capacitance forming electrode pattern, and the capacitor portion is also disposed in a disposal margin portion that is a region around the product portion. A dummy conductor pattern having the same shape as the product conductor pattern including the forming electrode pattern is disposed in the same manner as the product part.
また、請求項3の集合セラミック積層体は、前記製品用導体パターンが配設された面が、集合セラミック積層体の表面となるような態様で前記セラミックグリーンシートが積層されており、かつ、前記集合セラミック積層体の表面の捨て代部には位置情報表示マークが付されていることを特徴としている。 Further, in the aggregate ceramic laminate of claim 3, the ceramic green sheets are laminated in such a manner that the surface on which the product conductor pattern is disposed is the surface of the aggregate ceramic laminate, and It is characterized in that a position information display mark is attached to the disposal margin part on the surface of the aggregate ceramic laminate.
また、請求項4の集合セラミック積層体は、前記集合セラミック積層体の表面の、前記位置情報表示マークが付されている前記捨て代部にはダミー導体パターンが配設されていないことを特徴としている。 Further, the aggregate ceramic laminate according to claim 4 is characterized in that a dummy conductor pattern is not disposed in the discard margin portion provided with the position information display mark on the surface of the aggregate ceramic laminate. Yes.
また、本発明にかかる焼結集合セラミック積層体の製造方法は、
請求項1〜4のいずれかに記載の集合セラミック積層体の少なくとも一方の主面に、前記集合セラミック積層体の焼結温度では焼結しないセラミック粉末を主たる成分とする拘束層を密着させた状態で、前記集合セラミック積層体は焼結するが、前記拘束層は焼結しない条件下に焼成を行う焼成工程と、
前記焼成工程の終了後に前記拘束層を除去して前記集合セラミック積層体の焼結体を得る工程と
を具備することを特徴としている。
Moreover, the manufacturing method of the sintered aggregate ceramic laminate according to the present invention is as follows.
A state in which a constraining layer mainly comprising ceramic powder that is not sintered at the sintering temperature of the aggregate ceramic laminate is adhered to at least one main surface of the aggregate ceramic laminate according to any one of
And removing the constraining layer after the firing step to obtain a sintered body of the aggregate ceramic laminate.
また、請求項6の集合セラミック多層基板は、請求項1〜4のいずれかに記載の集合セラミック積層体が焼成されたものであることを特徴としている。 According to a sixth aspect of the present invention, there is provided a multilayer ceramic multilayer substrate obtained by firing the multilayer ceramic laminate according to any one of the first to fourth aspects.
また、請求項7のセラミック多層基板は、請求項1〜4のいずれかに記載の集合セラミック積層体が焼成されるとともに、個々の製品である子基板に分割されたものであることを特徴としている。
A ceramic multilayer substrate according to claim 7 is characterized in that the aggregate ceramic laminate according to any one of
本発明の集合セラミック積層体は、製品用導体パターンが配設された製品部と、製品部の周囲の捨て代部とを有するセラミックグリーンシートを積層した集合セラミック積層体において、捨て代部に、製品部に配設された製品用導体パターンと同じ形状を有するダミー導体パターンを、製品部と同じ態様で配設しているので、セラミックグリーンシートを積層した後の圧着工程における、製品部と捨て代部の伸びの差を抑制することが可能になり、いわゆる複数個取りの方法で、特性の変動の少ない個々の製品を効率よく製造することが可能な集合セラミック積層体を提供することができる。 The aggregate ceramic laminate of the present invention is a collective ceramic laminate in which a ceramic green sheet having a product part in which a product conductor pattern is disposed and a discard part around the product part is laminated. Since the dummy conductor pattern having the same shape as the product conductor pattern provided in the product part is provided in the same manner as the product part, the product part is discarded in the crimping process after the ceramic green sheets are laminated. It is possible to suppress the difference in elongation of the surrogate portion, and to provide an aggregate ceramic laminate that can efficiently produce individual products with little fluctuation in characteristics by a so-called multiple method. .
なお、本発明においては、製品用導体パターンが配設されたセラミックグリーンシートのうち、所定のセラミックグリーンシートについて、その捨て代部にダミー導体パターンを形成し、他のセラミックグリーンシートについては、その捨て代部にダミー導体パターンを形成しないようにすることも可能であり、また、製品部に製品用導体パターンが配設されたすべてのセラミックグリーンシートについて、その捨て代部にダミー導体パターンを形成することも可能である。 In the present invention, among the ceramic green sheets on which the product conductive patterns are disposed, a dummy conductor pattern is formed in the discarding portion for a predetermined ceramic green sheet, and for other ceramic green sheets, It is possible not to form a dummy conductor pattern in the abandon part, and a dummy conductor pattern is formed in the abandon part for all ceramic green sheets in which the product conductor pattern is arranged in the product part. It is also possible to do.
なお、所定のセラミックグリーンシートについて、その捨て代部にダミー導体パターンを形成し、その他のセラミックグリーンシートについては、その捨て代部にダミー導体パターンを形成しないようにした場合にも、セラミックグリーンシートを積層した後の圧着工程における、製品部と捨て代部の伸びの差を効果的に抑制できることが確認されている。
また、製品部に製品用導体パターンが配設されたすべてのセラミックグリーンシートについて、その捨て代部にダミー導体パターンを形成するようにした場合さらに確実に製品部と捨て代部の伸びの差を抑制することが可能になり、より特性のばらつきのない製品を得ることが可能になる。
なお、ダミー導体パターンは、製品部と同じ態様で配設されるが、同じ態様とは、製品部と同じ向き、同じ間隔、同じ密度で配設することをいう。
In addition, when a dummy conductor pattern is formed in the discard margin for a predetermined ceramic green sheet and no dummy conductor pattern is formed in the discard margin for other ceramic green sheets, the ceramic green sheet It has been confirmed that the difference in elongation between the product portion and the disposal allowance portion can be effectively suppressed in the crimping step after laminating the layers.
In addition, for all ceramic green sheets with product conductor patterns in the product area, if a dummy conductor pattern is formed in the disposal area, the difference in elongation between the product area and the disposal area can be more reliably detected. Therefore, it is possible to obtain a product with less variation in characteristics.
The dummy conductor pattern is arranged in the same manner as the product portion, but the same manner means that the dummy conductor pattern is arranged in the same direction, the same interval, and the same density as the product portion.
また、集合セラミック積層体の製品用導体パターンが、容量形成用電極パターンを含むものである場合、積層体の伸びによる容量形成用電極パターンの伸びが、形成される容量の変動、ばらつきに大きな影響を及ぼすことになるが、請求項2のように、容量形成用電極パターンを含む製品用導体パターンが配設された製品部の周囲の捨て代部にも、容量形成用電極パターンを含む製品用導体パターンと同じ形状を有するダミー導体パターンを配設するようにした場合、容量特性のばらつきの少ない製品を得ることが可能になり特に望ましい。 In addition, when the conductor pattern for a product of the aggregate ceramic laminate includes a capacitance forming electrode pattern, the elongation of the capacitance forming electrode pattern due to the elongation of the laminate has a great influence on the variation and variation of the capacitance to be formed. However, as in claim 2, the product conductor pattern including the capacitor forming electrode pattern also in the abandon portion around the product portion where the product conductor pattern including the capacitor forming electrode pattern is disposed. It is particularly desirable that a dummy conductor pattern having the same shape as is provided, which makes it possible to obtain a product with little variation in capacitance characteristics.
また、請求項3の集合セラミック積層体のように、製品用導体パターンが配設された面が、集合セラミック積層体の表面となるような態様でセラミックグリーンシートが積層され、かつ、集合セラミック積層体の表面の捨て代部に位置情報表示マークが付された構成とすることにより、例えば、集合セラミック積層体の表面にチップ型電子部品を実装する場合の実装位置に関する情報表示(実装マーク)や、個々の製品に分割する場合の分割位置に関する情報表示(分割位置マーク)などを、特別な表示領域を設けることなく行うことが可能になる。すなわち、製造上の必要などから、集合セラミック積層体の表面(主面)に実装マークを形成するなどのように位置情報表示を行うことが必要になる場合があるが、その場合に集合セラミック積層体の主面の捨て代部に実装マークの形成などの情報表示を行うことにより、集合セラミック積層体のサイズの増大を招くことなく情報表示を行うことができる。なお、情報表示用のマークは捨て代部のダミー導体パターンを避けて形成したり、ダミー導体パターンの上に形成されていても位置情報表示マークを確認することができるような材料を用いてマークを形成することにより、位置情報表示マークとしての機能を果たさせることができる。 Further, as in the aggregate ceramic laminate of claim 3, the ceramic green sheets are laminated in such a manner that the surface on which the product conductor pattern is disposed becomes the surface of the aggregate ceramic laminate, and the aggregate ceramic laminate By adopting a configuration in which a position information display mark is attached to the disposal margin portion on the surface of the body, for example, information display (mounting mark) regarding the mounting position when chip-type electronic components are mounted on the surface of the aggregate ceramic laminate Thus, it becomes possible to display information on the division position (division position mark) when dividing into individual products without providing a special display area. In other words, it may be necessary to display position information such as forming a mounting mark on the surface (main surface) of the aggregate ceramic laminate due to manufacturing needs. By displaying information such as the formation of a mounting mark on the disposal margin part of the main surface of the body, it is possible to display information without causing an increase in the size of the aggregate ceramic laminate. Note that the information display mark is formed by avoiding the dummy conductor pattern of the discard margin, or using a material that can confirm the position information display mark even if it is formed on the dummy conductor pattern. By forming, the function as a position information display mark can be fulfilled.
また、請求項4のように、集合セラミック積層体の表面の、位置情報表示マークが付されている捨て代部にはダミー導体パターンを配設しないように構成した場合、位置情報表示マークの高い視認性を確保して、該位置情報表示マークに基づくプロセス(例えば、位置情報表示マークが実装マークである場合の実装プロセス、あるいは位置情報表示マークが分割位置マークである場合の分割プロセス)を効率よく実施して、個々の製品を効率よく製造することが可能な集合セラミック積層体を得ることが可能になる。 In addition, when the dummy conductor pattern is not disposed in the disposal margin portion provided with the position information display mark on the surface of the aggregate ceramic laminate as in claim 4, the position information display mark is high. Ensures visibility and efficiently processes based on the position information display mark (for example, a mounting process when the position information display mark is a mounting mark or a dividing process when the position information display mark is a divided position mark) When implemented well, it is possible to obtain an aggregate ceramic laminate capable of efficiently producing individual products.
また、本発明にかかる焼結集合セラミック積層体の製造方法は、請求項1〜4のいずれかに記載の集合セラミック積層体の少なくとも一方の主面に、拘束層を密着させた状態で、集合セラミック積層体は焼結するが、拘束層は焼結しない条件下に焼成を行った後、拘束層を除去することにより、集合セラミック積層体の焼結体を得るようにしているので、製品部と捨て代部との収縮挙動に差が少なく、かつ、拘束層により、平面方向の収縮が抑制されるため、より寸法精度が高く、かつ、特性のばらつきの少ない個々の製品を効率よく製造することが可能な焼結済みの集合セラミック積層体を得ることが可能になる。 Moreover, the manufacturing method of the sintered aggregate ceramic laminated body concerning this invention is an assembly | attachment in the state which made the constraining layer contact | adhere to at least one main surface of the aggregate ceramic laminated body in any one of Claims 1-4. Since the ceramic laminate is sintered but the constraining layer is fired under conditions that do not sinter, the constraining layer is removed to obtain a sintered body of the aggregate ceramic laminate. Since there is little difference between the shrinkage behavior and the disposal margin, and the shrinkage in the planar direction is suppressed by the constraining layer, individual products with higher dimensional accuracy and less variation in characteristics can be manufactured efficiently. It is possible to obtain a sintered aggregate ceramic laminate that can be obtained.
また、請求項6の集合セラミック多層基板は、請求項1〜4のいずれかに記載の集合セラミック積層体が焼成されたものであるので、その主面にチップ型電子部品を搭載した後、あるいは、特にチップ型電子部品を搭載することなく、所定の位置で分割することにより、複数個取りの方法で効率よくセラミック多層基板を得ることが可能になる。
Further, since the aggregate ceramic multilayer substrate according to claim 6 is obtained by firing the aggregate ceramic laminate according to any one of
また、請求項7のセラミック多層基板は、請求項1〜4のいずれかに記載の集合セラミック積層体が焼成され、個々の製品である子基板に分割されたものであり、効率よく製造することができることから、特性のばらつきが少なく経済性にも優れたセラミック多層基板を提供することが可能になる。
A ceramic multilayer substrate according to claim 7 is produced by firing the aggregate ceramic laminate according to any one of
以下に、本発明の実施例を示して、本発明の特徴とするところをさらに詳しく説明する。 Hereinafter, the features of the present invention will be described in more detail with reference to examples of the present invention.
この実施例1では、個々の製品の導体となる製品用導体パターンが複数配設された製品部と、製品部の周囲の捨て代部とを備えたセラミックグリーンシートを積層、圧着することにより形成される、集合セラミック積層体を例にとって説明する。なお、この集合セラミック積層体は、例えば、焼成後に、チップ型電子部品を搭載した後、捨て代部を除去するとともに、所定の位置で分割することにより、複数個のセラミック多層基板を得ることが可能な、いわゆる複数個取りの方法でセラミック多層基板を製造する場合に用いられる集合セラミック積層体である。 In the first embodiment, a ceramic green sheet having a product part in which a plurality of product conductor patterns serving as conductors of individual products are arranged and a disposal margin part around the product part is laminated and pressed. An explanation will be given by taking an aggregate ceramic laminate as an example. The aggregate ceramic laminate can be obtained by, for example, mounting a chip-type electronic component after firing, removing a discard margin and dividing it at a predetermined position to obtain a plurality of ceramic multilayer substrates. This is a collective ceramic laminate used when a ceramic multilayer substrate is manufactured by a so-called multiple method.
まず、SiO2,Al2O3,B2O3,CaOを混合した結晶化ガラス粉末と、アルミナ粉末を等重量比率で混合して混合粉末を得た。
そして、この混合粉末100重量部に、ポリビニルブチラール15重量部、イソプロピルアルコール40重量部、およびトロール20重量部を加え、ボールミルで24時間混合してスラリーとした。
First, a crystallized glass powder mixed with SiO 2 , Al 2 O 3 , B 2 O 3 , and CaO and alumina powder were mixed at an equal weight ratio to obtain a mixed powder.
Then, 15 parts by weight of polyvinyl butyral, 40 parts by weight of isopropyl alcohol, and 20 parts by weight of troll were added to 100 parts by weight of this mixed powder, and mixed with a ball mill for 24 hours to form a slurry.
このスラリーをドクターブレード法により延ばして厚さ120μmのグリーンシートを作製した。それからこのグリーンシートを100mm□にカットすることにより、セラミックグリーンシートを得た。 This slurry was extended by a doctor blade method to produce a green sheet having a thickness of 120 μm. Then, the green sheet was cut into 100 mm □ to obtain a ceramic green sheet.
次に、このセラミックグリーンシートに、層間接続用のビアホール(貫通孔)を形成し、該ビアホールを含む領域に、内層導体となる導体パターンを印刷により形成した。
なお、この実施例1では、内層導体として、容量形成用電極パターン(容量電極パターン)を含む導体パターンが配設されたセラミックグリーンシートと、容量形成用電極パターンを含まない導体パターンが配設されたセラミックグリーンシートを形成した。
Next, via holes (through holes) for interlayer connection were formed in the ceramic green sheet, and a conductor pattern serving as an inner layer conductor was formed by printing in a region including the via holes.
In Example 1, a ceramic green sheet on which a conductor pattern including a capacitor forming electrode pattern (capacitor electrode pattern) is disposed and a conductor pattern not including the capacitor forming electrode pattern are disposed as inner layer conductors. A ceramic green sheet was formed.
図1は、容量形成用電極パターン(容量電極パターン)を含む導体パターンが配設されたセラミックグリーンシートの一例を示す平面図である。図1に示すように、このセラミックグリーンシート1においては、個々の製品となる複数の製品部10に、各製品の導体となる製品用導体パターン11が配設されており、この製品用導体パターン11は、容量形成用電極パターン12、他の内層導体パターン13を含んでいる。
なお、容量形成用電極パターンを含まない導体パターンが配設されたセラミックグリーンシートについては図示を省略している。
FIG. 1 is a plan view showing an example of a ceramic green sheet on which a conductor pattern including a capacitance forming electrode pattern (capacitance electrode pattern) is arranged. As shown in FIG. 1, in the ceramic
Note that illustration of the ceramic green sheet on which the conductor pattern not including the capacitor forming electrode pattern is disposed is omitted.
そして、この実施例1では、図1に示すように、容量形成用電極パターン12を含む製品用導体パターン11が形成されたセラミックグリーンシート1については、その捨て代部20に、製品部10に配設された製品用導体パターン11と同じ形状を有するダミー導体パターン21を、製品部10と同じ態様で配設した。ただし、捨て代部には、ビアホールは形成しないようにした。これは、通常、捨て代部にはビアホールを形成しないようにした方が、圧着時における、製品部と捨て代部の伸びや変形の差を小さくできて好ましいことによる。
In Example 1, as shown in FIG. 1, the ceramic
また、これらのセラミックグリーンシートを積層することにより形成される集合セラミック積層体の一方主面(上側表面)を構成することになるセラミックグリーンシートについては、図2に示すように、製品部10の製品用導体パターン11が容量形成用電極パターン12を含むものであるが、捨て代部20にはダミー導体パターンを配設せず、搭載すべきチップ型電子部品の位置合わせを行うための実装マーク22のみを印刷形成した。
Further, as shown in FIG. 2, the ceramic green sheet that constitutes one main surface (upper surface) of the aggregate ceramic laminate formed by laminating these ceramic green sheets is shown in FIG. The
さらに、製品部に製品用導体パターンが配設されたセラミックグリーンシートであっても、該製品用導体パターンが容量形成用電極パターンを含まないものについては、捨て代部へのダミー導体パターンの形成は行わなかった。また、捨て代部へのビアホールの形成も行わなかった。 Furthermore, even if the product green is a ceramic green sheet in which the product conductor pattern is disposed, the dummy conductor pattern is formed in the disposal portion for the product conductor pattern that does not include the capacitance forming electrode pattern. Did not. Also, no via hole was formed in the abandoned part.
それから、上述のようにして作製した各セラミックグリーンシートを所定の順序で積層し、圧力50Mpa、温度60℃で加圧して密着させることにより集合セラミック積層体を得た。
次に、得られた集合セラミック積層体を温度600℃で3時間加熱した後、温度900℃で1時間加熱することにより、焼結済みの集合セラミック積層体を得た。
Then, the ceramic green sheets produced as described above were laminated in a predetermined order, and pressed and adhered at a pressure of 50 Mpa and a temperature of 60 ° C. to obtain an aggregate ceramic laminate.
Next, after the obtained aggregate ceramic laminate was heated at a temperature of 600 ° C. for 3 hours and then heated at a temperature of 900 ° C. for 1 hour, a sintered aggregate ceramic laminate was obtained.
実施例2では、上記実施例1の集合セラミック積層体とほぼ同様の方法で集合セラミック積層体を作製した。
ただし、この実施例2では、実施例1の場合と同様に、容量形成用電極パターンを含む製品用導体パターンが形成されたセラミックグリーンシートについて、その捨て代部に、製品部に配設された製品用導体パターンと同じ形状を有するダミー導体パターンを、製品部と同じ態様で配設するとともに、製品用導体パターンが容量形成用電極パターンを含まないセラミックグリーンシートについても、捨て代部に、製品部に配設された製品用導体パターンと同じ形状を有するダミー導体パターンを、製品部と同じ態様で配設した。
In Example 2, an aggregate ceramic laminate was produced in a manner substantially similar to that of the aggregate ceramic laminate of Example 1 above.
However, in Example 2, as in Example 1, the ceramic green sheet on which the product conductor pattern including the capacitor forming electrode pattern was formed was disposed in the product part at the disposal portion. A dummy conductor pattern having the same shape as the product conductor pattern is disposed in the same manner as the product part, and the ceramic green sheet in which the product conductor pattern does not include the capacitor forming electrode pattern is also disposed in the disposal part. The dummy conductor pattern having the same shape as the product conductor pattern disposed in the part was disposed in the same manner as the product part.
これらのセラミックグリーンシートを積層することにより形成される集合セラミック積層体の一方主面(上側表面)を構成することになるセラミックグリーンシートについては、実施例1の場合と同じく、製品部10の製品用導体パターン11が容量形成用電極パターン12を含むものであるが、捨て代部20にはダミー導体パターンを配設せず、チップ型電子部品の位置合わせを行うための実装マーク22のみを印刷形成した(図2参照)。
また、いずれのセラミックグリーンシートについても捨て代部には、ビアホールは形成しないようにした。
As for the ceramic green sheet that constitutes one main surface (upper surface) of the aggregate ceramic laminate formed by laminating these ceramic green sheets, the product of the
In addition, in any ceramic green sheet, a via hole was not formed in the discard margin.
それから、上述のようにして作製した各セラミックグリーンシートを所定の順序で積層し、圧力50Mpa、温度60℃で加圧して密着させることにより集合セラミック積層体を得た。
次に、得られた集合セラミック積層体を温度600℃で3時間加熱した後、温度900℃で1時間加熱することにより、焼結済みの集合セラミック積層体を得た。
Then, the ceramic green sheets produced as described above were laminated in a predetermined order, and pressed and adhered at a pressure of 50 Mpa and a temperature of 60 ° C. to obtain an aggregate ceramic laminate.
Next, after the obtained aggregate ceramic laminate was heated at a temperature of 600 ° C. for 3 hours and then heated at a temperature of 900 ° C. for 1 hour, a sintered aggregate ceramic laminate was obtained.
この実施例3では、複数個取りの方法でセラミック多層基板を製造する場合に用いられる焼結済みの集合セラミック積層体を、いわゆる無収縮工法により製造する場合について説明する。 In this Example 3, a case where a sintered aggregate ceramic laminate used for manufacturing a ceramic multilayer substrate by a method of taking a plurality of pieces is manufactured by a so-called non-shrinking method will be described.
<集合セラミック積層体形成用のセラミックグリーンシートの作製>
まず、SiO2,Al2O3,B2O3,CaOを混合した結晶化ガラス粉末と、アルミナ粉末を等重量比率で混合して混合粉末を得た。
そして、この混合粉末100重量部に、ポリビニルブチラール15重量部、イソプロピルアルコール40重量部、およびトロール20重量部を加え、ボールミルで24時間混合してスラリーとした。
このスラリーをドクターブレード法により延ばして厚さ120μmのセラミックグリーンシートを作製し100mm□にカットを施し、集合セラミック積層体形成用のセラミックグリーンシートを得た。
<Preparation of ceramic green sheet for forming aggregate ceramic laminate>
First, a crystallized glass powder mixed with SiO 2 , Al 2 O 3 , B 2 O 3 , and CaO and alumina powder were mixed at an equal weight ratio to obtain a mixed powder.
Then, 15 parts by weight of polyvinyl butyral, 40 parts by weight of isopropyl alcohol, and 20 parts by weight of troll were added to 100 parts by weight of this mixed powder, and mixed with a ball mill for 24 hours to form a slurry.
This slurry was extended by a doctor blade method to produce a ceramic green sheet having a thickness of 120 μm and cut to 100 mm □ to obtain a ceramic green sheet for forming an aggregate ceramic laminate.
<拘束層用のアルミナグリーンシートの作製>
平均粒径が1.0μmのアルミナ粉末100重量部に、ポリビニルブチラール15重量部、イソプロピルアルコール40重量部、およびトロール20重量部を加え、ボールミルで24時間混合してスラリーとした。
そして、このスラリーをドクターブレード法により延ばして厚さ120μmのグリーンシートを作製し、100mm□にカットを施し、拘束層用のアルミナグリーンシートを得た。
<Preparation of alumina green sheet for constraining layer>
15 parts by weight of polyvinyl butyral, 40 parts by weight of isopropyl alcohol, and 20 parts by weight of troll were added to 100 parts by weight of alumina powder having an average particle diameter of 1.0 μm, and mixed with a ball mill for 24 hours to form a slurry.
Then, the slurry was extended by a doctor blade method to produce a green sheet having a thickness of 120 μm, and cut to 100 mm □ to obtain an alumina green sheet for a constraining layer.
<集合セラミック積層体の作製>
次に、上述のようにして作製した集合セラミック積層体形成用のセラミックグリーンシートに、層間接続用のビアホール(貫通孔)を形成し、該ビアホールを含む領域に、内層導体となる導体パターンを印刷により形成した。
なお、この実施例3でも、内層導体として、容量形成用電極パターン(容量電極パターン)を含む導体パターンが配設されたセラミックグリーンシートと、容量形成用電極パターンを含まない導体パターンが配設されたセラミックグリーンシートを形成した。
<Preparation of an aggregate ceramic laminate>
Next, via holes (through holes) for interlayer connection are formed in the ceramic green sheet for forming an aggregate ceramic laminate produced as described above, and a conductor pattern serving as an inner layer conductor is printed in a region including the via holes. Formed by.
In Example 3 as well, a ceramic green sheet provided with a conductor pattern including a capacitor forming electrode pattern (capacitive electrode pattern) and a conductor pattern not including the capacitor forming electrode pattern are provided as inner layer conductors. A ceramic green sheet was formed.
容量形成用電極パターン12を含む製品用導体パターン11が形成されたセラミックグリーンシート1については、その捨て代部20に、製品部10に配設された製品用導体パターン11と同じ形状を有するダミー導体パターン21を、製品部10と同じ態様で配設した(図1参照)。ただし、捨て代部には、ビアホールは形成しないようにした。
For the ceramic
また、製品部に製品用導体パターンが配設されたセラミックグリーンシートであっても、該製品用導体パターンが容量形成用電極パターンを含まないものについては、捨て代部へのダミー導体パターンの形成は行わなかった。また、捨て代部へのビアホールの形成も行わなかった。 In addition, even if the product green is a ceramic green sheet in which the product conductor pattern is disposed in the product part, the dummy conductor pattern is formed in the disposal part when the product conductor pattern does not include the capacitor forming electrode pattern. Did not. Also, no via hole was formed in the abandoned part.
また、セラミックグリーンシートを積層することにより形成される集合セラミック積層体の一方主面(上側表面)を構成することになるセラミックグリーンシートについては、この実施例3においても、製品部10の製品用導体パターン11が容量形成用電極パターン12を含むものであるが、捨て代部20にはダミー導体パターンを配設せず、チップ型電子部品の位置合わせを行うための実装マーク22のみを印刷形成した(図2参照)。
Further, for the ceramic green sheet that constitutes one main surface (upper surface) of the aggregate ceramic laminate formed by laminating the ceramic green sheets, also in this Example 3, for the product of the
それから、拘束層用のアルミナグリーンシート、上述のようにして製品用導体パターンやダミー導体パターン、実装マークなどが形成された各セラミックグリーンシート、拘束層用のアルミナグリーンシートの順で積層し、圧力50Mpa、温度60℃で加圧して密着させ、上記セラミックグリーンシートの積層体である集合セラミック積層体と、その上下両面側に配設されたアルミナグリーンシート(拘束層)を備えた複合積層体を形成した。 Then, the alumina green sheet for the constraining layer, each ceramic green sheet on which the product conductor pattern or dummy conductor pattern, the mounting mark, etc. are formed as described above, and the alumina green sheet for the constraining layer are laminated in this order, A composite laminate comprising an aggregate ceramic laminate, which is a laminate of the ceramic green sheets, and alumina green sheets (constraint layers) disposed on both upper and lower sides thereof, and pressed at 50 Mpa and a temperature of 60 ° C. Formed.
次に、上下両面側から拘束層により挟まれた構造を有する複合積層体を温度600℃で3時間加熱した後、温度900℃で1時間加熱することにより、セラミックグリーンシートの積層体である集合セラミック積層体を焼結させた。
それから、焼成後の集合セラミック積層体から拘束層を除去し、焼結済み集合セラミック積層体を得た。
Next, the composite laminate having a structure sandwiched by the constraining layers from the upper and lower sides is heated at a temperature of 600 ° C. for 3 hours, and then heated at a temperature of 900 ° C. for 1 hour, thereby forming an assembly that is a laminate of ceramic green sheets. The ceramic laminate was sintered.
Then, the constraining layer was removed from the fired aggregate ceramic laminate to obtain a sintered aggregate ceramic laminate.
実施例4では、上述の実施例1の方法に準じる方法で、集合セラミック積層体を作製した。
ただし、この実施例4では、捨て代部20のさらに外側に位置情報表示マーク(実装マーク)22(図3参照)を付すための位置情報表示エリア30を有するセラミックグリーンシート1を用いた。
In Example 4, an aggregate ceramic laminate was produced by a method according to the method of Example 1 described above.
However, in Example 4, the ceramic
そして、セラミックグリーンシートを積層することにより形成される集合セラミック積層体の一方主面(上側表面)を構成することになるセラミックグリーンシートについても、図3に示すように、捨て代部20にダミー導体パターン21を配設し、捨て代部20の外側の位置情報表示エリア30に位置情報表示マーク(実装マーク)を付すようにした。
As for the ceramic green sheet that constitutes one main surface (upper surface) of the aggregate ceramic laminate formed by laminating the ceramic green sheets, as shown in FIG. The
その他は、上記実施例1の場合と同様の手順で、積層、焼成を行い、集合セラミック積層体を作製した。
なお、図3において、図1および2と同一符号を付した部分は、同一または相当する部分を示している。
Others were laminated and fired in the same procedure as in Example 1 to produce an aggregate ceramic laminate.
In FIG. 3, the parts denoted by the same reference numerals as those in FIGS. 1 and 2 indicate the same or corresponding parts.
<評価>
上記実施例1〜4において上述のようにして作製した焼結済み集合セラミック積層体について、複数の製品に分割されることになる製品部のうち、最外周部に位置するエリアの製品部において形成される容量と、この最外周部から離れた中央に位置するエリアの製品部において形成される容量の比を調べ、特性の変動の状態を調べた。
また、比較のため、以下の比較例1,2,3および4の試料を作製してその特性を調べた。
<Evaluation>
About the sintered aggregate ceramic laminated body produced as described above in Examples 1 to 4 above, it is formed in the product part in the area located at the outermost peripheral part among the product parts to be divided into a plurality of products. The ratio of the capacitance to be formed and the capacitance formed in the product portion of the area located in the center away from the outermost peripheral portion was examined, and the state of variation in characteristics was examined.
For comparison, samples of Comparative Examples 1, 2, 3 and 4 below were prepared and their characteristics were examined.
<比較例1>
集合セラミック積層体を構成する各セラミックグリーンシートのうち、製品用導体パターンが容量形成用導体パターンを含むか否かにかかわらず、いずれの捨て代部にもダミー導体パターンを形成していないセラミックグリーンシート1(図4参照)を用意し、このセラミックグリーンシートを用いて集合セラミック積層体を作製した。
<Comparative Example 1>
Of the ceramic green sheets that make up the aggregate ceramic laminate, regardless of whether the product conductor pattern includes a capacitance forming conductor pattern, the ceramic green sheet in which no dummy conductor pattern is formed in any discarded portion Sheet 1 (see FIG. 4) was prepared, and an assembled ceramic laminate was produced using this ceramic green sheet.
<比較例2>
集合セラミック積層体を構成する各セラミックグリーンシートのうち、製品用導体パターンが容量形成用導体パターンを含むセラミックグリーンシートとして、図5に示すように、ダミー導体パターンとして、捨て代部の全面に導体パターンを有するセラミックグリーンシートを用意した。
また、製品用導体パターンが容量形成用導体パターンを含まないセラミックグリーンシートとしては、その捨て代部に導体パターンを形成していないセラミックグリーンシートを用意した。
そして、これらのセラミックグリーンシートを用いて上記実施例1の場合と同様の方法で比較例2の集合セラミック積層体を作製した。
<Comparative Example 2>
Among the ceramic green sheets constituting the aggregate ceramic laminate, the product conductor pattern is a ceramic green sheet including a capacitance forming conductor pattern, as shown in FIG. A ceramic green sheet having a pattern was prepared.
Further, as the ceramic green sheet in which the product conductor pattern does not include the capacitance forming conductor pattern, a ceramic green sheet in which the conductor pattern is not formed in the disposal margin portion was prepared.
Then, using these ceramic green sheets, an aggregate ceramic laminate of Comparative Example 2 was produced in the same manner as in Example 1 above.
<比較例3>
集合セラミック積層体を構成する各セラミックグリーンシートのうち、製品用導体パターンが容量形成用導体パターンを含むセラミックグリーンシートとして、図6に示すように、ダミー導体パターンとして、その捨て代部に、細い帯状の導体パターン(ダミー導体パターンの面積は製品用導体パターンと同じであるが形状が異なる導体パターン)を印刷したセラミックグリーンシートを用意した。
また、製品用導体パターンが容量形成用導体パターンを含まないセラミックグリーンシートとしては、その捨て代部に導体パターンを形成していないセラミックグリーンシートを用意した。
そして、これらのセラミックグリーンシートを用いて上記実施例1の場合と同様の方法で比較例3の集合セラミック積層体を作製した。
<Comparative Example 3>
Among the ceramic green sheets constituting the aggregate ceramic laminate, the product conductor pattern is a ceramic green sheet including a capacitance forming conductor pattern, as shown in FIG. A ceramic green sheet printed with a strip-shaped conductor pattern (a conductor pattern having the same area as the product conductor pattern but having a different shape) was prepared.
Further, as the ceramic green sheet in which the product conductor pattern does not include the capacitance forming conductor pattern, a ceramic green sheet in which the conductor pattern is not formed in the disposal margin portion was prepared.
And the aggregate ceramic laminated body of the comparative example 3 was produced by the method similar to the case of the said Example 1 using these ceramic green sheets.
<比較例4>
集合セラミック積層体を構成する各セラミックグリーンシートのうち、製品用導体パターンが容量形成用導体パターンを含むセラミックグリーンシートとして、図7に示すように、ダミー導体パターンとして、その捨て代部に、内側には導体パターンの印刷されてない四角形状の導体パターン(ダミー導体パターンの面積は製品用導体パターンと同じであるが形状が異なる導体パターン)を印刷したセラミックグリーンシートを用意した。
また、製品用導体パターンが容量形成用導体パターンを含まないセラミックグリーンシートとしては、その捨て代部に導体パターンを形成していないセラミックグリーンシートを用意した。
そして、これらのセラミックグリーンシートを用いて上記実施例1の場合と同様の方法で比較例4の集合セラミック積層体を作製した。
なお、比較例1〜4で用いたセラミックグリーンシートを示す図4〜7において、図1〜3と同じ符号を付した部分は同一または相当する部分を示している。
<Comparative example 4>
Among the ceramic green sheets constituting the aggregate ceramic laminate, as a ceramic green sheet in which the product conductor pattern includes a capacitance forming conductor pattern, as shown in FIG. Prepared a ceramic green sheet on which a rectangular conductor pattern without a conductor pattern (a conductor pattern having the same area as the conductor pattern for a product but having a different shape) was printed.
Further, as the ceramic green sheet in which the product conductor pattern does not include the capacitance forming conductor pattern, a ceramic green sheet in which the conductor pattern is not formed in the disposal margin portion was prepared.
And the aggregate ceramic laminated body of the comparative example 4 was produced by the method similar to the case of the said Example 1 using these ceramic green sheets.
In addition, in FIGS. 4-7 which show the ceramic green sheet used by Comparative Examples 1-4, the part which attached | subjected the same code | symbol as FIGS. 1-3 has shown the part which is the same or it corresponds.
上記実施例1〜4および比較例1〜4の試料についての特性の測定結果を表1に示す。 Table 1 shows the measurement results of the characteristics of the samples of Examples 1 to 4 and Comparative Examples 1 to 4.
表1より、最外周部に位置するエリアの製品部において形成される容量と、この最外周部から離れた中央に位置するエリアの製品部において形成される容量の比(表1では、容量の比(最外周部エリアの容量/中央エリアの容量)と略記)についてみると、実施例1〜4では、最外周部エリアの容量/中央エリアの容量の比が1.0となっており、集合セラミック積層体の最外周部に位置するエリアの製品部において形成される容量と、この最外周部から離れた中央に位置するエリアの製品部において形成される容量の大きさに差がなく、各製品部における容量のばらつきの少ない集合セラミック積層体が得られることが確認された。 From Table 1, the ratio of the capacity formed in the product part of the area located in the outermost peripheral part to the capacity formed in the product part of the area located in the center away from the outermost peripheral part (in Table 1, the capacity As for the ratio (abbreviated as the capacity of the outermost peripheral area / capacity of the central area), in Examples 1 to 4, the ratio of the capacity of the outermost peripheral area / the capacity of the central area is 1.0, There is no difference between the capacity formed in the product part of the area located at the outermost peripheral part of the aggregate ceramic laminate and the capacity formed in the product part of the area located in the center away from this outermost peripheral part, It was confirmed that an aggregate ceramic laminate with little variation in capacity in each product part was obtained.
ただし、捨て代部のさらに外側に位置情報表示マークを配設するための位置情報表示エリアを設けるようにした実施例4の場合、集合セラミック積層体の寸法が大きくなるため、実施例1〜3のように、集合セラミック積層体の一方主面(上側表面)を構成することになるセラミックグリーンシートについては、捨て代部にダミー導体パターンを配設せず、ここに位置情報表示マークを配設する構成とすることが望ましい。 However, in the case of Example 4 in which the position information display area for disposing the position information display mark is provided on the further outer side of the disposal margin part, the dimensions of the aggregate ceramic laminate are increased. As for the ceramic green sheet that constitutes one main surface (upper surface) of the aggregate ceramic laminate, a dummy conductor pattern is not disposed in the abandon part, but a position information display mark is disposed here. It is desirable to adopt a configuration that does this.
これに対し、いずれの捨て代部にもダミー導体パターンを形成しないようにした比較例1の場合、容量の比(最外周部エリアの容量/中央エリアの容量)が1.08となっており、容量ばらつきが大きいことが確認された。
これは、セラミックグリーンシートを積層した後、圧着する工程において、捨て代部にダミー導体パターンが形成されていないため、捨て代部が製品部よりも伸びやすく、最外周部エリアの製品部がその影響を受けた結果であると考えられる。
On the other hand, in the case of Comparative Example 1 in which no dummy conductor pattern is formed in any discard margin, the capacity ratio (capacity of the outermost peripheral area / capacity of the central area) is 1.08. It was confirmed that the capacity variation was large.
This is because the dummy conductor pattern is not formed in the discard margin part in the process of crimping after laminating the ceramic green sheets, so the discard margin part is easier to extend than the product part, and the product part in the outermost peripheral area is This is thought to be the result of the influence.
また、ダミー導体パターンとして、その捨て代部の全面に導体パターンを印刷した比較例2の場合も、容量の比(最外周部エリアの容量/中央エリアの容量)が1.04となっており、容量ばらつきが大きいことが確認された。
本比較例の形状のダミー導体パターンの形成された捨て代部は、製品部より伸びが少ない。この場合、セラミックグリーンシートを積層した後、圧着する工程において、伸びようとする製品部を捨て代部が内側に押し込むことになり、製品部に歪みが生じた結果、容量ばらつきが大きくなったと考えられる。
Also, in the case of Comparative Example 2 in which the conductor pattern is printed on the entire surface of the discard margin as the dummy conductor pattern, the capacity ratio (capacity of the outermost peripheral area / capacity of the central area) is 1.04. It was confirmed that the capacity variation was large.
The disposal margin portion where the dummy conductor pattern having the shape of this comparative example is formed has less elongation than the product portion. In this case, after laminating the ceramic green sheets, the product part to be stretched is thrown inward in the process of crimping, and the product part is distorted, resulting in increased capacity variation. It is done.
また、ダミー導体パターンの面積は製品用導体パターンと同じであるが形状が異なる細い帯状の導体パターンをダミー導体パターンとした比較例3や、ダミー導体パターンの面積は製品用導体パターンと同じであるが形状が異なる中抜きの四角形状の導体パターンをダミー導体パターンとした比較例4の場合にも、容量の比(最外周部エリアの容量/中央エリアの容量)が1.02(比較例3)、1.02(比較例4)と、容量ばらつきが生じることが確認された。
この結果から、比較例3および4のように、たとえダミー導体パターンの面積が製品用導体パターンと同じであっても、形状が異なるとそれぞれの伸びの状態が異なるため、比較例1、2ほどではないにしても、容量ばらつきが発生することが分かる。
Further, the area of the dummy conductor pattern is the same as that of the product conductor pattern, but a thin strip conductor pattern having a different shape is used as a dummy conductor pattern, and the area of the dummy conductor pattern is the same as that of the product conductor pattern. In the case of Comparative Example 4 in which a hollow rectangular conductor pattern having a different shape is a dummy conductor pattern, the capacitance ratio (capacity of the outermost peripheral area / capacity of the central area) is 1.02 (Comparative Example 3). ), 1.02 (Comparative Example 4), it was confirmed that capacity variation occurred.
From these results, as in Comparative Examples 3 and 4, even if the area of the dummy conductor pattern is the same as that of the product conductor pattern, if the shape is different, the state of elongation differs. If not, it can be seen that capacity variation occurs.
以上の結果より、本発明のように、少なくとも一部のセラミックグリーンシートとして、捨て代部に、製品部に配設された製品用導体パターンと同じ形状を有するダミー導体パターンを、製品部と同じ態様で配設したセラミックグリーンシートを用いることにより、セラミックグリーンシートを積層した後の圧着工程における、製品部と捨て代部の伸びの差を抑制して、いわゆる複数個取りの方法により、特性の変動の少ない個々の製品を効率よく製造することが可能な集合セラミック積層体が得られることが確認された。 From the above results, as in the present invention, the dummy conductor pattern having the same shape as the product conductor pattern disposed in the product part is the same as the product part in the disposal part as at least a part of the ceramic green sheet. By using the ceramic green sheet disposed in the mode, the difference in elongation between the product portion and the disposal margin portion is suppressed in the crimping process after the ceramic green sheets are laminated, and the characteristics of It was confirmed that an aggregate ceramic laminate capable of efficiently producing individual products with little fluctuation was obtained.
なお、上記の各実施例の集合セラミック積層体の表面にチップ型電子部品を搭載した後、捨て代部を除去するとともに所定の位置で分割することにより、特性のばらつきの少ない、信頼性の高いセラミック多層基板を、いわゆる複数個取りの方法により効率よく得ることができる。 In addition, after mounting the chip-type electronic component on the surface of the aggregate ceramic laminate of each of the above embodiments, the discard margin is removed and divided at a predetermined position, so that there is little variation in characteristics and high reliability. A ceramic multilayer substrate can be efficiently obtained by a so-called multiple-chip method.
また、上記実施例では、複数個取りの方法でセラミック多層基板を製造するための集合セラミック積層体を例にとって説明したが、本発明は、セラミック多層基板を製造する工程で必要となる集合セラミック積層体に限らず、積層コンデンサ、積層LC複合部品、積層コイル部品などの種々の積層セラミック電子部品の製造工程で必要となる集合セラミック積層体にも適用することが可能である。 Further, in the above embodiment, the description has been given by taking as an example a collective ceramic laminate for producing a ceramic multilayer substrate by a method of taking a plurality of pieces. The present invention can be applied not only to a body but also to an aggregate ceramic multilayer body required in the manufacturing process of various multilayer ceramic electronic components such as a multilayer capacitor, a multilayer LC composite component, and a multilayer coil component.
さらに、上記実施例では、集合セラミック積層体を焼成した後に個々の製品に分割する場合に用いられる集合セラミック積層体を例にとって説明しているが、製品の種類などによっては、未焼成の集合セラミック積層体を分割した後に焼成する場合もあるが、本発明はそのような用途のものにも適用することが可能である。 Further, in the above embodiment, an example of an aggregate ceramic laminate used when the aggregate ceramic laminate is fired and then divided into individual products is described as an example. However, depending on the type of product, an unfired aggregate ceramic is described. Although the laminate may be fired after being divided, the present invention can also be applied to such applications.
本発明はさらにその他の点においても上記の各実施例に限定されるものではなく、発明の範囲内において、種々の応用、変形を加えることが可能である。 The present invention is not limited to the above-described embodiments in other points, and various applications and modifications can be made within the scope of the invention.
上述のように、本発明によれば、セラミックグリーンシートを積層した後の圧着工程における、製品部と捨て代部の伸びの差を抑制して、いわゆる複数個取りの方法により、特性の変動の少ない個々の製品を効率よく製造することが可能な集合セラミック積層体を得ることができる。また、本発明の集合セラミック積層体を用いることにより、セラミック多層基板の前駆体である集合セラミック多層基板およびそれを分割することにより得られるセラミック多層基板を効率よく製造することができる。
従って、本発明は、セラミック多層基板、積層コンデンサ、積層LC複合部品、積層コイル部品などの種々の積層セラミック電子部品に関する技術分野に広く適用することが可能である。
As described above, according to the present invention, in the crimping process after laminating the ceramic green sheets, the difference in elongation between the product portion and the disposal allowance portion is suppressed, and the variation in characteristics can be reduced by a so-called multiple removal method. An aggregate ceramic laminate capable of efficiently producing a small number of individual products can be obtained. Moreover, by using the aggregate ceramic laminate of the present invention, an aggregate ceramic multilayer substrate that is a precursor of the ceramic multilayer substrate and a ceramic multilayer substrate obtained by dividing the multilayer ceramic substrate can be efficiently manufactured.
Therefore, the present invention can be widely applied to technical fields related to various multilayer ceramic electronic components such as ceramic multilayer substrates, multilayer capacitors, multilayer LC composite components, multilayer coil components and the like.
1 セラミックグリーンシート
10 製品部
11 製品用導体パターン
12 容量形成用電極パターン
13 容量形成用電極パターン以外の内層導体パターン
20 捨て代部
21 ダミー導体パターン
22 位置情報表示マーク(実装マーク)
30 位置情報表示エリア
DESCRIPTION OF
30 Location information display area
Claims (7)
前記捨て代部に、前記製品部に配設された前記製品用導体パターンと同じ形状を有するダミー導体パターンが、前記製品部と同じ態様で配設されていること
を特徴とする集合セラミック積層体。 An assembly ceramic laminate in which ceramic green sheets having a product portion in which a plurality of product conductor patterns serving as conductors of individual products are disposed and a disposal portion that is a region around the product portion are laminated. ,
The aggregate ceramic laminate, wherein a dummy conductor pattern having the same shape as the product conductor pattern disposed in the product portion is disposed in the discarding portion in the same manner as the product portion. .
前記焼成工程の終了後に前記拘束層を除去して前記集合セラミック積層体の焼結体を得る工程と
を具備することを特徴とする焼結集合セラミック積層体の製造方法。 A state in which a constraining layer mainly comprising ceramic powder that is not sintered at the sintering temperature of the aggregate ceramic laminate is adhered to at least one main surface of the aggregate ceramic laminate according to any one of claims 1 to 4. In the firing step of firing under the condition that the aggregate ceramic laminate is sintered but the constraining layer is not sintered,
And a step of obtaining the sintered body of the aggregate ceramic laminate by removing the constraining layer after completion of the firing step.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008036879A JP2009200073A (en) | 2008-02-19 | 2008-02-19 | Aggregate ceramic laminate, aggregate ceramic multilayer board, and ceramic multilayer board |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008036879A JP2009200073A (en) | 2008-02-19 | 2008-02-19 | Aggregate ceramic laminate, aggregate ceramic multilayer board, and ceramic multilayer board |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009200073A true JP2009200073A (en) | 2009-09-03 |
Family
ID=41143314
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008036879A Pending JP2009200073A (en) | 2008-02-19 | 2008-02-19 | Aggregate ceramic laminate, aggregate ceramic multilayer board, and ceramic multilayer board |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2009200073A (en) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012253294A (en) * | 2011-06-07 | 2012-12-20 | Dainippon Printing Co Ltd | Resin substrate arrangement sheet and method for dividing resin substrates into individual pieces from resin substrate arrangement sheet |
JP2016082116A (en) * | 2014-10-20 | 2016-05-16 | 日立金属株式会社 | Ceramic substrate and manufacturing method of electronic component using the same |
WO2019111544A1 (en) * | 2017-12-04 | 2019-06-13 | 株式会社村田製作所 | Aggregate substrate manufacturing method and aggregate substrate |
JP2021012896A (en) * | 2019-07-03 | 2021-02-04 | 日本特殊陶業株式会社 | Multi-piece ceramic substrate, manufacturing method of the same, and manufacturing method of ceramic substrate |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003347690A (en) * | 2002-05-27 | 2003-12-05 | Kyocera Corp | Multipiece wiring board |
JP2006066423A (en) * | 2004-08-24 | 2006-03-09 | Kyocera Corp | Multiple patterning wiring board |
-
2008
- 2008-02-19 JP JP2008036879A patent/JP2009200073A/en active Pending
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003347690A (en) * | 2002-05-27 | 2003-12-05 | Kyocera Corp | Multipiece wiring board |
JP2006066423A (en) * | 2004-08-24 | 2006-03-09 | Kyocera Corp | Multiple patterning wiring board |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012253294A (en) * | 2011-06-07 | 2012-12-20 | Dainippon Printing Co Ltd | Resin substrate arrangement sheet and method for dividing resin substrates into individual pieces from resin substrate arrangement sheet |
JP2016082116A (en) * | 2014-10-20 | 2016-05-16 | 日立金属株式会社 | Ceramic substrate and manufacturing method of electronic component using the same |
WO2019111544A1 (en) * | 2017-12-04 | 2019-06-13 | 株式会社村田製作所 | Aggregate substrate manufacturing method and aggregate substrate |
JP2021012896A (en) * | 2019-07-03 | 2021-02-04 | 日本特殊陶業株式会社 | Multi-piece ceramic substrate, manufacturing method of the same, and manufacturing method of ceramic substrate |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5308494B2 (en) | Chip-type electronic components | |
JP5118291B2 (en) | Chip-type electronic components | |
TW200529723A (en) | Multilayer ceramic substrate and its production method | |
JP2006332285A (en) | Stacked ceramic capacitor and method of manufacturing same | |
JP2007073728A (en) | Multilayer ceramic substrate, method of manufacturing same, and electronic component | |
JP2009200073A (en) | Aggregate ceramic laminate, aggregate ceramic multilayer board, and ceramic multilayer board | |
JP4821302B2 (en) | Ceramic multilayer substrate and manufacturing method thereof | |
US20020026978A1 (en) | Multilayer ceramic substrate and manufacturing method therefor | |
US20120199270A1 (en) | Method of manufacturing a multi-layer ceramic substrate using a constraining green sheet | |
JP6922918B2 (en) | Module with built-in ceramic substrate and electronic components | |
JP2004071852A (en) | Multilayer substrate | |
US7605051B2 (en) | Method for forming internal electrode pattern and method for manufacturing multilayer ceramic electronic component using same | |
JP2004165375A (en) | Method for manufacturing ceramic lamination | |
JP3706497B2 (en) | Multilayer ceramic capacitor | |
JP4773485B2 (en) | Manufacturing method of ceramic laminate | |
JP5418419B2 (en) | Multilayer circuit board | |
KR20090066862A (en) | Manufacturing method of multi-layer substrate | |
JP2004152908A (en) | Process for producing multilayer ceramic body | |
JP5682342B2 (en) | Manufacturing method of multilayer ceramic electronic component | |
JP2005072416A (en) | Multiple component mounting mother board | |
JP2004186341A (en) | Method of manufacturing ceramic laminate | |
JP2007165565A (en) | Method of manufacturing multilayer ceramic board | |
KR20090090718A (en) | Non-shirinkage ceramic substrate and manufacturing method thereof | |
JP2004079862A (en) | Method of manufacturing ceramic laminate | |
KR101214691B1 (en) | Multilayered ceramic substrate and method for preparing the same |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110106 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120516 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120522 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120720 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20121225 |