JP2009194567A - Functional sheet - Google Patents

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Hiroshi Kubota
浩 久保田
Toshiki Baba
敏喜 馬場
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a functional sheet which can add high frequency devices or easily add filter circuits even if there are design changes in a mother circuit board. <P>SOLUTION: Conductive layers 6A to 6E formed between electrodes of a laminate 1A that a plurality of dielectric films 2 to 5 are laminated are formed in a specified pattern to form capacitors C1 and C2, and a coil 7 on the conductive layer 6C. The capacitor C1, the coil 7 and each of electrodes 1a to 1c are connected using a conductor 8A of via holes 8a to 8c which are formed in each of the dielectric films, so that a low-pass filter is formed. Dielectric films 2 which have high permittivity ε<SB>H</SB>are laminated on first and forth layers, and dielectric films 3 and 4 which have low permittivity ε<SB>L</SB>are laminated on second and third layers to form the laminate 1A, so that the other circuit such as a high-pass filter can also be formed. Thereby, filter circuits can easily be added by arranging the functional sheet 10A between a high frequency device and a mother circuit board. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は、高周波デバイスが実装されるマザー回路基板上に設けられて、高周波デバイスに対してフィルタ機能を提供する機能シートに関する。   The present invention relates to a functional sheet that is provided on a mother circuit board on which a high-frequency device is mounted and provides a filter function to the high-frequency device.

携帯電話機などの電子機器においては、例えば高周波増幅器(RFアンプ)などの高周波デバイスを備えるが、このような高周波デバイスから放出される高周波ノイズがマザー回路基板上に配線された信号線に重畳すると誤動作を生じる虞があることから、マザー回路基板上には複数のフィルタ回路を設けておくことが一般的である。   An electronic device such as a cellular phone includes a high-frequency device such as a high-frequency amplifier (RF amplifier). If high-frequency noise emitted from such a high-frequency device is superimposed on a signal line wired on a mother circuit board, a malfunction occurs. Therefore, it is general to provide a plurality of filter circuits on the mother circuit board.

この種のフィルタ回路は、チップ型のコンデンサとコイルを組み合わせて形成されるが、マザー回路基板上に設けられた複数の各部門(端子)ごとに複数のチップ部品を搭載すると、小型化、薄型化または軽量化などの妨げになるとともに、製造コストを低減しにくいという問題がある。   This type of filter circuit is formed by combining chip-type capacitors and coils, but if multiple chip parts are mounted for each of multiple divisions (terminals) provided on the mother circuit board, the size and thickness of the filter circuit is reduced. There is a problem that it is difficult to reduce the manufacturing cost as well as obstructing reduction in weight or weight.

そこで、以下の特許文献に示すように、従来においては多層配線技術を用いて、フィルタ回路を構成するコンデンサやコイルを、積層基板の内部に形成するようにしている。
特開平6−20870号公報 特開2000−349225号公報 特開2003−37465号公報 特開2004−289195号公報 特開2004−356264号公報
Therefore, as shown in the following patent documents, conventionally, a multilayer wiring technique is used to form capacitors and coils constituting the filter circuit inside the multilayer substrate.
Japanese Patent Laid-Open No. 6-20870 JP 2000-349225 A JP 2003-37465 A JP 2004-289195 A JP 2004-356264 A

しかし、高周波デバイスとマザー回路基板とは別々に設計されることが多い。しかもフィルタ回路は一つのマザー回路基板上の複数の位置に実装されることから、マザー回路基板ごとにフィルタ回路の設計を行う必要がある。   However, the high-frequency device and the mother circuit board are often designed separately. Moreover, since the filter circuit is mounted at a plurality of positions on one mother circuit board, it is necessary to design the filter circuit for each mother circuit board.

このため、高周波デバイスを追加する設計変更又はマザー回路基板自体の設計変更があると、フィルタ回路についても煩雑な設計変更作業を強いられるという問題があった。   For this reason, if there is a design change for adding a high-frequency device or a design change for the mother circuit board itself, there is a problem that a complicated design change operation is forced on the filter circuit.

本発明は上記従来の課題を解決するためのものであり、高周波デバイスの追加又はマザー回路基板に設計変更があってもフィルタ回路等を容易に追加することが可能な機能シートを提供することを目的としている。   The present invention is to solve the above-described conventional problems, and to provide a functional sheet capable of easily adding a filter circuit or the like even when a high frequency device is added or a mother circuit board has a design change. It is aimed.

本発明は、複数の誘電体フィルムが積層された積層体と、各誘電体フィルムの上下の面上にそれぞれ所定のパターンで形成された導電層と、を備えた機能シートであって、
前記積層体の最上層と最下層が、それ以外の層よりも高い誘電率からなる誘電体フィルムで形成されていることを特徴とするものである。
The present invention is a functional sheet comprising a laminate in which a plurality of dielectric films are laminated, and conductive layers formed in a predetermined pattern on the upper and lower surfaces of each dielectric film,
The uppermost layer and the lowermost layer of the laminate are formed of a dielectric film having a higher dielectric constant than the other layers.

本発明では、フィルタなどの各種の回路を、フィルムの中に形成し、高周波デバイスとマザー回路基板との間に挟み込む構成としたこと、および小径のビアホールと、微細導体パターンからなる高密度化により、高周波デバイスとマザー回路基板との接続を行うランドを同程度の面積で構成したことなどにより、機能シートの内部に複数のフィルタ回路を形成することができる。このため、高周波デバイスおよびマザー回路基板の設計変更を行うことなく、必要なフィルタ回路を配置することができる。これにより、高周波デバイスの汎用化を図ることができる。   In the present invention, various circuits such as a filter are formed in a film and sandwiched between a high-frequency device and a mother circuit board, and a high-density structure including a small-diameter via hole and a fine conductor pattern. A plurality of filter circuits can be formed inside the functional sheet by configuring the land for connecting the high-frequency device and the mother circuit board with the same area. Therefore, a necessary filter circuit can be arranged without changing the design of the high-frequency device and the mother circuit board. Thereby, generalization of a high frequency device can be achieved.

前記積層体の複数の箇所に、コンデンサとコイルの一方または双方が形成されているものが好ましく、さらに前記コンデンサは、少なくとも1つ以上の誘電フィルムを挟んで対向配置された導電層によって形成されるものが好ましい。
上記において、前記積層体が4層構造であるものが好ましい。
It is preferable that one or both of a capacitor and a coil are formed at a plurality of locations of the laminate, and the capacitor is formed by a conductive layer disposed opposite to each other with at least one dielectric film interposed therebetween. Those are preferred.
In the above, it is preferable that the laminate has a four-layer structure.

上記手段では、一枚の積層体の複数の箇所にコンデンサとコイルを配置することができる。このため、フィルタ回路の個々の設計を最適化することができるようになる。よって、高周波デバイスと特定のマザー回路基板との間に生じる相互の影響を小さくすることができ、製品の性能の向上と、性能の安定化を図ることができる。   In the above means, capacitors and coils can be arranged at a plurality of locations in a single laminate. For this reason, the individual design of the filter circuit can be optimized. Therefore, the mutual influence which arises between a high frequency device and a specific mother circuit board can be made small, and the improvement of the performance of a product and the stabilization of a performance can be aimed at.

また前記積層体の最上層と最下層が、それ以外の層よりも薄く形成されているものが好ましい。
上記手段では、コンデンサの容量を大きくすることができる。
In addition, it is preferable that the uppermost layer and the lowermost layer of the laminate are formed thinner than the other layers.
With the above means, the capacitance of the capacitor can be increased.

また前記コイルが平面螺旋状であるものが好ましい。
上記手段では、薄型の機能シートの中にインダクタンスを形成することとができる。
The coil is preferably a plane spiral.
In the above means, an inductance can be formed in the thin functional sheet.

前記コイルが、前記最上層及び前記最下層以外の層とのみ接するように形成されているものが好ましい。   It is preferable that the coil is formed so as to contact only a layer other than the uppermost layer and the lowermost layer.

上記手段では、寄生容量を小さくでき、インダクタンスとして有効に機能させることが可能となる。   With the above means, the parasitic capacitance can be reduced, and it can function effectively as an inductance.

また前記誘電体フィルムには、内部に導体が埋設されたビアホールが形成されており、前記コンデンサの一端と前記コイルの一端とが、前記ビアホール内の導体を介して導通接続されるものが好ましい。
上記構成ではコンデンサとコイルとを電気的に導通接続することとができる。
Further, it is preferable that the dielectric film has a via hole in which a conductor is embedded, and one end of the capacitor and one end of the coil are conductively connected via the conductor in the via hole.
In the above configuration, the capacitor and the coil can be electrically connected to each other.

複数の前記コンデンサと複数の前記コイルとにより、複数のフィルタ回路が設けられているのが好ましく、例えば前記フィルタ回路は、ローパスフィルタ、ハイパスフィルタ、バンドパスフィルタ、トラップのいずれかを含むものである。   It is preferable that a plurality of filter circuits are provided by the plurality of capacitors and the plurality of coils. For example, the filter circuit includes any of a low-pass filter, a high-pass filter, a band-pass filter, and a trap.

また前記最上層の積層体の外面に形成された導電層には、他の基板との入出力に用いる入出力電極が形成されており、前記最下層の積層体の外面に形成された導電層には、前記入出力電極に対応する位置に、別の基板との入出力に用いる入出力電極が形成されているものが好ましい。   In addition, the conductive layer formed on the outer surface of the uppermost layer stack has input / output electrodes used for input / output with other substrates, and the conductive layer formed on the outer surface of the lowermost layer stack. Preferably, an input / output electrode used for input / output with another substrate is formed at a position corresponding to the input / output electrode.

マザー基板と他の基板と接続したときに、これらの間のインピーダンスを容易にマッチングさせることができる。   When the mother board is connected to another board, the impedance between them can be easily matched.

さらには、前記積層体の最上層または最下層の内面に形成され、前記入出力電極とコンデンサを形成する前記導電層の少なくとも一部がグランド端子と接続されているものが好ましい。
上記手段では、多様なフィルタを形成することが可能となる。
Furthermore, it is preferable that the laminated body is formed on the innermost surface of the uppermost layer or the lowermost layer, and at least a part of the conductive layer forming the input / output electrode and the capacitor is connected to a ground terminal.
With the above means, various filters can be formed.

本発明では、誘電体フィルムからなる積層体上に複数のコンデンサやコイルを形成することができ、任意の箇所にフィルタ回路が配置された機能シートを提供することができる。   In the present invention, a plurality of capacitors and coils can be formed on a laminate made of a dielectric film, and a functional sheet in which a filter circuit is arranged at an arbitrary location can be provided.

このため、マザー回路基板上にフィルタ回路を形成するためのスペースを確保する必要がなくなる。しかも多数のチップ部品を配置する必要がなくなるため、高周波デバイスを備えたマザー回路基板を小型化、薄型化または軽量化することができる。   For this reason, it is not necessary to secure a space for forming the filter circuit on the mother circuit board. In addition, since it is not necessary to arrange a large number of chip parts, the mother circuit board provided with the high-frequency device can be reduced in size, thickness, or weight.

また高周波デバイスの追加又はマザー回路基板に設計変更があってもフィルタ回路の追加等を容易に追加することができる。   Further, even if a high frequency device is added or a design change is made on the mother circuit board, it is possible to easily add a filter circuit or the like.

以下、機能シートについて図面を参照しつつ説明する
(基本的構成)
図1は本発明の機能シート10の基本的構成を示す断面図である。
The function sheet will be described below with reference to the drawings (basic configuration).
FIG. 1 is a cross-sectional view showing a basic configuration of a functional sheet 10 of the present invention.

図1に示すように、本発明の機能シート10は、第1層から第4層からなる複数の誘電体フィルム2,3,4,5を厚さ(Z)方向に積層することにより形成された積層体1Aが設けられ、各誘電体フィルム2,3,4,5の上下の面上には薄膜状の導電層6A,6B,6C,6D,6Eがパターンニングされている。導電層6A,6B,6C,6D,6Eには、金、銀、銅、またはこれらの合金などの導電性材料を用いることにより、微細導体パターン(図示せず)が形成されている。   As shown in FIG. 1, the functional sheet 10 of the present invention is formed by laminating a plurality of dielectric films 2, 3, 4, and 5 composed of first to fourth layers in the thickness (Z) direction. A laminated body 1A is provided, and thin conductive layers 6A, 6B, 6C, 6D, and 6E are patterned on the upper and lower surfaces of the dielectric films 2, 3, 4, and 5, respectively. The conductive layers 6A, 6B, 6C, 6D, and 6E are formed with a fine conductor pattern (not shown) by using a conductive material such as gold, silver, copper, or an alloy thereof.

本発明として示す機能シート10は、積層体の最下層に位置する誘電体フィルム2と最上層に位置する誘電体フィルム5の誘電率が高く(εH)、これらの間に配置された誘電体フィルム3,4の誘電率は低く(εL)形成されている。あるいは積層体の最下層(誘電体フィルム2)および最上層(誘電体フィルム5)の厚み寸法が、それ以外の層である誘電体フィルム3,4の厚み寸法よりも薄く形成されている。 In the functional sheet 10 shown as the present invention, the dielectric film 2 located at the lowermost layer of the laminate and the dielectric film 5 located at the uppermost layer have a high dielectric constant (ε H ), and the dielectric disposed between them. Films 3 and 4 have a low dielectric constant (ε L ). Or the thickness dimension of the lowermost layer (dielectric film 2) and uppermost layer (dielectric film 5) of a laminated body is formed thinner than the thickness dimension of the dielectric films 3 and 4 which are the other layers.

各導電層6Aないし6Eは、各誘電体フィルム2,3,4,5の面上に、スクリーン印刷処理工程により、またはエッチング処理工程などを経ることにより、所定の形状にパターン形成されている。   The conductive layers 6A to 6E are patterned in a predetermined shape on the surfaces of the dielectric films 2, 3, 4, and 5 by a screen printing process or an etching process.

このような機能シート10は全体としても薄いシート状であり、機能シート10の任意の箇所に様々な特性からなるフィルタ回路が形成されている。このような機能シート10はマザー回路基板上に固定され、機能シート10上の回路パターンと高周波デバイス回路との間に接続されて目的とする回路特性を発揮する。   Such a functional sheet 10 is a thin sheet as a whole, and a filter circuit having various characteristics is formed at an arbitrary position of the functional sheet 10. Such a functional sheet 10 is fixed on the mother circuit board, and is connected between the circuit pattern on the functional sheet 10 and the high-frequency device circuit to exhibit the desired circuit characteristics.

以下には、上記基本的構成を有する機能シート10内に形成される回路について説明する。   Below, the circuit formed in the function sheet | seat 10 which has the said basic structure is demonstrated.

(第1の実施の形態)
図2は本発明の第1の実施の形態としての機能シートに形成されたローパスフィルタ(LPF)を示し、(A)はローパスフィルタの等価回路図、(B)は機能シートの断面図である。
(First embodiment)
FIG. 2 shows a low-pass filter (LPF) formed on the functional sheet as the first embodiment of the present invention, (A) is an equivalent circuit diagram of the low-pass filter, and (B) is a cross-sectional view of the functional sheet. .

図2(A)に第1の実施の形態として示す機能シート10Aは、一例としてローパスフィルタ(LPF)を示している。このようなローパスフィルタは、機能シート10Aの一部の領域に形成されている。   A functional sheet 10A shown as the first embodiment in FIG. 2A shows a low-pass filter (LPF) as an example. Such a low-pass filter is formed in a partial region of the functional sheet 10A.

図2(A)に示すように、ローパスフィルタ(LPF)10Aは,入力端子1aとグランド端子1cとの間に設けられたコンデンサC1と、入力端子1aと出力端子1bとの間に設けられたコイルL1とを有している。   As shown in FIG. 2A, the low pass filter (LPF) 10A is provided between the capacitor C1 provided between the input terminal 1a and the ground terminal 1c, and between the input terminal 1a and the output terminal 1b. And a coil L1.

図2(B)に示すように、積層体1Aの下面、すなわち最下層である第1層を形成する誘電体フィルム2の下面には導電層6Aをパターン形成することにより形成された入力電極6aとグランド電極6cが形成されている。同様に、積層体1Aの上面、すなわち最上層である第4層の上面には導電層6Eをパターン形成することにより形成された出力電極6bが形成されている。   As shown in FIG. 2B, an input electrode 6a formed by patterning a conductive layer 6A on the lower surface of the laminate 1A, that is, the lower surface of the dielectric film 2 forming the first layer which is the lowest layer. And a ground electrode 6c. Similarly, an output electrode 6b formed by patterning the conductive layer 6E is formed on the upper surface of the stacked body 1A, that is, the upper surface of the fourth layer that is the uppermost layer.

入力電極6a、出力電極6bおよびグランド電極6cは所定の面積を有し、例えば円形または四角形などの形状で形成されている。図2(B)に示す入力電極6aが図2(A)に示す入力端子1aを形成し、同様に出力電極6bが出力端子1bを形成し、グランド電極6cがグランド端子1cを形成している。   The input electrode 6a, the output electrode 6b, and the ground electrode 6c have a predetermined area, and are formed in a shape such as a circle or a quadrangle, for example. The input electrode 6a shown in FIG. 2B forms the input terminal 1a shown in FIG. 2A. Similarly, the output electrode 6b forms the output terminal 1b, and the ground electrode 6c forms the ground terminal 1c. .

図2(B)に示すように、入力端子1aを形成する入力電極6a、さらにはグランド端子1cを形成するグランド電極6cには、例えば半田ボール11,11が形成されている。   As shown in FIG. 2B, for example, solder balls 11 and 11 are formed on the input electrode 6a forming the input terminal 1a and further on the ground electrode 6c forming the ground terminal 1c.

入力電極6aは、最下層の誘電体フィルム2の上側に設けられた導電層6Bの一部で形成される対向電極6dに対向しており、この間にコンデンサC1が形成されている。すなわち、コンデンサC1は、積層体1Aの下面に形成された導電層6Aの一部である入力電極6aと、その上層側に設けられた導電層6Bの一部に設けられた対向電極6dと、これらの間に設けられた高い誘電率εHの誘電体フィルム2とからなる平行平板型のコンデンサとして形成されている。 The input electrode 6a is opposed to the counter electrode 6d formed by a part of the conductive layer 6B provided on the upper side of the lowermost dielectric film 2, and a capacitor C1 is formed therebetween. That is, the capacitor C1 includes an input electrode 6a that is a part of the conductive layer 6A formed on the lower surface of the multilayer body 1A, a counter electrode 6d that is provided on a part of the conductive layer 6B provided on the upper layer side thereof, It is formed as a parallel plate type capacitor comprising a dielectric film 2 having a high dielectric constant ε H provided between them.

積層体1Aの中間部に設けられた導電層6Cには、平面螺旋状からなる平面コイル7がパターン形成されている。平面コイル7の中心側には端子7aが形成され、外周側には端子7bが形成されている。この平面コイル7が、図2(A)に示す等価回路上のコイルL1を形成している。   A planar coil 7 having a planar spiral pattern is formed in a pattern on the conductive layer 6C provided in the intermediate portion of the multilayer body 1A. A terminal 7a is formed on the center side of the planar coil 7, and a terminal 7b is formed on the outer peripheral side. The planar coil 7 forms a coil L1 on the equivalent circuit shown in FIG.

導電層6B上で、且つ平面コイル7の端子7aと対向する位置には、貫通孔6B1が形成されており、この貫通孔6B1の内部には第2層である誘電体フィルム2と第3層である誘電体フィルム3とを板厚(Z)方向に貫通するビアホール8aが形成されている。ビアホール8aの下端は導電層6Aに達し、上端は導電層6Cまで延びている。ビアホール8aの内部には金、銀、銅、またはこれらの合金などからなる導体8Aが埋設されている。この導体8Aにより、導電層6Aに形成された入力電極6a(入力端子1a)と導電層6Cに形成された平面コイル7の中心側の端子7aとの間が導通接続されている。   A through hole 6B1 is formed on the conductive layer 6B at a position facing the terminal 7a of the planar coil 7, and the dielectric film 2 and the third layer, which are the second layers, are formed inside the through hole 6B1. A via hole 8a penetrating through the dielectric film 3 is formed in the plate thickness (Z) direction. The lower end of the via hole 8a reaches the conductive layer 6A, and the upper end extends to the conductive layer 6C. A conductor 8A made of gold, silver, copper, or an alloy thereof is embedded in the via hole 8a. By this conductor 8A, the input electrode 6a (input terminal 1a) formed on the conductive layer 6A and the terminal 7a on the center side of the planar coil 7 formed on the conductive layer 6C are conductively connected.

また誘電体フィルム2の他の箇所には、導電層6Bと導電層6Aに形成されたグランド電極6cとの間を貫通するビアホール8bが形成され、その内部には導体8Aが埋設されている。この導体8Aにより、導電層6Bとグランド電極6c(グランド端子1c)との間が導通接続されている。   Further, via holes 8b are formed in other portions of the dielectric film 2 so as to penetrate between the conductive layer 6B and the ground electrode 6c formed in the conductive layer 6A, and a conductor 8A is embedded therein. The conductor 8A is electrically connected between the conductive layer 6B and the ground electrode 6c (ground terminal 1c).

同様に、第3層を形成する誘電体フィルム4と第4層を形成する誘電体フィルム5との間にも板厚方向に貫通するビアホール8cが形成されており、この内部には導体8Aが埋設されている。   Similarly, a via hole 8c penetrating in the plate thickness direction is formed between the dielectric film 4 forming the third layer and the dielectric film 5 forming the fourth layer, and the conductor 8A is formed inside the via hole 8c. Buried.

導電層6Dには貫通孔6D1が形成されており、この貫通孔6D1の内部には、誘電体フィルム4と誘電体フィルム5とを板厚(Z)方向に貫通するビアホール8cが形成されている。ビアホール8cの内部には導体8Aが埋設されている。この導体8Aにより、平面コイル7の外周側の端子7bと出力電極6b(出力端子6b)との間が導通接続されている。なお、導電層6Dはいずれにも接続されておらず、電気的には浮いた状態に設定されている。   A through hole 6D1 is formed in the conductive layer 6D, and a via hole 8c that penetrates the dielectric film 4 and the dielectric film 5 in the plate thickness (Z) direction is formed in the through hole 6D1. . A conductor 8A is embedded in the via hole 8c. The conductor 8A is electrically connected between the terminal 7b on the outer peripheral side of the planar coil 7 and the output electrode 6b (output terminal 6b). The conductive layer 6D is not connected to any of them and is set in an electrically floating state.

このようにして形成された機能シート10Aにおいては、最下層(第1層)に位置する誘電体フィルム2と最上層(第4層)に位置する誘電体フィルム5の誘電率(εH)が、これらの間に配置された第2層の誘電体フィルム3および第3層の誘電体フィルム4の誘電率(εL)よりも高い。 In the functional sheet 10A thus formed, the dielectric constant (ε H ) of the dielectric film 2 located in the lowermost layer (first layer) and the dielectric film 5 located in the uppermost layer (fourth layer) is The dielectric constant (ε L ) of the second-layer dielectric film 3 and the third-layer dielectric film 4 disposed between them is higher.

このため、入力電極6aと対向電極6dとの間に形成されたコンデンサC1の静電容量を大きくすることができる。一方、平面コイル7は、低い誘電率(εL)からなる第3,4層の誘電体フィルム3,4の間に形成されている。このため、平面コイル7は最下層(第1層の誘電体フィルム2)および最上層(第4層の誘電体フィルム5)以外の誘電率の低い層とのみ接するようになるため、平面コイル7に結合される寄生容量を小さくすることが可能となり、コイルL1としての機能、さらにはローパスフィルタ(LPF)としての機能を充分に発揮することが可能となる。これにより、図2(A)に実線で示すようなLPFを有する機能シート10Aとすることができる。 For this reason, the capacitance of the capacitor C1 formed between the input electrode 6a and the counter electrode 6d can be increased. On the other hand, the planar coil 7 is formed between the third and fourth dielectric films 3 and 4 having a low dielectric constant (ε L ). For this reason, the planar coil 7 comes into contact only with a layer having a low dielectric constant other than the lowermost layer (first dielectric film 2) and the uppermost layer (fourth dielectric film 5). It is possible to reduce the parasitic capacitance coupled to, and to sufficiently exhibit the function as the coil L1 and further the function as the low-pass filter (LPF). Thereby, it can be set as the functional sheet | seat 10A which has LPF as shown by a continuous line in FIG. 2 (A).

なお、2以上のLPFを連結させることで形成されるローパスフィルタの等価回路は、図2(A)に点線で示すように出力端子1bとグランド端子1cとの間にコンデンサC2を配置したπ型となる。このようなπ型のローパスフィルタとするには、図2(B)に点線で示すように導電層6Dと導電層6Bとの間を導通接続し、導電層6Dがグランド電極6c(グランド端子1c)に接続されるように配線すると、導電層6Dと出力電極6b(出力端子6b)との間にコンデンサC2を形成することができる。具体的には、第3,4層の誘電体フィルム3,4の間に上記同様のビアホール8dを形成し、その内部に埋設した導体8Aによって導電層6Dと導電層6Bとの間を導通接続すればよい。   Note that an equivalent circuit of a low-pass filter formed by connecting two or more LPFs is a π type in which a capacitor C2 is disposed between an output terminal 1b and a ground terminal 1c as shown by a dotted line in FIG. It becomes. In order to obtain such a π-type low-pass filter, the conductive layer 6D and the conductive layer 6B are conductively connected as shown by a dotted line in FIG. 2B, and the conductive layer 6D is connected to the ground electrode 6c (the ground terminal 1c). ), The capacitor C2 can be formed between the conductive layer 6D and the output electrode 6b (output terminal 6b). Specifically, a via hole 8d similar to the above is formed between the dielectric films 3 and 4 of the third and fourth layers, and the conductive layer 6D and the conductive layer 6B are electrically connected by the conductor 8A embedded therein. do it.

(第2の実施の形態)
図3は本発明の第2の実施の形態としての機能シートに形成されたハイパスフィルタ(HPF)を示し、(A)はハイパスフィルタの等価回路図、(B)は機能シートの断面図である。
(Second Embodiment)
FIG. 3 shows a high-pass filter (HPF) formed on a functional sheet as a second embodiment of the present invention, (A) is an equivalent circuit diagram of the high-pass filter, and (B) is a sectional view of the functional sheet. .

図3(A)に示すように、第2の実施の形態に示す機能シート10Bには、入力端子1aとグランド端子1cとの間に設けられたコイル7と、入力端子1aと出力端子1bとの間に設けられたコンデンサC1が形成されている。このようなハイパスフィルタHPFは、機能シート10B上の領域内の複数の箇所に形成されている。   As shown in FIG. 3A, the functional sheet 10B shown in the second embodiment includes a coil 7 provided between the input terminal 1a and the ground terminal 1c, an input terminal 1a, and an output terminal 1b. A capacitor C1 provided between the two is formed. Such a high-pass filter HPF is formed at a plurality of locations in the region on the functional sheet 10B.

図3(B)に示すように、機能シート10Bは、5層からなる導電層6A,6B,6C,6D,6Eの間に、第1層から第4層までの誘電体フィルム2,3,4,5がそれぞれ配置された構成である。   As shown in FIG. 3B, the functional sheet 10B includes dielectric films 2, 3, 3 from the first layer to the fourth layer between the five conductive layers 6A, 6B, 6C, 6D, 6E. 4 and 5 are arranged.

最下層の導電層6Aに入力端子1aを形成する入力電極6aが設けられ、最上層の導電層6Eに出力端子1bを形成する出力電極6bが形成されている。この実施の形態でも、最下層(第1層)に位置する誘電体フィルム2と最上層(第4層)に位置する誘電体フィルム5の誘電率(εH)が、これらの間に配置された第2層の誘電体フィルム3および第3層の誘電体フィルム4の誘電率(εL)よりも高くなるように形成されている。 An input electrode 6a for forming the input terminal 1a is provided on the lowermost conductive layer 6A, and an output electrode 6b for forming the output terminal 1b is formed on the uppermost conductive layer 6E. Also in this embodiment, the dielectric constant (ε H ) of the dielectric film 2 located in the lowermost layer (first layer) and the dielectric film 5 located in the uppermost layer (fourth layer) are arranged between them. In addition, the dielectric layer 3 of the second layer and the dielectric film 4 of the third layer 4 are formed so as to be higher than the dielectric constant (ε L ).

第4層の誘電体フィルム5の下面に位置する導電層6Dには、出力電極6bとの間で平行平板型のコンデンサC1を形成する対向電極6dが形成されている。この対向電極6dと入力電極6aとの間には第1ないし第3の誘電体フィルム2,3、4が配置されており、これらの誘電体フィルム2,3,4には板厚(Z)方向に連続して貫通するビアホール8a,8b,8cがそれぞれ形成されている。これらのビアホール8a,8b,8cの内部には導体8Aがそれぞれ埋設されており、入力電極6aとコンデンサC1の一方の端子である対向電極6dとの間が導通接続されている。   The conductive layer 6D positioned on the lower surface of the fourth dielectric film 5 is provided with a counter electrode 6d that forms a parallel plate type capacitor C1 with the output electrode 6b. Between the counter electrode 6d and the input electrode 6a, first to third dielectric films 2, 3, and 4 are disposed. The dielectric films 2, 3, and 4 have a thickness (Z). Via holes 8a, 8b, and 8c that penetrate continuously in the direction are formed. Conductors 8A are buried in these via holes 8a, 8b and 8c, respectively, and the input electrode 6a and the counter electrode 6d which is one terminal of the capacitor C1 are electrically connected.

図3(B)に示すように、積層体1Aの中間に設けられた導電層6Cには、第1の実施の形態同様の平面螺旋状からなる平面コイル7が形成されている。なお、この平面コイル7が図3(A)の等価回路上のコイルL1を形成している。   As shown in FIG. 3B, a planar coil 7 having a planar spiral shape similar to that of the first embodiment is formed in the conductive layer 6C provided in the middle of the laminated body 1A. The planar coil 7 forms a coil L1 on the equivalent circuit of FIG.

そして、この平面コイル7の中心側の端子7aは、上下の面がビアホール8b内に埋設された導体8A、およびビアホール8c内に埋設された導体8Aにそれぞれ導通接続されている。また平面コイル7の外周側の端子7bは、第2層の誘電体フィルム3に形成されたビアホール8d内の導体8A、導電層6Bの一部に形成された中継部9および第1層の誘電体フィルム2に形成されたビアホール8e内の導体8Aを介して、積層体1Aの最下面である導電層6Aに形成されたグランド端子1cであるグランド電極6cに導通接続されている。   The central terminal 7a of the planar coil 7 is electrically connected to the conductor 8A embedded in the via hole 8b and the conductor 8A embedded in the via hole 8c. Further, the terminal 7b on the outer peripheral side of the planar coil 7 is connected to the conductor 8A in the via hole 8d formed in the second dielectric film 3, the relay portion 9 formed in a part of the conductive layer 6B, and the first layer dielectric. The conductor 8A in the via hole 8e formed in the body film 2 is conductively connected to the ground electrode 6c that is the ground terminal 1c formed on the conductive layer 6A that is the lowermost surface of the multilayer body 1A.

この実施の形態でも、高い誘電率(εH)からなる第4層の誘電体フィルム5が、コンデンサC1を形成する一対の出力電極6bと対向電極6dとの間に介在するように形成されている。このため、コンデンサC1の静電容量を大きくすることができる。 Also in this embodiment, the fourth dielectric film 5 having a high dielectric constant (ε H ) is formed so as to be interposed between the pair of output electrodes 6b and the counter electrode 6d forming the capacitor C1. Yes. For this reason, the capacitance of the capacitor C1 can be increased.

さらに平面コイル7は、低い誘電率(εL)からなる第2,3層の誘電体フィルム3,4の間に形成され、高い誘電率(εH)からなる第1層および第4層の誘電フィルム2,5には接しない構成である。このため、平面コイル7に結合される寄生容量を小さくすることができ、コイルL1として、さらにはハイパスフィルタとしての充分な機能を発揮することが可能である。 Further, the planar coil 7 is formed between the second and third dielectric films 3 and 4 having a low dielectric constant (ε L ), and the first and fourth layers having a high dielectric constant (ε H ). The dielectric films 2 and 5 are not in contact with each other. For this reason, the parasitic capacitance coupled to the planar coil 7 can be reduced, and a sufficient function as the coil L1 and further as a high-pass filter can be exhibited.

(第3の実施の形態)
図4は本発明の第3の実施の形態として機能シートに形成されたハイパスフィルタ(HPF)を示し、(A)はハイパスフィルタの等価回路図、(B)は機能シートの断面図である。
(Third embodiment)
FIG. 4 shows a high-pass filter (HPF) formed on a functional sheet as a third embodiment of the present invention, (A) is an equivalent circuit diagram of the high-pass filter, and (B) is a cross-sectional view of the functional sheet.

第3の実施の形態に示す機能シート10Cには、T型のハイパスフィルタが形成されている。すなわち、図4(A)に示すように、このハイパスフィルタは、入力端子1aと出力端子1bとの間にコンデンサC1,C2が直列に接続され、コンデンサC1とコンデンサC2とが接続された接続部とグランド端子1cとの間にコイルL1が設けられた構成である。   The functional sheet 10C shown in the third embodiment is formed with a T-type high pass filter. That is, as shown in FIG. 4A, in this high pass filter, capacitors C1 and C2 are connected in series between an input terminal 1a and an output terminal 1b, and a capacitor C1 and a capacitor C2 are connected. And a ground terminal 1c are provided with a coil L1.

図4(B)に示すように、この機能シート10Cも上記同様に5層からなる導電層6A,6B,6C,6D,6Eの間に、第1層ないし第4層からなる誘電体フィルム2,3,4,5がそれぞれ配置された構成である。そして、最下層(第1層)に位置する誘電体フィルム2と最上層(第4層)に位置する誘電体フィルム5の誘電率(εH)が、これらの間に配置された第2層の誘電体フィルム3および第3層の誘電体フィルム4の誘電率(εL)よりも高くなるように形成されている点も上記同様である。 As shown in FIG. 4 (B), the functional sheet 10C is also composed of the first to fourth layers of dielectric film 2 between the five conductive layers 6A, 6B, 6C, 6D, and 6E. , 3, 4, and 5 are arranged. The dielectric layer 2 located in the lowermost layer (first layer) and the dielectric constant (ε H ) of the dielectric film 5 located in the uppermost layer (fourth layer) are the second layer disposed between them. Similarly, the dielectric film 3 and the third-layer dielectric film 4 are formed so as to be higher in dielectric constant (ε L ).

最下層(第1層)の誘電体フィルム2の一方の面に形成された導電層6Aに入力端子1aを形成する入力電極6aが設けられ、他方の面に形成された導電層6Bに第1の対向電極6dが設けられており、これらにより平行平板型のコンデンサC1が形成されている。同様に、最上層(第4層)の誘電体フィルム5の一方の面に形成された導電層6Eに出力端子1bを形成する出力電極6bが設けられ、他方の面に形成された導電層6Dに第2の対向電極6eが設けられており、これらにより平行平板型のコンデンサC2が形成されている。そして、第2層の誘電体フィルム3と第3層の誘電体フィルム4との間にコイルL1を形成する平面コイル7が設けられている。   An input electrode 6a for forming the input terminal 1a is provided on the conductive layer 6A formed on one surface of the dielectric film 2 of the lowermost layer (first layer), and the first is formed on the conductive layer 6B formed on the other surface. The counter electrode 6d is provided, and a parallel plate type capacitor C1 is formed by these. Similarly, an output electrode 6b for forming the output terminal 1b is provided on the conductive layer 6E formed on one surface of the dielectric film 5 of the uppermost layer (fourth layer), and a conductive layer 6D formed on the other surface. Is provided with a second counter electrode 6e, which forms a parallel plate type capacitor C2. A planar coil 7 is provided between the second dielectric film 3 and the third dielectric film 4 to form a coil L1.

コンデンサC1を形成する第1の対向電極6dと平面コイル7の中心側の端子7aとの間、およびコンデンサC2を形成する第2の対向電極6eと平面コイル7の中心側の端子7aとの間が、ビアホール8a,8bおよびこれらの内部に埋設された導体8A,8Aによりそれぞれ導通接続されている。   Between the first counter electrode 6d forming the capacitor C1 and the terminal 7a on the center side of the planar coil 7, and between the second counter electrode 6e forming the capacitor C2 and the terminal 7a on the center side of the planar coil 7 Are electrically connected by via holes 8a and 8b and conductors 8A and 8A embedded therein.

平面コイル7の外周側の端子7bは、第2層の誘電体フィルム3に形成されたビアホール8cの導体8A、導電層6Bに形成された中継部9、第1層の誘電体フィルム2に形成されたビアホール8dの導体8Aを介してグランド端子1cを形成するグランド電極6cに接続されている。   Terminals 7b on the outer peripheral side of the planar coil 7 are formed in the conductor 8A of the via hole 8c formed in the second-layer dielectric film 3, the relay portion 9 formed in the conductive layer 6B, and the first-layer dielectric film 2. The via hole 8d is connected to the ground electrode 6c that forms the ground terminal 1c through the conductor 8A.

この実施の形態でも、コンデンサC1,C2を誘電率の高い誘電体フィルム2,5からなる第1,第4層の上下の面に設けた一対の電極により形成されるようにしたため、コンデンサC1,C2の静電容量を大きくすることができる。   Also in this embodiment, the capacitors C1 and C2 are formed by the pair of electrodes provided on the upper and lower surfaces of the first and fourth layers made of the dielectric films 2 and 5 having a high dielectric constant. The capacitance of C2 can be increased.

さらに平面コイル7は、低い誘電率(εL)の誘電体フィルム3,4の間に形成され、高い誘電率(εH)の第1層および第4層の誘電フィルム2,5には接しない構成である。このため、平面コイル7に結合される寄生容量を小さくすることが可能となり、コイルL1として、さらにはハイパスフィルタとして充分な機能を発揮することができる。 Furthermore, the planar coil 7 is formed between the dielectric films 3 and 4 having a low dielectric constant (ε L ) and is in contact with the first and fourth dielectric films 2 and 5 having a high dielectric constant (ε H ). It is a configuration that does not. For this reason, it is possible to reduce the parasitic capacitance coupled to the planar coil 7 and to exhibit a sufficient function as the coil L1 and further as a high-pass filter.

(第4の実施の形態)
図5は本発明の第4の実施の形態として機能シートに形成されたバンドパスフィルタ(BPF)の一部を示しており、(A)はバンドパスフィルタの一部の等価回路図、(B)は機能シートの断面図である。
(Fourth embodiment)
FIG. 5 shows a part of a bandpass filter (BPF) formed on a functional sheet as a fourth embodiment of the present invention, (A) is an equivalent circuit diagram of a part of the bandpass filter, ) Is a cross-sectional view of the functional sheet.

図5(A)に示すように、この機能シート10Dには、入力端子1aと出力端子1bとを結ぶ信号ラインとグランド端子1cと間にコンデンサC1とコイルL1とが並列に接続されてなるバンドパスフィルタ(BPF)が設けられている。   As shown in FIG. 5A, this functional sheet 10D has a band in which a capacitor C1 and a coil L1 are connected in parallel between a signal line connecting the input terminal 1a and the output terminal 1b and the ground terminal 1c. A pass filter (BPF) is provided.

図5(B)に示すように、この機能シート10Dも上記同様に5層からなる導電層6A,6B,6C,6D,6Eの間に、第1ないし第4層からなる誘電体フィルム2,3,4,5がそれぞれ配置された構成である。そして、最下層(第1層)に位置する誘電体フィルム2と最上層(第4層)に位置する誘電体フィルム5の誘電率(εH)が、これらの間に配置された第2層の誘電体フィルム3および第3層の誘電体フィルム4の誘電率(εL)よりも高くなるように形成されている点も上記同様である。 As shown in FIG. 5 (B), this functional sheet 10D also has a dielectric film 2 composed of first to fourth layers between five conductive layers 6A, 6B, 6C, 6D, and 6E. 3, 4 and 5 are arranged. The dielectric layer 2 located in the lowermost layer (first layer) and the dielectric constant (ε H ) of the dielectric film 5 located in the uppermost layer (fourth layer) are the second layer disposed between them. Similarly, the dielectric film 3 and the third-layer dielectric film 4 are formed so as to be higher in dielectric constant (ε L ).

第1層の誘電体フィルム2の一方の下面に設けられた導電層6Aに入力端子1aを形成する入力電極6aとグランド端子1cを形成するグランド電極6cとが設けられ、第4層の誘電体フィルム5の一方の上面に設けられた導電層6Eに出力端子1bを形成する出力電極6bが形成されている。   An input electrode 6a for forming the input terminal 1a and a ground electrode 6c for forming the ground terminal 1c are provided on the conductive layer 6A provided on one lower surface of the first dielectric film 2, and a fourth dielectric layer is provided. An output electrode 6b for forming an output terminal 1b is formed on a conductive layer 6E provided on one upper surface of the film 5.

そして、第1層の誘電体フィルム2と第2層の誘電体フィルム3との間には導電層6Bが設けられており、これらの間に設けられた高い誘電率からなる誘電体フィルム2を介して対向する部分に平行平板型のコンデンサC1が形成されている。   A conductive layer 6B is provided between the first dielectric film 2 and the second dielectric film 3, and the dielectric film 2 having a high dielectric constant provided therebetween is provided. A parallel plate type capacitor C1 is formed in a portion facing each other.

入力電極6aと出力電極6bとの間は、積層体1Aを形成する第1層ないし第4層の誘電体フィルム2,3,4,5に板厚方向に形成されたビアホール8a,8b,8cおよび8dとこれらの内部に埋設された導体8A,8Aにより導通接続されている。なお、導電層6Bには貫通孔6B1が形成されており、ビアホール8a,8bは貫通孔6B1内に形成されている。したがって、ビアホール8a,8bの導体8Aと導電層6Bとは絶縁された状態にある。   Between the input electrode 6a and the output electrode 6b, via holes 8a, 8b, and 8c formed in the plate thickness direction in the first to fourth dielectric films 2, 3, 4, and 5 forming the laminated body 1A. And 8d and the conductors 8A and 8A embedded therein are electrically connected. The conductive layer 6B has a through hole 6B1, and the via holes 8a and 8b are formed in the through hole 6B1. Therefore, the conductor 8A of the via holes 8a and 8b and the conductive layer 6B are in an insulated state.

また第2層の誘電体フィルム3と第3層の誘電体フィルム4との間に設けられた導電層6Cには、コイルL1を形成する螺旋状の平面コイル7が設けられている。平面コイル7の中心側の一方の端子はビアホール8b,8c内に埋設された導体8A,8Aに導通接続されている。そして、平面コイル7の外周側に位置する他方の端子7bは、第2層である誘電体フィルム3に形成された導電層6Bにビアホール8dおよび導体8Aを介して接続され、さらに第1層である誘電体フィルム2に形成されたグランド電極6cにビアホール8eおよび導体8Aを介して接続されている。   The conductive layer 6C provided between the second dielectric film 3 and the third dielectric film 4 is provided with a spiral planar coil 7 that forms the coil L1. One terminal on the center side of the planar coil 7 is conductively connected to conductors 8A and 8A embedded in the via holes 8b and 8c. The other terminal 7b located on the outer peripheral side of the planar coil 7 is connected to the conductive layer 6B formed on the dielectric film 3 as the second layer via the via hole 8d and the conductor 8A, and further on the first layer. A ground electrode 6c formed on a certain dielectric film 2 is connected via a via hole 8e and a conductor 8A.

この実施の形態でもコンデンサC1は、高い誘電率(εH)を有する第1層の誘電体フィルム2の上下の面に一対の電極をそれぞれ対向配置することにより形成されるため、コンデンサC1,C2の静電容量を大きくすることができる。 Also in this embodiment, the capacitor C1 is formed by disposing a pair of electrodes facing each other on the upper and lower surfaces of the first dielectric film 2 having a high dielectric constant (ε H ). Can be increased in capacitance.

さらに平面コイル7を、低い誘電率(εL)を有する第2,3層の誘電体フィルム3,4の間に形成するようにしたため、平面コイル7のコイルL1に結合される寄生容量を小さくすることができ、コイルC1としての機能、さらにはバンドパスフィルタ(BPF)としての機能を十分に発揮することが可能である。 Further, since the planar coil 7 is formed between the second and third dielectric films 3 and 4 having a low dielectric constant (ε L ), the parasitic capacitance coupled to the coil L1 of the planar coil 7 is reduced. Therefore, the function as the coil C1 and the function as the band-pass filter (BPF) can be sufficiently exhibited.

(第5の実施の形態)
図6は本発明の第5の実施の形態として機能シートに形成されたトラップ回路を示しており、(A)はトラップ回路の等価回路図、(B)は機能シートの断面図である。
(Fifth embodiment)
FIG. 6 shows a trap circuit formed on a functional sheet as a fifth embodiment of the present invention, where (A) is an equivalent circuit diagram of the trap circuit and (B) is a cross-sectional view of the functional sheet.

図6(A)に示すように、この機能シート10Eには、入力端子1aと出力端子1bとを結ぶ信号ラインとグランド端子1cと間にコンデンサC1とコイルL1とが直列に接続されてなるトラップ回路が形成されている。   As shown in FIG. 6A, the functional sheet 10E has a trap in which a capacitor C1 and a coil L1 are connected in series between a signal line connecting the input terminal 1a and the output terminal 1b and the ground terminal 1c. A circuit is formed.

図6(B)に示すように、この機能シート10Eも上記同様に5層の導電層6A,6B,6C,6D,6Eの間に、第1ないし第4の誘電体フィルム2,3,4,5がそれぞれ配置された構成である。そして、最下層(第1層)に位置する誘電体フィルム2と最上層(第4層)に位置する誘電体フィルム5の誘電率(εH)が、これらの間に配置された第2層の誘電体フィルム3および第3層の誘電体フィルム4の誘電率(εL)よりも高くなるように形成されている点も上記同様である。 As shown in FIG. 6B, this functional sheet 10E also has the first to fourth dielectric films 2, 3, 4 between the five conductive layers 6A, 6B, 6C, 6D, 6E as described above. , 5 are arranged. The dielectric layer 2 located in the lowermost layer (first layer) and the dielectric constant (ε H ) of the dielectric film 5 located in the uppermost layer (fourth layer) are the second layer disposed between them. Similarly, the dielectric film 3 and the third-layer dielectric film 4 are formed so as to be higher in dielectric constant (ε L ).

第1層の誘電体フィルム2の一方の下面に設けられた導電層6Aに入力端子1aを形成する入力電極6aとグランド端子1cを形成するグランド電極6cとが設けられ、第4層の誘電体フィルム5の一方の上面に設けられた導電層6Eに出力端子1bを形成する出力電極6bが形成されている。   An input electrode 6a for forming the input terminal 1a and a ground electrode 6c for forming the ground terminal 1c are provided on the conductive layer 6A provided on one lower surface of the first dielectric film 2, and a fourth dielectric layer is provided. An output electrode 6b for forming an output terminal 1b is formed on a conductive layer 6E provided on one upper surface of the film 5.

入力電極6aと出力電極6bとの間は、積層体1Aを形成する第1層ないし第4層である誘電体フィルム2,3,4,5に板厚方向に形成されたビアホール8a,8b,8cおよび8dとこれらの内部に埋設された導体8A,8Aにより導通接続されている。   Between the input electrode 6a and the output electrode 6b, via holes 8a, 8b, which are formed in the plate thickness direction in the dielectric films 2, 3, 4 and 5 which are the first to fourth layers forming the laminated body 1A, 8c and 8d and the conductors 8A and 8A embedded therein are electrically connected.

なお、第1層の誘電体フィルム2と第2層の誘電体フィルム3との間に形成された導電層6Bには貫通孔6B1が形成されており、ビアホール8a,8bはこの中を通っている。同様に、第3層の誘電体フィルム4と第4層の誘電体フィルム5との間に形成された導電層6Dにも貫通孔6D1が形成されており、ビアホール8c,8dはこの中を通っている。したがって、ビアホール8a,8bの導体8Aと導電層6Bとは絶縁された状態にあり、同様にビアホール8c,8dの導体8Aと導電層6Dとは絶縁された状態にある。   A through hole 6B1 is formed in the conductive layer 6B formed between the first dielectric film 2 and the second dielectric film 3, and the via holes 8a and 8b pass therethrough. Yes. Similarly, a through hole 6D1 is also formed in the conductive layer 6D formed between the third dielectric film 4 and the fourth dielectric film 5, and the via holes 8c and 8d pass therethrough. ing. Therefore, the conductor 8A and the conductive layer 6B in the via holes 8a and 8b are insulated from each other, and similarly, the conductor 8A and the conductive layer 6D in the via holes 8c and 8d are insulated from each other.

また第2層の誘電体フィルム3と第3層の誘電体フィルム4との間に設けられた導電層6Cには、コイルL1を形成する螺旋状の平面コイル7が設けられている。平面コイル7の中心側の一方の端子7aの上下の面は、ビアホール8b,8c内の導体8A,8Aにそれぞれ導通接続されている。そして、平面コイル7の外周側に位置する他方の端子7bは、同じ導電層6Cに形成された平面電極7Aに接続されている。な、平面コイル7の端子7bは平面電極7Aの一部を形成している。すなわち、平面電極7Aは,平面コイル7の他方の端子7bに連続するとともに比較的広い面積を有して形成されている。このため、平面電極7Aの下面と第2層の誘電体フィルム3を介して対向する導電部6Bの上面との間にはコンデンサC11が形成され、同じく平面電極7Aの上面と第3層の誘電体フィルム4を介して対向する導電部6Dの下面との間にはコンデンサC12が形成されている。   The conductive layer 6C provided between the second dielectric film 3 and the third dielectric film 4 is provided with a spiral planar coil 7 that forms the coil L1. The upper and lower surfaces of one terminal 7a on the center side of the planar coil 7 are electrically connected to the conductors 8A and 8A in the via holes 8b and 8c, respectively. The other terminal 7b located on the outer peripheral side of the planar coil 7 is connected to the planar electrode 7A formed on the same conductive layer 6C. The terminal 7b of the planar coil 7 forms part of the planar electrode 7A. That is, the planar electrode 7A is formed to be continuous with the other terminal 7b of the planar coil 7 and have a relatively large area. For this reason, a capacitor C11 is formed between the lower surface of the planar electrode 7A and the upper surface of the conductive portion 6B facing each other through the second-layer dielectric film 3, and the upper surface of the planar electrode 7A and the third-layer dielectric are similarly formed. A capacitor C12 is formed between the lower surface of the conductive portion 6D facing each other through the body film 4.

導電層6Bと導電層6Dとは、ビアホール8eおよび導体8Aを介して互いに接続されてグランド端子1cを形成するグランド電極6cに接続されている。このため、コンデンサC11とコンデンサC12とは並列接続されており、これにより1つのコンデンサC1(=C11+C12)が形成されている。   The conductive layer 6B and the conductive layer 6D are connected to each other via a via hole 8e and a conductor 8A, and are connected to a ground electrode 6c that forms a ground terminal 1c. For this reason, the capacitor C11 and the capacitor C12 are connected in parallel, so that one capacitor C1 (= C11 + C12) is formed.

この実施の形態では、平面電極7Aと、その上下に位置する誘電率の低い誘電体フィルム3,4を挟んで対向する導電層6B,6Dと間にコンデンサC11とコンデンサC12がそれぞれ形成されているが、これらを並列接続する構成とすることにより、結果としてコンデンサC1の静電容量を大きくすることが可能である。   In this embodiment, a capacitor C11 and a capacitor C12 are respectively formed between the planar electrode 7A and the conductive layers 6B and 6D facing each other with the dielectric films 3 and 4 having a low dielectric constant positioned above and below the planar electrode 7A. However, by configuring them in parallel, it is possible to increase the capacitance of the capacitor C1 as a result.

また平面コイル7は、上記同様に低い誘電率(εL)の誘電体フィルム3,4の間に形成されているため、平旋状コイル7に結合される寄生容量が大きくなることがなく、トラップ回路として十分な機能を発揮することが可能である Since the planar coil 7 is formed between the dielectric films 3 and 4 having a low dielectric constant (ε L ) as described above, the parasitic capacitance coupled to the planar coil 7 does not increase. Can function sufficiently as a trap circuit

(第6の実施の形態)
図7は本発明の第6の実施の形態として機能シートに形成された貫通コンデンサを示しており、(A)は貫通コンデンサの等価回路図、(B)は機能シートの断面図である。
(Sixth embodiment)
FIG. 7 shows a feedthrough capacitor formed on a functional sheet as a sixth embodiment of the present invention, where (A) is an equivalent circuit diagram of the feedthrough capacitor and (B) is a cross-sectional view of the functional sheet.

図7(A)に示すように、この機能シート10Fには、入力端子1aと出力端子1bとを結ぶ信号ラインとグランド端子1cと間にコンデンサC1を接続することにより形成される貫通コンデンサが形成されている。   As shown in FIG. 7A, this functional sheet 10F is formed with a feedthrough capacitor formed by connecting a capacitor C1 between a signal line connecting the input terminal 1a and the output terminal 1b and the ground terminal 1c. Has been.

図7(B)に示すように、この機能シート10Fも上記同様に5層の導電層6A,6B,6C,6D,6Eの間に、第1層ないし第3層からなる誘電体フィルム2,3,4,5がそれぞれ配置された構成である。さらに最下層(第1層)に位置する誘電体フィルム2と最上層(第4層)に位置する誘電体フィルム5の誘電率(εH)が、これらの間に配置された第2層の誘電体フィルム3および第3層の誘電体フィルム4の誘電率(εL)よりも高くなるように形成されている点も上記同様である。 As shown in FIG. 7 (B), this functional sheet 10F also has a dielectric film 2, consisting of the first to third layers, between the five conductive layers 6A, 6B, 6C, 6D, and 6E, as described above. 3, 4 and 5 are arranged. Furthermore, the dielectric constant (ε H ) of the dielectric film 2 located in the lowermost layer (first layer) and the dielectric film 5 located in the uppermost layer (fourth layer) is the same as that of the second layer disposed between them. The point that the dielectric film 3 and the dielectric film 4 of the third layer are formed so as to be higher than the dielectric constant (ε L ) is the same as described above.

第1層の誘電体フィルム2の一方の下面に設けられた導電層6Aに入力端子1aを形成する入力電極6aが設けられ、第4層の誘電体フィルム5の一方の上面に設けられた導電層6Eに出力端子1bを形成する出力電極6bが形成されている。   The conductive layer 6A provided on one lower surface of the first dielectric film 2 is provided with an input electrode 6a for forming the input terminal 1a, and the conductive film provided on one upper surface of the fourth dielectric film 5 is provided. An output electrode 6b for forming the output terminal 1b is formed on the layer 6E.

入力電極6aと出力電極6bとの間は、積層体1Aを形成する第1層ないし第4層の誘電体フィルム2,3,4,5を板厚方向に貫いて形成されたビアホール8a,8b,8c,dと,これらの内部に埋設された導体8A,8Aにより導通接続されている。   Between the input electrode 6a and the output electrode 6b, via holes 8a and 8b formed through the first to fourth dielectric films 2, 3, 4, and 5 forming the laminated body 1A in the plate thickness direction. , 8c, d and the conductors 8A, 8A embedded therein are electrically connected.

なお、第1層の誘電体フィルム2と第2層の誘電体フィルム3との間に形成された導電層6Bには貫通孔6B1が形成されており、ビアホール8a,8bはこの中を通っている。同様に、第3層の誘電体フィルム4と第4層の誘電体フィルム5との間に形成されたの導電層6Dには貫通孔6D1が形成されており、ビアホール8c,8dこの中を通っている。したがって、ビアホール8a,8bの導体8Aと導電層6Bとは絶縁された状態にあり、同様にビアホール8c,8dの導体8Aと導電層6Dとは絶縁された状態にある。   A through hole 6B1 is formed in the conductive layer 6B formed between the first dielectric film 2 and the second dielectric film 3, and the via holes 8a and 8b pass therethrough. Yes. Similarly, a through-hole 6D1 is formed in the conductive layer 6D formed between the third-layer dielectric film 4 and the fourth-layer dielectric film 5, and the via holes 8c and 8d pass through the through-hole 6D1. ing. Therefore, the conductor 8A and the conductive layer 6B in the via holes 8a and 8b are insulated from each other, and similarly, the conductor 8A and the conductive layer 6D in the via holes 8c and 8d are insulated from each other.

また第2層の誘電体フィルム3と第3層の誘電体フィルム4との間に形成された導電層6Cには平面電極6fが形成されている。この平面電極6fの下面にはビアホール8bの導体8Aが接続され、平面電極6fの上面にはビアホール8cの導体8Aが接続されている。したがって、入力電極6a、平面電極6fおよび出力電極6bは同電位に設定されている。   A planar electrode 6f is formed on the conductive layer 6C formed between the second dielectric film 3 and the third dielectric film 4. The conductor 8A of the via hole 8b is connected to the lower surface of the planar electrode 6f, and the conductor 8A of the via hole 8c is connected to the upper surface of the planar electrode 6f. Therefore, the input electrode 6a, the planar electrode 6f, and the output electrode 6b are set to the same potential.

そして、入力電極6aと導電層6Bとが第1層の誘電体フィルム2を介して対向する領域にコンデンサC11が形成され、導電層6Bと平面電極6fとが第2層の誘電体フィルム3を介して対向する領域にコンデンサC12が形成され、平面電極6fと導電層6Dとが第3層の誘電体フィルム4を介して対向する領域にコンデンサC13が形成され、導電層6Dと出力電極6bが第4層の誘電体フィルム5を介して対向する領域にコンデンサC14が形成されている。   A capacitor C11 is formed in a region where the input electrode 6a and the conductive layer 6B face each other with the first dielectric film 2 interposed therebetween, and the conductive layer 6B and the planar electrode 6f connect the second dielectric film 3 to each other. The capacitor C12 is formed in a region opposed to each other, the planar electrode 6f and the conductive layer 6D are formed in a region opposed to each other through the third dielectric film 4, and the conductive layer 6D and the output electrode 6b are formed. Capacitors C14 are formed in regions facing each other via the fourth dielectric film 5.

そして、導電層6Bと導電層6Dが、ビアホール8a,8bの導体8A,8Aによりグランド端子1cを形成するグランド電極6cに接続されることにより、コンデンサC11、C12、C13、C14が並列接続されて1つのコンデンサC1が形成されている。   The conductive layer 6B and the conductive layer 6D are connected to the ground electrode 6c that forms the ground terminal 1c by the conductors 8A and 8A of the via holes 8a and 8b, so that the capacitors C11, C12, C13, and C14 are connected in parallel. One capacitor C1 is formed.

この実施の形態では、第1層と第4層に誘電率の高い誘電体フィルム2,5による静電容量の大きなコンデンサC11とコンデンサC14が形成され、第2層と第3層に誘電率の低い誘電体フィルム3,4による静電容量の小さなコンデンサC12とコンデンサC13が形成されている。この貫通コンデンサC1の全体容量は、C1=C11+C12+C13+C14となり、静電容量の大きな貫通コンデンサとすることが可能である。   In this embodiment, capacitors C11 and C14 having a large capacitance are formed by the dielectric films 2 and 5 having a high dielectric constant in the first layer and the fourth layer, and a dielectric constant is formed in the second layer and the third layer. Capacitors C12 and C13 having a small capacitance are formed by the low dielectric films 3 and 4. The overall capacitance of the feedthrough capacitor C1 is C1 = C11 + C12 + C13 + C14, and a feedthrough capacitor having a large capacitance can be obtained.

以上のように本願発明では、積層体1Aの内部に様々な積層構造とすることにより、一枚の機能シート10に様々な電気回路を備えることができる。   As described above, in the present invention, various electrical circuits can be provided on one functional sheet 10 by forming various laminated structures inside the laminated body 1A.

次に、機能シート10の使用方法について説明する。
図8は機能シートの使用状態の一例を示す斜視図である。
Next, a method for using the function sheet 10 will be described.
FIG. 8 is a perspective view showing an example of a usage state of the function sheet.

図8に示すように、機能シート10は、マザー回路基板30と高周波デバイス20との間に設置されて使用される。すなわち、マザー回路基板30の上に機能シート10が固定され、機能シート10の上に高周波デバイス20が固定される。マザー回路基板30と機能シート10との固定は、マザー回路基板30上に形成されている接続電極31と、機能シート10Aの下面側に設けられた入力電極6aまたはグランド電極6cとの間が半田ボール11,11を介してそれぞれ半田付けされる。   As shown in FIG. 8, the functional sheet 10 is installed and used between the mother circuit board 30 and the high-frequency device 20. That is, the functional sheet 10 is fixed on the mother circuit board 30, and the high-frequency device 20 is fixed on the functional sheet 10. The mother circuit board 30 and the functional sheet 10 are fixed by soldering between the connection electrode 31 formed on the mother circuit board 30 and the input electrode 6a or the ground electrode 6c provided on the lower surface side of the functional sheet 10A. Soldering is performed via balls 11 and 11, respectively.

また機能シート10と高周波デバイス20との間は、高周波デバイス20の底面に設けられた半田ボール21が機能シート10Aの上面側に設けられた出力電極6bに半田付けされることにより固定される。   The functional sheet 10 and the high-frequency device 20 are fixed by soldering the solder balls 21 provided on the bottom surface of the high-frequency device 20 to the output electrode 6b provided on the upper surface side of the functional sheet 10A.

このように、マザー回路基板30と高周波デバイス20との間に機能シート10を介在させるだけで、高周波デバイス20の各端子とマザー回路基板30上の端子との間に上記実施の形態に示したいずれかの回路を配置することができ、フィルタ回路を形成するチップ部品を搭載するためのスペースを確保する必要がなくなる。このため、高周波デバイス20を搭載したマザー回路基板全体の小型化、薄型化または軽量化することができる。しかも高周波デバイス20やマザー回路基板30の仕様が変更された場合であっても、介在させる機能シート10を選択し直すだけで必要な回路を容易に提供することができる。   As described above, the functional sheet 10 is interposed between the mother circuit board 30 and the high-frequency device 20, and the above-described embodiment is shown between each terminal of the high-frequency device 20 and the terminal on the mother circuit board 30. Any one of the circuits can be arranged, and it is not necessary to secure a space for mounting the chip parts forming the filter circuit. For this reason, the whole mother circuit board on which the high-frequency device 20 is mounted can be reduced in size, thickness, or weight. Moreover, even when the specifications of the high-frequency device 20 and the mother circuit board 30 are changed, a necessary circuit can be easily provided by simply selecting the function sheet 10 to be interposed.

また本発明では、第1,4層を誘電率の高い誘電体フィルム2,5とし、第2,3層を誘電率の低い誘電体フィルム3,4とした積層体1Aとすることにより、上述したような複数種類の回路を一枚の機能シート上に配設することが可能である。   In the present invention, the first and fourth layers are the dielectric films 2 and 5 having a high dielectric constant, and the second and third layers are the laminate 1A having the dielectric films 3 and 4 having a low dielectric constant. It is possible to arrange a plurality of types of circuits on one functional sheet.

このため、このような一枚の機能シートをマザー回路基板上に設置するだけで、マザー回路基板30上の必要な箇所に必要な回路を容易に提供することが可能となる。   For this reason, it is possible to easily provide a necessary circuit at a necessary location on the mother circuit board 30 by simply installing such a functional sheet on the mother circuit board.

このため、マザー回路基板とマザー回路基板の設置される他の電子部品、またはマザー回路基板に接続されるその他の回路基板との間のインピーダンスとを容易にマッチングさせることが可能となる。またマザー回路基板自体の設計変更や高周波デバイスの追加などによる設計変更があっても、柔軟に対処することができるようになる。   For this reason, it becomes possible to easily match the impedance between the mother circuit board and another electronic component on which the mother circuit board is installed, or another circuit board connected to the mother circuit board. In addition, even if there is a design change of the mother circuit board itself or a design change due to the addition of a high-frequency device, it becomes possible to cope flexibly.

なお、上記各実施の形態では積層体1Aが、第1ないし第4の誘電体フィルムからなるものとして説明したが、本発明はこれに限られるものではなく、それ以上の多層構造であってもよい。   In each of the above embodiments, the laminated body 1A has been described as being composed of the first to fourth dielectric films. However, the present invention is not limited to this, and the multilayer structure may be more than that. Good.

また上記各実施の形態では、グランド端子1cを形成するグランド電極6cを、機能シート10の下面(最下層の下面)側に設けた構成を示して説明したが、本発明はこれに限られるものではなく、グランド電極6cは機能シート10の上面(最上層の上面)側に設けた構成とするものであってもよい。   In each of the above embodiments, the ground electrode 6c forming the ground terminal 1c has been described on the lower surface (the lowermost surface of the lowermost layer) side of the functional sheet 10, but the present invention is not limited to this. Instead, the ground electrode 6 c may be configured to be provided on the upper surface (upper surface of the uppermost layer) side of the functional sheet 10.

本発明の機能シート1の基本的構成を示す断面図、Sectional drawing which shows the basic composition of the functional sheet 1 of this invention, 本発明の第1の実施の形態としての機能シートに形成されたローパスフィルタ(LPF)を示し、(A)はローパスフィルタの等価回路図、(B)は機能シートの断面図、The low-pass filter (LPF) formed in the functional sheet | seat as the 1st Embodiment of this invention is shown, (A) is an equivalent circuit schematic of a low-pass filter, (B) is sectional drawing of a functional sheet | seat, 本発明の第2の実施の形態としての機能シートに形成されたハイパスフィルタ(HPF)を示し、(A)はハイパスフィルタの等価回路図、(B)は機能シートの断面図、The high pass filter (HPF) formed in the functional sheet as the second embodiment of the present invention is shown, (A) is an equivalent circuit diagram of the high pass filter, (B) is a sectional view of the functional sheet, 本発明の第3の実施の形態として機能シートに形成されたハイパスフィルタ(HPF)を示し、(A)はハイパスフィルタの等価回路図、(B)は機能シートの断面図、The high pass filter (HPF) formed in the functional sheet as the third embodiment of the present invention is shown, (A) is an equivalent circuit diagram of the high pass filter, (B) is a sectional view of the functional sheet, 本発明の第4の実施の形態として機能シートに形成されたバンドパスフィルタ(BPF)の一部を示しており、(A)はバンドパスフィルタの一部の等価回路図、(B)は機能シートの断面図、The part of the band pass filter (BPF) formed in the function sheet | seat as the 4th Embodiment of this invention is shown, (A) is an equivalent circuit schematic of a part of band pass filter, (B) is a function. Sectional view of the sheet, 本発明の第5の実施の形態として機能シートに形成されたトラップ回路を示しており、(A)はトラップ回路の等価回路図、(B)は機能シートの断面図、The trap circuit formed in the function sheet | seat as the 5th Embodiment of this invention is shown, (A) is an equivalent circuit schematic of a trap circuit, (B) is sectional drawing of a function sheet | seat, 本発明の第6の実施の形態として機能シートに形成された貫通コンデンサを示しており、(A)は貫通コンデンサの等価回路図、(B)は機能シートの断面図、The feedthrough capacitor formed in the functional sheet as a 6th embodiment of the present invention is shown, (A) is an equivalent circuit diagram of a feedthrough capacitor, (B) is a sectional view of a functional sheet, 機能シートの使用状態の一例を示す斜視図、The perspective view which shows an example of the use condition of a function sheet,

符号の説明Explanation of symbols

1A 積層体
1a 入力端子
1b 出力端子
1c グランド端子
2 誘電率の高い誘電体フィルム(第1層)
3 誘電率の低い誘電体フィルム(第2層)
4 誘電率の低い誘電体フィルム(第3層)
5 誘電率の高い誘電体フィルム(第4層)
6A,6B,6C,6D,6E 導電層
6a 入力電極
6b 出力電極
6c グランド電極
7 平面コイル
7a コイルの中心側の端部
7b コイルの外周側の端部
8a,8b,8c,8d,8e ビアホール
8A ビアホール内の導体
10,10A,10B,10C,10D,10E,10F 機能シート
20 高周波デバイス
30 マザー回路基板
1A Laminate 1a Input terminal 1b Output terminal 1c Ground terminal 2 Dielectric film having a high dielectric constant (first layer)
3 Dielectric film with low dielectric constant (second layer)
4 Dielectric film with low dielectric constant (third layer)
5 Dielectric film with high dielectric constant (4th layer)
6A, 6B, 6C, 6D, 6E Conductive layer 6a Input electrode 6b Output electrode 6c Ground electrode 7 Planar coil 7a Center end 7b Coil outer end 8a, 8b, 8c, 8d, 8e Via hole 8A Conductor 10, 10A, 10B, 10C, 10D, 10E, 10F in via hole Function sheet 20 High frequency device 30 Mother circuit board

Claims (12)

複数の誘電体フィルムが積層された積層体と、各誘電体フィルムの上下の面上にそれぞれ所定のパターンで形成された導電層と、を備えた機能シートであって、
前記積層体の最上層と最下層が、それ以外の層よりも高い誘電率からなる誘電体フィルムで形成されていることを特徴とする機能シート。
A functional sheet comprising a laminate in which a plurality of dielectric films are laminated, and conductive layers formed in a predetermined pattern on the upper and lower surfaces of each dielectric film,
A functional sheet, wherein the uppermost layer and the lowermost layer of the laminate are formed of a dielectric film having a higher dielectric constant than the other layers.
前記積層体が4層構造である請求項1記載の機能シート。   The functional sheet according to claim 1, wherein the laminate has a four-layer structure. 前記積層体の最上層と最下層が、それ以外の層よりも薄く形成されている請求項1または2記載の機能シート。   The functional sheet according to claim 1 or 2, wherein the uppermost layer and the lowermost layer of the laminate are formed thinner than the other layers. 前記積層体の複数の箇所に、コンデンサとコイルの一方または双方が形成されている請求項1ないし3のいずれかに記載の機能シート。   The functional sheet according to any one of claims 1 to 3, wherein one or both of a capacitor and a coil are formed at a plurality of locations of the laminate. 前記コンデンサは、少なくとも1つ以上の誘電フィルムを挟んで対向配置された導電層によって形成される請求項4記載の機能シート。   The functional sheet according to claim 4, wherein the capacitor is formed by conductive layers disposed to face each other with at least one dielectric film interposed therebetween. 前記コイルが平面螺旋状である請求項4記載の機能シート。   The functional sheet according to claim 4, wherein the coil has a planar spiral shape. 前記コイルが、前記最上層及び前記最下層以外の層とのみ接するように形成されている請求項6記載の機能シート。   The functional sheet according to claim 6, wherein the coil is formed so as to contact only a layer other than the uppermost layer and the lowermost layer. 前記誘電体フィルムには、内部に導体が埋設されたビアホールが形成されており、前記コンデンサの一端と前記コイルの一端とが、前記ビアホール内の導体を介して導通接続される請求項4ないし7のいずれかに記載の機能シート。   8. The dielectric film is provided with a via hole in which a conductor is embedded, and one end of the capacitor and one end of the coil are conductively connected via a conductor in the via hole. The functional sheet in any one of. 複数の前記コンデンサと複数の前記コイルとにより、複数のフィルタ回路が設けられている請求項4ないし8のいずれかに記載の機能シート。   The functional sheet according to claim 4, wherein a plurality of filter circuits are provided by the plurality of capacitors and the plurality of coils. 前記フィルタ回路は、ローパスフィルタ、ハイパスフィルタ、バンドパスフィルタ、トラップのいずれかを含む請求項9記載の機能シート。   The function sheet according to claim 9, wherein the filter circuit includes any one of a low-pass filter, a high-pass filter, a band-pass filter, and a trap. 前記最上層の積層体の外面に形成された導電層には、他の基板との入出力に用いる入出力電極が形成されており、前記最下層の積層体の外面に形成された導電層には、前記入出力電極に対応する位置に、別の基板との入出力に用いる入出力電極が形成されている請求項1ないし10のいずれかに記載の機能シート。   In the conductive layer formed on the outer surface of the uppermost layer stack, input / output electrodes used for input / output with other substrates are formed, and in the conductive layer formed on the outer surface of the lowermost layer stack, The function sheet according to claim 1, wherein an input / output electrode used for input / output with another substrate is formed at a position corresponding to the input / output electrode. 前記積層体の最上層または最下層の内面に形成され、前記入出力電極とコンデンサを形成する前記導電層の少なくとも一部がグランド端子と接続されている請求項11記載の機能シート。   The functional sheet according to claim 11, wherein the functional sheet is formed on an inner surface of an uppermost layer or a lowermost layer of the laminate, and at least a part of the conductive layer forming the input / output electrode and the capacitor is connected to a ground terminal.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2017017995A (en) * 2016-10-12 2017-01-19 ローム株式会社 Wireless power supply device having high-speed switching operation circuit, and ac/dc power supply circuit

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