JP2009187681A - 有機薄膜の形成方法及び有機デバイス - Google Patents
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Abstract
【解決手段】先ず、導電性高分子材料とこの導電性高分子材料の溶解性を高めるための絶縁性の高分子材料からなるドーパントとを溶媒に溶解した溶液を基板Wの表面に供給すると共に、当該基板Wを回転させ、その遠心力により溶液を展伸させてコロイド粒子の凝集体を基板Wの外に飛散させ、前記基板Wの表面に1次コロイド粒子の単層からなる塗布膜6を形成する。続いて前記基板Wを加熱して前記塗布膜6中の溶媒を除去し、有機薄膜61を形成する。また前記溶液を基板Wの中心部に供給する前に、当該溶液に対して基板Wの表面の濡れ性を高めるためにプリウエット液Sを供給すると共に、当該基板Wを回転させて前記プリウエット液Sを基板Wの表面に塗布してもよい。
【選択図】図7
Description
前記基板を加熱して前記塗布膜中の溶媒を除去し、有機薄膜を形成する工程と、を含むことを特徴とする。
S プリウエット液
W ウエハ
1 塗布装置
20 塗布液供給ノズル
30 プリウエット用ノズル
4 減圧乾燥装置
5 PEDOT/PSSコロイド粒子
6 塗布膜
61 有機薄膜
9 有機電界発光素子
90 ガラス基板
91 陽極
92 ホール注入層
93 有機発光層
94 陰極
100 上部透明基板
101 上部透明電極層
102 下部透明基板
103 下部透明電極層
104 ドットスペーサ
105 シール部材
106 タッチパネル
120 ゲート電極
121 ゲート絶縁膜
122 ソース電極
123 ドレイン電極
124 有機薄膜
125 有機トランジスタ
Claims (13)
- 導電性高分子材料とこの導電性高分子材料の溶解性を高めるための絶縁性の高分子材料からなるドーパントとを溶媒に溶解した溶液を基板の表面に供給すると共に、当該基板を回転させ、その遠心力により溶液を展伸させてコロイド粒子の凝集体を基板の外に飛散させ、前記基板の表面に1次コロイド粒子の単層からなる塗布膜を形成する工程と、
前記基板を加熱して前記塗布膜中の溶媒を除去し、有機薄膜を形成する工程と、を含むことを特徴とする有機薄膜の形成方法。 - 前記溶液を基板の中心部に供給する前に、当該溶液に対して基板の表面の濡れ性を高めるためにプリウエット液を供給すると共に、当該基板を回転させて前記プリウエット液を基板の表面に塗布する工程を行うことを特徴とする請求項1に記載の有機薄膜の形成方法。
- 前記基板を加熱する工程は、減圧雰囲気下で行われることを特徴とする請求項1または2に記載の有機薄膜の形成方法。
- 前記導電性高分子材料はポリチオフェンであり、前記ドーパントはポリスチレンスルホン酸であることを特徴とする請求項1ないし3のいずれか一つに記載の有機薄膜の形成方法。
- 前記基板の回転数は3000rpm以上であることを特徴とする請求項4に記載の有機薄膜の形成方法。
- 前記有機薄膜は、有機デバイスの一部を構成することを特徴とする請求項1ないし5のいずれか一つに記載の有機薄膜の形成方法。
- 前記有機薄膜は、有機電界発光素子のホール注入層であることを特徴とする請求項6に記載の有機薄膜の形成方法。
- 前記有機薄膜は、タッチパネルの透明電極であることを特徴とする請求項6に記載の有機薄膜の形成方法。
- 前記有機薄膜は、有機トランジスタのチャンネル部または電極であることを特徴とする請求項6に記載の有機薄膜の形成方法。
- 請求項1ないし5のいずれか一つに記載の有機薄膜の形成方法により形成された有機薄膜を有することを特徴とする有機デバイス。
- 前記有機薄膜は、有機電界発光素子のホール注入層であることを特徴とする請求項10に記載の有機デバイス。
- 前記有機薄膜は、タッチパネルの透明電極であることを特徴とする請求項10に記載の有機デバイス。
- 前記有機薄膜は、有機トランジスタのチャンネル部または電極であることを特徴とする請求項10に記載の有機デバイス。
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