JP2009186688A - 波長合分波器 - Google Patents

Abstract

【課題】波長合分波器において、優れた温度無依存性を実現するアサーマル化技術を提供する。
【解決手段】本発明の一実施形態による波長合分波器３００は、マッハツェンダ干渉計と、アレイ導波路回折格子とを備え、実効屈折率の温度依存性が導波路と異なる材料３１４，３１８などにより、透過波長の１次の温度依存性が補償されている。このような波長合分波器において、マッハツェンダ干渉計のアーム導波路４０３に設けたヒータ３１６により、透過波長の２次以上の温度依存性を補償することができる。具体的には、波長合分波器における透過波長の２次以上の温度依存性は、波長合分波器に設けたサーミスタによる測定温度に応じて、ヒータを制御することによって補償することができる。あるいは、波長合分波器における透過波長の２次以上の温度依存性は、波長合分波器のモニタポートの波長変動を抑えるようにヒータを制御することによって補償することができる。
【選択図】図３

Description

本発明は、波長合分波器に関し、特に、マッハツェンダ干渉計（ＭＺＩ）とアレイ導波路回折格子（ＡＷＧ）とから構成された、透過スペクトルが高い平坦性を有し、かつ低損失な波長合分波器を温度無依存（アサーマル）化することに関する。

インターネットをはじめとする通信需要の増大に対応するためには、通信容量の増大を可能にする通信技術の開発が望まれている。このような状況の中、光通信技術においては、さらなる通信容量の増大に向けて、高密度波長分割多重（Ｄ−ＷＤＭ）技術の開発が進められている。

光通信システムの進展に伴い、従来の２点間を接続するpoint-to-pointのシステムから、リング網やメッシュ網など、多地点を接続しフレキシブルに通信路を切り替え可能な通信システムが構築され始めている。従来のpoint-to-pointのシステムでは、光信号が接続点で必ず電気信号に復調されていたが、このような高度なネットワークでは、光信号が電気信号に復調される事なく、光信号のまま、多地点を通過する事が求められている。このため、波長合分波器としては、透過スペクトルが高い平坦性を有し、かつ低損失であることが求められている。このような優れた特性を有する波長合分波器として、マッハツェンダ干渉計（ＭＺＩ）とアレイ導波路回折格子（ＡＷＧ）を組み合わせた波長合分波器が知られている（特許文献１および２）。この低損失かつ平坦な透過スペクトルを有する波長合分波器により、波長合分波器を多数回通過しても光信号の劣化が小さい、あるいは波長分割多重の高密度化を図った場合でも、光信号の波長揺らぎに対して損失変動の小さい特性を得ることができる。

特許第３２５６４１８号公報 米国特許第６７２８４４６号明細書 特許第３４３６９３７号公報 特開２００１−３０５３６１号公報

ＡＷＧでは、高密度で波長を合分波するため、優れた温度無依存（アサーマル）性が要求される。すなわち、外的な温度変動によらず透過波長が変動しない事が求められる。また、透過帯域特性を平坦化したＭＺＩ付きＡＷＧでは、透過帯域幅を最大にし、かつ波長チャネル間のクロストークを最小化するためにも、優れたアサーマル性が要求される。

要求されるＡＷＧのアサーマル化のために、主に２つの技術が用いられている。1つは、実効屈折率の温度依存性がＡＷＧの導波路とは異なる樹脂などの温度補償材料を光経路内に挿入するもの（特許文献３）である。もう1つは、ＡＷＧの入力側または出力側のスラブ導波路を分断し、温度変化に対して、分断したスラブ導波路の相対位置を変化させる機械式のもの（特許文献４）である。

図７に、温度補償材料を挿入することでアサーマル化されたＡＷＧ７００を示す。ここで、７０２は入力導波路、７０４は第１のスラブ導波路、７０６はアレイ導波路、７０８は第２のスラブ導波路、７１０は出力導波路である。ＡＷＧの第１スラブ導波路７０４には、ＡＷＧにおける温度依存性を補償する温度補償材料７１２が挿入されている。

図８は、図７のＡＷＧ７００における、入力導波路７０２から出力導波路７１０の中央ポートへの透過波長の温度依存性を、アサーマル化していないＡＷＧとの比較において示す。アサーマル化されたＡＷＧにおける透過波長の温度依存性は、アサーマル化されていない場合に比べて平坦化されてはいるが、僅かな依存性が残留している。この残留温度依存性は下に凸の形状をしており、通常の屋内の使用温度範囲−５〜６５℃において、±０．０１ｎｍ程度である。しかし、屋外での使用を考慮して、使用温度範囲−４０〜８０℃を想定すると、透過波長の温度依存性は、±０．０５ｎｍ程度となる。

ＡＷＧにおける透過波長の温度依存性は、用いられる石英系ガラスの屈折率温度依存性を反映して、一般に２次以上の成分を含む。しかし、上記のアサーマル化技術は、図７の例に示すように、主に１次の温度依存性について補償するものである。そのため、２次より高次の温度依存性が残留するという問題があった。特に、アクセス系のＷＤＭ伝送システムにＡＷＧが使用される場合には、屋外環境での使用も想定して、より広い温度範囲にわたって優れたアサーマル性が要求されることになる。この場合、透過波長の２次以上の温度依存性を相殺して、より優れたアサーマル性を確保する必要がある。

本発明は、このような問題に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、波長合分波器において、極めて平坦な温度依存性、あるいは広い温度範囲での動作を実現するアサーマル化技術を提供することにある。

本発明は、このような目的を達成するために、請求項１に記載の発明は、マッハツェンダ干渉計と、アレイ導波路回折格子とを備えた波長合分波器であって、透過波長の１次の温度依存性が補償された波長合分波器において、前記マッハツェンダ干渉計のアーム導波路にヒータを備え、前記ヒータを駆動することにより、前記波長合分波器における透過波長の２次以上の温度依存性が補償されたことを特徴とする。

また、請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の波長合分波器であって、前記波長合分波器の温度を測定するサーミスタをさらに備え、前記透過波長の２次以上の温度依存性は、前記サーミスタによる測定温度に応じて、前記ヒータの駆動を制御することによって補償されることを特徴とする。

また、請求項３に記載の発明は、請求項１に記載の波長合分波器であって、前記透過波長の２次以上の温度依存性は、前記波長合分波器のモニタポートの波長変動を抑えるように前記ヒータの駆動を制御することによって補償されることを特徴とする。

また、請求項４に記載の発明は、請求項１から３のいずれかに記載の波長合分波器であって、前記マッハツェンダ干渉計および前記アレイ導波路回折格子における透過波長の１次の温度依存性は、実効屈折率の温度依存性が導波路と異なる材料を挿入することによって補償されたことを特徴とする。

また、請求項５に記載の発明は、請求項１から３のいずれかに記載の波長合分波器であって、前記マッハツェンダ干渉計における透過波長の１次の温度依存性は、実効屈折率の温度依存性が導波路と異なる材料を挿入することによって補償され、前記アレイ導波路回折格子における透過波長の１次の温度依存性は、入力側および出力側のスラブ導波路の少なくとも一方を分断し、温度変化に対して、分断したスラブ導波路の相対位置を変化させることによって補償されたことを特徴とする。

本発明によれば、マッハツェンダ干渉計とアレイ導波路回折格子とから構成される波長合分波器において、透過波長の１次の温度依存性を従来の技術で補償しながら、ＭＺＩに設けたヒータを駆動することにより、波長合分波器全体における透過波長の２次以上の温度依存性を補償することができるので、非常に優れた温度無依存性を有する波長合分波器を提供することができる。この場合、ヒータの駆動によって補償すべき透過波長の温度変動は、波長チャネル間隔の１／１０程度の微小量であり、またＭＺＩの一方のアーム導波路上のヒータを駆動するだけで補償が可能であるため、実用的な消費電力で優れた温度無依存性を実現することができる。また、ヒータ近傍のクラッド部分に断熱溝を形成することによって更なる低消費電力化が可能となる。

図１に、マッハツェンダ干渉計（ＭＺＩ）とアレイ導波路回折格子（ＡＷＧ）を組み合わせて、透過スペクトル特性を平坦化した波長分波器の一例を示す。この波長分波器１００は、入力導波路１０２と、ＭＺＩと、ＡＷＧと、複数の出力導波路１１２とから構成されている。ＭＺＩは、光スプリッタ１０３と、光路長が異なる２つのアーム導波路１０４から構成されており、この２つのアーム導波路１０４は出力において光が干渉するように近接して配置されている。また、ＡＷＧは、第１のスラブ導波路１０６と、アレイ導波路１０８と、第２のスラブ導波路１１０とから構成されている。ＭＺＩの２つのアーム導波路１０４は、その出力１０５ａおよび１０５ｂにおいて、ＡＷＧの第１のスラブ導波路１０６に接続している。

複数の波長を有する光が入力導波路１０２に入射すると、光スプリッタ１０３によりＭＺＩの２つのアーム導波路１０４に分岐され、その光路長の差により、波長に応じて位相差が生じる。この光は、ＭＺＩの出力において近接して配置された２つの導波路間で干渉し、その位相差（すなわち波長）に応じて２つの導波路の間でパワーが分配される。そのため、ＭＺＩの出力で集光する光の位置が、その位相差（波長）によって２つの導波路の間で変化することになる。

一方、ＭＺＩからＡＷＧに入射した光は、第１のスラブ導波路１０６で拡散し、それぞれのアレイ導波路１０８に入射する。アレイ導波路１０８では、導波路間の光路長の差により、波長に応じて位相差が生じる。アレイ導波路１０８を透過した光は第２のスラブ導波路１１０で干渉し、その位相差（すなわち波長）に応じてスラブ導波路１１０の出力で集光する光の位置が変化する。したがって、波長に応じて、第２のスラブ導波路１１０の出力で集光する光の位置に出力導波路１１２を設けることによって、所望の波長の光を取り出すことができる。

ここで、ＭＺＩの出力１０５ａと１０５ｂとの間で集光する光の位置が変わると、第１のスラブ導波路１０６への光の入射位置が変化し、各アレイ導波路までの光路長が変化する。そうすると、アレイ導波路１０８の導波路間の光路長が変わらなくても、波長分波器全体での光路長が変化し、第２のスラブ導波路１１０の出力で集光する光の位置が変わる。このことは、第２のスラブ導波路１１０の出力で集光する光の位置は、ＭＺＩにおける２つのアーム導波路１０４の光路長差により調整できることを意味する。すなわち、ある周波数間隔において、ＭＺＩの出力で集光する光の位置変化が、ＡＷＧの第２のスラブ導波路１１０の出力で集光する光の位置変化を相殺するように設定されていれば、第２のスラブ導波路１１０の出力で集光する光の位置は変化せず、したがって、この周波数間隔での透過スペクトル特性は平坦になる。なお、この波長分波器１００は、出力導波路１１２からそれぞれ波長の異なる光を入射すると、入力導波路１０２から波長多重された光が出射され、波長合波器として使用することができるので、以下、波長合分波器と総称する。

このような波長合分波器をアサーマル化するためには、ＭＺＩおよびＡＷＧそれぞれの透過波長の温度依存性を考慮しなければならないため、従来のアサーマル化手法をＭＺＩ、ＡＷＧの両者に適用することが考えられる。１つの方法として、ＭＺＩおよびＡＷＧそれぞれの光経路内に、実効屈折率の温度依存性が導波路と異なる温度補償材料を挿入して温度依存性を相殺することによって、アサーマル化を実現することができる。あるいは、ＭＺＩの透過波長の温度依存性は温度補償材料を挿入することで相殺する一方、ＡＷＧのスラブ導波路を分割して、温度変化に応じて分割したスラブ導波路の位置を相対的にスライドさせてＡＷＧの出力で集光する光の位置変化を相殺することによって、波長合分波器全体として、低損失化を図りつつ、アサーマル化を実現することができる。

しかしながら、上記いずれの方法によってアサーマル化を行っても、波長合分波器における透過波長の２次以上の温度依存性は残存する。これは、ＭＺＩ、ＡＷＧそれぞれをアサーマル化する従来の手法が、２次以上の温度依存性を十分に補償できていないためである。したがって、さらなるアサーマル性の改善や動作温度範囲の拡大を図るためには、残存する透過波長の２次以上の温度依存性を更に解消する必要がある。

図２は、図１に示す波長合分波器において、ＭＺＩおよびＡＷＧそれぞれについて、温度補償材料を用いてアサーマル化した場合の、ＭＺＩ、ＡＷＧ、および波長合分波器全体における透過波長の温度依存性を示す。ここで波長合分波器の波長チャンル間隔は１００ＧＨｚ（０．８ｎｍ）としている。２０１ａ、２０１ｂは、ＭＺＩにおいて、入力導波路１０２から出力１０５ａ、１０５ｂそれぞれへの透過波長の温度依存性、２０２ａ、２０２ｂは、ＡＷＧにおいて、ＭＺＩ出力１０５ａ、１０５ｂの位置から、出力導波路１１２の中央ポートへの透過波長の温度依存性、２０３は、波長合分波器全体における、入力導波路１０２から出力導波路１１２の中央ポートへの透過波長の温度依存性を表す。図に示すように、ＭＺＩ、ＡＷＧ、および波長合分波器全体における透過波長の温度依存性は、ともに下に凸の形状をしており、通常の屋内の使用温度範囲−５〜６５℃において、±０．０１ｎｍ程度である。しかし、屋外での使用を考慮して、使用温度範囲−４０〜８０℃を想定すると、透過波長の温度依存性は、±０．０５ｎｍ程度となる。

［第１の実施形態］
図３に、本発明の第１の実施形態に係る波長合分波器の一例を示す。この波長合分波器３００は、図１に示す波長合分波器と同様にＭＺＩとＡＷＧとから構成されている。ここで、３０２は入力導波路、３０３は光スプリッタ、３０４は２つのアーム導波路、３０６は第１のスラブ導波路、３０８はアレイ導波路、３１０は第２のスラブ導波路、３１２は出力導波路である。ＭＺＩの２つのアーム導波路３０４は出力において光が干渉するように近接して配置されており、その出力３０５ａおよび３０５ｂにおいてＡＷＧの第１のスラブ導波路３０６に接続している。またＡＷＧのスラブ導波路３０６には、ＡＷＧにおける温度依存性を補償する温度補償材料３１８が挿入され、ＭＺＩのアーム導波路３０４の一方には、ＭＺＩにおける温度依存性を補償する温度補償材料３１４が埋め込まれている。これらの温度補償材料は、上述したように、主に透過波長の１次の温度依存性を補償するものである。さらに、この波長合分波器のＭＺＩのアーム導波路３０４にはそれぞれヒータ３１６が設けられ、これにより、残留する２次以上の温度依存性を補償することができる。

具体的には、ＭＺＩの２つのアーム導波路３０４の光路長差により、ＭＺＩの出力で集光する光の位置が変わる。これにより、ＡＷＧでの光路長が変化し、第２のスラブ導波路３１０の出力で集光する光の位置が変わる。すなわち、アーム導波路３０４の光路長差により、波長合分波器全体の透過波長を調整することができる。

図３において、ＭＺＩの２つのアーム導波路３０４の光路長差Δσは、アーム導波路の長い方の実効屈折率をｎｌ、アーム導波路の短い方の実効屈折率をｎｓ、アーム導波路の長い方の導波路長の長さをＬｌ、アーム導波路の短い方の導波路長の長さＬｓとして、次式で表される。
Δσ＝（ｎｌ×Ｌｌ−ｎｓ×Ｌｓ）

ここで、アーム導波路の実効屈折率ｎｌ，ｎｓは、熱光学効果によりヒータで導波路を加熱することで変更することができる。したがって、ヒータで２つのアーム導波路３０４の光路長差を変更し、波長合分波器全体の中心波長の特性を調整することができる。

図４は、図３に示す波長合分波器において、ヒータ３１６による調整を行った場合の、ＭＺＩ、ＡＷＧ、および波長合分波器全体における透過波長の温度依存性を示す。ここで波長合分波器の波長チャンル間隔は１００ＧＨｚ（０．８ｎｍ）としている。４０１ａ、４０１ｂは、ＭＺＩにおいて、入力導波路３０２から出力３０５ａ、３０５ｂそれぞれへの透過波長の温度依存性、４０２ａ、４０２ｂは、ＡＷＧにおいて、ＭＺＩ出力３０５ａ、３０５ｂの位置から、出力導波路３１２の中央ポートへの透過波長の温度依存性、３０３は、波長合分波器全体における、入力導波路３０２から出力導波路３１２の中央ポートへの透過波長の温度依存性を表す。ＭＺＩにおける４０１ａ、４０１ｂの温度依存性は、ＡＷＧにおける４０２ａ、４０２ｂの温度依存性を相殺するように設定されている。４０１ａ、４０１ｂの温度依存性は、波長合分波器の温度に応じて、ヒータ３１６の何れかを駆動することにより実現される。これにより、波長合分波器における透過波長の２次以上の温度変動が補償されている。

ヒータ３１６による調整のためには、波長合分波器３００の温度情報を得ることが好ましい。この情報を得る手段としては、サーミスタを設置して、波長合分波器３００の温度を直接測定する方法がある。あるいは、外部の温度計から外気温の情報を獲得し、それを基に波長合分波器３００の温度を推測する方法もある。あるいは、波長合分波器３００の温度情報を使用する代わりに、出力導波路３１２の１つをモニタポートとし、このポートの透過波長特性が変動しないように、ヒータ３１６を調整することも可能である。

［第２の実施形態］
図５に、本発明の第２の実施形態に係る波長合分波器の一例を示す。この波長合分波器５００は、図１に示す波長合分波器と同様にＭＺＩとＡＷＧとから構成されている。ここで、５０１ａ、５０１ｂは回路基板、５０２は入力導波路、５０３は光スプリッタ、５０４は２つのアーム導波路、５０６は第１のスラブ導波路、５０８はアレイ導波路、５１０は第２のスラブ導波路、５１２は出力導波路である。ＭＺＩの２つのアーム導波路５０４は出力において光が干渉するように近接して配置されており、その出力５０５ａおよび５０５ｂにおいてＡＷＧの第１のスラブ導波路５０６に接続している。また回路基板は、ＡＷＧのスラブ導波路５０６を分割するように５０１ａ、５０１ｂに分割されており、両基板は金属板５１８を介して接合されている。金属板５１８の熱膨張により、温度変化に応じて分割したスラブ導波路５０６の位置が相対的にスライドするため、ＡＷＧの出力で集光する光の位置の温度変化を相殺することができ、ＡＷＧがアサーマル化されている。またＭＺＩのアーム導波路５０４の一方には、ＭＺＩにおける温度依存性を補償する温度補償材料５１４が埋め込まれている。これらＭＺＩ、ＡＷＧそれぞれのアサーマル化は、上述したように、主に透過波長の１次の温度依存性を補償するものである。さらに、この波長合分波器のＭＺＩのアーム導波路５１４にはそれぞれヒータ５１６が設けられ、これにより、残留の２次以上の温度依存性を補償することができる。

図６は、図５に示す波長合分波器において、ヒータ５１６による調整を行った場合の、ＭＺＩ、ＡＷＧ、および波長合分波器全体における透過波長の温度依存性を示す。ここで波長合分波器の波長チャンル間隔は１００ＧＨｚ（０．８ｎｍ）としている。６０１ａ、６０１ｂは、ＭＺＩにおいて、入力導波路５０２から出力５０５ａ、５０５ｂそれぞれへの透過波長の温度依存性、６０２ａ、６０２ｂは、ＡＷＧにおいて、ＭＺＩ出力５０５ａ、５０５ｂの位置から、出力導波路５１２の中央ポートへの透過波長の温度依存性、６０３は、波長合分波器全体における、入力導波路５０２から出力導波路５１２の中央ポートへの透過波長の温度依存性を表す。ＭＺＩにおける６０１ａ、６０１ｂの温度依存性は、ＡＷＧにおける６０２ａ、６０２ｂの温度依存性を相殺するように設定されている。６０１ａ、６０１ｂの温度依存性は、波長合分波器の温度に応じて、ヒータ６１６の何れかを駆動することにより実現される。これにより、波長合分波器における透過波長の２次以上の温度変動を補償されている。

ヒータ６１６による調整のためには、波長合分波器６００の温度情報を得ることが好ましい。この情報を得る手段としては、サーミスタを設置して、波長合分波器６００の温度を直接測定する方法がある。あるいは、外部の温度計から外気温の情報を獲得し、それを基に波長合分波器６００の温度を推測する方法もある。あるいは、波長合分波器６００の温度情報を使用する代わりに、出力導波路６１２の１つをモニタポートとし、このポートの透過波長特性が変動しないように、ヒータ６１６を調整することも可能である。

以上、本発明について、具体的にいくつかの実施形態について説明したが、本発明の原理を適用できる多くの実施可能な形態に鑑みて、ここに記載した実施形態は、単に例示に過ぎず、本発明の範囲を限定するものではない。

また、本発明によれば、原理上、温度補償材料や分割スラブ導波路などのアサーマル化技術を用いることなく、ＭＺＩのヒータのみで波長合分波器全体の温度特性を補償することができる。しかしながら、ＭＺＩのヒータで制御できる温度範囲や消費電力を考慮すると、温度補償材料や分割スラブ導波路などのアサーマル化技術により、１次の温度特性を補償し、２次以上の高次の温度特性をＭＺＩのヒータで補償するのが好ましい。また、ヒータの周りのクラッドに断熱用の溝を形成することにより、ヒータでの消費電力を低減することもできる。

このように、ここに例示した実施形態は、本発明の趣旨から逸脱することなくその構成と詳細を変更することができる。さらに、説明のための構成要素および手順は、本発明の趣旨から逸脱することなく変更、補足、またはその順序を変えてもよい。

マッハツェンダ干渉計（ＭＺＩ）とアレイ導波路回折格子（ＡＷＧ）を組み合わせて、透過スペクトルを平坦化した波長分波器の一例を示す図である。 図１に示す波長合分波器において、ＭＺＩおよびＡＷＧそれぞれについて、温度補償材料を用いてアサーマル化した場合の、ＭＺＩ、ＡＷＧ、および波長合分波器全体における透過波長の温度依存性を示す図である。 本発明の第１の実施形態に係る波長合分波器の一例を示す図である。 図３に示す波長合分波器において、ヒータによる調整を行った場合の、ＭＺＩ、ＡＷＧ、および波長合分波器全体における透過波長の温度依存性を示す図である。 本発明の第２の実施形態に係る波長合分波器の一例を示す図である。 図５に示す波長合分波器において、ヒータによる調整を行った場合の、ＭＺＩ、ＡＷＧ、および波長合分波器全体における透過波長の温度依存性を示す図である。 アサーマル化されたＡＷＧの従来例を示す図である。 アサーマル化されたＡＷＧとアサーマル化されていないＡＷＧの温度依存性を示す図である。

符号の説明

１００ 波長分波器
１０２ 入力光導波路
１０３ 光スプリッタ
１０４ アーム導波路
１０５ａ，１０５ｂ アーム導波路の出力
１０６ 第１のスラブ導波路
１０８ アレイ導波路
１１０ 第２のスラブ導波路
１１２ 出力導波路
３００ 波長合分波器
３０２ 入力導波路
３０３ 光スプリッタ
３０４ アーム導波路
３０５ａ，３０５ｂ アーム導波路の出力
３０６ 第１のスラブ導波路
３０８ アレイ導波路
３１０ 第２のスラブ導波路
３１２ 出力導波路
３１４ 温度補償材料
３１６ ヒータ
３１８ 温度補償材料
５００ 波長合分波器
５０１ａ，５０１ｂ 回路基板
５０２ 入力導波路
５０３ 光スプリッタ
５０４ アーム導波路
５０５ａ，５０５ｂ アーム導波路の出力
５０６ 第１のスラブ導波路
５０８ アレイ導波路
５１０ 第２のスラブ導波路
５１２ 出力導波路
５１４ 温度補償材料
５１６ ヒータ
５１８ 金属板
７００ 波長合分波器
７０２ 入力導波路
７０４ 第１のスラブ導波路
７０６ アレイ導波路
７０８ 第２のスラブ導波路
７１０ 出力導波路
７１２ 温度補償材料

Claims (5)

1. マッハツェンダ干渉計と、アレイ導波路回折格子とを備えた波長合分波器であって、透過波長の１次の温度依存性が補償された波長合分波器において、
   前記マッハツェンダ干渉計のアーム導波路にヒータを備え、前記ヒータを駆動することにより、前記波長合分波器における透過波長の２次以上の温度依存性が補償されたことを特徴とする波長合分波器。
2. 請求項１に記載の波長合分波器であって、
   前記波長合分波器の温度を測定するサーミスタをさらに備え、
   前記透過波長の２次以上の温度依存性は、前記サーミスタによる測定温度に応じて、前記ヒータの駆動を制御することによって補償されることを特徴とする波長合分波器。
3. 請求項１に記載の波長合分波器であって、
   前記透過波長の２次以上の温度依存性は、前記波長合分波器のモニタポートの波長変動を抑えるように前記ヒータの駆動を制御することによって補償されることを特徴とする波長合分波器。
4. 請求項１から３のいずれかに記載の波長合分波器であって、
   前記マッハツェンダ干渉計および前記アレイ導波路回折格子における透過波長の１次の温度依存性は、実効屈折率の温度依存性が導波路と異なる材料を挿入することによって補償されたことを特徴とする波長合分波器。
5. 請求項１から３のいずれかに記載の波長合分波器であって、
   前記マッハツェンダ干渉計における透過波長の１次の温度依存性は、実効屈折率の温度依存性が導波路と異なる材料を挿入することによって補償され、前記アレイ導波路回折格子における透過波長の１次の温度依存性は、入力側および出力側のスラブ導波路の少なくとも一方を分断し、温度変化に対して、分断したスラブ導波路の相対位置を変化させることによって補償されたことを特徴とする波長合分波器。

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