JP4899822B2 - 光合分波器 - Google Patents

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Description

本発明は、多波長の光を合波または分波することができる光合分波器に関するものである。
多波長の光を合波または分波することができる光合分波器としてアレイ導波路型回折格子素子(AWG: Arrayed Waveguide Grating)が知られている。AWGは、2つのスラブ導波路と、これら2つのスラブ導波路の間に設けられ互いに異なる光路長を有する複数本の導波路を含むアレイ導波路部と、スラブ導波路に接続された複数本の入出力用導波路と、が基板上に形成されたものである。
このようなAWGは、例えばFTTH(Fiber To The Home)等のアクセス系光通信システムにおいても用いられる。アクセス系光通信システムでは、複数の波長帯域(例えば1310nm帯/1490nm帯/1550nm帯)それぞれの信号光が用いられる場合があり、また、何れかの波長帯域(例えば1550nm帯)では多波長の信号光が用いられる場合がある。例えば、非特許文献1,2に記載された技術は、1550nm帯の多波長の光をAWGにより分波するとともに、1310nm帯/1490nm帯の光をパワー分岐して、1550nm帯の何れかの波長の光と1310nm帯/1490nm帯の光とを合波するものである。
Y. Inoue, at al.,"Silica-based arrayed-waveguide grating circuit as opticalsplitter/router", Electronics Letters, Vol.31, No.9, pp.726-727 (1995) K. Nara, et al.,"Monolithically Integrated 1x32 Optical Splitter/Router using Low LossRipple MZI-based WDM Filter and Low Loss Y-Branch Circuit", OWO1
AWGにより合波または分波される光の波長間隔は、スラブ導波路の構造,アレイ導波路部に含まれる複数本の導波路の間の光路長差,波長帯域および回折次数により決まる。それ故、或る波長帯域に含まれる所定の波長間隔の多波長の光を合波または分波するように設計され製造されたAWGは、他の波長帯域に含まれる所定の波長間隔の多波長の光を合波または分波することが困難であり、また、複数の波長帯域それぞれに含まれる所定の波長間隔の多波長の光を合波または分波することも困難である。
本発明は、上記問題点を解消する為になされたものであり、複数の波長帯域それぞれに含まれる所定の波長間隔の多波長の光を合波または分波することができる光合分波器を提供することを目的とする。
本発明に係る光合分波器は、(1) 各々第1端および第2端を有するM本の導波路G0,1〜G0,Mを含む入出力用導波路部と、(2) この入出力用導波路部に含まれる各導波路G0,mの第2端と接続されたスラブ導波路と、(3) 各々第1端および第2端を有するN本の導波路G1,1〜G1,Nを含み、各導波路G1,nの第1端がスラブ導波路と接続された第1アレイ導波路部と、(4)この第1アレイ導波路部に含まれる各導波路G1,nの第2端から出力される光のうち、第1波長帯域の光を反射させて導波路G1,nの第2端に入力させ、第2波長帯域の光を透過させる光フィルタと、(5)各々第1端および第2端を有するN本の導波路G2,1〜G2,Nを含み、第1アレイ導波路部に含まれる各導波路G1,nの第2端から出力され光フィルタを透過した光を導波路G2,nの第1端に入力する第2アレイ導波路部と、(6)この第2アレイ導波路部に含まれる各導波路G2,nの第2端から出力された光を反射させて導波路G2,nの第2端に入力させるミラーと、を備える。ただし、M,Nは2以上の整数であり、mは1以上M以下の整数であり、nは1以上N以下の整数である。
本発明に係る光合分波器は、第1アレイ導波路部に含まれる各導波路G1,nの光路長をL1,nとし、第2アレイ導波路部に含まれる各導波路G2,nの光路長をL2,nとし、導波路G1,nの光路長L1,nと導波路G2,nの光路長L2,nとの和(L1,n+L2,n)をLT,nとしたとき、光路長L1,1〜L1,Nが互いに異なり、光路長L 2,1 〜L 2,N が互いに異なるとともに、光路長LT,1〜LT,Nが互いに異なる。
本発明に係る光合分波器は、第1波長帯域の光を、入出力用導波路部に含まれる何れかの導波路の第1端に入力し、該導波路,スラブ導波路および第1アレイ導波路部により導波させ、光フィルタにより反射させ、第1アレイ導波路部,スラブ導波路および入出力用導波路部に含まれる何れかの導波路により導波させる。
また、本発明に係る光合分波器は、第2波長帯域の光を、入出力用導波路部に含まれる何れかの導波路の第1端に入力し、該導波路,スラブ導波路および第1アレイ導波路部により導波させ、光フィルタにより透過させ、第2アレイ導波路部により導波させ、ミラーにより反射させ、第2アレイ導波路部により導波させ、光フィルタにより透過させ、第1アレイ導波路部,スラブ導波路および入出力用導波路部に含まれる何れかの導波路により導波させる。
本発明に係る光合分波器では、第1アレイ導波路部に含まれる各導波路G1,nの光路長L1,nの間に「L1,1<L1,2<L1,3<・・・<L1,N−1<L1,N」なる関係があるとしたとき、第2アレイ導波路部に含まれる各導波路G2,nの光路長L2,nの間に「L2,1<L2,2<L2,3<・・・<L2,N−1<L2,N」なる関係があるのが好適である。
本発明に係る光合分波器では、入出力用導波路部,スラブ導波路および第1アレイ導波路部が第1基板に設けられ、第2アレイ導波路部およびミラーが第2基板に設けられ、光フィルタが第1基板と第2基板との間に挟まれているのが好適である。
本発明に係る光分波方法は、上記の本発明に係る光合分波器を用い、第1波長帯域の多波長の光を、入出力用導波路部に含まれる何れか1本の導波路の第1端に入力し、該導波路,スラブ導波路および第1アレイ導波路部により導波させ、光フィルタにより反射させ、第1アレイ導波路部,スラブ導波路および入出力用導波路部により導波させることで、波長毎に分波して入出力用導波路部に含まれる各導波路の第1端から出力する。また、本発明に係る光分波方法は、第2波長帯域の多波長の光を、入出力用導波路部に含まれる何れか1本の導波路の第1端に入力し、該導波路,スラブ導波路および第1アレイ導波路部により導波させ、光フィルタにより透過させ、第2アレイ導波路部により導波させ、ミラーにより反射させ、第2アレイ導波路部により導波させ、光フィルタにより透過させ、第1アレイ導波路部,スラブ導波路および入出力用導波路部により導波させることで、波長毎に分波して入出力用導波路部に含まれる各導波路の第1端から出力する。
本発明に係る光合波方法は、上記の本発明に係る光合分波器を用い、第1波長帯域の多波長の光を、波長毎に入出力用導波路部に含まれる各導波路の第1端に入力し、入出力用導波路部,スラブ導波路および第1アレイ導波路部により導波させ、光フィルタにより反射させ、第1アレイ導波路部,スラブ導波路および入出力用導波路部に含まれる何れか1本の導波路により導波させることで、合波して該導波路の第1端から出力する。また、本発明に係る光合波方法は、第2波長帯域の多波長の光を、波長毎に入出力用導波路部に含まれる各導波路の第1端に入力し、入出力用導波路部,スラブ導波路および第1アレイ導波路部により導波させ、光フィルタにより透過させ、第2アレイ導波路部により導波させ、ミラーにより反射させ、第2アレイ導波路部により導波させ、光フィルタにより透過させ、第1アレイ導波路部,スラブ導波路および入出力用導波路部に含まれる何れか1本の導波路により導波させることで、合波して該導波路の第1端から出力する。
本発明によれば、複数の波長帯域それぞれに含まれる所定の波長間隔の多波長の光を合波または分波することができる。
以下、添付図面を参照して、本発明を実施するための最良の形態を詳細に説明する。なお、図面の説明において同一の要素には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。
(第1実施形態)
先ず、本発明に係る光合分波器の第1実施形態について説明する。図1は、第1実施形態に係る光合分波器1の構成図である。この図に示される光合分波器1は、入出力用導波路部20,スラブ導波路30,第1アレイ導波路部40,光フィルタ50,第2アレイ導波路部60およびミラー70を、基板10上に備えるものである。
入出力用導波路部20はM本の導波路G0,1〜G0,Mを含む。各導波路G0,mは、第1端および第2端を有し、第1端が基板10の端面まで達し、第2端がスラブ導波路30と接続されている。
第1アレイ導波路部40はN本の導波路G1,1〜G1,Nを含む。各導波路G1,nは、第1端および第2端を有し、第1端がスラブ導波路30と接続され、第2端が光フィルタ50に対向している。
第2アレイ導波路部60はN本の導波路G2,1〜G2,Nを含む。各導波路G2,nは、第1端および第2端を有し、第1端が光フィルタ50に対向し、第2端が基板10の端面まで達してミラー70に対向している。
スラブ導波路30は、入出力用導波路部20に含まれる導波路G0,mの第2端から出力される光を入力し、その光を第1アレイ導波路部40に含まれる各導波路G1,nの第1端へ出力する。また、スラブ導波路30は、第1アレイ導波路部40に含まれる導波路G1,nの第1端から出力される光を入力し、その光を入出力用導波路部20に含まれる各導波路G0,mの第2端へ出力する。
入出力用導波路部20に含まれる導波路G0,1〜G0,M、スラブ導波路30、第1アレイ導波路部40に含まれる導波路G1,1〜G1,N、および、第2アレイ導波路部60に含まれる導波路G2,1〜G2,Nは、基板10の一方の主面側に形成されている。基板10は例えば石英ガラスからなる。
光フィルタ50は、例えば誘電体多層膜フィルタであって、基板10に形成された溝に挿入されている。第1アレイ導波路部40に含まれる導波路G1,nの第2端と、第2アレイ導波路部60に含まれる導波路G2,nの第1端とは、光フィルタ50を挟んで互いに対向している。光フィルタ50は、各導波路G1,nの第2端から出力される光のうち、第1波長帯域の光を反射させて導波路G1,nの第2端に入力させ、第2波長帯域の光を透過させて導波路G2,nの第1端に入力させる。また、光フィルタ50は、各導波路G2,nの第1端から出力される第2波長帯域の光を透過させて導波路G1,nの第2端に入力させる。
ミラー70は、例えば誘電体多層膜または金属膜であって、基板10の端面に形成されている。ミラー70は、第2アレイ導波路部60に含まれる各導波路G2,nの第2端から出力された光を反射させて導波路G2,nの第2端に入力させる。
第1アレイ導波路部40に含まれる各導波路G1,nの光路長をL1,nとし、第2アレイ導波路部60に含まれる各導波路G2,nの光路長をL2,nとする。また、導波路G1,nの光路長L1,nと導波路G2,nの光路長L2,nとの和(L1,n+L2,n)をLT,nとする。このとき、光路長L1,1〜L1,Nは互いに異なり、また、光路長LT,1〜LT,Nは互いに異なる。
第1アレイ導波路部40に含まれる各導波路G1,nの光路長L1,nの間に下記(1)式の関係があるとしたとき、第2アレイ導波路部60に含まれる各導波路G2,nの光路長L2,nの間に下記(2)式の関係があるのが好ましい。また、このとき、光路長LT,1〜LT,Nの間には下記(3)式の関係がある。このように(1)式および(2)式の関係を満たすように第1アレイ導波路部40および第2アレイ導波路部60を設計することにより、第2アレイ導波路部60に含まれる各導波路G2,nの光路長L2,nを短くすることができるので、光合分波器1の小型化が可能となる。
1,1<L1,2<L1,3<・・・<L1,N-1<L1,N …(1)
2,1<L2,2<L2,3<・・・<L2,N-1<L2,N …(2)
T,1<LT,2<LT,3<・・・<LT,N-1<LT,N …(3)
また、第1アレイ導波路部40に含まれるN本の導波路G1,1〜G1,Nのうちの任意の隣り合う2本の導波路の光路長差ΔL(=L1,n−L1,n−1)は一定値であるのが好適である。第2アレイ導波路部60に含まれるN本の導波路G2,1〜G2,Nのうちの任意の隣り合う2本の導波路の光路長差ΔL(=L2,n−L2,n−1)は一定値であるのが好適である。
光合分波器1は、第1波長帯域の光を、入出力用導波路部20に含まれる何れかの導波路G0,mの第1端に入力し、該導波路G0,m,スラブ導波路30および第1アレイ導波路部40により導波させ、光フィルタ50により反射させる。そして、光合分波器1は、光フィルタ50により反射させた第1波長帯域の光を、第1アレイ導波路部40,スラブ導波路30および入出力用導波路部20に含まれる何れかの導波路G0,mにより導波させて、該導波路G0,mの第1端から出力する。このようにすることにより、光合分波器1は、第1波長帯域の多波長の光を合波または分波することができる。
また、光合分波器1は、第2波長帯域の光を、入出力用導波路部20に含まれる何れかの導波路G0,mの第1端に入力し、該導波路G0,m,スラブ導波路30および第1アレイ導波路部40により導波させ、光フィルタ50により透過させる。光合分波器1は、光フィルタ50により透過させた第2波長帯域の光を、第2アレイ導波路部60により導波させ、ミラー70により反射させ、第2アレイ導波路部60により導波させ、光フィルタ50により再び透過させる。そして、光合分波器1は、光フィルタ50により再び透過させた第2波長帯域の光を、第1アレイ導波路部40,スラブ導波路30および入出力用導波路部20に含まれる何れかの導波路G0,mにより導波させて、該導波路G0,mの第1端から出力する。このようにすることにより、光合分波器1は、第2波長帯域の多波長の光を合波または分波することができる。
図2は、第1実施形態に係る光合分波器1の機能を模式的に説明する図である。この図において、ポートAは、入出力用導波路部20に含まれるM本の導波路G0,1〜G0,Mのうちの何れかの導波路の第1端であり、ポートB〜Bは、入出力用導波路部20に含まれるM本の導波路G0,1〜G0,Mそれぞれの第1端である。第1波長帯域に含まれるM波長λ1,1〜λ1,Mの光と、第2波長帯域に含まれるM波長λ2,1〜λ2,Mの光とが、多重化されて光合分波器1のポートAに入力されると、M波長λ1,1〜λ1,Mの光が波長毎に分波されるとともに、M波長λ2,1〜λ2,Mの光も波長毎に分波されて、光合分波器1の各ポートBから波長λ1,mの光および波長λ2,mの光が出力される。逆に、光合分波器1の各ポートBに波長λ1,mの光および波長λ2,mの光が入力されると、M波長λ1,1〜λ1,Mの光およびM波長λ2,1〜λ2,Mの光が合波されて、光合分波器1のポートAから出力される。
例えば、第1アレイ導波路部40に含まれるN本の導波路G1,1〜G1,Nのうちの任意の隣り合う2本の導波路の光路長差ΔL(=L1,n−L1,n−1)は30μmであり、第2アレイ導波路部60に含まれるN本の導波路G2,1〜G2,Nのうちの任意の隣り合う2本の導波路の光路長差ΔL(=L2,n−L2,n−1)は1.3μmである。光フィルタ50における反射帯域である第1波長帯域は1490nm帯であり、光フィルタ50における透過帯域である第2波長帯域は1550nm帯である。第1波長帯域に含まれる多波長の光の各波長が、1486.8nm、1487.6nm、1488.4nm、1489.2nm、1490.8nm、1491.6nm、1492.4nm、1493.2nmであるとする。また、第2波長帯域に含まれる多波長の光の各波長が、1546.8nm、1547.6nm、1548.4nm、1549.2nm、1550.8nm、1551.6nm、1552.4nm、1553.2nmであるとする。
このとき、入出力用導波路部20に含まれるM本の導波路G0,1〜G0,Mのうちの中央の導波路の第1端に、第1波長帯域に含まれる8波長(1486.8nm〜1493.2nm)の光を入力させるとともに、第2波長帯域に含まれる8波長(1546.8nm〜1553.2nm)の光を入力させると、光合分波器1は以下のように動作する。第1波長帯域に含まれる8波長(1486.8nm〜1493.2nm)の光は、光フィルタ50で反射されるので、往復でアレイ導波路長差が2×ΔLであるAWGを通って分波され、入力した導波路を挟んで両側それぞれ4本(計8本)の導波路の第1端から出力される。一方、第2波長帯域に含まれる8波長(1546.8nm〜1553.2nm)の光は、光フィルタ50により透過されてミラー70により反射されるので、往復でアレイ導波路長差が2×(ΔL+ΔL)であるAWGを通って分波され、入力した導波路を挟んで両側それぞれ4本(計8本)の導波路の第1端から出力される。
このような動作の結果、入出力用導波路部20に含まれるM本の導波路G0,1〜G0,Mのうちの或る導波路の第1端から、波長1486.8nmの光と波長1546.8nmの光とが出力される。他の或る導波路の第1端から、波長1487.6nmの光と波長1547.6nmの光とが出力される。このように、入出力用導波路部20に含まれる各導波路G0,mの第1端から、第1波長帯域に含まれる何れか1波長の光が出力されるとともに、第2波長帯域に含まれる何れか1波長の光が出力される。
すなわち、光合分波器1を用いることで、以下のようにして、第1波長帯域の多波長の光を分波するとともに、第2波長帯域の多波長の光をも分波することができる。第1波長帯域の多波長の光を、入出力用導波路部20に含まれる何れか1本の導波路G0,mの第1端に入力し、該導波路G0,m,スラブ導波路30および第1アレイ導波路部40により導波させ、光フィルタ50により反射させ、第1アレイ導波路部40,スラブ導波路30および入出力用導波路部20により導波させることで、波長毎に分波して入出力用導波路部20に含まれる各導波路G0,mの第1端から出力することができる。一方、第2波長帯域の多波長の光を、入出力用導波路部20に含まれる何れか1本の導波路G0,mの第1端に入力し、該導波路G0,m,スラブ導波路30および第1アレイ導波路部40により導波させ、光フィルタ50により透過させ、第2アレイ導波路部60により導波させ、ミラー70により反射させ、第2アレイ導波路部60により導波させ、光フィルタ50により透過させ、第1アレイ導波路部40,スラブ導波路30および入出力用導波路部20により導波させることで、波長毎に分波して入出力用導波路部20に含まれる各導波路G0,mの第1端から出力することができる。
また、光合分波器1を用いることで、以下のようにして、第1波長帯域の多波長の光を合波するとともに、第2波長帯域の多波長の光をも合波することができる。第1波長帯域の多波長の光を、波長毎に入出力用導波路部20に含まれる各導波路G0,mの第1端に入力し、入出力用導波路部20,スラブ導波路30および第1アレイ導波路部40により導波させ、光フィルタ50により反射させ、第1アレイ導波路部40,スラブ導波路30および入出力用導波路部20に含まれる何れか1本の導波路G0,mにより導波させることで、合波して該導波路G0,mの第1端から出力することができる。一方、第2波長帯域の多波長の光を、波長毎に入出力用導波路部20に含まれる各導波路G0,mの第1端に入力し、入出力用導波路部20,スラブ導波路30および第1アレイ導波路部40により導波させ、光フィルタ50により透過させ、第2アレイ導波路部60により導波させ、ミラー70により反射させ、第2アレイ導波路部60により導波させ、光フィルタ50により透過させ、第1アレイ導波路部40,スラブ導波路30および入出力用導波路部20に含まれる何れか1本の導波路G0,mにより導波させることで、合波して該導波路G0,mの第1端から出力することができる。
また、一般に、AWGでは、スラブ導波路のパラメータおよび或る波長帯域が決まると、アレイ導波路部に含まれる複数本の導波路のうちの任意の隣り合う2本の導波路の間の光路長差と、合波または分波される多波長の光の波長間隔とは、ほぼ一対一の関係で決まる。しかし、本実施形態に係る光合分波器1では、第1波長帯域の多重化信号の波長間隔からΔLを決め、第2波長帯域の多重化信号の波長間隔からΔLを決め、これらからΔL(=ΔL−ΔL)を決めることができる。したがって、本実施形態に係る光合分波器1では、2つの波長帯域の多重化信号に対して、互いのパラメータが制限されることなく独立してパラメータを決めることができ、設計が容易になる。
(第2実施形態)
次に、本発明に係る光合分波器の第2実施形態について説明する。図3は、第2実施形態に係る光合分波器2の構成図である。この図に示される光合分波器2は、入出力用導波路部20,スラブ導波路30および第1アレイ導波路部40を第1基板11上に備え、第2アレイ導波路部60およびミラー70を第2基板12上に備え、また、光フィルタ50が第1基板11と第2基板12との間に挟まれているものである。
第1基板11と第2基板12とは、光フィルタ50を挟んで、接着剤80により固定されている。その固定された状態において、第1アレイ導波路部40に含まれる導波路G1,nの第2端と、第2アレイ導波路部60に含まれる導波路G2,nの第1端とは、光フィルタ50を挟んで互いに対向している。光フィルタ50は、各導波路G1,nの第2端から出力される光のうち、第1波長帯域の光を反射させて導波路G1,nの第2端に入力させ、第2波長帯域の光を透過させて導波路G2,nの第1端に入力させる。また、光フィルタ50は、各導波路G2,nの第1端から出力される第2波長帯域の光を透過させて導波路G1,nの第2端に入力させる。
この第2実施形態に係る光合分波器2は、第1実施形態に係る光合分波器1と同様に動作し、同様の効果を奏することができる。加えて、この第2実施形態では、入出力用導波路部20,スラブ導波路30および第1アレイ導波路部40が形成された第1基板11と、第2アレイ導波路部60およびミラー70が形成された第2基板12とを、互いに別個に用意して、その後に、光フィルタ50を挟んで第1基板11と第2基板12とを互いに固定することで光合分波器2を製造することができることから、以下のような効果もある。
すなわち、第1基板11、第2基板12および光フィルタ50それぞれとして、種々の波長帯域に対応したものを用意すれば、将来の使用波長帯域の拡張が容易である。例えば、当初の設計の光合分波器2において、第1波長帯域が1490nm帯であって、第2波長帯域が1550nm帯であるとする。これに対して、第1波長帯域を1490nm帯のままとする一方、第2波長帯域を1310nm帯に設計変更しようとする場合には、第2基板12についてのみ設計変更すればよく、第1基板11については当初のものを使用することができる。
(変形例)
本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、種々の変形が可能である。例えば、上記実施形態の具体例として、光フィルタ50における反射帯域である第1波長帯域を1490nm帯とし、光フィルタ50における透過帯域である第2波長帯域を1550nm帯としたが、第1波長帯域または第2波長帯域は他の波長帯域でもあってもよく、また、光フィルタ50により反射される波長帯域は何れの帯域であってもよい。
また、光フィルタとミラーとの間に他の光フィルタを挿入して、各フィルタとミラーと間でのアレイ導波路部の光路長差を最適化すれば、3つ以上の波長帯域においても同様に機能する光合分波器を構成することができる。アレイ導波路部40,60のアレイ形状は図1,図3で示したものに限らない。
さらに、上記実施形態の具体例では、入出力用導波路部20に含まれるM本の導波路G0,1〜G0,Mのうちの中央の導波路の第1端をポートAとして、ポートAに入力される多波長の光を分波し、或いは、合波した多波長の光をポートAから出力したが、他の導波路の第1端がポートAであってもよい。例えば、M本の導波路G0,1〜G0,Mのうちの両端の導波路G0,1または導波路G0,Mの第1端がポートAであってもよい。
第1実施形態に係る光合分波器1の構成図である。 第1実施形態に係る光合分波器1の機能を模式的に説明する図である。 第2実施形態に係る光合分波器2の構成図である。
符号の説明
1,2…光合分波器、10〜12…基板、20…入出力用導波路部、30…スラブ導波路、40…第1アレイ導波路部、50…光フィルタ、60…第2アレイ導波路部、70…ミラー、G0,1〜G0,M…導波路、G1,1〜G1,N…導波路、G2,1〜G2,N…導波路。

Claims (5)

  1. 各々第1端および第2端を有するM本の導波路G0,1〜G0,Mを含む入出力用導波路部と、
    この入出力用導波路部に含まれる各導波路G0,mの第2端と接続されたスラブ導波路と、
    各々第1端および第2端を有するN本の導波路G1,1〜G1,Nを含み、各導波路G1,nの第1端が前記スラブ導波路と接続された第1アレイ導波路部と、
    この第1アレイ導波路部に含まれる各導波路G1,nの第2端から出力される光のうち、第1波長帯域の光を反射させて導波路G1,nの第2端に入力させ、第2波長帯域の光を透過させる光フィルタと、
    各々第1端および第2端を有するN本の導波路G2,1〜G2,Nを含み、前記第1アレイ導波路部に含まれる各導波路G1,nの第2端から出力され前記光フィルタを透過した光を導波路G2,nの第1端に入力する第2アレイ導波路部と、
    この第2アレイ導波路部に含まれる各導波路G2,nの第2端から出力された光を反射させて導波路G2,nの第2端に入力させるミラーと、
    を備え、
    前記第1アレイ導波路部に含まれる各導波路G1,nの光路長をL1,nとし、前記第2アレイ導波路部に含まれる各導波路G2,nの光路長をL2,nとし、導波路G1,nの光路長L1,nと導波路G2,nの光路長L2,nとの和(L1,n+L2,n)をLT,nとしたとき、光路長L1,1〜L1,Nが互いに異なり、光路長L 2,1 〜L 2,N が互いに異なるとともに、光路長LT,1〜LT,Nが互いに異なり、
    前記第1波長帯域の光を、前記入出力用導波路部に含まれる何れかの導波路の第1端に入力し、該導波路,前記スラブ導波路および前記第1アレイ導波路部により導波させ、前記光フィルタにより反射させ、前記第1アレイ導波路部,前記スラブ導波路および前記入出力用導波路部に含まれる何れかの導波路により導波させ、
    前記第2波長帯域の光を、前記入出力用導波路部に含まれる何れかの導波路の第1端に入力し、該導波路,前記スラブ導波路および前記第1アレイ導波路部により導波させ、前記光フィルタにより透過させ、前記第2アレイ導波路部により導波させ、前記ミラーにより反射させ、前記第2アレイ導波路部により導波させ、前記光フィルタにより透過させ、前記第1アレイ導波路部,前記スラブ導波路および前記入出力用導波路部に含まれる何れかの導波路により導波させる、
    ことを特徴とする光合分波器(ただし、M,Nは2以上の整数、mは1以上M以下の整数、nは1以上N以下の整数)。
  2. 第1アレイ導波路部に含まれる各導波路G1,nの光路長L1,nの間に「L1,1<L1,2<L1,3<・・・<L1,N−1<L1,N」なる関係があるとしたとき、第2アレイ導波路部に含まれる各導波路G2,nの光路長L2,nの間に「L2,1<L2,2<L2,3<・・・<L2,N−1<L2,N」なる関係がある、ことを特徴とする請求項1記載の光合分波器。
  3. 前記入出力用導波路部,前記スラブ導波路および前記第1アレイ導波路部が第1基板に設けられ、
    前記第2アレイ導波路部および前記ミラーが第2基板に設けられ、
    前記光フィルタが前記第1基板と前記第2基板との間に挟まれている、
    ことを特徴とする請求項1または2に記載の光合分波器。
  4. 請求項1〜3の何れか1項に記載の光合分波器を用い、
    前記第1波長帯域の多波長の光を、前記入出力用導波路部に含まれる何れか1本の導波路の第1端に入力し、該導波路,前記スラブ導波路および前記第1アレイ導波路部により導波させ、前記光フィルタにより反射させ、前記第1アレイ導波路部,前記スラブ導波路および前記入出力用導波路部により導波させることで、波長毎に分波して前記入出力用導波路部に含まれる各導波路の第1端から出力し、
    前記第2波長帯域の多波長の光を、前記入出力用導波路部に含まれる何れか1本の導波路の第1端に入力し、該導波路,前記スラブ導波路および前記第1アレイ導波路部により導波させ、前記光フィルタにより透過させ、前記第2アレイ導波路部により導波させ、前記ミラーにより反射させ、前記第2アレイ導波路部により導波させ、前記光フィルタにより透過させ、前記第1アレイ導波路部,前記スラブ導波路および前記入出力用導波路部により導波させることで、波長毎に分波して前記入出力用導波路部に含まれる各導波路の第1端から出力する、
    ことを特徴とする光分波方法。
  5. 請求項1〜3の何れか1項に記載の光合分波器を用い、
    前記第1波長帯域の多波長の光を、波長毎に前記入出力用導波路部に含まれる各導波路の第1端に入力し、前記入出力用導波路部,前記スラブ導波路および前記第1アレイ導波路部により導波させ、前記光フィルタにより反射させ、前記第1アレイ導波路部,前記スラブ導波路および前記入出力用導波路部に含まれる何れか1本の導波路により導波させることで、合波して該導波路の第1端から出力し、
    前記第2波長帯域の多波長の光を、波長毎に前記入出力用導波路部に含まれる各導波路の第1端に入力し、前記入出力用導波路部,前記スラブ導波路および前記第1アレイ導波路部により導波させ、前記光フィルタにより透過させ、前記第2アレイ導波路部により導波させ、前記ミラーにより反射させ、前記第2アレイ導波路部により導波させ、前記光フィルタにより透過させ、前記第1アレイ導波路部,前記スラブ導波路および前記入出力用導波路部に含まれる何れか1本の導波路により導波させることで、合波して該導波路の第1端から出力する、
    ことを特徴とする光合波方法。
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