JP2009182881A - 温度補償型水晶発振器 - Google Patents

温度補償型水晶発振器 Download PDF

Info

Publication number
JP2009182881A
JP2009182881A JP2008021969A JP2008021969A JP2009182881A JP 2009182881 A JP2009182881 A JP 2009182881A JP 2008021969 A JP2008021969 A JP 2008021969A JP 2008021969 A JP2008021969 A JP 2008021969A JP 2009182881 A JP2009182881 A JP 2009182881A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
temperature
crystal oscillator
compensated crystal
compensation
data signal
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2008021969A
Other languages
English (en)
Inventor
Hironobu Shintoku
弘伸 新徳
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Kyocera Crystal Device Corp
Original Assignee
Kyocera Crystal Device Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Kyocera Crystal Device Corp filed Critical Kyocera Crystal Device Corp
Priority to JP2008021969A priority Critical patent/JP2009182881A/ja
Publication of JP2009182881A publication Critical patent/JP2009182881A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Oscillators With Electromechanical Resonators (AREA)

Abstract

【課題】
温度補償を行う温度ポイント数を増やすことなく、且つ所定の使用温度範囲で従来よりも補償後の周波数偏差変化量が小さい温度補償型水晶発振器を提供すること。
【解決手段】
水晶振動子と集積回路素子を内部に備え、温度感知手段210が生成する温度データ信号により温度補償する温度補償型水晶発振器であって、通電することにより発熱し、前記水晶振動子と同一空間内に設けられる加熱手段104と、前記集積回路素子内には、前記温度感知手段210と、前記加熱手段104と、電源電圧端子303とに電気的に接続し構成されているスイッチ手段240とを備えている温度補償型水晶発振器。
【選択図】図2

Description

本発明は、携帯用通信機器等の電子機器に用いられる温度補償型水晶発振器に関する。
従来、携帯用通信機器等の電子機器には温度補償型水晶発振器(TCXO)が用いられている。
従来の温度補償型水晶発振器の回路ブロック図を図5に示す。この温度補償型水晶発振器500には集積回路素子(不図示)が備えられており、その集積回路素子内に構成される電子回路501は、温度感知手段530と温度補償手段520と水晶振動子510と発振手段511とにより主に構成されている。
温度補償手段520は、三次関数発生回路521と、記憶回路522と、可変容量素子523により主に構成されている。温度感知手段530の出力端は三次関数発生回路521の入力端と接続されており、この三次関数発生回路521には記憶回路522も接続されている。又、可変容量素子523は三次関数発生回路521の出力端に接続されている。尚、この可変容量素子523としては、例えば可変容量ダイオードが用いられる。
可変容量素子523が接続された三次関数発生回路521の出力端は、発振手段511の入力端に接続されている。この発振手段511に水晶振動子510が接続され、発振手段511の出力端は、増幅手段(不図示)を介して温度補償型水晶発振器500の出力端に接続されている。
次ぎに各手段及び各回路の動作を説明する。
三次関数発生回路521には、温度感知手段530を構成する温度センサ素子により生成された周囲温度に基づく温度データ信号が入力される。三次関数発生回路521は、その入力された温度データ信号に対応して、記憶回路522から三次関数の各次数の項の係数および定数を引き出し、これに応じた三次関数を計算し発生させる。三次関数発生回路521は、この三次関数を温度補償信号として可変容量素子523に出力する。
この可変容量素子523は、三次関数発生回路521からの温度補償信号の印加により容量が変化して、水晶振動子510が接続された発振手段511の発振周波数を調整し、発振手段511から出力される信号の周波数を補償する。このように、従来の温度補償型水晶発振器の温度に対する出力信号の周波数偏差の補償方法は、水晶振動子510自身の温度に対する周波数偏差を三次関数発生回路521から出力される温度補償信号により補償することで行っていた(例えば、特許文献1又は特許文献2参照。)。
図6は、従来の温度補償型水晶発振器における、水晶振動子単体の温度に対する周波数偏差Aと、その周波数偏差を三次関数発生回路で発生させた温度補償信号により補償した場合の周波数偏差Bを表したグラフである。尚、図6において、周波数偏差Aは破線で、周波数偏差Bは実線で示す。従来の温度補償型水晶発振器の温度に対する周波数偏差の補償方法では、一般的に−30℃の低温側から+80℃の高温側までの温度範囲を網羅するように、5つの温度ポイント(例えば、−30℃、0℃、+25℃、+60℃、+80℃)で水晶振動子単体の周波数偏差を実測し、これを三次関数発生回路からの温度補償信号により補償している。これにより温度補償型水晶発振器は、パッケージ型水晶発振器(SPXO)よりも温度変化に対して周波数偏差の変化量が少ない発振器となる。
特開平09―266409号公報 特開2005−347929号公報
なお、前記した先行技術文献情報で特定される先行技術文献以外には、本発明に関連する先行技術文献を、本件出願時までに発見するに至らなかった。
このような温度補償型水晶発振器を広い温度範囲で厳しい周波数安定性が要求される通信機器(例えば、GPS機能を有する通信機器)に使用した場合、温度に対する周波数偏差値の変化量を、従来の温度補償型水晶発振器よりも更に小さくする必要となる。しかし、実際には三次関数発生回路から発生される三次関数の温度補償信号と水晶振動子の温度に対する周波数偏差との間には差異が生じてしまい、例えば、従来所望する使用温度範囲内で、温度補償型水晶発振器としての温度に対する発振周波数偏差値の変化量を、更に小さくするような温度補償を行うのは困難であった。特に、従来温度補償を行っている温度範囲のうち、−10℃以下の低温域と+50℃以上の高温域では、水晶振動子の温度に対する周波数偏差値の変動量が大きく、又周波数偏差値の絶対値が高いため、温度補償信号との間で著しく差異が生じてしまう。
また、従来の温度補償方法においても温度補償を行う温度ポイントを増やせば、三次関数発生回路から発生される三次関数の温度補償信号を、水晶振動子の温度に対する周波数偏差と合わせることは可能であるが、温度ポイントを増やした場合、その各温度ポイントにおける温度補償状態を測定検査するための温度槽の増設が必要となる。また、それに伴い検査工数及び検査時間が増加し、温度補償型水晶発振器の生産性が低下するという問題が生じる恐れがある。
よって、本発明の目的は、温度補償を行う温度ポイント数を増やすことなく、且つ所定の使用温度範囲で、従来よりも温度に対する周波数偏差値の変化量が小さい温度補償型水晶発振器を提供することにある。
本発明は、前記課題を解決するために成されたものであり、水晶振動子と集積回路素子を内部に備え、温度感知手段が生成する温度データ信号により温度補償する温度補償型水晶発振器であって、通電することにより発熱し、水晶振動子と同一空間内に設けられる加熱手段と、集積回路素子内には、温度感知手段と、加熱手段と、電源電圧端子とに電気的に接続し構成されているスイッチ手段とを備えていることを特徴とする温度補償型水晶発振器である。
また、このスイッチ手段は、温度データ信号が0℃を意味する場合を境にして、0℃未満の場合に加熱手段を通電させ、0℃以上の場合に加熱手段の通電を止めるものであることを特徴とする温度補償型水晶発振器でもある。
更に、このスイッチ手段が、トランジスタ素子を使用したスイッチ回路で構成されていることを特徴とする温度補償型水晶発振器でもある。
本発明による温度補償型水晶発振器によれば、水晶振動子を搭載した容器体の温度として温度感知手段が0℃未満の温度を感知すると、その温度に対応する温度データ信号が温度感知手段から出力され、スイッチ手段に入力される。入力された0℃未満の温度に応じた温度データ信号により、スイッチ手段がON状態となり、水晶振動子と同じ空間に設けられた加熱手段に通電し加熱手段が発熱する。
その後、加熱手段の発熱作用等により、水晶振動子を含む容器体内の温度が0℃以上となると、温度感知手段がその温度を感知し0℃以上の温度に応じた温度データ信号を出力する。この温度データ信号はスイッチ手段に入力され、スイッチ手段はOFF状態となり、加熱手段への通電がなくなり加熱手段の発熱が止まる。この温度感知とそれに応じたスイッチ手段のON/OFF状態の切り替えの繰り返しにより、温度補償型水晶発振器の外部環境温度が0℃未満になっても、その水晶振動子が搭載されている容器体内は加熱手段により0℃以上に保たれる。
これにより、容器体内に搭載されている水晶振動子の温度も、容器体内の温度と同じ温度になる。本発明の温度補償型水晶発振器では、加熱手段により0℃以上の温度に保たれた容器体内に搭載されることにより、同じく0℃以上の温度となる水晶振動子に対して温度補償を行えばよく、従来0℃未満に設定されていた温度補償の温度ポイントを、0℃以上の温度範囲内に振り分けることができる。よって、0℃以上の温度範囲での温度補償を行う温度ポイント数が増加し、三次関数発生回路から発生される計算上の三次関数の温度補償信号と水晶振動子の温度に対する周波数偏差との差異が小さくなり、補償後の温度に対する周波数偏差変化量が小さくすることができる。
例えば、温度補償を行う5つの温度ポイントを、0℃、+25℃、+50℃、+65℃、+80℃として補償を行うことにより、問題であった+50℃以上の温度範囲で温度補償を行う温度ポイント数を従来より増やすことができる。よって、水晶振動子の温度変化に対する周波数偏差値の変動量が大きい+50℃以上の温度範囲で、三次関数発生回路から発生される計算上の三次関数の温度補償信号と水晶振動子の温度に対する周波数偏差との差異を小さくすることができ、補償後の温度に対する周波数偏差変化量が小さくすることが可能となる。
又、本発明の温度補償型水晶発振器では、温度補償を行う温度ポイント数を従来と比べて増すことなく、温度補償後の温度に対する周波数偏差変化量が小さくすることが可能となる。従って、従来のように、温度補償後の温度に対する周波数偏差変化量が小さくするための温度ポイント数増加に伴う検査測定用の温度槽の増設が不要となる。よって、温度槽増設に伴う検査測定工数及び時間の増加がなく、温度補償型水晶発振器の生産性が低下することがない。
以上のように、本発明の温度補償型水晶発振器は、温度補償を行う温度ポイント数を増やすことなく、且つ所定の使用温度範囲で従来よりも補償後の周波数偏差変化量が小さい温度補償型水晶発振器を提供する効果を奏する。
以下に図面を参照しながら本発明の実施形態について説明する。なお、各図においての同一の符号は同じ対象を示すものとする。
図1は本発明の実施形態に係る温度補償型水晶発振器の構造断面図である。図2は本発明の実施形態に係る温度補償型水晶発振器の回路構成を示す概略のブロック図である。図3は、可変容量素子と発振手段とスイッチ手段とを回路素子で示した図である。
図1に示すように、温度補償型水晶発振器100は、容器101、蓋体102、水晶振動子103、加熱手段104、集積回路素子105とから主に構成されている。容器体101は、平面視矩形状の基板101aの両主面に枠体101b及び101cをそれぞれ設けることにより構成され、それにより基板101aの両主面上それぞれに凹状のキャビティー部106a及び106bが形成されている。
蓋体102は、金属製の平板であり、キャビティー部106aの開口部を覆う形態で容器体101に接合され、キャビティー部106a内を気密に封止している。水晶振動子103は、平面視矩形状の水晶素板の両主面に励振用電極とその励振用電極から延設された引出電極が設けられており、キャビティー部106a内に搭載されている。
加熱手段104は、キャビティー部106a内に水晶振動子103と同一空間に搭載されている。この加熱手段104は、水晶振動子103と枠体101bのキャビティー部106aに露出する側壁面との間の空間の、キャビティー部106a内に露出する基板101aの主面上に設けられており、枠体101bのキャビティー部106aに露出する側壁面に隣接して設けられている。又この加熱手段104には、通電することにより発熱するセラミックヒータやコイル状のヒータが用いられている。
集積回路素子105は、キャビティー部106b内に搭載されており、この集積回路素子105内には、後述する各手段により構成される電子回路が設けられている。この電子回路は、水晶振動子103、加熱手段104、及び容器体101に設けられた外部接続用電極端子107と電気的に接続されている。又、この集積回路素子105と容器体101との間にはアンダーフィル樹脂108が塗布固化されている。
温度補償型水晶発振器100の集積回路素子105内に設けられた電子回路200は、図2及び図3に示すように、温度感知手段210、温度補償手段220、発振手段230及びスイッチ手段240により主に構成されている。
温度感知手段210は、周囲温度を検出してその温度に対応する電圧値の温度データ信号を出力する温度センサ素子211とその温度センサ素子と接続した配線からなる。この配線は後述する温度補償手段220を構成する三次関数発生回路221に接続されている。尚、本実施形態における温度センサ素子211は、図4(a)のように0℃以上の温度を感知した場合、温度データ信号として0.7(V)以上の電圧値の信号を出力し、0℃未満の温度を感知した場合は、温度データ信号として0.7(V)未満の電圧値の信号を出力する特性を有している。
温度補償手段220は、三次関数発生回路221、記憶回路222、可変容量素子223、及びそれら回路等を電気的に接続する配線から主に構成されている。前記した温度感知手段210により出力された温度データ信号は、三次関数発生回路221へ入力される。温度データ信号が入力された三次関数発生回路221は記憶回路222にアクセスし、記憶回路222からこの温度データ信号に基づいた3次関数の各次数の項の係数および定数を読み出す。三次関数発生回路221は、記憶回路222から読み出した3次関数の各次数の項の係数および定数に応じた3次関数の温度補償信号を発生させ出力する。出力された温度補償信号は、三次関数発生回路221の出力端に接続された可変容量素子223に与える。
尚図3に示すように、この可変容量素子223としては、例えば可変容量ダイオードが用いられており、その場合は可変容量ダイオードのカソード端が、三次関数発生回路221の出力端と水晶振動子103の各端子と接続することとなる。このように接続された可変容量素子223の容量が、温度補償信号の印加により変化して、後述する発振手段230により生成された発振周波数値を補償し平坦化する。
発振手段230には、既知であるコルピッツ型又はインバータ型の発振回路が用いられている。例えば、図3に示したようなインバータ型の発振回路では、第1のインバータ305の入力端に水晶振動子103の一方の端子が接続され、負荷容量として温度補償手段220を構成する第1の可変容量ダイオード223aのカソード端が接続されている。又第1のインバータ305の出力端には水晶振動子103の他方の端子と、負荷容量として温度補償手段220を構成する第2の可変容量ダイオード223bのカソード端が接続されている。更にこの第1のインバータ305からの出力信号は、第2のインバータ306を介して温度補償型水晶発振器の出力信号となり、外部接続用電極端子107から外部に出力される。
スイッチ手段240は、その入力端子が温度感知手段210の出力端と接続されており、出力端子が加熱手段104と接続されている。このスイッチ手段240には図3に示すトランジスタ素子301を使用したスイッチ回路が用いられている。トランジスタ素子301のベース端に抵抗を介して接続している端子302は入力端子として、温度感知手段210の出力端と接続されている。又、トランジスタ素子301のコレクタ端に抵抗を介して接続している電源電圧端子303には、Vccが印加されている。更にトランジスタ素子301のエミッタ端はGNDに接続されている。
スイッチ手段240の出力端子304はトランジスタ素子301のコレクタ端と接続されており、この出力端子304は加熱手段104と接続されている。尚、本実施形態におけるトランジスタ素子301によるスイッチ回路は、そのスレシホールド電圧値が図4(b)のように0.7(V)となるように構成されている。
ここで本実施形態における温度補償型水晶発振器におけるスイッチ手段240は、集積回路素子105内部に設けられた温度感知手段210の感知する温度により次のように動作する。温度感知手段210を構成する温度センサ素子211は、水晶振動子103が搭載されている容器体101内の温度を感知し、その温度に応じた温度データ信号を出力する。出力された温度データ信号は、三次関数発生回路221に入力されるとともにスイッチ手段240にも入力される。
例えば、温度センサ素子211が感知した温度が0℃未満だった場合、スイッチ手段240を構成するトランジスタ素子301のベース端には0.7(V)未満の電圧値の温度データ信号が入力される。その場合、トランジスタ素子301はOFFとなり、所定の電圧値(図4(b)では0.7(V))の出力が出力端304に印加される。それにより出力端304に接続されている加熱手段104が通電し発熱し、加熱手段104が設けられている容器体11の温度を上昇させる。尚、このような状態のスイッチ手段240をON状態という。
加熱手段104の作用や温度補償型水晶発振器100外からの温度の作用により、温度補償型水晶発振器の温度が0℃以上となると、温度センサ素子211もその0℃以上となった温度を感知する。温度センサ素子211が感知した温度が0℃以上だった場合、スイッチ手段240を構成するトランジスタ素子301のベース端には0.7(V)以上の電圧値の温度データ信号が入力される。その場合、トランジスタ素子301はONとなり、出力端304に印加される電圧値はGNDレベルとなる。それにより出力端304に接続されている加熱手段104には通電がなくなり発熱が止まり、加熱手段104による温度上昇が止まる。尚、このような状態のスイッチ手段240をOFF状態という。
このようなスイッチ手段240のON/OFF状態の切替により、加熱手段104の通電又は不通電を制御することで、容器体101の温度を0℃以上に保つことができる。これにより本発明では、0℃以上の温度に保たれた容器体101に搭載されている温度補償手段220により、同じく0℃以上の温度に保たれた容器体101に搭載されている水晶振動子103の周波数温度特性を温度補償すれば良いこととなる。
例えば、0℃、+25℃、+50℃、+65℃、+80℃の5つの温度ポイントにて水晶振動子103の温度に対する周波数偏差を実測し、三次関数発生回路211からの温度補償信号によりその周波数偏差を補償する。これにより従来の−30℃、0℃、25℃、60℃、80℃の5つの温度ポイントによる温度補償と比較して、本発明においては0℃以上の温度範囲中の5ポイントで水晶振動子の温度に対する周波数偏差値を補償ですることができ、従来と比べ狭い温度範囲で、三次関数発生回路から発生される計算上の三次関数の温度補償信号と水晶振動子の温度に対する周波数偏差との差異を小さくすることができ、補償後の温度に対する周波数偏差変化量が小さくすることが可能となる。
又、本実施形態のような温度補償型水晶発振器では、温度補償を行う温度ポイントを従来と同じ5ポイントにしても、補償後の温度に対する周波数偏差変化量を従来に比べ小さくすることができる。従って、従来のように補償後の温度に対する周波数偏差変化量が小さくするために温度ポイント数を増加させ、その増加させた温度ポイント数に対応した検査測定用の温度槽を増設することが不要となる。よって、温度槽増設に伴う工数の増加がなく、温度補償型水晶発振器の生産性が低下することがない。
尚、スイッチ手段240のON/OFF状態の切り替えを行う温度を0℃とするのは、図6に示すように、水晶振動子の温度に対する周波数偏差値の変動率の小さい温度(0℃)付近で切り替えを行うことで、例えスイッチ手段240のON/OFF切り替え温度に誤差が生じても補償値のズレを小さくでき、温度補償型水晶発振器としての周波数偏差値の変動率を小さくするためである。
本発明の実施形態にかかる温度補償型水晶発振器の構造断面図である。 本発明の実施形態にかかる温度補償型水晶発振器の回路構成を示す概略のブロック図である。 図2における可変容量素子と発振手段とスイッチ手段とを回路素子で示した説明図である。 本発明の実施形態にかかる温度補償型水晶発振器の回路に使用される電子素子の特性を示す図であり、(a)は、温度センサ素子の感知温度と出力される温度データ信号の電圧値との関係を示したグラフである。(b)は、トランジスタ素子のベース端に印加される温度データ信号の電圧値とスイッチ手段出力端の電圧値との関係を示すグラフである。 従来の温度補償型水晶発振器の回路構成を表すブロック図である。 水晶振動子単体における温度と周波数偏差との関係と、従来の温度補償型水晶発振器における補償後の温度と周波数偏差との関係を示したグラフである。
符号の説明
100・・・温度補償型水晶発振器
101・・・容器体
101a・・・基板
101b,101c・・・枠体
102・・・蓋体
103・・・水晶振動子
104・・・加熱手段
105・・・集積回路素子
106a,106b・・・キャビティー部
107・・・外部接続用電極端子
200・・・電子回路
210・・・温度感知手段
211・・・温度センサ素子
220・・・温度補償手段
221・・・三次関数発生回路
222・・・記憶回路
223・・・可変容量素子
230・・・発振手段
240・・・スイッチ手段
301・・・トランジスタ素子
303・・・電源電圧端子
305・・・第1のインバータ
306・・・第2のインバータ

Claims (3)

  1. 水晶振動子と集積回路素子を内部に備え、温度感知手段が生成する温度データ信号により温度補償する温度補償型水晶発振器であって、
    通電することにより発熱し、前記水晶振動子と同一空間内に設けられる加熱手段と、
    前記集積回路素子内には、前記温度感知手段と、前記加熱手段と、電源電圧端子とに電気的に接続し構成されているスイッチ手段と
    を備えていることを特徴とする温度補償型水晶発振器。
  2. 前記スイッチ手段は、前記温度データ信号が0℃を意味する場合を境にして、0℃未満の場合に加熱手段を通電させ、0℃以上の場合に加熱手段の通電を止めるものであることを特徴とする請求項1記載の温度補償型水晶発振器。
  3. 前記スイッチ手段が、トランジスタ素子を使用したスイッチ回路で構成されていることを特徴とする請求項1又は請求項2記載の温度補償型水晶発振器。
JP2008021969A 2008-01-31 2008-01-31 温度補償型水晶発振器 Pending JP2009182881A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2008021969A JP2009182881A (ja) 2008-01-31 2008-01-31 温度補償型水晶発振器

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2008021969A JP2009182881A (ja) 2008-01-31 2008-01-31 温度補償型水晶発振器

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2009182881A true JP2009182881A (ja) 2009-08-13

Family

ID=41036462

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2008021969A Pending JP2009182881A (ja) 2008-01-31 2008-01-31 温度補償型水晶発振器

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2009182881A (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2015005883A (ja) * 2013-06-21 2015-01-08 日本電波工業株式会社 水晶デバイス
JP2015216579A (ja) * 2014-05-13 2015-12-03 日本電波工業株式会社 恒温槽付水晶発振器
WO2019172323A1 (ja) * 2018-03-09 2019-09-12 日本電波工業株式会社 感知センサ

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2015005883A (ja) * 2013-06-21 2015-01-08 日本電波工業株式会社 水晶デバイス
JP2015216579A (ja) * 2014-05-13 2015-12-03 日本電波工業株式会社 恒温槽付水晶発振器
WO2019172323A1 (ja) * 2018-03-09 2019-09-12 日本電波工業株式会社 感知センサ
JP2019158472A (ja) * 2018-03-09 2019-09-19 日本電波工業株式会社 感知センサ
US11181509B2 (en) 2018-03-09 2021-11-23 Nihon Dempa Kogyo Co., Ltd. Sensing sensor

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5218169B2 (ja) 圧電発振器及びこの圧電発振器の周囲温度測定方法
JP2010154227A (ja) 多段型とした恒温型の水晶発振器
US9013244B2 (en) Oscillating device, oscillating element and electronic apparatus
JPH0918234A (ja) 温度補償圧電発振器
JP5218372B2 (ja) 圧電発振器、及び圧電発振器の周波数制御方法
JP2005286892A (ja) 温度センサーを内蔵した圧電振動子、及びそれを用いた圧電発振器
JP2011182154A (ja) 発振回路及び周波数補正型発振回路
JP5429653B2 (ja) 発振器、及び発振器の製造方法
JP5381162B2 (ja) 温度補償型発振器
JP2009182881A (ja) 温度補償型水晶発振器
JP6060011B2 (ja) 発振器
JP5970275B2 (ja) 高安定度の発振器
JP5311545B2 (ja) 発振器
JP2008141347A (ja) 温度補償型発振器
JP5291564B2 (ja) 発振器
JP5082988B2 (ja) 温度補償型圧電発振器の調整方法およびその方法により調整された温度補償型圧電発振器
JP5854769B2 (ja) 温度補償型発振器および温度補償型発振器の温度補償方法
JP2002135051A (ja) 圧電発振器
JP2013017074A (ja) 温度補償発振器および電子機器
JP2008092111A (ja) 温度補償型圧電発振器の検査方法
JP2015216579A (ja) 恒温槽付水晶発振器
JP2015065511A (ja) 恒温槽付水晶発振器
JP5213845B2 (ja) 温度補償水晶発振器
JP2010193134A (ja) 温度補償型圧電発振器
JP2011142444A (ja) 圧電発振器の製造方法、圧電発振器