JP2009180524A - 測定装置及び測定方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】短時間で測定を行うことができ、簡素な構成の3次元測定装置及び測定方法を得る。
【解決手段】薄板状部材の片面側に結像光学系及び撮像素子を配置し、溝部のうちの被測定部に蛍光を発する液体を流入させ、撮像素子により液体から発せられる蛍光を受光して画像を作成し、該画像に基づいて被測定部の平面形状及び深さの少なくとも一方を測定する測定装置とする。
【選択図】図4
【解決手段】薄板状部材の片面側に結像光学系及び撮像素子を配置し、溝部のうちの被測定部に蛍光を発する液体を流入させ、撮像素子により液体から発せられる蛍光を受光して画像を作成し、該画像に基づいて被測定部の平面形状及び深さの少なくとも一方を測定する測定装置とする。
【選択図】図4
Description
本発明は、薄板状の部材に形成された微細な溝部の形状を測定する測定装置及び測定法法に関するものである。
近年、マイクロマシン技術および超微細加工技術を駆使することにより、従来の試料調製、化学分析、化学合成などを行うための装置、手段(例えばポンプ、バルブ、流路である溝部、センサなど)を微細化して1チップ上に集積化したシステムが開発されている。これは、μ−TAS(Micro total Analysis System:マイクロ総合分析システム)、バイオリアクタ、ラブ・オン・チップ(Lab−on−chips)、バイオチップとも呼ばれ、医療検査・診断分野、環境測定分野、農産製造分野でその応用が期待されている。現実には遺伝子検査に見られるように、煩雑な工程、熟練した手技、機器類の操作が必要とされる場合には、自動化、高速化および簡便化されたミクロ化分析システムは、コスト、必要試料量、所要時間のみならず、時間および場所を選ばない分析を可能とすることによる恩恵は多大と言える。
また、マイクロチップの微細流路である溝部内に試薬などを封入し、マイクロポンプによって微細流路に液体を注入して試薬などを移動させ、反応部、次いで検出部へ流すことにより、血液など検体との反応結果を測定することができる反応検出装置も知られている。
上記のような反応検出装置においては、マイクロチップに形成される溝部である微細流路の深さや平面形状が正確に形成されていないと試薬等の流量が変化し、反応結果がばらつく恐れがあり、マイクロチップの微細流路は所定の精度内の寸法に形成されている必要がある。このためには、形成されたマイクロチップの微細流路が所定の精度内にあるか否かを測定し確認する必要がある。
一方、3次元の形状計測装置として、2次元配列型共焦点光学系を用いたものがある(例えば、特許文献1参照)。
特開2006−105835号公報
しかしながら、上記の3次元の形状計測装置は、被測定物を順次光軸方向に移動させ、移動位置と光検出器アレイの出力値を対にしてデータ処理を行うものである。このため、一つの測定に時間を要し、かつ複雑な光学系と正確な刻みで光軸方向に移動させるステージ等が必要であり、高価なものである。
本発明は、上記問題に鑑み、短時間で測定を行うことができ、簡素な構成の3次元測定装置及び測定方法を得ることを目的とするものである。
上記の目的は、下記構成により解決される。
(1)薄板状部材に形成された溝部の形状の測定装置であって、前記薄板状部材の片面側に結像光学系及び撮像素子を配置し、前記溝部のうちの被測定部に蛍光を発する液体を流入させ、前記撮像素子により前記液体から発せられる蛍光を受光して画像を作成し、該画像に基づいて前記被測定部の平面形状及び深さの少なくとも一方を測定することを特徴とする測定装置。
(2)前記画像の明部と暗部の境界に基づいて前記被測定部の平面形状を計測し、前記明部内の受光光量に基づいて前記被測定部の深さを計測することを特徴とする(1)に記載の測定装置。
(3)薄板状部材に形成された溝部の形状の測定装置であって、前記薄板状部材の片面側に結像光学系及び撮像素子を配置し、前記溝部のうちの被測定部に着色された液体を流入させ、前記薄板状部材を光源により照明し、前記撮像素子により前記薄板状部材の画像を作成し、該画像に基づいて前記被測定部の平面形状及び深さの少なくとも一方を測定することを特徴とする測定装置。
(4)前記画像の着色部に基づいて前記被測定部の平面形状を計測し、前記着色部内の受光光量に基づいて前記被測定部の深さを計測することを特徴とする(3)に記載の測定装置。
(5)薄板状部材に形成された溝部の形状の測定方法であって、前記溝部のうちの被測定部に蛍光を発する液体を流入させる工程と、前記液体から発せられる蛍光を受光する撮像素子による画像を作成する工程と、前記撮像素子により作成された画像に基づいて、前記被測定部の平面形状及び深さの少なくとも一方を測定する工程とを有することを特徴とする測定方法。
(6)薄板状部材に形成された溝部の形状の測定方法であって、前記溝部のうちの被測定部に着色された液体を流入させる工程と、前記薄板状部材を光源で照明し、撮像素子による薄板状部材の画像を作成する工程と、前記撮像素子により作成された画像に基づいて、前記被測定部の平面形状及び深さの少なくとも一方を測定する工程とを有することを特徴とする測定方法。
本発明によれば、3次元形状の測定を短時間で行うことのできる測定方法を得ることができ、簡素な構成で、3次元形状の測定を短時間で行うことのできる低価格の測定装置を得ることが可能となる。
以下、実施の形態により本発明を詳しく説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。
図1は、本実施の形態に係る測定装置で測定される被測定物の薄板状部材の一例を示す斜視図である。本例に示す溝部が形成された薄板状部材は、マイクロチップ分析システムに用いられるマイクロチップである。
同図に示すように、薄板状のマイクロチップ1には溝部である微細流路rが形成され、更に、微細流路rには微細流路rとは異なる断面形状の中間貯留部139、検出部148、廃液部160等が接続されて形成されている。微細流路rはマイクロメーターオーダーで形成されており、例えば、幅wは数十〜数百μm、好ましくは50〜300μmで、深さhは25〜1000μm程度、好ましくは50〜300μmである。なお、gは上流開口部、iは注入孔である。
同図に示すように、中間貯留部139、検出部148、廃液部160等は、目的に合わせた平面形状、深さに形成されている。
図2は、図1に示したマイクロチップの中間貯留部139周辺の拡大図である。同図(a)は平面図、同図(b)は同図(a)に示すA−A線で切断したA−A断面図、同図(c)は同図(a)に示すB−B線で切断したB−B断面図である。
同図に示すように、微細流路r1とr2の間に形成された中間貯留部139は、平坦な底面部139mと、底面部139mと微細流路r1とr2を繋ぐ傾斜部及び側道路139sで形成されている。なお、検出部148、廃液部160等についても、それぞれ目的に合わせて平面形状、深さが決められて形成されている。
なお、本明細書でいう溝部とは、微細流路r、中間貯留部139、検出部148、廃液部160等の凹部を総称している。
図3は、本実施の形態に係る薄板状部材の溝部の形状を測定する測定装置8の外観図である。以下、溝部が形成された薄板状部材の例である上記のマイクロチップを被測定物として説明する。
測定装置8の筐体82には、薄板状のマイクロチップ1を装置内部に挿入するための挿入口83、表示部84、メモリカードスロット85、プリント出力口86、操作パネル87、外部入出力端子88が設けられている。
測定担当者は、図1の矢印方向にマイクロチップ1を挿入し、操作パネル87を操作して測定を開始させる。測定装置8の内部では、マイクロチップ1に形成された溝部の測定が自動的に行われ、測定が終了すると表示部84に結果が表示される。測定結果は操作パネル87の操作により、プリント出力口86よりプリントを出力したり、メモリカードスロット85に挿入されたメモリカードに記憶したりすることができる。また、外部入出力端子88から例えばLANケーブルを使って、パソコンなどにデータを保存することができる。測定終了後、測定担当者はマイクロチップ1を挿入口83から取り出す。
図4は、本実施の形態に係る測定装置8の概略構成を示す断面模式図である。同図においては、マイクロチップが図3に示す挿入口83から挿入され、セットが完了している状態を示している。
測定装置8は、マイクロチップ1の溝部に励起光を照射すると蛍光を発する液体を送液するための駆動液L0を貯留する駆動液タンク70、マイクロチップ1に駆動液L0を供給するためのマイクロポンプ5を有している。6はポンプ接続部であり、マイクロポンプ5とマイクロチップ1とを駆動液L0が漏れないように接続している。マイクロポンプ5は、例えば圧電素子が用いられ駆動液L0を順方向(マイクロチップ1に向かう方向)、逆方向(駆動液タンク70に向かう方向)に送液が可能となっている。
また、マイクロチップ1の一方の面側(図4では下方)には、光源160と、この光源160からの励起光を効率よくマイクロチップ1に照射するための照射用レンズ150が配置されている。更に、マイクロチップ1の他方の面側(図4では上方)には、マイクロチップ1の表面を被写体とし、複数の受光画素が2次元的に配置された撮像素子161の撮像面を像面に設定された結像レンズ151が、蛍光波長近傍のみを透過させるバンドパスフィルタ152を介して配置されている。光源160は、例えば水銀ランプからなり、特定領域の波長の光を通過させるフィルタを介すことで、励起光としてマイクロチップ1に照射されるようになっている。
以下、測定装置8の測定動作の概略について説明する。
本実施の形態では、図1、図2に示す中間貯留部139の3次元形状の測定を例にとって説明する。
図5は、中間貯留部139へ励起光を照射すると蛍光を発する液体を充填させる工程を示す図である。
同図(a)に示すように、注入孔i1及びi2から、それぞれ異なる液体L1、L2を注入させる。この液体L1、L2は混合した状態で励起光を照射すると蛍光を発する試薬である。注入孔iは、液体を注入した後は封止されている。それぞれの液体Lの間には、空気airを介しているので隣接する液体L間では非接触状態が保たれるので、それぞれの液体は同図に示す初期配置においては混ざり合うことはない。また液体L1、L2の液体の総量は中間貯留部139の容量Vsよりも大きくしている。
次いで、同図(b)に示すように、上流開口部gからマイクロポンプ5により駆動液L0を注入させることにより送液を行う。駆動液L0の送液圧力により間に空気airを介した状態で、微細流路r1内に配置させていた液体Lは中間貯留部139に送液される。
更に、同図(c)に示すように、液体L1、L2が中間貯留部139に送液され混ざり合った状態となる。液体L1、L2の液体の総量は中間貯留部139の容量Vsよりも大きいため、中間貯留部139の下流側の連通部CNは送液された液体Lで充填される。
この連通部CNには、不図示であるが、液体が到達したか否かを検知する試料到達検知部が配置されている。試料到達検知部は、例えば所定の波長の光を発光するLED等で構成された発光部と、該発光部の光を受光する受光部で構成され、マイクロチップ1を挟んで配置されている。
試料到達検知部は、駆動液の注入中の所定の時間毎に、発光部より所定時間、光を発光させ、連通部CNを透過した光を受光部で受光させることで、透過光量を検知する。連通部CNに液体L1とL2の混合液が到達した場合には、透過光量即ち受光光量が変化し、充填されたことを検知することができる。
不図示の試料到達検知部が、連通部CNに位置する液体L1とL2の混合液の存在を検知するとマイクロポンプ5の動作を停止させる。
マイクロポンプ5の動作の停止後、所定の時間経過後に、光源160及びフィルタ、照射用レンズ150を介して、マイクロチップに向けて励起光を照射し、液体L1とL2の混合液から発せられる蛍光を撮像素子161で受光する。撮像素子161の撮像面上には、蛍光の波長を透過させるバンドパスフィルタ152と結像レンズ151により、中間貯留部139からの蛍光による画像が形成される。
図6は、光源160からの励起光の照射と、撮像素子161による蛍光の受光タイミングを示すタイムチャートである。
同図に示すように、光源160から励起光の照射を開始すると、図示の如く、液体L1とL2の混合液は蛍光を発し始め、その後安定した状態となる。撮像素子161は、蛍光の発光が安定した状態となって後に受光が開始されるよう設定されている。即ち、時間T1は、光源160からの励起光照射から蛍光発光の安定するまでの時間以上の時間に設定されている。さらに、撮像素子161の受光を時間T2の間行った後停止させ、その後、時間T3経過後に光源160の励起光の照射を停止させる。なお、撮像素子161の光量蓄積が少ない場合には、この動作を複数回行ってもよい。
この後、撮像素子161の各画素の光電変換データを読み出し、所定の処理をおこなって、蛍光による画像を作成する。
図7は、撮像素子161により得られた中間貯留部139の画像を示す図である。同図(a)は、撮像素子161により得られた中間貯留部139の画像から、明部と暗部の境界を抽出した図であり、同図(b)は同図(a)に示すB−B線上の画素の出力を示す図であり、同図(c)は同図(a)に示すC−C線上の画素の出力を示す図である。
撮像素子161により得られた画像の明部と暗部の境界は、蛍光を発する部位とそうでない部位の境界であるため、同図(a)に示す明部と暗部の境界を抽出した形状は、中間貯留部139の平面形状を示すものとなる。この形状の実寸は、撮像素子上の大きさと設定されている撮像倍率の逆数の積により求めることができる。
また、蛍光の光量(強度)は、その深さに比例して増加するため、同図(b)、(c)に示すそれぞれの線上の画素出力は、その線上の中間貯留部139の深さに対応した出力となる。このため、明部内の各画素出力を得ることで各画素の位置に対応する中間貯留部139の深さを求めることができる。
このように、蛍光を受光して画像を作成し、明部と暗部の境界部を抽出することで平面形状を計測することができ、明部内の各点の画素出力即ち受光光量により深さを計測する事ができる。即ち、明部と暗部の境界部と明部内の各点の画素出力により3次元形状を求めることができる。
なお、測定部位が、結像レンズの光軸近傍に無い場合には、結像レンズ151の周辺光量特性のデータ等を用いて、像高に対応して画素出力値を校正することが好ましい。また、上記の例では光源と撮像素子を薄板状部材を挟むように配置した例で説明したが、光源と撮像素子を薄板状部材を一方の側に配置してもよい。
また、上記の実施の形態では、溝部に蛍光を発する液体を流入充填させて該溝部の3次元形状を測定するものであるが、溝部に着色された液体を流入充填させても測定が可能である。以下、着色された液体を流入充填させて測定する場合について説明する。
図8は、中間貯留部139に着色された液体を流入充填させた場合の、撮像素子161により得られた中間貯留部139の画像を示す図である。同図(a)は、撮像素子161により得られた薄板状部材の画像から、液体により着色された中間貯留部139の境界を抽出した図であり、同図(b)は同図(a)に示すB−B線上の画素の出力を示す図であり、同図(c)は同図(a)に示すC−C線上の画素の出力を示す図である。
例えば、薄板状部材が略透明に形成されている場合、撮像素子161により得られる薄板状部材の画像から、液体により着色された部位を境界にして抽出すると同図(a)に示すような画像が得られる。また、この着色部の透過光量(強度)は、その深さに比例して減衰するため、同図(b)、(c)に示すそれぞれの線上の画素出力は、その線上の中間貯留部139の深さに対応した出力となる。このため、着色部内の各画素出力を得ることで各画素の位置に対応する中間貯留部139の深さを求めることができる。なお、この着色された液体を用い、透過光量に基づいて深さを測定する場合には、薄板状部材の一方の面側に撮像素子を配置し、他方の面から照明光を入射させる構成がよい。
このように、着色部を抽出することで被測定部の平面形状を計測することができ、着色部内の各点の画素出力即ち受光光量に基づいて被測定部の深さを計測することができる。即ち、着色部の境界と着色部内の各点の画素出力により3次元形状を求めることができる。
1 マイクロチップ
5 マイクロポンプ
6 ポンプ接続部
8 測定装置
139 中間貯留部
150 照射用レンズ
151 結像レンズ
152 バンドパスフィルタ
160 光源
161 撮像素子
5 マイクロポンプ
6 ポンプ接続部
8 測定装置
139 中間貯留部
150 照射用レンズ
151 結像レンズ
152 バンドパスフィルタ
160 光源
161 撮像素子
Claims (6)
- 薄板状部材に形成された溝部の形状の測定装置であって、
前記薄板状部材の片面側に結像光学系及び撮像素子を配置し、前記溝部のうちの被測定部に蛍光を発する液体を流入させ、前記撮像素子により前記液体から発せられる蛍光を受光して画像を作成し、該画像に基づいて前記被測定部の平面形状及び深さの少なくとも一方を測定することを特徴とする測定装置。 - 前記画像の明部と暗部の境界に基づいて前記被測定部の平面形状を計測し、前記明部内の受光光量に基づいて前記被測定部の深さを計測することを特徴とする請求項1に記載の測定装置。
- 薄板状部材に形成された溝部の形状の測定装置であって、
前記薄板状部材の片面側に結像光学系及び撮像素子を配置し、前記溝部のうちの被測定部に着色された液体を流入させ、前記薄板状部材を光源により照明し、前記撮像素子により前記薄板状部材の画像を作成し、該画像に基づいて前記被測定部の平面形状及び深さの少なくとも一方を測定することを特徴とする測定装置。 - 前記画像の着色部に基づいて前記被測定部の平面形状を計測し、前記着色部内の受光光量に基づいて前記被測定部の深さを計測することを特徴とする請求項3に記載の測定装置。
- 薄板状部材に形成された溝部の形状の測定方法であって、
前記溝部のうちの被測定部に蛍光を発する液体を流入させる工程と、
前記液体から発せられる蛍光を受光する撮像素子による画像を作成する工程と、
前記撮像素子により作成された画像に基づいて、前記被測定部の平面形状及び深さの少なくとも一方を測定する工程とを有することを特徴とする測定方法。 - 薄板状部材に形成された溝部の形状の測定方法であって、
前記溝部のうちの被測定部に着色された液体を流入させる工程と、
前記薄板状部材を光源で照明し、撮像素子による薄板状部材の画像を作成する工程と、
前記撮像素子により作成された画像に基づいて、前記被測定部の平面形状及び深さの少なくとも一方を測定する工程とを有することを特徴とする測定方法。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008017389A JP2009180524A (ja) | 2008-01-29 | 2008-01-29 | 測定装置及び測定方法 |
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JP2008017389A JP2009180524A (ja) | 2008-01-29 | 2008-01-29 | 測定装置及び測定方法 |
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Publication Number | Publication Date |
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JP2009180524A true JP2009180524A (ja) | 2009-08-13 |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2013080956A1 (ja) * | 2011-12-01 | 2013-06-06 | 富士機械製造株式会社 | 半導体素子画像認識装置及び半導体素子画像認識方法 |
-
2008
- 2008-01-29 JP JP2008017389A patent/JP2009180524A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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WO2013080956A1 (ja) * | 2011-12-01 | 2013-06-06 | 富士機械製造株式会社 | 半導体素子画像認識装置及び半導体素子画像認識方法 |
JP2013117390A (ja) * | 2011-12-01 | 2013-06-13 | Fuji Mach Mfg Co Ltd | 半導体素子画像認識装置及び半導体素子画像認識方法 |
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