JP2009167898A

JP2009167898A - モニタ付吐出ポンプ

Info

Publication number: JP2009167898A
Application number: JP2008006442A
Authority: JP
Inventors: Hidekazu Murakami; 英一村上
Original assignee: RALLY MASTER KK
Current assignee: RALLY MASTER KK
Priority date: 2008-01-16
Filing date: 2008-01-16
Publication date: 2009-07-30

Abstract

【課題】小さなコストで液体の通過状態を簡便にモニタする。
【解決手段】間欠的に液体を吐出する容積型ポンプであるダイアフラムポンプ１には、薬液タンク２からの供給管３が接続されており、合成樹脂から成る吐出管４が設けられている。また、ダイアフラムポンプ１にリリーフ配管５が接続されており、他端は薬液タンク２に接続されている。吐出管４には圧電素子６が取り付けられており、圧電素子６の出力は検出器７に接続されている。
吐出管４を液体が間欠的に通過する度に、液体の圧力により吐出管４の径は脈動的に拡大・縮小するので、その変化を圧電素子６により検出することにより、液体の吐出管４での通過状態をモニタする。
【選択図】図１

Description

本発明は、間欠的に吐出するポンプの吐出状態を確認し得るモニタ付吐出ポンプに関するものである。

従来から、例えばダイアフラムポンプの吐出による流量は、ダイアフラムポンプが１往復するときの容積で求めることができる。しかし、入口側が閉塞したときにはポンプが空送りをすることもあり、単純にポンプの往復数だけ計数しても正しい流量が得られず、通常では流量センサと組み合わせて使用されることが多い。

また、特許文献１、２においては、吐出側に圧力センサを配置して圧力の変動から故障を検出したり、フィードバックして吐出圧力の安定化を図っている。

特開平８−２３２８４７号公報特開平１１−６２８３８号公報

しかし、このようにポンプの吐出口側に、流量センサや圧力センサを配置することは、これらを配管中に接続しなければならず、コストが大きくなる問題点がある。また、流量センサとしてギアを用いた容積式流量計を使用し、かつ液体として薬液を使用すると、薬液から結晶が生じてギアが噛み込み使用不能となることがある。

本発明の目的は、上述の課題を解消し、小さなコストで簡便にモニタし得るモニタ付吐出ポンプを提供することにある。

上記目的を達成するための本発明に係るモニタ付吐出ポンプは、液体を間欠的に吐出するポンプの吐出管にセンサを配置し、脈動に伴う前記センサによる前記吐出管の径の変化を検出することにより、前記ポンプから吐出する前記液体の前記吐出管の通過状態をモニタすることを特徴とする。

本発明に係るモニタ付吐出ポンプによれば、液体の吐出が確実になされているかを簡便にモニタすることができる。

本発明を図示の実施例に基づいて詳細に説明する。
図１は実施例のモニタ付吐出ポンプの構成図である。例えば、容積型ポンプであるダイアフラムポンプ１には、薬液タンク２からの供給管３が接続されており、合成樹脂から成る吐出管４が設けられている。また、ダイアフラムポンプ１にリリーフ配管５が接続されており、他端は薬液タンク２に接続されている。吐出管４には圧電素子（ＰＺＴ）６が取り付けられており、圧電素子６の出力は検出器７に接続されている。圧電素子６の取り付けは、吐出管４への接着、機械的な押し当て、或いはテープ巻等により行うことができる。

ダイアフラムポンプ１はゴム等の隔膜から成るダイアフラムを往復動させることによって、ダイアフラムに囲まれたポンプ室の容積を変化させて、液体を間欠的に送るようになっている。

吐出管４を液体が間欠的に通過する度に、液体の圧力により吐出管４の径は脈動的に拡大・縮小するので、その変化を圧電素子６、検出器７により検出することにより、液体の吐出管４での通過状態をモニタするようになっている。

もっとも、吐出管４に液体が吐出されなくとも、ダイアフラムポンプ１が作動している限り、吐出管４にはダイアフラムポンプ１の間欠的な振動が伝達され、圧電素子６はその振動を拾うので、圧電素子６の出力に閾値を設けて、検出器７においては一定以上のレベルの出力のみを求め、液体による吐出管４の径の変化だけを確実に検出することが必要である。

例えば、ダイアフラムポンプ１の入口側が閉塞されたり、液体の供給がなくなると、ダイアフラムポンプ１は作動しても吐出管４に液体が流れないので、吐出管４の径は変位せず、圧電素子６、検出器７による径の変化による出力は得られなくなる。

また、圧電素子６を取り付ける吐出管４は金属製であってもよいが、吐出量が小さい場合は径が十分に変化せず、十分な出力が得られないこともある。この場合には、機械的なてこ機構を用いて変化を拡大することにより、検出することもできる。

更に、圧電素子６はダイアフラムポンプ１のケース内の吐出管４に取り付け、検出器７もケース内に配置すれば、ダイアフラムポンプ１からは検出器７の信号のみを取り出せばよいので、簡便な構造となる。

なお、本発明は上述した実施例にのみ限定されるものではなく、例えば圧電素子６に代えて磁歪素子、歪みゲージ、光電センサなどを使用したり、その他の幾多の変形が可能である。

実施例の構成図である。

符号の説明

１ダイアフラムポンプ
２薬液タンク
３供給管
４吐出管
５リリーフ配管
６圧電素子
７検出器

Claims

液体を間欠的に吐出するポンプの吐出管にセンサを配置し、脈動に伴う前記センサによる前記吐出管の径の変化を検出することにより、前記ポンプから吐出する前記液体の前記吐出管の通過状態をモニタすることを特徴とするモニタ付吐出ポンプ。
前記センサは圧電素子としたことを特徴とする請求項１に記載のモニタ付吐出ポンプ。
前記ポンプはダイアフラムポンプとしたことを特徴とする請求項１に記載のモニタ付吐出ポンプ。