JP2009164517A - 駆動装置及び基板搬送システム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】近接して停止した被駆動対象の受力部に外部から回動駆動力を供給する駆動装置20であって、前記受力部に係合可能な係合部と、該係合部に連結された調芯部と、前記被駆動対象に向けて前記係合部と前記調芯部とを進退させる進退部と、前記係合部と前記調芯部とを進退方向に平行な軸周りに回動可能な回動部と、を備えることを特徴とする。
【選択図】図4
Description
このように、成膜処理の工程において高温・真空の処理装置と常温の大気中とを繰返し通過する基板搬送装置は、基板着脱機構の駆動源を基板搬送装置に直接搭載させると不正常な動作をする恐れがあり、外部の自動基板着脱装置により基板の着脱がなされている。
しかし、各基板搬送装置は、組み立て時に発生する誤差や基板着脱時に発生する位置決め誤差、加熱処理による熱膨張により受力部の位置が一様なものとならないので、駆動装置が受力部に係合することができず、基板着脱装置に最適に駆動力を伝えるのが困難であるという問題がある。
本発明に係る駆動装置は、近接して停止した被駆動対象の受力部に外部から回動駆動力を供給する駆動装置であって、前記受力部に係合可能な係合部と、該係合部に連結された調芯部と、前記被駆動対象に向けて前記係合部と前記調芯部とを進退させる進退部と、前記係合部と前記調芯部とを進退方向に平行な軸周りに回動可能な回動部と、を備えることを特徴とする。
図1は、本発明の実施形態に係る基板搬送装置1の概略構成図である。
なお、図において、基板搬送装置の搬送方向をX方向、基板保持部の配列方向をY方向、鉛直方向をZ方向とする。
図2に示すように、基板保持部10は、保持フレーム11に基板Pを保持して搬送を行うものであって、保持フレーム11に回動可能に支持されたクランプ軸13と、このクランプ軸13に取り付けられて基板Pの周縁を押圧保持するクランプアーム14と、クランプ軸13を基板押圧方向にバネ付勢するコイルバネ15とから成る基板着脱機構16を備えている。
保持フレーム11は、基板Pより少し小さい開口部11aを有しており、開口部11aの周縁に沿ってクランプ軸13が配設されている。また、保持フレーム11の開口部11aの下端には、基板Pを載置するための載置パッド12が配設されている。
受力部13Aは、基板搬送装置1が基板Pの搭載位置又は取り出し位置に在る場合に、外部から駆動装置20(後述する)によって回動操作されるものであり、下面には外部の空間と連通する薄板状の空間13aが形成されており、Y方向に対向する一組の内壁面がテーパ状に形成されて下面から上側に進むにつれて狭くなるようになっている。
本実施の形態では、コイルバネ15は一つのクランプ軸13に2個取り付けられている。また、受力部13Aは、約180度回転する。
図4に示すように、基板着脱装置19は、基板搭載位置及び基板取り出し位置に設けられたものであり、基板搬送装置1が上方に停止すると、各基板保持部10の基板着脱機構16に対して回動駆動力を供給して、基板Pの着脱を行うものである。この基板着脱装置19は、X方向における各側面に駆動ユニット20Uを備えている。
駆動ユニット20Uは、箱型のケーシング20Kに6つの駆動装置20を収容したものである。
この駆動装置20は、受力部13Aと調芯及び係合可能な駆動力伝達部20aと、Z方向に伸縮可能及びZ軸と平行な中心軸O周りに回動可能なエアシリンダ20bとを備えている。
駆動力伝達部20aは、X方向及びY方向に移動可能な第一部材21と、Y方向に移動可能な第二部材22と、エアシリンダ20b(詳しくはロッド40)に固定連結される第三部材23とを備えるものであって、第一部材21と第二部材22との間に設けられた第一スライダユニット25と、第一部材21と第二部材22との間に第二スライダユニット26とが備えられている。また、第一部材21と、第三部材23にそれぞれ二つずつ取り付けられたスプリングプランジャ27とを備えている。
係合部32は、上端がテーパ状に形成された平板状のものであり、この係合部32と取付板31bとは同一のXZ平面に沿うようにして形成されている。この係合部32の上部は、受力部13Aに形成された空間13aの上側と係合することが可能である。
力受柱33aは、XY平面上の断面が四半のものであって、基台部33の両端面における中心軸0を基準として点対称的に形成されており、一方の端面の力受柱33aは、他方の端面の力受柱33aと90度ずらしたようにして形成されている。
基台部34は、Y方向において背向する両側面からY方向に突出する取付板34bを有しており、この取付板34bにはX方向に貫通する円孔が形成されている。
ロッド40は、シリンダ41に収容された状態からZ方向に伸縮可能であり、ロッド40の先端には駆動力伝達部20aにおける第三部材23の固定部35が固定されている。すなわち、ロッド40は、駆動力伝達部20aをZ方向に進退させることが可能である。
まず、基板搬送装置1は、基板着脱機構16に基板Pを搭載するべく基板搭載位置の予め決められた位置に位置決めされる。この際、基板搬送装置1は基板着脱装置19の上方に位置すると共に、駆動ユニット20Uの各駆動装置20にほぼ対応した位置に受力部13Aが位置する。
すなわち、係合部32における回転軸Oaは、係合部32が受力部13Aに係合して生じる抵抗によりX方向に移動する。
また、係合部32のZ軸方向の進行により、係合部32のテーパ部から受ける反力のY方向の成分が第一スライダユニット25に作用することにより、スライダ25sがレール25rをY方向に滑動して、これに連結された係合部32がY方向に移動する。すなわち、係合部32における回転軸OaがY方向に移動する。
例えば、本実施形態では、基板搭載位置と基板取り出し位置の両方に基板着脱装置19を設けたが、これを可動式に構成すると共に製造ラインをコの字型に構成すれば、一つの基板着脱装置19で基板の着脱を行うことができる。
また、上述した実施の形態では、エアシリンダ20bを用いて回動部と進退部とを一体的に構成したがこれを別々に用いてもよい。
13A…受力部
16…基板着脱機構
20…駆動装置
31a…主面
31b…取付板
32…係合部
36…調芯部
40…ロッド(進退部)
43…回動部
P…基板
Oa…回転軸
Oj…回転軸
Claims (4)
- 近接して停止した被駆動対象の受力部に外部から回動駆動力を供給する駆動装置であって、
前記受力部に係合可能な係合部と、
該係合部に連結された調芯部と、
前記被駆動対象に向けて前記係合部と前記調芯部とを進退させる進退部と、
前記係合部と前記調芯部とを進退方向に平行な軸周りに回動可能な回動部と、
を備えることを特徴とする駆動装置。 - 前記調芯部は、前記係合部が前記受力部に係合することにより、前記係合部を前記進退部による進退方向と異なる方向に移動させて前記受力部の回転軸に対して前記係合部の回転軸を一致させることを特徴とする請求項1に記載の駆動装置。
- 基板を保持して搬送すると共に、外部から供給された回動駆動力により前記基板の解放がなされる基板着脱機構を備える基板搬送装置と、前記基板搬送装置の搬送路近傍に配置されると共に、前記基板着脱機構に対して外部から回動駆動力を供給する駆動装置と、を備える基板搬送システムにおいて、
前記駆動装置として、請求項1又は2に記載の駆動装置を用いることを特徴とする基板搬送システム。 - 前記基板搬送装置は、前記基板着脱機構が前記基板の主面の法線方向に所定の間隔で配置され、
前記駆動装置は、前記基板着脱機構のそれぞれの端部に配置された受力部の位置に対応するように前記所定の間隔と同一の間隔で複数配置されていることを特徴とする請求項3に記載の基板搬送システム。
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-
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