JP2009159806A

JP2009159806A - 遠隔制御電力分配装置及びこれを含む半導体装備の電力分配システム

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Publication number: JP2009159806A
Application number: JP2008009487A
Authority: JP
Inventors: Nae-Il Lee; 来一李
Original assignee: Semes Co Ltd
Current assignee: Semes Co Ltd
Priority date: 2007-12-27
Filing date: 2008-01-18
Publication date: 2009-07-16
Also published as: TW200929785A; US20090171508A1; KR20090070213A

Abstract

【課題】遠隔制御電力分配装置及びこれを含む半導体装備の電力分配システムが開示される。
【解決手段】遠隔制御電力分配装置は、主電力線を通じて外部から供給される使用者電力を分配して複数の第１電力線を通じて一つ以上の移送モジュールと複数の処理モジュールを含む複数のデバイスモジュールそれぞれに複数の必要電力を供給する。ＣＴＣは電力分配器及びデバイスモジュールと接続され、必要電力を電力線通信を通じて実時間で遠隔制御する。したがって、複数の電力線通信とＧＵＲＩＣＳというソフトウェアプログラムを通じて半導体装備システムの維持保守及び電力システムの分散制御及びモニタリングを実時間で遠隔によって行うことができる。
【選択図】図５

Description

本発明は、電力分配装置に係わり、より詳細には電力線通信を用いる半導体装備の電力分配装置に関する。

電力線通信（ｐｏｗｅｒｌｉｎｅｃｏｍｍｕｎｉｃａｔｉｏｎ）は、既存に構成された電力線を通信媒介体として用いる方式であって、一般的に電気の供給される常用化した電力線を用いてデータを送受信するデジタルデータ通信技術を示す。

電力線通信は、既に布設された電力施設を活用するため、費用の最小化およびシステムの構築期間がないか非常に短いので、新しい通信網の構築に比べて効率性が極大化する。また、電力線通信は、全世界多くの産業現場および家庭に適用された電力装置（ｐｌｕｇ、ｐｏｗｅｒｃａｂｌｅ）を通じて適用されるので、既存の特化した通信技術より使用者の親しさが高く、単一インフラを通じる制御のみならず、音声、画像、データ、およびその他のサービスをより容易に統合してシステムを構築することができる。反面、限定された電力線を用いる通信線路の問題は制限された伝送能力によって高容量通信制御および多重通信時に通信可能な距離に制約を受けるようになる。なお、可変的で高い減衰現像、可変インピーダンスレベルノイズと電力線の配置の構造的な問題によるデータの増加時の信号処理問題などから補完が必要であるという短所がある。

電力線通信の原理は、銅線を用いる超高速データ通信に類似であり、通信媒介体が電力線を用いて適用する方式である。即ち、われらが用いる常用電力は６０（または５０）［Ｈｚ］の低周波形式で供給され、ここで通信データを電力対比高周波成分に変換して使用電力ラインにカップラーを通じてモジュレーションして伝送する。受信側ではハイパスフィルターを適用して復調（ｄｅｍｏｄｕｌａｔｉｏｎ）して希望するデータを復元して希望するデータを復元させて用いる方式を示す。電力線通信は、大きく低速遠隔制御のために約４５０［ｋＨｚ］程度を伝送して制御する低速通信と２〜１５［ＭＨｚ］程度を用いてイーサネット（Ｅｔｈｅｒｎｅｔ）のような大容量高速通信との２種通信制御方式が現在広く用いられている。

電力線通信の適用可能な分野は、音声通信、高速接続サービス、ホームネットワーク、産業分野の制御、及び自動化、遠隔検針などがある。電力線通信は、現在溝ネットワーキングや工場制御など多い分野で示範的に適用されている。しかし、まだ低速と高速電力線通信技術は開始段階にあり、過負荷による電波妨害、時々刻々変わるチャンネル特性、電気製品のノイズと信号歪曲現像、既存無線周波数の帯域との相衝などの問題点などが解決課題として残っている。

一般的に半導体製造装備は一つ以上の移送モジュール及び複数の処理モジュールを含み一つのシステムで構成される。このような移送モジュール及び複数の処理モジュールには多種の電力が電力分配器を通じて供給される。従来には移送モジュール及び処理モジュールを維持保守するために移送モジュール及び処理モジュールに供給される電力を遮断するために遠距離の地下に位置している電力分配器にエンジニアが直接移動して手動制御を通じて電力を遮断していた。このような手動制御は、急変する半導体市場で維持保守の時間の増大と現在設備に電力が供給されているかについての状態をモニタリングすることができないため、システムの破損及び安全事項などの問題を発生するおそれがある。

前記のような問題点を解決するために、本発明の一目的は、半導体プラズマ装備に供給される電力を電力線通信を通じて実時間で遠隔制御しうる遠隔制御電力分配装置を提供することにある。
また、本発明の一目的は、前記遠隔制御電力分配装置を含む半導体装備の電力分配システムを提供することにある。
また、本発明の一目的は、複数のデバイスモジュールに供給される電力を遠隔に制御する方法を提供することにある。

前記目的を達成するために本発明の一実施例による遠隔制御電力分配装置は、電力分配器とクラスターツールコントローラ（ｃｌｕｓｔｅｒｔｏｏｌｃｏｎｔｒｏｌｌｅｒ；以下、ＣＴＣ）を含む。

前記電力分配器は、外部から供給される使用者電力を分配して一つ以上の移送モジュールと複数の処理モジュールを具備する複数のデバイスモジュールそれぞれに複数の必要電力を供給する。前記ＣＴＣは、前記電力分配器と前記複数のデバイスモジュールと接続され、前記電力分配器で前記デバイスモジュールのそれぞれに供給される前記必要電力を電力線通信を通じて実時間で遠隔制御する。

実施例において、前記電力分配器と前記ＣＴＣは、前記電力線通信を行う第１電力線通信モデムと第２電力線通信モデムをそれぞれ含むことができる。

実施例において、前記電力分配器と前記ＣＴＣは電力線に通じて接続され、前記ＣＴＣと前記デバイスモジュールは、ＲＡＮまたはイサーネットを通じて接続することができる。

実施例において、前記電力線通信は、ＣＳＭＡ／ＡＭＰ（ｃａｒｒｉｅｒｓｅｎｓｅｍｕｌｔｉｐｌｅａｃｃｅｓｓ／ａｒｂｉｔｒａｔｉｏｎｂｙｍｅｓｓａｇｅｐｉｏｒｉｔｙ）アルゴリズムを用いることができ、前記電力線通信にはＣＡＮ（ｃｏｎｔｒｏｌａｒｅａｎｅｔｗｏｒｋ）通信を適用することができる、

実施例において、前記ＣＴＣはソフトウェアプログラムを通じて前記遠隔制御を行うことができる。前記ソフトウェアプログラムはＧＵＲＩＣＳ（ｇｒａｐｈｉｃｕｓｅｒｉｎｔｅｒｆａｃｅｒｅｍｏｔｅｃｏｎｔｒｏｌｓｙｓｔｅｍ）であってもよい。前記ＧＵＲＩＣＳによって前記複数のデバイスモジュールに対する電力分散制御を行うことができる。前記ＧＵＲＩＣＳは、前記複数のデバイスモジュールに供給される前記必要電力をモニタリングすることができる。

前記目的を達成するための本発明の他の実施例による遠隔制御電力分配装置は、電力分配器とＣＴＣを含む。

前記電力分配器は、主電力線を通じて外部から供給される使用者電力を分配して複数の第１電力線を通じて一つ以上の移送モジュールと複数の処理モジュールを含む複数のデバイスモジュールそれぞれに複数の必要電力を供給する。前記ＣＴＣは、前記電力分配器及び前記デバイスモジュールと接続され、前記必要電力を電力線通信に通じて実時間で遠隔制御する。

実施例において、前記ＣＴＣは、前記電力分配器と前記デバイスモジュールと電力線とで接続することができる。

実施例において、前記電力分配器は前記使用者電力の供給を受ける入力部と、前記入力部と接続され前記使用者電力を分配する分配部と、前記分配部と接続され、前記分配された使用者電力を出力する出力部と、前記ＣＴＣと前記電力線の通信を行う第１電力線モデムを含み、前記入力部、前記分配部、及び前記出力部を制御して前記必要電力を供給させる制御部と、を含むことができる。

前記ＣＴＣは、前記第１電力線モデムと前記電力線通信を行う第２電力線モデムを含むことができる。前記デバイスモジュールは、それぞれ前記ＣＴＣと電力線通信を通じて前記必要電力についての情報と電力状態についての情報とを提供する第３電力線モデムを含むことができる。

前記目的を達成するための本発明の一実施例による電力分配システムは、複数のデバイスモジュール、電力分配器、及びＣＴＣを含む。

前記デバイスモジュールは、一つ以上の移送モジュールと複数の処理モジュールとを含む。前記電力分配器は、主電力線を通じて外部から供給される使用者電力を分配して複数の第１電力線を通じて前記デバイスモジュールそれぞれに複数の必要電力を供給する。前記ＣＴＣは、前記電力分配器と第２電力線で接続され、前記デバイスモジュールと複数の第３電力線で接続され、前記必要電力を電力線通信を通じて実時間で遠隔制御する。

前記目的を達成するための本発明の一実施例による複数のデバイスモジュールに供給する電力を遠隔で制御する方法において、外部から供給される使用者電力を分配し、複数の電力線を通じて前記複数のデバイスモジュールそれぞれが必要とする複数の必要電力を前記分配された使用者電力から供給し、前記複数の必要電力を電力線通信を通じて実時間で遠隔制御する。

前記のような本発明の実施例による遠隔制御電力分配装置、半導体製造装備の電力分配システム及び複数のデバイスモジュールに供給される電力を遠隔によって制御する方法は、電力線通信とＧＵＲＩＣＳというソフトウェアプログラムを通じて半導体装備システムの維持保守及び電力システムの分散制御及びモニタリングを実時間で遠隔によって行うことができる。

以下、添付する図面を参照して本発明の実施例による半導体装置の製造方法について詳細に説明する。また、各図に示した同一の参照符号は同一の構成要素を示す。

図１は、本発明の一実施例による遠隔制御電力分配装置を示すブロック図である。
図１を参照すると、本発明の一実施例による遠隔制御電力分配装置１００は、電力分配器１０とクラスターツールコントローラ（ｃｌｕｓｔｅｒｔｏｏｌｃｏｎｔｒｏｌｌｅｒ；以下ＣＴＣ、２０）を含む。

電力分配器１０は、主電力線４０を通じて外部から供給される使用者電極を分配して第１電力線５０を通じて複数のデバイスモジュール（３１、３３、３５）が必要とする必要電力を供給する。複数のデバイスモジュール（３１、３３、３５）は、半導体プラズマ装備であってもよく、一つ以上の移送モジュール３１と複数の処理モジュール（３３、３５）を含むことができる。

図示していないが、ＣＴＣ２０は、マスタースケジューラとモジュールスケジューラを含み、工程レシピに対応してマスタースケジューラからモジュールスケジュラに各モジュール（３１、３３、３５）に対する制御命令を伝達することができる。モジュールスケジューラは制御命令に応答して各モジュール（３１、３３、３５）の動作スケジューリングを制御することができる。

ＣＴＣ２０は、電力分配器１０とは第２電力線６０を通じて接続され、デバイスモジュール（３１、３３、３５）とはラン（ＬＡＮ）やイサーネット（Ｅｔｈｅｒｎｅｔ）のようなネットワーク７０を通じて連結することができる。ＣＴＣ２０は、ランやイサーネットを通じてデバイスモジュール（３１、３３、３５）それぞれの必要電力についての情報と状態の提供を受けることができる。この情報と状態に基づいてＣＴＣ２０は電力分配器１０と電力線通信を通じてデバイスモジュール３０に供給される必要電力を実時間で遠隔制御する。このような遠隔制御のために電力分配器１０は第１電力線通信モデム１５を含み、ＣＴＣ２０は、第２電力線通信モデム２５を含む。ＣＴＣ２０と電力分配器１０との間の電力線通信にはロバスト（ｒｏｂｕｓｔ）通信制御アルゴリズムの一つであるＣＳＭＡ／ＡＭＰ（ｃａｒｒｉｅｒｓｅｎｓｅｍｕｌｔｉｐｌｅａｃｃｅｓｓ／ａｒｂｉｔｒａｔｉｏｎｂｙｍｅｓｓａｇｅｐｒｉｏｒｉｔｙ）アルゴリズムが用いられ、半導体プラズマ装備（例えば、ＣＶＤやＥｔｃｈｅｒ）からのノイズを最小化することができる。ここで、ＣＳＭＡ／ＡＭＰ方式は、ＣＴＣ２０に複数のデバイスモジュール（３１、３３、３５）が接続されるので、ＣＴＣ２０へのデータ伝送時に衝突が発生する場合に優先順位によってデータを処理するためである。また、ＣＴＣ２０と電力分配器１０との間の電力線通信にはＣＡＮ（ｃｏｎｔｒｏｌａｒｅａｎｅｔｗｏｒｋ）通信技術を適用することができる。

ＣＴＣ２０は、ＣＵＲＩＣＳ（ｇｒａｐｈｉｃｕｓｅｒｉｎｔｅｒｆａｃｅｒｅｍｏｔｅｃｏｎｔｒｏｌｓｙｓｔｅｍ）というソフトウェアプログラムを通じて電力分配器１０からデバイスモジュール３０に対する電力制御を行うことができる。

図２は、実際フィールドで電力分配器１０とＣＴＣ２０との位置関係を示す。
図２を参照すると、電力分配器１０は地下に位置することができ、ＣＴＣ２０は地上に位置してＧＵＲＩＣＳ８０を用いて電力線通信で電力分配器１０を遠距離から実時間で制御することができる。

図３及び図４は、実際ＧＵＲＩＣＳ８０によって制御されるデバイスモジュール（３１、３３、３５）と各デバイスモジュール３０に供給される必要電力の状態を示す。即ち、ＧＵＲＩＣＳ８０を通じてデバイスモジュール３０に対する電力分散制御が実時間で行われ、またデバイスモジュール（３１、３３、３５）に必要電力がちゃんと供給されるか実時間でモニタリングすることができる。

電力分配器１０でデバイスモジュール３０に供給する必要電力は多種がある。本発明の一実施例による遠隔制御電力分配装置はこのような多種の必要電力を電力線を通じてＧＵＲＩＣＳ８０を用いてソフトウェア的に実時間で制御することによって半導体プラズマ装備に対するロバスト制御、安全性の確保及び維持保守の時間を短縮することができるという長所がある。また、本発明の実施例による電力分配装置は従来の電力分配装置に含まれている電力線をそのまま活用して既存の手動制御方式の電力分配装置においても追加構成なしに遠隔制御することができる。

図５は、本発明の他の実施例による遠隔制御電力分配装置１０５とこれを含む半導体製造装備の電力分配システム２００を示すブロック図である。

図５を参照すると、本発明の他の実施例による遠隔制御電力分配装置１０５は、電力分配器１２０及びＣＴＣ１３０を含み、半導体製造装備の電力分配システム２００は遠隔制御電力分配装置と複数のデバイスモジュール（１４０、１５０、１６０）を含む。

電力分配器１２０は、主電力線１１０を通じて外部から供給される使用者電力を分配して複数の第１電力線１７０を通じて複数のデバイスモジュール（１４０、１５０、１６０）それぞれに複数の必要電力を供給する。ＣＴＣ１３０は電力分配器１２０とは第２電力線１８０と接続され、デバイスモジュール（１４０、１５０、１６０）とは第３電力線１９０で接続され、電力分配器１２０からデバイスモジュール（１４０、１５０、１６０）にそれぞれ供給される必要電力を実時間で遠隔制御する。

電力分配器１２０は、入力部１２１、分配部１２３、出力部１２５、及び第１電力線モデム１２９を具備する制御部１２７を含む。入力部１２１は、使用者電力の供給を受け、分配部１２３は使用者電力を分配し、出力部１２５は分配された使用者電力を出力する。制御部１２７は、第１電力線通信モデム１２９を通じてＣＴＣ１３０を電力線通信を行い入力部１２１、分配部１２３、出力部１２５を制御してデバイスモジュール（１４０、１５０、１６０）に供給される必要電力を実時間で遠隔制御する。

ＣＴＣ１３０は、第２電力線通信モデム１３５を含む。デバイスモジュール（１４０、１５０、１６０）はそれぞれ第３電力線通信モデム（１４５、１５５、１６５）を含む。ＣＴＣ１３０はデバイスモジュール（１４０、１５０、１６０）と電力線通信を通じて必要電力についての情報と電力状態についての情報の提供を受ける。ＣＴＣ１３０は、電力線通信を通じて電力分配器１２０からデバイスモジュール（１４５、１５５、１６５）に提供される必要電力を実時間で遠隔制御する。ＣＴＣ１３０と電力分配器１２０との間の電力線通信およびＣＴＣ１３０とデバイスモジュール（１４０、１５０、１６０）との間の電力線通信にはロバスト通信制御アルゴリズムの一つであるＣＳＭＡ／ＡＭＰ（ｃａｒｒｉｅｒｓｅｎｓｅｍｕｌｔｉｐｌｅａｃｃｅｓｓ／ａｒｂｉｔｒａｔｉｏｎｂｙｍｅｓｓａｇｅｐｒｉｏｒｉｔｙ）アルゴリズムが用いられ、半導体プラズマ装備（例えば、ＣＶＤやＥｔｃｈｅｒ）からのノイズを最小化することができる。また、ＣＴＣ１３０と電力分配器１２０との間の電力線通信及びＣＴＣ１３０とデバイスモジュール（１４０、１５０、１６０）との間の電力線通信にはＣＡＮ（ｃｏｎｔｒｏｌａｒｅａｎｅｔｗｏｒｋ）通信技術を適用することができる。

デバイスモジュール（１４０、１５０、１６０）は一つ以上の移送モジュール（ｔｒａｎｓｆｅｒｍｏｄｕｌｅ）と複数の処理モジュール（ｐｒｏｃｅｓｓｍｏｄｕｌｅ）を含むことができる。図示していないが、ＣＴＣ１３０は、図３及び図４のＧＵＲＩＣＳ（ｇｒａｐｈｉｃｕｓｅｒｉｎｔｅｒｆａｃｅｒｅｍｏｔｅｃｏｎｔｒｏｌｓｙｓｔｅｍ）というソフトウェアプログラムを通じて電力分配器１２０からデバイスモジュール（１４０、１５０、１６０）に対する電力制御を行うことができる。即ち、ＣＴＣ１３０は、図３及び図４のＧＵＲＩＣＳ８０を通じてデバイスモジュール（１４０、１５０、１６０）に対する電力分散制御が実時間で行われ、またデバイスモジュール３０に必要電力がよく供給されるか実時間でモニタリングすることができる。

電力分配器１２０でデバイスモジュール（１４０、１５０、１６０）に供給される必要電力の種類は、図３及び図４に示したように多重がある。本発明の一実施例による遠隔制御電力分配装置１０５とこれを含む半導体装置の電力分配システム２００はこのような多種の必要電力を電力線通信を通じてＧＵＲＩＣＳ８０を用いてソフトウェア的に実時間で制御することで半導体プラズマ装備に対するロバスト制御、安定性の確保及び保守時間を短縮することができるという長所がある。また、遠隔制御電力分配装置１０５とこれを含む半導体装備の電力分配システム２００も従来の電力分配装置に含まれている電力線をそのまま活用して既存の手動制御方式の電力分配装置においても追加構成なしに遠隔制御が可能である。

図６は、本発明の一実施例による複数のデバイスモジュールに供給する電力を遠隔に制御する方法を示すフローチャートである。

図５及び図６を参照すると、本発明の一実施例による複数のデバイスモジュールに供給される電力を遠隔で制御する方法ではまず外部から供給される使用者電力を分配する（Ｓ２１０）。その後、複数の電力線１７０を通じてデバイスモジュール（１４０、１５０、１６０）それぞれが必要とする複数の必要電力が分配された使用者電力から供給される（Ｓ２２０）。デバイスモジュール（１４０、１５０、１６０）に供給する必要電力が電力線通信を通じて実時間で遠隔制御される（Ｓ２３０）。段階Ｓ２３０で遠隔制御はＧＵＲＩＣＳ（ｇｒａｐｈｉｃｕｓｅｒｉｎｔｅｒｆａｃｅｒｅｍｏｔｅｃｏｎｔｒｏｌｓｙｓｔｅｍ）といるソフトウェアを通じて行うことができる。

本発明の一実施例による複数のデバイスモジュールに供給される電力を遠隔によって制御する方法の説明は図１及び図４を参照して説明した遠隔制御電力分配装置に対する説明と類似であるので、これに対する詳細な説明は省略する。

以下では、本発明の実施例による遠隔制御電力分配装置、半導体製造装備の電力分配システム及び複数のデバイスモジュールに供給される電力を遠隔によって制御する方法にＣＡＮ通信を適用することができる理由を説明する。

ＣＡＮ通信は、ＩＳＯ直列通信規格で明示されており、ＯＳＩ７ｌａｙｅｒのうち、Ｐｈｉｓｉｃａｌｌａｙｅｒ及びＤａｔａ−ｌｉｎｋｌａｙｅｒを標準として含んでいる。ＣＡＮは成熟な標準規格を有しており、ハードウェア具現プロトコールであり、簡単な伝送線路を用いエラーハンドリング処理が優秀な特性をなどを有している。

ＣＡＮでは非同期ｓｅｒｉａｌｂｕｓを用い、住所との概念よりメッセージ職別者との概念を用い、メッセージ職別者は優先順位とデータを開放してノードに列挙する。ＣＡＮでは、最も低いメッセージ職別者が最も高い優先順位を有する。ＣＡＮはＣＳＭＡｃｏｌｌｉｓｉｏｎｄｅｔｅｃｔｉｏｎ方法を用いた非破壊的な仲裁システムである。即ち、衝突を防止するための仲裁システムが存在する。また、複数のマスタが存在してブロードキャスティングをし精巧なエラーディテクションとハンドリング機能を果たす。ＣＡＮは主に産業自動化アップリケーションとして用いられる。ＣＡＮＢＵＳは優生と劣性とに分け、これはＡＮＤやＯＲゲートのような概念で二つのバッファ空間に論理「１」があってのみ出力が論理「１」になる。また、ＣＡＮにはビットシフティング（ｂｉｔｓｈｉｆｔｉｎｇ）機能がある。信号中にある連続する「１」また連続された「０」入力に入ると、入力側で信号の解釈時に適切なタイミングをとりにくくなる場合がある。ビットシフティング機能によると、いくつかの連続した信号が入ると、連続した信号と反対ビット信号が入力され、連続された信号のタイミングをとることができるようになる。ＣＡＮのこのような特性のため、本発明の実施例では電力線通信にＣＡＮ通信を適用した。

本発明によると、半導体プラズマ装備に電力を供給し分配するために遠距離に位置した電力分配器を電力線通信を用いて実時間で遠隔制御することによって別途の通信網の追加なしに既存の電力線を通信媒体体として用いるため、システムの設置が容易であり、維持保守及び経済的な側面から相当な利点を有する。また、ＧＵＲＩＣＳを適用して実時間で半導体プラズマ装備の電力システムの分散制御及びモニタリングが可能であので、両方向通信で制御信頼性を確保することができる。また、電力遠隔制御を通じる半導体プラズマ装備の遠隔制御及び安定性の確保および便宜性を増大してハードウェアの競争力を確保することができる。

以上、本発明の実施例によって詳細に説明したが、本発明はこれに限定されず、本発明が属する技術分野において通常の知識を有するものであれば本発明の思想と精神を離脱することなく、本発明を修正または変更できる。

本発明の一実施例による遠隔制御電力分配装置を示すブロック図である。実際フィールドで電力分配器とＣＴＣ（ｃｌｕｓｔｅｒｔｏｏｌｃｏｎｔｒｏｌｌｅｒ）の位置関係を示す。実際ＧＵＲＩＣＳによって制御されるデバイスモジュールと各デバイスモジュールに供給される必要電力の状態を示す。実際ＧＵＲＩＣＳによって制御されるデバイスモジュールと各デバイスモジュールに供給される必要電力の状態を示す。本発明の他の実施例による遠隔制御電力分配装置とこれを含む半導体製造装備を示すブロック図である。本発明の一実施例による複数のデバイスモジュールに供給される電力を遠隔によって制御する方法を示すフローチャートである。

符号の説明

１０、１２０電力分配装置
２０、１３０ＣＴＣ
３１、３３、３５、１４５、１５５、１６５デバイスモジュール
１５、２７第１電力線通信モデム
２５、１３５第２電力線通信モデム
８０ＧＵＩＲＣＳ
１４５、１５５、１６５第３電力線通信モデム

Claims

外部から供給される使用者電力を分配して一つ以上の移送モジュールと複数の処理モジュールを具備する複数のデバイスモジュールそれぞれに複数の必要電力を供給する電力分配器と、
前記電力分配器と前記複数のデバイスモジュールと接続され、前記電力分配器で前記デバイスモジュールのそれぞれに供給される前記必要電力を電力線通信を通じて実時間で遠隔制御するクラスターツールコントローラ（ｃｌｕｓｔｅｒｔｏｏｌｃｏｎｔｒｏｌｌｅｒ；以下、ＣＴＣ）をと、を含むことを特徴とする遠隔制御電力分配装置。
前記電力分配器と前記ＣＴＣは、前記電力線通信を行う第１電力線通信モデムと第２電力線通信モデムをそれぞれ含むことを特徴とする請求項１に記載の遠隔制御電力分配装置。
前記電力分配器と前記ＣＴＣは電力線に通じて接続され、前記ＣＴＣと前記デバイスモジュールは、ＲＡＮまたはイサーネットを通じて接続されることを特徴とする請求項１に記載の遠隔制御電力分配装置。
前記電力線通信は、ＣＳＭＡ／ＡＭＰ（ｃａｒｒｉｅｒｓｅｎｓｅｍｕｌｔｉｐｌｅａｃｃｅｓｓ／ａｒｂｉｔｒａｔｉｏｎｂｙｍｅｓｓａｇｅｐｉｏｒｉｔｙ）アルゴリズムを用いることを特徴とする請求項１に記載の遠隔制御電力分配装置。
前記電力線通信にはＣＡＮ（ｃｏｎｔｒｏｌａｒｅａｎｅｔｗｏｒｋ）通信が適用されることを特徴とする請求項１に記載の遠隔制御電力分配装置。
前記ＣＴＣはソフトウェアプログラムを通じて前記遠隔制御を行うことを特徴とする請求項１に記載の遠隔制御電力分配装置。
前記ソフトウェアプログラムはＧＵＲＩＣＳ（ｇｒａｐｈｉｃｕｓｅｒｉｎｔｅｒｆａｃｅｒｅｍｏｔｅｃｏｎｔｒｏｌｓｙｓｔｅｍ）であることを特徴とする請求項６に記載の遠隔制御電力分配装置。
前記複数のデバイスモジュールは、半導体プラズマ装備であることを特徴とする請求項７に記載の遠隔制御電力分配装置。
前記ＧＵＲＩＣＳによって前記複数のデバイスモジュールに対する電力分散制御が行われることを特徴とする請求項７に記載の電力分配装置。
前記ＧＵＲＩＣＳは、前記複数のデバイスモジュールに供給される前記必要電力をモニタリングすることを特徴とする請求項７に記載の遠隔制御電力分配装置。
主電力線を通じて外部から供給される使用者電力を分配して複数の第１電力線を通じて一つ以上の移送モジュールと複数の処理モジュールを含む複数のデバイスモジュールそれぞれに複数の必要電力を供給する電力分配器と、
前記電力分配器及び前記デバイスモジュールと接続され、前記必要電力を電力線に通じて実時間で遠隔制御するＣＴＣを含むことを特徴とする遠隔制御電力分配装置。
前記ＣＴＣは、前記電力分配器と前記デバイスモジュールとそれぞれ第２電力線及び複数の第３電力線によって接続されることを特徴とする請求項１１に記載の遠隔制御電力分配装置。
前記電力分配器は、
前記使用者電力の供給を受ける入力部と、
前記入力部と接続され前記使用者電力を分配する分配部と、
前記分配部と接続され、前記分配された使用者電力を出力する出力部と、
前記ＣＴＣと前記電力線の通信を行う第１電力線モデムを含み、前記入力部、前記分配部、及び前記出力部を制御して前記必要電力を供給させる制御部と、を含むことを特徴とする請求項１２に記載の遠隔制御電力分配装置。
前記ＣＴＣは、前記第１電力線モデムと前記電力線通信を行う第２電力線モデムを含むことを特徴とする請求項１３に記載の遠隔制御電力分配装置。
前記デバイスモジュールは、それぞれ前記ＣＴＣと電力線通信を通じて前記必要電力についての情報と電力状態についての情報とを提供する第３電力線モデムを含むことを特徴とする請求項１４に記載の遠隔制御電力分配装置。
前記電力線通信は、ＣＳＭＡ／ＡＭＰ（ｃａｒｒｉｅｒｓｅｎｓｅｍｕｌｔｉｐｌｅａｃｃｅｓｓ／ａｒｂｉｔｒａｔｉｏｎｂｙｍｅｓｓａｇｅｐｒｉｏｒｉｔｙ）アルゴリズムを用いることを特徴とする請求項１１に記載の遠隔制御電力分配装置。
前記電力線通信にはＣＡＮ（ｃｏｎｔｒｏｌａｒｅａｎｅｔｗｏｒｋ）通信が適用されることを特徴とする請求項１１に記載の遠隔制御電力分配装置。
前記ＣＴＣは、ＧＵＲＩＣＳ（ｇｒａｐｈｉｃｕｓｅｒｉｎｔｅｒｆａｃｅｒｅｍｏｔｅｃｏｎｔｒｏｌｓｙｓｔｅｍ）ソフトウェアプログラムを通じて前記遠隔制御を行うことを特徴とする請求項１１に記載の遠隔制御電力分配装置。
一つ以上の移送モジュールと複数の処理モジュールを含む複数のデバイスモジュールと、
主電力線を通じて外部から供給される使用者電力を分配して複数の第１電力線を通じて前記デバイスモジュールそれぞれに複数の必要電力を供給する電力分配器と、
前記電力分配器と第２電力線で接続され、前記デバイスモジュールと複数の第３電力線で接続され、前記必要電力を電力線通信を通じて実時間で遠隔制御するＣＴＣと、を含むことを特徴とする半導体製造装備の電力分配システム。
前記電力分配器は、
前記使用者電力の供給を受ける入力部と、
前記入力部と接続され前記使用者の電力を分配する分配部と、
前記分配部と接続され前記分配された使用者電力を出力する出力部と、
前記入力部、前記分配部、前記出力部と接続され前記ＣＴＣと前記電力線通信を行い前記必要電力を供給させる第１電力線モデムを具備するコントローラと、を含むことを特徴とする請求項１９に記載の半導体製造装備の電力分配システム。
前記ＣＴＣは、前記第１電力線モデムと前記第１電力線通信を行う第１電力線通信を行う第１電力線モデムを含み、前記デバイスモジュールそれぞれは、前記ＣＴＣと第２電力線通信を通じて前記必要電力についての情報と電力状態についての情報を提供する第３電力線モデムを含むことを特徴とする請求項２０に記載の半導体製造装備の電力分配システム。
前記ＣＴＣは、ＧＵＲＩＣＳ（ｇｒａｐｈｉｃｕｓｅｒｉｎｔｅｒｆａｃｅｒｅｍｏｔｅｃｏｎｔｒｏｌｓｙｓｔｅｍ）というソフトウェアを通じて前記遠隔制御を行うことを特徴とする請求項２１に記載の半導体製造装備の電力分配システム。
複数のデバイスモジュールに供給する電力を遠隔によって制御する方法であって、
外部から供給される使用者電力を分配する段階と、
複数の電力線を通じて前記複数のデバイスモジュールそれぞれが必要とする複数の必要電力を前記分配された使用者電力から供給する段階と、
前記複数の必要電力を電力線通信を通じて実時間で遠隔制御する段階と、を含むことを特徴とする複数のデバイスモジュールに供給される電力を遠隔によって制御する方法。
前記遠隔制御は、前記デバイスモジュールそれぞれが必要とする前記必要電力についての情報と状態に基づいて行われることを特徴とする請求項２３に記載の複数のデバイスモジュールに供給される電力を遠隔によって制御する方法。
前記遠隔制御は、ＧＵＲＩＣＳ（ｇｒａｐｈｉｃｕｓｅｒｉｎｔｅｒｆａｃｅｒｅｍｏｔｅｃｏｎｔｒｏｌｓｙｓｔｅｍ）というソフトウェアを通じて行われることを特徴とする請求項２３に記載の複数のデバイスモジュールに供給される電力を遠隔によって制御する方法。