JP2009159806A - 遠隔制御電力分配装置及びこれを含む半導体装備の電力分配システム - Google Patents

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Abstract


【課題】 遠隔制御電力分配装置及びこれを含む半導体装備の電力分配システムが開示される。
【解決手段】 遠隔制御電力分配装置は、主電力線を通じて外部から供給される使用者電力を分配して複数の第1電力線を通じて一つ以上の移送モジュールと複数の処理モジュールを含む複数のデバイスモジュールそれぞれに複数の必要電力を供給する。CTCは電力分配器及びデバイスモジュールと接続され、必要電力を電力線通信を通じて実時間で遠隔制御する。したがって、複数の電力線通信とGURICSというソフトウェアプログラムを通じて半導体装備システムの維持保守及び電力システムの分散制御及びモニタリングを実時間で遠隔によって行うことができる。
【選択図】 図5

Description

本発明は、電力分配装置に係わり、より詳細には電力線通信を用いる半導体装備の電力分配装置に関する。
電力線通信(power line communication)は、既存に構成された電力線を通信媒介体として用いる方式であって、一般的に電気の供給される常用化した電力線を用いてデータを送受信するデジタルデータ通信技術を示す。
電力線通信は、既に布設された電力施設を活用するため、費用の最小化およびシステムの構築期間がないか非常に短いので、新しい通信網の構築に比べて効率性が極大化する。また、電力線通信は、全世界多くの産業現場および家庭に適用された電力装置(plug、power cable)を通じて適用されるので、既存の特化した通信技術より使用者の親しさが高く、単一インフラを通じる制御のみならず、音声、画像、データ、およびその他のサービスをより容易に統合してシステムを構築することができる。反面、限定された電力線を用いる通信線路の問題は制限された伝送能力によって高容量通信制御および多重通信時に通信可能な距離に制約を受けるようになる。なお、可変的で高い減衰現像、可変インピーダンスレベルノイズと電力線の配置の構造的な問題によるデータの増加時の信号処理問題などから補完が必要であるという短所がある。
電力線通信の原理は、銅線を用いる超高速データ通信に類似であり、通信媒介体が電力線を用いて適用する方式である。即ち、われらが用いる常用電力は60(または50)[Hz]の低周波形式で供給され、ここで通信データを電力対比高周波成分に変換して使用電力ラインにカップラーを通じてモジュレーションして伝送する。受信側ではハイパスフィルターを適用して復調(demodulation)して希望するデータを復元して希望するデータを復元させて用いる方式を示す。電力線通信は、大きく低速遠隔制御のために約450[kHz]程度を伝送して制御する低速通信と2〜15[MHz]程度を用いてイーサネット(Ethernet)のような大容量高速通信との2種通信制御方式が現在広く用いられている。
電力線通信の適用可能な分野は、音声通信、高速接続サービス、ホームネットワーク、産業分野の制御、及び自動化、遠隔検針などがある。電力線通信は、現在溝ネットワーキングや工場制御など多い分野で示範的に適用されている。しかし、まだ低速と高速電力線通信技術は開始段階にあり、過負荷による電波妨害、時々刻々変わるチャンネル特性、電気製品のノイズと信号歪曲現像、既存無線周波数の帯域との相衝などの問題点などが解決課題として残っている。
一般的に半導体製造装備は一つ以上の移送モジュール及び複数の処理モジュールを含み一つのシステムで構成される。このような移送モジュール及び複数の処理モジュールには多種の電力が電力分配器を通じて供給される。従来には移送モジュール及び処理モジュールを維持保守するために移送モジュール及び処理モジュールに供給される電力を遮断するために遠距離の地下に位置している電力分配器にエンジニアが直接移動して手動制御を通じて電力を遮断していた。このような手動制御は、急変する半導体市場で維持保守の時間の増大と現在設備に電力が供給されているかについての状態をモニタリングすることができないため、システムの破損及び安全事項などの問題を発生するおそれがある。
前記のような問題点を解決するために、本発明の一目的は、半導体プラズマ装備に供給される電力を電力線通信を通じて実時間で遠隔制御しうる遠隔制御電力分配装置を提供することにある。
また、本発明の一目的は、前記遠隔制御電力分配装置を含む半導体装備の電力分配システムを提供することにある。
また、本発明の一目的は、複数のデバイスモジュールに供給される電力を遠隔に制御する方法を提供することにある。
前記目的を達成するために本発明の一実施例による遠隔制御電力分配装置は、電力分配器とクラスターツールコントローラ(cluster tool controller;以下、CTC)を含む。
前記電力分配器は、外部から供給される使用者電力を分配して一つ以上の移送モジュールと複数の処理モジュールを具備する複数のデバイスモジュールそれぞれに複数の必要電力を供給する。前記CTCは、前記電力分配器と前記複数のデバイスモジュールと接続され、前記電力分配器で前記デバイスモジュールのそれぞれに供給される前記必要電力を電力線通信を通じて実時間で遠隔制御する。
実施例において、前記電力分配器と前記CTCは、前記電力線通信を行う第1電力線通信モデムと第2電力線通信モデムをそれぞれ含むことができる。
実施例において、前記電力分配器と前記CTCは電力線に通じて接続され、前記CTCと前記デバイスモジュールは、RANまたはイサーネットを通じて接続することができる。
実施例において、前記電力線通信は、CSMA/AMP(carrier sense multiple access/arbitration by message piority)アルゴリズムを用いることができ、前記電力線通信にはCAN(control area network)通信を適用することができる、
実施例において、前記CTCはソフトウェアプログラムを通じて前記遠隔制御を行うことができる。前記ソフトウェアプログラムはGURICS(graphic user interface remote control system)であってもよい。前記GURICSによって前記複数のデバイスモジュールに対する電力分散制御を行うことができる。前記GURICSは、前記複数のデバイスモジュールに供給される前記必要電力をモニタリングすることができる。
前記目的を達成するための本発明の他の実施例による遠隔制御電力分配装置は、電力分配器とCTCを含む。
前記電力分配器は、主電力線を通じて外部から供給される使用者電力を分配して複数の第1電力線を通じて一つ以上の移送モジュールと複数の処理モジュールを含む複数のデバイスモジュールそれぞれに複数の必要電力を供給する。前記CTCは、前記電力分配器及び前記デバイスモジュールと接続され、前記必要電力を電力線通信に通じて実時間で遠隔制御する。
実施例において、前記CTCは、前記電力分配器と前記デバイスモジュールと電力線とで接続することができる。
実施例において、前記電力分配器は前記使用者電力の供給を受ける入力部と、前記入力部と接続され前記使用者電力を分配する分配部と、前記分配部と接続され、前記分配された使用者電力を出力する出力部と、前記CTCと前記電力線の通信を行う第1電力線モデムを含み、前記入力部、前記分配部、及び前記出力部を制御して前記必要電力を供給させる制御部と、を含むことができる。
前記CTCは、前記第1電力線モデムと前記電力線通信を行う第2電力線モデムを含むことができる。前記デバイスモジュールは、それぞれ前記CTCと電力線通信を通じて前記必要電力についての情報と電力状態についての情報とを提供する第3電力線モデムを含むことができる。
前記目的を達成するための本発明の一実施例による電力分配システムは、複数のデバイスモジュール、電力分配器、及びCTCを含む。
前記デバイスモジュールは、一つ以上の移送モジュールと複数の処理モジュールとを含む。前記電力分配器は、主電力線を通じて外部から供給される使用者電力を分配して複数の第1電力線を通じて前記デバイスモジュールそれぞれに複数の必要電力を供給する。前記CTCは、前記電力分配器と第2電力線で接続され、前記デバイスモジュールと複数の第3電力線で接続され、前記必要電力を電力線通信を通じて実時間で遠隔制御する。
前記目的を達成するための本発明の一実施例による複数のデバイスモジュールに供給する電力を遠隔で制御する方法において、外部から供給される使用者電力を分配し、複数の電力線を通じて前記複数のデバイスモジュールそれぞれが必要とする複数の必要電力を前記分配された使用者電力から供給し、前記複数の必要電力を電力線通信を通じて実時間で遠隔制御する。
前記のような本発明の実施例による遠隔制御電力分配装置、半導体製造装備の電力分配システム及び複数のデバイスモジュールに供給される電力を遠隔によって制御する方法は、電力線通信とGURICSというソフトウェアプログラムを通じて半導体装備システムの維持保守及び電力システムの分散制御及びモニタリングを実時間で遠隔によって行うことができる。
以下、添付する図面を参照して本発明の実施例による半導体装置の製造方法について詳細に説明する。また、各図に示した同一の参照符号は同一の構成要素を示す。
図1は、本発明の一実施例による遠隔制御電力分配装置を示すブロック図である。
図1を参照すると、本発明の一実施例による遠隔制御電力分配装置100は、電力分配器10とクラスターツールコントローラ(cluster tool controller;以下CTC、20)を含む。
電力分配器10は、主電力線40を通じて外部から供給される使用者電極を分配して第1電力線50を通じて複数のデバイスモジュール(31、33、35)が必要とする必要電力を供給する。複数のデバイスモジュール(31、33、35)は、半導体プラズマ装備であってもよく、一つ以上の移送モジュール31と複数の処理モジュール(33、35)を含むことができる。
図示していないが、CTC20は、マスタースケジューラとモジュールスケジューラを含み、工程レシピに対応してマスタースケジューラからモジュールスケジュラに各モジュール(31、33、35)に対する制御命令を伝達することができる。モジュールスケジューラは制御命令に応答して各モジュール(31、33、35)の動作スケジューリングを制御することができる。
CTC20は、電力分配器10とは第2電力線60を通じて接続され、デバイスモジュール(31、33、35)とはラン(LAN)やイサーネット(Ethernet)のようなネットワーク70を通じて連結することができる。CTC20は、ランやイサーネットを通じてデバイスモジュール(31、33、35)それぞれの必要電力についての情報と状態の提供を受けることができる。この情報と状態に基づいてCTC20は電力分配器10と電力線通信を通じてデバイスモジュール30に供給される必要電力を実時間で遠隔制御する。このような遠隔制御のために電力分配器10は第1電力線通信モデム15を含み、CTC20は、第2電力線通信モデム25を含む。CTC20と電力分配器10との間の電力線通信にはロバスト(robust)通信制御アルゴリズムの一つであるCSMA/AMP(carrier sense multiple access/arbitration by message priority)アルゴリズムが用いられ、半導体プラズマ装備(例えば、CVDやEtcher)からのノイズを最小化することができる。ここで、CSMA/AMP方式は、CTC20に複数のデバイスモジュール(31、33、35)が接続されるので、CTC20へのデータ伝送時に衝突が発生する場合に優先順位によってデータを処理するためである。また、CTC20と電力分配器10との間の電力線通信にはCAN(control area network)通信技術を適用することができる。
CTC20は、CURICS(graphic user interface remote control system)というソフトウェアプログラムを通じて電力分配器10からデバイスモジュール30に対する電力制御を行うことができる。
図2は、実際フィールドで電力分配器10とCTC20との位置関係を示す。
図2を参照すると、電力分配器10は地下に位置することができ、CTC20は地上に位置してGURICS80を用いて電力線通信で電力分配器10を遠距離から実時間で制御することができる。
図3及び図4は、実際GURICS80によって制御されるデバイスモジュール(31、33、35)と各デバイスモジュール30に供給される必要電力の状態を示す。即ち、GURICS80を通じてデバイスモジュール30に対する電力分散制御が実時間で行われ、またデバイスモジュール(31、33、35)に必要電力がちゃんと供給されるか実時間でモニタリングすることができる。
電力分配器10でデバイスモジュール30に供給する必要電力は多種がある。本発明の一実施例による遠隔制御電力分配装置はこのような多種の必要電力を電力線を通じてGURICS80を用いてソフトウェア的に実時間で制御することによって半導体プラズマ装備に対するロバスト制御、安全性の確保及び維持保守の時間を短縮することができるという長所がある。また、本発明の実施例による電力分配装置は従来の電力分配装置に含まれている電力線をそのまま活用して既存の手動制御方式の電力分配装置においても追加構成なしに遠隔制御することができる。
図5は、本発明の他の実施例による遠隔制御電力分配装置105とこれを含む半導体製造装備の電力分配システム200を示すブロック図である。
図5を参照すると、本発明の他の実施例による遠隔制御電力分配装置105は、電力分配器120及びCTC130を含み、半導体製造装備の電力分配システム200は遠隔制御電力分配装置と複数のデバイスモジュール(140、150、160)を含む。
電力分配器120は、主電力線110を通じて外部から供給される使用者電力を分配して複数の第1電力線170を通じて複数のデバイスモジュール(140、150、160)それぞれに複数の必要電力を供給する。CTC130は電力分配器120とは第2電力線180と接続され、デバイスモジュール(140、150、160)とは第3電力線190で接続され、電力分配器120からデバイスモジュール(140、150、160)にそれぞれ供給される必要電力を実時間で遠隔制御する。
電力分配器120は、入力部121、分配部123、出力部125、及び第1電力線モデム129を具備する制御部127を含む。入力部121は、使用者電力の供給を受け、分配部123は使用者電力を分配し、出力部125は分配された使用者電力を出力する。制御部127は、第1電力線通信モデム129を通じてCTC130を電力線通信を行い入力部121、分配部123、出力部125を制御してデバイスモジュール(140、150、160)に供給される必要電力を実時間で遠隔制御する。
CTC130は、第2電力線通信モデム135を含む。デバイスモジュール(140、150、160)はそれぞれ第3電力線通信モデム(145、155、165)を含む。CTC130はデバイスモジュール(140、150、160)と電力線通信を通じて必要電力についての情報と電力状態についての情報の提供を受ける。CTC130は、電力線通信を通じて電力分配器120からデバイスモジュール(145、155、165)に提供される必要電力を実時間で遠隔制御する。CTC130と電力分配器120との間の電力線通信およびCTC130とデバイスモジュール(140、150、160)との間の電力線通信にはロバスト通信制御アルゴリズムの一つであるCSMA/AMP(carrier sense multiple access/arbitration by message priority)アルゴリズムが用いられ、半導体プラズマ装備(例えば、CVDやEtcher)からのノイズを最小化することができる。また、CTC130と電力分配器120との間の電力線通信及びCTC130とデバイスモジュール(140、150、160)との間の電力線通信にはCAN(control area network)通信技術を適用することができる。
デバイスモジュール(140、150、160)は一つ以上の移送モジュール(transfer module)と複数の処理モジュール(process module)を含むことができる。図示していないが、CTC130は、図3及び図4のGURICS(graphic user interface remote control system)というソフトウェアプログラムを通じて電力分配器120からデバイスモジュール(140、150、160)に対する電力制御を行うことができる。即ち、CTC130は、図3及び図4のGURICS80を通じてデバイスモジュール(140、150、160)に対する電力分散制御が実時間で行われ、またデバイスモジュール30に必要電力がよく供給されるか実時間でモニタリングすることができる。
電力分配器120でデバイスモジュール(140、150、160)に供給される必要電力の種類は、図3及び図4に示したように多重がある。本発明の一実施例による遠隔制御電力分配装置105とこれを含む半導体装置の電力分配システム200はこのような多種の必要電力を電力線通信を通じてGURICS80を用いてソフトウェア的に実時間で制御することで半導体プラズマ装備に対するロバスト制御、安定性の確保及び保守時間を短縮することができるという長所がある。また、遠隔制御電力分配装置105とこれを含む半導体装備の電力分配システム200も従来の電力分配装置に含まれている電力線をそのまま活用して既存の手動制御方式の電力分配装置においても追加構成なしに遠隔制御が可能である。
図6は、本発明の一実施例による複数のデバイスモジュールに供給する電力を遠隔に制御する方法を示すフローチャートである。
図5及び図6を参照すると、本発明の一実施例による複数のデバイスモジュールに供給される電力を遠隔で制御する方法ではまず外部から供給される使用者電力を分配する(S210)。その後、複数の電力線170を通じてデバイスモジュール(140、150、160)それぞれが必要とする複数の必要電力が分配された使用者電力から供給される(S220)。デバイスモジュール(140、150、160)に供給する必要電力が電力線通信を通じて実時間で遠隔制御される(S230)。段階S230で遠隔制御はGURICS(graphic user interface remote control system)といるソフトウェアを通じて行うことができる。
本発明の一実施例による複数のデバイスモジュールに供給される電力を遠隔によって制御する方法の説明は図1及び図4を参照して説明した遠隔制御電力分配装置に対する説明と類似であるので、これに対する詳細な説明は省略する。
以下では、本発明の実施例による遠隔制御電力分配装置、半導体製造装備の電力分配システム及び複数のデバイスモジュールに供給される電力を遠隔によって制御する方法にCAN通信を適用することができる理由を説明する。
CAN通信は、ISO直列通信規格で明示されており、OSI 7 layerのうち、Phisical layer及びData−link layerを標準として含んでいる。CANは成熟な標準規格を有しており、ハードウェア具現プロトコールであり、簡単な伝送線路を用いエラーハンドリング処理が優秀な特性をなどを有している。
CANでは非同期serial busを用い、住所との概念よりメッセージ職別者との概念を用い、メッセージ職別者は優先順位とデータを開放してノードに列挙する。CANでは、最も低いメッセージ職別者が最も高い優先順位を有する。CANはCSMA collision detection方法を用いた非破壊的な仲裁システムである。即ち、衝突を防止するための仲裁システムが存在する。また、複数のマスタが存在してブロードキャスティングをし精巧なエラーディテクションとハンドリング機能を果たす。CANは主に産業自動化アップリケーションとして用いられる。CAN BUSは優生と劣性とに分け、これはANDやORゲートのような概念で二つのバッファ空間に論理「1」があってのみ出力が論理「1」になる。また、CANにはビットシフティング(bit shifting)機能がある。信号中にある連続する「1」また連続された「0」入力に入ると、入力側で信号の解釈時に適切なタイミングをとりにくくなる場合がある。ビットシフティング機能によると、いくつかの連続した信号が入ると、連続した信号と反対ビット信号が入力され、連続された信号のタイミングをとることができるようになる。CANのこのような特性のため、本発明の実施例では電力線通信にCAN通信を適用した。
本発明によると、半導体プラズマ装備に電力を供給し分配するために遠距離に位置した電力分配器を電力線通信を用いて実時間で遠隔制御することによって別途の通信網の追加なしに既存の電力線を通信媒体体として用いるため、システムの設置が容易であり、維持保守及び経済的な側面から相当な利点を有する。また、GURICSを適用して実時間で半導体プラズマ装備の電力システムの分散制御及びモニタリングが可能であので、両方向通信で制御信頼性を確保することができる。また、電力遠隔制御を通じる半導体プラズマ装備の遠隔制御及び安定性の確保および便宜性を増大してハードウェアの競争力を確保することができる。
以上、本発明の実施例によって詳細に説明したが、本発明はこれに限定されず、本発明が属する技術分野において通常の知識を有するものであれば本発明の思想と精神を離脱することなく、本発明を修正または変更できる。
本発明の一実施例による遠隔制御電力分配装置を示すブロック図である。 実際フィールドで電力分配器とCTC(cluster tool controller)の位置関係を示す。 実際GURICSによって制御されるデバイスモジュールと各デバイスモジュールに供給される必要電力の状態を示す。 実際GURICSによって制御されるデバイスモジュールと各デバイスモジュールに供給される必要電力の状態を示す。 本発明の他の実施例による遠隔制御電力分配装置とこれを含む半導体製造装備を示すブロック図である。 本発明の一実施例による複数のデバイスモジュールに供給される電力を遠隔によって制御する方法を示すフローチャートである。
符号の説明
10、120 電力分配装置
20、130 CTC
31、33、35、145、155、165 デバイスモジュール
15、27 第1電力線通信モデム
25、135 第2電力線通信モデム
80 GUIRCS
145、155、165 第3電力線通信モデム

Claims (25)

  1. 外部から供給される使用者電力を分配して一つ以上の移送モジュールと複数の処理モジュールを具備する複数のデバイスモジュールそれぞれに複数の必要電力を供給する電力分配器と、
    前記電力分配器と前記複数のデバイスモジュールと接続され、前記電力分配器で前記デバイスモジュールのそれぞれに供給される前記必要電力を電力線通信を通じて実時間で遠隔制御するクラスターツールコントローラ(cluster tool controller;以下、CTC)をと、を含むことを特徴とする遠隔制御電力分配装置。
  2. 前記電力分配器と前記CTCは、前記電力線通信を行う第1電力線通信モデムと第2電力線通信モデムをそれぞれ含むことを特徴とする請求項1に記載の遠隔制御電力分配装置。
  3. 前記電力分配器と前記CTCは電力線に通じて接続され、前記CTCと前記デバイスモジュールは、RANまたはイサーネットを通じて接続されることを特徴とする請求項1に記載の遠隔制御電力分配装置。
  4. 前記電力線通信は、CSMA/AMP(carrier sense multiple access/arbitration by message piority)アルゴリズムを用いることを特徴とする請求項1に記載の遠隔制御電力分配装置。
  5. 前記電力線通信にはCAN(control area network)通信が適用されることを特徴とする請求項1に記載の遠隔制御電力分配装置。
  6. 前記CTCはソフトウェアプログラムを通じて前記遠隔制御を行うことを特徴とする請求項1に記載の遠隔制御電力分配装置。
  7. 前記ソフトウェアプログラムはGURICS(graphic user interface remote control system)であることを特徴とする請求項6に記載の遠隔制御電力分配装置。
  8. 前記複数のデバイスモジュールは、半導体プラズマ装備であることを特徴とする請求項7に記載の遠隔制御電力分配装置。
  9. 前記GURICSによって前記複数のデバイスモジュールに対する電力分散制御が行われることを特徴とする請求項7に記載の電力分配装置。
  10. 前記GURICSは、前記複数のデバイスモジュールに供給される前記必要電力をモニタリングすることを特徴とする請求項7に記載の遠隔制御電力分配装置。
  11. 主電力線を通じて外部から供給される使用者電力を分配して複数の第1電力線を通じて一つ以上の移送モジュールと複数の処理モジュールを含む複数のデバイスモジュールそれぞれに複数の必要電力を供給する電力分配器と、
    前記電力分配器及び前記デバイスモジュールと接続され、前記必要電力を電力線に通じて実時間で遠隔制御するCTCを含むことを特徴とする遠隔制御電力分配装置。
  12. 前記CTCは、前記電力分配器と前記デバイスモジュールとそれぞれ第2電力線及び複数の第3電力線によって接続されることを特徴とする請求項11に記載の遠隔制御電力分配装置。
  13. 前記電力分配器は、
    前記使用者電力の供給を受ける入力部と、
    前記入力部と接続され前記使用者電力を分配する分配部と、
    前記分配部と接続され、前記分配された使用者電力を出力する出力部と、
    前記CTCと前記電力線の通信を行う第1電力線モデムを含み、前記入力部、前記分配部、及び前記出力部を制御して前記必要電力を供給させる制御部と、を含むことを特徴とする請求項12に記載の遠隔制御電力分配装置。
  14. 前記CTCは、前記第1電力線モデムと前記電力線通信を行う第2電力線モデムを含むことを特徴とする請求項13に記載の遠隔制御電力分配装置。
  15. 前記デバイスモジュールは、それぞれ前記CTCと電力線通信を通じて前記必要電力についての情報と電力状態についての情報とを提供する第3電力線モデムを含むことを特徴とする請求項14に記載の遠隔制御電力分配装置。
  16. 前記電力線通信は、CSMA/AMP(carrier sense multiple access/arbitration by message priority)アルゴリズムを用いることを特徴とする請求項11に記載の遠隔制御電力分配装置。
  17. 前記電力線通信にはCAN(control area network)通信が適用されることを特徴とする請求項11に記載の遠隔制御電力分配装置。
  18. 前記CTCは、GURICS(graphic user interface remote control system)ソフトウェアプログラムを通じて前記遠隔制御を行うことを特徴とする請求項11に記載の遠隔制御電力分配装置。
  19. 一つ以上の移送モジュールと複数の処理モジュールを含む複数のデバイスモジュールと、
    主電力線を通じて外部から供給される使用者電力を分配して複数の第1電力線を通じて前記デバイスモジュールそれぞれに複数の必要電力を供給する電力分配器と、
    前記電力分配器と第2電力線で接続され、前記デバイスモジュールと複数の第3電力線で接続され、前記必要電力を電力線通信を通じて実時間で遠隔制御するCTCと、を含むことを特徴とする半導体製造装備の電力分配システム。
  20. 前記電力分配器は、
    前記使用者電力の供給を受ける入力部と、
    前記入力部と接続され前記使用者の電力を分配する分配部と、
    前記分配部と接続され前記分配された使用者電力を出力する出力部と、
    前記入力部、前記分配部、前記出力部と接続され前記CTCと前記電力線通信を行い前記必要電力を供給させる第1電力線モデムを具備するコントローラと、を含むことを特徴とする請求項19に記載の半導体製造装備の電力分配システム。
  21. 前記CTCは、前記第1電力線モデムと前記第1電力線通信を行う第1電力線通信を行う第1電力線モデムを含み、前記デバイスモジュールそれぞれは、前記CTCと第2電力線通信を通じて前記必要電力についての情報と電力状態についての情報を提供する第3電力線モデムを含むことを特徴とする請求項20に記載の半導体製造装備の電力分配システム。
  22. 前記CTCは、GURICS(graphic user interface remote control system)というソフトウェアを通じて前記遠隔制御を行うことを特徴とする請求項21に記載の半導体製造装備の電力分配システム。
  23. 複数のデバイスモジュールに供給する電力を遠隔によって制御する方法であって、
    外部から供給される使用者電力を分配する段階と、
    複数の電力線を通じて前記複数のデバイスモジュールそれぞれが必要とする複数の必要電力を前記分配された使用者電力から供給する段階と、
    前記複数の必要電力を電力線通信を通じて実時間で遠隔制御する段階と、を含むことを特徴とする複数のデバイスモジュールに供給される電力を遠隔によって制御する方法。
  24. 前記遠隔制御は、前記デバイスモジュールそれぞれが必要とする前記必要電力についての情報と状態に基づいて行われることを特徴とする請求項23に記載の複数のデバイスモジュールに供給される電力を遠隔によって制御する方法。
  25. 前記遠隔制御は、GURICS(graphic user interface remote control system)というソフトウェアを通じて行われることを特徴とする請求項23に記載の複数のデバイスモジュールに供給される電力を遠隔によって制御する方法。
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