JP2009152785A - 超音波探触子及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】厚み方向に伸びた凹部1を側面に有する矩形の圧電セラミックシート片2、圧電セラミックシート片2の上面に備えられた上側電極層3と上側電極層3に電気的に接続する上側電極層用端子電極層4、圧電セラミックシート片2の下面に備えられた下側電極層5、下側電極層5に電気的に接続する上記凹部1に備えられた導電層6、導電層6に電気的に接続する圧電セラミックシート片2の上面に備えられた下側電極層用端子電極層7、上側電極層用端子電極層4と下側電極層用端子電極層7のそれぞれに付設されたリード線9a、9b、上側電極層3の上面に備えられた音響整合層10、そして下側電極層5の下面に備えられた吸音層11を含む超音波探触子。
【選択図】図1
Description
特許文献2には、圧電セラミックシートの幅方向の周囲に配置した絶縁材料の表面に導電層を形成した、折返電極層を有する超音波探触子が開示されている。
従って、本発明の目的は、特に、カテーテル装填用に適した、小型でかつ折返電極層を有する超音波探触子を工業的に有利に製造するための技術を提供することにある。
(1)シート平面に沿って整列配置された多数の小径貫通孔を有する圧電セラミックシートを用意する工程。
(2)該圧電セラミックシートの下面に、各貫通孔の下面開口部に接する下側電極層を形成し、また各貫通孔の内壁面に導電層を付設する工程。
(3)該圧電セラミックシートの上面に、各貫通孔の上面開口部の周囲に下側電極層用端子電極層を、そして上記下側電極層に対面し、かつ該下側電極層用端子電極層とは電気的に接触しない位置に、上側電極層と該上側電極層に電気的に接続する上側電極層用端子電極層とを形成し、さらに各貫通孔の内壁面に導電層を付設する工程。
(4)上側電極層の表面に音響整合層を付設する工程。
(5)下側電極層の表面に吸音層を付設する工程。
(6)少なくとも上記(2)の工程と(3)の工程とを経た圧電セラミックシートについて、貫通孔を横断し、かつ各貫通孔の導電層に電気的に接続されている下側電極層と下側電極層用端子電極層、そして該下側電極層と対面している上側電極層を一区画内に包含させるように裁断する工程。
(7)上側電極層用端子電極層と下側電極層用端子電極層のそれぞれにリード線を接続する工程。
ただし、(2)の工程と(3)の工程とは順序が逆でもよく、(4)の工程乃至(6)の工程の順序は任意である。
本発明の製造方法を利用して製造された小型の超音波探触子は、カテーテル装填用として有利に使用することができる。
図1において、超音波探触子は、厚み方向に伸びた湾曲面によって形成された凹部1を側面に有する矩形の圧電セラミックシート片2、圧電セラミックシート片2の上面に備えられた上側電極層3と上側電極層3に電気的に接続する上側電極層用端子電極層4、圧電セラミックシート片2の下面に備えられた下側電極層5、下側電極層5に電気的に接続する凹部1に備えられた導電層6、導電層6に電気的に接続する圧電セラミックシート片2の上面に備えられた下側電極層用端子電極層7、上側電極層用端子電極層4と下側電極層用端子電極層7のそれぞれに接合材層8によって接続された上側電極層用リード線9aと下側電極層用リード線9b、上側電極層3の上面に備えられた音響整合層10、そして下側電極層5の下面に備えられた吸音層11からなる。
(1)シート平面に沿って整列配置された多数の小径貫通孔を有する圧電セラミックシートを用意する工程。
(2)圧電セラミックシートの下面に、各貫通孔の下面開口部に接する下側電極層を形成し、また各貫通孔の内壁面に導電層を付設する工程。
(3)圧電セラミックシートの上面に、各貫通孔の上面開口部の周囲に下側電極層用端子電極層を、そして上記下側電極層に対面し、かつ下側電極層用端子電極層とは電気的に接触しない位置に、上側電極層と上側電極層に電気的に接続する上側電極層用端子電極層とを形成し、さらに各貫通孔の内壁面に導電層を付設する工程。
(4)上側電極層の表面に音響整合層を付設する工程。
(5)下側電極層の表面に吸音層を付設する工程。
(6)圧電セラミックシートを、貫通孔を横断し、かつ各貫通孔の導電層に電気的に接続されている下側電極層と下側電極層用端子電極層、そして下側電極層と対面している上側電極層を一区画内に包含させるように裁断する工程。
(7)上側電極層用端子電極層と下側電極層用端子電極層のそれぞれにリード線を接続する工程。
2 圧電セラミックシート片
3 上側電極層
4 上側電極層用端子電極層
5 下側電極層
6 導電層
7 下側電極層用端子電極層
8 接合材層
9a 上側電極層用リード線
9b 下側電極層用リード線
10 音響整合層
11 吸音層
21 小径貫通孔
22 圧電セラミックシート
23 下側電極層
24 導電層
25 下側電極層用端子電極層
26 上側電極層
27 上側電極層用端子電極層
28 音響整合層
29 吸音層
30 接合材層
31 裁断線
Claims (4)
- 下記の工程を含む超音波探触子の製造方法:
(1)シート平面に沿って整列配置された多数の小径貫通孔を有する圧電セラミックシートを用意する工程;
(2)該圧電セラミックシートの下面に、各貫通孔の下面開口部に接する下側電極層を形成し、また各貫通孔の内壁面に導電層を付設する工程;
(3)該圧電セラミックシートの上面に、各貫通孔の上面開口部の周囲に下側電極層用端子電極層を、そして上記下側電極層に対面し、かつ該下側電極層用端子電極層とは電気的に接触しない位置に、上側電極層と該上側電極層に電気的に接続する上側電極層用端子電極層とを形成し、さらに各貫通孔の内壁面に導電層を付設する工程;
(4)上側電極層の表面に音響整合層を付設する工程;
(5)下側電極層の表面に吸音層を付設する工程;
(6)少なくとも上記(2)の工程と(3)の工程とを経た圧電セラミックシートについて、貫通孔を横断し、かつ各貫通孔の導電層に電気的に接続されている下側電極層と下側電極層用端子電極層、そして該下側電極層と対面している上側電極層を一区画内に包含させるように裁断する工程;
(7)上側電極層用端子電極層と下側電極層用端子電極層のそれぞれにリード線を接続する工程;
ただし、(2)の工程と(3)の工程とは順序が逆でもよく、(4)の工程乃至(6)の工程の順序は任意である。 - (1)の工程で用意される圧電セラミックシートが、圧電セラミック板に穿孔により所定の位置に貫通孔を形成し、ついで、該圧電セラミック板の上下面のそれぞれを研磨することによって製造されたものである請求項1に記載の超音波探触子の製造方法。
- 厚み方向に伸びた凹部を側面に有する矩形の圧電セラミックシート片、該圧電セラミックシート片の上面に備えられた上側電極層と該上側電極層に電気的に接続する上側電極層用端子電極層、該圧電セラミックシート片の下面に備えられた下側電極層、該下側電極層に電気的に接続する上記凹部に備えられた導電層、該導電層に電気的に接続する圧電セラミックシート片の上面に備えられた下側電極層用端子電極層、上側電極層用端子電極層と下側電極層用端子電極層のそれぞれに付設されたリード線、上側電極層の上面に備えられた音響整合層、そして下側電極層の下面に備えられた吸音層を含む超音波探触子。
- 圧電セラミックシート片が、圧電セラミック板に穿孔により所定の位置に貫通孔を形成し、ついで、該圧電セラミック板の上下面のそれぞれを研磨した後、矩形に裁断されたものである請求項3に記載の超音波探触子。
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