JP2009151188A - 情報表示用パネルの製造方法および粒子充填装置 - Google Patents

Abstract

【課題】導電性マスクおよび基板の接地または所定の等電位を確認して、セル内の粒子群の充填ムラを防止する、情報表示用パネルの製造方法および粒子充填装置を提供する。
【解決手段】本発明の情報表示用パネルの製造方法では、セル内に表示媒体とする粒子群を充填する粒子充填工程を行う前に、導電性マスク１３に電気的に接続配置された第１検査プローブ１５および接続線１４を介して、導電性マスク１３および隔壁を形成した基板１２を所定の等電位にし、その後、第１検査プローブ１５および接続線１４ならびに隔壁を形成した基板１２に電気的に接続配置された第２検査プローブ１６および検査線１８を用いて導電性マスク１３および前記隔壁を形成した基板１２の導通状態を検査し、導電性マスク１３および基板１２が第１検査プローブ１５を介して接地または所定の等電位になっていることを確認して、セル内の表示媒体とする粒子群の充填ムラを防止する。
【選択図】図６

Description

本発明は、少なくとも一方が透明な２枚の基板間に隔壁によって仕切られた複数のセルを形成し、該セル内に光学的反射率および帯電性を有する粒子を含んで構成した粒子群を表示媒体として封入し、表示媒体に電界を付与することによって、表示媒体を移動させて画像等の情報を表示する情報表示用パネルを作製する際に、導電性マスクを用いてセル内に表示媒体として粒子群を充填する粒子充填工程を行う、情報表示用パネルの製造方法、および、それに用いる粒子充填装置に関するものである。

液晶表示装置（ＬＣＤ）に代わる情報表示装置として、少なくとも一方が透明な２枚の基板間に隔壁によって仕切られた複数のセルを形成し、該セル内に光学的反射率および帯電性を有する粒子群からなる表示媒体を封入し、表示媒体に電界を付与することによって、表示媒体を移動させて画像等の情報を表示する、乾式の情報表示用パネルが知られている。この情報表示用パネルを構成する隔壁付き基板に表示媒体とする粒子群を配置する際には、基板（例えばガラス基板）上の隔壁（例えば格子状隔壁）によって仕切られた複数のセル内に、導電性マスクを備える粒子充填装置を用いて、表示媒体とする粒子群を充填する粒子充填工程を行う。

例えば特許文献１に記載された情報表示用パネルの製造方法（以下、従来例という）における粒子充填工程では、図１４（ａ）の断面図および図１４（ｃ）の平面図に示すように、開口部５１ａおよび突起部５１ｂを形成した導電性マスク（メタルマスク）５１を、図１４（ｂ）の断面図に示すように、隔壁５２を形成した基板５３の隔壁上部に突起部５１ｂが接するように配置して、導電性マスク５１にアース線５４を接続して接地することにより、表示媒体とする粒子群を充填する前に、メタルマスク５１の突起部５１ｂを介して基板５３を接地していた。
特開２００５−２５８２４０号公報

上記従来例の粒子充填工程では、メタルマスク５１の突起部５１ｂと基板５３の電極部とを接触により導通させて、基板５３を間接的に接地していたため、基板の接地状態が不適正になることがあるが、基板が適正に接地されているか否かを粒子充填工程を行う前に確認していなかったため、基板の接地状態が不適正になった場合、粒子充填工程におけるセル内の表示媒体とする粒子群の充填ムラ等の不具合が生じてしまう。

本発明は、導電性マスクおよび基板が所定の等電位になっていることを確認することによりセル内の表示媒体とする粒子群の充填ムラを防止する技術（情報表示用パネルの製造方法および粒子充填装置）を提供することを目的とする。

上記目的を達成するため、本発明の請求項１に係る情報表示用パネルの製造方法は、少なくとも一方が透明な２枚の基板間に隔壁によって仕切られた複数のセルを形成し、該セル内に光学的反射率および帯電性を有する粒子を含んで構成した粒子群を表示媒体として封入し、表示媒体に電界を付与することによって、表示媒体を移動させて画像等の情報を表示する情報表示用パネルを作製する際に、導電性マスクを用いてセル内に表示媒体として粒子群を充填する粒子充填工程を行う、情報表示用パネルの製造方法であって、セル内に表示媒体とする粒子群を充填する前に、前記導電性マスクに電気的に接続配置された第１検査プローブおよび接続線を介して、前記導電性マスクおよび前記隔壁を形成した基板を所定の等電位にし、その後、前記第１記検査プローブおよび前記接続線ならびに前記隔壁を形成した基板に電気的に接続配置された第２検査プローブおよび検査線を用いて前記導電性マスクおよび前記隔壁を形成した基板の導通状態を検査することを特徴とする。

上記目的を達成するため、本発明の請求項２に係る情報表示用パネルの製造方法は、少なくとも一方が透明な２枚の基板間に隔壁によって仕切られた複数のセルを形成し、該セル内に光学的反射率および帯電性を有する粒子を含んで構成した粒子群を表示媒体として封入し、表示媒体に電界を付与することによって、表示媒体を移動させて画像等の情報を表示する情報表示用パネルを作製する際に、導電性マスクを用いてセル内に表示媒体として粒子群を充填する粒子充填工程を行う、情報表示用パネルの製造方法であって、セル内に表示媒体とする粒子群を充填する前に、前記導電性マスクに電気的に接続配置された第１検査プローブおよび接続線を介して、前記導電性マスクおよび前記隔壁を形成した基板を接地し、その後、前記第１記検査プローブおよび前記接続線ならびに前記隔壁を形成した基板に電気的に接続配置された第２検査プローブおよび検査線を用いて前記導電性マスクおよび前記隔壁を形成した基板の導通状態を検査することを特徴とする。

上記目的を達成するため、本発明の請求項３に係る情報表示用パネルの製造方法は、少なくとも一方が透明な２枚の基板間に隔壁によって仕切られた複数のセルを形成し、該セル内に光学的反射率および帯電性を有する粒子を含んで構成した粒子群を表示媒体として封入し、表示媒体に電界を付与することによって、表示媒体を移動させて画像等の情報を表示する情報表示用パネルを作製する際に、導電性マスクを用いてセル内に表示媒体として粒子群を充填する粒子充填工程を行う、情報表示用パネルの製造方法であって、セル内に表示媒体とする粒子群を充填する前に、前記導電性マスクに電気的に接続配置された第１接続線ならびに前記隔壁を形成した基板に電気的に接続配置された第１検査プローブおよび第２接続線を介して、前記導電性マスクおよび前記隔壁を形成した基板をそれぞれ個別に所定の等電位にし、その後、前第１記検査プローブおよび前記第２接続線ならびに前記隔壁を形成した基板に電気的に接続配置された第２検査プローブおよび検査線を用いて前記隔壁を形成した基板上の所定の２点間の導通状態を検査することを特徴とする。

上記目的を達成するため、本発明の請求項４に係る情報表示用パネルの製造方法は、少なくとも一方が透明な２枚の基板間に隔壁によって仕切られた複数のセルを形成し、該セル内に光学的反射率および帯電性を有する粒子を含んで構成した粒子群を表示媒体として封入し、表示媒体に電界を付与することによって、表示媒体を移動させて画像等の情報を表示する情報表示用パネルを作製する際に、導電性マスクを用いてセル内に表示媒体として粒子群を充填する粒子充填工程を行う、情報表示用パネルの製造方法であって、セル内に表示媒体とする粒子群を充填する前に、前記導電性マスクに電気的に接続配置された第１接続線ならびに前記隔壁を形成した基板に電気的に接続配置された第１検査プローブおよび第２接続線を介して、前記導電性マスクおよび前記隔壁を形成した基板をそれぞれ個別に接地し、その後、前第１記検査プローブおよび前記第２接続線ならびに前記隔壁を形成した基板に電気的に接続配置された第２検査プローブおよび検査線を用いて前記隔壁を形成した基板上の所定の２点間の導通状態を検査することを特徴とする。

上記目的を達成するため、本発明の請求項５に係る情報表示用パネルの製造方法は、少なくとも一方が透明な２枚の基板間に隔壁によって仕切られた複数のセルを形成し、該セル内に光学的反射率および帯電性を有する粒子を含んで構成した粒子群を表示媒体として封入し、表示媒体に電界を付与することによって、表示媒体を移動させて画像等の情報を表示する情報表示用パネルを作製する際に、導電性マスクを用いてセル内に表示媒体として粒子群を充填する粒子充填工程を行う、情報表示用パネルの製造方法であって、セル内に表示媒体とする粒子群を充填する前に、前記導電性マスクに電気的に接続配置された第１接続線ならびに前記隔壁を形成した基板に電気的に接続配置された第１検査プローブおよび第２接続線を介して、前記導電性マスクおよび前記隔壁を形成した基板をそれぞれ個別に所定の等電位にし、その後、前記第１記検査プローブおよび前記第２接続線ならびに前記隔壁を形成した基板に電気的に接続配置された第２検査プローブおよび検査線を用いて前記隔壁を形成した基板上の所定の２点間の導通状態を検査するとともに、前記第１接続線および前記導電性マスクに電気的に接続配置されたマスク検査線を用いて前記導電性マスクの所定の２点間の導通状態を検査することを特徴とする。

上記目的を達成するため、本発明の請求項６に係る情報表示用パネルの製造方法は、少なくとも一方が透明な２枚の基板間に隔壁によって仕切られた複数のセルを形成し、該セル内に光学的反射率および帯電性を有する粒子を含んで構成した粒子群を表示媒体として封入し、表示媒体に電界を付与することによって、表示媒体を移動させて画像等の情報を表示する情報表示用パネルを作製する際に、導電性マスクを用いてセル内に表示媒体として粒子群を充填する粒子充填工程を行う、情報表示用パネルの製造方法であって、セル内に表示媒体とする粒子群を充填する前に、前記導電性マスクに電気的に接続配置された第１接続線ならびに前記隔壁を形成した基板に電気的に接続配置された第１検査プローブおよび第２接続線を介して、前記導電性マスクおよび前記隔壁を形成した基板をそれぞれ個別に接地し、その後、前記第１記検査プローブおよび前記第２接続線ならびに前記隔壁を形成した基板に電気的に接続配置された第２検査プローブおよび検査線を用いて前記隔壁を形成した基板上の所定の２点間の導通状態を検査するとともに、前記第１接続線および前記導電性マスクに電気的に接続配置されたマスク検査線を用いて前記導電性マスクの所定の２点間の導通状態を検査することを特徴とする。

上記目的を達成するため、本発明の請求項７に係る粒子充填装置は、隔壁を形成した基板の隔壁上部に接することができるように配置された、開口部を有する導電性マスクと、前記導電性マスクに電気的に接続配置されるとともに前記隔壁を形成した基板上の導電部と電気的に接触可能に配置された第１検査プローブと、前記第１検査プローブに電気的に接続配置された接続線と、前記隔壁を形成した基板上の導電部と電気的に接触可能に配置された第２検査プローブと、前記第２検査プローブに電気的に接続配置された検査線と、前記第１検査プローブおよび前記接続線を介して、前記導電性マスクおよび前記隔壁を形成した基板を所定の等電位に接続したとき、前記接続線および前記検査線間に電気的に接続されて前記第１検査プローブと前記隔壁を形成した基板との導通状態を検査する導通検査システムとを具備して成ることを特徴とする。

上記目的を達成するため、本発明の請求項８に係る粒子充填装置は、隔壁を形成した基板の隔壁上部に接することができるように配置された、開口部を有する導電性マスクと、前記導電性マスクに電気的に接続配置されるとともに前記隔壁を形成した基板上の導電部と電気的に接触可能に配置された第１検査プローブと、前記第１検査プローブに電気的に接続配置された接続線と、前記隔壁を形成した基板上の導電部と電気的に接触可能に配置された第２検査プローブと、前記第２検査プローブに電気的に接続配置された検査線と、前記第１検査プローブおよび前記接続線を介して、前記導電性マスクおよび前記隔壁を形成した基板を接地したとき、前記接続線および前記検査線間に電気的に接続されて前記第１検査プローブと前記隔壁を形成した基板との導通状態を検査する導通検査システムとを具備して成ることを特徴とする。

上記目的を達成するため、本発明の請求項９に係る粒子充填装置は、隔壁を形成した基板の隔壁上部に接することができるように配置された、開口部を有する導電性マスクと、前記導電性マスクに電気的に接続配置された第１接続線と、前記隔壁を形成した基板上の導電部と電気的に接触可能に配置された第１検査プローブおよび第２検査プローブと、前記第１検査プローブに電気的に接続配置された第２接続線と、前記第２検査プローブに電気的に接続配置された検査線と、前記第１接続線ならびに前記第１検査プローブおよび前記第２接続線を介して、前記導電性マスクおよび前記隔壁を形成した基板をそれぞれ個別に所定の等電位に接続したとき、前記第２接続線および前記検査線間に電気的に接続されて前記第１検査プローブおよび第２検査プローブと前記隔壁を形成した基板との２つの接触点間の導通状態を検査する導通検査システムとを具備して成ることを特徴とする。

上記目的を達成するため、本発明の請求項１０に係る粒子充填装置は、隔壁を形成した基板の隔壁上部に接することができるように配置された、開口部を有する導電性マスクと、前記導電性マスクに電気的に接続配置された第１接続線と、前記隔壁を形成した基板上の導電部と電気的に接触可能に配置された第１検査プローブおよび第２検査プローブと、前記第１検査プローブに電気的に接続配置された第２接続線と、前記第２検査プローブに電気的に接続配置された検査線と、前記第１接続線ならびに前記第１検査プローブおよび前記第２接続線を介して、前記導電性マスクおよび前記隔壁を形成した基板をそれぞれ個別に接地したとき、前記第２接続線および前記検査線間に電気的に接続されて前記第１検査プローブおよび第２検査プローブと前記隔壁を形成した基板との２つの接触点間の導通状態を検査する導通検査システムとを具備して成ることを特徴とする。

上記目的を達成するため、本発明の請求項１１に係る粒子充填装置は、隔壁を形成した基板の隔壁上部に接することができるように配置された、開口部を有する導電性マスクと、前記導電性マスクに電気的に接続配置された第１接続線およびマスク検査線と、前記隔壁を形成した基板上の導電部と電気的に接触可能に配置された第１検査プローブおよび第２検査プローブと、前記第１検査プローブに電気的に接続配置された第２接続線と、前記第２検査プローブに電気的に接続配置された検査線と、前記第１検査プローブおよび前記第２接続線を介して、前記隔壁を形成した基板を所定の等電位に接続したとき、前記第２接続線および前記検査線間に電気的に接続されて前記第１検査プローブおよび第２検査プローブと前記隔壁を形成した基板との２つの接触点間の導通状態を検査する第１導通検査システムと、前記第１接続線を介して、前記導電性マスクを所定の等電位に接続したとき、前記第１接続線および前記マスク検査線間に電気的に接続されて前記導電性マスクと前記第１接続線およびマスク検査線との２つの接続点間の導通状態を検査する第２導通検査システムとを具備して成ることを特徴とする。

上記目的を達成するため、本発明の請求項１２に係る粒子充填装置は、隔壁を形成した基板の隔壁上部に接することができるように配置された、開口部を有する導電性マスクと、前記導電性マスクに電気的に接続配置された第１接続線およびマスク検査線と、前記隔壁を形成した基板上の導電部と電気的に接触可能に配置された第１検査プローブおよび第２検査プローブと、前記第１検査プローブに電気的に接続配置された第２接続線と、前記第２検査プローブに電気的に接続配置された検査線と、前記第１検査プローブおよび前記第２接続線を介して、前記隔壁を形成した基板を接地したとき、前記第２接続線および前記検査線間に電気的に接続されて前記第１検査プローブおよび第２検査プローブと前記隔壁を形成した基板との２つの接触点間の導通状態を検査する第１導通検査システムと、前記第１接続線を介して、前記導電性マスクを接地したとき、前記第１接続線および前記マスク検査線間に電気的に接続されて前記導電性マスクと前記第１接続線およびマスク検査線との２つの接続点間の導通状態を検査する第２導通検査システムとを具備して成ることを特徴とする。

上記本発明の請求項７または８に係る粒子充填装置の好適例としては、前記隔壁を形成した基板上の導電部と電気的に接続するための導通部材が前記第１検査プローブとは別に設けられた導電性マスクを用いること、がある。

上記本発明の請求項１に係る情報表示用パネルの製造方法によれば、導電性マスクを用いてセル内に表示媒体として粒子群を充填する粒子充填工程を行う際に、セル内に表示媒体とする粒子群を充填する前に、前記導電性マスクに電気的に接続配置された第１検査プローブおよび接続線を介して、前記導電性マスクおよび前記隔壁を形成した基板を所定の等電位にし、その後、前記第１記検査プローブおよび前記接続線ならびに前記隔壁を形成した基板に電気的に接続配置された第２検査プローブおよび検査線を用いて前記導電性マスクおよび前記隔壁を形成した基板の導通状態を検査するから、導電性マスクおよび基板が所定の等電位になっていることを確認することにより、セル内の表示媒体とする粒子群の充填ムラを防止することができ、作製される情報表示用パネルの表示品質を良好にすることができる。

上記本発明の請求項２に係る情報表示用パネルの製造方法によれば、導電性マスクを用いてセル内に表示媒体として粒子群を充填する粒子充填工程を行う際に、セル内に表示媒体とする粒子群を充填する前に、前記導電性マスクに電気的に接続配置された第１検査プローブおよび接続線を介して、前記導電性マスクおよび前記隔壁を形成した基板を接地し、その後、前記第１記検査プローブおよび前記接続線ならびに前記隔壁を形成した基板に電気的に接続配置された第２検査プローブおよび検査線を用いて前記導電性マスクおよび前記隔壁を形成した基板の導通状態を検査するから、導電性マスクおよび基板が接地されていることを確認することにより、セル内の表示媒体とする粒子群の充填ムラを防止することができ、作製される情報表示用パネルの表示品質を良好にすることができる。

上記本発明の請求項３に係る情報表示用パネルの製造方法によれば、導電性マスクを用いてセル内に表示媒体として粒子群を充填する粒子充填工程を行う際に、セル内に表示媒体とする粒子群を充填する前に、前記導電性マスクに電気的に接続配置された第１接続線ならびに前記隔壁を形成した基板に電気的に接続配置された第１検査プローブおよび第２接続線を介して、前記導電性マスクおよび前記隔壁を形成した基板をそれぞれ個別に所定の等電位にし、その後、前第１記検査プローブおよび前記第２接続線ならびに前記隔壁を形成した基板に電気的に接続配置された第２検査プローブおよび検査線を用いて前記隔壁を形成した基板上の所定の２点間の導通状態を検査するから、導電性マスクおよび基板が所定の等電位になっていることを確認することにより、セル内の表示媒体とする粒子群の充填ムラを防止することができ、作製される情報表示用パネルの表示品質を良好にすることができる。

上記本発明の請求項４に係る情報表示用パネルの製造方法によれば、導電性マスクを用いてセル内に表示媒体として粒子群を充填する粒子充填工程を行う際に、セル内に表示媒体とする粒子群を充填する前に、前記導電性マスクに電気的に接続配置された第１接続線ならびに前記隔壁を形成した基板に電気的に接続配置された第１検査プローブおよび第２接続線を介して、前記導電性マスクおよび前記隔壁を形成した基板をそれぞれ個別に接地し、その後、前第１記検査プローブおよび前記第２接続線ならびに前記隔壁を形成した基板に電気的に接続配置された第２検査プローブおよび検査線を用いて前記隔壁を形成した基板上の所定の２点間の導通状態を検査するから、導電性マスクおよび基板が所定の等電位になっていることを確認することにより、セル内の表示媒体とする粒子群の充填ムラを防止することができ、作製される情報表示用パネルの表示品質を良好にすることができる。

上記本発明の請求項５に係る情報表示用パネルの製造方法によれば、導電性マスクを用いてセル内に表示媒体として粒子群を充填する粒子充填工程を行う際に、セル内に表示媒体とする粒子群を充填する前に、前記導電性マスクに電気的に接続配置された第１接続線ならびに前記隔壁を形成した基板に電気的に接続配置された第１検査プローブおよび第２接続線を介して、前記導電性マスクおよび前記隔壁を形成した基板をそれぞれ個別に所定の等電位にし、その後、前記第１記検査プローブおよび前記第２接続線ならびに前記隔壁を形成した基板に電気的に接続配置された第２検査プローブおよび検査線を用いて前記隔壁を形成した基板上の所定の２点間の導通状態を検査するとともに、前記第１接続線および前記導電性マスクに電気的に接続配置されたマスク検査線を用いて前記導電性マスクの所定の２点間の導通状態を検査するから、導電性マスクおよび基板が所定の等電位になっていることを確認することにより、セル内の表示媒体とする粒子群の充填ムラを防止することができ、作製される情報表示用パネルの表示品質を良好にすることができる。

上記本発明の請求項６に係る情報表示用パネルの製造方法によれば、導電性マスクを用いてセル内に表示媒体として粒子群を充填する粒子充填工程を行う際に、セル内に表示媒体とする粒子群を充填する前に、前記導電性マスクに電気的に接続配置された第１接続線ならびに前記隔壁を形成した基板に電気的に接続配置された第１検査プローブおよび第２接続線を介して、前記導電性マスクおよび前記隔壁を形成した基板をそれぞれ個別に接地し、その後、前第１記検査プローブおよび前記第２接続線ならびに前記隔壁を形成した基板に電気的に接続配置された第２検査プローブおよび検査線を用いて前記隔壁を形成した基板上の所定の２点間の導通状態を検査するとともに、前記第１接続線および前記導電性マスクに電気的に接続配置されたマスク検査線を用いて前記導電性マスクの所定の２点間の導通状態を検査するから、導電性マスクおよび基板が所定の等電位になっていることを確認することにより、セル内の表示媒体とする粒子群の充填ムラを防止することができ、作製される情報表示用パネルの表示品質を良好にすることができる。

上記本発明の請求項７に係る粒子充填装置によれば、隔壁を形成した基板の隔壁上部に接することができるように配置された、開口部を有する導電性マスクと、前記導電性マスクに電気的に接続配置されるとともに前記隔壁を形成した基板上の導電部と電気的に接触可能に配置された第１検査プローブと、前記第１検査プローブに電気的に接続配置された接続線と、前記隔壁を形成した基板上の導電部と電気的に接触可能に配置された第２検査プローブと、前記第２検査プローブに電気的に接続配置された検査線と、前記第１検査プローブおよび前記接続線を介して、前記導電性マスクおよび前記隔壁を形成した基板を所定の等電位に接続したとき、前記接続線および前記検査線間に電気的に接続されて前記第１検査プローブと前記隔壁を形成した基板との導通状態を検査する導通検査システムとによって構成されるから、上記本発明の請求項１に係る情報表示用パネルの製造方法の実施に適した粒子充填装置となる。

上記本発明の請求項８に係る粒子充填装置によれば、隔壁を形成した基板の隔壁上部に接することができるように配置された、開口部を有する導電性マスクと、前記導電性マスクに電気的に接続配置されるとともに前記隔壁を形成した基板上の導電部と電気的に接触可能に配置された第１検査プローブと、前記第１検査プローブに電気的に接続配置された接続線と、前記隔壁を形成した基板上の導電部と電気的に接触可能に配置された第２検査プローブと、前記第２検査プローブに電気的に接続配置された検査線と、前記第１検査プローブおよび前記接続線を介して、前記導電性マスクおよび前記隔壁を形成した基板を接地したとき、前記接続線および前記検査線間に電気的に接続されて前記第１検査プローブと前記隔壁を形成した基板との導通状態を検査する導通検査システムとによって構成されるから、上記本発明の請求項２に係る情報表示用パネルの製造方法の実施に適した粒子充填装置となる。

上記本発明の請求項９に係る粒子充填装置によれば、隔壁を形成した基板の隔壁上部に接することができるように配置された、開口部を有する導電性マスクと、前記導電性マスクに電気的に接続配置された第１接続線と、前記隔壁を形成した基板上の導電部と電気的に接触可能に配置された第１検査プローブおよび第２検査プローブと、前記第１検査プローブに電気的に接続配置された第２接続線と、前記第２検査プローブに電気的に接続配置された検査線と、前記第１接続線ならびに前記第１検査プローブおよび前記第２接続線を介して、前記導電性マスクおよび前記隔壁を形成した基板をそれぞれ個別に所定の等電位に接続したとき、前記第２接続線および前記検査線間に電気的に接続されて前記第１検査プローブおよび第２検査プローブと前記隔壁を形成した基板との２つの接触点間の導通状態を検査する導通検査システムとによって構成されるから、上記本発明の請求項３に係る情報表示用パネルの製造方法の実施に適した粒子充填装置となる。

上記本発明の請求項１０に係る粒子充填装置によれば、隔壁を形成した基板の隔壁上部に接することができるように配置された、開口部を有する導電性マスクと、前記導電性マスクに電気的に接続配置された第１接続線と、前記隔壁を形成した基板上の導電部と電気的に接触可能に配置された第１検査プローブおよび第２検査プローブと、前記第１検査プローブに電気的に接続配置された第２接続線と、前記第２検査プローブに電気的に接続配置された検査線と、前記第１接続線ならびに前記第１検査プローブおよび前記第２接続線を介して、前記導電性マスクおよび前記隔壁を形成した基板をそれぞれ個別に接地したとき、前記第２接続線および前記検査線間に電気的に接続されて前記第１検査プローブおよび第２検査プローブと前記隔壁を形成した基板との２つの接触点間の導通状態を検査する導通検査システムとによって構成されるから、上記本発明の請求項４に係る情報表示用パネルの製造方法の実施に適した粒子充填装置となる。

上記本発明の請求項１１に係る粒子充填装置によれば、隔壁を形成した基板の隔壁上部に接することができるように配置された、開口部を有する導電性マスクと、前記導電性マスクに電気的に接続配置された第１接続線およびマスク検査線と、前記隔壁を形成した基板上の導電部と電気的に接触可能に配置された第１検査プローブおよび第２検査プローブと、前記第１検査プローブに電気的に接続配置された第２接続線と、前記第２検査プローブに電気的に接続配置された検査線と、前記第１検査プローブおよび前記第２接続線を介して、前記隔壁を形成した基板を所定の等電位に接続したとき、前記第２接続線および前記検査線間に電気的に接続されて前記第１検査プローブおよび第２検査プローブと前記隔壁を形成した基板との２つの接触点間の導通状態を検査する第１導通検査システムと、前記第１接続線を介して、前記導電性マスクを所定の等電位に接続したとき、前記第１接続線および前記マスク検査線間に電気的に接続されて前記導電性マスクと前記第１接続線およびマスク検査線との２つの接続点間の導通状態を検査する第２導通検査システムとによって構成されるから、上記本発明の請求項５に係る情報表示用パネルの製造方法の実施に適した粒子充填装置となる。

上記本発明の請求項１２に係る粒子充填装置によれば、隔壁を形成した基板の隔壁上部に接することができるように配置された、開口部を有する導電性マスクと、前記導電性マスクに電気的に接続配置された第１接続線およびマスク検査線と、前記隔壁を形成した基板上の導電部と電気的に接触可能に配置された第１検査プローブおよび第２検査プローブと、前記第１検査プローブに電気的に接続配置された第２接続線と、前記第２検査プローブに電気的に接続配置された検査線と、前記第１検査プローブおよび前記第２接続線を介して、前記隔壁を形成した基板を接地したとき、前記第２接続線および前記検査線間に電気的に接続されて前記第１検査プローブおよび第２検査プローブと前記隔壁を形成した基板との２つの接触点間の導通状態を検査する第１導通検査システムと、前記第１接続線を介して、前記導電性マスクを接地したとき、前記第１接続線および前記マスク検査線間に電気的に接続されて前記導電性マスクと前記第１接続線およびマスク検査線との２つの接続点間の導通状態を検査する第２導通検査システムとによって構成されるから、上記本発明の請求項６に係る情報表示用パネルの製造方法の実施に適した粒子充填装置となる。

以下、本発明を実施するための最良の形態を図面に基づき詳細に説明する。

まず、本発明を適用して作製する情報表示用パネルの構成について説明する。本発明を適用して作製する情報表示用パネルでは、対向する２枚の基板間の空間に封入した表示媒体とする粒子群に電界が付与される。付与された電界方向に沿って、表示媒体が電界による力やクーロン力などによって引き寄せられ、表示媒体が電界方向の変化によって移動することにより、画像等の情報表示がなされる。従って、表示媒体が、均一に移動し、かつ、繰り返し表示情報を書き換える時あるいは表示情報を継続して表示する時の安定性を維持できるように、情報表示用パネルを設計する必要がある。ここで、表示媒体を構成する粒子にかかる力は、粒子同士のクーロン力により引き付けあう力の他に、電極や基板との電気鏡像力、分子間力、液架橋力、重力などが考えられる。

本発明を適用して作製する情報表示用パネルの例を、図１（ａ），（ｂ）〜図４（ａ），（ｂ）、図５（ａ）〜（ｄ）に基づき説明する。

図１（ａ），（ｂ）に示す例では、光学的反射率と帯電性とを有する粒子を含む少なくとも１種以上の粒子から構成される、互いに光学的反射率および帯電特性が異なる粒子群として構成される表示媒体３を少なくとも２種以上（ここで白色帯電性粒子３Ｗａの粒子群からなる白色表示媒体３Ｗと黒色帯電性粒子３Ｂａの粒子群からなる黒色表示媒体３Ｂを示す）基板間に封入し、隔壁４で形成された各セルにおいて、基板１に設けた電極５（個別電極）と基板２に設けた電極６（個別電極）との間に電圧を印加することにより発生する電界に応じて、基板１、２と垂直に移動させる。そして、図１（ａ）に示すように白色表示媒体３Ｗを観察者に視認させて白色ドット表示を行うか、あるいは、図１（ｂ）に示すように黒色表示媒体３Ｂを観察者に視認させて黒色ドット表示を行っている。なお、図１（ａ）、（ｂ）において、手前にある隔壁は省略している。電極は、基板の外側に設けても、基板の内側に設けても、基板内部に埋め込むように設けてもよい。

図２（ａ）、（ｂ）に示す例では、光学的反射率と帯電性とを有する粒子を含む少なくとも１種以上の粒子から構成される、互いに光学的反射率および帯電特性が異なる粒子群として構成される表示媒体３を少なくとも２種以上（ここで白色帯電性粒子３Ｗａの粒子群からなる白色表示媒体３Ｗと黒色帯電性粒子３Ｂａの粒子群からなる黒色表示媒体３Ｂを示す）基板間に封入し、隔壁４で形成された各セルにおいて、基板１に設けた電極５（ライン電極）と基板２に設けた電極６（ライン電極）との間に電圧を印加することにより発生する電界に応じて、基板１、２と垂直に移動させる。そして、図２（ａ）に示すように白色表示媒体３Ｗを観察者に視認させて白色ドット表示を行うか、あるいは、図２（ｂ）に示すように黒色表示媒体３Ｂを観察者に視認させて黒色ドット表示を行っている。なお、図２（ａ）、（ｂ）において、手前にある隔壁は省略している。電極は、基板の外側に設けても、基板の内側に設けても、基板内部に埋め込むように設けてもよい。

図３（ａ）、（ｂ）に示す例では、３個のセルで表示単位（１ドット）を構成するカラー表示の例を示している。図３（ａ）、（ｂ）に示す例では、表示媒体としてはセル２１−１〜２１−３の全てに白色表示媒体３Ｗと黒色表示媒体３Ｂとを充填し、第１のセル２１−１の観察者側に赤色カラーフィルター２２Ｒを設け、第２のセル２１−２の観察者側に緑色カラーフィルター２２Ｇを設け、第３のセル２１−３の観察者側に青色カラーフィルター２２Ｂを設け、第１のセル２１−１、第２のセル２１−２および第３のセル２１−３の３個のセルで表示単位（１ドット）を構成している。本例では、図３（ａ）に示すように、観察者側に、第１セル２１−１〜第３のセル２１−３の全てにおいて白色表示媒体３Ｗを移動することで、観察者に対し白色ドット表示を行うか、あるいは、図３（ｂ）に示すように、観察者側に、第１セル２１−１〜第３のセル２１−３の全てにおいて黒色表示媒体３Ｂを移動することで、観察者に対し黒色ドット表示を行っている。なお、図３（ａ）、（ｂ）において、手前にある隔壁は省略している。各セルにおいて表示媒体の移動のさせ方で多色カラー表示を行うことができる。

図４（ａ）、（ｂ）に示す例では、光学的反射率と帯電性とを有する粒子を含む少なくとも１種以上の粒子からなる粒子群として構成される表示媒体３を１種（ここで白色帯電性粒子３Ｗａの粒子群からなる白色表示媒体３Ｗを示す）基板間に封入し、隔壁４で形成された各セルにおいて、基板１に設けた電極５と黒色電極６との間に電圧を印加することにより発生する電界に応じて、基板１、２と平行方向に移動させる。そして、図４（ａ）に示すように、白色表示媒体３Ｗを観察者に視認させて白色ドット表示を行うか、あるいは、図４（ｂ）に示すように、黒色電極６の色を観察者に視認させて黒色ドット表示を行っている。なお、図４（ａ）、（ｂ）に示す例では、手前にある隔壁は省略している。

図５（ａ）〜（ｄ）に示す例では、まず、図５（ａ）、（ｃ）に示すように、光学的反射率と帯電性とを有する粒子を含む少なくとも１種以上の粒子から構成される、互いに光学的反射率および帯電特性が異なる粒子群として構成される表示媒体３を少なくとも２種以上（ここで白色帯電性粒子３Ｗａの粒子群からなる白色表示媒体３Ｗと黒色帯電性粒子３Ｂａの粒子群からなる黒色表示媒体３Ｂを示す）基板間に封入し、隔壁４で形成された各セルにおいて、基板１の外側に設けた外部電界形成手段７と基板２の外側に設けた外部電界形成手段８との間に電圧を印加することにより発生する電界に応じて、基板１、２と垂直に移動させる。そして、図５（ｂ）に示すように白色表示媒体３Ｗを観察者に視認させて白色ドット表示を行うか、あるいは、図５（ｄ）に示すように黒色表示媒体３Ｂを観察者に視認させて黒色ドット表示を行っている。なお、図５（ａ）〜（ｄ）において、手前にある隔壁は省略している。また、基板１の内側には導電部材９を設けるとともに、基板２の内側には導電部材１０を設けている。これら導電部材９，１０は、設けなくてもよい。

以下、本発明の情報表示用パネルの製造方法について詳細に説明する。図６（ａ）〜（ｆ）は本発明の情報表示用パネルの第１の製造方法の粒子充填工程に用いる粒子充填装置の構成例を示す図である。この粒子充填装置は、上から見た状態に対応する図６（ａ）、下から見た状態に対応する図６（ｂ）、接地プローブ部分断面図である図６（ｃ），（ｄ）および検査プローブ部分断面図である図６（ｅ），（ｆ）に示すように、隔壁１１を形成した基板（例えばガラス基板）１２の隔壁上部に接することができるように配置された、開口部１３ａを有する導電性マスク（例えばメタルマスク）１３と、導電性マスク１３に電気的に接続配置されるとともに隔壁１１を形成した基板１２上の導電部（図示せず）と電気的に接触可能に配置された第１検査プローブ１５と、第１検査プローブ１５に電気的に接続配置された接続線１４と、隔壁１１を形成した基板１２上の導電部（図示せず）と電気的に接触可能に配置された第２検査プローブ１６と、第２検査プローブ１６に電気的に接続配置された検査線１８と、第１検査プローブ１５および接続線１４を介して、導電性マスク１３および隔壁１１を形成した基板１２を所定の等電位に接続したとき、接続線１４および検査線１８間に電気的に接続されて第１検査プローブ１５と隔壁１１を形成した基板１２との導通状態を検査する導通検査システム１９とを具備して成る。上記第２検査プローブ１６は、絶縁体１７によって、導電性マスク１３から絶縁されている。
上記導通検査システム１９は、電圧源１９ａと、スイッチ１９ｂと、抵抗１９ｃおよびメータ１９ｄの並列回路とを直列接続して成る。上記第１検査プローブ１５および上記第２検査プローブ１６としては、例えば高さ（厚さ）４０〜２００μｍのものを用いる。上記導電性マスク１３を構成するメタルの材質としては、鉄、アルミ、ステンレス（ＳＵＳ）、ニッケル（電鋳ニッケル）等の金属が好ましく用いられる。

図７（ａ）〜（ｆ）は本発明の情報表示用パネルの第１の製造方法の粒子充填工程に用いる粒子充填装置の他の構成例を示す図である。この粒子充填装置は、図７（ａ），（ｂ）に示すように、上記接続線１４を所定電位Ｅに接続することにより、導電性マスク１３および隔壁１１を形成した基板１２を等電位にするようにしたものであり、それ以外の部分は図６（ａ）〜（ｆ）に示す粒子充填装置と同一である。等電位にする場合、セル内に充填しようとする粒子の帯電極性を考慮して、所定電位Ｅを粒子の帯電極性と逆極性の電位とする。
図６（ａ）〜（ｆ）に示す粒子充填装置は、図６（ａ），（ｂ）に示すように、上記接続線１４をゼロ電位（アース）に接続することにより、導電性マスク１３および隔壁１１を形成した基板１２を接地しているが、このように接地を用いる方が、設置が容易であるため、好ましい。

上記第１検査プローブ１５および上記第２検査プローブ１６の先端形状は、図１２（ａ）〜（ｃ）に示すような円柱形、角柱形、角錐形等の棒状あるいは針状が好ましく、点接触するように先端部分が尖っているものが好ましく、図１２（ａ）の先端形状がベストモードである。図１２（ａ）の先端形状を用いた場合の第１検査プローブ１５および第２検査プローブ１６の構造は、図１２（ｄ），（ｅ）に示すように、触針部１５ａ，１６ａがバネ構造で伸縮可能になっていることが好ましい。このような構造の第１検査プローブ１５および第２検査プローブ１６は、基板１２の隔壁上部に接するように導電性マスク１３を配置したときに、基板１２上に形成された導電部（電極等；図示せず）と導電性マスク１３の下面との間に弾性配置されることになる。
第１検査プローブ１５および第２検査プローブ１６の触針部長は、図１２（ｅ）に示すように隔壁１１の高さよりも長くする必要があり、例えば「第１検査プローブ１５および第２検査プローブ１６の触針部長＝隔壁１１の高さ＋１０μｍ程度」とすればよい。

図６（ａ）〜（ｆ）、図７（ａ）〜（ｆ）に示す粒子充填装置を用いる本発明の第１の製造方法によれば、導電性マスク１３を用いてセル内に表示媒体とする粒子群を充填する粒子充填工程を行う際に、セル内に表示媒体とする粒子群を充填する前に、導電性マスク１３に電気的に接続配置された第１検査プローブ１５および接続線１４を介して、導電性マスク１３および隔壁１１を形成した基板１２を接地し（図６（ａ）〜（ｆ）の場合）、あるいは、所定の等電位にし（図７（ａ）〜（ｆ）の場合）、その後、第１記検査プローブ１５および接続線１４ならびに隔壁１１を形成した基板１２に電気的に接続配置された第２検査プローブ１６および検査線１８を用いて導電性マスク１３および隔壁１１を形成した基板１２の導通状態を検査するから、導電性マスク１３および基板１２が第１検査プローブ１５を介して接地されていること（図６（ａ）〜（ｆ）の場合）、あるいは、導電性マスク１３および基板１２が第１検査プローブ１５を介して所定の等電位になっていること（図７（ａ）〜（ｆ）の場合）を確認することにより、セル内の表示媒体とする粒子群の充填ムラを防止することができ、作製される情報表示用パネルの表示品質を良好にすることができる。また、図６（ａ）〜（ｆ）、図７（ａ）〜（ｆ）に示す粒子充填装置は、本発明の第１の製造方法に適した粒子充填装置となる。

図８（ａ）〜（ｆ）は本発明の情報表示用パネルの第２の製造方法の粒子充填工程に用いる粒子充填装置の構成例を示す図である。この粒子充填装置は、上から見た状態に対応する図８（ａ）、下から見た状態に対応する図８（ｂ）、接地プローブ部分断面図である図８（ｃ），（ｄ）および検査プローブ部分断面図である図８（ｅ），（ｆ）に示すように、隔壁１１を形成した基板（例えばガラス基板）１２の隔壁上部に接することができるように配置された、開口部１３ａを有する導電性マスク（例えばメタルマスク）１３と、導電性マスク１３に電気的に接続配置された第１接続線１４−１と、隔壁１１を形成した基板１２上の導電部と電気的に接触可能に配置された第１検査プローブ１５および第２検査プローブ１６と、第１検査プローブ１５に電気的に接続配置された第２接続線１４−２と、第２検査プローブ１６に電気的に接続配置された検査線１８と、第１接続線１４−１ならびに第１検査プローブ１５および第２接続線１４−２を介して、導電性マスク１３および隔壁１１を形成した基板１２をそれぞれ個別に所定の等電位に接続したとき、第２接続線１４−２および検査線１８間に電気的に接続されて第１検査プローブ１５および第２検査プローブ１６と隔壁１１を形成した基板１２との２つの接触点間の導通状態を検査する導通検査システム１９とを具備して成る。上記第１検査プローブ１５および上記第２検査プローブ１６は、絶縁体１７によって、導電性マスク１３から絶縁されている。
上記導通検査システム１９は、電圧源１９ａと、スイッチ１９ｂと、抵抗１９ｃおよびメータ１９ｄの並列回路とを直列接続して成る。上記第１検査プローブ１５および上記第２検査プローブ１６としては、例えば高さ（厚さ）４０〜２００μｍのものを用いる。上記導電性マスク１３を構成するメタルの材質としては、鉄、アルミ、ステンレス（ＳＵＳ）、ニッケル（電鋳ニッケル）等の金属が好ましく用いられる。
なお、上記第１検査プローブ１５および上記第２検査プローブ１６は、第１の製造方法と同一の先端形状および構造のものを用いるものとする。

図９（ａ）〜（ｆ）は本発明の情報表示用パネルの第２の製造方法の粒子充填工程に用いる粒子充填装置の他の構成例を示す図である。この粒子充填装置は、図９（ａ），（ｂ）に示すように、上記第１接続線１４−１および第２接続線１４−２を所定電位Ｅに接続することにより、導電性マスク１３および隔壁１１を形成した基板１２を等電位にするようにしたものであり、それ以外の部分は図８（ａ）〜（ｆ）に示す粒子充填装置と同一である。等電位にする場合、セル内に充填しようとする粒子の帯電極性を考慮して、所定電位Ｅを粒子の帯電極性と逆極性の電位とする。
図８（ａ）〜（ｆ）に示す粒子充填装置は、図８（ａ），（ｂ）に示すように、上記第１接続線１４−１をゼロ電位（アース）に接続するとともに、上記第１検査プローブ１５および第２接続線１４−２をゼロ電位（アース）に接続することにより、導電性マスク１３および隔壁１１を形成した基板１２をそれぞれ個別に接地しているが、このように接地を用いる方が、設置が容易であるため、好ましい。

図８（ａ）〜（ｆ）、図９（ａ）〜（ｆ）に示す粒子充填装置を用いる本発明の第２の製造方法によれば、導電性マスク１３を用いてセル内に表示媒体とする粒子群を充填する粒子充填工程を行う際に、セル内に表示媒体とする粒子群を充填する前に、導電性マスク１３に電気的に接続配置された第１接続線１４−１ならびに隔壁１１を形成した基板１２に電気的に接続配置された第１検査プローブ１５および第２接続線１４−２を介して、導電性マスク１３および隔壁１１を形成した基板１２をそれぞれ個別に接地し（図８（ａ）〜（ｆ）の場合）、あるいは、所定の等電位にし（図９（ａ）〜（ｆ）の場合）、その後、第１記検査プローブ１５および第２接続線１４−２ならびに隔壁１１を形成した基板１２に電気的に接続配置された第２検査プローブ１６および検査線１８を用いて隔壁１１を形成した基板１２上の所定の２点間の導通状態を検査するから、導電性マスク１３および基板１２が接地されていること（図８（ａ）〜（ｆ）の場合）、あるいは、導電性マスク１３および基板１２が所定の等電位になっていること（図９（ａ）〜（ｆ）の場合）を確認することにより、セル内の表示媒体とする粒子群の充填ムラを防止することができ、作製される情報表示用パネルの表示品質を良好にすることができる。また、図８（ａ）〜（ｆ）、図９（ａ）〜（ｆ）に示す粒子充填装置は、本発明の第２の製造方法に適した粒子充填装置となる。

図１０（ａ），（ｂ）は本発明の情報表示用パネルの第３の製造方法の粒子充填工程に用いる粒子充填装置の構成例を示す図である。この粒子充填装置は、図８（ａ）〜（ｆ）に示す本発明の第２の製造方法に用いる粒子充填装置に対し、導電性マスク１３の所定位置に接続されるマスク検査線２０を追加するとともに、第１接続線１４−１およびマスク検査線２０間に導通検査システム１９を追加する変更を加えたものであり、それ以外の部分は図７（ａ）〜（ｆ）と同様に構成する。
図１１（ａ）〜（ｆ）は本発明の情報表示用パネルの第３の製造方法の粒子充填工程に用いる粒子充填装置の他の構成例を示す図である。この粒子充填装置は、図１１（ａ），（ｂ）に示すように、上記第１接続線１４−１および第２接続線１４−２を所定電位Ｅに接続することにより、導電性マスク１３および隔壁１１を形成した基板１２を等電位にするようにしたものであり、それ以外の部分は図１０（ａ）〜（ｆ）に示す粒子充填装置と同一である。等電位にする場合、セル内に充填しようとする粒子の帯電極性を考慮して、所定電位Ｅを粒子の帯電極性と逆極性の電位とする。
図１０（ａ）〜（ｆ）に示す粒子充填装置は、図１０（ａ），（ｂ）に示すように、上記第１接続線１４−１をゼロ電位（アース）に接続するとともに、上記第１検査プローブ１５および第２接続線１４−２をゼロ電位（アース）に接続することにより、導電性マスク１３および隔壁１１を形成した基板１２をそれぞれ個別に接地しているが、このように接地を用いる方が、設置が容易であるため、好ましい。

図１０（ａ），（ｂ）、図１１（ａ），（ｂ）に示す粒子充填装置を用いる本発明の第３の製造方法によれば、導電性マスク１３を用いてセル内に表示媒体とする粒子群を充填する粒子充填工程を行う際に、セル内に表示媒体とする粒子群を充填する前に、導電性マスク１３に電気的に接続配置された第１接続線１４−１ならびに隔壁１１を形成した基板１２に電気的に接続配置された第１検査プローブ１５および第２接続線１４−２を介して、導電性マスク１３および隔壁１１を形成した基板１２をそれぞれ個別に接地し（図１０（ａ）〜（ｆ）の場合）、あるいは、所定の等電位にし（図１１（ａ）〜（ｆ）の場合）、その後、第１検査プローブ１５および第２接続線１４−２ならびに隔壁１１を形成した基板１２に電気的に接続配置された第２検査プローブ１６および検査線１８を用いて隔壁１１を形成した基板１２上の所定の２点間の導通状態を検査するとともに、第１接続線１４−１および導電性マスク１３に電気的に接続配置されたマスク検査線２０を用いて導電性マスク１３の所定の２点間の導通状態を検査するから、導電性マスク１３および基板１２が接地されていること（図１０（ａ）〜（ｆ）の場合）、あるいは、導電性マスク１３および基板１２が所定の等電位になっていること（図１１（ａ）〜（ｆ）の場合）を確認することにより、セル内の表示媒体とする粒子群の充填ムラを防止することができ、作製される情報表示用パネルの表示品質を良好にすることができる。また、図１０（ａ），（ｂ）、図１１（ａ），（ｂ）に示す粒子充填装置は、本発明の第３の製造方法に適した粒子充填装置となる。

以下、本発明を適用して作製する情報表示用パネルを構成する各部材について説明する。

基板としては、少なくとも一方の基板はパネル外側から表示媒体の色が確認できる透明基板であり、可視光の透過率が高くかつ耐熱性の良い材料が好適である。もう一方の基板となる背面基板は透明でも不透明でもかまわない。基板材料を例示すると、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）、ポリエチレン（ＰＥ）、ポリカーボネート（ＰＣ）、ポリイミド（ＰＩ）、ポリエーテルサルフィン（ＰＥＳ）、アクリル等の 有機高分子系基板や、ガラスシート、石英シート、金属シート等を用い、表示面側にはこのうち透明なものを用いる。基板の厚みは、２〜２０００μｍが好ましく、さらに５〜１０００μｍが好適であり、薄すぎると、強度、基板間の間隔均一性を保ちにくくなり、２０００μｍより厚いと、薄型情報表示用パネルとする場合に不都合がある。

基板に設ける電極や導電部材の形成材料としては、アルミニウム、銀、ニッケル、銅、金等の金属類や酸化インジウム錫（ＩＴＯ）、酸化インジウム亜鉛（ＩＺＯ）、酸化亜鉛アルミニウム（ＡＺＯ）、酸化インジウム、導電性酸化錫、アンチモン錫酸化物（ＡＴＯ）、導電性酸化亜鉛等の導電金属酸化物類、ポリアニリン、ポリピローラ、ポリチオフェンなどの導電性高分子類が例示され、適宜選択して用いられる。電極の形成方法としては、上記例示の材料をスパッタリング法、真空蒸着法、ＣＶＤ（化学蒸着）法、塗布法等で薄膜状にパターニング形成する方法や、金属箔（例えば圧延銅箔）をラミネートする方法や、導電剤を溶媒や合成樹脂バインダーに混合して塗布してパターニング形成する方法が用いられる。視認側（表示面側）基板に設ける電極は透明である必要があるが、背面側基板に設ける電極は透明である必要がない。いずれの場合もパターン形成可能である導電性である上記材料を好適に用いることができる。なお、電極厚みは、導電性が確保でき光透過性に支障がなければ良く、０．０１〜１０μｍ、好ましくは０．０５〜５μｍが好適である。背面側基板に設ける電極の材質や厚みなどは上述した表示面側基板に設ける電極と同様であるが、透明である必要はない。なお、この場合の外部電圧入力は、直流あるいは交流を重畳しても良い。

基板に設ける隔壁については、その形状は表示にかかわる表示媒体の種類や、配置する電極の形状、配置により適宜最適設定され、一概には限定されないが、隔壁の幅は２〜１００μｍ、好ましくは３〜５０μｍに、隔壁の高さは１０〜５００μｍ、好ましくは１０〜２００μｍ、さらに好ましくは１０〜１００μｍ、特に好ましくは１０〜５０μｍに調整される。
また、隔壁を形成するにあたり、対向する両基板１、２の各々にリブを形成した後に接合する両リブ法、片側の基板上にのみリブを形成する片リブ法が考えられる。この発明では、いずれの方法も好適に用いられる。
これらのリブからなる隔壁により形成されるセルは、図１３に示すごとく、基板平面方向からみて四角状、三角状、ライン状、円形状、六角状が例示され、配置としては格子状やハニカム状や網目状が例示される。表示面側から見える隔壁断面部分に相当する部分（セルの枠部の面積）はできるだけ小さくした方が良く、表示状態の鮮明さが増す。
ここで、隔壁の形成方法を例示すると、金型転写法、スクリーン印刷法、サンドブラスト法、フォトリソ法、アディティブ法が挙げられる。いずれの方法もこの発明の情報表示装置に搭載する情報表示用パネルに好適に用いることができるが、これらのうち、レジストフィルムを用いるフォトリソ法や金型転写法が好適に用いられる。

次に、本発明を用いて作製する情報表示用パネルにおいて表示媒体を構成する表示媒体用粒子（以下、帯電性粒子ともいう）について説明する。表示媒体用粒子は、そのまま該表示媒体用粒子だけで構成して表示媒体としたり、その他の粒子と合わせて構成して表示媒体としたりして用いられる。
表示媒体用粒子には、その主成分となる樹脂に、必要に応じて、荷電制御剤、着色剤、無機添加剤等を含ますことができる。以下に、樹脂、荷電制御剤、着色剤、その他添加剤を例示する。

樹脂の例としては、ウレタン樹脂、ウレア樹脂、アクリル樹脂、ポリエステル樹脂、アクリルウレタン樹脂、アクリルウレタンシリコーン樹脂、アクリルウレタンフッ素樹脂、アクリルフッ素樹脂、シリコーン樹脂、アクリルシリコーン樹脂、エポキシ樹脂、ポリスチレン樹脂、スチレンアクリル樹脂、ポリオレフィン樹脂、ブチラール樹脂、塩化ビニリデン樹脂、メラミン樹脂、フェノール樹脂、フッ素樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリスルフォン樹脂、ポリエーテル樹脂、ポリアミド樹脂等が挙げられ、２種以上混合することもできる。特に、基板との付着力を制御する観点から、アクリルウレタン樹脂、アクリルシリコーン樹脂、アクリルフッ素樹脂、アクリルウレタンシリコーン樹脂、アクリルウレタンフッ素樹脂、フッ素樹脂、シリコーン樹脂が好適である。

荷電制御剤としては、特に制限はないが、負荷電制御剤としては例えば、サリチル酸金属錯体、含金属アゾ染料、含金属（金属イオンや金属原子を含む）の油溶性染料、４級アンモニウム塩系化合物、カリックスアレン化合物、含ホウ素化合物（ベンジル酸ホウ素錯体）、ニトロイミダゾール誘導体等が挙げられる。正荷電制御剤としては例えば、ニグロシン染料、トリフェニルメタン系化合物、４級アンモニウム塩系化合物、ポリアミン樹脂、イミダゾール誘導体等が挙げられる。その他、超微粒子シリカ、超微粒子酸化チタン、超微粒子アルミナ等の金属酸化物、ピリジン等の含窒素環状化合物及びその誘導体や塩、各種有機顔料、フッ素、塩素、窒素等を含んだ樹脂等も荷電制御剤として用いることもできる。

着色剤としては、以下に例示するような、有機または無機の各種、各色の顔料、染料が使用可能である。

黒色着色剤としては、カーボンブラック、酸化銅、二酸化マンガン、アニリンブラック、活性炭等がある。
青色着色剤としては、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：３、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５、紺青、コバルトブルー、アルカリブルーレーキ、ビクトリアブルーレーキ、フタロシアニンブルー、無金属フタロシアニンブルー、フタロシアニンブルー部分塩素化物、ファーストスカイブルー、インダンスレンブルーＢＣ等がある。
赤色着色剤としては、ベンガラ、カドミウムレッド、鉛丹、硫化水銀、カドミウム、パーマネントレッド４Ｒ、リソールレッド、ピラゾロンレッド、ウォッチングレッド、カルシウム塩、レーキレッドＤ、ブリリアントカーミン６Ｂ、エオシンレーキ、ローダミンレーキＢ、アリザリンレーキ、ブリリアントカーミン３Ｂ、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２等がある。

黄色着色剤としては、黄鉛、亜鉛黄、カドミウムイエロー、黄色酸化鉄、ミネラルファーストイエロー、ニッケルチタンイエロー、ネーブルイエロー、ナフトールイエローＳ、ハンザイエローＧ、ハンザイエロー１０Ｇ、ベンジジンイエローＧ、ベンジジンイエローＧＲ、キノリンイエローレーキ、パーマネントイエローＮＣＧ、タートラジンレーキ、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１２等がある。
緑色着色剤としては、クロムグリーン、酸化クロム、ピグメントグリーンＢ、Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン７、マラカイトグリーンレーキ、ファイナルイエローグリーンＧ等がある。
橙色着色剤としては、赤色黄鉛、モリブデンオレンジ、パーマネントオレンジＧＴＲ、ピラゾロンオレンジ、バルカンオレンジ、インダンスレンブリリアントオレンジＲＫ、ベンジジンオレンジＧ、インダンスレンブリリアントオレンジＧＫ、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ３１等がある。
紫色着色剤としては、マンガン紫、ファーストバイオレットＢ、メチルバイオレットレーキ等がある。
白色着色剤としては、亜鉛華、酸化チタン、アンチモン白、硫化亜鉛等がある。

体質顔料としては、バライト粉、炭酸バリウム、クレー、シリカ、ホワイトカーボン、タルク、アルミナホワイト等がある。また、塩基性、酸性、分散、直接染料等の各種染料として、ニグロシン、メチレンブルー、ローズベンガル、キノリンイエロー、ウルトラマリンブルー等がある。

無機系添加剤の例としては、酸化チタン、亜鉛華、硫化亜鉛、酸化アンチモン、炭酸カルシウム、鉛白、タルク、シリカ、ケイ酸カルシウム、アルミナホワイト、カドミウムイエロー、カドミウムレッド、カドミウムオレンジ、チタンイエロー、紺青、群青、コバルトブルー、コバルトグリーン、コバルトバイオレット、酸化鉄、カーボンブラック、マンガンフェライトブラック、コバルトフェライトブラック、銅粉、アルミニウム粉などが挙げられる。
これらの顔料および無機系添加剤は、単独であるいは複数組み合わせて用いることができる。このうち特に黒色顔料としてカーボンブラックが、白色顔料として酸化チタンが好ましい。上記着色剤を配合して所望の色の表示媒体用粒子を作製できる。

また、表示媒体用粒子は平均粒子径d(0.5)が、１〜２０μｍの範囲であり、均一で揃っていることが好ましい。平均粒子径d(0.5)がこの範囲より大きいと表示上の鮮明さに欠け、この範囲より小さいと粒子同士の凝集力が大きくなりすぎるために表示媒体としての移動に支障をきたすようになる。

さらに本発明では、各表示媒体用粒子の粒子径分布に関して、下記式に示される粒子径分布Spanを５未満、好ましくは３未満とする。
Span＝（ｄ(0.9)−ｄ(0.1)）／ｄ(0.5)
（但し、ｄ(0.5)は粒子の50％がこれより大きく、50％がこれより小さいという粒子径をμｍで表した数値、ｄ(0.1)はこれ以下の粒子の比率が10％である粒子径をμｍで表した数値、ｄ(0.9)はこれ以下の粒子が90％である粒子径をμｍで表した数値である。）
Spanを５以下の範囲に納めることにより、各表示媒体用粒子のサイズが揃い、均一な表示媒体としての移動が可能となる。

さらにまた、使用した表示媒体用粒子の内、最大径を有する粒子のd(0.5)に対する最小径を有する粒子のd(0.5)の比を１０以下とすることが肝要である。たとえ粒子径分布Spanを小さくしたとしても、互いに帯電特性の異なる表示媒体用粒子が互いに反対方向に動くので、互いの粒子サイズが近く、互いの表示媒体用粒子が当量ずつ反対方向に容易に移動できるようにするのが好適であり、それがこの範囲となる。

なお、上記の粒子径分布および粒子径は、レーザー回折／散乱法などから求めることができる。測定対象となる粒子にレーザー光を照射すると空間的に回折／散乱光の光強度分布パターンが生じ、この光強度パターンは粒子径と対応関係があることから、粒子径および粒子径分布が測定できる。
ここで、本発明における粒子径および粒子径分布は、体積基準分布から得られたものである。具体的には、Mastersizer2000(Malvern Instruments Ltd.）測定機を用いて、窒素気流中に粒子を投入し、付属の解析ソフト（Mie理論を用いた体積基準分布を基本としたソフト）にて、粒子径および粒子径分布の測定を行なうことができる。

さらに、表示媒体用粒子で構成する表示媒体を気体中空間で駆動させる乾式の情報表示用パネルでは、基板間の表示媒体を取り巻く空隙部分の気体の管理が重要であり、表示安定性向上に寄与する。具体的には、空隙部分の気体の湿度について、２５℃における相対湿度を６０％RH以下、好ましくは５０％RH以下とすることが重要である。
この空隙部分とは、図１（ａ），（ｂ）〜図４（ａ），（ｂ）、図５（ａ）〜（ｄ）において、対向する基板１、基板２に挟まれる部分から、電極５、６（電極を基板の内側に設けた場合）、表示媒体３の占有部分、隔壁４の占有部分、情報表示用パネルのシール部分を除いた、いわゆる表示媒体が接する気体部分を指すものとする。
空隙部分の気体は、先に述べた湿度領域であれば、その種類は問わないが、乾燥空気、乾燥窒素、乾燥アルゴン、乾燥ヘリウム、乾燥二酸化炭素、乾燥メタンなどが好適である。この気体は、その湿度が保持されるように情報表示用パネルに封入することが必要であり、例えば、表示媒体の充填、情報表示用パネルの組み立てなどを所定湿度環境下にて行い、さらに、外からの湿度侵入を防ぐシール材、シール方法を施すことが肝要である。

本発明の対象となる帯電性粒子を含んだ粒子群を表示媒体とする情報表示用パネルにおける基板と基板との間隔は、表示媒体が移動できて、コントラストを維持できればよいが、通常１０〜１００μｍ、好ましくは１０〜５０μｍに調整される。
対向する基板間の気体中空間における表示媒体の体積占有率は５〜７０％が好ましく、さらに好ましくは５〜６０％である。７０％を超える場合には表示媒体の移動に支障をきたし、５％未満の場合にはコントラストが不明確となり易い。

本発明を適用して作製する情報表示用パネルは、ノートパソコン、電子手帳、ＰＤＡ（Personal Digital Assistants ）と呼ばれる携帯型情報機器、携帯電話、ハンディターミナル等のモバイル機器の表示部、電子書籍、電子新聞、電子マニュアル（電子取扱説明書）等の電子ペーパー、看板、ポスター、黒板やホワイトボード等の掲示板、電子卓上計算機、家電製品、自動車用品等の表示部、ポイントカード、ＩＣカード等のカード表示部、電子広告、情報ボード、電子ＰＯＰ（Point Of Presence 、Point Of Purchase advertising ）、電子値札、電子棚札、電子楽譜、ＲＦ−ＩＤ機器の表示部のほか、ＰＯＳ端末、カーナビゲーション装置、時計など様々な電子機器の表示部に好適に用いられる。他に、リライタブルペーパーとしても好適に用いられる。
なお、本発明に係る情報表示用パネルの駆動方式については、パネル自体にスイッチング素子を用いない単純マトリックス駆動方式やスタティック駆動方式、また、薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）で代表される三端子スイッチング素子あるいは薄膜ダイオード（ＴＦＤ）で代表される二端子スイッチング素子を用いたアクティブマトリックス駆動方式や、外部電界形成手段を用いた外部電界駆動方式など、種々のタイプの駆動方式が適用できる。

（ａ），（ｂ）は本発明を適用して作製する情報表示用パネルの原理的構成を示す図である。 （ａ），（ｂ）は本発明を適用して作製する情報表示用パネルの原理的構成を示す図である。 （ａ），（ｂ）は本発明を適用して作製する情報表示用パネルの原理的構成を示す図である。 （ａ），（ｂ）は本発明を適用して作製する情報表示用パネルの原理的構成を示す図である。 （ａ）〜（ｄ）は本発明を適用して作製する情報表示用パネルの原理的構成を示す図である。 （ａ）〜（ｆ）は本発明の情報表示用パネルの第１の製造方法の粒子充填工程に用いる粒子充填装置の構成例を示す図である。 （ａ）〜（ｆ）は本発明の情報表示用パネルの第１の製造方法の粒子充填工程に用いる粒子充填装置の他の構成例を示す図である。 （ａ）〜（ｆ）は本発明の情報表示用パネルの第２の製造方法の粒子充填工程に用いる粒子充填装置の構成例を示す図である。 （ａ）〜（ｆ）は本発明の情報表示用パネルの第２の製造方法の粒子充填工程に用いる粒子充填装置の他の構成例を示す図である。 （ａ），（ｂ）は本発明の情報表示用パネルの第３の製造方法の粒子充填工程に用いる粒子充填装置の構成例を示す図である。 （ａ），（ｂ）は本発明の情報表示用パネルの第３の製造方法の粒子充填工程に用いる粒子充填装置の構成例を示す図である。 （ａ）〜（ｃ）および（ｄ），（ｅ）はそれぞれ、本発明の情報表示用パネルの第１〜第３の製造方法の粒子充填工程に用いる粒子充填装置の、第１検査プローブおよび第２検査プローブの先端形状および構造を例示する図である。 本発明を適用して作製する情報表示用パネルにおける隔壁の形状の一例を示す図である。 （ａ）〜（ｃ）は従来例の情報表示用パネルの製造方法の粒子充填工程に用いる粒子充填装置の構成例を示す図である。

符号の説明

１、２ 基板
３ 表示媒体（粒子群）
３Ｗ 白色表示媒体
３Ｂ 黒色表示媒体
３Ｗａ 白色帯電性粒子
３Ｂａ 黒色帯電性粒子
４ 隔壁
５、６ 電極
７，８ 外部電界形成手段
９，１０ 導電部材
１１ 隔壁
１２ 基板
１３ 導電性マスク（メタルマスク）
１３ａ 開口部
１４ 接続線
１４−１ 第１接続線
１４−２ 第２接続線
１５ 第１検査プローブ
１６ 第２検査プローブ
１７ 絶縁体
１８ 検査線
１９ 導通検査システム
１９ａ 電圧源
１９ｂ スイッチ
１９ｃ 抵抗
１９ｄ メータ
２０ マスク検査線
２１−１ 第１のセル
２１−２ 第２のセル
２１−３ 第３のセル
２２Ｒ 赤色カラーフィルター
２２Ｇ 緑色カラーフィルター
２２Ｂ 青色カラーフィルター

Claims (13)

1. 少なくとも一方が透明な２枚の基板間に隔壁によって仕切られた複数のセルを形成し、該セル内に光学的反射率および帯電性を有する粒子を含んで構成した粒子群を表示媒体として封入し、表示媒体に電界を付与することによって、表示媒体を移動させて画像等の情報を表示する情報表示用パネルを作製する際に、導電性マスクを用いてセル内に表示媒体として粒子群を充填する粒子充填工程を行う、情報表示用パネルの製造方法であって、
   セル内に表示媒体とする粒子群を充填する前に、前記導電性マスクに電気的に接続配置された第１検査プローブおよび接続線を介して、前記導電性マスクおよび前記隔壁を形成した基板を所定の等電位にし、その後、前記第１記検査プローブおよび前記接続線ならびに前記隔壁を形成した基板に電気的に接続配置された第２検査プローブおよび検査線を用いて前記導電性マスクおよび前記隔壁を形成した基板の導通状態を検査することを特徴とする情報表示用パネルの製造方法。
2. 少なくとも一方が透明な２枚の基板間に隔壁によって仕切られた複数のセルを形成し、該セル内に光学的反射率および帯電性を有する粒子を含んで構成した粒子群を表示媒体として封入し、表示媒体に電界を付与することによって、表示媒体を移動させて画像等の情報を表示する情報表示用パネルを作製する際に、導電性マスクを用いてセル内に表示媒体として粒子群を充填する粒子充填工程を行う、情報表示用パネルの製造方法であって、
   セル内に表示媒体とする粒子群を充填する前に、前記導電性マスクに電気的に接続配置された第１検査プローブおよび接続線を介して、前記導電性マスクおよび前記隔壁を形成した基板を接地し、その後、前記第１記検査プローブおよび前記接続線ならびに前記隔壁を形成した基板に電気的に接続配置された第２検査プローブおよび検査線を用いて前記導電性マスクおよび前記隔壁を形成した基板の導通状態を検査することを特徴とする情報表示用パネルの製造方法。
3. 少なくとも一方が透明な２枚の基板間に隔壁によって仕切られた複数のセルを形成し、該セル内に光学的反射率および帯電性を有する粒子を含んで構成した粒子群を表示媒体として封入し、表示媒体に電界を付与することによって、表示媒体を移動させて画像等の情報を表示する情報表示用パネルを作製する際に、導電性マスクを用いてセル内に表示媒体として粒子群を充填する粒子充填工程を行う、情報表示用パネルの製造方法であって、
   セル内に表示媒体とする粒子群を充填する前に、前記導電性マスクに電気的に接続配置された第１接続線ならびに前記隔壁を形成した基板に電気的に接続配置された第１検査プローブおよび第２接続線を介して、前記導電性マスクおよび前記隔壁を形成した基板をそれぞれ個別に所定の等電位にし、その後、前第１記検査プローブおよび前記第２接続線ならびに前記隔壁を形成した基板に電気的に接続配置された第２検査プローブおよび検査線を用いて前記隔壁を形成した基板上の所定の２点間の導通状態を検査することを特徴とする情報表示用パネルの製造方法。
4. 少なくとも一方が透明な２枚の基板間に隔壁によって仕切られた複数のセルを形成し、該セル内に光学的反射率および帯電性を有する粒子を含んで構成した粒子群を表示媒体として封入し、表示媒体に電界を付与することによって、表示媒体を移動させて画像等の情報を表示する情報表示用パネルを作製する際に、導電性マスクを用いてセル内に表示媒体として粒子群を充填する粒子充填工程を行う、情報表示用パネルの製造方法であって、
   セル内に表示媒体とする粒子群を充填する前に、前記導電性マスクに電気的に接続配置された第１接続線ならびに前記隔壁を形成した基板に電気的に接続配置された第１検査プローブおよび第２接続線を介して、前記導電性マスクおよび前記隔壁を形成した基板をそれぞれ個別に接地し、その後、前第１記検査プローブおよび前記第２接続線ならびに前記隔壁を形成した基板に電気的に接続配置された第２検査プローブおよび検査線を用いて前記隔壁を形成した基板上の所定の２点間の導通状態を検査することを特徴とする情報表示用パネルの製造方法。
5. 少なくとも一方が透明な２枚の基板間に隔壁によって仕切られた複数のセルを形成し、該セル内に光学的反射率および帯電性を有する粒子を含んで構成した粒子群を表示媒体として封入し、表示媒体に電界を付与することによって、表示媒体を移動させて画像等の情報を表示する情報表示用パネルを作製する際に、導電性マスクを用いてセル内に表示媒体として粒子群を充填する粒子充填工程を行う、情報表示用パネルの製造方法であって、
   セル内に表示媒体とする粒子群を充填する前に、前記導電性マスクに電気的に接続配置された第１接続線ならびに前記隔壁を形成した基板に電気的に接続配置された第１検査プローブおよび第２接続線を介して、前記導電性マスクおよび前記隔壁を形成した基板をそれぞれ個別に所定の等電位にし、その後、前記第１記検査プローブおよび前記第２接続線ならびに前記隔壁を形成した基板に電気的に接続配置された第２検査プローブおよび検査線を用いて前記隔壁を形成した基板上の所定の２点間の導通状態を検査するとともに、前記第１接続線および前記導電性マスクに電気的に接続配置されたマスク検査線を用いて前記導電性マスクの所定の２点間の導通状態を検査することを特徴とする情報表示用パネルの製造方法。
6. 少なくとも一方が透明な２枚の基板間に隔壁によって仕切られた複数のセルを形成し、該セル内に光学的反射率および帯電性を有する粒子を含んで構成した粒子群を表示媒体として封入し、表示媒体に電界を付与することによって、表示媒体を移動させて画像等の情報を表示する情報表示用パネルを作製する際に、導電性マスクを用いてセル内に表示媒体として粒子群を充填する粒子充填工程を行う、情報表示用パネルの製造方法であって、
   セル内に表示媒体とする粒子群を充填する前に、前記導電性マスクに電気的に接続配置された第１接続線ならびに前記隔壁を形成した基板に電気的に接続配置された第１検査プローブおよび第２接続線を介して、前記導電性マスクおよび前記隔壁を形成した基板をそれぞれ個別に接地し、その後、前記第１記検査プローブおよび前記第２接続線ならびに前記隔壁を形成した基板に電気的に接続配置された第２検査プローブおよび検査線を用いて前記隔壁を形成した基板上の所定の２点間の導通状態を検査するとともに、前記第１接続線および前記導電性マスクに電気的に接続配置されたマスク検査線を用いて前記導電性マスクの所定の２点間の導通状態を検査することを特徴とする情報表示用パネルの製造方法。
7. 隔壁を形成した基板の隔壁上部に接することができるように配置された、開口部を有する導電性マスクと、
   前記導電性マスクに電気的に接続配置されるとともに前記隔壁を形成した基板上の導電部と電気的に接触可能に配置された第１検査プローブと、
   前記第１検査プローブに電気的に接続配置された接続線と、
   前記隔壁を形成した基板上の導電部と電気的に接触可能に配置された第２検査プローブと、
   前記第２検査プローブに電気的に接続配置された検査線と、
   前記第１検査プローブおよび前記接続線を介して、前記導電性マスクおよび前記隔壁を形成した基板を所定の等電位に接続したとき、前記接続線および前記検査線間に電気的に接続されて前記第１検査プローブと前記隔壁を形成した基板との導通状態を検査する導通検査システムとを具備して成ることを特徴とする、請求項１に記載の情報表示用パネルの製造方法に用いる粒子充填装置。
8. 隔壁を形成した基板の隔壁上部に接することができるように配置された、開口部を有する導電性マスクと、
   前記導電性マスクに電気的に接続配置されるとともに前記隔壁を形成した基板上の導電部と電気的に接触可能に配置された第１検査プローブと、
   前記第１検査プローブに電気的に接続配置された接続線と、
   前記隔壁を形成した基板上の導電部と電気的に接触可能に配置された第２検査プローブと、
   前記第２検査プローブに電気的に接続配置された検査線と、
   前記第１検査プローブおよび前記接続線を介して、前記導電性マスクおよび前記隔壁を形成した基板を接地したとき、前記接続線および前記検査線間に電気的に接続されて前記第１検査プローブと前記隔壁を形成した基板との導通状態を検査する導通検査システムとを具備して成ることを特徴とする、請求項２に記載の情報表示用パネルの製造方法に用いる粒子充填装置。
9. 隔壁を形成した基板の隔壁上部に接することができるように配置された、開口部を有する導電性マスクと、
   前記導電性マスクに電気的に接続配置された第１接続線と、
   前記隔壁を形成した基板上の導電部と電気的に接触可能に配置された第１検査プローブおよび第２検査プローブと、
   前記第１検査プローブに電気的に接続配置された第２接続線と、
   前記第２検査プローブに電気的に接続配置された検査線と、
   前記第１接続線ならびに前記第１検査プローブおよび前記第２接続線を介して、前記導電性マスクおよび前記隔壁を形成した基板をそれぞれ個別に所定の等電位に接続したとき、前記第２接続線および前記検査線間に電気的に接続されて前記第１検査プローブおよび第２検査プローブと前記隔壁を形成した基板との２つの接触点間の導通状態を検査する導通検査システムとを具備して成ることを特徴とする、請求項３に記載の情報表示用パネルの製造方法に用いる粒子充填装置。
10. 隔壁を形成した基板の隔壁上部に接することができるように配置された、開口部を有する導電性マスクと、
    前記導電性マスクに電気的に接続配置された第１接続線と、
    前記隔壁を形成した基板上の導電部と電気的に接触可能に配置された第１検査プローブおよび第２検査プローブと、
    前記第１検査プローブに電気的に接続配置された第２接続線と、
    前記第２検査プローブに電気的に接続配置された検査線と、
    前記第１接続線ならびに前記第１検査プローブおよび前記第２接続線を介して、前記導電性マスクおよび前記隔壁を形成した基板をそれぞれ個別に接地したとき、前記第２接続線および前記検査線間に電気的に接続されて前記第１検査プローブおよび第２検査プローブと前記隔壁を形成した基板との２つの接触点間の導通状態を検査する導通検査システムとを具備して成ることを特徴とする、請求項４に記載の情報表示用パネルの製造方法に用いる粒子充填装置。
11. 隔壁を形成した基板の隔壁上部に接することができるように配置された、開口部を有する導電性マスクと、
    前記導電性マスクに電気的に接続配置された第１接続線およびマスク検査線と、
    前記隔壁を形成した基板上の導電部と電気的に接触可能に配置された第１検査プローブおよび第２検査プローブと、
    前記第１検査プローブに電気的に接続配置された第２接続線と、
    前記第２検査プローブに電気的に接続配置された検査線と、
    前記第１検査プローブおよび前記第２接続線を介して、前記隔壁を形成した基板を所定の等電位に接続したとき、前記第２接続線および前記検査線間に電気的に接続されて前記第１検査プローブおよび第２検査プローブと前記隔壁を形成した基板との２つの接触点間の導通状態を検査する第１導通検査システムと、
    前記第１接続線を介して、前記導電性マスクを所定の等電位に接続したとき、前記第１接続線および前記マスク検査線間に電気的に接続されて前記導電性マスクと前記第１接続線およびマスク検査線との２つの接続点間の導通状態を検査する第２導通検査システムとを具備して成ることを特徴とする、請求項５に記載の情報表示用パネルの製造方法に用いる粒子充填装置。
12. 隔壁を形成した基板の隔壁上部に接することができるように配置された、開口部を有する導電性マスクと、
    前記導電性マスクに電気的に接続配置された第１接続線およびマスク検査線と、
    前記隔壁を形成した基板上の導電部と電気的に接触可能に配置された第１検査プローブおよび第２検査プローブと、
    前記第１検査プローブに電気的に接続配置された第２接続線と、
    前記第２検査プローブに電気的に接続配置された検査線と、
    前記第１検査プローブおよび前記第２接続線を介して、前記隔壁を形成した基板を接地したとき、前記第２接続線および前記検査線間に電気的に接続されて前記第１検査プローブおよび第２検査プローブと前記隔壁を形成した基板との２つの接触点間の導通状態を検査する第１導通検査システムと、
    前記第１接続線を介して、前記導電性マスクを接地したとき、前記第１接続線および前記マスク検査線間に電気的に接続されて前記導電性マスクと前記第１接続線およびマスク検査線との２つの接続点間の導通状態を検査する第２導通検査システムとを具備して成ることを特徴とする、請求項６に記載の情報表示用パネルの製造方法に用いる粒子充填装置。
13. 前記隔壁を形成した基板上の導電部と電気的に接続するための導通部材が前記第１検査プローブとは別に設けられた導電性マスクを用いることを特徴とする請求項７または８に記載の粒子充填装置。

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