JP2009147281A - Method and apparatus for manufacturing light-emitting device - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for manufacturing a light-emitting device, by which a light-emitting device high in light converging performance can easily be manufactured. <P>SOLUTION: The method for manufacturing a light-emitting device includes: a first resin arrangement step of arranging a resin 10 so as to cover a light-emitting element 6 disposed on a surface of a substrate 5 and have a mountain-shaped cross section; a curing step of curing the resin 10; and a second resin arrangement steep of arranging a resin 11 on a surface of the resin 10 by stencil printing. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は、発光装置の製造方法および発光装置の製造装置に関する。   The present invention relates to a light emitting device manufacturing method and a light emitting device manufacturing apparatus.

発光装置には、発光ダイオード(LED)などの発光素子を有するものがある。近年においては、LEDは、テレビジョン受像機などの表示器、照明器、信号機、懐中電灯、自動車のテールランプなどに使用されている。このような発光素子は基板の表面に形成されて電気回路と接続される。発光素子は、発光素子を保護するための保護層として樹脂等で覆われる。保護層としての樹脂は、透光性を有する樹脂が用いられ、発光素子が発する光を外部に放出するように形成される。   Some light-emitting devices have light-emitting elements such as light-emitting diodes (LEDs). In recent years, LEDs are used in displays such as television receivers, illuminators, traffic lights, flashlights, automobile tail lamps, and the like. Such a light emitting element is formed on the surface of the substrate and connected to an electric circuit. The light emitting element is covered with a resin or the like as a protective layer for protecting the light emitting element. As the protective layer, a light-transmitting resin is used, and is formed so as to emit light emitted from the light-emitting element to the outside.

発光装置の製造においては、基板の表面に発光素子が配置され、その後に発光素子を覆うように樹脂が配置される。たとえば、特開2007−5722号公報においては、発光素子を被覆する樹脂を、それぞれの発光素子ごとにディスペンサで配置する方法が開示されている。   In manufacturing a light emitting device, a light emitting element is disposed on the surface of a substrate, and then a resin is disposed so as to cover the light emitting element. For example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2007-5722 discloses a method of disposing a resin that coats a light emitting element with a dispenser for each light emitting element.

ディスペンサによる樹脂の封止方法においては、それぞれの発光素子に対して樹脂を配置していくために、時間がかかったり、設備が複雑になったりする。近年においては、基板に配置されている発光素子を樹脂により封止する方法として孔版印刷が利用されている(たとえば、特許第2851589号公報参照)。孔版印刷による方法では、基板上の発光素子の位置に対応する通孔を有する孔版を用いる。それぞれの通孔の内部に発光素子を配置して、この通孔の内部に樹脂を配置することにより発光素子を樹脂で封止することができる。
特開2007−5722号公報 特許第2851589号公報
In the resin sealing method using a dispenser, since the resin is arranged for each light emitting element, it takes time and the equipment becomes complicated. In recent years, stencil printing has been used as a method for sealing a light emitting element disposed on a substrate with a resin (see, for example, Japanese Patent No. 2851589). In the stencil printing method, a stencil having through holes corresponding to the positions of the light emitting elements on the substrate is used. The light emitting element can be sealed with the resin by disposing the light emitting element inside each through hole and disposing the resin inside the through hole.
JP 2007-5722 A Japanese Patent No. 2851589

発光素子からの光は、発光素子を覆う樹脂を介して外部に放出される。発光素子の周りに堰を形成せずに樹脂が配置されたときに、樹脂の表面張力により樹脂の断面形状が山形になる。たとえば、樹脂の断面形状が放物線状になる。発光素子から発せられた光は、樹脂の内部を通った後に樹脂の表面で屈折して外部に放出される。このときに、樹脂の表面の形状に依存して光が発散される。樹脂の表面で光が多方向に発散される場合には、発光装置を正面から見たときの輝度が小さくなっていた。すなわち、樹脂の表面で光が多方向に向けられて指向性が落ちてしまっていた。   Light from the light emitting element is emitted to the outside through a resin covering the light emitting element. When the resin is arranged without forming a weir around the light emitting element, the cross-sectional shape of the resin becomes a mountain shape due to the surface tension of the resin. For example, the cross-sectional shape of the resin is parabolic. The light emitted from the light emitting element is refracted on the surface of the resin after passing through the inside of the resin and emitted to the outside. At this time, light is diffused depending on the shape of the surface of the resin. When light is diverged in multiple directions on the surface of the resin, the luminance when the light emitting device is viewed from the front is small. In other words, light is directed in many directions on the surface of the resin, and the directivity is reduced.

上記の特開2007−5722号公報においては、光半導体素子を樹脂で封止して、さらに、封止樹脂の上に、光を集光して外部に放射するための光放射部を配置することが開示されている。光放射部にはレンズ部が形成され、光を集光できることが開示されている。しかしながら、この発光装置は、光放射部を別部品として製造して、さらに、光半導体素子を覆う樹脂に光放射部を取り付ける必要がある。このため、生産性が悪いという問題がある。   In the above Japanese Patent Application Laid-Open No. 2007-5722, the optical semiconductor element is sealed with a resin, and a light emitting part for condensing the light and emitting it to the outside is disposed on the sealing resin. It is disclosed. It is disclosed that a lens part is formed in the light emitting part and light can be collected. However, in this light emitting device, it is necessary to manufacture the light emitting part as a separate part and to attach the light emitting part to the resin covering the optical semiconductor element. For this reason, there exists a problem that productivity is bad.

本発明は、集光性の高い発光装置を容易に製造できる発光装置の製造方法および発光装置の製造装置を提供することを課題とする。   It is an object of the present invention to provide a light emitting device manufacturing method and a light emitting device manufacturing apparatus that can easily manufacture a light emitting device with high light condensing properties.

本発明の発光装置の製造方法は、基板の表面に配置されている発光素子を覆い断面形状が山形になるように第1樹脂を配置する第1樹脂配置工程と、第1樹脂を硬化させる硬化工程と、孔版印刷によって第1樹脂の表面に第2樹脂を配置する第2樹脂配置工程とを含む。   The method for manufacturing a light emitting device according to the present invention includes a first resin arranging step of arranging a first resin so as to cover a light emitting element arranged on a surface of a substrate so that a cross-sectional shape is a mountain shape, and curing to cure the first resin. And a second resin placement step of placing a second resin on the surface of the first resin by stencil printing.

上記発明において好ましくは、第1樹脂配置工程は、第1孔版を用いる工程を含み、第2樹脂配置工程は、平面視したときに第1孔版の通孔の大きさ以下の通孔を有する第2孔版を用いる工程を含む。第2樹脂配置工程は、硬化させた第1樹脂に第2孔版の通孔を接触させて孔版印刷を行う工程を含む。   Preferably, in the above invention, the first resin disposing step includes a step of using the first stencil, and the second resin disposing step includes a first hole having a through hole having a size equal to or smaller than a through hole of the first stencil when viewed in plan. A step of using a two-hole plate. The second resin arrangement step includes a step of performing stencil printing by bringing the through hole of the second stencil plate into contact with the cured first resin.

上記発明において好ましくは、第1樹脂配置工程は、第1孔版を用いる工程を含み、第2樹脂配置工程は、平面視したときに第1孔版の通孔よりも大きな通孔を有する第2孔版を用いる工程を含む。   Preferably, in the above invention, the first resin arranging step includes a step of using the first stencil, and the second resin arranging step has a second stencil having a through hole larger than the through hole of the first stencil when viewed in plan. The process using is included.

上記発明において好ましくは、第2樹脂配置工程は、第2樹脂として第1樹脂と主成分が同一の樹脂を用いる工程を含む。   Preferably, in the above invention, the second resin arranging step includes a step of using a resin having the same main component as the first resin as the second resin.

上記発明において好ましくは、第1樹脂配置工程は、第1樹脂として無機材料が含まれる樹脂を用いる工程を含む。   Preferably in the said invention, a 1st resin arrangement | positioning process includes the process of using resin in which an inorganic material is contained as 1st resin.

上記発明において好ましくは、無機材料として、第1樹脂および第2樹脂よりも屈折率の高い粒子を用いる。   In the above invention, preferably, particles having a higher refractive index than the first resin and the second resin are used as the inorganic material.

上記発明において好ましくは、第2樹脂配置工程は、第2樹脂として第1樹脂よりも屈折率が小さい樹脂を用いる工程を含む。   Preferably, in the above invention, the second resin arranging step includes a step of using a resin having a refractive index smaller than that of the first resin as the second resin.

上記発明において好ましくは、第2樹脂配置工程は、第2樹脂として第1樹脂よりも硬度が高い樹脂を用いる工程を含む。   Preferably, in the above invention, the second resin arranging step includes a step of using a resin having a higher hardness than the first resin as the second resin.

本発明の発光素子の製造装置は、基板の表面に配置されている発光素子を樹脂で覆う発光装置の製造装置であって、第1孔版を含み、第1孔版による孔版印刷により発光素子を第1樹脂で覆う第1印刷装置と、第1樹脂を硬化させる硬化装置と、第2孔版を含み、第2孔版による孔版印刷により第1樹脂の外側に第2樹脂を配置する第2印刷装置と、第1印刷装置、第2印刷装置および硬化装置を制御する制御装置とを備える。硬化装置は、基板を第1印刷装置から第2印刷装置に搬送する搬送装置を含む。搬送装置によって第1印刷装置から第2印刷装置に基板を搬送しながら第1樹脂を硬化させるように形成されている。   The light-emitting element manufacturing apparatus of the present invention is a light-emitting device manufacturing apparatus that covers a light-emitting element disposed on a surface of a substrate with a resin. The light-emitting element manufacturing apparatus includes a first stencil. A first printing device that is covered with one resin; a curing device that cures the first resin; and a second printing device that includes a second stencil and that disposes the second resin outside the first resin by stencil printing with the second stencil. , A first printing device, a second printing device, and a control device for controlling the curing device. The curing device includes a transport device that transports the substrate from the first printing device to the second printing device. The first resin is cured while the substrate is transported from the first printing device to the second printing device by the transport device.

上記発明において好ましくは、第2印刷装置は、第2孔版の下側に基板を支持するための支持装置を有する。第2孔版は、平面視したときに第1孔版の通孔の大きさ以下の通孔を有する。制御装置は、第1樹脂が第2孔版の通孔に接触する高さになるように第2支持装置の位置を制御するように形成されている。   Preferably, in the above invention, the second printing apparatus has a support device for supporting the substrate under the second stencil plate. The second stencil has a through hole that is not larger than the through hole of the first stencil when viewed in plan. The control device is formed so as to control the position of the second support device so that the first resin has a height at which the first resin comes into contact with the through hole of the second stencil plate.

上記発明において好ましくは、第2印刷装置は、第2孔版の下側に基板を支持するための支持装置を有する。第2孔版は、平面視したときに第1孔版の通孔よりも大きな通孔を有する。制御装置は、第2孔版が基板に接触する高さになるように支持装置の位置を制御するように形成されている。   Preferably, in the above invention, the second printing apparatus has a support device for supporting the substrate under the second stencil plate. The second stencil has a through hole larger than the through hole of the first stencil when viewed in plan. The control device is formed to control the position of the support device so that the second stencil plate is at a height at which the second stencil comes into contact with the substrate.

本発明によれば、集光性の高い発光装置を容易に製造できる発光装置の製造方法および発光装置の製造装置を提供することができる。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the manufacturing method of the light-emitting device which can manufacture a light-emitting device with high condensing property easily, and the manufacturing apparatus of a light-emitting device can be provided.

(実施の形態1)
図1から図11を参照して、実施の形態1における発光装置の製造方法および発光装置の製造装置について説明する。
(Embodiment 1)
With reference to FIGS. 1 to 11, a method for manufacturing a light-emitting device and a device for manufacturing a light-emitting device in Embodiment 1 will be described.

図1は、本実施の形態における発光装置の製造方法の第1工程図である。図1から図8および図10は、発光装置の製造装置の主要部の概略断面図である。本実施の形態における発光装置の製造装置は、基板の表面に配置されている発光素子を樹脂封止するための装置である。   FIG. 1 is a first process diagram of a method for manufacturing a light emitting device according to the present embodiment. 1 to 8 and FIG. 10 are schematic cross-sectional views of a main part of a light emitting device manufacturing apparatus. The light-emitting device manufacturing apparatus in this embodiment is an apparatus for resin-sealing a light-emitting element arranged on the surface of a substrate.

本実施における発光装置は、発光素子6を備える。発光素子6としては、例えば半導体発光素子を採用することができる。半導体発光素子としては、例えば、発光ダイオード(LED:Light Emitting Diode)、半導体レーザ、または赤外発光ダイオード等を採用することができる。発光素子としては、この形態に限られずに、光を発する素子であれば構わない。本実施の形態における発光素子6は、電気回路と電気的な導通を得るワイヤ7を含む。   The light emitting device in this embodiment includes a light emitting element 6. As the light emitting element 6, for example, a semiconductor light emitting element can be adopted. As the semiconductor light emitting element, for example, a light emitting diode (LED), a semiconductor laser, or an infrared light emitting diode can be employed. The light emitting element is not limited to this form, and any element that emits light may be used. The light emitting element 6 in the present embodiment includes a wire 7 for obtaining electrical continuity with an electric circuit.

本実施の形態における発光装置の製造装置は、被処理物としての基板5を支持するための支持装置を備える。支持装置は、基板5を載置するための載置台としてのステージ24を含む。本実施の形態におけるステージ24は、基板5を固定できるように形成されている。本実施の形態における支持装置は、ステージ24を昇降させる昇降装置を備える。昇降装置は、ステージ24を鉛直方向に移動するように形成されている。また、本実施の形態における発光装置の製造装置は、支持装置を制御する制御装置を備える。   The light emitting device manufacturing apparatus according to the present embodiment includes a support device for supporting a substrate 5 as an object to be processed. The support device includes a stage 24 as a mounting table for mounting the substrate 5. The stage 24 in the present embodiment is formed so that the substrate 5 can be fixed. The support device in the present embodiment includes a lifting device that lifts and lowers the stage 24. The lifting device is formed so as to move the stage 24 in the vertical direction. In addition, the light emitting device manufacturing apparatus in the present embodiment includes a control device that controls the support device.

本実施の形態における発光装置の製造装置は、孔版1を備える。本実施の形態における孔版1は、板状に形成されている。孔版1は、通孔1aを有する。通孔1aは、孔版1を貫通する穴である。通孔1aは、平面視したときに基板5に配置されているそれぞれの発光素子6に対応する位置に形成されている。本実施の形態の形態における孔版1は、枠部材23を含む。枠部材23は、通孔1aが形成されている板状部の縁に沿って形成されている。   The light emitting device manufacturing apparatus in the present embodiment includes a stencil 1. The stencil 1 in the present embodiment is formed in a plate shape. The stencil 1 has a through hole 1a. The through hole 1 a is a hole that penetrates the stencil 1. The through holes 1a are formed at positions corresponding to the respective light emitting elements 6 arranged on the substrate 5 when viewed in plan. The stencil 1 in the form of the present embodiment includes a frame member 23. The frame member 23 is formed along the edge of the plate-like part in which the through hole 1a is formed.

本実施の形態における通孔1aは、平面形状が円形になるように形成されている。通孔1aは、孔版1の主面に垂直な面で切断したときの断面形状が四角形になるように形成されている。本実施の形態においては、断面形状が長方形になるように形成されている。通孔1aの壁部は、孔版1の主面に対してほぼ垂直になるように形成されている。ここで孔版の主面とは、孔版の板状部の面積が最大になる面を示す。通孔1aとしては、この形態に限られず、通孔の壁部が孔版の主面に対して傾斜するように形成されていても構わない。たとえば、通孔は、孔版の主面に垂直な面で切断したときの断面形状が台形になるように形成されていても構わない。孔版の主面に垂直な面で切断したときの断面形状がテーパ形状になるように形成され、鉛直方向の下側に向かって通孔の径が小さくなるように形成されていても構わない。   The through hole 1a in the present embodiment is formed so that the planar shape is circular. The through-hole 1a is formed so that the cross-sectional shape when cut along a plane perpendicular to the main surface of the stencil 1 is a square. In the present embodiment, the cross-sectional shape is a rectangle. The wall portion of the through hole 1 a is formed to be substantially perpendicular to the main surface of the stencil 1. Here, the main surface of the stencil indicates a surface where the area of the plate-like portion of the stencil is maximized. The through hole 1a is not limited to this form, and the wall portion of the through hole may be formed to be inclined with respect to the main surface of the stencil plate. For example, the through holes may be formed so that the cross-sectional shape when cut along a plane perpendicular to the main surface of the stencil is trapezoidal. The cross-sectional shape when cut along a plane perpendicular to the main surface of the stencil plate may be formed so as to have a tapered shape, and the diameter of the through-hole may be formed so as to decrease downward in the vertical direction.

本実施の形態における発光装置の製造装置は、孔版1の通孔1aの内部に樹脂10を供給するスキージ31,32を備える。スキージ31,32のそれぞれは、孔版1の主面に垂直な方向に移動可能に形成されている。また、スキージ31,32のそれぞれは、孔版1の主面に沿って移動可能に形成されている。   The light emitting device manufacturing apparatus according to the present embodiment includes squeegees 31 and 32 that supply the resin 10 into the through holes 1 a of the stencil 1. Each of the squeegees 31 and 32 is formed to be movable in a direction perpendicular to the main surface of the stencil 1. Each of the squeegees 31 and 32 is formed to be movable along the main surface of the stencil 1.

本実施の形態における発光装置の製造装置は、内部を真空状態にするための真空容器を備える。ステージ24、孔版1およびスキージ31,32などの主要部品は、真空容器の内部に配置されている。本実施の形態における発光装置の製造装置は、真空の雰囲気中で樹脂の配置を行うことができるように形成されている。   The light emitting device manufacturing apparatus according to the present embodiment includes a vacuum container for making the inside into a vacuum state. Main components such as the stage 24, the stencil 1 and the squeegees 31 and 32 are disposed inside the vacuum vessel. The light emitting device manufacturing apparatus in this embodiment is formed so that resin can be arranged in a vacuum atmosphere.

本実施の形態における発光装置の製造装置は、真空容器の内部の圧力を調整する圧力調整装置を備える。本実施の形態における圧力調整装置は、真空ポンプを備える。真空ポンプは、真空容器に接続されている。圧力調整装置は、真空容器の内部を復圧するための復圧弁を備える。   The light emitting device manufacturing apparatus in the present embodiment includes a pressure adjusting device that adjusts the pressure inside the vacuum vessel. The pressure adjusting device in the present embodiment includes a vacuum pump. The vacuum pump is connected to the vacuum vessel. The pressure adjusting device includes a return pressure valve for returning the pressure inside the vacuum vessel.

次に、本実施の形態における発光装置の製造方法について説明する。発光装置の製造方法は、発光素子が配置されている基板に対して樹脂を供給することにより、それぞれの発光素子を樹脂封止する工程を含む。本実施の形態においては、始めに、基板の表面に配置されている発光素子を覆うように第1樹脂を配置する第1樹脂配置工程を行う。本実施の形態における第1樹脂配置工程は、孔版印刷により第1樹脂の配置を行う。   Next, a method for manufacturing the light emitting device in the present embodiment will be described. The manufacturing method of a light-emitting device includes a step of resin-sealing each light-emitting element by supplying resin to a substrate on which the light-emitting element is arranged. In the present embodiment, first, a first resin arrangement step is performed in which a first resin is arranged so as to cover the light emitting elements arranged on the surface of the substrate. In the first resin placement step in the present embodiment, the first resin is placed by stencil printing.

図1を参照して、第1樹脂配置工程の第1孔版として孔版1を用いる。ステージ24の載置面に基板5を配置する。基板5は、それぞれの発光素子6が、対向する孔版1の通孔1aの真下に位置するように配置される。孔版1の主面のうち通孔1aが形成されている領域の外側の領域に第1樹脂としての樹脂10を供給する。   Referring to FIG. 1, stencil 1 is used as the first stencil in the first resin arrangement step. The substrate 5 is placed on the mounting surface of the stage 24. The substrate 5 is arranged such that each light emitting element 6 is positioned directly below the through hole 1a of the opposing stencil plate 1. The resin 10 as the first resin is supplied to a region outside the region where the through hole 1a is formed in the main surface of the stencil plate 1.

本実施の形態における樹脂10は、粘性を有する液状である。樹脂10としては、シリコーン樹脂、エポキシ樹脂、アクリル樹脂、エポキシ変性シリコーン樹脂、またはシリコーン変性エポキシ樹脂などの各種樹脂を使用することができる。   The resin 10 in the present embodiment is a liquid having viscosity. As the resin 10, various resins such as a silicone resin, an epoxy resin, an acrylic resin, an epoxy-modified silicone resin, or a silicone-modified epoxy resin can be used.

次に、圧力調整装置を駆動して、真空容器の内部を排気することにより、真空雰囲気を形成する。真空雰囲気中で樹脂の配置を行うことにより、樹脂の内部に存在している空気を外部に放出することができ、樹脂の内部に気泡が残存することを抑制することができる。次に、スキージ31を矢印61に示すように下降させる。スキージ31は、樹脂10に接触する。   Next, the pressure regulator is driven to evacuate the inside of the vacuum vessel, thereby forming a vacuum atmosphere. By arranging the resin in a vacuum atmosphere, the air present inside the resin can be released to the outside, and bubbles can be prevented from remaining inside the resin. Next, the squeegee 31 is lowered as indicated by an arrow 61. The squeegee 31 contacts the resin 10.

図2は、本実施の形態における発光装置の製造方法の第2工程図である。図3は、本実施の形態における発光装置の製造方法の第3工程図である。図4は、本実施の形態における発光装置の製造方法の第4工程図である。   FIG. 2 is a second process diagram of the method for manufacturing the light emitting device in the present embodiment. FIG. 3 is a third process diagram of the method for manufacturing the light emitting device in the present embodiment. FIG. 4 is a fourth process diagram of the method for manufacturing the light emitting device according to the present embodiment.

図2を参照して、矢印53に示すようにステージ24を上昇する。制御装置は、支持装置を制御することにより、孔版1が基板5に接触する高さまでステージ24を上昇させる。発光素子6は、孔版1の通孔1aの内部に配置される。   Referring to FIG. 2, stage 24 is raised as indicated by arrow 53. The control device raises the stage 24 to a height at which the stencil 1 contacts the substrate 5 by controlling the support device. The light emitting element 6 is disposed inside the through hole 1 a of the stencil 1.

図3および図4を参照して、孔版1の通孔1aの内部に液状の樹脂10を供給する。スキージ31を矢印62に示すように、孔版1の主面に沿って移動する。スキージ31を孔版1の一方の端部から他方の端部まで移動させる。スキージ31が移動することにより、通孔1aの内部に樹脂10を配置することができる。基板5の表面に配置されている発光素子6は、樹脂10で埋設される。   With reference to FIG. 3 and FIG. 4, a liquid resin 10 is supplied into the through hole 1 a of the stencil 1. The squeegee 31 is moved along the main surface of the stencil 1 as indicated by an arrow 62. The squeegee 31 is moved from one end of the stencil 1 to the other end. By moving the squeegee 31, the resin 10 can be disposed inside the through hole 1a. The light emitting element 6 disposed on the surface of the substrate 5 is embedded with a resin 10.

図5は、本実施の形態における発光装置の製造方法の第5工程図である。スキージ31を上昇させる。一方で、スキージ32を下降させて、スキージ32を樹脂10に接触させる。次に、矢印63に示すように、スキージ32を孔版1の他方の端部から一方の端部まで移動させる。このように、返し側のスキージの移動を行う。スキージ32を移動させることにより、樹脂10の余剰部分を除去する。   FIG. 5 is a fifth process diagram of the method for manufacturing the light-emitting device according to the present embodiment. The squeegee 31 is raised. On the other hand, the squeegee 32 is lowered to bring the squeegee 32 into contact with the resin 10. Next, as shown by the arrow 63, the squeegee 32 is moved from the other end of the stencil 1 to one end. In this way, the return-side squeegee is moved. By moving the squeegee 32, the excess portion of the resin 10 is removed.

図6は、本実施の形態における発光装置の製造方法の第6工程図である。スキージ32の移動が終了したら、制御装置は、矢印54に示すようにステージ24を下降させるように昇降装置を制御する。それぞれの発光素子6は、個別に樹脂10で覆われる。発光素子6を覆う樹脂10の断面形状は、樹脂10の表面張力により山形になる。本実施の形態においては、樹脂10の断面形状が放物線状になる。樹脂10は、樹脂10の流動性により広がって、平面視したときに通孔1aよりも大きくなっている。ステージ24の下降が終了したら、真空容器の大気開放を行う。   FIG. 6 is a sixth process diagram of the method for manufacturing the light-emitting device according to the present embodiment. When the movement of the squeegee 32 is completed, the control device controls the lifting device so as to lower the stage 24 as indicated by an arrow 54. Each light emitting element 6 is individually covered with a resin 10. The cross-sectional shape of the resin 10 covering the light emitting element 6 becomes a mountain shape due to the surface tension of the resin 10. In the present embodiment, the cross-sectional shape of the resin 10 is a parabolic shape. The resin 10 spreads due to the fluidity of the resin 10 and is larger than the through hole 1a when viewed in plan. When the lowering of the stage 24 is completed, the vacuum container is opened to the atmosphere.

次に、真空容器から基板5を取り出して、第1樹脂としての樹脂10を硬化させる硬化工程を行う。硬化工程においては、第1樹脂の形状が変化しなくなるまで第1樹脂を硬化させる。または、基板を傾けても第1樹脂が流動しない硬度まで硬化を行う。本実施の形態においては、遠赤外炉にて樹脂10を乾燥させることにより硬化を行っている。硬化工程においては、この形態に限られず、第1樹脂を完全に硬化しても構わない。また、硬化工程においては、乾燥による方法に限られず、加圧しながら乾燥(加圧オーブン等)、遠赤外炉、または紫外線等の光の照射などの任意の硬化方法を採用することができる。   Next, the board | substrate 5 is taken out from a vacuum vessel, and the hardening process which hardens the resin 10 as 1st resin is performed. In the curing step, the first resin is cured until the shape of the first resin does not change. Alternatively, curing is performed until the first resin does not flow even when the substrate is tilted. In the present embodiment, the curing is performed by drying the resin 10 in a far-infrared furnace. The curing step is not limited to this form, and the first resin may be completely cured. The curing step is not limited to the drying method, and any curing method such as drying (pressurizing oven or the like) while applying pressure, far-infrared furnace, or irradiation with light such as ultraviolet rays can be employed.

図7は、本実施の形態における発光装置の製造方法の第7工程図である。次に、第1樹脂の表面にさらに第2樹脂を配置する第2樹脂配置工程を行う。本実施の形態における第2樹脂配置工程は、孔版印刷により第2樹脂の配置を行う。   FIG. 7 is a seventh process diagram of the method for manufacturing the light emitting device according to the present embodiment. Next, the 2nd resin arrangement | positioning process which arrange | positions 2nd resin further on the surface of 1st resin is performed. In the second resin arrangement step in the present embodiment, the second resin is arranged by stencil printing.

第1樹脂としての樹脂10が硬化した基板5を真空容器の内部に配置する。本実施の形態の第2樹脂配置工程において用いる第2孔版としては、第1孔版と同じ孔版を用いる。通孔1aの真下にそれぞれの樹脂10が配置されるように基板5を配置する。孔版1の主面に第2樹脂としての樹脂11を供給する。本実施の形態において、第2樹脂としての樹脂11は、第1樹脂配置工程において用いた樹脂10と同じ樹脂である。第2樹脂においても、粘性を有する液状の樹脂を用いている。第2樹脂としては、シリコーン樹脂、エポキシ樹脂、アクリル樹脂、エポキシ変性シリコーン樹脂、またはシリコーン変性エポキシ樹脂などの各種樹脂を使用することができる。   The substrate 5 on which the resin 10 as the first resin is cured is placed inside the vacuum container. The same stencil as the first stencil is used as the second stencil used in the second resin arrangement step of the present embodiment. The board | substrate 5 is arrange | positioned so that each resin 10 may be arrange | positioned directly under the through-hole 1a. A resin 11 as a second resin is supplied to the main surface of the stencil plate 1. In the present embodiment, the resin 11 as the second resin is the same resin as the resin 10 used in the first resin arrangement step. Also in the second resin, a viscous liquid resin is used. As the second resin, various resins such as a silicone resin, an epoxy resin, an acrylic resin, an epoxy-modified silicone resin, or a silicone-modified epoxy resin can be used.

次に、真空容器の内部を排気することにより、真空雰囲気を形成する。真空雰囲気中で樹脂の配置を行うことにより、樹脂11の内部に気泡が残存することを抑制できる。スキージ31を矢印61に示すように下降させる。スキージ31は、樹脂11に接触する。   Next, a vacuum atmosphere is formed by evacuating the inside of the vacuum vessel. By arranging the resin in a vacuum atmosphere, it is possible to suppress the bubbles from remaining inside the resin 11. The squeegee 31 is lowered as indicated by an arrow 61. The squeegee 31 contacts the resin 11.

次に、制御装置が支持装置の昇降装置を制御することにより、矢印53に示すように、ステージ24を上昇させる。樹脂10は、平面視したときに孔版1の通孔1aよりも大きくなっているために、樹脂10の表面に通孔1aの縁部が当接する。   Next, the control device raises the stage 24 as indicated by an arrow 53 by controlling the lifting device of the support device. Since the resin 10 is larger than the through-hole 1a of the stencil 1 when viewed in plan, the edge of the through-hole 1a comes into contact with the surface of the resin 10.

制御装置は、通孔1aの縁部が樹脂10に当接するまでステージ24を上昇させる。本実施の形態においては、樹脂10が通孔に当接する位置を設定しておいて、第1樹脂配置工程よりもステージ24が低い位置で停止するように制御を行なっている。孔版1と基板5との間には隙間が形成される。制御装置としては、この形態に限られず、樹脂の表面に通孔が当接したことを検知して、支持装置の昇降装置を停止させるように形成されていても構わない。   The control device raises the stage 24 until the edge of the through-hole 1a contacts the resin 10. In the present embodiment, a position where the resin 10 abuts the through hole is set, and control is performed so that the stage 24 stops at a position lower than that in the first resin arrangement step. A gap is formed between the stencil 1 and the substrate 5. The control device is not limited to this configuration, and may be formed so as to stop the lifting device of the support device by detecting that the through hole is in contact with the surface of the resin.

次に、第1樹脂配置工程と同様に、矢印62に示すように、スキージ31,32を移動することにより、通孔1aの内部に樹脂11を配置する。樹脂10の上側には、樹脂11が配置される。スキージ31,32を孔版1の一方の端部から他方の端部まで移動させる。   Next, as shown in the arrow 62, the resin 11 is arrange | positioned inside the through-hole 1a by moving the squeegees 31 and 32 similarly to the 1st resin arrangement | positioning process. A resin 11 is disposed on the upper side of the resin 10. The squeegees 31 and 32 are moved from one end of the stencil 1 to the other end.

図8は、本実施の形態における発光装置の製造方法の第8工程図である。次に、第1樹脂配置工程と同様に、スキージ31を上昇させてスキージ32を下降させる。この状態で、矢印63に示すように、返し側のスキージ32の移動を行なう。   FIG. 8 is an eighth process diagram of the method for manufacturing the light-emitting device according to the present embodiment. Next, as in the first resin arrangement step, the squeegee 31 is raised and the squeegee 32 is lowered. In this state, as shown by the arrow 63, the return-side squeegee 32 is moved.

図9に、それぞれの発光素子の部分における拡大概略断面図を示す。孔版1の通孔1aの縁部と樹脂10とが当接した状態で、樹脂11の配置が行なわれる。通孔1aの内部のうち、樹脂10の上側に樹脂11が配置される。   FIG. 9 shows an enlarged schematic cross-sectional view of each light emitting element portion. The resin 11 is arranged in a state where the edge of the through hole 1a of the stencil 1 is in contact with the resin 10. The resin 11 is disposed on the upper side of the resin 10 in the through hole 1a.

図10は、本実施の形態における発光装置の製造方法の第9工程図である。次に、制御装置は、支持装置の昇降装置を駆動して、矢印54に示すように、ステージ24を下降させる。孔版1が樹脂10から離れる。   FIG. 10 is a ninth process diagram of the method for manufacturing the light emitting device according to the present embodiment. Next, the control device drives the lifting device of the support device to lower the stage 24 as indicated by an arrow 54. The stencil 1 is separated from the resin 10.

次に、樹脂10および樹脂11を完全に硬化させる硬化工程を行なう。本実施の形態においては、オーブン乾燥機で樹脂10,11を乾燥させることにより硬化を行なっている。この硬化工程においては、樹脂を完全に硬化させる任意の方法を採用することができる。   Next, a curing step for completely curing the resin 10 and the resin 11 is performed. In the present embodiment, curing is performed by drying the resins 10 and 11 using an oven dryer. In this curing step, any method for completely curing the resin can be employed.

図11は、第1樹脂の上側に第2樹脂を配置したときのそれぞれの発光素子の拡大概略断面図である。本実施の形態においては、第2樹脂配置工程において、基板5を孔版1から離すときに、樹脂10と樹脂11とが引き合う。すなわち、樹脂11が樹脂10に引っ張られる作用が生じる。このため、樹脂11が、側方に向かって流動することが抑制される。この結果、樹脂10の表面の形状に比べて樹脂11の表面の形状を半球形状に近づけることができる。樹脂10の断面の形状は放物線状であるが、樹脂11の表面を半円形状に近づけることができる。このため、樹脂10,11が集光レンズとしての役割を果たし、矢印69に示すように、発光素子6が発する光を正面に向かって集光させることができる。   FIG. 11 is an enlarged schematic cross-sectional view of each light emitting element when the second resin is disposed on the upper side of the first resin. In the present embodiment, when the substrate 5 is separated from the stencil plate 1 in the second resin placement step, the resin 10 and the resin 11 attract each other. In other words, the resin 11 is pulled by the resin 10. For this reason, it is suppressed that resin 11 flows toward the side. As a result, the shape of the surface of the resin 11 can be made closer to a hemispherical shape than the shape of the surface of the resin 10. The cross-sectional shape of the resin 10 is a parabolic shape, but the surface of the resin 11 can be made close to a semicircular shape. Therefore, the resins 10 and 11 serve as a condensing lens, and as indicated by an arrow 69, the light emitted from the light emitting element 6 can be condensed toward the front.

本実施の形態においては、樹脂を配置した後に光を集光させるためのレンズ部品を別に配置する必要がなく、集光性の高い発光装置を容易に製造することができる。樹脂の表面形状が半球形状に近い樹脂層を容易に形成することができる。特に、信号機、懐中電灯または自動車のテールランプなどの高い集光性を有することが好ましい発光装置に有用である。   In the present embodiment, it is not necessary to separately arrange lens components for condensing light after disposing the resin, and a light-emitting device with high light condensing property can be easily manufactured. A resin layer having a resin surface shape close to a hemispherical shape can be easily formed. In particular, it is useful for a light-emitting device that preferably has a high light collecting property, such as a traffic light, a flashlight, or an automobile tail lamp.

第2樹脂配置工程において、孔版印刷により樹脂を配置することにより、高い生産性で発光装置を製造することができる。また、本実施の形態においては、第1樹脂配置工程に使う第1孔版と第2樹脂配置工程に使う第2孔版とを同じものを用いている。この方法により、発光装置の製造装置の構成を簡易にすることができる。   In the second resin arranging step, the light emitting device can be manufactured with high productivity by arranging the resin by stencil printing. In the present embodiment, the same first stencil plate used in the first resin arrangement step and second stencil plate used in the second resin arrangement step are used. With this method, the configuration of the light emitting device manufacturing apparatus can be simplified.

本実施の形態においては、第1樹脂配置工程の第1樹脂と、第2樹脂配置工程の第2樹脂とは同じ樹脂を用いている。この方法により、第1樹脂と第2樹脂との双方の濡れ性を同じにすることができ、効果的に半球形状に近づけることができる。または、第1樹脂および第2樹脂として主成分が同一の樹脂を用いることにより、効果的に樹脂を半球形状に近づけることができる。   In the present embodiment, the first resin in the first resin arrangement step and the second resin in the second resin arrangement step use the same resin. By this method, the wettability of both the first resin and the second resin can be made the same, and it can be made close to a hemispherical shape effectively. Alternatively, by using a resin having the same main component as the first resin and the second resin, the resin can be effectively brought close to a hemispherical shape.

本実施の形態においては、第1樹脂と第2樹脂とは同一の樹脂を用いているが、この形態に限られず、互いに異なる樹脂を用いても構わない。   In the present embodiment, the first resin and the second resin are the same resin, but the present invention is not limited to this, and different resins may be used.

第2樹脂配置工程において、第2樹脂として第1樹脂よりも硬度が高い樹脂を用いることができる。たとえば、第1樹脂としてシリコーン樹脂などの軟質の樹脂を採用し、第2樹脂として第1樹脂よりも硬度の高い硬質のエポキシ樹脂などを採用しても構わない。この方法を採用することにより、複数の光学素子のそれぞれに第1樹脂および第2樹脂を配置したのちに不良を発見しても部分的な修理を容易に行うことができる。   In the second resin arranging step, a resin having higher hardness than the first resin can be used as the second resin. For example, a soft resin such as a silicone resin may be employed as the first resin, and a hard epoxy resin having a higher hardness than the first resin may be employed as the second resin. By adopting this method, partial repair can be easily performed even if a defect is found after the first resin and the second resin are arranged in each of the plurality of optical elements.

発光素子や受光素子などの光学素子を軟質の樹脂のみで覆った場合には、指などが接触した場合に内部の光学素子やワイヤなどを損傷する場合がある。または、光学素子を硬質の樹脂のみで覆った場合には、樹脂全体が固いために樹脂を取り除くことが困難になる。この結果、個々の光学素子を修理することが難しくなる。一方で、たとえば、基板の表面にマトリクス状に複数の発光素子を配置して、それぞれの発光素子に対して軟質の第1樹脂を配置した後に薄膜状に硬質の第2樹脂を配置する。第2樹脂の配置後に1個の発光素子の不良を発見した場合においても、容易に硬質の第2樹脂を破壊することができ、さらに、軟質の第1樹脂を容易に取り除いて不良の発光素子を修理することができる。また、第1樹脂の表面に第1樹脂よりも固い第2樹脂を配置することにより、内部応力が緩和されて、樹脂の内部にクラックが生じることを抑制することができる。   When an optical element such as a light emitting element or a light receiving element is covered only with a soft resin, an internal optical element or a wire may be damaged when a finger or the like comes into contact therewith. Alternatively, when the optical element is covered only with a hard resin, it is difficult to remove the resin because the entire resin is hard. As a result, it becomes difficult to repair individual optical elements. On the other hand, for example, a plurality of light emitting elements are arranged in a matrix on the surface of the substrate, a soft first resin is arranged for each light emitting element, and then a hard second resin is arranged in a thin film. Even when a defect of one light-emitting element is found after the second resin is arranged, the hard second resin can be easily broken, and the soft first resin can be easily removed to cause a defective light-emitting element. Can be repaired. Moreover, by disposing the second resin harder than the first resin on the surface of the first resin, it is possible to relieve internal stress and suppress the occurrence of cracks in the resin.

また、第1樹脂として無機材料が含まれる樹脂を用いることができる。たとえば、発光素子として、青色の光を発光するLEDを用いる。第1樹脂として、無機材料としての蛍光体を含む樹脂を用いる。蛍光体としては、YAG(イットリウム・アルミニウム・ガーネット)蛍光体やTAG(テルビウム・アルミニウム・ガーネット)蛍光体、SIALON(サイアロン:シリコン、アルミニウム、酸素および窒素を混成させた窒化物)蛍光体などを用いることができる。第2樹脂としては、無機材料を含まない透光性を有する樹脂を用いる。この方法により、青色の発光ダイオードが発する光の一部を波長変換して、白色の発光装置を提供することができる。また、透光性を有する第2樹脂を配置することにより、光学素子を大きく見せることができる。   In addition, a resin containing an inorganic material can be used as the first resin. For example, an LED that emits blue light is used as the light emitting element. As the first resin, a resin containing a phosphor as an inorganic material is used. As the phosphor, YAG (yttrium, aluminum, garnet) phosphor, TAG (terbium, aluminum, garnet) phosphor, SIALON (sialon: nitride obtained by mixing silicon, aluminum, oxygen and nitrogen) phosphor, or the like is used. be able to. As the second resin, a light-transmitting resin that does not contain an inorganic material is used. By this method, it is possible to provide a white light emitting device by converting the wavelength of part of the light emitted from the blue light emitting diode. Further, by arranging the second resin having translucency, the optical element can be made larger.

また、第1樹脂に含まれる無機材料としては、第1樹脂および第2樹脂よりも屈折率の高い粒子を用いることができる。たとえば、無機材料として、酸化ジルコニウムまたは酸化チタンなどの高屈折率の無機材料を採用することができる。高屈折率の無機材料として、径の大きな粒子を混錬すると白色化してしまい、樹脂全体の透明性が全くなくなってしまう。このため、無機材料としては、微粒子のものを使うことが好ましい。微粒子としては、たとえば径が10μm以下であることが好ましい。さらには、1μm以下の径を有する微粒子が好ましい。この方法により、内側の樹脂層は屈折率が大きく、外側の樹脂層は屈折率を小さくすることができる。最外部の樹脂において、樹脂の屈折率を空気の屈折率に近い状態にすることができて、光の内部反射を減らすことができる。この結果、光取り出し効率を高めることができる。   Moreover, as an inorganic material contained in the first resin, particles having a higher refractive index than those of the first resin and the second resin can be used. For example, a high refractive index inorganic material such as zirconium oxide or titanium oxide can be employed as the inorganic material. As an inorganic material having a high refractive index, kneading particles having a large diameter results in whitening, and the transparency of the entire resin is completely lost. For this reason, it is preferable to use fine particles as the inorganic material. As the fine particles, for example, the diameter is preferably 10 μm or less. Furthermore, fine particles having a diameter of 1 μm or less are preferred. By this method, the refractive index of the inner resin layer can be increased, and the refractive index of the outer resin layer can be decreased. In the outermost resin, the refractive index of the resin can be close to the refractive index of air, and the internal reflection of light can be reduced. As a result, the light extraction efficiency can be increased.

第2樹脂の屈折率を小さくした装置としては、この形態に限られず、第2樹脂として、第1樹脂よりも屈折率が小さな樹脂を用いても構わない。たとえば、第1樹脂として屈折率が1.6の高屈折率を有する樹脂を用いて、第2樹脂として屈折率が1.4の低屈折率を有する樹脂を用いても構わない。   The device in which the refractive index of the second resin is reduced is not limited to this form, and a resin having a refractive index smaller than that of the first resin may be used as the second resin. For example, a resin having a high refractive index of 1.6 may be used as the first resin, and a resin having a low refractive index of 1.4 may be used as the second resin.

本実施の形態においては、真空雰囲気中で、第1樹脂配置工程および第2樹脂配置工程行なっているが、この形態に限られず、常圧で第1樹脂配置工程を行なっても構わない。または、常圧で第2樹脂配置工程を行なっても構わない。   In the present embodiment, the first resin placement step and the second resin placement step are performed in a vacuum atmosphere. However, the present invention is not limited to this mode, and the first resin placement step may be performed at normal pressure. Or you may perform a 2nd resin arrangement | positioning process by a normal pressure.

本実施の形態においては、第1孔版の通孔と第2孔版の通孔とは、同一形状および同一の大きさであるが、この形態に限られず、第2孔版の通孔の大きさは、第1孔版の通孔よりも小さくても構わない。平面形状を比較したときに、第1孔版の通孔の内側に第2孔版の通孔が包含される大きさであっても構わない。また、孔版の通孔の平面形状は円形に限られず、任意の形状を採用することができる。   In the present embodiment, the through holes of the first stencil plate and the through holes of the second stencil plate have the same shape and the same size, but are not limited to this form, and the size of the through hole of the second stencil plate is The first hole plate may be smaller than the through hole. When the planar shapes are compared, the size may be such that the through holes of the second stencil are included inside the through holes of the first stencil. Moreover, the planar shape of the through hole of the stencil plate is not limited to a circle, and any shape can be adopted.

本実施の形態において、第1樹脂配置工程は、孔版を用いた孔版印刷により樹脂の配置を行なっているが、この形態に限られず第1樹脂配置工程は、任意の方法で断面形状が山形の第1樹脂を配置することができる。たとえば、ディスペンサにより第1樹脂を配置しても構わない。   In the present embodiment, the first resin placement step performs resin placement by stencil printing using a stencil. However, the first resin placement step is not limited to this form, and the first resin placement step has an angle-shaped cross section by any method. A first resin can be disposed. For example, you may arrange | position 1st resin with a dispenser.

本実施の形態においては、COB(Chip on Board)により、基板の表面に発光素子が配置されている。光学素子を配置する基板としては、任意の基板を用いることができる。基板としては、たとえば、ガラスエポキシ基板(FR−4)、ガラスコンポジット基板(CEM−3)、セラミック基板、金属コア基板またはBTレジン基板などを採用することができる。または、基板としては、リードフレームに形成されている板状部分であっても構わない。   In the present embodiment, light emitting elements are arranged on the surface of the substrate by COB (Chip on Board). Any substrate can be used as the substrate on which the optical element is disposed. As the substrate, for example, a glass epoxy substrate (FR-4), a glass composite substrate (CEM-3), a ceramic substrate, a metal core substrate, or a BT resin substrate can be employed. Alternatively, the substrate may be a plate-like portion formed on the lead frame.

本実施の形態においては、1個の発光素子に対して一塊の樹脂を配置しているが、この形態に限られず、複数の発光素子を一塊の樹脂で封止しても構わない。また、本実施の形態においては、第1樹脂の上側に第2樹脂を配置する2重の樹脂構造を有しているが、この形態に限られず、孔版印刷を繰り返して3重以上の樹脂構造を形成しても構わない。   In this embodiment, a lump of resin is arranged for one light emitting element, but the present invention is not limited to this, and a plurality of light emitting elements may be sealed with a lump of resin. Moreover, in this Embodiment, it has the double resin structure which arrange | positions 2nd resin on the upper side of 1st resin, but it is not restricted to this form, Repeating stencil printing, the resin structure of 3 or more layers May be formed.

(実施の形態2)
図12から図14を参照して、実施の形態2における発光装置の製造方法および発光装置の製造装置について説明する。
(Embodiment 2)
With reference to FIG. 12 to FIG. 14, a method for manufacturing a light emitting device and a device for manufacturing the light emitting device in Embodiment 2 will be described.

図12は、本実施の形態における第2樹脂配置工程を行なっているときの発光素子の部分の拡大概略断面図である。本実施の形態における発光装置の製造方法においては、第2樹脂配置工程において、第1樹脂配置工程にて用いる第1孔版の通孔よりも大きな通孔を有する第2孔版を用いる。本実施の形態における第2樹脂配置工程においては、第2孔版としての孔版2を用いる。孔版2は、通孔2aを有する。   FIG. 12 is an enlarged schematic cross-sectional view of a portion of the light emitting element when performing the second resin arrangement step in the present embodiment. In the method for manufacturing the light emitting device according to the present embodiment, the second stencil plate having a through hole larger than the through hole of the first stencil plate used in the first resin placement step is used in the second resin placement step. In the second resin arrangement step in the present embodiment, a stencil 2 as a second stencil is used. The stencil 2 has a through hole 2a.

図13に、本実施の形態における第2孔版の通孔の部分の拡大概略平面図を示す。通孔2aは、平面形状が円形に形成されている。通孔2aは、平面視したときに、第1孔版の通孔1aの大きさよりも大きくなるように形成されている。通孔2aは、平面視したときに、孔版1の通孔1aが通孔2aの内部に包含される大きさを有する。さらに、本実施の形態における通孔2aは、配置されている第1樹脂としての樹脂10よりも大きくなるように形成されている。すなわち、平面視したときに、通孔2aは、内部に樹脂10が包含される大きさを有する。   FIG. 13 shows an enlarged schematic plan view of a through hole portion of the second stencil plate in the present embodiment. The through hole 2a has a circular planar shape. The through hole 2a is formed so as to be larger than the size of the through hole 1a of the first stencil when viewed in plan. The through-hole 2a has such a size that the through-hole 1a of the stencil 1 is included in the through-hole 2a when viewed in plan. Furthermore, the through hole 2a in the present embodiment is formed to be larger than the resin 10 as the first resin arranged. That is, when viewed in a plan view, the through hole 2a has such a size that the resin 10 is contained therein.

本実施の形態において、第2孔版の厚さは、第1孔版の厚さと同じになるように形成されているが、この形態に限られず、第2孔版は、第1孔版よりも厚くなるように形成されていても構わない。   In the present embodiment, the thickness of the second stencil plate is formed to be the same as the thickness of the first stencil plate. However, the thickness is not limited to this, and the second stencil plate is thicker than the first stencil plate. It may be formed.

図12を参照して、本実施の形態における第2樹脂配置工程においては、ステージを上昇させることにより、孔版2と基板5とを接触させる。制御装置は、孔版2の通孔2aの縁部と基板5とが接触する位置でステージの上昇を停止するように支持装置を制御する。孔版2の内部に、樹脂10が配置される。この状態で、第2樹脂配置工程を行なうことにより、通孔2aの内部に第2樹脂としての樹脂11が配置される。この後に、ステージを下降させることにより、基板5から孔版2を引き離す。樹脂10の表面に樹脂11を配置することができる。   Referring to FIG. 12, in the second resin arrangement step in the present embodiment, stencil 2 and substrate 5 are brought into contact by raising the stage. The control device controls the support device so as to stop the rising of the stage at a position where the edge of the through hole 2 a of the stencil 2 contacts the substrate 5. A resin 10 is disposed inside the stencil plate 2. In this state, by performing the second resin arrangement step, the resin 11 as the second resin is arranged inside the through hole 2a. Thereafter, the stencil 2 is pulled away from the substrate 5 by lowering the stage. The resin 11 can be disposed on the surface of the resin 10.

本実施の形態における製造方法および製造装置においても、半球形状に近い樹脂を容易に形成することができる。   Also in the manufacturing method and manufacturing apparatus in the present embodiment, a resin close to a hemispherical shape can be easily formed.

次に、本実施の形態における発光装置の製造方法を用いて効果確認試験を行った結果について説明する。効果確認試験においては、第1樹脂に加えて第2樹脂を配置した発光装置と、第1樹脂のみにて製造を行った発光装置について比較した。   Next, the results of an effect confirmation test using the method for manufacturing a light emitting device in this embodiment will be described. In the effect confirmation test, the light emitting device in which the second resin was arranged in addition to the first resin was compared with the light emitting device manufactured only with the first resin.

効果確認試験においては、1つの基板に対して1つの発光素子を形成して、樹脂の配置を行った。効果確認試験においては、第1樹脂および第2樹脂として、サンユレック株式会社製の「VS9301」(シリコーン樹脂、粘度:40Pa・s)を使用した。第1孔版としては、板状部の厚みが1.0mmで、平面視したときの形状が円形で2.6mmの直径を有する通孔を含む孔版を使用した。第2孔版としては、板状部の厚みが1.5mmで、平面視したときの形状が円形で4.0mmの直径を有する通孔を含む孔版を使用した。   In the effect confirmation test, one light emitting element was formed on one substrate, and resin was arranged. In the effect confirmation test, “VS9301” (silicone resin, viscosity: 40 Pa · s) manufactured by Sanyu Rec Co., Ltd. was used as the first resin and the second resin. As the first stencil plate, a stencil plate having a plate-like portion having a thickness of 1.0 mm, a circular shape in plan view and including a through hole having a diameter of 2.6 mm was used. As the second stencil plate, a stencil plate having a plate-like portion having a thickness of 1.5 mm, a circular shape in plan view and including a through hole having a diameter of 4.0 mm was used.

効果確認試験においては、10枚の基板に対して樹脂の配置を行った。また、第1樹脂の配置を行った後に第1樹脂を硬化させたものと、さらに、第1樹脂の表面に第2樹脂を配置して硬化させたものとを比較した。第1樹脂のみを配置する試験においては、第2孔版を用いて試験を行った。第1樹脂の硬化および第2樹脂の硬化は、加圧オーブンで乾燥させることにより行った。   In the effect confirmation test, the resin was arranged on 10 substrates. Moreover, the thing which hardened | cured 1st resin after having arrange | positioned 1st resin and the thing which arrange | positioned and hardened 2nd resin further on the surface of 1st resin were compared. In the test in which only the first resin was arranged, the test was performed using the second stencil plate. The first resin and the second resin were cured by drying in a pressure oven.

製造された発光装置に関して、樹脂の高さをマイクロメータにて測定した。また、樹脂の広がり(平面視したときの樹脂の直径の最大値)を拡大顕微鏡にて測定した。効果確認試験の結果を表1に示す。表1は、それぞれの基板についての結果である。   Regarding the manufactured light emitting device, the height of the resin was measured with a micrometer. Further, the spread of the resin (the maximum value of the diameter of the resin when viewed in plan) was measured with a magnifying microscope. Table 1 shows the results of the effect confirmation test. Table 1 shows the results for each substrate.

Figure 2009147281

表1から、第1樹脂のみを配置した発光装置と、第1樹脂に加えて第2樹脂を配置した発光装置を比較すると、第2樹脂が配置された発光装置は、樹脂の高さが高く、また、樹脂の広がりが小さくなっていることが分かる。このように、第1樹脂に加えて第2樹脂を配置することにより、樹脂の形状が半球形状に近づいていることが分かる。
Figure 2009147281

From Table 1, when comparing a light emitting device in which only the first resin is arranged and a light emitting device in which the second resin is arranged in addition to the first resin, the light emitting device in which the second resin is arranged has a high resin height. It can also be seen that the spread of the resin is reduced. Thus, it can be seen that by arranging the second resin in addition to the first resin, the shape of the resin approaches a hemispherical shape.

本実施の形態において、第2樹脂配置工程に用いる孔版2の通孔2aの平面形状は円形であるが、この形態に限られず、任意の形状を採用することができる。また、第1孔版の通孔の平面形状と、第2孔版の通孔の平面形状が異なっていても構わない。   In the present embodiment, the planar shape of the through hole 2a of the stencil plate 2 used in the second resin arranging step is circular, but is not limited to this form, and any shape can be adopted. Further, the planar shape of the through hole of the first stencil plate and the planar shape of the through hole of the second stencil plate may be different.

図14に、本実施の形態における他の第2孔版の通孔の部分の拡大概略平面図を示す。他の第2孔版としての孔版3は、通孔3aを有する。通孔3aは、平面形状が8角形に形成されている。通孔3aは、第1孔版の通孔よりも大きくなるように形成されている。通孔3aは、平面視したときに、内部に第1樹脂としての樹脂10を包含することができる大きさを有する。このように、任意の多角形の形状を有する通孔を採用することができる。   FIG. 14 shows an enlarged schematic plan view of a through hole portion of another second stencil plate in the present embodiment. The stencil 3 as another second stencil has a through hole 3a. The through hole 3a is formed in an octagonal plan shape. The through hole 3a is formed to be larger than the through hole of the first stencil plate. The through-hole 3a has a size capable of containing the resin 10 as the first resin when viewed in plan. Thus, a through hole having an arbitrary polygonal shape can be employed.

その他の構成、作用、方法および効果については、実施の形態1と同様であるのでここでは説明を繰り返さない。
(実施の形態3)
図15から図23を参照して、実施の形態3における発光装置の製造装置および発光装置の製造方法について説明する。本実施の形態における発光装置の製造装置は、連続的に基板に対して樹脂の配置を行なう装置である。図15から図23は、本実施の形態における発光装置の製造装置の概略断面図である。
Other configurations, functions, methods, and effects are the same as those in the first embodiment, and thus description thereof will not be repeated here.
(Embodiment 3)
With reference to FIG. 15 to FIG. 23, a light emitting device manufacturing apparatus and a light emitting device manufacturing method according to Embodiment 3 will be described. The light-emitting device manufacturing apparatus in this embodiment is an apparatus that continuously disposes resin on a substrate. 15 to 23 are schematic cross-sectional views of the light emitting device manufacturing apparatus according to the present embodiment.

図15は、本実施の形態における発光装置の製造方法の第1工程説明図である。本実施の形態における発光装置の製造装置は、第1印刷装置としての印刷装置41を備える。印刷装置41は、スキージ31,32を備える。印刷装置41は、第1孔版としての孔版1を備える。印刷装置41は、孔版1の下側に基板を支持するための支持装置を備える。支持装置は、基板を表面に配置するためのステージ24と、ステージ24を昇降させるための昇降装置25とを含む。   FIG. 15 is a first process explanatory diagram of the method for manufacturing the light emitting device according to the present embodiment. The light emitting device manufacturing apparatus according to the present embodiment includes a printing apparatus 41 as a first printing apparatus. The printing apparatus 41 includes squeegees 31 and 32. The printing apparatus 41 includes a stencil 1 as a first stencil. The printing device 41 includes a support device for supporting the substrate below the stencil 1. The support device includes a stage 24 for placing the substrate on the surface, and an elevating device 25 for elevating the stage 24.

印刷装置41は、真空容器48を備える。真空容器48は、図示しない圧力調整装置に接続されている。真空容器48には、基板を搬入または搬出するための開閉可能な開閉扉41a,41bを有する。開閉扉41aは、基板5を搬入する側に配置され、開閉扉41bは、基板5を搬出する側に配置されている。   The printing apparatus 41 includes a vacuum container 48. The vacuum vessel 48 is connected to a pressure adjusting device (not shown). The vacuum vessel 48 has openable and closable doors 41a and 41b for carrying in and out the substrate. The open / close door 41 a is disposed on the side where the substrate 5 is carried in, and the open / close door 41 b is disposed on the side where the substrate 5 is carried out.

本実施の形態における発光装置の製造装置は、基板5を印刷装置41に搬入するための搬入装置46を有する。搬入装置46は、ベルトコンベヤにより基板5を印刷装置41の内部に搬入することができるように形成されている。   The light emitting device manufacturing apparatus in the present embodiment has a carry-in device 46 for carrying the substrate 5 into the printing device 41. The carry-in device 46 is formed so that the substrate 5 can be carried into the printing device 41 by a belt conveyor.

本実施の形態における発光装置の製造装置は、第2印刷装置としての印刷装置42を備える。印刷装置42は、印刷装置41と同様の構成を有する。印刷装置42の真空容器48は、開閉扉42a,42bを有する。開閉扉42aは、基板5を搬入する側に形成され、開閉扉42bは、基板を搬出する側に配置されている。本実施の形態において、印刷装置42は、第2孔版として孔版1を備える。本実施の形態における第2孔版は、第1印刷装置の第1孔版と同じものが配置されている。   The light emitting device manufacturing apparatus according to the present embodiment includes a printing device 42 as a second printing device. The printing device 42 has the same configuration as the printing device 41. The vacuum container 48 of the printing apparatus 42 includes open / close doors 42a and 42b. The open / close door 42a is formed on the side where the substrate 5 is carried in, and the open / close door 42b is arranged on the side where the substrate is carried out. In the present embodiment, the printing device 42 includes the stencil 1 as the second stencil. The second stencil plate in the present embodiment is the same as the first stencil plate of the first printing apparatus.

本実施の形態における発光装置の製造装置は、基板5を搬出するための搬出装置47を備える。搬出装置47は、ベルトコンベアにより印刷装置42から基板5を搬出することができるように形成されている。   The light emitting device manufacturing apparatus in the present embodiment includes an unloading device 47 for unloading the substrate 5. The carry-out device 47 is formed so that the substrate 5 can be carried out from the printing device 42 by a belt conveyor.

本実施の形態における発光装置の製造装置は、印刷装置41にて配置された第1樹脂を硬化させるための硬化装置として遠赤外炉44を有する。遠赤外炉44は、印刷装置41と印刷装置42との間に配置されている。   The light emitting device manufacturing apparatus in the present embodiment includes a far infrared furnace 44 as a curing device for curing the first resin disposed in the printing device 41. The far infrared furnace 44 is disposed between the printing device 41 and the printing device 42.

本実施の形態における発光装置の製造装置は、基板5を印刷装置41から印刷装置42に搬送する搬送装置43を備える。搬送装置43は、ベルトコンベヤにより基板5を搬送するように形成されている。搬送装置43は、印刷装置41の開閉扉41bから印刷装置42の開閉扉42aに向かって基板5を搬送できるように形成されている。   The light emitting device manufacturing apparatus according to the present embodiment includes a transport device 43 that transports the substrate 5 from the printing device 41 to the printing device 42. The transfer device 43 is formed to transfer the substrate 5 by a belt conveyor. The transport device 43 is formed so that the substrate 5 can be transported from the opening / closing door 41 b of the printing device 41 toward the opening / closing door 42 a of the printing device 42.

本実施の形態における搬送装置43は、遠赤外炉44の内部に配置されている。印刷装置41から印刷装置42に基板5を搬送すると同時に、第1樹脂を乾燥することにより第1樹脂を硬化させることができるように形成されている。本実施の形態における発光装置の製造装置は、印刷装置41、印刷装置42、遠赤外炉44および搬送装置43を制御する制御装置を備える。   The transport device 43 in the present embodiment is disposed inside the far infrared furnace 44. At the same time when the substrate 5 is transported from the printing device 41 to the printing device 42, the first resin is dried so that the first resin can be cured. The light-emitting device manufacturing apparatus in the present embodiment includes a control device that controls the printing device 41, the printing device 42, the far-infrared furnace 44, and the transport device 43.

次に、本実施の形態における発光装置の製造装置を用いた発光装置の製造方法について説明する。本実施の形態における印刷方法は、実施の形態1における印刷方法と同様である。第1樹脂配置工程と第2樹脂配置工程とは、同じ孔版を用いている。   Next, a method for manufacturing a light-emitting device using the light-emitting device manufacturing apparatus in the present embodiment will be described. The printing method in the present embodiment is the same as the printing method in the first embodiment. The same stencil is used in the first resin placement step and the second resin placement step.

図15を参照して、印刷装置41の開閉扉41aを開放する。矢印55に示すように、搬入装置46によって、基板5を印刷装置41の内部に搬入する。   Referring to FIG. 15, the opening / closing door 41a of the printing apparatus 41 is opened. As indicated by an arrow 55, the substrate 5 is carried into the printing device 41 by the carry-in device 46.

図16は、本実施の形態における発光装置の製造方法の第2工程説明図である。開閉扉41aを閉じることにより、真空容器48を密閉する。圧力調整装置を駆動することにより、印刷装置41の内部を真空排気する。制御装置が昇降装置25を駆動することにより、ステージ24が上昇する。制御装置は、基板5が孔版1に接触する高さでステージ24を停止するように制御する。スキージ31,32の往復移動を行なうことにより、基板5の表面に第1樹脂を配置する。この後に開放弁により真空容器を常圧に戻す。   FIG. 16 is a second process explanatory diagram of the method for manufacturing the light emitting device according to the present embodiment. The vacuum container 48 is sealed by closing the open / close door 41a. By driving the pressure adjusting device, the inside of the printing device 41 is evacuated. When the control device drives the lifting device 25, the stage 24 is raised. The control device controls the stage 24 to stop at a height at which the substrate 5 contacts the stencil 1. The first resin is disposed on the surface of the substrate 5 by reciprocating the squeegees 31 and 32. After this, the vacuum vessel is returned to normal pressure by an open valve.

図17は、本実施の形態における発光装置の製造方法の第3工程説明図である。次に、印刷装置41の開閉扉41bを開放して、矢印56に示すように、基板5を搬送装置43に移動する。   FIG. 17 is a third process explanatory diagram of the method for manufacturing the light emitting device according to the present embodiment. Next, the open / close door 41 b of the printing apparatus 41 is opened, and the substrate 5 is moved to the transport apparatus 43 as indicated by an arrow 56.

図18は、本実施の形態における発光装置の製造方法の第4工程説明図である。矢印57に示すように、搬送装置43にて基板5を印刷装置41から印刷装置42に向かって搬送する。本実施の形態における搬送装置42は、遠赤外炉44の内部に配置されている。このため、基板5の搬送を行ないながら第1樹脂を硬化させることができる。本実施の形態においては、遠赤外炉44で加熱することにより第1樹脂を硬化させる。印刷装置41の開閉扉41aを開くことにより、次の基板5を印刷装置41の内部に配置する。   FIG. 18 is a fourth process explanatory diagram of the method for manufacturing the light emitting device according to the present embodiment. As indicated by an arrow 57, the transport device 43 transports the substrate 5 from the printing device 41 toward the printing device 42. The transfer device 42 in the present embodiment is disposed inside the far infrared furnace 44. For this reason, the first resin can be cured while the substrate 5 is being transported. In the present embodiment, the first resin is cured by heating in the far infrared furnace 44. By opening the opening / closing door 41 a of the printing apparatus 41, the next substrate 5 is arranged inside the printing apparatus 41.

図19に、本実施の形態における発光装置の製造方法の第5工程説明図を示す。次に、搬送装置43において基板5の搬送を行なうと同時に、印刷装置41において、別の基板5の第1樹脂の配置を行なう。   FIG. 19 is an explanatory diagram of a fifth step of the method for manufacturing the light emitting device in this embodiment. Next, the substrate 5 is transported by the transport device 43 and, at the same time, the first resin of another substrate 5 is disposed in the printing device 41.

図20に、本実施の形態における発光装置の製造方法の第6工程説明図を示す。このように、搬送装置43による基板5の搬送と同時に、印刷装置41において第1樹脂の配置を連続的に行なう。制御装置は、基板5が印刷装置41から印刷装置42に移動するまでに、第1樹脂が設定された固さまで硬化するように搬送装置43の速度を調整する。または、制御装置は、遠赤外炉44の出力を調整する。搬送装置43は、連続的に基板5を搬送するように制御されていても構わない。または、断続的に基板5を搬送するように制御されていても構わない。   FIG. 20 shows a sixth step explanatory diagram of the method for manufacturing the light emitting device in the present embodiment. Thus, simultaneously with the conveyance of the substrate 5 by the conveyance device 43, the first resin is continuously arranged in the printing device 41. The control device adjusts the speed of the transport device 43 so that the first resin is cured to the set hardness before the substrate 5 moves from the printing device 41 to the printing device 42. Alternatively, the control device adjusts the output of the far infrared furnace 44. The transport device 43 may be controlled so as to transport the substrate 5 continuously. Or you may control so that the board | substrate 5 may be conveyed intermittently.

基板5の第1樹脂は、印刷装置42に到着するときに設定された固さまで硬化している。次に、印刷装置42の開閉扉42aを開放する。搬送装置43で搬送された基板5を、印刷装置42の内部に搬入する。   The first resin of the substrate 5 is cured to the hardness set when it arrives at the printing device 42. Next, the opening / closing door 42a of the printing apparatus 42 is opened. The substrate 5 transported by the transport device 43 is carried into the printing device 42.

図21に、本実施の形態における発光装置の製造方法の第7工程説明図を示す。印刷装置42の内部に、基板5が配置されている。印刷装置41においては、新たな別の基板5を搬入する。本実施の形態においては、印刷装置41での基板5の搬入と、印刷装置42での基板5の搬入とがほぼ同時に行なわれている。   FIG. 21 is an explanatory diagram of a seventh step of the method for manufacturing the light emitting device in this embodiment. A substrate 5 is disposed inside the printing device 42. In the printing apparatus 41, another new substrate 5 is carried in. In the present embodiment, the loading of the substrate 5 by the printing device 41 and the loading of the substrate 5 by the printing device 42 are performed almost simultaneously.

図22に、本実施の形態における発光装置の製造方法の第8工程説明図を示す。印刷装置41の開閉扉41a,41bを閉じる。印刷装置42の開閉扉42aを閉じる。それぞれの印刷装置41,42において、真空容器48の内部を真空排気する。   FIG. 22 illustrates an eighth step explanatory diagram of the method for manufacturing the light emitting device according to the present embodiment. The doors 41a and 41b of the printing apparatus 41 are closed. The opening / closing door 42a of the printing apparatus 42 is closed. In each printing apparatus 41 and 42, the inside of the vacuum vessel 48 is evacuated.

印刷装置41,42にて孔版印刷を行う。本実施の形態においては、第1印刷装置41と第2印刷装置42とでは、ほぼ同じ時間で孔版印刷が行なわれる。印刷装置42においては、ステージ24を上昇させることにより、第1樹脂の少なくとも1部が、孔版1の通孔の内部に配置される。制御装置は、印刷装置42において、第1樹脂が第2孔版の通孔と接触する高さになるようにステージ24の位置を制御する。本実施の形態においては、制御装置が、予め設定された高さまでステージ24を上昇させるように、昇降装置25を制御する。本実施の形態においては、通孔の縁部と第1樹脂の表面とが接触した状態で、印刷装置42における孔版印刷を行なう。   Stencil printing is performed by the printing devices 41 and 42. In the present embodiment, the first printing device 41 and the second printing device 42 perform stencil printing in substantially the same time. In the printing apparatus 42, at least a part of the first resin is disposed inside the through hole of the stencil 1 by raising the stage 24. The control device controls the position of the stage 24 in the printing device 42 such that the first resin comes to a height at which the first resin comes into contact with the through holes of the second stencil plate. In the present embodiment, the control device controls the lifting device 25 so as to raise the stage 24 to a preset height. In the present embodiment, stencil printing is performed in the printing device 42 in a state where the edge of the through hole is in contact with the surface of the first resin.

図23に、本実施の形態における発光装置の製造方法の第9工程説明図を示す。印刷装置41における孔版印刷と印刷装置42における孔版印刷とは、ほぼ同じ時期に印刷が終了する。印刷装置41の開閉扉41a,41bを開放する。印刷装置42の開閉扉42a,42bを開放する。この状態で、印刷装置41においては、第1樹脂の配置が完了した基板5を搬出するとともに新たな基板5を搬入する。印刷装置42においては、第2樹脂の配置が完了した基板5を搬出装置47にて搬出するとともに、搬送装置43にて、次の基板5を搬入する。   FIG. 23 is an explanatory diagram of a ninth step of the method for manufacturing the light emitting device in this embodiment. The stencil printing in the printing device 41 and the stencil printing in the printing device 42 are finished at substantially the same time. Opening / closing doors 41a and 41b of the printing apparatus 41 are opened. Opening and closing doors 42a and 42b of the printing apparatus 42 are opened. In this state, in the printing apparatus 41, the substrate 5 on which the arrangement of the first resin is completed is unloaded and a new substrate 5 is loaded. In the printing device 42, the substrate 5 on which the second resin is arranged is unloaded by the unloading device 47, and the next substrate 5 is unloaded by the transfer device 43.

印刷装置42の印刷が完了して搬出された基板5は、たとえば、複数の基板5が収容可能なラックなどに集められて、所定の枚数になったところで、たとえば、オーブン乾燥機などにより最終の硬化を行なう。   The substrates 5 that have been unloaded after the printing of the printing device 42 are collected, for example, in a rack that can accommodate a plurality of substrates 5. Curing is performed.

このように、本実施の形態における発光装置の製造装置は、印刷装置41,42における印刷が、ほぼ同時に行われるように形成されている。すなわち、印刷装置41における印刷と印刷装置42における印刷との同期がとられている。また、印刷装置41における基板5の搬入および搬出と、印刷装置42における基板5の搬入および搬出とがほぼ同時に行われ、同期がとられている。これらの同期は、制御装置によって行われている。さらに、制御装置は、第1樹脂の硬化を調整するように、遠赤外炉44および搬送装置43を制御している。本実施の形態における発光装置の製造装置は、連続的に第1樹脂の配置および第2樹脂が配置を行なうことができる。集光性の高い発光装置を連続して製造することができる。   As described above, the light emitting device manufacturing apparatus according to the present embodiment is formed so that printing in the printing apparatuses 41 and 42 is performed almost simultaneously. That is, the printing in the printing apparatus 41 and the printing in the printing apparatus 42 are synchronized. Further, the loading and unloading of the substrate 5 in the printing apparatus 41 and the loading and unloading of the substrate 5 in the printing apparatus 42 are performed almost simultaneously, and are synchronized. These synchronizations are performed by the control device. Furthermore, the control device controls the far-infrared furnace 44 and the transport device 43 so as to adjust the curing of the first resin. In the light emitting device manufacturing apparatus in the present embodiment, the first resin and the second resin can be continuously arranged. A light-emitting device having a high light collecting property can be manufactured continuously.

本実施の形態の印刷装置42に配置されている第2孔版は、印刷装置41に配置されている第1孔版と同じであるが、この形態に限られず、印刷装置42に配置されている第2孔版が、印刷装置41に配置されている第1孔版と異なっていても構わない。   The second stencil disposed in the printing device 42 of the present embodiment is the same as the first stencil disposed in the printing device 41, but is not limited to this form, and the second stencil disposed in the printing device 42. The two stencil plates may be different from the first stencil plate arranged in the printing apparatus 41.

たとえば、実施の形態2に示したように、印刷装置42に配置されている第2孔版の通孔の大きさが、第1孔版の通孔の大きさよりも大きくなるように形成されていても構わない。または、第2孔版の通孔の大きさが、第1樹脂を内部に収容できる大きさに形成されていても構わない。この場合に、制御装置は、第2印刷装置において、基板と孔版とが接触する高さまでステージを上昇させるように支持装置を制御する。   For example, as shown in the second embodiment, the size of the through hole of the second stencil plate disposed in the printing device 42 may be larger than the size of the through hole of the first stencil plate. I do not care. Alternatively, the size of the through hole of the second stencil plate may be formed so as to accommodate the first resin. In this case, the control device controls the support device so as to raise the stage to a height at which the substrate and the stencil come into contact with each other in the second printing device.

本実施の形態における光学装置の製造装置は、ベルトコンベアにより基板の搬送を行っているが、この形態に限られず、任意の装置で基板の搬送を行うことができる。   The apparatus for manufacturing an optical device in the present embodiment transports a substrate by a belt conveyor, but is not limited to this form, and can transport a substrate by an arbitrary device.

その他の構成、作用、方法および効果については、実施の形態1または2と同様であるのでここでは説明を繰り返さない。   Other configurations, operations, methods, and effects are the same as those in the first or second embodiment, and thus description thereof will not be repeated here.

上記に記載の実施の形態は、本発明を限定するものではなく例示である。また、それぞれの図において、同一の部分または相当する部分には同一の符号を付している。   The embodiments described above are illustrative rather than limiting the present invention. Moreover, in each figure, the same code | symbol is attached | subjected to the same part or an equivalent part.

実施の形態1における発光装置の製造方法の第1工程図である。FIG. 6 is a first process diagram of the method for manufacturing the light emitting device in the first embodiment. 実施の形態1における発光装置の製造方法の第2工程図である。FIG. 6 is a second process diagram of the method for manufacturing the light emitting device in the first embodiment. 実施の形態1における発光装置の製造方法の第3工程図である。FIG. 4 is a third process diagram of the method for manufacturing the light emitting device in the first embodiment. 実施の形態1における発光装置の製造方法の第4工程図である。FIG. 6 is a fourth process diagram of the method for manufacturing the light emitting device in the first embodiment. 実施の形態1における発光装置の製造方法の第5工程図である。FIG. 6 is a fifth process diagram of the method for manufacturing the light emitting device in the first embodiment. 実施の形態1における発光装置の製造方法の第6工程図である。FIG. 10 is a sixth process diagram of the method for manufacturing the light emitting device in the first embodiment. 実施の形態1における発光装置の製造方法の第7工程図である。FIG. 10 is a seventh process diagram of the method for manufacturing the light emitting device in the first embodiment. 実施の形態1における発光装置の製造方法の第8工程図である。FIG. 10 is an eighth process diagram of the method for manufacturing the light emitting device in the first embodiment. 実施の形態1における発光装置の製造方法の第8工程における発光素子の部分の拡大概略断面図である。FIG. 12 is an enlarged schematic cross-sectional view of a light emitting element portion in an eighth step of the method for manufacturing the light emitting device in the first embodiment. 実施の形態における発光装置の製造方法の第9工程図である。It is a 9th process drawing of the manufacturing method of the light emitting device in an embodiment. 実施の形態1において製造される発光装置の概略断面図である。1 is a schematic cross-sectional view of a light emitting device manufactured in Embodiment 1. FIG. 実施の形態2における第2樹脂配置工程の発光素子の部分の概略断面図である。6 is a schematic cross-sectional view of a portion of a light emitting element in a second resin arrangement step in Embodiment 2. FIG. 実施の形態2における第2孔版の拡大概略平面図である。6 is an enlarged schematic plan view of a second stencil according to Embodiment 2. FIG. 実施の形態2における他の第2孔版の拡大概略平面図である。FIG. 10 is an enlarged schematic plan view of another second stencil according to the second embodiment. 実施の形態3における発光装置の製造方法の第1工程図である。FIG. 10 is a first process diagram of a method for manufacturing a light-emitting device in Embodiment 3. 実施の形態3における発光装置の製造方法の第2工程図である。FIG. 10 is a second process diagram of the method for manufacturing the light emitting device in the third embodiment. 実施の形態3における発光装置の製造方法の第3工程図である。FIG. 10 is a third process diagram of the method for manufacturing the light emitting device in the third embodiment. 実施の形態3における発光装置の製造方法の第4工程図である。FIG. 12 is a fourth process diagram of the method for manufacturing the light emitting device in the third embodiment. 実施の形態3における発光装置の製造方法の第5工程図である。FIG. 10 is a fifth process diagram of the method for manufacturing the light emitting device in the third embodiment. 実施の形態3における発光装置の製造方法の第6工程図である。FIG. 10 is a sixth process diagram of the method for manufacturing the light emitting device in the third embodiment. 実施の形態3における発光装置の製造方法の第7工程図である。FIG. 10 is a seventh process diagram of the method for manufacturing the light emitting device in the third embodiment. 実施の形態3における発光装置の製造方法の第8工程図である。FIG. 10 is an eighth process diagram of the method for manufacturing the light emitting device in the third embodiment. 実施の形態3における発光装置の製造方法の第9工程図である。FIG. 12 is a ninth process diagram of the method for manufacturing the light emitting device in the third embodiment.

符号の説明Explanation of symbols

1,2,3 孔版
1a,2a,3a 通孔
5 基板
6 発光素子
7 ワイヤ
10,11 樹脂
23 枠部材
24 ステージ
25 昇降装置
31,32 スキージ
41,42 印刷装置
41a,41b,42a,42b 開閉扉
43 搬送装置
44 遠赤外炉
46 搬入装置
47 搬出装置
48 真空容器
53,54 矢印
61〜63,69 矢印
1, 2, 3 Stencil 1a, 2a, 3a Through-hole 5 Substrate 6 Light-emitting element 7 Wire 10, 11 Resin 23 Frame member 24 Stage 25 Lifting device 31, 32 Squeegee 41, 42 Printing device 41a, 41b, 42a, 42b Open / close door 43 Conveying device 44 Far-infrared furnace 46 Loading device 47 Unloading device 48 Vacuum vessel 53, 54 Arrow 61-63, 69 Arrow

Claims (11)

基板の表面に配置されている発光素子を覆い断面形状が山形になるように第1樹脂を配置する第1樹脂配置工程と、
前記第1樹脂を硬化させる硬化工程と、
孔版印刷によって前記第1樹脂の表面に第2樹脂を配置する第2樹脂配置工程と
を含む、発光装置の製造方法。
A first resin disposing step of covering the light emitting elements disposed on the surface of the substrate and disposing the first resin so that the cross-sectional shape is a mountain shape;
A curing step of curing the first resin;
And a second resin arrangement step of arranging a second resin on the surface of the first resin by stencil printing.
前記第1樹脂配置工程は、第1孔版を用いる工程を含み、
前記第2樹脂配置工程は、平面視したときに前記第1孔版の通孔の大きさ以下の通孔を有する第2孔版を用いる工程を含み、
前記第2樹脂配置工程は、硬化させた前記第1樹脂に前記第2孔版の通孔を接触させて孔版印刷を行う工程を含む、請求項1に記載の発光装置の製造方法。
The first resin arranging step includes a step of using a first stencil,
The second resin disposing step includes a step of using a second stencil having a through hole having a size equal to or smaller than the size of the through hole of the first stencil when viewed in plan,
2. The method for manufacturing a light emitting device according to claim 1, wherein the second resin arranging step includes a step of performing stencil printing by bringing the through hole of the second stencil plate into contact with the cured first resin.
前記第1樹脂配置工程は、第1孔版を用いる工程を含み、
前記第2樹脂配置工程は、平面視したときに前記第1孔版の通孔よりも大きな通孔を有する第2孔版を用いる工程を含む、請求項1に記載の発光装置の製造方法。
The first resin arranging step includes a step of using a first stencil,
2. The method for manufacturing a light emitting device according to claim 1, wherein the second resin arranging step includes a step of using a second stencil having a through hole larger than the through hole of the first stencil when viewed in plan.
前記第2樹脂配置工程は、前記第2樹脂として前記第1樹脂と主成分が同一の樹脂を用いる工程を含む、請求項1から3のいずれかに記載の発光装置の製造方法。   The light emitting device manufacturing method according to claim 1, wherein the second resin arranging step includes a step of using a resin having the same main component as the first resin as the second resin. 前記第1樹脂配置工程は、前記第1樹脂として無機材料が含まれる樹脂を用いる工程を含む、請求項1から4のいずれかに記載の発光装置の製造方法。   The light emitting device manufacturing method according to claim 1, wherein the first resin arranging step includes a step of using a resin containing an inorganic material as the first resin. 前記無機材料として、前記第1樹脂および前記第2樹脂よりも屈折率の高い粒子を用いる、請求項5に記載の発光装置の製造方法。   The method for manufacturing a light-emitting device according to claim 5, wherein particles having a higher refractive index than the first resin and the second resin are used as the inorganic material. 前記第2樹脂配置工程は、前記第2樹脂として前記第1樹脂よりも屈折率が小さい樹脂を用いる工程を含む、請求項1から6のいずれかに記載の発光装置の製造方法。   The method for manufacturing a light emitting device according to claim 1, wherein the second resin arranging step includes a step of using a resin having a refractive index smaller than that of the first resin as the second resin. 前記第2樹脂配置工程は、前記第2樹脂として前記第1樹脂よりも硬度が高い樹脂を用いる工程を含む、請求項1から7のいずれかに記載の発光装置の製造方法。   The method for manufacturing a light emitting device according to claim 1, wherein the second resin arranging step includes a step of using a resin having a hardness higher than that of the first resin as the second resin. 基板の表面に配置されている発光素子を樹脂で覆う発光装置の製造装置であって、
第1孔版を含み、前記第1孔版による孔版印刷により前記発光素子を第1樹脂で覆う第1印刷装置と、
前記第1樹脂を硬化させる硬化装置と、
第2孔版を含み、前記第2孔版による孔版印刷により前記第1樹脂の外側に第2樹脂を配置する第2印刷装置と、
前記第1印刷装置、前記第2印刷装置および前記硬化装置を制御する制御装置と
を備え、
前記硬化装置は、前記基板を前記第1印刷装置から前記第2印刷装置に搬送する搬送装置を含み、
前記搬送装置によって前記第1印刷装置から前記第2印刷装置に前記基板を搬送しながら前記第1樹脂を硬化させるように形成されている、発光装置の製造装置。
A light-emitting device manufacturing apparatus that covers a light-emitting element disposed on a surface of a substrate with a resin,
A first printing apparatus including a first stencil, and covering the light emitting element with a first resin by stencil printing with the first stencil;
A curing device for curing the first resin;
A second printing apparatus that includes a second stencil, and disposes a second resin outside the first resin by stencil printing with the second stencil;
A control device for controlling the first printing device, the second printing device and the curing device;
The curing device includes a transport device that transports the substrate from the first printing device to the second printing device,
An apparatus for manufacturing a light emitting device, wherein the first resin is cured while the substrate is transported from the first printing device to the second printing device by the transport device.
前記第2印刷装置は、前記第2孔版の下側に前記基板を支持するための支持装置を有し、
前記第2孔版は、平面視したときに前記第1孔版の通孔の大きさ以下の通孔を有し、
前記制御装置は、前記第1樹脂が前記第2孔版の通孔に接触する高さになるように前記第2支持装置の位置を制御するように形成されている、請求項9に記載の発光装置の製造装置。
The second printing apparatus has a support device for supporting the substrate on the lower side of the second stencil plate,
The second stencil has a through hole having a size equal to or smaller than the through hole of the first stencil when viewed in plan,
The light emitting device according to claim 9, wherein the control device is configured to control a position of the second support device so that the first resin comes to a height at which the first resin comes into contact with a through hole of the second stencil plate. Equipment manufacturing equipment.
前記第2印刷装置は、前記第2孔版の下側に前記基板を支持するための支持装置を有し、
前記第2孔版は、平面視したときに前記第1孔版の通孔よりも大きな通孔を有し、
前記制御装置は、前記第2孔版が前記基板に接触する高さになるように前記支持装置の位置を制御するように形成されている、請求項9に記載の発光装置の製造装置。
The second printing apparatus has a support device for supporting the substrate on the lower side of the second stencil plate,
The second stencil has a through hole larger than the through hole of the first stencil when viewed in plan,
The light emitting device manufacturing apparatus according to claim 9, wherein the control device is configured to control a position of the support device such that the second stencil plate is at a height at which the second stencil comes into contact with the substrate.
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2011016650A2 (en) * 2009-08-03 2011-02-10 주식회사 동진쎄미켐 Method and apparatus for packaging a light-transmitting unit for an optical element
JP2012119412A (en) * 2010-11-30 2012-06-21 Sanyu Rec Co Ltd Manufacturing method and manufacturing apparatus of optical device
WO2012147611A1 (en) * 2011-04-26 2012-11-01 サンユレック株式会社 Method and apparatus for manufacturing optical device
JP2012256908A (en) * 2010-03-11 2012-12-27 Panasonic Corp Light-emitting module, light source device, liquid crystal display device, and manufacturing method for light-emitting module
US9698318B2 (en) 2014-03-28 2017-07-04 Nichia Corporation Light emitting device

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH068395A (en) * 1992-06-25 1994-01-18 Toshin Kogyo Kk Continuous multiple color printing method and apparatus thereof
JPH10264356A (en) * 1997-03-26 1998-10-06 Nippon Bunka Seiko Kk Conveyor type multicolor printer for disk
JPH1167799A (en) * 1997-08-22 1999-03-09 Nippon Retsuku Kk Manufacture of electronic component
JP2000202986A (en) * 1999-01-08 2000-07-25 Nippon Rekku Kk Vacuum printing device and vacuum printing method
JP2001057446A (en) * 1999-06-09 2001-02-27 Sanyo Electric Co Ltd Hybrid integrated circuit device
JP2002170998A (en) * 2000-12-01 2002-06-14 Sharp Corp Semiconductor light emitting device and its manufacturing method
WO2005104247A1 (en) * 2004-04-19 2005-11-03 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Method for fabricating led illumination light source and led illumination light source

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH068395A (en) * 1992-06-25 1994-01-18 Toshin Kogyo Kk Continuous multiple color printing method and apparatus thereof
JPH10264356A (en) * 1997-03-26 1998-10-06 Nippon Bunka Seiko Kk Conveyor type multicolor printer for disk
JPH1167799A (en) * 1997-08-22 1999-03-09 Nippon Retsuku Kk Manufacture of electronic component
JP2000202986A (en) * 1999-01-08 2000-07-25 Nippon Rekku Kk Vacuum printing device and vacuum printing method
JP2001057446A (en) * 1999-06-09 2001-02-27 Sanyo Electric Co Ltd Hybrid integrated circuit device
JP2002170998A (en) * 2000-12-01 2002-06-14 Sharp Corp Semiconductor light emitting device and its manufacturing method
WO2005104247A1 (en) * 2004-04-19 2005-11-03 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Method for fabricating led illumination light source and led illumination light source

Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2011016650A2 (en) * 2009-08-03 2011-02-10 주식회사 동진쎄미켐 Method and apparatus for packaging a light-transmitting unit for an optical element
WO2011016650A3 (en) * 2009-08-03 2011-04-28 주식회사 동진쎄미켐 Method and apparatus for packaging a light-transmitting unit for an optical element
JP2012256908A (en) * 2010-03-11 2012-12-27 Panasonic Corp Light-emitting module, light source device, liquid crystal display device, and manufacturing method for light-emitting module
US9261246B2 (en) 2010-03-11 2016-02-16 Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. Light-emitting module, light source device, liquid crystal display device, and method of manufacturing light-emitting module
JP2012119412A (en) * 2010-11-30 2012-06-21 Sanyu Rec Co Ltd Manufacturing method and manufacturing apparatus of optical device
WO2012147611A1 (en) * 2011-04-26 2012-11-01 サンユレック株式会社 Method and apparatus for manufacturing optical device
CN103493229A (en) * 2011-04-26 2014-01-01 三友瑞克株式会社 Method and apparatus for manufacturing optical device
JPWO2012147611A1 (en) * 2011-04-26 2014-07-28 サンユレック株式会社 Opto device manufacturing method and manufacturing apparatus
US9373730B2 (en) 2011-04-26 2016-06-21 Sanyu Rec Co., Ltd. Method and apparatus for manufacturing optical device
US10050158B2 (en) 2011-04-26 2018-08-14 Sanyu Rec Co., Ltd. Method and apparatus for manufacturing optical device
US9698318B2 (en) 2014-03-28 2017-07-04 Nichia Corporation Light emitting device

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