JP2009139200A - 回転中心線の位置変動測定方法および装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】3つの反射平面を有する測定用治具3を被検体5と一体的に回転し得るように設置し、被検体5が回転する過程の複数の時点において、測定用治具3の形状情報が担持された干渉縞画像を干渉計1によりそれぞれ撮像する。撮像された各々の干渉縞画像に基づき、3つの反射平面から選択された各2つの反射平面同士の各交線を2次元座標平面に正射影したときの各直線同士の交点の軌跡を求め、求められた軌跡に基づき、被検体5の回転中心線Aの位置変動量を算定する。
【選択図】図1
Description
前記干渉計の測定光軸と前記回転中心線とが互いに平行となるように設定し、
各々の面法線の傾きが互いに異なるように設定された3つ以上の反射平面からなる反射平面群を有する測定用治具を、前記被検体と一体的に回転し得るように、かつ該被検体の複数の回転位置において前記反射平面群を含む該測定用治具の形状情報が担持された干渉縞画像を前記干渉計により撮像し得るように前記被検体に設置し、
前記被検体が回転する過程の複数の時点において、前記反射平面群を含む前記測定用治具の形状情報が担持された干渉縞画像を、前記干渉計によりそれぞれ撮像し、
撮像された各々の前記干渉縞画像に基づき、前記時点毎に、前記反射平面群の中の所定の各2つの反射平面からなる互いに異なる複数の組合せを選択し、選択された該複数の組合せにおける該各2つの反射平面それぞれに対応した各平面方程式を求め、
求められた前記各平面方程式に基づき、前記時点毎に、前記複数の組合せにおける前記各2つの反射平面同士の各交線を前記測定光軸に垂直な2次元座標平面に正射影したときの各直線に対応した直線方程式をそれぞれ求め、
求められた各々の前記直線方程式に基づき、前記時点毎に、前記2次元座標平面における前記各直線同士の交点の座標値を、着目点の座標値として求め、
求められた前記時点毎の前記着目点の座標値に基づき、該着目点の前記2次元座標平面上での軌跡を求め、求められた該軌跡に基づき、前記回転中心線の位置変動量を算定する、ことを特徴とするものである。
測定光軸が前記回転中心線と互いに平行となるように設置される干渉計と、
該干渉計により撮像される干渉縞画像を解析する解析装置と、
各々の面法線の傾きが互いに異なるように設定された3つ以上の反射平面からなる反射平面群を有する測定用治具であって、前記被検体と一体的に回転し得るように、かつ該被検体の複数の回転位置において前記反射平面群を含む当該測定用治具の形状情報が担持された干渉縞画像を前記干渉計により撮像し得るように前記被検体に設置される測定用治具と、を備え、前記解析装置は、
前記被検体が回転する過程の複数の時点において前記干渉計により撮像された、前記反射平面群を含む前記測定用治具の形状情報が担持された各々の前記干渉縞画像に基づき、前記時点毎に、前記反射平面群の中から所定の各2つの反射平面からなる互いに異なる複数の組合せを選択し、選択された該複数の組合せにおける該各2つの反射平面それぞれに対応した各平面方程式を求める平面方程式算出手段と、
求められた前記各平面方程式に基づき、前記時点毎に、前記複数の組合せにおける前記各2つの反射平面同士の各交線を前記測定光軸に垂直な2次元座標平面に正射影したときの各直線に対応した直線方程式をそれぞれ求める直線方程式算出手段と、
求められた各々の前記直線方程式に基づき、前記時点毎に、前記2次元座標平面における前記各直線同士の交点の座標値を、着目点の座標値として求める座標値算出手段と、
求められた前記時点毎の前記着目点の座標値に基づき、該着目点の前記2次元座標平面上での軌跡を求め、求められた該軌跡に基づき、前記回転中心線の位置変動量を算定する位置変動量算定手段と、を備えてなることを特徴とするものである。
2 解析表示部
3 測定用治具
4 干渉縞画像
5 被検体
5a 先端面
11 光源部
12 ビーム径拡大用レンズ
13 ビームスプリッタ
13a 光束分割面
14 コリメータレンズ
15 参照基準板
15a 参照基準面
16 結像レンズ
17 撮像カメラ
17a 撮像素子
21 解析装置
22 入力装置
23 表示装置
24 平面方程式算出手段
25 直線方程式算出手段
26 座標値算出手段
27 位置変動量算定手段
31〜33 反射平面
A 回転中心線
C 測定光軸
N1〜N3 面法線
F31〜F33 干渉縞
L 軌跡
P 最小自乗円
Q 中心点
δ1,δ2 位置変動量
Claims (2)
- 被検体の回転に伴う該被検体の回転中心線の位置変動を、干渉計を用いて測定する回転中心線の位置変動測定方法であって、
前記干渉計の測定光軸と前記回転中心線とが互いに平行となるように設定し、
各々の面法線の傾きが互いに異なるように設定された3つ以上の反射平面からなる反射平面群を有する測定用治具を、前記被検体と一体的に回転し得るように、かつ該被検体の複数の回転位置において前記反射平面群を含む該測定用治具の形状情報が担持された干渉縞画像を前記干渉計により撮像し得るように前記被検体に設置し、
前記被検体が回転する過程の複数の時点において、前記反射平面群を含む前記測定用治具の形状情報が担持された干渉縞画像を、前記干渉計によりそれぞれ撮像し、
撮像された各々の前記干渉縞画像に基づき、前記時点毎に、前記反射平面群の中の所定の各2つの反射平面からなる互いに異なる複数の組合せを選択し、選択された該複数の組合せにおける該各2つの反射平面それぞれに対応した各平面方程式を求め、
求められた前記各平面方程式に基づき、前記時点毎に、前記複数の組合せにおける前記各2つの反射平面同士の各交線を前記測定光軸に垂直な2次元座標平面に正射影したときの各直線に対応した直線方程式をそれぞれ求め、
求められた各々の前記直線方程式に基づき、前記時点毎に、前記2次元座標平面における前記各直線同士の交点の座標値を、着目点の座標値として求め、
求められた前記時点毎の前記着目点の座標値に基づき、該着目点の前記2次元座標平面上での軌跡を求め、求められた該軌跡に基づき、前記回転中心線の位置変動量を算定する、ことを特徴とする回転中心線の位置変動測定方法。 - 被検体の回転に伴う該被検体の回転中心線の位置変動を測定する回転中心線の位置変動測定装置であって、
測定光軸が前記回転中心線と互いに平行となるように設置される干渉計と、
該干渉計により撮像される干渉縞画像を解析する解析装置と、
各々の面法線の傾きが互いに異なるように設定された3つ以上の反射平面からなる反射平面群を有する測定用治具であって、前記被検体と一体的に回転し得るように、かつ該被検体の複数の回転位置において前記反射平面群を含む当該測定用治具の形状情報が担持された干渉縞画像を前記干渉計により撮像し得るように前記被検体に設置される測定用治具と、を備え、前記解析装置は、
前記被検体が回転する過程の複数の時点において前記干渉計により撮像された、前記反射平面群を含む前記測定用治具の形状情報が担持された各々の前記干渉縞画像に基づき、前記時点毎に、前記反射平面群の中から所定の各2つの反射平面からなる互いに異なる複数の組合せを選択し、選択された該複数の組合せにおける該各2つの反射平面それぞれに対応した各平面方程式を求める平面方程式算出手段と、
求められた前記各平面方程式に基づき、前記時点毎に、前記複数の組合せにおける前記各2つの反射平面同士の各交線を前記測定光軸に垂直な2次元座標平面に正射影したときの各直線に対応した直線方程式をそれぞれ求める直線方程式算出手段と、
求められた各々の前記直線方程式に基づき、前記時点毎に、前記2次元座標平面における前記各直線同士の交点の座標値を、着目点の座標値として求める座標値算出手段と、
求められた前記時点毎の前記着目点の座標値に基づき、該着目点の前記2次元座標平面上での軌跡を求め、求められた該軌跡に基づき、前記回転中心線の位置変動量を算定する位置変動量算定手段と、を備えてなることを特徴とする回転中心線の位置変動測定装置。
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