JP2009119667A - Manufacturing method for liquid injection head - Google Patents

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Akimichi Satake
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a manufacturing method for a liquid injection head capable of enhancing a working efficiency and a production efficiency. <P>SOLUTION: A circuit board 60 is moved toward a case head 50 and each wiring film 48 is inserted into each slit-like through-hole 62, under the condition where the wiring films 48 are aligned by a regulation plate 102 inserted into the respective through-holes 62 from an opposite face side opposite to the case head 50 of the circuit board 60, when an end part of each wiring film 48 extracted to an outside of a storage part 51 into each through-hole 62 of the circuit board 60, after storing each piezoelectric element unit 40 into the storage part 51 of the case head 50. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は、圧電素子の駆動により液体を噴射する液体噴射ヘッドの製造方法に関し、特に、圧電素子に接続される配線フィルムの配線を回路基板の導電パッドに接続する方法に関する。   The present invention relates to a method of manufacturing a liquid ejecting head that ejects liquid by driving a piezoelectric element, and more particularly, to a method of connecting wiring of a wiring film connected to a piezoelectric element to a conductive pad of a circuit board.

液体噴射ヘッドの代表例としては、例えば、圧電素子(圧電振動子)の変位による圧力を利用してノズル開口からインク滴を吐出するインクジェット式記録ヘッドが知られている。インクジェット式記録ヘッドの構成は、複数提案されているが、その一つとして、例えば、複数の圧電素子を固定基板に固定した圧電素子ユニットをケースヘッド(ヘッドホルダ)に収容し、各圧電素子とケースヘッド上に設けられる回路基板上の接続端子とを、配線フィルム(フレキシブルケーブル)の配線(導電パターン)によって電気的に接続するようにしたものがある(例えば、特許文献1参照)。   As a typical example of a liquid ejecting head, for example, an ink jet recording head that ejects ink droplets from a nozzle opening by using pressure due to displacement of a piezoelectric element (piezoelectric vibrator) is known. A plurality of configurations of ink jet recording heads have been proposed. For example, a piezoelectric element unit in which a plurality of piezoelectric elements are fixed to a fixed substrate is housed in a case head (head holder), and each piezoelectric element and There is one in which a connection terminal on a circuit board provided on a case head is electrically connected by wiring (conductive pattern) of a wiring film (flexible cable) (for example, see Patent Document 1).

ここで、一端が圧電素子に接続された配線フィルムの各配線は、例えば、次のような手順で回路基板の接続端子に接続される。すなわち、配線フィルムの他端部を回路基板に設けられた貫通孔(窓)から引き出し、引き出した配線フィルムの端部を折り曲げることによって各配線を接続端子に電気的に接続している。   Here, each wiring of the wiring film whose one end is connected to the piezoelectric element is connected to the connection terminal of the circuit board in the following procedure, for example. That is, the other end portion of the wiring film is pulled out from a through hole (window) provided in the circuit board, and each end of the drawn wiring film is bent to electrically connect each wiring to the connection terminal.

特開2000−218774号公報JP 2000-218774 A

このように各配線を接続端子に接続する際、圧電素子ユニットがケースヘッドに収容された状態で、配線フィルムの端部を回路基板の貫通孔に挿通している。このとき、配線フィルムの端部には傾きが生じていることが多く、配線フィルムの端部を容易に貫通孔に挿通することができないという問題がある。複数の圧電素子ユニットがケースヘッドに挿通されている場合には、特に面倒であった。   Thus, when connecting each wiring to the connection terminal, the end portion of the wiring film is inserted into the through hole of the circuit board in a state where the piezoelectric element unit is accommodated in the case head. At this time, the end of the wiring film is often inclined, and there is a problem that the end of the wiring film cannot be easily inserted into the through hole. This is particularly troublesome when a plurality of piezoelectric element units are inserted through the case head.

このため、例えば、ケースヘッドに対向して回路基板を配した状態で、両者の間の空間に治具等を手動で挿入して配線フィルムを整列させ、各配線フィルムの端部を貫通孔に挿通させていた。   For this reason, for example, in a state where the circuit board is arranged facing the case head, a jig or the like is manually inserted into the space between the two to align the wiring films, and the end portions of the wiring films are formed in the through holes. It was inserted.

しかしながら、このような治具を用いたとしてもその作業は繁雑であり作業効率及び生産効率が低いという問題がある。   However, even if such a jig is used, the work is complicated, and there is a problem that work efficiency and production efficiency are low.

本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであり、作業効率及び生産効率を向上することができる液体噴射ヘッドの製造方法を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of such circumstances, and an object thereof is to provide a method of manufacturing a liquid jet head capable of improving work efficiency and production efficiency.

上記課題を解決する本発明は、ノズルに連通する圧力発生室が設けられる流路ユニットと、各圧力発生室に対応して設けられ当該圧力発生室内に液滴を噴射するための圧力を付与する複数の圧電素子と一端が各圧電素子に接続される複数本の配線を有する配線フィルムとを具備する複数の圧電素子ユニットと、前記流路ユニットに固定され各圧電素子ユニットが収容される収容部を有するケースヘッドと、該ケースヘッドの前記流路ユニットとは反対側の面に固定されて前記配線の他端がそれぞれ接続される複数の導電パッドを有する回路基板とを具備し、前記配線フィルムが前記回路基板に設けられたスリット状の貫通孔に挿通された状態で、前記配線の他方の端部が前記導電パッドに接続された液体噴射ヘッドの製造方法であって、前記ケースヘッドの収容部に各圧電素子ユニットを収容した後、前記収容部の外側に引き出された各配線フィルムの端部を前記回路基板の前記貫通孔にそれぞれ挿通する際、前記回路基板の前記ケースヘッドとは反対面側から各貫通孔内に挿入した規制板で前記配線フィルムを整列させた状態で、前記回路基板を前記ケースヘッドに向かって移動させて前記配線フィルムをスリット状の前記貫通孔に挿通させるようにしたこと特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法にある。
かかる本発明では、回路基板の貫通孔に挿入した規制板によって配線フィルムを整列させるようにしたので、極めて容易に配線フィルムの端部を回路基板の貫通孔に挿通させることができ、作業効率及び生産効率が大幅に向上する。また、比較的狭いスペースで作業を行うことができるため、比較的容易に作業の自動化を実現することができる。
The present invention that solves the above problems provides a flow path unit provided with a pressure generation chamber communicating with a nozzle, and a pressure provided corresponding to each pressure generation chamber to eject droplets into the pressure generation chamber. A plurality of piezoelectric element units each including a plurality of piezoelectric elements and a wiring film having a plurality of wires connected at one end to each piezoelectric element, and a housing portion fixed to the flow path unit and housing each piezoelectric element unit And a circuit board having a plurality of conductive pads fixed to a surface of the case head opposite to the flow path unit and connected to the other ends of the wirings, and the wiring film. Is a liquid ejecting head manufacturing method in which the other end of the wiring is connected to the conductive pad in a state of being inserted into a slit-like through hole provided in the circuit board, The case heads of the circuit board are inserted into the through holes of the circuit board when the end portions of the wiring films drawn out of the housing parts are inserted into the through holes of the circuit board after the piezoelectric element units are housed in the housing head housing parts In a state where the wiring film is aligned with a restriction plate inserted into each through hole from the opposite surface side, the circuit board is moved toward the case head to make the wiring film into the slit-shaped through hole. The liquid jet head manufacturing method is characterized in that the liquid jet head is inserted.
In the present invention, since the wiring film is aligned by the regulation plate inserted into the through hole of the circuit board, the end of the wiring film can be inserted into the through hole of the circuit board very easily, and the work efficiency and Production efficiency is greatly improved. In addition, since the work can be performed in a relatively small space, the work can be automated relatively easily.

ここで、前記貫通孔内に挿入した前記規制板を、その先端部が前記配線フィルムの端部よりも前記ケースヘッド側に位置するように各配線フィルム側方に配し、当該規制板と前記回路基板とを前記配線フィルムの傾斜方向とは逆方向に移動させ、前記規制板を前記配線フィルムの表面に当接させることで当該配線フィルムを整列させるようにするのが好ましい。これにより、回路基板の貫通孔に挿入した規制板によって配線フィルムの傾斜を比較的容易に規制することができる。つまり、規制板によって配線フィルムを比較的容易に整列させることができる。   Here, the restriction plate inserted into the through hole is arranged on the side of each wiring film such that the tip portion is located on the case head side with respect to the end of the wiring film, and the restriction plate and the It is preferable to align the wiring film by moving the circuit board in a direction opposite to the direction of inclination of the wiring film and bringing the regulating plate into contact with the surface of the wiring film. Thereby, the inclination of a wiring film can be controlled comparatively easily by the control board inserted in the through-hole of the circuit board. That is, the wiring film can be relatively easily aligned by the restriction plate.

また、前記配線フィルムが、前記圧電素子ユニットを前記収容部に収容した状態において、端部の傾斜方向が当該圧電素子ユニットの並設方向に沿った第1の方向である第1の配線フィルムと、端部の傾斜方向が前記第1の方向とは逆方向である第2の方向である第2の配線フィルムとを含む場合には、前記第1の配線フィルムに対応する第1の規制板をその先端部が前記第1の配線フィルムの端部よりも前記ケースヘッド側に位置するように且つ前記第2の配線フィルムに対応する第2の規制板をその先端部が前記第2の配線フィルムの端部よりも前記回路基板側に位置するように各配線フィルム側方に配し、前記第1及び第2の規制板と前記回路基板とを前記第2の方向に移動させ、前記第1の規制板を前記第1の配線フィルムの表面に当接させた状態で前記第2の規制板を前記第2の配線フィルムの傾斜方向外側に配し、前記第2の規制板の先端が前記第2の配線フィルムの端部よりも前記ケースヘッド側に位置するように当該第2の規制板を前記ケースヘッド側に移動させ、前記第1及び第2の規制板と前記回路基板とを前記第1の方向に移動させて前記第2の規制板を前記第2の配線フィルムに当接させ、前記第1及び第2の規制板によって前記第1及び第2の配線フィルムを整列させた状態で、前記回路基板を前記ケースヘッドに向かって移動させるようにするのが好ましい。これにより、配線フィルムの傾斜方向が一定でない場合であっても、各配線フィルムを確実に整列させて、各配線フィルムの端部を回路基板の各貫通孔に極めて容易に挿通させることができる。   Further, in the state where the wiring film houses the piezoelectric element unit in the housing portion, a first wiring film in which the inclination direction of the end portion is a first direction along the parallel arrangement direction of the piezoelectric element units; And a second restricting plate corresponding to the first wiring film when the inclined direction of the end portion includes a second wiring film that is a second direction opposite to the first direction. And a second regulating plate corresponding to the second wiring film so that the front end portion is positioned closer to the case head than the end portion of the first wiring film, and the front end portion thereof is the second wiring. Arranged on the side of each wiring film so as to be located on the side of the circuit board from the end of the film, and move the first and second regulating plates and the circuit board in the second direction, 1 restriction plate on the surface of the first wiring film The second restricting plate is disposed outside the second wiring film in the inclined direction in a contact state, and the tip of the second restricting plate is closer to the case head than the end of the second wiring film. The second restricting plate is moved to the case head side so as to be positioned at the position, and the second restricting plate is moved in the first direction by moving the first and second restricting plates and the circuit board. Is brought into contact with the second wiring film, and the circuit board is moved toward the case head in a state where the first and second wiring films are aligned by the first and second regulating plates. It is preferable to do so. Accordingly, even when the inclination direction of the wiring film is not constant, the wiring films can be reliably aligned and the end portions of the wiring films can be inserted through the through holes of the circuit board very easily.

さらに、前記配線フィルムの端部を前記回路基板の貫通孔に挿通する前に、前記ケースヘッドの表面の前記回路基板が当接される領域の周縁部にモールド剤を予め全周に亘って塗布しておき、前記配線フィルムの端部を前記貫通孔に挿通した後、前記モールド剤を介して前記回路基板を前記ケースヘッドに押圧し、前記モールド剤によって両者を固定すると共に前記回路基板と前記ケースヘッドとの隙間を塞ぐようにするのが好ましい。これにより、回路基板とケースヘッドとの隙間を容易且つ確実に塞ぐことができる。例えば、これら回路基板及びケースヘッドは、比較的小型の部品であるため、回路基板をケースヘッドに当接させた後、これら回路基板とケースヘッドとの隙間を塞ごうとすると、作業が繁雑になり、作業効率が大幅に低下してしまう。   Further, before the end portion of the wiring film is inserted into the through hole of the circuit board, a molding agent is applied in advance to the peripheral edge of the area of the surface of the case head where the circuit board comes into contact. In addition, after the end portion of the wiring film is inserted into the through-hole, the circuit board is pressed against the case head via the molding agent, and both the circuit board and the circuit board are fixed by the molding agent. It is preferable to close the gap with the case head. Thereby, the clearance gap between a circuit board and a case head can be closed easily and reliably. For example, since these circuit boards and case heads are relatively small components, if the gap between the circuit board and the case head is closed after the circuit board is brought into contact with the case head, the work becomes complicated. As a result, work efficiency is greatly reduced.

以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
(実施形態1)
図1は、実施形態1に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドを示す斜視図であり、図2は、インクジェット式記録ヘッドの概略を示す断面図である。
Hereinafter, the present invention will be described in detail based on embodiments.
(Embodiment 1)
FIG. 1 is a perspective view illustrating an ink jet recording head which is an example of a liquid ejecting head according to Embodiment 1, and FIG. 2 is a cross-sectional view illustrating an outline of the ink jet recording head.

図1及び図2に示すように、本実施形態のインクジェット式記録ヘッド10は、流路ユニット20と、流路ユニット20が下面に固定されると共に、インク滴を吐出するための圧力を発生させる複数の圧電素子41を有する圧電素子ユニット40が収容されるケースヘッド50と、ケースヘッド50の上面に固定されて各圧電素子41が接続される回路基板60とを具備する。   As shown in FIGS. 1 and 2, the ink jet recording head 10 of this embodiment generates a pressure for ejecting ink droplets while the flow path unit 20 and the flow path unit 20 are fixed to the lower surface. A case head 50 in which a piezoelectric element unit 40 having a plurality of piezoelectric elements 41 is accommodated, and a circuit board 60 fixed to the upper surface of the case head 50 and connected to each piezoelectric element 41 are provided.

流路ユニット20は、図2に示すように、複数の圧力発生室21を有する流路形成基板22と、各圧力発生室21に連通する複数のノズル23が穿設されたノズルプレート24と、流路形成基板22のノズルプレート24とは反対側の面に設けられる振動板25とで構成されている。   As shown in FIG. 2, the flow path unit 20 includes a flow path forming substrate 22 having a plurality of pressure generation chambers 21, a nozzle plate 24 in which a plurality of nozzles 23 communicating with each pressure generation chamber 21 are formed, It is comprised with the diaphragm 25 provided in the surface on the opposite side to the nozzle plate 24 of the flow-path formation board | substrate 22. FIG.

流路形成基板22には、その一方面側の表層部分に、圧力発生室21が隔壁によって区画されてその幅方向で複数並設されている。また、流路形成基板22には、圧力発生室21の列の外側に、各圧力発生室21にインクを供給するためのリザーバ26が、流路形成基板22を厚さ方向に貫通して設けられている。そして、各圧力発生室21とリザーバ26とは、インク供給路27を介して連通している。インク供給路27は、本実施形態では、圧力発生室21よりも狭い幅で形成されており、リザーバ26から圧力発生室21に流入するインクの流路抵抗を一定に保持する役割を果たしている。さらに、圧力発生室21のリザーバ26とは反対の端部側には、流路形成基板22を貫通するノズル連通孔28が形成されている。このような流路形成基板22は、本実施形態では、シリコン単結晶基板からなり、流路形成基板22に設けられる上記圧力発生室21等は、流路形成基板22をエッチングすることによって形成されている。   In the flow path forming substrate 22, a plurality of pressure generation chambers 21 are partitioned by a partition wall and arranged in parallel in the width direction on the surface layer portion on one surface side thereof. In addition, a reservoir 26 for supplying ink to each pressure generating chamber 21 is provided in the flow path forming substrate 22 outside the row of the pressure generating chambers 21 so as to penetrate the channel forming substrate 22 in the thickness direction. It has been. Each pressure generating chamber 21 and the reservoir 26 communicate with each other via an ink supply path 27. In this embodiment, the ink supply path 27 is formed with a width narrower than that of the pressure generation chamber 21, and plays a role of maintaining a constant flow path resistance of ink flowing from the reservoir 26 into the pressure generation chamber 21. Further, a nozzle communication hole 28 penetrating the flow path forming substrate 22 is formed on the end side of the pressure generating chamber 21 opposite to the reservoir 26. In this embodiment, the flow path forming substrate 22 is made of a silicon single crystal substrate, and the pressure generating chamber 21 and the like provided in the flow path forming substrate 22 are formed by etching the flow path forming substrate 22. ing.

流路形成基板22の一方面側にはノズル23が穿設されたノズルプレート24が接着剤や熱溶着フィルムを介して接着され、各ノズル23は、流路形成基板22に設けられたノズル連通孔28を介して各圧力発生室21と連通している。また、流路形成基板22の他方面側、すなわち、圧力発生室21の開口面側には振動板25が接合されて、各圧力発生室21はこの振動板25によって封止されている。   A nozzle plate 24 in which nozzles 23 are formed is bonded to one surface side of the flow path forming substrate 22 via an adhesive or a heat welding film, and each nozzle 23 communicates with a nozzle provided on the flow path forming substrate 22. The pressure generation chambers 21 communicate with each other through the holes 28. A vibration plate 25 is joined to the other surface side of the flow path forming substrate 22, that is, the opening surface side of the pressure generation chamber 21, and each pressure generation chamber 21 is sealed by the vibration plate 25.

振動板25は、例えば、樹脂フィルム等の弾性部材からなる弾性膜29と、弾性膜29を支持する、例えば、金属材料等からなる支持板30との複合板で形成されており、弾性膜29側が流路形成基板22に接合されている。また、振動板25の各圧力発生室21に対向する領域内には、圧電素子41の先端部が当接する島部31が設けられている。すなわち、振動板25の各圧力発生室21の周縁部に対向する領域に他の領域よりも厚さの薄い薄肉部32が形成されて、薄肉部32の内側にそれぞれ島部31が設けられている。また、振動板25のリザーバ26に対向する領域に、薄肉部32と同様に、支持板30がエッチングにより除去されて実質的に弾性膜のみで構成されるコンプライアンス部33が設けられている。   The vibration plate 25 is formed of a composite plate of, for example, an elastic film 29 made of an elastic member such as a resin film and a support plate 30 made of, for example, a metal material that supports the elastic film 29. The side is joined to the flow path forming substrate 22. In addition, an island portion 31 with which the tip end portion of the piezoelectric element 41 abuts is provided in a region of the vibration plate 25 facing each pressure generating chamber 21. That is, a thin portion 32 having a thickness smaller than that of other regions is formed in a region of the diaphragm 25 facing the peripheral portion of each pressure generating chamber 21, and island portions 31 are provided inside the thin portion 32. Yes. In addition, in the region facing the reservoir 26 of the vibration plate 25, similarly to the thin portion 32, a support portion 30 is removed by etching, and a compliance portion 33 configured substantially only by an elastic film is provided.

そして、圧電素子ユニット40を構成する各圧電素子41の先端が、振動板25の島部31に当接した状態で固定されている。   The tip of each piezoelectric element 41 constituting the piezoelectric element unit 40 is fixed in a state where it abuts on the island portion 31 of the diaphragm 25.

ここで、各圧電素子ユニット40を構成する圧電素子41は複数一体的に形成されている。すなわち、圧電材料42と電極形成材料43,44とを縦に交互にサンドイッチ状に挟んで積層した圧電素子形成部材45を形成し、この圧電素子形成部材45を各圧力発生室21に対応して櫛歯上に切り分けることによって複数の各圧電素子41が形成されている。圧電素子41(圧電素子形成部材45)の振動に寄与しない不活性領域(圧電素子41の基端部側)が固定基板46に固着されている。また圧電素子41の基端部近傍には、固定基板46とは反対側の面に、各圧電素子41を駆動するための信号を供給する複数の配線47を有する配線フィルム48が接続されている。そして、これら圧電素子41(圧電素子形成部材45)と固定基板46と配線フィルム48とで圧電素子ユニット40が構成されている。   Here, a plurality of piezoelectric elements 41 constituting each piezoelectric element unit 40 are integrally formed. That is, a piezoelectric element forming member 45 in which the piezoelectric material 42 and the electrode forming materials 43 and 44 are alternately sandwiched and stacked is formed to correspond to each pressure generating chamber 21. A plurality of piezoelectric elements 41 are formed by cutting on the comb teeth. An inactive region (base end side of the piezoelectric element 41) that does not contribute to the vibration of the piezoelectric element 41 (piezoelectric element forming member 45) is fixed to the fixed substrate 46. Further, in the vicinity of the base end portion of the piezoelectric element 41, a wiring film 48 having a plurality of wirings 47 for supplying a signal for driving each piezoelectric element 41 is connected to the surface opposite to the fixed substrate 46. . The piezoelectric element unit 40 is constituted by the piezoelectric element 41 (piezoelectric element forming member 45), the fixed substrate 46, and the wiring film 48.

上述したように流路ユニット20の振動板25上にはケースヘッド50が固定されており、圧電素子ユニット40は、このケースヘッド50の収容部51内に収容されている。例えば、本実施形態では、ケースヘッド50に収容部51が3つ並設されており、各収容部51内に、圧電素子ユニット40がそれぞれ収容されている。そして、圧電素子41の先端部が振動板25に接合されると共に固定基板46がケースヘッド50に固定されている。   As described above, the case head 50 is fixed on the diaphragm 25 of the flow path unit 20, and the piezoelectric element unit 40 is accommodated in the accommodating portion 51 of the case head 50. For example, in the present embodiment, three housing parts 51 are arranged in parallel in the case head 50, and the piezoelectric element unit 40 is housed in each housing part 51. The distal end portion of the piezoelectric element 41 is bonded to the vibration plate 25 and the fixed substrate 46 is fixed to the case head 50.

回路基板60は、配線フィルム48の各配線47がそれぞれ接続される複数の導電パッド61を有し、ケースヘッド50の上面に接合されている。そして、ケースヘッド50の収容部51は、この回路基板60によって実質的に塞がれている。本実施形態では、この回路基板60は、モールド剤70によってケースヘッド50に強固に固着されている(図2参照)。モールド剤70は、回路基板60の外周部全周に亘って設けられており、回路基板60とケースヘッド50との間にこのモールド剤70が挟み込まれた状態となっている。したがって、回路基板60の外周部における回路基板60とケースヘッド50との隙間は、このモールド剤70によって完全に塞がれている。   The circuit board 60 has a plurality of conductive pads 61 to which the respective wirings 47 of the wiring film 48 are connected, and is bonded to the upper surface of the case head 50. The housing 51 of the case head 50 is substantially blocked by the circuit board 60. In the present embodiment, the circuit board 60 is firmly fixed to the case head 50 by the molding agent 70 (see FIG. 2). The molding agent 70 is provided over the entire outer periphery of the circuit board 60, and the molding agent 70 is sandwiched between the circuit board 60 and the case head 50. Therefore, the gap between the circuit board 60 and the case head 50 at the outer periphery of the circuit board 60 is completely closed by the molding agent 70.

また回路基板60には、ケースヘッド50の収容部51に対向する領域にスリット状の貫通孔62が形成されており、配線フィルム48はこの回路基板60の貫通孔62から収容部51の外側に引き出されている。   The circuit board 60 has a slit-like through hole 62 formed in a region facing the housing part 51 of the case head 50, and the wiring film 48 extends from the through hole 62 of the circuit board 60 to the outside of the housing part 51. Has been pulled out.

ここで、圧電素子ユニット40の配線フィルム48は、本実施形態では、圧電素子41を駆動するための駆動IC(図示なし)が搭載されたフレキシブルプリント基板(FPC)、例えば、テープキャリアパッケージ(TCP)やチップオンフィルム(COF)などからなる。そして、配線フィルム48に設けられる各配線47の一端部側は、例えば、半田、異方性導電材等によって圧電素子41を構成する電極形成材料43,44に接続されている。一方、各配線47の他端部側は、回路基板60の各導電パッド61に接続されている。具体的には、回路基板60の貫通孔62から収容部51の外側に引き出された配線フィルム48の先端部が回路基板60の表面に沿って折り曲げられた状態で、各配線47が回路基板60の各導電パッド61に接合されている。   In this embodiment, the wiring film 48 of the piezoelectric element unit 40 is a flexible printed circuit board (FPC) on which a driving IC (not shown) for driving the piezoelectric element 41 is mounted, for example, a tape carrier package (TCP ) And chip on film (COF). And the one end part side of each wiring 47 provided in the wiring film 48 is connected to the electrode formation materials 43 and 44 which comprise the piezoelectric element 41 by solder, an anisotropic conductive material, etc., for example. On the other hand, the other end side of each wiring 47 is connected to each conductive pad 61 of the circuit board 60. Specifically, each wiring 47 is connected to the circuit board 60 in a state in which the leading end portion of the wiring film 48 drawn out of the housing portion 51 from the through hole 62 of the circuit board 60 is bent along the surface of the circuit board 60. The conductive pads 61 are joined.

以下、このようなインクジェット式記録ヘッド10の製造方法について説明する。なお、図3及び図4は、本実施形態に係るインクジェット式記録ヘッドの製造方法を説明する概略図であり、図5は、本実施形態に係る組立装置の概略図である。   Hereinafter, a method for manufacturing such an ink jet recording head 10 will be described. 3 and 4 are schematic diagrams for explaining a method of manufacturing the ink jet recording head according to the present embodiment, and FIG. 5 is a schematic diagram of the assembling apparatus according to the present embodiment.

まず、図3に示すように、圧電素子ユニット40をケースヘッド50の収容部51内に固定する。なお、圧電素子ユニット40には、予め配線フィルム48の一端側が固定されており、圧電素子ユニット40をケースヘッド50の収容部51内に固定すると、配線フィルム48の他端側の先端部は、収容部51の外側に突出した状態となる。   First, as shown in FIG. 3, the piezoelectric element unit 40 is fixed in the accommodating portion 51 of the case head 50. Note that one end side of the wiring film 48 is fixed to the piezoelectric element unit 40 in advance, and when the piezoelectric element unit 40 is fixed in the housing portion 51 of the case head 50, the tip end portion on the other end side of the wiring film 48 is It will be in the state protruded to the outer side of the accommodating part 51. FIG.

その後、このケースヘッド50上に回路基板60を固定するが、その際、回路基板60の貫通孔62に各圧電素子ユニット40を構成する配線フィルム48の先端部を挿通する。しかしながら、図3に示すように、圧電素子ユニット40を収容部51内に収容した状態では、配線フィルム48の他端部側の先端は、内部応力等による反り、或いは自重により傾斜した状態となっている。このため、ケースヘッド50の除面に回路基板を配置しても、そのままで配線フィルムの端部を貫通孔に挿通させることは難しい。なお各圧電素子ユニット40における配線フィルム48の傾き量(角度)は多少のばらつきがあるが配線フィルム48の傾斜方向は一定である。   Thereafter, the circuit board 60 is fixed on the case head 50. At this time, the leading end portion of the wiring film 48 constituting each piezoelectric element unit 40 is inserted into the through hole 62 of the circuit board 60. However, as shown in FIG. 3, when the piezoelectric element unit 40 is housed in the housing portion 51, the tip on the other end side of the wiring film 48 is warped due to internal stress or the like, or inclined due to its own weight. ing. For this reason, even if a circuit board is disposed on the surface of the case head 50, it is difficult to insert the end portion of the wiring film into the through hole as it is. Note that the amount of inclination (angle) of the wiring film 48 in each piezoelectric element unit 40 varies somewhat, but the direction of inclination of the wiring film 48 is constant.

このため、本実施形態では、図5に示すような組立装置を用い、以下に説明する方法で各配線フィルム48を整列させ、回路基板60の貫通孔62に各配線フィルム48の端部を同時に挿通させるようにした。   For this reason, in this embodiment, using the assembling apparatus shown in FIG. 5, the wiring films 48 are aligned by the method described below, and the ends of the wiring films 48 are simultaneously placed in the through holes 62 of the circuit board 60. It was made to insert.

本実施形態の製造方法で使用する組立装置100は、図5に示すように、回路基板60を保持する保持手段101と、回路基板60の各貫通孔62にそれぞれ対応する複数枚の規制板102とを具備する。保持手段101は、例えば、回路基板60を吸着保持するように構成されており、第1のベース部材103に固定されている。また、第1のベース部材103は、所定の間隔を確保した状態で第2のベース部材104に固定されている。なお第2のベース部材103は、図示しない駆動手段によって3次元方向に移動可能に支持されている。   As shown in FIG. 5, the assembling apparatus 100 used in the manufacturing method of the present embodiment includes a holding means 101 that holds the circuit board 60 and a plurality of regulating plates 102 that respectively correspond to the through holes 62 of the circuit board 60. It comprises. The holding unit 101 is configured to suck and hold the circuit board 60, for example, and is fixed to the first base member 103. The first base member 103 is fixed to the second base member 104 in a state where a predetermined interval is secured. The second base member 103 is supported by a driving unit (not shown) so as to be movable in a three-dimensional direction.

各規制板102は、第1のベース部材103と第2のベース部材104との間に直線移動可能に設けられた支持部材105に固定されており、第1のベース部材103に形成された挿通孔106を介してその先端部が第1のベース部材103の外側に突出するように配されている。   Each restricting plate 102 is fixed to a support member 105 provided so as to be linearly movable between the first base member 103 and the second base member 104, and is inserted through the first base member 103. A tip portion of the hole 106 is arranged to protrude outside the first base member 103 through the hole 106.

このように、本実施形態の製造方法で使用する組立装置100は、回路基板60と規制板102とを同一機構で移動させることができると共に、規制板102は回路基板60とは独立した機構で上下方向に移動可能に構成されている。   As described above, the assembly apparatus 100 used in the manufacturing method of the present embodiment can move the circuit board 60 and the restriction plate 102 by the same mechanism, and the restriction plate 102 is a mechanism independent of the circuit board 60. It is configured to be movable in the vertical direction.

そして、まず図4(a)に示すように、保持手段101によって保持された回路基板60をケースヘッド50上に配置すると共に、支持部材105を下降させて回路基板60の各貫通孔62に、ケースヘッド50とは反対側の面から規制板102を挿入する。さらに各規制板102が並設されている各配線フィルム48の側方に位置するように、規制板102及び回路基板60を移動させると共に、各規制板102の先端部が配線フィルム48の端部よりもケースヘッド50側に位置するように下降させる。つまり、各規制板102の先端部が、配線フィルム48の傾斜方向(図中右方向)外側に位置するように、回路基板60と共に各規制板102を移動させる。   Then, first, as shown in FIG. 4A, the circuit board 60 held by the holding means 101 is disposed on the case head 50, and the support member 105 is lowered to enter each through hole 62 of the circuit board 60. The restriction plate 102 is inserted from the surface opposite to the case head 50. Further, the restricting plate 102 and the circuit board 60 are moved so that the restricting plates 102 are located on the sides of the wiring films 48 arranged side by side, and the leading ends of the restricting plates 102 are the end portions of the wiring film 48. It is lowered so as to be positioned closer to the case head 50 side. In other words, each regulating plate 102 is moved together with the circuit board 60 so that the front end portion of each regulating plate 102 is positioned outside the inclination direction (right direction in the drawing) of the wiring film 48.

ここで、回路基板60をケースヘッド50上に配置する前に、ケースヘッド50の上面には、回路基板60を固定するためのモールド剤70を予め塗布しておく。具体的には、ケースヘッド50の上面の、回路基板60が固定される領域の外周部に、その全周に亘ってモールド剤70を連続的に塗布しておく。   Here, before the circuit board 60 is disposed on the case head 50, a molding agent 70 for fixing the circuit board 60 is applied in advance to the upper surface of the case head 50. Specifically, the molding agent 70 is continuously applied to the outer periphery of the area of the upper surface of the case head 50 where the circuit board 60 is fixed over the entire periphery.

次いで、図4(b)に示すように、規制板102と回路基板60とを配線フィルム48の傾斜方向とは逆方向(図中左方向)に移動させ、規制板102を配線フィルム48の一方の表面に当接させて配線フィルム48の端部の傾斜を規制する。すなわち、ケースヘッド50の表面(上面)に対して傾斜した状態にある配線フィルム48の端部を、ケースヘッド50の表面に対して略垂直な方向に沿うように起き上がらせて整列させる。   Next, as shown in FIG. 4B, the regulation plate 102 and the circuit board 60 are moved in the direction opposite to the inclination direction of the wiring film 48 (left direction in the figure), and the regulation plate 102 is moved to one side of the wiring film 48. The inclination of the end of the wiring film 48 is regulated by contacting the surface of the wiring film 48. That is, the end portions of the wiring film 48 that are inclined with respect to the surface (upper surface) of the case head 50 are raised and aligned along a direction substantially perpendicular to the surface of the case head 50.

なお、このように配線フィルム48の傾斜を規制する規制板102は、スリット状の貫通孔62に挿入可能な程度に比較的広い幅を有することが好ましい。また、規制板102の先端部は、比較的薄く形成されていることが好ましく、本実施形態では、厚さが漸小するように形成したが、先端部の形状は特に限定されるものではない。   The regulation plate 102 that regulates the inclination of the wiring film 48 in this way preferably has a relatively wide width so that it can be inserted into the slit-like through hole 62. Moreover, it is preferable that the front-end | tip part of the control board 102 is formed comparatively thin, and although formed in this embodiment so that thickness may become small gradually, the shape of a front-end | tip part is not specifically limited. .

そして、このように規制板102によって各配線フィルム48の整列させた状態(傾斜を規制した状態)で、図4(c)に示すように、回路基板60のみを下降させることで、つまり回路基板60をケースヘッド50に向かって移動させることで、配線フィルム48の先端部が貫通孔62に確実に挿通される。なお実際には、第2のベース部材104を下降させつつ、支持部材105を上昇させる。   Then, in a state where the wiring films 48 are aligned by the restriction plate 102 (in a state where the inclination is restricted), as shown in FIG. 4C, only the circuit board 60 is lowered, that is, the circuit board. By moving 60 toward the case head 50, the leading end of the wiring film 48 is reliably inserted into the through hole 62. In practice, the support member 105 is raised while lowering the second base member 104.

このように規制板102を用いて複数の配線フィルム48を整列させることで、各配線フィルム48の端部を、回路基板60の各貫通孔62に極めて容易に挿通させることができ、作業効率及び生産効率が大幅に向上する。また、組立装置100における回路基板60の搬送と、配線フィルム48の傾き規制の駆動とを共通化できるため、装置構成を簡略化することができる。したがって、作業の自動化を比較的容易且つ安価で実現することができる。   By aligning the plurality of wiring films 48 using the restriction plate 102 in this way, the end portions of the wiring films 48 can be inserted into the through-holes 62 of the circuit board 60 very easily. Production efficiency is greatly improved. Moreover, since conveyance of the circuit board 60 in the assembling apparatus 100 and driving for regulating the inclination of the wiring film 48 can be made common, the apparatus configuration can be simplified. Therefore, automation of work can be realized relatively easily and inexpensively.

また上述したように回路基板の貫通孔に挿入した規制板によって配線フィルムを整列させるようにしたので、上述した組立装置等を用いて、複数個同時に組立作業を実施することも可能となる。例えば、ケースヘッドと回路基板との間に所定の治具等を挿入して配線フィルムの傾斜を規制しようとすると、これらケースヘッド及び回路基板の周囲にスペースを確保する必要がある。しかしながら、本発明の製造方法であれば、ケースヘッド及び回路基板の周囲にはそれ程スペースを確保する必要がない。したがって、組立装置等を用いて楓数個同時に組立作業を実施することも可能となる。   Further, as described above, since the wiring films are aligned by the restriction plate inserted into the through hole of the circuit board, a plurality of assembly operations can be simultaneously performed using the above-described assembly apparatus or the like. For example, if a predetermined jig or the like is inserted between the case head and the circuit board to restrict the inclination of the wiring film, it is necessary to secure a space around the case head and the circuit board. However, according to the manufacturing method of the present invention, it is not necessary to secure so much space around the case head and the circuit board. Therefore, it is possible to carry out assembling work at the same time using an assembling apparatus or the like.

なお回路基板60の貫通孔62に配線フィルム48が挿通されたことが確認されると、その後は、この回路基板60をケースヘッド50表面に予め塗布されているモールド剤70上に押圧し、その状態でモールド剤70を硬化させる。これにより、回路基板60はケースヘッド50に対してモールド剤70によって確実に固定される。また、回路基板60とケースヘッド50との間の隙間がこのモールド剤70によって塞がれる。つまり、ケースヘッド50の収容部51がより確実に塞がれる。したがって、収容部51内へのインクの流れ込みによる圧電素子41の破壊といった問題の発生を防止することができる。   If it is confirmed that the wiring film 48 has been inserted into the through hole 62 of the circuit board 60, then the circuit board 60 is pressed onto the molding agent 70 previously applied to the surface of the case head 50, The molding agent 70 is cured in the state. Thereby, the circuit board 60 is securely fixed to the case head 50 by the molding agent 70. Further, the gap between the circuit board 60 and the case head 50 is closed by the molding agent 70. That is, the housing part 51 of the case head 50 is more reliably closed. Therefore, it is possible to prevent a problem such as destruction of the piezoelectric element 41 due to the flow of ink into the housing portion 51.

また本実施形態では、ケースヘッド50にモールド剤70を予め塗布しておくようにした。このため、固定基板46をケースヘッド50上に配置した後に作業するのと比べて、モールド剤の塗布面積が減少する。すなわち、モールド剤の使用量が抑えられ、材料コストの削減を図ることができる。また、塗布作業が比較的簡単になるため、塗布作業の自動化を実現することができる。   In the present embodiment, the molding agent 70 is applied to the case head 50 in advance. For this reason, compared with working after the fixed substrate 46 is disposed on the case head 50, the application area of the molding agent is reduced. That is, the amount of the molding agent used can be suppressed, and the material cost can be reduced. Moreover, since the coating operation becomes relatively simple, it is possible to realize automation of the coating operation.

なお回路基板60をケースヘッド50に固定した後は、規制板102を配線フィルム48から離隔させてから、各配線フィルム48の端部を折り曲げて、配線フィルム48の各配線47を回路基板60の導電パッド61に接合(融着)する(図2参照)。   After fixing the circuit board 60 to the case head 50, the regulating plate 102 is separated from the wiring film 48, and then the end of each wiring film 48 is bent so that each wiring 47 of the wiring film 48 is connected to the circuit board 60. Bonded (fused) to the conductive pad 61 (see FIG. 2).

(実施形態2)
図6は、実施形態2に係るインクジェット式記録ヘッドの概略断面図であり、図7及び図8は、その製造方法を説明する概略図である。また図9は、実施形態2に係る組立装置の概略図である。
(Embodiment 2)
FIG. 6 is a schematic cross-sectional view of the ink jet recording head according to the second embodiment, and FIGS. 7 and 8 are schematic views for explaining the manufacturing method thereof. FIG. 9 is a schematic view of the assembling apparatus according to the second embodiment.

実施形態1では、圧電素子ユニット40をケースヘッド50の収容部51に収容した状態で、各配線フィルム48が同一方向に傾斜しているインクジェット式記録ヘッドの構成を例示した。これに対し、本実施形態に係るインクジェット式記録ヘッド10Aは、ケースヘッド50の収容部51に収容された状態で各配線フィルム48が異なる方向に傾斜する圧電素子ユニット40A,40Bを具備する(図6参照)。   In the first embodiment, the configuration of the ink jet recording head in which the respective wiring films 48 are inclined in the same direction in the state where the piezoelectric element unit 40 is housed in the housing portion 51 of the case head 50 is exemplified. In contrast, the ink jet recording head 10A according to the present embodiment includes piezoelectric element units 40A and 40B in which the respective wiring films 48 are inclined in different directions while being accommodated in the accommodating portion 51 of the case head 50 (see FIG. 6).

すなわち、本実施形態に係るインクジェット式記録ヘッド10Aは、図6に示すように、ケースヘッド50Aが大きさの異なる収容部51A,51Bを有し、一方の収容部51Aには一つの圧電素子ユニット40が収容されるが、他方の収容部51Bには二つの圧電素子ユニット40が、配線フィルム48同士が相対向する向きで収容されている。   That is, in the ink jet recording head 10A according to the present embodiment, as shown in FIG. 6, the case head 50A includes accommodating portions 51A and 51B having different sizes, and one piezoelectric element unit is included in one accommodating portion 51A. 40 is accommodated, but the other piezoelectric element unit 40 is accommodated in the other accommodating portion 51B in a direction in which the wiring films 48 face each other.

各圧電素子ユニット40において、配線フィルム48の傾斜方向は一定である。つまり、配線フィルム48は圧電素子41側に向かって傾斜する。このため、同一の向きで各収容部51A,51Bに収容された圧電素子ユニット(第1の圧電素子ユニット)40Aの配線フィルム(第1の配線フィルム)48Aは、その端部が圧電素子ユニット40の並設方向に沿った第1の方向(例えば、図中左側)に向かって傾斜した状態になり、収容部51B内に圧電素子ユニット40Aとは逆向きで収容された圧電素子ユニット(第2の圧電素子ユニット)40Bの配線フィルム(第2の配線フィルム)48Bは、その端部が第1の方向とは逆方向(第2の方向)に傾斜することになる。   In each piezoelectric element unit 40, the inclination direction of the wiring film 48 is constant. That is, the wiring film 48 is inclined toward the piezoelectric element 41 side. Therefore, the end portion of the wiring film (first wiring film) 48A of the piezoelectric element unit (first piezoelectric element unit) 40A accommodated in each of the accommodating portions 51A and 51B in the same direction is the piezoelectric element unit 40. The piezoelectric element unit (the second element) is inclined in a first direction (for example, the left side in the figure) along the parallel arrangement direction, and is accommodated in the accommodating portion 51B in the direction opposite to the piezoelectric element unit 40A. The end portion of the wiring film (second wiring film) 48B of the piezoelectric element unit 40B is inclined in the direction opposite to the first direction (second direction).

また、回路基板60には、各収容部51A,51Bに対する貫通孔62A,62Bがそれぞれ一つずつ設けられている。そして、収容部51Aに対応する貫通孔62Aからは一枚の配線フィルム48Aが引き出され、収容部51Bに対応する貫通孔62Bからは、収容部51Bに収容された二つの圧電素子ユニット40A,40Bの各配線フィルム48A,48Bが引き出されている。なお、それ以外の構成は、実施形態1で説明したインクジェット式記録ヘッドと同様であるので説明は省略する。   The circuit board 60 is provided with one through hole 62A and 62B for each of the accommodating portions 51A and 51B. Then, one wiring film 48A is drawn out from the through hole 62A corresponding to the accommodating portion 51A, and the two piezoelectric element units 40A and 40B accommodated in the accommodating portion 51B are extracted from the through hole 62B corresponding to the accommodating portion 51B. The wiring films 48A and 48B are drawn out. Since other configurations are the same as those of the ink jet recording head described in the first embodiment, description thereof is omitted.

このような構成のインクジェット式記録ヘッドを製造する場合には、例えば、図9に示す組立装置100Aを用いて、以下の手順で回路基板60の貫通孔62に各配線フィルム48の端部を挿通させる。   When manufacturing an ink jet recording head having such a configuration, for example, using an assembly apparatus 100A shown in FIG. 9, the end of each wiring film 48 is inserted into the through hole 62 of the circuit board 60 in the following procedure. Let

図9に示すように、組立装置100Aは、相対的に長さの異なる規制板102A,102Bを有する。つまり、配線フィルムの傾斜方向の異なる一方の圧電素子ユニット40Aに対応する第1の規制板102Aと、他方の圧電素子ユニット40Bに対応する第2の規制板102Bとを具備する。また、本実施形態では、収容部51Bに対応して設けられる第1及び第2の規制板102A,102Bが一体的に設けられている。勿論、これら第1及び第2の規制板102A,102Bは別体であってもよい。なお、実施形態2に係る組立装置100Aのそれ以外の構成は、実施形態1の組立装置と同様であるので説明は省略する。   As shown in FIG. 9, the assembling apparatus 100A includes restriction plates 102A and 102B having relatively different lengths. That is, the first restricting plate 102A corresponding to one piezoelectric element unit 40A having a different inclination direction of the wiring film and the second restricting plate 102B corresponding to the other piezoelectric element unit 40B are provided. In the present embodiment, the first and second restricting plates 102A and 102B provided corresponding to the accommodating portion 51B are integrally provided. Of course, these first and second regulating plates 102A and 102B may be separate bodies. Since the other configuration of the assembly apparatus 100A according to the second embodiment is the same as that of the assembly apparatus according to the first embodiment, description thereof is omitted.

このような組立装置100Aを用いて、まず図7(a)に示すように、保持手段101によって保持された回路基板60をケースヘッド50上に配置する。すなわち、第1及び第2の規制板102A,102Bが、並設されている各配線フィルム48の側方に位置するように、第1及び第2の規制板102A,102B及び回路基板60を移動させる。そして、支持部材105を下降させ、この回路基板60の各貫通孔62に、ケースヘッド50とは反対側の面から第1及び第2の規制板102A,102Bをそれぞれ挿入する。本実施形態では、収容部51Aに対応する貫通孔62Aには、第1の規制板102Aが挿入され、収容部51B対応する貫通孔62Bには、一体的に形成された第1及び第2の規制板102A,102Bが挿入されることになる。   Using such an assembling apparatus 100A, first, the circuit board 60 held by the holding means 101 is placed on the case head 50 as shown in FIG. That is, the first and second restricting plates 102A and 102B and the circuit board 60 are moved so that the first and second restricting plates 102A and 102B are positioned on the sides of the wiring films 48 arranged in parallel. Let Then, the support member 105 is lowered, and the first and second regulating plates 102A and 102B are inserted into the through holes 62 of the circuit board 60 from the surface opposite to the case head 50, respectively. In the present embodiment, the first restriction plate 102A is inserted into the through hole 62A corresponding to the accommodating portion 51A, and the first and second integrally formed in the through hole 62B corresponding to the accommodating portion 51B. The restriction plates 102A and 102B are inserted.

またこのとき、第1の規制板102Aの先端部が同一方向に傾斜する各配線フィルム48Aの端部よりもケースヘッド50A側となるように、且つ配線フィルム48Bに対応する第2の規制板102Bを、その先端部が配線フィルム48Bの端部よりも回路基板60側に位置するように、第1及び第2の規制板102A,102Bの高さを調整する。   At this time, the second regulating plate 102B corresponding to the wiring film 48B is arranged so that the tip of the first regulating plate 102A is closer to the case head 50A than the end of each wiring film 48A inclined in the same direction. The heights of the first and second restricting plates 102A and 102B are adjusted so that the front end portion is positioned closer to the circuit board 60 than the end portion of the wiring film 48B.

次いで、図7(b)に示すように、第1及び第2の規制板102A,102Bと回路基板60とを配線フィルム48Aの傾斜方向とは逆方向(第2の方向:図中右方向)に移動させる。これにより、第1の規制板102が配線フィルム48Aの一方の表面に当接し、配線フィルム48Aの端部の傾斜が規制されるが、本実施形態では、第1の規制板102Aを配線フィルム48Aの表面に当接させたままの状態で、第2の規制板102Bが配線フィルム48Bの傾斜方向外側に位置するまで、これら第1及び第2の規制板102A,102Bと回路基板60とを移動させる。このとき、配線フィルム48Aは、第1の規制板102Aによって、配線フィルム48Bと同一方向に傾斜した状態に保持される。   Next, as shown in FIG. 7B, the first and second restricting plates 102A and 102B and the circuit board 60 are opposite to the inclination direction of the wiring film 48A (second direction: right direction in the figure). Move to. Thereby, the first regulating plate 102 abuts on one surface of the wiring film 48A, and the inclination of the end of the wiring film 48A is regulated. In the present embodiment, the first regulating plate 102A is replaced with the wiring film 48A. The first and second restricting plates 102A and 102B and the circuit board 60 are moved until the second restricting plate 102B is positioned on the outer side in the inclination direction of the wiring film 48B while being kept in contact with the surface of the circuit board 60. Let At this time, the wiring film 48A is held in a state inclined by the first regulating plate 102A in the same direction as the wiring film 48B.

この状態で、図7(c)に示すように、支持部材105をケースヘッド50側にさらに下降させ、第2の規制板102Aの先端が配線フィルム48Bの端部よりもケースヘッド50側に位置するように、第1及び第2の規制板102A,102Bの高さを調整する。   In this state, as shown in FIG. 7C, the support member 105 is further lowered to the case head 50 side, and the tip of the second regulating plate 102A is positioned closer to the case head 50 than the end of the wiring film 48B. In this manner, the heights of the first and second regulating plates 102A and 102B are adjusted.

その後、図8(a)に示すように、第1及び第2の規制板102A,102Bと回路基板60とを配線フィルム48Bの傾斜方向とは逆方向(第1の方向:図中左方向)に移動させる。すなわち、回路基板60の各貫通孔62が対応する各収容部上に位置するように、第1及び第2の規制板102A,102Bと回路基板60とを移動させる。これにより、第2の規制板102Bが配線フィルム48Bに当接して傾斜が規制される。勿論、配線フィルム48Aの傾斜は、第1の規制板102Aが当接することで規制されている。   Thereafter, as shown in FIG. 8A, the first and second restricting plates 102A and 102B and the circuit board 60 are opposite to the inclination direction of the wiring film 48B (first direction: left direction in the figure). Move to. That is, the first and second restriction plates 102A and 102B and the circuit board 60 are moved so that the respective through holes 62 of the circuit board 60 are positioned on the corresponding accommodating portions. As a result, the second restricting plate 102B comes into contact with the wiring film 48B and the inclination is restricted. Of course, the inclination of the wiring film 48A is regulated by the first regulating plate 102A coming into contact therewith.

そして、このように第1及び第2の規制板102A,102Bによって各配線フィルム48A,48Bを整列させた状態で、図8(b)に示すように、回路基板60のみを下降させることで、つまり回路基板60をケースヘッド50に向かって移動させることで、各配線フィルム48A,48Bの先端部が各貫通孔62A,62Bにそれぞれ確実に挿通される。なお、その後の工程は、実施形態1と同様であるので、説明は省略する。   Then, with the wiring films 48A and 48B aligned by the first and second restriction plates 102A and 102B in this way, as shown in FIG. 8B, only the circuit board 60 is lowered, That is, by moving the circuit board 60 toward the case head 50, the tip portions of the wiring films 48A and 48B are reliably inserted into the through holes 62A and 62B, respectively. Since the subsequent steps are the same as those in the first embodiment, description thereof is omitted.

このように本実施形態の製造方法では、配線フィルムの傾斜方向が一定でない場合であっても、各配線フィルム48の端部を、回路基板60の各貫通孔62に極めて容易に挿通させることができ、作業効率及び生産効率が大幅に向上する。   As described above, in the manufacturing method of the present embodiment, even when the inclination direction of the wiring film is not constant, the end of each wiring film 48 can be inserted into each through hole 62 of the circuit board 60 very easily. Work efficiency and production efficiency are greatly improved.

(他の実施形態)
以上、本発明の一実施形態を説明したが、本発明の基本的構成は上述したものに限定されるものではない。
(Other embodiments)
As mentioned above, although one Embodiment of this invention was described, the basic composition of this invention is not limited to what was mentioned above.

例えば、上述した実施形態における規制板の動作は、その一例を説明したに過ぎない。すなわち、各貫通孔内に挿入した規制板で配線フィルムを整列させた状態で、回路基板をケースヘッドに向かって移動させて配線フィルムをスリット状の貫通孔に挿通させることができれば、規制板の動作は、特に限定されるものではない。   For example, the operation of the restriction plate in the above-described embodiment has only been described as an example. That is, if the circuit board is moved toward the case head and the wiring film can be inserted into the slit-shaped through hole in a state where the wiring film is aligned with the regulating plate inserted in each through hole, The operation is not particularly limited.

また、例えば、上述した実施形態では、圧力発生室に圧力変化を生じさせる圧力発生手段として、圧電材料と電極形成材料とを交互に積層させて軸方向に伸縮させる縦振動型の圧電素子を有する構成を例示したが、例えば、成膜及びリソグラフィ法により積層形成させて撓み変形させる薄膜型の圧電素子や、グリーンシートを貼付する等の方法により形成される厚膜型の圧電素子などであってもよい。また、圧力発生手段として、圧力発生室内に発熱素子を配置して、発熱素子の発熱で発生するバブルによってノズル開口から液滴を吐出するものや、振動板と電極との間に静電気を発生させて、静電気力によって振動板を変形させてノズル開口から液滴を吐出させるいわゆる静電式アクチュエータなどを使用することができる。何れにしても、収容部から配線フィルムが引き出され、その端部が回路基板の貫通孔に挿通された構成であれば、本発明の製造方法を採用することができる。   Further, for example, in the above-described embodiment, as a pressure generation unit that causes a pressure change in the pressure generation chamber, a longitudinal vibration type piezoelectric element that alternately stacks piezoelectric materials and electrode forming materials and expands and contracts in the axial direction is provided. The configuration is exemplified, for example, a thin film type piezoelectric element that is formed by laminating and deforming by film formation and lithography, a thick film type piezoelectric element formed by a method such as attaching a green sheet, etc. Also good. Also, as a pressure generating means, a heating element is arranged in the pressure generating chamber, and droplets are discharged from the nozzle opening by bubbles generated by the heat generated by the heating element, or static electricity is generated between the diaphragm and the electrode. Thus, it is possible to use a so-called electrostatic actuator that deforms the diaphragm by electrostatic force and ejects droplets from the nozzle openings. In any case, the manufacturing method of the present invention can be adopted as long as the wiring film is drawn out from the accommodating portion and the end portion is inserted through the through hole of the circuit board.

また、上述した実施形態では、液体噴射ヘッドの一例としてインクジェット式記録ヘッドを挙げて説明したが、本発明は、広く液体噴射ヘッド全般を対象としたものであり、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドの製造方法にも勿論適用することができる。その他の液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンタ等の画像記録装置に用いられる各種の記録ヘッド、液晶ディスプレー等のカラーフィルタの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ELディスプレー、FED(電界放出ディスプレー)等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオchip製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等が挙げられる。   In the above-described embodiments, the ink jet recording head has been described as an example of the liquid ejecting head. However, the present invention is intended for a wide range of liquid ejecting heads, and ejects liquid other than ink. Of course, the present invention can also be applied to a method of manufacturing an ejection head. Other liquid ejecting heads include, for example, various recording heads used in image recording apparatuses such as printers, color material ejecting heads used in the manufacture of color filters such as liquid crystal displays, organic EL displays, and FEDs (field emission displays). Examples thereof include an electrode material ejection head used for electrode formation, a bioorganic matter ejection head used for biochip production, and the like.

実施形態1に係る記録ヘッドの斜視図である。3 is a perspective view of a recording head according to Embodiment 1. FIG. 実施形態1に係る記録ヘッドの概略断面図である。2 is a schematic cross-sectional view of a recording head according to Embodiment 1. FIG. 実施形態1に係る記録ヘッドの製造工程を示す概略断面図である。5 is a schematic cross-sectional view illustrating a manufacturing process of the recording head according to Embodiment 1. FIG. 実施形態1に係る記録ヘッドの製造工程を示す概略図である。FIG. 4 is a schematic diagram illustrating a manufacturing process of the recording head according to the first embodiment. 実施形態1に係る組立装置の概略図である。1 is a schematic view of an assembling apparatus according to Embodiment 1. FIG. 実施形態2に係る記録ヘッドの概略断面図である。6 is a schematic cross-sectional view of a recording head according to Embodiment 2. FIG. 実施形態2に係る記録ヘッドの製造工程を示す概略図である。FIG. 6 is a schematic diagram illustrating a manufacturing process of a recording head according to a second embodiment. 実施形態2に係る記録ヘッドの製造工程を示す概略図である。FIG. 6 is a schematic diagram illustrating a manufacturing process of a recording head according to a second embodiment. 実施形態2に係る組立装置の概略図である。It is the schematic of the assembly apparatus which concerns on Embodiment 2. FIG.

符号の説明Explanation of symbols

10 インクジェット式記録ヘッド、 20 流路ユニット、 21 圧力発生室、 22 流路形成基板、 23 ノズル、 24 ノズルプレート、 25 振動板、 26 リザーバ、 27 インク供給路、 28 ノズル連通孔、 29 弾性膜、 30 支持板、 31 島部、 32 薄肉部、 33 コンプライアンス部、 40 圧電素子ユニット、 41 圧電素子、 42 圧電材料、 43,44 電極形成材料、 45 圧電素子形成部材、 46 固定基板、 47 配線、 48 配線フィルム、 50 ケースヘッド、 51 収容部、 60 回路基板、 61 導電パッド、 62 貫通孔、 70 モールド剤   10 ink jet recording head, 20 flow path unit, 21 pressure generating chamber, 22 flow path forming substrate, 23 nozzle, 24 nozzle plate, 25 vibration plate, 26 reservoir, 27 ink supply path, 28 nozzle communication hole, 29 elastic film, 30 support plate, 31 island part, 32 thin part, 33 compliance part, 40 piezoelectric element unit, 41 piezoelectric element, 42 piezoelectric material, 43, 44 electrode forming material, 45 piezoelectric element forming member, 46 fixed substrate, 47 wiring, 48 Wiring film, 50 case head, 51 accommodating portion, 60 circuit board, 61 conductive pad, 62 through hole, 70 molding agent

Claims (4)

ノズルに連通する圧力発生室が設けられる流路ユニットと、各圧力発生室に対応して設けられ当該圧力発生室内に液滴を噴射するための圧力を付与する複数の圧電素子と一端が各圧電素子に接続される複数本の配線を有する配線フィルムとを具備する複数の圧電素子ユニットと、前記流路ユニットに固定され各圧電素子ユニットが収容される収容部を有するケースヘッドと、該ケースヘッドの前記流路ユニットとは反対側の面に固定されて前記配線の他端がそれぞれ接続される複数の導電パッドを有する回路基板とを具備し、前記配線フィルムが前記回路基板に設けられたスリット状の貫通孔に挿通された状態で、前記配線の他方の端部が前記導電パッドに接続された液体噴射ヘッドの製造方法であって、
前記ケースヘッドの収容部に各圧電素子ユニットを収容した後、前記収容部の外側に引き出された各配線フィルムの端部を前記回路基板の前記貫通孔にそれぞれ挿通する際、
前記回路基板の前記ケースヘッドとは反対面側から各貫通孔内に挿入した規制板で前記配線フィルムを整列させた状態で、前記回路基板を前記ケースヘッドに向かって移動させて前記配線フィルムをスリット状の前記貫通孔に挿通させるようにしたこと特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
A flow path unit provided with a pressure generation chamber communicating with the nozzle, a plurality of piezoelectric elements provided corresponding to each pressure generation chamber and applying pressure for ejecting droplets into the pressure generation chamber, and one end of each piezoelectric element A plurality of piezoelectric element units each including a wiring film having a plurality of wirings connected to the element; a case head having an accommodating portion that is fixed to the flow path unit and accommodates each piezoelectric element unit; and the case head A circuit board having a plurality of conductive pads fixed to a surface opposite to the flow path unit and connected to the other end of the wiring, and the wiring film is provided on the circuit board. A liquid ejecting head manufacturing method in which the other end of the wiring is connected to the conductive pad in a state of being inserted into a through-hole.
After housing each piezoelectric element unit in the housing part of the case head, when inserting the end of each wiring film drawn out of the housing part into the through hole of the circuit board,
The circuit board is moved toward the case head in a state where the wiring film is aligned with a restriction plate inserted into each through hole from the opposite side of the circuit board to the case head. A method of manufacturing a liquid jet head, wherein the liquid jet head is inserted into the slit-shaped through hole.
前記貫通孔内に挿入した前記規制板を、その先端部が前記配線フィルムの端部よりも前記ケースヘッド側に位置するように各配線フィルム側方に配し、当該規制板と前記回路基板とを前記配線フィルムの傾斜方向とは逆方向に移動させ、前記規制板を前記配線フィルムの表面に当接させることで当該配線フィルムを整列させるようにしたことを特徴とする請求項1に記載の液体噴射ヘッドの製造方法。   The restriction plate inserted into the through-hole is arranged on the side of each wiring film so that the front end portion is located on the case head side with respect to the end of the wiring film, and the restriction plate, the circuit board, 2. The wiring film according to claim 1, wherein the wiring film is aligned by moving in a direction opposite to an inclination direction of the wiring film and bringing the regulating plate into contact with a surface of the wiring film. A method for manufacturing a liquid jet head. 前記配線フィルムが、前記圧電素子ユニットを前記収容部に収容した状態において、端部の傾斜方向が当該圧電素子ユニットの並設方向に沿った第1の方向である第1の配線フィルムと、端部の傾斜方向が前記第1の方向とは逆方向である第2の方向である第2の配線フィルムとを含む場合には、
前記第1の配線フィルムに対応する第1の規制板をその先端部が前記第1の配線フィルムの端部よりも前記ケースヘッド側に位置するように且つ前記第2の配線フィルムに対応する第2の規制板をその先端部が前記第2の配線フィルムの端部よりも前記回路基板側に位置するように各配線フィルム側方に配し、
前記第1及び第2の規制板と前記回路基板とを前記第2の方向に移動させ、前記第1の規制板を前記第1の配線フィルムの表面に当接させた状態で前記第2の規制板を前記第2の配線フィルムの傾斜方向外側に配し、前記第2の規制板の先端が前記第2の配線フィルムの端部よりも前記ケースヘッド側に位置するように当該第2の規制板を前記ケースヘッド側に移動させ、前記第1及び第2の規制板と前記回路基板とを前記第1の方向に移動させて前記第2の規制板を前記第2の配線フィルムに当接させ、前記第1及び第2の規制板によって前記第1及び第2の配線フィルムを整列させた状態で、前記回路基板を前記ケースヘッドに向かって移動させるようにしたことを特徴とする請求項1に記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
In the state in which the wiring film houses the piezoelectric element unit in the housing portion, a first wiring film whose end is inclined in a first direction along the parallel direction of the piezoelectric element units, and an end When the inclination direction of the portion includes the second wiring film that is the second direction that is opposite to the first direction,
A first restricting plate corresponding to the first wiring film has a first end corresponding to the second wiring film so that a front end portion thereof is positioned closer to the case head than an end portion of the first wiring film. 2 restricting plates are arranged on the side of each wiring film so that the front end portion is located on the circuit board side with respect to the end of the second wiring film,
The first and second restriction plates and the circuit board are moved in the second direction, and the second restriction plate is in contact with the surface of the first wiring film. A restriction plate is arranged on the outer side in the inclination direction of the second wiring film, and the second restriction plate is positioned so that the front end of the second restriction plate is located closer to the case head than the end of the second wiring film. The restriction plate is moved to the case head side, and the first and second restriction plates and the circuit board are moved in the first direction so that the second restriction plate is brought into contact with the second wiring film. The circuit board is moved toward the case head in a state where the first and second wiring films are in contact with each other and are aligned by the first and second regulating plates. Item 2. A method for manufacturing a liquid jet head according to Item 1.
前記配線フィルムの端部を前記回路基板の貫通孔に挿通する前に、前記ケースヘッドの表面の前記回路基板が当接される領域の周縁部にモールド剤を予め全周に亘って塗布しておき、前記配線フィルムの端部を前記貫通孔に挿通した後、前記モールド剤を介して前記回路基板を前記ケースヘッドに押圧し、前記モールド剤によって両者を固定すると共に前記回路基板と前記ケースヘッドとの隙間を塞ぐようにしたことを特徴とする請求項1〜3の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドの製造方法。   Before the end of the wiring film is inserted into the through hole of the circuit board, a molding agent is applied all around the periphery of the area of the surface of the case head where the circuit board comes into contact. Then, after the end portion of the wiring film is inserted into the through hole, the circuit board is pressed against the case head through the molding agent, and the circuit board and the case head are fixed together by the molding agent. The method of manufacturing a liquid jet head according to claim 1, wherein a gap between the liquid ejecting head and the head is closed.
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