JP2009109591A - Photosensitive polyamide resin composition, photosensitive dry film and coverlay using those - Google Patents

Photosensitive polyamide resin composition, photosensitive dry film and coverlay using those Download PDF

Info

Publication number
JP2009109591A
JP2009109591A JP2007279505A JP2007279505A JP2009109591A JP 2009109591 A JP2009109591 A JP 2009109591A JP 2007279505 A JP2007279505 A JP 2007279505A JP 2007279505 A JP2007279505 A JP 2007279505A JP 2009109591 A JP2009109591 A JP 2009109591A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
photosensitive
polyamide resin
bis
resin composition
film
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2007279505A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP5065853B2 (en
Inventor
Hisatoo Miyazaki
久遠 宮崎
Hiroo Sasaki
洋朗 佐々木
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Asahi Kasei Corp
Original Assignee
Asahi Kasei Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Asahi Kasei Corp filed Critical Asahi Kasei Corp
Priority to JP2007279505A priority Critical patent/JP5065853B2/en
Publication of JP2009109591A publication Critical patent/JP2009109591A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP5065853B2 publication Critical patent/JP5065853B2/en
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
  • Materials For Photolithography (AREA)
  • Macromolecular Compounds Obtained By Forming Nitrogen-Containing Linkages In General (AREA)

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a polyamide resin composition and a photosensitive polyamide resin composition having an effect to suppress warpage. <P>SOLUTION: There are also provided a photosensitive dry film, a photosensitive laminated film and a resin pattern using a resin composition containing a polyamide resin having a specific structure. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明はポリアミド樹脂組成物、感光性ポリアミド樹脂組成物およびそれを用いた感光性ドライフィルム、積層フィルム、樹脂パターンに関する。   The present invention relates to a polyamide resin composition, a photosensitive polyamide resin composition, a photosensitive dry film using the same, a laminated film, and a resin pattern.

近年フレキシブルプリント基板(以下、FPC)と呼ばれるフィルム状のプリント基板が活況を得ている。この基板は配線加工されたFCCL(Flexible Copper Clad Laminate)上にポリイミドフィルムなどから構成されるカバーレイを具備した構造になっており、主に携帯電話、ノート型パソコン、デジタルカメラなどの機器に用いられている。FPCは折り曲げても機能を維持することから、機器の小型化、軽量化に向けて無くてはならない材料となっている。特に近年、各種電子機器の小型化、軽量化が進んでおり、このような製品にFPCを採用することで、当該機器の寸法及び重量減少、製品コストの低減並びに設計の単純化などに貢献している。   In recent years, a film-like printed board called a flexible printed board (hereinafter referred to as FPC) has gained popularity. This board has a structure that has a coverlay made of polyimide film on the FCCL (Flexible Copper Clad Laminate) that has been processed by wiring. It has been. Since FPC maintains its function even when it is bent, it is an indispensable material for reducing the size and weight of equipment. Particularly, in recent years, various electronic devices have been reduced in size and weight, and the adoption of FPC for such products contributes to the reduction of the size and weight of the devices, the reduction of product cost, and the simplification of design. ing.

このFPCに備えられるカバーレイ材料としては、折り曲げ耐性、耐熱性、電気絶縁性の観点より、接着剤を付与したポリイミドフィルムが使用されている。しかし、当該ポリイミドフィルムを用いる場合、人の手により張り合わせ、打ち抜きを行うので、位置合わせ精度、コストの面で問題がある。そこで、ポリイミド前駆体に感光性を付与し、配線パターンを形成した後、当該ポリイミド前駆体を加熱することでポリイミドを形成させる種種の方法が考案されている(特許文献1、2)。   As a coverlay material provided in this FPC, a polyimide film provided with an adhesive is used from the viewpoint of bending resistance, heat resistance, and electrical insulation. However, in the case of using the polyimide film, there is a problem in terms of alignment accuracy and cost because the bonding and punching are performed manually. Therefore, various methods have been devised in which polyimide is formed by imparting photosensitivity to the polyimide precursor and forming a wiring pattern, and then heating the polyimide precursor (Patent Documents 1 and 2).

しかし、これらのポリイミド前駆体をポリイミドにする場合、300℃以上の高温を必要とするので、高温をかけることのできない用途、例えば電子機器に用いられるFPCに備えられるカバーレイ材料には使用することが困難である。またポリイミド前駆体からポリイミドに変換する際に、脱溶媒やポリアミド酸の閉環反応に伴う応力から、FPCに反りが発生する。FPCに反りが生じると、FCCLとカバーレイの接着性不良や、FPCを具備した電子機器の駆動電力が高くなるなどの問題が生じる。従って銅配線上にカバーレイを具備したFPCの反りを改善することが求められている。
また感光性ドライフィルムの製造において、巻き取りした感光性ドライフィルムの感光層が支持フィルムに密着する問題がある。そこでカバーフィルムを積層させることで支持フィルムへの密着を防ぐことができるが、感光層にタック性がないと積層できない。
特許第3064579号 特開2002−278061号公報
However, when these polyimide precursors are made of polyimide, high temperatures of 300 ° C. or higher are required, so use them in applications where high temperatures cannot be applied, such as coverlay materials for FPCs used in electronic devices. Is difficult. Further, when the polyimide precursor is converted to polyimide, the FPC warps due to the stress accompanying the solvent removal or the ring closure reaction of the polyamic acid. When warpage occurs in the FPC, problems such as poor adhesion between the FCCL and the coverlay and an increase in driving power of an electronic device equipped with the FPC arise. Therefore, it is required to improve the warpage of the FPC having a coverlay on the copper wiring.
Further, in the production of the photosensitive dry film, there is a problem that the photosensitive layer of the wound photosensitive dry film is in close contact with the support film. Therefore, it is possible to prevent adhesion to the support film by laminating the cover film, but it cannot be laminated unless the photosensitive layer has tackiness.
Patent No. 3064579 JP 2002-278061 A

本発明では前記課題を解決することを鑑み、FCCLなどのフレキシブルな基材にカバーレイを形成しても反りがなく、該感光性ポリアミド樹脂組成物を用いた感光性ドライフィルムにおいて、表面にタックを残すことでカバーフィルムを具備することのできる感光性ポリアミド樹脂組成物、当該感光性ポリアミド樹脂組成物を用いた感光性ドライフィルム、感光性積層フィルム、樹脂パターンを提供することを目的とする。   In the present invention, in view of solving the above-described problems, there is no warp even when a coverlay is formed on a flexible substrate such as FCCL, and the surface of the photosensitive dry film using the photosensitive polyamide resin composition is tacked. It aims at providing the photosensitive polyamide resin composition which can comprise a cover film by leaving, the photosensitive dry film using the said photosensitive polyamide resin composition, the photosensitive laminated | multilayer film, and a resin pattern.

本発明者は鋭意検討を進めた結果、特定の構造を有するポリアミド樹脂を含む樹脂組成物を用いることで、前記課題を解決するに至った。 すなわち、本発明の目的は次の構成により達成できることができる。
I.(A)下記一般式(1)で示されるポリアミド樹脂と、(B)感光剤と、を含有することを特徴とする感光性ポリアミド樹脂組成物。
As a result of intensive studies, the present inventor has solved the above-mentioned problems by using a resin composition containing a polyamide resin having a specific structure. That is, the object of the present invention can be achieved by the following configuration.
I. A photosensitive polyamide resin composition comprising (A) a polyamide resin represented by the following general formula (1) and (B) a photosensitizer.

Figure 2009109591
Figure 2009109591

(Rは炭素数2以上のアルキレン基を示し、R2からR4は2価から4価の有機基を示す。m、nはモルパーセントを示しm+n=100、0<n<100を示す。)
II.前記(A)ポリアミド樹脂中のRが、下記一般式(2)でであることを特徴とする、Iに記載の感光性ポリアミド樹脂組成物。
[化2]
・・・(2)
III.前記(A)ポリアミド樹脂中のRが、下記一般式(3)であることを特徴とするIまたはIIに記載の感光性ポリアミド樹脂組成物。
[化3]
OOC−R−COOR ・・・(3)
(Rは4価の有機基を示す。R、Rは水素原子、炭素数1から20の有機基を示し、同一でも異なっていても良い。)
(R 1 represents an alkylene group having 2 or more carbon atoms, R 2 to R 4 represent divalent to tetravalent organic groups, m and n represent mole percentages, and m + n = 100, 0 <n <100.)
II. R 1 in said (A) polyamide resin is following General formula (2), The photosensitive polyamide resin composition of I characterized by the above-mentioned.
[Chemical 2]
C 4 H 8 (2)
III. Wherein (A) R 2 in the polyamide resin, photosensitive polyamide resin composition according to I or II, characterized in that a following general formula (3).
[Chemical 3]
R 6 OOC-R 5 -COOR 7 ··· (3)
(R 5 represents a tetravalent organic group. R 6 and R 7 represent a hydrogen atom or an organic group having 1 to 20 carbon atoms, which may be the same or different.)

IV.前記(B)感光剤がキノンジアジド化合物であることを特徴とする、IからIIIのいずれかに記載の感光性ポリアミド樹脂組成物。
V.IからIVのいずれかに記載の感光性ポリアミド樹脂組成物の層と、支持フィルム層とを含むことを特徴とする感光性ドライフィルム。VI.Vに記載の感光性ドライフィルムと、感光層を保護するカバーフィルムとが積層されていることを特徴とする感光性積層フィルム。
VII.前記(A)ポリアミド樹脂がイミド化したことIからIVのいずれかに記載のポリアミド樹脂を含むことを特徴とするカバーレイ
IV. The photosensitive polyamide resin composition according to any one of I to III, wherein the photosensitive agent (B) is a quinonediazide compound.
V. A photosensitive dry film comprising a layer of the photosensitive polyamide resin composition according to any one of I to IV and a support film layer. VI. A photosensitive laminated film comprising the photosensitive dry film according to V and a cover film for protecting the photosensitive layer.
VII. The (A) polyamide resin is imidized and contains a polyamide resin according to any one of I to IV.

本発明の感光性ポリアミド樹脂組成物を用いることにより、ベイク後の感光性ドライフィルム、積層フィルムの反りを抑えることができる。   By using the photosensitive polyamide resin composition of the present invention, warpage of the photosensitive dry film and laminated film after baking can be suppressed.

以下、本発明について具体的に説明する。
本発明に用いられるポリアミド樹脂は、カルボキシル基を有する化合物とアミノ基を有する化合物から公知の方法で合成される。ポリアミド樹脂としては、アルカリ水溶液への溶解性の観点からポリイミド前駆体が好ましく、ポリアミド酸がより好ましい。
ポリアミド樹脂のモノマーとして用いられるカルボキシル基を有する化合物、アミノ基を有する化合物としては、例えば、以下に示すものがある。
Hereinafter, the present invention will be specifically described.
The polyamide resin used in the present invention is synthesized by a known method from a compound having a carboxyl group and a compound having an amino group. As the polyamide resin, a polyimide precursor is preferable from the viewpoint of solubility in an alkaline aqueous solution, and polyamic acid is more preferable.
Examples of the compound having a carboxyl group and the compound having an amino group used as a monomer for the polyamide resin include the following.

(A)ポリアミド樹脂
カルボキシル基を有する化合物としては、具体的に、ピロメリット酸二無水物、3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、2,3,3’,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、2,2’,3,3’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、2,2’,3,3’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、2,2−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)プロパン二無水物、2,2−ビス(2,3−ジカルボキシフェニル)プロパン二無水物、1,1−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)エタン二無水物、1,1−ビス(2,3−ジカルボキシフェニル)エタン二無水物、ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)メタン二無水物、ビス(2,3−ジカルボキシフェニル)メタン二無水物、ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)スルホン二無水物、3,3’−オキシジフタル酸二無水物、4,4’−オキシジフタル酸二無水物、2,2−ビス(4−(4−アミノフェノキシ)フェニル)プロパン、1,3−ジヒドロ−1,3−ジオキソ−5−イソベンゾフランカルボン酸−1,4−フェニレンエステル、4−(2,5−ジオキソテトラヒドロフラン−3−イル)−1,2,3,4−テトラヒドロナフタレン−1,2−ジカルボン酸無水物、1,2,5,6−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、2,3,6,7−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、2,3,5,6−ピリジンテトラカルボン酸二無水物、3,4,9,10−ペリレンテトラカルボン酸二無水物、2,2−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)ヘキサフルオロプロパン二無水物、2,2−ビス(4−(3,4−ジカルボキシフェノキシ)フェニル)ヘキサフルオロプロパン二無水物、2,2−ビス(4−(3,4−ジカルボキシベンゾイルオキシ)フェニル)ヘキサフルオロプロパン二無水物、2,2’−ビス(トリフルオロメチル)−4,4’−ビス(3,4−ジカルボキシフェノキシ)ビフェニル二無水物などを挙げられる。
(A) Polyamide resin
Specific examples of the compound having a carboxyl group include pyromellitic dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 2,3,3 ′, 4′-biphenyltetracarboxylic Acid dianhydride, 2,2 ′, 3,3′-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-benzophenonetetracarboxylic dianhydride, 2,2 ′, 3,3 ′ -Benzophenone tetracarboxylic dianhydride, 2,2-bis (3,4-dicarboxyphenyl) propane dianhydride, 2,2-bis (2,3-dicarboxyphenyl) propane dianhydride, 1,1 -Bis (3,4-dicarboxyphenyl) ethane dianhydride, 1,1-bis (2,3-dicarboxyphenyl) ethane dianhydride, bis (3,4-dicarboxyphenyl) methane dianhydride, Bis (2,3-dicarbox Phenyl) methane dianhydride, bis (3,4-dicarboxyphenyl) sulfone dianhydride, 3,3′-oxydiphthalic dianhydride, 4,4′-oxydiphthalic dianhydride, 2,2-bis ( 4- (4-aminophenoxy) phenyl) propane, 1,3-dihydro-1,3-dioxo-5-isobenzofurancarboxylic acid-1,4-phenylene ester, 4- (2,5-dioxotetrahydrofuran-3 -Yl) -1,2,3,4-tetrahydronaphthalene-1,2-dicarboxylic anhydride, 1,2,5,6-naphthalenetetracarboxylic dianhydride, 2,3,6,7-naphthalenetetra Carboxylic dianhydride, 2,3,5,6-pyridinetetracarboxylic dianhydride, 3,4,9,10-perylenetetracarboxylic dianhydride, 2,2-bis (3,4-dicarbo Ciphenyl) hexafluoropropane dianhydride, 2,2-bis (4- (3,4-dicarboxyphenoxy) phenyl) hexafluoropropane dianhydride, 2,2-bis (4- (3,4-dicarboxy) And benzoyloxy) phenyl) hexafluoropropane dianhydride, 2,2′-bis (trifluoromethyl) -4,4′-bis (3,4-dicarboxyphenoxy) biphenyl dianhydride, and the like.

脂肪族テトラカルボン酸二無水物としては、シクロブタンテトラカルボン酸二無水物、1,2,3,4−シクロペンタンテトラカルボン酸二無水物、2,3,5,6−シクロヘキサンテトラカルボン酸二無水物、5−(2,5−ジオキソテトラヒドロ−3−フラニル)−3−メチル−3−シクロヘキセン−1,2−ジカルボンサン二無水物、エチレングリコール−ビス−無水トリメリット酸エステル、ブタンジオール−ビス−無水トリメリット酸エステル、ペンタンジオール−ビス−無水トリメリット酸エステル、ビシクロ[2,2,2]オクト−7−エン−2,3,5,6テトラカルボン酸二無水物、1,2,3,4−ブタンテトラカルボン酸二無水物などを挙げることができる。これらは単独で用いても2種以上を用いてもよい。   Aliphatic tetracarboxylic dianhydrides include cyclobutane tetracarboxylic dianhydride, 1,2,3,4-cyclopentanetetracarboxylic dianhydride, 2,3,5,6-cyclohexanetetracarboxylic dianhydride 5- (2,5-dioxotetrahydro-3-furanyl) -3-methyl-3-cyclohexene-1,2-dicarboxylicsan dianhydride, ethylene glycol-bis-trimellitic anhydride ester, butanediol- Bis-trimellitic anhydride ester, pentanediol-bis-trimellitic anhydride ester, bicyclo [2,2,2] oct-7-ene-2,3,5,6 tetracarboxylic dianhydride, 1,2 3,4-butanetetracarboxylic dianhydride and the like. These may be used alone or in combination of two or more.

これらのうち、感光層をベイクすることにより得られるフィルムのガラス転移温度(Tg−2)を下げるという観点から、ピロメリット酸二無水物、3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、2,3,3’,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、2,2’,3,3’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、2,2’,3,3’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、2,2−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)プロパン二無水物、2,2−ビス(2,3−ジカルボキシフェニル)プロパン二無水物、1,1−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)エタン二無水物、1,1−ビス(2,3−ジカルボキシフェニル)エタン二無水物、ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)メタン二無水物、ビス(2,3−ジカルボキシフェニル)メタン二無水物、ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)スルホン二無水物、3,3’−オキシジフタル酸二無水物、4,4’−オキシジフタル酸二無水物、2,2−ビス(4−(4−アミノフェノキシ)フェニル)プロパン、1,3−ジヒドロ−1,3−ジオキソ−5−イソベンゾフランカルボン酸−1,4−フェニレンエステル、エチレングリコール−ビス−無水トリメリット酸エステル、ブタンジオール−ビス−無水トリメリット酸エステル、ペンタンジオール−ビス−無水トリメリット酸エステルが好ましい。
アミノ基を有する化合物としては、一般式(4)で表される化合物が好ましい。
Of these, pyromellitic dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic acid is used from the viewpoint of lowering the glass transition temperature (Tg-2) of the film obtained by baking the photosensitive layer. Dianhydride, 2,3,3 ′, 4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 2,2 ′, 3,3′-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 3,3 ′, 4,4′- Benzophenone tetracarboxylic dianhydride, 2,2 ′, 3,3′-benzophenone tetracarboxylic dianhydride, 2,2-bis (3,4-dicarboxyphenyl) propane dianhydride, 2,2-bis (2,3-dicarboxyphenyl) propane dianhydride, 1,1-bis (3,4-dicarboxyphenyl) ethane dianhydride, 1,1-bis (2,3-dicarboxyphenyl) ethane dianhydride Bis (3,4- Dicarboxyphenyl) methane dianhydride, bis (2,3-dicarboxyphenyl) methane dianhydride, bis (3,4-dicarboxyphenyl) sulfone dianhydride, 3,3′-oxydiphthalic dianhydride, 4,4′-oxydiphthalic dianhydride, 2,2-bis (4- (4-aminophenoxy) phenyl) propane, 1,3-dihydro-1,3-dioxo-5-isobenzofurancarboxylic acid-1, 4-phenylene ester, ethylene glycol-bis-trimellitic anhydride ester, butanediol-bis-trimellitic anhydride ester, pentanediol-bis-trimellitic anhydride ester are preferred.
As a compound which has an amino group, the compound represented by General formula (4) is preferable.

Figure 2009109591
Figure 2009109591

(Rは炭素数2以上のアルキレン基を表し、nは1以上の整数を表す。)
具体的には、R=C、t−C、Cで表される化合物が挙げられる。
また、前記アミノ基を有する化合物とそれ以外のアミノ基を有する化合物を同時に用いることが可能である。具体的には1,4−ジアミノベンゼン、1,3−ジアミノベンゼン、2,4−ジアミノトルエン、4,4’−ジアミノジフェニルメタン、4,4’−ジアミノジフェニルエーテル、3,4’−ジアミノジフェニルエーテル、3,3’−ジメチル−4,4’−ジアミノビフェニル、2,2’−ジメチル−4,4’−ジアミノビフェニル、2,2’−ビス(トリフルオロメチル)−4,4’−ジアミノビフェニル、3,7−ジアミノ−ジメチルベンゾチオフェン−5,5−ジオキシド、4,4’−ジアミノベンゾフェノン、3,3’−ジアミノベンゾフェノン、4,4’−ビス(4−アミノフェニル)スルフィド、4,4’−ジアミノジフェニルスルホン、4,4’−ジアミノベンズアニリド、1,n−ビス(4−アミノフェノキシ)アルカン、1,3−ビス(4−アミノフェノキシ)−2,2−ジメチルプロパン、1,2−ビス[2−(4−アミノフェノキシ)エトキシ]エタン、9,9−ビス(4−アミノフェニル)フルオレン、5(6)−アミノ−1−(4−アミノメチル)−1,3,3−トリメチルインダン、1,4−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,3−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,3−ビス(3−アミノフェノキシ)ベンゼン、4,4’−ビス(4−アミノフェノキシ)ビフェニル、4,4’−ビス(3−アミノフェノキシ)ビフェニル、2,2−ビス(4−アミノフェノキシフェニル)プロパン、ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]スルホン、ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]スルホン、2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]ヘキサフルオロプロパン、3,3’−ジカルボキシ−4,4’−ジアミノジフェニルメタン、4,6−ジヒドロキシ−1,3−フェニレンジアミン、3,3’−ジヒドロキシ−4,4’−ジアミノビフェニル、1,4−ビス(4−アミノフェノキシ)ペンタン、1,5−ビス(4'−アミノフェノキシ)ペンタン、ビス(γ−アミノプロピル)テトラメチルジシロキサン、1,4−ビス(γ−アミノプロピルジメチルシリル)ベンゼン、ビス(4−アミノブチル)テトラメチルジシロキサン、ビス(γ−アミノプロピル)テトラフェニルジシロキサン、式(5)で表されるジアミノシロキサン化合物などが挙げられる。これらは単独で用いても2種以上を用いてもよい。
(R 1 represents an alkylene group having 2 or more carbon atoms, and n represents an integer of 1 or more.)
Specifically, a compound represented by R 1 = C 2 H 4, t-C 3 H 6, C 4 H 8 and the like.
Moreover, it is possible to use the compound which has the said amino group, and the compound which has the other amino group simultaneously. Specifically, 1,4-diaminobenzene, 1,3-diaminobenzene, 2,4-diaminotoluene, 4,4′-diaminodiphenylmethane, 4,4′-diaminodiphenyl ether, 3,4′-diaminodiphenyl ether, 3 , 3′-dimethyl-4,4′-diaminobiphenyl, 2,2′-dimethyl-4,4′-diaminobiphenyl, 2,2′-bis (trifluoromethyl) -4,4′-diaminobiphenyl, 3, , 7-diamino-dimethylbenzothiophene-5,5-dioxide, 4,4′-diaminobenzophenone, 3,3′-diaminobenzophenone, 4,4′-bis (4-aminophenyl) sulfide, 4,4′- Diaminodiphenylsulfone, 4,4′-diaminobenzanilide, 1, n-bis (4-aminophenoxy) alkane, 1,3-bis (4- Minophenoxy) -2,2-dimethylpropane, 1,2-bis [2- (4-aminophenoxy) ethoxy] ethane, 9,9-bis (4-aminophenyl) fluorene, 5 (6) -amino-1 -(4-aminomethyl) -1,3,3-trimethylindane, 1,4-bis (4-aminophenoxy) benzene, 1,3-bis (4-aminophenoxy) benzene, 1,3-bis (3 -Aminophenoxy) benzene, 4,4'-bis (4-aminophenoxy) biphenyl, 4,4'-bis (3-aminophenoxy) biphenyl, 2,2-bis (4-aminophenoxyphenyl) propane, bis [ 4- (4-aminophenoxy) phenyl] sulfone, bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] sulfone, 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) Enyl] hexafluoropropane, 3,3′-dicarboxy-4,4′-diaminodiphenylmethane, 4,6-dihydroxy-1,3-phenylenediamine, 3,3′-dihydroxy-4,4′-diaminobiphenyl, 1,4-bis (4-aminophenoxy) pentane, 1,5-bis (4′-aminophenoxy) pentane, bis (γ-aminopropyl) tetramethyldisiloxane, 1,4-bis (γ-aminopropyldimethyl) Examples thereof include silyl) benzene, bis (4-aminobutyl) tetramethyldisiloxane, bis (γ-aminopropyl) tetraphenyldisiloxane, and a diaminosiloxane compound represented by the formula (5). These may be used alone or in combination of two or more.

Figure 2009109591
Figure 2009109591

(rは2〜12の整数である。)
これらのうち、Tg−2を下げるという観点から、1,4−ジアミノベンゼン、1,3−ジアミノベンゼン、2,4−ジアミノトルエン、4,4’−ジアミノジフェニルメタン、4,4’−ジアミノジフェニルエーテル、3,4’−ジアミノジフェニルエーテル、3,3’−ジメチル−4,4’−ジアノビフェニル、2,2’−ジメチル−4,4’−ジアミノビフェニル、3,7−ジアミノ−ジメチルベンゾチオフェン−5,5−ジオキシド、4,4’−ジアミノベンゾフェノン、3,3’−ジアミノベンゾフェノン、4,4’−ビス(4−アミノフェニル)スルフィド、4,4’−ジアミノジフェニルスルホン、4,4’−ジアミノベンズアニリド、1,n−ビス(4−アミノフェノキシ)アルカン、1,3−ビス(4−アミノフェノキシ)−2,2−ジメチルプロパン、1,2−ビス[2−(4−アミノフェノキシ)エトキシ]エタン、9,9−ビス(4−アミノフェニル)フルオレン、5(6)−アミノ−1−(4−アミノメチル)−1,3,3−トリメチルインダン、1,4−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,3−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,3−ビス(3−アミノフェノキシ)ベンゼン、4,4’−ビス(4−アミノフェノキシ)ビフェニル、4,4’−ビス(3−アミノフェノキシ)ビフェニル、2,2−ビス(4−アミノフェノキシフェニル)プロパン、ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]スルホン、ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]スルホン、4,6−ジヒドロキシ−1,3−フェニレンジアミン、3,3’−ジヒドロキシ−4,4’−ジアミノビフェニル、1,4−ビス(4−アミノフェノキシ)ペンタン、1,5−ビス(4'−アミノフェノキシ)ペンタン、ビス(γ−アミノプロピル)テトラメチルジシロキサン、1,4−ビス(γ−アミノプロピルジメチルシリル)ベンゼン、ビス(4−アミノブチル)テトラメチルジシロキサン、ビス(γ−アミノプロピル)テトラフェニルジシロキサン、式(5)で表されるジアミンが好ましい。
(R is an integer of 2 to 12)
Among these, from the viewpoint of lowering Tg-2, 1,4-diaminobenzene, 1,3-diaminobenzene, 2,4-diaminotoluene, 4,4′-diaminodiphenylmethane, 4,4′-diaminodiphenyl ether, 3,4′-diaminodiphenyl ether, 3,3′-dimethyl-4,4′-dianobiphenyl, 2,2′-dimethyl-4,4′-diaminobiphenyl, 3,7-diamino-dimethylbenzothiophene-5 , 5-dioxide, 4,4′-diaminobenzophenone, 3,3′-diaminobenzophenone, 4,4′-bis (4-aminophenyl) sulfide, 4,4′-diaminodiphenylsulfone, 4,4′-diamino Benzanilide, 1, n-bis (4-aminophenoxy) alkane, 1,3-bis (4-aminophenoxy) -2,2-dimethyl Rupropane, 1,2-bis [2- (4-aminophenoxy) ethoxy] ethane, 9,9-bis (4-aminophenyl) fluorene, 5 (6) -amino-1- (4-aminomethyl) -1 , 3,3-trimethylindane, 1,4-bis (4-aminophenoxy) benzene, 1,3-bis (4-aminophenoxy) benzene, 1,3-bis (3-aminophenoxy) benzene, 4,4 '-Bis (4-aminophenoxy) biphenyl, 4,4'-bis (3-aminophenoxy) biphenyl, 2,2-bis (4-aminophenoxyphenyl) propane, bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl ] Sulfone, bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] sulfone, 4,6-dihydroxy-1,3-phenylenediamine, 3,3′-dihydroxy- , 4′-diaminobiphenyl, 1,4-bis (4-aminophenoxy) pentane, 1,5-bis (4′-aminophenoxy) pentane, bis (γ-aminopropyl) tetramethyldisiloxane, 1,4- Bis (γ-aminopropyldimethylsilyl) benzene, bis (4-aminobutyl) tetramethyldisiloxane, bis (γ-aminopropyl) tetraphenyldisiloxane, and a diamine represented by formula (5) are preferred.

Figure 2009109591
Figure 2009109591

(rは2〜12の整数である。) 本発明の感光性ポリアミド樹脂組成物を脱溶剤して得られる感光層のTg(Tg−1)は120℃以下であることが好ましく、100℃以下であることがより好ましく、90℃以下であることがさらに好ましい。Tg−1を120℃以下とすることで、脱溶剤に伴う応力を除去でき、支持フィルムおよび該感光層からなるフィルム(以下感光性ドライフィルム)の反りを低減することが可能となる。
ポリイミド前駆体を合成する際、必要に応じて、単官能の酸無水物、単官能カルボン酸、単官能アミンを用いて高分子末端を封止してもよい。
また本発明に用いられるポリイミド前駆体のカルボキシル基の一部を、アルコール化合物など公知の化合物、および方法を用いてエステル化することも可能である。
(R is an integer of 2 to 12.) Tg (Tg-1) of the photosensitive layer obtained by removing the solvent from the photosensitive polyamide resin composition of the present invention is preferably 120 ° C or lower, and 100 ° C or lower. It is more preferable that it is 90 degreeC or less. By setting Tg-1 to 120 ° C. or lower, it is possible to remove the stress associated with solvent removal, and to reduce the warp of the support film and the film composed of the photosensitive layer (hereinafter referred to as photosensitive dry film).
When synthesizing a polyimide precursor, a polymer terminal may be sealed with a monofunctional acid anhydride, a monofunctional carboxylic acid, or a monofunctional amine as necessary.
Moreover, it is also possible to esterify a part of carboxyl group of the polyimide precursor used for this invention using well-known compounds, such as an alcohol compound, and a method.

(B)感光剤
本発明に用いられる(B)感光剤は、活性光線照射により酸を発生する化合物が好ましい。中でもキノンジアジド化合物が好ましい。例えば米国特許第2797213号、3669658号に記載のものを用いることができる。その中でも、フェノール化合物と1,2−ナフトキノン−2−ジアジド−4−スルホン酸又は、1,2−ナフトキノン−2−ジアジド−5−スルホン酸とのエステル化合物が好ましい。これらは単独で用いてもよいし、2種類以上組み合わせて用いてもよい。
本発明に用いられる(B)感光剤の配合量は、(A)ポリアミド樹脂100重量部に対して5〜30重量部が好ましく、10〜20重量部がさらに好ましい。感光剤の配合量は、感度の点から5重量部以上、光の吸収の点から30重量部以下が好ましい。
(B) Photosensitizer (B) The photosensitizer used in the present invention is preferably a compound that generates an acid upon irradiation with actinic rays. Of these, quinonediazide compounds are preferred. For example, those described in US Pat. No. 2,797,213, 3669658 can be used. Among these, an ester compound of a phenol compound and 1,2-naphthoquinone-2-diazide-4-sulfonic acid or 1,2-naphthoquinone-2-diazide-5-sulfonic acid is preferable. These may be used alone or in combination of two or more.
The blending amount of the photosensitive agent (B) used in the present invention is preferably 5 to 30 parts by weight, more preferably 10 to 20 parts by weight, based on 100 parts by weight of the (A) polyamide resin. The blending amount of the photosensitive agent is preferably 5 parts by weight or more from the viewpoint of sensitivity and 30 parts by weight or less from the viewpoint of light absorption.

(C)有機溶剤
本発明の感光性ポリアミド樹脂組成物には(C)有機溶剤を含有していてもよい。(C)有機溶剤としては、アルカリ現像液への溶解性の観点からγ−ブチロラクトン、乳酸エチルなどのエステル化合物、テトラヒドロフランなどのエーテル化合物が好ましい。これらの有機溶剤は単独で使用してもよいし、2種以上を組み合わせて使用してもよい。本発明に用いることのできる有機溶剤は、ポリアミド樹脂100重量部に対し120〜900重量部が好ましい。
(C) Organic solvent The photosensitive polyamide resin composition of the present invention may contain (C) an organic solvent. (C) As the organic solvent, ester compounds such as γ-butyrolactone and ethyl lactate and ether compounds such as tetrahydrofuran are preferable from the viewpoint of solubility in an alkali developer. These organic solvents may be used alone or in combination of two or more. The organic solvent that can be used in the present invention is preferably 120 to 900 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the polyamide resin.

本発明に用いる有機溶剤には、必要に応じて、γ−ブチロラクトンよりも低沸点である溶媒を配合することができる。低沸点溶媒を配合することにより、乾燥時の発泡を抑制することができる。
低沸点溶媒としては、具体的には、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトンなどのケトン類、エチルアルコール、イソプロピルアルコール、n−ブタノール、エチレングリコール、ジエチレングリコール、トリエチレングリコール、プロピレングリコール又はヘキシレングリコール等のアルコール類、1,4−ジオキサン、トリオキサン、ジエチルアセタール、1,2−ジオキソラン、ジエチレングリコールジメチルエーテル、テトラヒドロフラン、アニソール等のエーテル類、酢酸エチル、安息香酸メチル、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノプロピルエーテルアセテート、エチレングリコールジアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノプロピルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノブチルエーテルアセテート、プロピレングリコールジアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールジアセテート等のエステル類、n−ヘプタン、n−オクタン、シクロヘキサン、ベンゼン、トルエン、キシレン、エチルベンゼン及びジエチルベンゼン等の炭化水素類が挙げられる。
In the organic solvent used in the present invention, a solvent having a boiling point lower than that of γ-butyrolactone can be blended as necessary. By blending a low boiling point solvent, foaming during drying can be suppressed.
Specific examples of the low boiling point solvent include ketones such as acetone, methyl ethyl ketone, and methyl isobutyl ketone, ethyl alcohol, isopropyl alcohol, n-butanol, ethylene glycol, diethylene glycol, triethylene glycol, propylene glycol, and hexylene glycol. Alcohols, 1,4-dioxane, trioxane, diethyl acetal, 1,2-dioxolane, ethers such as diethylene glycol dimethyl ether, tetrahydrofuran, anisole, ethyl acetate, methyl benzoate, ethylene glycol monomethyl ether acetate, ethylene glycol monoethyl ether acetate , Ethylene glycol monopropyl ether acetate, ethylene glycol diacetate, propylene glycol Monomethyl ether acetate, propylene glycol monoethyl ether acetate, propylene glycol monopropyl ether acetate, propylene glycol monobutyl ether acetate, propylene glycol diacetate, diethylene glycol monomethyl ether acetate, diethylene glycol monoethyl ether acetate, diethylene glycol diacetate and other esters, n -Hydrocarbons such as heptane, n-octane, cyclohexane, benzene, toluene, xylene, ethylbenzene and diethylbenzene.

(可塑剤)
本発明の感光性ポリアミド樹脂組成物には必要に応じて可塑剤を配合することが出来る。可塑剤は、ベイク後のフィルムと基板から成るシートの反りを低減する観点から、一般式(6)で示される化合物が好ましい。
(Plasticizer)
A plasticizer can be mix | blended with the photosensitive polyamide resin composition of this invention as needed. The plasticizer is preferably a compound represented by the general formula (6) from the viewpoint of reducing warpage of a sheet composed of a film after baking and a substrate.

Figure 2009109591
Figure 2009109591

(uは0以上の整数。R13、R14は単結合、酸素原子、2価以上の有機基。
X1からX14は水素原子、水酸基、有機基を表し、それぞれ同一でも異なっていても良い。)
具体的には、ジヒドロキシジフェニルメタン、4,4’−ジオキシフェノール、1,4−ビス−(3−ヒドロキシフェノキシ)−ベンゼン、1,3−ビス−(4−ヒドロキシフェノキシ)−ベンゼン、1,5−ビス−(o−ヒドロキシフェノキシ)−3−オキサペンタン、α、α’−ビス−(4−ヒドロキシフェニル)−1,4−ジイソプロピルベンゼンなどの2核体、トリス(ヒドロキシフェニル)メタン、トリス(ヒドロキシフェニル)エタン、4−{4−[1,1−ビス(4−ヒドロキシフェニル)エチル]−α,α−ジメチルベンジル}フェノールなどの3核体などが挙げられる。これらのフェノール化合物は単独で用いても2種類以上組み合わせて用いても良い。
(U is an integer greater than or equal to 0. R < 13 >, R < 14 > is a single bond, an oxygen atom, and a bivalent or more organic group.
X1 to X14 represent a hydrogen atom, a hydroxyl group, or an organic group, and may be the same or different. )
Specifically, dihydroxydiphenylmethane, 4,4′-dioxyphenol, 1,4-bis- (3-hydroxyphenoxy) -benzene, 1,3-bis- (4-hydroxyphenoxy) -benzene, 1,5 -Binuclear compounds such as bis- (o-hydroxyphenoxy) -3-oxapentane, α, α′-bis- (4-hydroxyphenyl) -1,4-diisopropylbenzene, tris (hydroxyphenyl) methane, tris ( And trinuclear compounds such as hydroxyphenyl) ethane and 4- {4- [1,1-bis (4-hydroxyphenyl) ethyl] -α, α-dimethylbenzyl} phenol. These phenol compounds may be used alone or in combination of two or more.

本発明にもちいることのできる可塑剤には一般式(7)で示される化合物も好適に用いることができる。   As the plasticizer that can be used in the present invention, a compound represented by the general formula (7) can also be suitably used.

Figure 2009109591
Figure 2009109591

(R15からR17は、エチレングリコール鎖および/またはプロピレングリコール鎖を含む有機基であり、それぞれ同一でも異なっていても良い。)
具体的には一般式(8)および一般式(9)で示される化合物が挙げられるがこれに限られたものではない。
(R 15 to R 17 are organic groups containing an ethylene glycol chain and / or a propylene glycol chain, which may be the same or different.)
Specific examples include compounds represented by general formula (8) and general formula (9), but are not limited thereto.

Figure 2009109591
Figure 2009109591

(nは0以上の整数) (N is an integer greater than or equal to 0)

Figure 2009109591
Figure 2009109591

(nは0以上の整数)
これらの化合物は単独で用いても2種類以上組み合わせて用いても良い。
また一般式(6)および一般式(7)で表される化合物を組み合わせて用いても良い。
(N is an integer greater than or equal to 0)
These compounds may be used alone or in combination of two or more.
Moreover, you may use combining the compound represented by General formula (6) and General formula (7).

(溶解抑止剤)
本発明の感光性ポリアミド樹脂組成物には必要に応じて溶解抑止剤を配合することができる。溶解抑止剤を配合することで、ポリアミド樹脂のアルカリ現像液への溶解性を抑止することができる。本発明に用いられる溶解抑止剤とは、ポリアミド樹脂のカルボキシル基と水素結合する化合物をいう。ポリアミド樹脂のカルボキシル基が溶解抑止剤と水素結合することで現像液から遮蔽され、溶解を抑止することが可能となる。
(Dissolution inhibitor)
The photosensitive polyamide resin composition of the present invention may contain a dissolution inhibitor as necessary. By blending a dissolution inhibitor, the solubility of the polyamide resin in an alkaline developer can be suppressed. The dissolution inhibitor used in the present invention refers to a compound that forms a hydrogen bond with a carboxyl group of a polyamide resin. When the carboxyl group of the polyamide resin is hydrogen-bonded with the dissolution inhibitor, the polyamide resin is shielded from the developer, and dissolution can be suppressed.

カルボキシル基と水素結合する基を有する化合物としては、カルボン酸化合物、カルボン酸エステル化合物、アミド化合物、ウレア化合物などが挙げられる。アルカリ水溶液への溶解抑止効果及び保存安定性の観点より、アミド化合物、ウレア化合物が好ましい。
アミド化合物としては、例えば、N,N−ジエチルアセトアミド、N,N−ジイソプロピルホルムアミド、N,N−ジメチルブチルアミド、N,N−ジブチルアセトアミド、N,N−ジプロピルアセトアミド、N,N−ジブチルホルムアミド、N,N−ジエチルプロピオンアミド、N,N−ジメチルプロピオンアミド、N,N’−ジメトキシ−N,N’−ジメチロキサミド、N−メチル−ε−カプロラクタム、4−ヒドロキシフェニルベンズアミド、サリチルアミド、サリチルアニリド、アセトアニリド、2’−ヒドロキシフェニルアセトアニリド、3’−ヒドロキシフェニルアセトアニリド、4’−ヒドロキシフェニルアセトアニリドが挙げられる。
Examples of the compound having a group capable of hydrogen bonding with a carboxyl group include a carboxylic acid compound, a carboxylic acid ester compound, an amide compound, and a urea compound. An amide compound and a urea compound are preferable from the viewpoint of the effect of inhibiting dissolution in an alkaline aqueous solution and storage stability.
Examples of the amide compound include N, N-diethylacetamide, N, N-diisopropylformamide, N, N-dimethylbutyramide, N, N-dibutylacetamide, N, N-dipropylacetamide, N, N-dibutylformamide. N, N-diethylpropionamide, N, N-dimethylpropionamide, N, N′-dimethoxy-N, N′-dimethyloxamide, N-methyl-ε-caprolactam, 4-hydroxyphenylbenzamide, salicylamide, salicylanilide , Acetanilide, 2′-hydroxyphenylacetanilide, 3′-hydroxyphenylacetanilide, 4′-hydroxyphenylacetanilide.

中でも、感光層及び該感光層をベイクすることで得られたフィルムの低Tg化、感光層の高感度化、高残膜率化の観点より、芳香族水酸基を含有するアミド化合物がより好ましい。具体的には、4−ヒドロキシフェニルベンズアミド、3’−ヒドロキシフェニルアセトアニリド、4’−ヒドロキシフェニルアセトアニリドが挙げられる。これらは単独で使用してもよいし、2種以上を組み合わせて使用してもよい。
ウレア化合物としては、例えば、1,3−ジメチルウレア、テトラメチルウレア、テトラエチルウレア、1,3−ジフェニルウレア、3−ヒドロキシフェニルウレアが挙げられる。中でも、高感度化、高残膜率化、感光層及び該感光層をベイクすることにより得られたフィルムの低Tg化の観点より、芳香族水酸基を含有するウレア化合物がより好ましい。具体的には3−ヒドロキシフェニルウレアが挙げられる。これらは単独で使用してもよいし、2種以上を組み合わせて使用してもよい。
Among these, an amide compound containing an aromatic hydroxyl group is more preferable from the viewpoints of lowering the Tg of the photosensitive layer and the film obtained by baking the photosensitive layer, increasing the sensitivity of the photosensitive layer, and increasing the residual film ratio. Specific examples include 4-hydroxyphenylbenzamide, 3′-hydroxyphenylacetanilide, and 4′-hydroxyphenylacetanilide. These may be used alone or in combination of two or more.
Examples of the urea compound include 1,3-dimethylurea, tetramethylurea, tetraethylurea, 1,3-diphenylurea, and 3-hydroxyphenylurea. Among these, a urea compound containing an aromatic hydroxyl group is more preferable from the viewpoint of increasing sensitivity, increasing the residual film ratio, reducing the Tg of the photosensitive layer and the film obtained by baking the photosensitive layer. Specific examples include 3-hydroxyphenylurea. These may be used alone or in combination of two or more.

本発明に用いることのできる溶解抑止剤は、アミド化合物を用いる場合、(A)ポリアミド樹脂のカルボキシル基1molに対して、溶解抑止効果発現の点から0.1mol〜1.5molを配合することが好ましく、0.15〜1.0mol配合することがより好ましい。
本発明に用いられる(B)溶解抑止剤は、ウレア化合物を用いる場合、(A)ポリイミド前駆体のカルボキシル基1molに対して、溶解抑止効果発現の点から0.1mol〜1.5molが好ましい。溶解抑止効果発現及びアルカリ現像後のベイクで得られるポリイミドの機械物性の観点から、0.15〜0.5mol配合することがより好ましい。
When the amide compound is used as the dissolution inhibitor that can be used in the present invention, (A) 0.1 mol to 1.5 mol may be blended with respect to 1 mol of the carboxyl group of the polyamide resin in terms of the dissolution inhibition effect. Preferably, 0.15-1.0 mol is blended.
In the case of using a urea compound, the (B) dissolution inhibitor used in the present invention is preferably 0.1 mol to 1.5 mol in terms of the dissolution inhibition effect with respect to 1 mol of the carboxyl group of (A) the polyimide precursor. From the viewpoint of the dissolution inhibiting effect and the mechanical properties of polyimide obtained by baking after alkali development, it is more preferable to add 0.15 to 0.5 mol.

また、アミド化合物とウレア化合物の両方を用いる場合には、アミド化合物とウレア化合物の総量が、溶解抑止効果の観点から、(A)ポリイミド前駆体のカルボキシル基1molに対して、0.1mol〜1.5molの範囲が好ましい。
本発明では、ベイク後のフィルムの機械物性を向上させる目的で、架橋剤を配合することができる。架橋剤としては式(10)で表されるテトラカルボン酸化合物又はテトラカルボン酸エステル化合物、式(11)で表されるポリアミド酸化合物又はカルボキシル基含有ポリアミド酸エステル化合物が好ましい。
Moreover, when using both an amide compound and a urea compound, the total amount of an amide compound and a urea compound is 0.1 mol-1 with respect to 1 mol of carboxyl groups of the (A) polyimide precursor from a viewpoint of a dissolution inhibitory effect. A range of .5 mol is preferred.
In this invention, a crosslinking agent can be mix | blended in order to improve the mechanical physical property of the film after baking. As the crosslinking agent, a tetracarboxylic acid compound or a tetracarboxylic acid ester compound represented by the formula (10), a polyamic acid compound represented by the formula (11) or a carboxyl group-containing polyamic acid ester compound is preferable.

Figure 2009109591
Figure 2009109591

(R18は4価の有機基、R19〜R22は水素又は炭素数1〜20の有機基であり、それぞれ同一でも異なっていてもよい。) (R 18 is a tetravalent organic group, and R 19 to R 22 are hydrogen or an organic group having 1 to 20 carbon atoms, which may be the same or different.)

Figure 2009109591
Figure 2009109591

(R23、R25、R27は4価の有機基であり、それぞれ同一でも異なっていてもよい。R24、R26は2価〜4価の有機基であり、それぞれ同一でも異なっていてもよい。R28〜R33は水素又は炭素数が1〜20の有機基であり、それぞれ同一でも異なっていてもよい。vは0〜100の整数である。) (R 23 , R 25 and R 27 are tetravalent organic groups which may be the same or different. R24 and R 26 are divalent to tetravalent organic groups which may be the same or different. R 28 to R 33 are hydrogen or an organic group having 1 to 20 carbon atoms, and may be the same or different, and v is an integer of 0 to 100.)

本発明に用いることのできる架橋剤の配合量は、ポリアミド樹脂の残アミノ基のモル数に対して、架橋効果発現の観点から、0.1mol〜1.5molが好ましく、0.5mol〜1.1molがより好ましい。
残アミノ基量は高速液体クロマトグラフィーを用いて算出することが可能である。
本発明の感光性ポリアミド樹脂組成物には、必要に応じて、熱塩基発生剤を含むことができる。熱塩基発生剤とは、加熱することで塩基を発生する化合物のことである。例えば、アミンなどの塩基を、スルホン酸などの酸で塩構造を作る、ジカーボネート化合物により保護する、酸クロライド化合物により保護する。それにより、室温では塩基性を発現せず安定であり、加熱により脱保護し、塩基を発生させる熱塩基発生剤とすることができる。
The amount of the crosslinking agent that can be used in the present invention is preferably from 0.1 mol to 1.5 mol, preferably from 0.5 mol to 1. 1 mol is more preferable.
The amount of residual amino groups can be calculated using high performance liquid chromatography.
The photosensitive polyamide resin composition of the present invention can contain a thermal base generator, if necessary. A thermal base generator is a compound that generates a base by heating. For example, a base such as an amine is protected with an acid chloride compound, which is protected with a dicarbonate compound, which forms a salt structure with an acid such as a sulfonic acid. Thereby, it is stable without exhibiting basicity at room temperature, and can be a thermal base generator that generates a base by deprotection by heating.

該熱塩基発生剤を配合することで、ポリアミド樹脂としてポリアミド酸又はカルボキシル基含有ポリアミド酸エステルを用いる場合、現像後の加熱イミド化の温度を比較的低温にすることが可能となる。
熱塩基発生剤としては、具体的にはU−CAT(登録商標) SA810、U−CAT SA831、U−CAT SA841、U−CAT SA851(以上商品名 サンアプロ社製)、N−(イソプロポキシカルボニル)−2,6−ジメチルピペリジン、N−(tert−ブトキシカルボニル)−2,6−ジメチルピペリジン、N−(ベンジロキシカルボニル)−2,6−ジメチルピペリジン、1,3−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼンの両方のアミンを二炭酸ジブチルで保護した化合物などが挙げられる。
By blending the thermal base generator, when a polyamic acid or a carboxyl group-containing polyamic acid ester is used as the polyamide resin, the temperature of the heating imidization after development can be made relatively low.
Specific examples of the thermal base generator include U-CAT (registered trademark) SA810, U-CAT SA831, U-CAT SA841, U-CAT SA851 (trade name, manufactured by San Apro), N- (isopropoxycarbonyl). -2,6-dimethylpiperidine, N- (tert-butoxycarbonyl) -2,6-dimethylpiperidine, N- (benzyloxycarbonyl) -2,6-dimethylpiperidine, 1,3-bis (4-aminophenoxy) Examples include compounds in which both amines of benzene are protected with dibutyl dicarbonate.

感光性ポリアミド樹脂組成物の保存安定性、脱溶剤による安定性、アルカリ溶解性、イオンマイグレーション性の観点より、N−(イソプロポキシカルボニル)−2,6−ジメチルピペリジン、N−(tert−ブトキシカルボニル)−2,6−ジメチルピペリジン、N−(ベンジロキシカルボニル)−2,6−ジメチルピペリジン、1,3−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼンの両方のアミンを二炭酸ジブチルで保護した化合物が好ましい。該化合物は、例えばChemistry Letters Vol.34、No.10(2005)に記載の公知の方法により合成できる。
熱塩基発生剤の配合量は、イミド化の促進及び現像性能の観点から、アルカリ可溶性樹脂100重量部に対して1〜30重量部が好ましく、1〜20重量部がより好ましい。
N- (isopropoxycarbonyl) -2,6-dimethylpiperidine, N- (tert-butoxycarbonyl) from the viewpoints of storage stability of the photosensitive polyamide resin composition, stability by solvent removal, alkali solubility, and ion migration ) -2,6-dimethylpiperidine, N- (benzyloxycarbonyl) -2,6-dimethylpiperidine, 1,3-bis (4-aminophenoxy) benzene, both amines protected with dibutyl dicarbonate are preferred. . The compounds are described, for example, in Chemistry Letters Vol. 34, no. 10 (2005).
The blending amount of the thermal base generator is preferably from 1 to 30 parts by weight, more preferably from 1 to 20 parts by weight, based on 100 parts by weight of the alkali-soluble resin, from the viewpoint of promoting imidization and developing performance.

本発明の感光性ポリアミド樹脂組成物には、支持フィルムとの濡れ性を向上させる目的で、必要に応じてエタノール、2−プロパノール、エチレングリコールなどのアルコール類、乳酸エチル、安息香酸メチル、エチレングリコールモノプロピルアセテートなどのエステル類、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトンなどのケトン類、n−ブチルエーテル、テトラヒドロフラン、ジオキサンなどのエーテル類、エチレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテルなどのグリコールエーテル類を配合することが出来る。
本発明にの感光性ポリアミド樹脂組成物には、必要に応じてイミダゾール化合物、トリアゾール化合物、テトラゾール化合物、スルフィド化合物を配合することができる。これらの化合物を配合することによって、銅基板との接着性を改善することができる。
The photosensitive polyamide resin composition of the present invention includes alcohols such as ethanol, 2-propanol and ethylene glycol, ethyl lactate, methyl benzoate and ethylene glycol as necessary for the purpose of improving the wettability with the support film. Mixing esters such as monopropyl acetate, ketones such as methyl ethyl ketone and methyl isobutyl ketone, ethers such as n-butyl ether, tetrahydrofuran and dioxane, glycol ethers such as ethylene glycol monoethyl ether and propylene glycol monoethyl ether I can do it.
In the photosensitive polyamide resin composition of the present invention, an imidazole compound, a triazole compound, a tetrazole compound, and a sulfide compound can be blended as necessary. By blending these compounds, the adhesion to the copper substrate can be improved.

(感光性ドライフィルムの作製)
本発明にの感光性ポリアミド樹脂組成物を用いて、感光性ドライフィルムを作製することが可能である。感光性ドライフィルムとは、支持フィルムに当該感光性ポリアミド樹脂組成物を塗布し、溶媒を乾燥させることにより得られる。支持フィルムとしては低密度ポリエチレン、高密度ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリエステル、ポリカーボネート、ポリアリレート、ポリアクリロニトリル、エチレン/シクロデセン共重合体(三井化学製、商品名:APEL)等を用いることができる。またキャリアフィルムの厚みは、塗工性、付着性、ロール性、強靱性、コスト等を考慮し、通常15〜100μm、好ましくは15〜75μmである。
(Production of photosensitive dry film)
It is possible to produce a photosensitive dry film using the photosensitive polyamide resin composition of the present invention. The photosensitive dry film is obtained by applying the photosensitive polyamide resin composition to a support film and drying the solvent. As the support film, low density polyethylene, high density polyethylene, polypropylene, polyester, polycarbonate, polyarylate, polyacrylonitrile, ethylene / cyclodecene copolymer (trade name: APEL, manufactured by Mitsui Chemicals) and the like can be used. The thickness of the carrier film is usually from 15 to 100 μm, preferably from 15 to 75 μm, in consideration of coatability, adhesion, rollability, toughness, cost and the like.

感光性ポリアミド樹脂組成物の塗布は、上記の支持フィルムにリバースロールコーターやグラビアロールコーター、コンマコーター、リップコーター、スロットダイコーターなど公知の方法を用いて行うことが出来る。
溶媒の乾燥は熱風乾燥や遠赤外線、近赤外線を用いた乾燥機により、温度50〜120℃で行うことができる。脱溶剤により得られた感光層の膜厚は、5〜100μmが好ましく、より好ましくは5〜50μmである。膜厚は、絶縁信頼性の観点から5μm以上が好ましく、良好な線像を得るという観点から100μm以下が好ましい。
The photosensitive polyamide resin composition can be applied to the above support film using a known method such as a reverse roll coater, a gravure roll coater, a comma coater, a lip coater, or a slot die coater.
Drying of the solvent can be performed at a temperature of 50 to 120 ° C. with a dryer using hot air drying, far infrared rays, or near infrared rays. The thickness of the photosensitive layer obtained by solvent removal is preferably 5 to 100 μm, more preferably 5 to 50 μm. The film thickness is preferably 5 μm or more from the viewpoint of insulation reliability, and preferably 100 μm or less from the viewpoint of obtaining a good line image.

当該感光性ドライフィルムにカバーフィルムを積層させ、感光性積層フィルムとすることができる。カバーフィルムを積層させることで、感光層の支持フィルムへの接着を防止することができる。カバーフィルムとしては、低密度ポリエチレン、高密度ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリエステル、ポリカーボネート、ポリアリレート、ポリアクリロニトリル、エチレン/シクロデセン共重合体(三井化学製、商品名:APEL)を用いることができる。
本発明の感光性ポリアミド樹脂組成物はカバーレイとして使用することができる。カバーレイとは、シリコンウェハ、銅張積層板、FPCなどの上に形成された配線を保護する保護膜をいう。
A cover film can be laminated on the photosensitive dry film to form a photosensitive laminated film. By laminating the cover film, adhesion of the photosensitive layer to the support film can be prevented. As the cover film, low density polyethylene, high density polyethylene, polypropylene, polyester, polycarbonate, polyarylate, polyacrylonitrile, ethylene / cyclodecene copolymer (product name: APEL, manufactured by Mitsui Chemicals) can be used.
The photosensitive polyamide resin composition of the present invention can be used as a coverlay. A coverlay refers to a protective film that protects wiring formed on a silicon wafer, a copper clad laminate, an FPC, or the like.

(カバーレイの作製)
本発明の感光性ポリアミド樹脂組成物から感光性ドライフィルムを作製し、FPC上にカバーレイを形成させることができる。例えば、以下の工程で形成することができる。
1.本発明の感光性ポリアミド樹脂組成物から構成される感光性ドライフィルムをFPC等の回路形成された面にラミネートし感光層を形成する工程。
該感光性ドライフィルムをFPC等の回路形成された面に重ね合わせ、平面ラミネートやロールラミネート、真空プレス等の公知の方法により、40〜120℃、好ましくは60〜110℃に加熱しながら、0.2〜4MPaの圧力でラミネートすることで感光層を積層することができる。このとき該感光性ドライフィルムがカバーフィルムを積層した感光性積層フィルムの場合、ラミネート前にカバーフィルムを剥す。ラミネート可能温度を40℃以上とする事でラミネート前の位置合わせ時にタックにより手間取ったりする事が無くなり、120℃以下とすることによりイミド化が進行しすぎないでラミネート時間に余裕ができ、工程マージンを広く取ることができる。なお、ラミネート可能温度とは、気泡残り等の問題がなく、パターンへの埋め込みが充分にできると同時に、樹脂が流れすぎてパターンの外に流れ出さない粘度に感光層を制御することが可能な温度を意味する。 また、感光層のTgをラミネート温度より低くすることにより、感光性ドライフィルムのラミネートを好適に行うことが出来る。感光層のラミネート後、支持フィルムは、剥しても剥さなくても良い。支持フィルムを剥さない場合は、露光工程後に剥す。
(Coverlay production)
A photosensitive dry film can be produced from the photosensitive polyamide resin composition of the present invention, and a coverlay can be formed on the FPC. For example, it can be formed by the following steps.
1. A step of laminating a photosensitive dry film composed of the photosensitive polyamide resin composition of the present invention on a circuit-formed surface such as an FPC to form a photosensitive layer.
The photosensitive dry film is superposed on a circuit-formed surface such as FPC, and heated to 40 to 120 ° C., preferably 60 to 110 ° C. by a known method such as flat lamination, roll lamination, or vacuum press. The photosensitive layer can be laminated by laminating at a pressure of 2 to 4 MPa. At this time, when the photosensitive dry film is a photosensitive laminated film in which a cover film is laminated, the cover film is peeled off before lamination. By setting the temperature at which lamination is possible to 40 ° C or higher, there is no need to take time and labor when aligning before lamination, and by setting it to 120 ° C or lower, imidization does not proceed too much, allowing for a sufficient laminating time and process margin. Can be taken widely. Note that the temperature at which lamination is possible is that there is no problem such as remaining bubbles, and the pattern can be sufficiently embedded, and at the same time, the photosensitive layer can be controlled to a viscosity at which the resin does not flow out of the pattern. It means temperature. Moreover, the photosensitive dry film can be suitably laminated by lowering the Tg of the photosensitive layer below the laminating temperature. After lamination of the photosensitive layer, the support film may or may not be peeled off. When not peeling off a support film, it peels after an exposure process.

2.該工程で得た感光層に活性光線を照射する工程。
感光層は、微細孔や微細幅ラインを形成するため、任意のパターンが描かれたフォトマスクを通して露光される。露光量は、感光性ポリアミド樹脂組成物の組成により異なるが、通常100〜3,000mJ/cm2である。この時使用される活性光線としては、例えばX線、電子線、紫外線、可視光線等が挙げられる。光源としては低圧水銀灯、高圧水銀灯、超高圧水銀灯、ハロゲンランプ等を使用することができる。本発明では水銀灯のi線(365nm)、h線(405nm)、g線(436nm)を用いるのが好ましい。 活性光線を照射する方法としては、密着露光、投影露光のいずれの方法でもよい。
2. A step of irradiating the photosensitive layer obtained in this step with actinic rays.
The photosensitive layer is exposed through a photomask on which an arbitrary pattern is drawn in order to form fine holes and fine width lines. The exposure amount varies depending on the composition of the photosensitive polyamide resin composition, but is usually 100 to 3,000 mJ / cm 2 . Examples of actinic rays used at this time include X-rays, electron beams, ultraviolet rays, and visible rays. As the light source, a low-pressure mercury lamp, a high-pressure mercury lamp, an ultra-high pressure mercury lamp, a halogen lamp, or the like can be used. In the present invention, it is preferable to use i-line (365 nm), h-line (405 nm), and g-line (436 nm) of a mercury lamp. As a method of irradiating with actinic rays, either contact exposure or projection exposure may be used.

3.活性光線を照射した部分の現像及びリンス工程。
露光後、現像液を用い、浸漬法、スプレー法などの公知の方法にて現像を行い、線像を得ることができる。現像液としては、水酸化ナトリウム水溶液、水酸化カリウム水溶液、炭酸ナトリウム水溶液、炭酸カリウム水溶液等のアルカリ水溶液が使用できる。現像後は、リンス液を用いて洗浄を行う。リンス液としては、水や水に有機溶剤を添加したものなどがある。
3. Development and rinsing process of the portion irradiated with actinic rays.
After the exposure, development can be performed by a known method such as a dipping method or a spray method using a developer, and a line image can be obtained. As the developer, an aqueous alkali solution such as an aqueous sodium hydroxide solution, an aqueous potassium hydroxide solution, an aqueous sodium carbonate solution, or an aqueous potassium carbonate solution can be used. After development, washing is performed using a rinse solution. Examples of the rinsing liquid include water and water obtained by adding an organic solvent.

4.ベイクによる樹脂パターンの形成。
現像によって得られた線像に、ベイクを行うことにより樹脂パターンが形成される。ベイクは、100℃〜200℃の温度で5分〜5時間、連続的又は段階的に行われる。そして、加工品が出来上がる。また、当該感光性ポリアミド樹脂組成物を用いる場合、前記工程で得られた線像に活性光線を照射させる、その後にベイクを行うこともできる。
このようにして得られる加工品としては、FPC、多層プリント配線板などが挙げられる。
4). Resin pattern formation by baking.
A resin pattern is formed by baking the line image obtained by development. Baking is performed continuously or stepwise at a temperature of 100 ° C. to 200 ° C. for 5 minutes to 5 hours. And the processed product is completed. Moreover, when using the said photosensitive polyamide resin composition, an actinic ray is irradiated to the line image obtained at the said process, and it can also bake after that.
Examples of the processed product thus obtained include FPC and multilayer printed wiring boards.

以下、本発明を実施例により具体的に説明するが、これらの例によって何ら限定されるものではない。
(ポリイミド前駆体の合成)
(合成例1)ポリアミド酸(I)の合成
三口セパラブルフラスコにポリテトラメチレンオキシド−ジ−p−アミノベンゾエート13.7g、γ−ブチロラクトン93gを入れ、室温下、均一溶液になるまで攪拌した。次に、ペンタンジオール−ビス−無水トリメリット酸エステル5gを加え、氷冷しながら1時間、その後室温で6時間攪拌した。次に生成物を5μmのフィルターで加圧ろ過することでポリアミド酸(I)を得た。
EXAMPLES Hereinafter, although an Example demonstrates this invention concretely, it is not limited at all by these examples.
(Synthesis of polyimide precursor)
(Synthesis Example 1) Synthesis of Polyamic Acid (I) 13.7 g of polytetramethylene oxide-di-p-aminobenzoate and 93 g of γ-butyrolactone were placed in a three-necked separable flask and stirred at room temperature until a homogeneous solution was obtained. Next, 5 g of pentanediol-bis-trimellitic anhydride ester was added, and the mixture was stirred for 1 hour while cooling with ice and then for 6 hours at room temperature. Next, the product was subjected to pressure filtration with a 5 μm filter to obtain polyamic acid (I).

(合成例2)ポリアミド酸(II)の合成
三口セパラブルフラスコにポリテトラメチレンオキシド−ジ−p−アミノベンゾエート6.8g、1,3−ビス(3−アミノフェノキシ)ベンゼン1.6g、γ−ブチロラクトン50.6gを入れ、室温下、均一溶液になるまで攪拌した。次に、ペンタンジオール−ビス−無水トリメリット酸エステル5gを加え、氷冷しながら1時間、その後室温で6時間攪拌した。次に生成物を5μmのフィルターで加圧ろ過することでポリアミド酸(II)を得た。
Synthesis Example 2 Synthesis of Polyamic Acid (II) In a three-necked separable flask, 6.8 g of polytetramethylene oxide-di-p-aminobenzoate, 1.6 g of 1,3-bis (3-aminophenoxy) benzene, γ- 50.6 g of butyrolactone was added and stirred at room temperature until a homogeneous solution was obtained. Next, 5 g of pentanediol-bis-trimellitic anhydride ester was added, and the mixture was stirred for 1 hour while cooling with ice and then for 6 hours at room temperature. Next, the product was subjected to pressure filtration with a 5 μm filter to obtain polyamic acid (II).

(合成例3)ポリアミド酸(III)の合成
三口セパラブルフラスコに1,3−ビス(3−アミノフェノキシ)ベンゼン7.8g、γ−ブチロラクトン74.3gを入れ、室温下、均一溶液になるまで攪拌した。次に、ペンタンジオール−ビス−無水トリメリット酸エステル12gを加え、氷冷しながら1時間、その後室温で6時間攪拌した。次に生成物を5μmのフィルターで加圧ろ過することでポリアミド酸(III)を得た。
(Synthesis Example 3) Synthesis of Polyamic Acid (III) Into a three-necked separable flask, 7.8 g of 1,3-bis (3-aminophenoxy) benzene and 74.3 g of γ-butyrolactone were added until a uniform solution was obtained at room temperature. Stir. Next, 12 g of pentanediol-bis-trimellitic anhydride ester was added, and the mixture was stirred for 1 hour while cooling with ice and then for 6 hours at room temperature. Next, the product was subjected to pressure filtration with a 5 μm filter to obtain polyamic acid (III).

(反りの観察)
塗工:真空吸着及び加熱できる塗工台(マツキ科学社製)にポリイミドフィルム(Kapton EN−100 商品名 東レ・デュポン社製)を置き、真空吸着させることで該ポリイミドフィルムを貼り付けた。該ポリイミドフィルム上に、ギャップが100μmのアプリケーター(マツキ科学社製)を用いて感光性ポリアミド樹脂組成物を塗布した。
脱溶剤:乾燥機(SPH−201、エスペック社製)で、60℃で30分、次いで95℃で20分の条件で脱溶剤を行った。 ベイク:乾燥機(SPH−201 エスペック社製)を用いて、昇温速度1℃/min、エアー雰囲気下、110℃で60分、140℃で60分の条件でベイクを行った。
反りの測定:ベイク後に得られたフィルムを長さ5cm、幅5cmに切り取り、反りを定規を用いて測定した。
(Observation of warping)
Coating: A polyimide film (Kapton EN-100 trade name, manufactured by Toray DuPont) was placed on a coating table (manufactured by Matsuki Kagaku Co., Ltd.) that can be vacuum-adsorbed and heated, and the polyimide film was adhered by vacuum adsorption. On the polyimide film, a photosensitive polyamide resin composition was applied using an applicator (manufactured by Matsuki Scientific Co., Ltd.) having a gap of 100 μm.
Solvent removal: Solvent removal was performed with a dryer (SPH-201, manufactured by Espec Corp.) at 60 ° C. for 30 minutes and then at 95 ° C. for 20 minutes. Baking: Using a dryer (SPH-201 manufactured by Espec Corp.), baking was performed under the conditions of a heating rate of 1 ° C./min, an air atmosphere at 110 ° C. for 60 minutes, and 140 ° C. for 60 minutes.
Measurement of warpage: The film obtained after baking was cut into a length of 5 cm and a width of 5 cm, and the warpage was measured using a ruler.

(表面タックの評価)
塗工:真空吸着及び加熱できる塗工台(マツキ科学社製)にポリイミドフィルム(R−310−25 商品名 三菱ポリエステル社製)を置き、真空吸着させることで該ポリエステルフィルムを貼り付けた。該ポリエステルフィルム上に、ギャップが100μmのアプリケーター(マツキ科学社製)を用いて感光性ポリアミド樹脂組成物を塗布した。 脱溶剤:乾燥機(SPH−201、エスペック社製)で、60℃で30分、次いで95℃で20分の条件で脱溶剤を行い感光性ドライフィルムを得た。
該感光性ドライフィルムの表面を、触診によってタック有無を評価した。フィルムに指紋がつく、ないし、タックがあった場合を○、ない場合を×とした。
(Evaluation of surface tack)
Coating: A polyimide film (R-310-25, trade name, manufactured by Mitsubishi Polyester Co., Ltd.) was placed on a coating table (manufactured by Matsuki Kagaku Co., Ltd.) that can be vacuum-adsorbed and heated, and the polyester film was adhered by vacuum adsorption. On the polyester film, a photosensitive polyamide resin composition was applied using an applicator (manufactured by Matsuki Scientific Co., Ltd.) having a gap of 100 μm. Solvent removal: A photosensitive dry film was obtained by removing the solvent with a dryer (SPH-201, manufactured by Espec Corp.) at 60 ° C. for 30 minutes and then at 95 ° C. for 20 minutes.
The surface of the photosensitive dry film was evaluated for the presence or absence of tack by palpation. The case where there was a fingerprint on the film or the film was tacked was marked as ◯, and the case where there was no fingerprint was marked as x.

[実施例1]
合成例1で得たポリアミド酸(I)10g、感光剤としてポリアミド酸に対して20重量部のキノンジアジド化合物(式12)0.42gを20ccガラス瓶に入れ、ミックスローター(MR−5 アズワン社製)により均一になるまで攪拌し感光性ポリアミド酸組成物(I)を得た。評価結果を表1に示す。
[Example 1]
10 g of the polyamic acid (I) obtained in Synthesis Example 1 and 0.42 g of a quinonediazide compound (formula 12) based on polyamic acid as a photosensitizer are placed in a 20 cc glass bottle, and a mix rotor (manufactured by MR-5 ASONE) To obtain a photosensitive polyamic acid composition (I). The evaluation results are shown in Table 1.

Figure 2009109591
Figure 2009109591

[実施例2]
合成例2で得たポリアミド酸(II)10g、感光剤としてポリアミド酸に対して20重量部のキノンジアジド化合物(式12)0.42gを20ccガラス瓶に入れ、ミックスローター(MR−5 アズワン社製)により均一になるまで攪拌し感光性ポリアミド酸組成物(II)を得た。評価結果を表1に示す。
[Example 2]
10 g of polyamic acid (II) obtained in Synthesis Example 2 and 0.42 g of quinonediazide compound (Formula 12) with respect to polyamic acid as a photosensitizer are placed in a 20 cc glass bottle, and a mix rotor (manufactured by MR-5 ASONE) To obtain a photosensitive polyamic acid composition (II). The evaluation results are shown in Table 1.

[比較例1]
合成例3で得たポリアミド酸(III)10g、感光剤としてポリアミド酸に対して20重量部のキノンジアジド化合物(式12)0.42gを20ccガラス瓶に入れ、ミックスローター(MR−5 アズワン社製)により均一になるまで攪拌し感光性ポリアミド酸組成物(III)を得た。評価結果を表1に示す。
[Comparative Example 1]
10 g of polyamic acid (III) obtained in Synthesis Example 3 and 0.42 g of quinonediazide compound (Formula 12) with respect to polyamic acid as a photosensitizer are placed in a 20 cc glass bottle, and a mixed rotor (manufactured by MR-5 ASONE) To obtain a photosensitive polyamic acid composition (III). The evaluation results are shown in Table 1.

Figure 2009109591
Figure 2009109591

本発明のポリアミド樹脂組成物、感光性ポリアミド樹脂組成物、及びそれを用いた感光性ドライフィルム、積層フィルム、樹脂パターンは、FPC用途に好適に利用できる。 The polyamide resin composition, the photosensitive polyamide resin composition, and the photosensitive dry film, laminated film, and resin pattern using the polyamide resin composition of the present invention can be suitably used for FPC applications.

実施例2で得られた組成物を脱溶剤した後のFT−IRチャートFT-IR chart after removing the solvent from the composition obtained in Example 2

Claims (7)

(A)下記一般式(1)で示されるポリアミド樹脂と、(B)感光剤と、を含有することを特徴とする感光性ポリアミド樹脂組成物。
Figure 2009109591
(Rは炭素数2以上のアルキレン基を示し、RからRは2価から4価の有機基を示す。m、nはモルパーセントを示しm+n=100、0<n<100を示す。)
A photosensitive polyamide resin composition comprising (A) a polyamide resin represented by the following general formula (1) and (B) a photosensitizer.
Figure 2009109591
(R 1 represents an alkylene group having 2 or more carbon atoms, R 2 to R 4 represent a divalent to tetravalent organic group. M and n represent mole percentages, and m + n = 100, 0 <n <100. .)
前記(A)ポリアミド樹脂中のRが、下記一般式(2)でであることを特徴とする、請求項1に記載の感光性ポリアミド樹脂組成物。
[化2]
・・・(2)
The photosensitive polyamide resin composition according to claim 1, wherein R 1 in the polyamide resin (A) is represented by the following general formula (2).
[Chemical 2]
C 4 H 8 (2)
前記(A)ポリアミド樹脂中のRが、下記一般式(3)であることを特徴とする感光性ポリアミド樹脂組成物。
[化3]
OOC−R−COOR ・・・(3)
(Rは4価の有機基を示す。R、Rは水素原子、炭素数1から20の有機基を示し、同一でも異なっていても良い。)
Wherein (A) R 2 in the polyamide resin, photosensitive polyamide resin composition which is a following general formula (3).
[Chemical 3]
R 6 OOC-R 5 -COOR 7 ··· (3)
(R 5 represents a tetravalent organic group. R 6 and R 7 represent a hydrogen atom or an organic group having 1 to 20 carbon atoms, which may be the same or different.)
前記(B)感光剤がキノンジアジド化合物であることを特徴とする、請求項1から3のいずれかに記載の感光性ポリアミド樹脂組成物。 The photosensitive polyamide resin composition according to claim 1, wherein the photosensitive agent (B) is a quinonediazide compound. 請求項1から4のいずれかに記載の感光性ポリアミド樹脂組成物の層と、支持フィルム層とを含むことを特徴とする感光性ドライフィルム。 A photosensitive dry film comprising a layer of the photosensitive polyamide resin composition according to claim 1 and a support film layer. 請求項5に記載の感光性ドライフィルムと、感光層を保護するカバーフィルムとが積層されていることを特徴とする感光性積層フィルム。 A photosensitive laminated film comprising the photosensitive dry film according to claim 5 and a cover film for protecting the photosensitive layer. 前記(A)ポリアミド樹脂がイミド化したこと請求項1から4のいずれかに記載のポリアミド樹脂を含むことを特徴とするカバーレイ。 The cover lay comprising the polyamide resin according to claim 1, wherein the (A) polyamide resin is imidized.
JP2007279505A 2007-10-26 2007-10-26 Photosensitive polyamic acid composition and photosensitive dry film Expired - Fee Related JP5065853B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007279505A JP5065853B2 (en) 2007-10-26 2007-10-26 Photosensitive polyamic acid composition and photosensitive dry film

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007279505A JP5065853B2 (en) 2007-10-26 2007-10-26 Photosensitive polyamic acid composition and photosensitive dry film

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2009109591A true JP2009109591A (en) 2009-05-21
JP5065853B2 JP5065853B2 (en) 2012-11-07

Family

ID=40778164

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2007279505A Expired - Fee Related JP5065853B2 (en) 2007-10-26 2007-10-26 Photosensitive polyamic acid composition and photosensitive dry film

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP5065853B2 (en)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2010125727A1 (en) 2009-04-28 2010-11-04 トヨタ自動車株式会社 Control portion for inverted vehicle
WO2011135887A1 (en) * 2010-04-28 2011-11-03 旭化成イーマテリアルズ株式会社 Photosensitive resin composition
JP5417323B2 (en) * 2008-05-09 2014-02-12 旭化成イーマテリアルズ株式会社 Photosensitive polyimide precursor composition, photosensitive dry film, and flexible printed wiring board

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005091399A (en) * 2003-09-12 2005-04-07 Mitsui Chemicals Inc Photosensitive resin composition, dry film and finished goods using same
JP2005134743A (en) * 2003-10-31 2005-05-26 Nitto Denko Corp Hardening type photoresist and method for forming image by using the same
JP2008216984A (en) * 2007-02-09 2008-09-18 Sony Chemical & Information Device Corp Photosensitive polyimide resin composition

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005091399A (en) * 2003-09-12 2005-04-07 Mitsui Chemicals Inc Photosensitive resin composition, dry film and finished goods using same
JP2005134743A (en) * 2003-10-31 2005-05-26 Nitto Denko Corp Hardening type photoresist and method for forming image by using the same
JP2008216984A (en) * 2007-02-09 2008-09-18 Sony Chemical & Information Device Corp Photosensitive polyimide resin composition

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5417323B2 (en) * 2008-05-09 2014-02-12 旭化成イーマテリアルズ株式会社 Photosensitive polyimide precursor composition, photosensitive dry film, and flexible printed wiring board
WO2010125727A1 (en) 2009-04-28 2010-11-04 トヨタ自動車株式会社 Control portion for inverted vehicle
WO2011135887A1 (en) * 2010-04-28 2011-11-03 旭化成イーマテリアルズ株式会社 Photosensitive resin composition
JP2012027490A (en) * 2010-04-28 2012-02-09 Asahi Kasei E-Materials Corp Photosensitive resin composition
JP4878662B2 (en) * 2010-04-28 2012-02-15 旭化成イーマテリアルズ株式会社 Photosensitive resin composition
CN102439520A (en) * 2010-04-28 2012-05-02 旭化成电子材料株式会社 Photosensitive resin composition
TWI425052B (en) * 2010-04-28 2014-02-01 Asahi Kasei E Materials Corp A photosensitive resin composition
CN102439520B (en) * 2010-04-28 2014-08-27 旭化成电子材料株式会社 Photosensitive resin composition

Also Published As

Publication number Publication date
JP5065853B2 (en) 2012-11-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5603977B2 (en) Polyimide precursor
JP5123846B2 (en) Photosensitive resin composition and photosensitive film
JP5497312B2 (en) Flexible printed circuit board
KR101716288B1 (en) Photosensitive modified polyimide resin composition and use thereof
US20100035182A1 (en) Photosensitive resin composition
WO2008007635A1 (en) Photosensitive, aqueous alkaline solution-soluble polyimide resin and photosensitive resin composition containing the same
JP2004325980A (en) Photosensitive resin composition and photosensitive dry film resist having favorable storage stability, and its use
JP2004333672A (en) Photosensitive resin composition and photosensitive dry film resist with favorable storage stability, and use method thereof
CN107407875B (en) Positive photosensitive resin composition, dry film, cured product and printed wiring board
JP5065853B2 (en) Photosensitive polyamic acid composition and photosensitive dry film
JP5068629B2 (en) Photosensitive resin composition, photosensitive dry film, photosensitive laminated film, and coverlay using the same
JP2004341058A (en) Photosensitive resin composition
JP5196148B2 (en) Photosensitive resin composition, polyimide resin film using the same, and flexible printed wiring board
JP2009109592A (en) Photosensitive resin composition, photosensitive dry film, photosensitive laminated film and coverlay using those
JP2009276526A (en) Photosensitive resin composition and flexible printed wiring board using the same
JP5571431B2 (en) Photosensitive resin composition
JP2011209521A (en) Positive photosensitive resin composition
JP2020094194A (en) Resin composition, resin sheet, cured film, cured film relief pattern manufacturing method, protective film, insulator film, electronic component, and display device
JP7370145B2 (en) Photosensitive resin composition
JP2002317022A (en) Resin composition, solder resist resin composition, and cured products of compositions
JP2001163936A (en) Resin composition, solder resist resin composition and their cured products
TWI834824B (en) Polybenzoxazole precursors, photosensitive resin compositions, dry films, cured products and electronic parts containing ester diamines
JP7336949B2 (en) Photosensitive resin composition, dry film, cured product and electronic parts
JP7312000B2 (en) Photosensitive resin compositions, dry films, cured products, and electronic components
JP2012163712A (en) Photosensitive resin composition, applications and usage thereof

Legal Events

Date Code Title Description
A711 Notification of change in applicant

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712

Effective date: 20090401

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20100812

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20120405

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20120410

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20120606

RD02 Notification of acceptance of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422

Effective date: 20120606

RD03 Notification of appointment of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423

Effective date: 20120606

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20120807

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20120810

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5065853

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150817

Year of fee payment: 3

S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

S531 Written request for registration of change of domicile

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees