JP2009103850A - Device for manufacturing display panel - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a device for manufacturing display panel, capable of readily regulating a control part and a light source, and can readily carrying out maintenance thereof. <P>SOLUTION: An application unit 20 is provided with a stool 24 contacting with its body comprising a casing 22 and a cover 23, accompanying size enlargement of the application unit 20. A control part 120 for controlling a dispenser part 112 in the body is further provided inside the stool 24. The control part 120 is thereby precluded from being arranged, at a position inconvenient for an operation by a worker, when compared to the case, where the control part 120 is assembled in the body. Work for laying a cable is not required, as compared with the case where the control part 120 is assembled in a control panel at the outside of the application unit 20. Furthermore, performance is restrained from deteriorating at controlling, and the regulation and the maintenance are restrained from becoming inefficient. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は、基板からなる表示パネルを製造する表示パネル製造装置に関する。   The present invention relates to a display panel manufacturing apparatus for manufacturing a display panel made of a substrate.

画像表示に用いられる表示パネルとしての液晶表示パネルは、2枚の基板の一方にペーストを塗布し、他方の基板と貼り合わせて製造される。基板にペーストを塗布する際、表示パネル製造装置は、基板ステージに基板を搭載して当該基板ステージを適宜移動させる。また、表示パネル製造装置は、ペーストを充填したシリンジと、当該シリンジに取り付けられたノズルとを有するディスペンサ部を適宜移動しつつ、当該ディスペンサ部から基板に向けてペーストを吐出する(例えば、特許文献1参照)。また、2枚の基板を貼り合わせる際、表示パネル製造装置は、基板に形成された位置決め用のマーク(アライメントマーク)をカメラ撮影によって検出し、この検出されたアライメントマークの位置によって2枚の基板の位置合わせを行い、更に基板を重ねた上で、一方の基板に形成された光硬化性接着剤の周辺に光を照射して仮固定を行う。
特開2004−290972号公報
A liquid crystal display panel as a display panel used for image display is manufactured by applying a paste to one of two substrates and bonding the paste to the other substrate. When applying the paste to the substrate, the display panel manufacturing apparatus mounts the substrate on the substrate stage and appropriately moves the substrate stage. The display panel manufacturing apparatus discharges the paste from the dispenser unit toward the substrate while appropriately moving a dispenser unit having a syringe filled with the paste and a nozzle attached to the syringe (for example, Patent Documents). 1). In addition, when the two substrates are bonded together, the display panel manufacturing apparatus detects a positioning mark (alignment mark) formed on the substrate by camera photographing, and the two substrates are detected based on the position of the detected alignment mark. Then, after further overlapping the substrates, light is irradiated around the photocurable adhesive formed on one substrate to temporarily fix the substrates.
JP 2004-290972 A

上述した基板ステージや塗布ヘッドの動作は制御部によって制御される。この制御部は、従来、表示パネル製造装置の本体内や、外部の制御盤に設けられている。しかしながら、制御部が本体内に設けられる場合には、表示パネル製造装置の剛性を確保すべく、本体内には複数の柱等が設置されているため、制御部を適切な位置、具体的には、作業者が操作しやすい位置に配置することが困難である。   The operations of the substrate stage and the coating head described above are controlled by the control unit. This control unit is conventionally provided in the main body of the display panel manufacturing apparatus or in an external control panel. However, when the control unit is provided in the main body, in order to ensure the rigidity of the display panel manufacturing apparatus, a plurality of pillars and the like are installed in the main body. Is difficult to arrange at a position that is easy for the operator to operate.

一方、制御部が表示パネル製造装置の外部の制御盤に設けられる場合には、制御盤を収容するラックの設置と、表示パネル製造装置と制御盤とを接続するケーブルを敷設する必要があり、当該敷設の作業に時間を要する。また、ケーブルの長さによっては、電圧の低下やノイズの混入によって、制御時の性能が悪化する可能性がある。更には、表示パネル製造装置と制御盤とが離れているため、これらの調整やメンテナンスを別の場所で行う必要があり、非効率である。   On the other hand, when the control unit is provided on the control panel outside the display panel manufacturing apparatus, it is necessary to install a rack for housing the control panel and to lay a cable connecting the display panel manufacturing apparatus and the control panel. The laying work takes time. Further, depending on the length of the cable, there is a possibility that the performance at the time of control is deteriorated due to a decrease in voltage or mixing of noise. Furthermore, since the display panel manufacturing apparatus and the control panel are separated from each other, it is necessary to perform these adjustments and maintenance in another place, which is inefficient.

また、重ね合わされた2枚の基板を仮止めするための光硬化性接着剤に対して光を照射して硬化させる場合、その光源は、従来、表示パネル製造装置の本体内に設けられる。表示パネルの大型化によって基板に形成された光硬化性接着剤が多くなることに対応して、光源も多数必要である。また、光源の稼動時に多量の熱を発生するため、冷却ファンが必要となる。従って、本体内に光源が設置されると、本体の多くの領域を占有することとなり、結果的に表示パネル製造装置の本体が必要以上に大型化してしまう。また、冷却ファンを用いて本体内を冷却することにも限度があり、貼り合わせの精度悪化、本体内の機器の寿命低下、熱対流による本体内の清浄度の悪化を招く可能性がある。   Moreover, when irradiating and hardening light with respect to the photocurable adhesive for temporarily fixing the two board | substrates piled up, the light source is conventionally provided in the main body of the display panel manufacturing apparatus. In response to the increase in the size of the display panel and the increase in the amount of the photocurable adhesive formed on the substrate, a large number of light sources are also required. In addition, since a large amount of heat is generated during operation of the light source, a cooling fan is required. Therefore, when the light source is installed in the main body, it occupies a large area of the main body, and as a result, the main body of the display panel manufacturing apparatus becomes larger than necessary. In addition, there is a limit to cooling the inside of the main body using a cooling fan, and there is a possibility that the accuracy of bonding is deteriorated, the life of equipment in the main body is reduced, and the cleanliness in the main body is deteriorated due to thermal convection.

一方、上述した問題に対して、光源を表示パネル製造装置から離れた外付けボックス内に設けることも考えられる。しかし、この場合にも、調整やメンテナンスを別の場所で行う必要があり、非効率である上、光源からの光を表示パネル製造装置へ導く光ファイバが長くなり、光の減衰が生じる。このため、光源の照度を増加させたり、減衰量の小さい光ファイバが必要となり、コストの増加を招く。   On the other hand, with respect to the above-described problem, it is conceivable to provide a light source in an external box away from the display panel manufacturing apparatus. However, even in this case, it is necessary to perform adjustment and maintenance in another place, which is inefficient and an optical fiber that guides light from the light source to the display panel manufacturing apparatus becomes long, resulting in light attenuation. For this reason, the illuminance of the light source is increased, or an optical fiber with a small attenuation is required, resulting in an increase in cost.

本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、制御部や光源の調整やメンテナンスを容易に行うことができる表示パネル製造装置を提供するものである。   The present invention has been made in view of such circumstances, and provides a display panel manufacturing apparatus capable of easily adjusting and maintaining a control unit and a light source.

本発明に係る、基板からなる表示パネルを製造する表示パネル製造装置は、本体と、前記本体に設けられ、前記基板が搭載される基板ステージと、前記本体に設けられ、前記基板ステージに搭載された基板に対して所定の処理を実行するヘッドと、前記本体に接して設けられる踏み台と、前記踏み台内に設けられ、前記ヘッドの動作を制御する制御部とを有することを特徴とする。   A display panel manufacturing apparatus for manufacturing a display panel comprising a substrate according to the present invention is provided with a main body, a substrate stage provided on the main body, on which the substrate is mounted, and provided on the main body and mounted on the substrate stage. And a head that performs predetermined processing on the substrate, a step that is provided in contact with the main body, and a control unit that is provided in the step and controls the operation of the head.

近年、表示パネルの大型化に伴って、表示パネル製造装置が大型化する傾向にあり、作業者が調整やメンテナンスを容易に行うために表示パネル製造装置の本体に接して踏み台を設けることが必須となっている。本発明では、この踏み台内にヘッドを制御する制御部を設けることで、本体内に組み込まれる場合と比較して、制御部が作業者の操作しにくい位置に配置されることがない。また、制御部が表示パネル製造装置の外部の制御盤に組み込まれる場合と比較して、ケーブル敷設が不要であり、更には、制御時の性能が悪化することや、調整やメンテナンスが非効率となることが抑制される。   In recent years, as the size of the display panel has increased, the size of the display panel manufacturing apparatus tends to increase, and it is essential for the operator to provide a step board in contact with the main body of the display panel manufacturing apparatus in order to facilitate adjustment and maintenance. It has become. In the present invention, by providing a control unit for controlling the head in the step, the control unit is not disposed at a position where it is difficult for the operator to operate compared to a case where the control unit is incorporated in the main body. Also, compared to the case where the control unit is incorporated in the control panel outside the display panel manufacturing apparatus, cable laying is unnecessary, and further, the performance at the time of control deteriorates, and adjustment and maintenance are inefficient. It is suppressed.

本発明に係る、基板からなる表示パネルを製造する表示パネル製造装置は、本体と、前記本体に設けられ、前記基板が搭載される基板ステージと、前記本体に設けられ、前記基板にむけてペーストを吐出するディスペンサ部と、前記本体に接して設けられる踏み台と、前記踏み台内に設けられ、前記ディスペンサ部の動作を制御する制御部とを有することを特徴とする。   A display panel manufacturing apparatus for manufacturing a display panel comprising a substrate according to the present invention includes a main body, a substrate stage provided on the main body, on which the substrate is mounted, and provided on the main body, the paste facing the substrate. It has a dispenser part which discharges, a step board provided in contact with the main part, and a control part which is provided in the step board and controls operation of the dispenser part.

この構成によれば、踏み台内にディスペンサ部の動作を制御する制御部を設けることで、本体内に組み込まれる場合と比較して、制御部が作業者の操作しにくい位置に配置されることがない。また、制御部が表示パネル製造装置の外部の制御盤に組み込まれる場合と比較して、ケーブル敷設が不要であり、更には、制御時の性能が悪化することや、調整やメンテナンスが非効率となることが抑制される。   According to this configuration, by providing the control unit that controls the operation of the dispenser unit in the platform, the control unit can be arranged at a position that is difficult for the operator to operate compared to the case where the control unit is incorporated in the main body. Absent. Also, compared to the case where the control unit is incorporated in the control panel outside the display panel manufacturing apparatus, cable laying is unnecessary, and further, the performance at the time of control deteriorates, and adjustment and maintenance are inefficient. It is suppressed.

また、本発明に係る表示パネル製造装置は、前記踏み台が、前記本体からの気流を取り込む取り込み口と、前記取り込み口から取り込まれた気流を排気する排気口とを有するようにしてもよい。   In the display panel manufacturing apparatus according to the present invention, the step board may include an intake port for taking in an airflow from the main body and an exhaust port for exhausting the airflow taken in from the intake port.

この構成によれば、本体からの気流によって踏み台内を冷却することが可能となる。   According to this configuration, the inside of the platform can be cooled by the airflow from the main body.

また、本発明に係る表示パネル製造装置は、前記本体からの気流を前記取り込み口へ導く整流板を有するようにしてもよい。   Moreover, the display panel manufacturing apparatus according to the present invention may include a current plate that guides the airflow from the main body to the intake port.

この構成によれば、本体からの気流を取り込み口に導いて、制御部を適切に冷却することが可能となる。   According to this configuration, the airflow from the main body can be guided to the intake port, and the control unit can be appropriately cooled.

本発明に係る、基板からなる表示パネルを製造する表示パネル製造装置は、本体と、前記本体に設けられ、前記基板が搭載される基板ステージと、前記本体に接して設けられる踏み台と、前記踏み台内に設けられ、前記基板ステージに搭載された基板に形成された光硬化性の接着剤の周辺に向けて光を照射する光源とを有することを特徴とする。   A display panel manufacturing apparatus for manufacturing a display panel comprising a substrate according to the present invention includes a main body, a substrate stage provided on the main body, on which the substrate is mounted, a step board provided in contact with the main body, and the step board. And a light source that irradiates light toward the periphery of the photo-curable adhesive formed on the substrate mounted on the substrate stage.

この構成によれば、表示パネル製造装置に接して設けられる踏み台内に光源を設けることで、光源が表示パネル製造装置の本体内に設けられる場合と比較して、表示パネル製造装置の本体が必要以上に大型化したり、貼り合わせの精度悪化、本体内の機器の寿命低下、熱対流による本体内の清浄度の悪化が抑制される。また、光源が表示パネル製造装置から離れた外部に設けられる場合と比較して、コストの増加が抑制される。   According to this configuration, the main body of the display panel manufacturing apparatus is required by providing the light source in the step board provided in contact with the display panel manufacturing apparatus as compared with the case where the light source is provided in the main body of the display panel manufacturing apparatus. As described above, it is possible to suppress an increase in size, deterioration in bonding accuracy, a reduction in the life of equipment in the main body, and deterioration in cleanliness in the main body due to thermal convection. Moreover, the increase in cost is suppressed compared with the case where the light source is provided outside the display panel manufacturing apparatus.

また、本発明に係る表示パネル製造装置は、前記踏み台が、該踏み台内部の気流を排気する排気口を有するようにしてもよい。   In the display panel manufacturing apparatus according to the present invention, the step platform may have an exhaust port for exhausting an airflow inside the step platform.

この構成によれば、踏み台内の気体を放出させることが可能となる。   According to this structure, it becomes possible to discharge the gas in the step platform.

また、本発明に係る表示パネル製造装置は、前記踏み台が、蓋部を有するようにしてもよい。   Moreover, the display panel manufacturing apparatus which concerns on this invention may make it the said step have a cover part.

この構成によれば、踏み台内の制御部や光源のメンテナンス性を向上させることが可能となる。   According to this configuration, it is possible to improve the maintainability of the control unit and the light source in the platform.

本発明によれば、表示パネルの大型化に伴って、表示パネル製造装置の本体に接して踏み台を設けることが必須となっていることに鑑み、この踏み台内に制御部や光源を設置することで、制御部や光源の調整やメンテナンスを容易に行うことができる表示パネル製造装置を大型の表示パネルの製造に適した構成とすることができる。   According to the present invention, in view of the necessity of providing a step board in contact with the main body of the display panel manufacturing apparatus with an increase in the size of the display panel, a control unit and a light source are installed in the step board. Thus, the display panel manufacturing apparatus capable of easily adjusting and maintaining the control unit and the light source can be configured to be suitable for manufacturing a large display panel.

以下、本発明の実施の形態について、図面を用いて説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

まず、ガラス基板にペーストを塗布する表示パネル製造装置について説明する。図1は、本発明に係る表示パネル製造装置を適用したペースト塗布システムの実施の形態を示す平面図である。図1に示すペースト塗布システム10は、表示パネルとしての液晶表示パネルの製造に際して、ガラス基板50に液晶封止用のペーストを塗布するものである。ペースト塗布システム10は、本発明の表示パネル製造装置を構成する塗布ユニット20−1、20−2、20−3及び20−4と、基板受け渡し機構30と、搬送ロボット40とにより構成される。   First, a display panel manufacturing apparatus for applying a paste to a glass substrate will be described. FIG. 1 is a plan view showing an embodiment of a paste coating system to which a display panel manufacturing apparatus according to the present invention is applied. A paste application system 10 shown in FIG. 1 applies a liquid crystal sealing paste to a glass substrate 50 when a liquid crystal display panel as a display panel is manufactured. The paste application system 10 includes application units 20-1, 20-2, 20-3, and 20-4, a substrate delivery mechanism 30, and a transfer robot 40 that constitute the display panel manufacturing apparatus of the present invention.

ペースト塗布の対象となるガラス基板50は、基板受け渡し機構30における上流端32に配置される。搬送ロボット40は、基板受け渡し機構30の延在方向(図1における方向A)に移動可能であり、更に、図1における方向Bに回転可能である。この搬送ロボット40は、基板受け渡し機構30における上流端32に配置されたガラス基板50を搬送し、塗布ユニット20−1、20−2、20−3及び20−4に随時配置する。   The glass substrate 50 to be applied with paste is disposed at the upstream end 32 of the substrate delivery mechanism 30. The transfer robot 40 can move in the extending direction of the substrate delivery mechanism 30 (direction A in FIG. 1), and can further rotate in the direction B in FIG. The transport robot 40 transports the glass substrate 50 disposed at the upstream end 32 of the substrate delivery mechanism 30 and places it on the coating units 20-1, 20-2, 20-3 and 20-4 as needed.

塗布ユニット20−1、20−2、20−3及び20−4は、配置されたガラス基板50の表面にペーストを塗布する。ペースト塗布は、搬送ロボット40によるガラス基板50の搬送等と比較して時間を要するため、これら塗布ユニット20−1、20−2、20−3及び20−4が並列的に稼動することにより、時間短縮を図り、生産性を向上させることができる。   The coating units 20-1, 20-2, 20-3, and 20-4 apply a paste to the surface of the glass substrate 50 that is disposed. Since paste application takes time compared with conveyance of the glass substrate 50 by the conveyance robot 40, etc., by operating these application units 20-1, 20-2, 20-3 and 20-4 in parallel, Time can be shortened and productivity can be improved.

ガラス基板50にペーストが塗布された後、搬送ロボット40は、塗布ユニット20−1、20−2、20−3及び20−4からペースト塗布後のガラス基板50を随時取り出して搬送し、後段の貼り合わせ工程等へ送り出すべく、基板受け渡し機構30における下流端34に配置する。このような一連の動作によって、ガラス基板50の表面にペーストが塗布される。   After the paste is applied to the glass substrate 50, the transfer robot 40 takes out the glass substrate 50 after applying the paste from the application units 20-1, 20-2, 20-3, and 20-4 as needed, and transfers it. In order to send it out to the bonding process or the like, it is arranged at the downstream end 34 in the substrate delivery mechanism 30. By such a series of operations, the paste is applied to the surface of the glass substrate 50.

図2は、塗布ユニット20−1、20−2、20−3及び20−4(以下、これら塗布ユニット20−1、20−2、20−3及び20−4をまとめて、適宜「塗布ユニット20」と称する)の斜視図である。   FIG. 2 shows coating units 20-1, 20-2, 20-3, and 20-4 (hereinafter, these coating units 20-1, 20-2, 20-3, and 20-4 are collectively referred to as “coating unit”. 20 ").

図2に示す塗布ユニット20は、本体としての筐体22、本体としてのカバー23、及び、踏み台24を有する。踏み台24は、表示パネルの大型化に伴う塗布ユニット20の大型化によって、作業者が当該塗布ユニット20の調整やメンテナンスを行うことが困難となることに鑑み、これら調整やメンテナンスを容易に行うべく、筐体22と接するように設けられている。   The coating unit 20 shown in FIG. 2 includes a housing 22 as a main body, a cover 23 as a main body, and a step platform 24. In view of the fact that the size of the coating unit 20 accompanying the increase in the size of the display panel makes it difficult for the operator to perform adjustment and maintenance of the coating unit 20. , Provided so as to be in contact with the housing 22.

筐体22上には、ディスペンサ部112、レーザセンサ113、コラム114、基板ステージ115及びカメラ116が設けられている。これらのうち、ディスペンサ部112は、ペーストを充填するシリンジと、当該シリンジに充填されたペーストを先端から吐出するノズルとにより構成される。カバー23は、筐体22上に設けられたコラム114や基板ステージ115等の部材を覆う。   On the housing 22, a dispenser unit 112, a laser sensor 113, a column 114, a substrate stage 115, and a camera 116 are provided. Among these, the dispenser part 112 is comprised by the syringe which fills a paste, and the nozzle which discharges the paste with which the said syringe was filled from the front-end | tip. The cover 23 covers members such as the column 114 and the substrate stage 115 provided on the housing 22.

ディスペンサ部112、レーザセンサ113及びカメラ116は、一体となってヘッド110を構成しており、コラム114に対して図2に示すZ方向に移動可能に取り付けられている。なお、ヘッド110は、コラム114に2つ設けられる。このようなヘッド110は、基板50に対して所定の処理としてのペーストの塗布を実行する。基板ステージ115は、XYθ移動装置118によって、図2のX方向及びY方向に移動可能であり、θ方向に微小回転可能である。図1に示す搬送ロボット40によって搬送されてきたガラス基板50は、基板ステージ115の上面に真空吸着される。カメラ116は、基板ステージ115内に設けられ、当該基板ステージ115に搭載されたガラス基板50に形成されている位置決め用のマーク(アライメントマーク)51を撮像する。   The dispenser unit 112, the laser sensor 113, and the camera 116 integrally form a head 110, and are attached to the column 114 so as to be movable in the Z direction shown in FIG. Two heads 110 are provided on the column 114. Such a head 110 executes application of paste as a predetermined process to the substrate 50. The substrate stage 115 can be moved in the X and Y directions in FIG. 2 by an XYθ moving device 118, and can be slightly rotated in the θ direction. The glass substrate 50 transported by the transport robot 40 shown in FIG. 1 is vacuum-sucked on the upper surface of the substrate stage 115. The camera 116 is provided in the substrate stage 115 and images a positioning mark (alignment mark) 51 formed on the glass substrate 50 mounted on the substrate stage 115.

一方、踏み台24内には、制御部120が設けられている。また、踏み台24には制御部120のメンテナンスを容易にすべく、蓋部としての扉25が設けられている。制御部120は、作業者の指示等に応じて、上述したディスペンサ部112及び基板ステージ115の動作と、カメラ116を制御する。   On the other hand, a control unit 120 is provided in the platform 24. Further, a door 25 serving as a lid is provided on the step platform 24 to facilitate maintenance of the control unit 120. The control unit 120 controls the operation of the above-described dispenser unit 112 and substrate stage 115 and the camera 116 in accordance with an operator's instruction and the like.

具体的には、ペースト塗布に先立って、制御部120は、カメラ116に、ガラス基板50に形成されたアライメントマーク51を撮像させる制御を行う。更に、制御部120は、カメラ116の撮像画像に基づいてアライメントマーク51の位置を検出し、ガラス基板50の表面においてペーストを塗布すべき位置を、当該アライメントマーク51からの相対位置によって特定する。   Specifically, prior to applying the paste, the control unit 120 controls the camera 116 to image the alignment mark 51 formed on the glass substrate 50. Further, the control unit 120 detects the position of the alignment mark 51 based on the image captured by the camera 116, and specifies the position where the paste should be applied on the surface of the glass substrate 50 based on the relative position from the alignment mark 51.

ペーストを塗布すべき位置を特定した後、制御部120は、ディスペンサ部112に、直下に配置されたガラス基板50の表面に向けてノズルの先端からペーストを吐出させる制御を行う。ペースト塗布時には、制御部120は、基板ステージ115を、適宜、図2のX方向及びY方向に移動させる制御を行う。   After specifying the position where the paste is to be applied, the control unit 120 controls the dispenser unit 112 to discharge the paste from the tip of the nozzle toward the surface of the glass substrate 50 disposed immediately below. At the time of applying the paste, the control unit 120 performs control to move the substrate stage 115 in the X direction and the Y direction as appropriate in FIG.

更に、制御部120は、レーザセンサ113の測定値に基づいて、ノズルの先端とガラス基板50の表面との間の距離を検出する。この検出値が予め定められた所定範囲内でない場合には、ガラス基板50に塗布されるペーストの断面積が所望の断面積でなくなる可能性が高い。このため、制御部120は、レーザセンサ113によって得られた測定値に基づいて、ディスペンサ部112を有するヘッド110を、図2のZ方向に移動させることにより、ノズルの先端とガラス基板50の表面との間の距離が所定範囲内となるように制御を行う。   Further, the control unit 120 detects the distance between the tip of the nozzle and the surface of the glass substrate 50 based on the measurement value of the laser sensor 113. When the detected value is not within a predetermined range, it is highly possible that the cross-sectional area of the paste applied to the glass substrate 50 is not a desired cross-sectional area. For this reason, the control unit 120 moves the head 110 having the dispenser unit 112 in the Z direction in FIG. 2 based on the measurement value obtained by the laser sensor 113, so that the tip of the nozzle and the surface of the glass substrate 50. Control is performed so that the distance between the two is within a predetermined range.

図3は、塗布ユニット20の踏み台24の近傍の外観斜視図、図4は、塗布ユニット20の踏み台24近傍の側面から見た内部構成を示す図である。図3及び図4に示すように、本体の踏み台24と接する側に対応するカバー23の側面には孔部26が形成されている。また、踏み台24の上面には取り込み口としての孔部27が形成されている。更には、踏み台24の下面における制御部120が設置されている側には排気口としての孔部28が形成され、制御部120が設置されていない側には排気口としての孔部29が形成されている。更に、孔部26の出口側(カバー23の外側面)には、整流板26aが設けられ、カバー23内から孔部26を通って流出した気体を下側へ流すようになっている。   FIG. 3 is an external perspective view of the vicinity of the step 24 of the coating unit 20, and FIG. 4 is a diagram illustrating an internal configuration viewed from the side surface of the coating unit 20 near the step 24. As shown in FIGS. 3 and 4, a hole 26 is formed on the side surface of the cover 23 corresponding to the side of the main body that contacts the platform 24. Further, a hole 27 as an intake port is formed on the upper surface of the step platform 24. Further, a hole 28 as an exhaust port is formed on the side where the control unit 120 is installed on the lower surface of the step 24, and a hole 29 as an exhaust port is formed on the side where the control unit 120 is not installed. Has been. Further, a rectifying plate 26a is provided on the outlet side of the hole portion 26 (the outer surface of the cover 23) so that the gas flowing out from the cover 23 through the hole portion 26 flows downward.

カバー23の上方からカバー23内に供給された清浄な気体の気流は、孔部26から外部へ流れ出す。この気流は、整流板26aによって下側に流れ方向が変えられ、図4の矢印61に沿って、踏み台24に形成された孔部27から踏み台24内に流れ込む。この踏み台24内に流れ込んだ気流の一部は、矢印62に沿って踏み台24内を流れ、制御部120を介して孔部28から踏み台24の外部へ流れ出す。また、他方の気流は、矢印63に沿って踏み台24内を流れ、孔部29から踏み台24の外部へ流れ出す。   The clean gas stream supplied into the cover 23 from above the cover 23 flows out from the hole 26 to the outside. The flow direction of the air flow is changed downward by the rectifying plate 26a, and flows into the step 24 from the hole portion 27 formed in the step 24 along the arrow 61 in FIG. A part of the airflow flowing into the step 24 flows in the step 24 along the arrow 62 and flows out of the step 24 from the hole 28 via the control unit 120. The other airflow flows along the arrow 63 in the step 24 and flows out from the hole 29 to the outside of the step 24.

このように、本実施形態では、表示パネルの大型化に伴って、塗布ユニット20が大型化する傾向にあり、作業者が調整やメンテナンスを容易に行うために塗布ユニット20の本体に接して踏み台24を設けることが必須となっていることに鑑み、当該踏み台24内に、基板ステージ115やディスペンサ部112の動作を制御する制御部120が設けられている。これにより、制御部120が本体内に組み込まれる場合と比較して、作業者の操作しにくい位置に配置されることがない。また、制御部120が塗布ユニット20の外部の制御盤に組み込まれる場合と比較して、ケーブル敷設が不要であり、更には、制御時の性能が悪化することや、調整やメンテナンスが非効率となることが抑制される。また、カバー23内に供給される清浄な気体の気流を、踏み台24内に流れ込ませることによって、踏み台24内、特に、制御部120を冷却することが可能となる。   As described above, in the present embodiment, as the display panel increases in size, the application unit 20 tends to increase in size, and the operator touches the main body of the application unit 20 so that adjustment and maintenance can be easily performed. In view of the fact that it is essential to provide 24, a control unit 120 that controls operations of the substrate stage 115 and the dispenser unit 112 is provided in the step platform 24. Thereby, compared with the case where the control part 120 is integrated in a main body, it is not arrange | positioned in the position where an operator is hard to operate. Moreover, compared with the case where the control unit 120 is incorporated in a control panel outside the coating unit 20, cable laying is unnecessary, and further, performance during control is deteriorated, and adjustment and maintenance are inefficient. It is suppressed. Further, by allowing a clean gas flow supplied into the cover 23 to flow into the step 24, the inside of the step 24, in particular, the control unit 120 can be cooled.

次に、ガラス基板を貼り合わせる表示パネル製造装置について説明する。図5は、貼り合わせユニット21の正面から見た内部構成を示す図である。また、図6は、踏み台部分の内部構成を示す断面平面図である。   Next, the display panel manufacturing apparatus which bonds a glass substrate is demonstrated. FIG. 5 is a diagram illustrating an internal configuration viewed from the front of the bonding unit 21. FIG. 6 is a cross-sectional plan view showing the internal configuration of the footrest portion.

図5に示す貼り合わせユニット21は、本体としての筐体72、本体としてのカバー73、及び、踏み台74を有する。踏み台74は、表示パネルの大型化に伴う貼り合わせユニット21の大型化によって、作業者が当該貼り合わせユニット21の調整やメンテナンスを行うことが困難となることに鑑み、これら調整やメンテナンスを容易に行うべく、筐体72と接するように設けられている。   The bonding unit 21 illustrated in FIG. 5 includes a casing 72 as a main body, a cover 73 as a main body, and a step platform 74. In view of the fact that the size of the bonding unit 21 accompanying the increase in size of the display panel makes it difficult for the operator to adjust and maintain the bonding unit 21, the stepping board 74 can be easily adjusted and maintained. In order to do so, it is provided in contact with the housing 72.

筐体72上には、基板ステージ125、カメラ126、ヘッド130、支持部132及びコラム133が設けられている。   On the housing 72, a substrate stage 125, a camera 126, a head 130, a support portion 132, and a column 133 are provided.

基板ステージ125は、図6のX方向及びY方向に移動可能であり、θ方向に微小回転可能である。基板ステージ125上には不図示の搬送ロボットによって、下側ガラス基板52が供給される。   The substrate stage 125 is movable in the X direction and the Y direction in FIG. 6, and can be slightly rotated in the θ direction. The lower glass substrate 52 is supplied onto the substrate stage 125 by a transfer robot (not shown).

ヘッド130は、支持部132によって支持される。支持部132は、コラム133に、ヘッド130が図5のZ方向に移動可能なように取り付けられている。ヘッド130には、不図示の搬送ロボットによって、上側ガラス基板54が供給される。ヘッド130に内蔵される吸着機構(不図示)は、このヘッド130に供給された上側ガラス基板54を吸着保持する。このようなヘッド130は、基板ステージ125に供給された下側ガラス基板52に対して所定の処理として上側ガラス基板54を重ね合わせる処理を実行する。   The head 130 is supported by the support portion 132. The support portion 132 is attached to the column 133 so that the head 130 can move in the Z direction of FIG. The upper glass substrate 54 is supplied to the head 130 by a transfer robot (not shown). A suction mechanism (not shown) built in the head 130 sucks and holds the upper glass substrate 54 supplied to the head 130. Such a head 130 executes a process of superposing the upper glass substrate 54 on the lower glass substrate 52 supplied to the substrate stage 125 as a predetermined process.

図7は、下側ガラス基板52の上面、換言すれば、上側ガラス基板54と対向する面を示す図である。図7に示すように、下側ガラス基板52の上面には、アライメントマーク51−dと、重ね合わされた2枚のガラス基板52及び54を仮固定するための光硬化性の接着剤である紫外線(UV)硬化性接着剤53と、液晶封止用の矩形枠状のペーストのパターン57とが形成されている。   FIG. 7 is a view showing the upper surface of the lower glass substrate 52, in other words, the surface facing the upper glass substrate 54. As shown in FIG. 7, on the upper surface of the lower glass substrate 52, an ultraviolet ray that is a photo-curable adhesive for temporarily fixing the alignment mark 51-d and the two superimposed glass substrates 52 and 54 together. A (UV) curable adhesive 53 and a rectangular frame-shaped paste pattern 57 for sealing a liquid crystal are formed.

一方、図8は、上側ガラス基板54の下面、換言すれば、下側ガラス基板52と対向する面を示す図である。図8に示すように、上側ガラス基板54の下面には、アライメントマーク51−uが形成されている。   On the other hand, FIG. 8 is a diagram showing a lower surface of the upper glass substrate 54, in other words, a surface facing the lower glass substrate 52. As shown in FIG. 8, alignment marks 51-u are formed on the lower surface of the upper glass substrate 54.

カメラ126は、基板ステージ125内に設けられ、当該基板ステージ125に吸着している下側ガラス基板52に形成されているアライメントマーク51−dと、ヘッド130に吸着している上側ガラス基板54に形成されているアライメントマーク51−uとを撮像する。カメラ126によって、アライメントマーク51−dとアライメントマーク51−uとが撮像されると、これらアライメントマーク51−dとアライメントマーク51−uとの相対位置に基づいて、下側ガラス基板52と上側ガラス基板54との貼り合わせ時の位置が調整される。   The camera 126 is provided in the substrate stage 125, and the alignment mark 51-d formed on the lower glass substrate 52 sucked on the substrate stage 125 and the upper glass substrate 54 sucked on the head 130. The formed alignment mark 51-u is imaged. When the alignment mark 51-d and the alignment mark 51-u are imaged by the camera 126, the lower glass substrate 52 and the upper glass are based on the relative positions of the alignment mark 51-d and the alignment mark 51-u. The position at the time of bonding with the substrate 54 is adjusted.

下側ガラス基板52と上側ガラス基板54との位置が適正に調整された後、ヘッド130は、下面に上側ガラス基板54を吸着した状態で下降する。これにより、基板ステージ125の上面に吸着している下側ガラス基板52と、ヘッド130の下面に吸着している上側ガラス基板54とが重ねられる。   After the positions of the lower glass substrate 52 and the upper glass substrate 54 are properly adjusted, the head 130 is lowered with the upper glass substrate 54 adsorbed on the lower surface. As a result, the lower glass substrate 52 adsorbed on the upper surface of the substrate stage 125 and the upper glass substrate 54 adsorbed on the lower surface of the head 130 are overlapped.

一方、踏み台74内には、光源であるUVランプ140と、当該UVランプ140に対応する冷却ファン142とからなる照射ユニット143が設けられている。本実施形態では、図7に示すように、下側ガラス基板52に6つのUV硬化性接着剤53が形成されていることに対応して、踏み台74内には、6つの照射ユニット143が設けられている。また、踏み台74には、UVランプ140の交換等を容易にすべく、蓋部としての扉75が設けられている。更には、踏み台74には、各照射ユニット143に対応して、踏み台74内の気体を排気する排気口としての孔部145が形成されている。なお、冷却ファン142は、孔部145に対向して配置される。従って、冷却ファン142は、UVランプ140の点灯によって加熱された踏み台74内の気体を、孔部145を介して吸引排気する。   On the other hand, an irradiation unit 143 including a UV lamp 140 serving as a light source and a cooling fan 142 corresponding to the UV lamp 140 is provided in the step stand 74. In the present embodiment, as shown in FIG. 7, six irradiation units 143 are provided in the step 74 corresponding to the six UV curable adhesives 53 formed on the lower glass substrate 52. It has been. Further, the step stand 74 is provided with a door 75 as a lid portion for facilitating replacement of the UV lamp 140 and the like. Furthermore, a hole portion 145 is formed in the step platform 74 as an exhaust port for exhausting the gas in the step platform 74 corresponding to each irradiation unit 143. The cooling fan 142 is disposed so as to face the hole 145. Therefore, the cooling fan 142 sucks and exhausts the gas in the stepped bed 74 heated by the lighting of the UV lamp 140 through the hole 145.

UVランプ140には、本体内に向かう光ファイバ144が接続されている。このUVランプ140は、下側ガラス基板52と、ヘッド130の下面に吸着している上側ガラス基板54とが重ねられた状態で、光ファイバ144を介して、下側ガラス基板52の上面に形成されたUV硬化性接着剤53に向けてUV光を照射する。これにより、UV硬化性接着剤53が硬化し、下側ガラス基板52と上側ガラス基板54とが仮固定される。   The UV lamp 140 is connected with an optical fiber 144 that goes into the main body. The UV lamp 140 is formed on the upper surface of the lower glass substrate 52 via the optical fiber 144 in a state where the lower glass substrate 52 and the upper glass substrate 54 adsorbed on the lower surface of the head 130 are stacked. The UV curable adhesive 53 is irradiated with UV light. Thereby, the UV curable adhesive 53 is cured, and the lower glass substrate 52 and the upper glass substrate 54 are temporarily fixed.

このように、本実施形態では、表示パネルの大型化に伴って、貼り合わせユニット21が大型化する傾向にあり、作業者が調整やメンテナンスを容易に行うために貼り合わせユニット21の本体に接して踏み台74を設けることが必須となっていることに鑑み、当該踏み台74内にUVランプ140及び冷却ファン142からなる照射ユニット143が設けられている。これにより、UVランプ140が本体(筐体72、カバー73)内に設けられる場合と比較して、貼り合わせユニット21の本体が必要以上に大型化したり、本体内に熱が生じることによる、貼り合わせの精度悪化、本体内の機器の寿命低下、熱対流による本体内の清浄度の悪化が抑制されるとともに、UNランプ140の調整やメンテナンスを容易に行うことができる。また、UVランプ140が貼り合わせユニット21から離れた外部に設けられる場合と比較して、UVランプ140の照度を大きくしたり、減衰量の小さな光ファイバ144を用いる必要はなく、コストの増加を抑制することができる。   As described above, in the present embodiment, as the display panel increases in size, the bonding unit 21 tends to increase in size, and the operator touches the main body of the bonding unit 21 for easy adjustment and maintenance. In view of the fact that it is essential to provide the step 74, an irradiation unit 143 including the UV lamp 140 and the cooling fan 142 is provided in the step 74. Thereby, compared with the case where the UV lamp 140 is provided in the main body (the casing 72 and the cover 73), the main body of the bonding unit 21 becomes larger than necessary, or heat is generated in the main body. Deterioration of alignment accuracy, reduction in the life of devices in the main body, and deterioration in cleanliness in the main body due to thermal convection are suppressed, and adjustment and maintenance of the UN lamp 140 can be easily performed. Further, compared with the case where the UV lamp 140 is provided outside the bonding unit 21, it is not necessary to increase the illuminance of the UV lamp 140 or use the optical fiber 144 having a small attenuation amount, thereby increasing the cost. Can be suppressed.

なお、上述した実施形態では、UVランプ140は、UV硬化性接着剤53と1対1に対応するように設けられたが、複数のUV硬化性接着剤53に対して1つのUVランプ140が設けられた構成、あるいは、1つのUV硬化性接着剤53に対して1つのUVランプ140が設けられた構成の場合にも同様に本発明を適用することができる。   In the above-described embodiment, the UV lamp 140 is provided so as to correspond to the UV curable adhesive 53 on a one-to-one basis. However, one UV lamp 140 is provided for the plurality of UV curable adhesives 53. The present invention can be similarly applied to a configuration in which one UV lamp 140 is provided for one UV curable adhesive 53.

また、UV硬化性接着剤53以外の他の光硬化性接着剤がガラス基板に形成されている場合にも、同様に本発明を適用することができる。この場合には、UVランプ140に代えて、光硬化性接着剤の硬化に適した光を照射する光源を用いればよい。また、貼り合わせユニット21の踏み台74内に照射ユニット143を配置したものとしたが、これに限られるものではなく、照射ユニット143に代えて貼りあわせユニット21の制御部を配置したり、照射ユニット143と制御部の双方を配置したりしてもよい。   In addition, the present invention can be similarly applied when a photocurable adhesive other than the UV curable adhesive 53 is formed on the glass substrate. In this case, a light source that emits light suitable for curing the photocurable adhesive may be used instead of the UV lamp 140. In addition, the irradiation unit 143 is disposed in the step 74 of the bonding unit 21, but the present invention is not limited to this, and the control unit of the bonding unit 21 may be disposed instead of the irradiation unit 143, or the irradiation unit Both 143 and the control unit may be arranged.

本発明に係る表示パネル製造装置は、制御部や光源の調整やメンテナンスを容易に行うことができ、表示パネル製造装置として有用である。   The display panel manufacturing apparatus according to the present invention can easily adjust and maintain the control unit and the light source, and is useful as a display panel manufacturing apparatus.

本発明に係る表示パネル製造装置を適用したペースト塗布システムの実施形態を示す平面図である。It is a top view which shows embodiment of the paste application | coating system to which the display panel manufacturing apparatus which concerns on this invention is applied. 塗布ユニットの斜視図である。It is a perspective view of an application unit. 塗布ユニットの踏み台近傍の外観斜視図である。It is an external appearance perspective view of the coating unit vicinity of the application unit. 塗布ユニットの踏み台近傍の側面から見た内部構成を示す図である。It is a figure which shows the internal structure seen from the side surface of the application stand vicinity. 貼り合わせユニットの正面から見た内部構成を示す図である。It is a figure which shows the internal structure seen from the front of the bonding unit. 貼り合わせユニットの踏み台部分の内部構成を示す断面平面図である。It is a cross-sectional top view which shows the internal structure of the step part of a bonding unit. 下側ガラス基板の上面図である。It is a top view of a lower glass substrate. 上側ガラス基板の下面図である。It is a bottom view of an upper glass substrate.

符号の説明Explanation of symbols

10 ペースト塗布システム
20−1、20−2、20−3、20−4 塗布ユニット
21 貼り合わせユニット
22、72 筐体
24、74 踏み台
25、75 扉
26、27、28、29、145 孔部
30 基板受け渡し機構
32 上流端
34 下流端
40 搬送ロボット
50 ガラス基板
51 アライメントマーク
52 下側ガラス基板
53 UV硬化性接着剤
54 上側ガラス基板
57 ペーストパターン
112 ディスペンサ部
113 レーザセンサ
114、133 コラム
115、125 基板ステージ
116、126 カメラ
120 制御部
132 支持部
140 UVランプ
142 冷却ファン
143 照射ユニット
144 光ファイバ
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Paste application system 20-1, 20-2, 20-3, 20-4 Application unit 21 Bonding unit 22, 72 Case 24, 74 Step 25, 75 Door 26, 27, 28, 29, 145 Hole 30 Substrate delivery mechanism 32 Upstream end 34 Downstream end 40 Transfer robot 50 Glass substrate 51 Alignment mark 52 Lower glass substrate 53 UV curable adhesive 54 Upper glass substrate 57 Paste pattern 112 Dispenser part 113 Laser sensor 114, 133 Column 115, 125 Substrate Stage 116, 126 Camera 120 Control unit 132 Support unit 140 UV lamp 142 Cooling fan 143 Irradiation unit 144 Optical fiber

Claims (7)

基板からなる表示パネルを製造する表示パネル製造装置であって、
本体と、
前記本体に設けられ、前記基板が搭載される基板ステージと、
前記本体に設けられ、前記基板ステージに搭載された基板に対して所定の処理を実行するヘッドと、
前記本体に接して設けられる踏み台と、
前記踏み台内に設けられ、前記ヘッドの動作を制御する制御部とを有することを特徴とする表示パネル製造装置。
A display panel manufacturing apparatus for manufacturing a display panel comprising a substrate,
The body,
A substrate stage provided on the main body and on which the substrate is mounted;
A head that is provided in the main body and that performs a predetermined process on a substrate mounted on the substrate stage;
A platform provided in contact with the body;
A display panel manufacturing apparatus, comprising: a control unit that is provided in the step and controls the operation of the head.
基板からなる表示パネルを製造する表示パネル製造装置であって、
本体と、
前記本体に設けられ、前記基板が搭載される基板ステージと、
前記本体に設けられ、前記基板にむけてペーストを吐出するディスペンサ部と、
前記本体に接して設けられる踏み台と、
前記踏み台内に設けられ、前記ディスペンサ部の動作を制御する制御部とを有することを特徴とする表示パネル製造装置。
A display panel manufacturing apparatus for manufacturing a display panel comprising a substrate,
The body,
A substrate stage provided on the main body and on which the substrate is mounted;
A dispenser part that is provided in the main body and that discharges a paste toward the substrate;
A platform provided in contact with the body;
A display panel manufacturing apparatus comprising: a control unit that is provided in the platform and controls the operation of the dispenser unit.
前記踏み台は、
前記本体からの気流を取り込む取り込み口と、
前記取り込み口から取り込まれた気流を排気する排気口とを有することを特徴とする請求項1又は2に記載の表示パネル製造装置。
The platform is
An intake port for taking in airflow from the main body;
The display panel manufacturing apparatus according to claim 1, further comprising an exhaust port that exhausts the airflow captured from the intake port.
前記本体からの気流を前記取り込み口へ導く整流板を有することを特徴とする請求項3に記載の表示パネル製造装置。   The display panel manufacturing apparatus according to claim 3, further comprising a current plate that guides an airflow from the main body to the intake port. 基板からなる表示パネルを製造する表示パネル製造装置であって、
本体と、
前記本体に設けられ、基板が搭載される基板ステージと、
前記本体に接して設けられる踏み台と、
前記踏み台内に設けられ、前記基板ステージに搭載された基板に形成された光硬化性の接着剤の周辺に向けて光を照射する光源とを有することを特徴とする表示パネル製造装置。
A display panel manufacturing apparatus for manufacturing a display panel comprising a substrate,
The body,
A substrate stage provided on the main body and on which a substrate is mounted;
A platform provided in contact with the body;
A display panel manufacturing apparatus, comprising: a light source that is provided in the step and irradiates light toward the periphery of a photo-curable adhesive formed on a substrate mounted on the substrate stage.
前記踏み台は、該踏み台内部の気流を排気する排気口を有することを特徴とする請求項5に記載の表示パネル製造装置。   The display panel manufacturing apparatus according to claim 5, wherein the step has an exhaust port for exhausting an airflow inside the step. 前記踏み台は、蓋部を有することを特徴とする請求項1乃至6のいずれかに記載の表示パネル製造装置。   The display panel manufacturing apparatus according to claim 1, wherein the step has a lid.
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