JP2009101579A - インクジェットヘッド - Google Patents
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Abstract
【課題】 感光性エポキシ樹脂ドライフィルムの残溶剤量を制御し、クラックや膜厚変動のない良好なドライフィルムを得ることを目的とする。
【解決手段】 該感光性エポキシ樹脂ドライフィルムの残溶剤量を2〜7%と制御する。
【選択図】 図1
【解決手段】 該感光性エポキシ樹脂ドライフィルムの残溶剤量を2〜7%と制御する。
【選択図】 図1
Description
本発明はインクジェットプリント方式のインクジェットヘッドに関する。
インクの小滴を発生させ、それを紙等の被プリント媒体に付着せしめてプリントを行うインクジェットプリント方式は、プリント時の騒音が極めて少なく、かつ高速プリントが可能であり、しかもインクジェットヘッドを極めて小型化できるため、カラー化及びコンパクト化が容易であるプリント方式である。該インクジェットプリント方式のひとつに発熱素子によってインクを発泡せしめ、この気泡の成長を利用してインクを吐出するタイプがある。
従来、図1に示すように、吐出エレメントは、天板部材6、液流路、ヒーター基板1から成り立っている。該ヒーター基板1には気泡を発生させるために利用される発熱抵抗体2が半導体プロセスにて複数配置されている。該発熱抵抗体2が加熱され、インクが発泡したときのエネルギーで液流路内に存在するインクを吐出する。図1において、天板部材6の液室およびインク供給孔はSi異方性エッチングやブラスト加工により形成される。
また、図2に示したのは、吐出効率を高めるとともに、リフィル特性も改善した形態の吐出エレメントの断面模式図である。吐出エレメントは、天板部材6、可動部材3、上方変位規制部材22、ヒーター基板1から成り立っている。該ヒーター基板1には気泡を発生させるために利用される発熱抵抗体2が半導体プロセスにて複数配置されている。該発熱抵抗体2が加熱され、インクが発泡したときのエネルギーで該可動部材3を可動させる。該上方変位規制部材4にて該可動部材3の上方変位を規制することにより発泡エネルギーの効率化をはかっている。図2も図1同様に、天板部材6にSi異方性エッチングやブラスト加工により、液室およびインク供給孔が形成されている。上記の例として、下記特許文献1をあげることが出来る。
特開平05-077423号公報
従来、図1や図2に示すように、ヒーター基板上に液流路を形成する場合には、光カチオン硬化型エポキシ樹脂であるNANO XP SU-8(MicroChemCorp.製)等の感光性樹脂を基板上にスピンコート法等によりコーティングした後、UV光などの高エネルギー線を用いたフォトリソ技術にて形成される。しかしながら、スピンコート法などのコーティング技術では、効率よく材料を使用することができずコストアップの要因となっていた。さらに、吐出特性を向上させた図2に示すようなインクジェットヘッドの液流路を構成するには、天板部材に密着向上層や稼動部材の変位量を規制する上方変位規制部材を形成する必要がある。該天板部材には、インク供給孔が形成されているため、従来のようにスピンコート法などのコーティング技術は適用できない。そこで、感光性エポキシ樹脂ドライフィルムを用いて、該構成を形成してきた。しかしながら、該ドライフィルム材料は、比較的分子量が低いオリゴマーを主成分とするため、ドライフィルム化すると、クラックや解像性の劣化といった問題を引き起こしていた。
本発明は、上記課題に鑑みなされたものであって、図1や図2に示すようなヒーター基板上に高精度に微少な液流路を形成するために、感光性エポキシ樹脂ドライフィルムの残溶剤量を制御し、信頼性のあるドライフィルムを得ることにより、高密度高精度のインクジェットヘッドを得ることを目的としている。この為には、感光性エポキシ樹脂ドライフィルムの残溶剤量を制御することが重要である。エポキシ樹脂組成物のドライフィルム化は、汎用的に知られているコーティング技術を用いる事が可能であり、ナイフコート法、バーコート法、コンマコート法、グラビア法、マイクログラビア法、スロットダイ法など適宜選択することができる。エポキシ樹脂組成物をコーティングするために必要な溶剤は、該エポキシ樹脂組成物が溶解する溶剤であれば、適宜選択することができる。具体的には、酢酸エチル、シクロヘキサノン、ジグライム、γ―ブチロラクトン、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート等である。好適な例としては、シクロヘキサノンが挙げられる。
主剤となるエポキシ樹脂としては、フェノール型としてビスフェノールA、ビスフェノールF、ビスフェノールAD、テトラブロモビスフェノールA、テトラフェニロールエタン、フェノールノボラック、o−クレゾールノボラック、ビスフェノールAノボラック等、アルコール型としてポリプロピレングリコール、水添ビスフェノールA等何れも使用できる。好適な例としては、Epon SU-8(シェルケミカル社)のような多官能ビスフェノールAノボラックエポキシ樹脂が挙げられる。さらに、皮膜性を向上させるために、比較的高分子量(2000〜50000)程度のビスフェノールAエポキシ樹脂などを適宜混合せしめることもできる。
また、光カチオン重合剤として、芳香剤ジアゾニウム塩、芳香族ヨードニウム塩、芳香族スルフォニウム塩、芳香族セレニウム塩等が挙げられる。
シランカップリング剤としては、β-(3,4-エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン、γ―グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、γ―グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、γ―グリシドキシプロピルメチルジエトキシシラン、γ―イソシアネートプロピルトリエトキシシラン、γ―イソシアネートプロピルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリメトキシシラン、γ―メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、γ―メタクリロキシプロピルトリエトキシシラン、γ―メルカプトプロピルトリメトキシシラン等が挙げられる。シランカップリング剤として汎用的なアミノ系シランカップリング剤は、光硬化反応に寄与するカチオンをトラップしてしまうため、本発明に適用することはできない。
該感光性エポキシ樹脂ドライフィルムの耐クラック性や解像度の観点より残溶剤量が限定される。
本件出願人らが鋭意検討した結果、感光性エポキシ樹脂ドライフィルムに含まれる残溶剤量は、該ドライフィルムに対して、2〜7%であることが望ましいという結論に到達した。
前記残溶剤量が、2%より少ない場合は、前記ドライフィルム層にクラックが生じた。7%より多い場合は、UV光によりパターニングした際、良好な形状および寸法精度が得られないこと、さらにドライフィルム形態で保管した場合の膜厚変動が著しいことが判明した。
図1および図2に示した形態は、エッジシューターであるが、本発明は、サイドシューターのインクジェットヘッドにも適用することができるのは言うまでもない。図3には、サイドシューターのインクジェットヘッドに適用した場合のノズル構造体の外観模式図とノズル構造体の断面図を示す。
さらに、サーマルインクジェットヘッドのみならず、ピエゾインクジェットにも適用できるのは、いうまでもない。
以上、説明したように、本発明によれば、感光性エポキシ樹脂ドライフィルムを用いてインクジェットヘッドを形成する場合、該感光性エポキシ樹脂ドライフィルム中の残溶剤量を2〜7%に制御することにより、クラックが生じないかつ解像力に優れたドライフィルムを得ることができる。その結果、高密度高精度なインクジェットヘッドを提供することができる。
次に、本発明の詳細を実施例の記述に従って説明する。
ビスフェノールAノボラックエポキシ樹脂(EPON SU-8、シェル社製)80重量部、ビスフェノールA型エポキシ樹脂(エピコート(登録商標)1007、油化シェルエポキシ社製)20重量部、重合開始剤(SP−170、旭電化工業社製)1部、シランカップリング剤(γ―グリシドキシプロピルトリメトキシシラン)(A-187、日本ユニカー製)5部をシクロヘキサノンに溶解し、感光性樹脂組成物溶液Aを得た。該溶液をPET上に塗工し、感光性エポキシ樹脂ドライフィルムAを得た。残溶剤量は、次のように測定した。所定量を酢酸エチルに溶解し、ガスクロマトグラフィーにてドライフィルム中に残存するシクロヘキサノンを測定したところ、5%であった。得られた感光性エポキシ樹脂ドライフィルムAは、ロール状に巻き取って放置してもクラックが生じなかった。
ヒーター基板1上には気泡を発生させるために利用される発熱抵抗体2が半導体プロセスにて複数配置されている。該ヒーター基板1上に前期感光性エポキシ樹脂ドライフィルムAをラミネートし、所望の液流路形状をマスクにし、MPA−600FA(キヤノン製)にてλ=365nmのUV光を2J/cm^2照射した後、ポストエクスポージャーベーク(PEB)し有機溶剤で現像することにより液流路形状を得た。得られた液流路形状は、パターンの歪みもなかった。得られたヒーター基板1と天板部材を接合した後オリフィスプレート7を接合し、図1記載のインクジェットヘッドを作成した。pH10の強アルカリ性インクに浸漬し、3ヶ月放置後に吐出特性評価および印字評価を行ったところ、良好な特性を示した。
前記感光性樹脂組成物溶液AをPET上に塗工し、感光性エポキシ樹脂ドライフィルムAを得た(残溶剤量5%)。
ヒーター基板1上には気泡を発生させるために利用される発熱抵抗体2が半導体プロセスにて複数配置されている。該ヒーター基板1上に感光性エポキシ樹脂(nano XP SU-8-25、microchem.corp.製)をスピンコートし、所望の液流路形状をマスクにし、MPA−600FA(キヤノン製)にてλ=365nmのUV光を2J/cm^2照射した後、ポストエクスポージャーベーク(PEB)し有機溶剤で現像することにより液流路形状を得た。天板部材に前記感光性エポキシ樹脂ドライフィルムをラミネートし、密着向上層をUV光にてパターニングした。さらに、上方変位規制部材22を得るために、密着向上層21上に前記感光性エポキシ樹脂ドライフィルムをラミネートし、UV光にてパターニングし、現像した所望の形状を得た。その微細な寸法精度も良好であり、得られた形状は歪みもなく良好であった。得られたヒーター基板1と天板部材を接合した後オリフィスプレート7を接合し、図1記載のインクジェットヘッドを作成した。pH10の強アルカリ性インクに浸漬し、3ヶ月放置後に吐出特性評価および印字評価を行ったところ、良好な特性を示した。
(比較例1)
前記感光性樹脂組成物溶液AをPET上に塗工し、塗工時の乾燥状態を過剰にし、感光性エポキシ樹脂ドライフィルムBを得た。残溶剤量は、次のように測定した。所定量を酢酸エチルに溶解し、ガスクロマトグラフィーにてドライフィルム中に残存するシクロヘキサノンを測定したところ、1.8%であった。得られた感光性エポキシ樹脂ドライフィルムBは、ロール状に巻き取って放置したところクラックが生じた。
前記感光性樹脂組成物溶液AをPET上に塗工し、塗工時の乾燥状態を過剰にし、感光性エポキシ樹脂ドライフィルムBを得た。残溶剤量は、次のように測定した。所定量を酢酸エチルに溶解し、ガスクロマトグラフィーにてドライフィルム中に残存するシクロヘキサノンを測定したところ、1.8%であった。得られた感光性エポキシ樹脂ドライフィルムBは、ロール状に巻き取って放置したところクラックが生じた。
ヒーター基板1上には気泡を発生させるために利用される発熱抵抗体2が半導体プロセスにて複数配置されている。該ヒーター基板1上に前期感光性樹エポキシ樹脂ドライフィルムBをラミネートしたところ、基板上への密着が良くなく均一にラミネートすることができなかった。所望の液流路形状をマスクにし、MPA−600FA(キヤノン製)にてλ=365nmのUV光を2J/cm^2照射した後、ポストエクスポージャーベーク(PEB)し有機溶剤で現像することにより液流路形状を得た。しかしながら、該現像工程の際に、液流路のパターンが基板上から剥離してしまい、インクジェットヘッドを得ることはできなかった。
(比較例2)
前記感光性樹脂組成物溶液AをPET上に塗工し、塗工時の乾燥状態を甘くし、感光性エポキシ樹脂ドライフィルムCを得た。残溶剤量は、次のように測定した。所定量を酢酸エチルに溶解し、ガスクロマトグラフィーにてドライフィルム中に残存するシクロヘキサノンを測定したところ、7.5%であった。得られた感光性エポキシ樹脂ドライフィルムCは、ロール状に巻き取って放置しても問題は生じなかった。
前記感光性樹脂組成物溶液AをPET上に塗工し、塗工時の乾燥状態を甘くし、感光性エポキシ樹脂ドライフィルムCを得た。残溶剤量は、次のように測定した。所定量を酢酸エチルに溶解し、ガスクロマトグラフィーにてドライフィルム中に残存するシクロヘキサノンを測定したところ、7.5%であった。得られた感光性エポキシ樹脂ドライフィルムCは、ロール状に巻き取って放置しても問題は生じなかった。
ヒーター基板1上には気泡を発生させるために利用される発熱抵抗体2が半導体プロセスにて複数配置されている。該ヒーター基板1上に前期感光性樹エポキシ樹脂ドライフィルムCをラミネートした。所望の液流路形状をマスクにし、MPA−600FA(キヤノン製)にてλ=365nmのUV光を2J/cm^2照射した後、ポストエクスポージャーベーク(PEB)し有機溶剤で現像することにより液流路形状を得た。しかしながら、該現像工程後に、形成された液流路のパターンを観察すると、パターンの形状が歪んでいた。得られたヒーター基板1と天板部材を接合した後オリフィスプレート7を接合し、図1記載のインクジェットヘッドを作成した。印字評価を行ったところ、液流路の歪みから吐出が安定せず、良好な印字は得られなかった。
(比較例3)
前記感光性樹脂組成物溶液AをPET上に塗工し、塗工時の乾燥状態を甘くし、感光性エポキシ樹脂ドライフィルムDを得た。残溶剤量は、次のように測定した。所定量を酢酸エチルに溶解し、ガスクロマトグラフィーにてドライフィルム中に残存するシクロヘキサノンを測定したところ、9.3%であった。得られた感光性エポキシ樹脂ドライフィルムDをロール状に巻き取って放置した。1週間後、フィルムがシワ状に変形し膜厚の変動が認められ、使用することはできなかった。
前記感光性樹脂組成物溶液AをPET上に塗工し、塗工時の乾燥状態を甘くし、感光性エポキシ樹脂ドライフィルムDを得た。残溶剤量は、次のように測定した。所定量を酢酸エチルに溶解し、ガスクロマトグラフィーにてドライフィルム中に残存するシクロヘキサノンを測定したところ、9.3%であった。得られた感光性エポキシ樹脂ドライフィルムDをロール状に巻き取って放置した。1週間後、フィルムがシワ状に変形し膜厚の変動が認められ、使用することはできなかった。
1 ヒーター基板
2 発熱抵抗体
3 可動部材
4 上方変位規制部材
5 流路壁
6 天板部材
7 オリフィスプレート
8 吐出孔
9 密着向上層
22 上方変位規制部材
2 発熱抵抗体
3 可動部材
4 上方変位規制部材
5 流路壁
6 天板部材
7 オリフィスプレート
8 吐出孔
9 密着向上層
22 上方変位規制部材
Claims (4)
- 少なくとも発熱抵抗体を有する基板と、液流路を形成するための天板部材と、液体を吐出する吐出孔と、該吐出孔に連通し、該発熱抵抗体の気泡発生時のエネルギーにより液体を吐出するインクジェットヘッドにおいて、
少なくとも該液流路部材の一部がエポキシ樹脂硬化物からなることを特徴とするインクジェットヘッド。 - 前記エポキシ樹脂硬化物が少なくともエポキシ樹脂、バインダー、シランカップリング剤、硬化剤とから構成されるエポキシ樹脂組成物からなることを特徴とする請求項1に記載のインクジェットヘッド。
- 前記液流路部材を形成するためのエポキシ樹脂組成物が感光性ドライフィルムであることを特徴とする請求項1又は,請求項2に記載のインクジェットヘッド。
- 前記感光性ドライフィルムエポキシ樹脂の残溶剤量が、2%〜7%であることを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれかに記載のインクジェットヘッド。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2007275146A JP2009101579A (ja) | 2007-10-23 | 2007-10-23 | インクジェットヘッド |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013120338A (ja) * | 2011-12-08 | 2013-06-17 | Asahi Glass Co Ltd | 光導波路の製造方法 |
-
2007
- 2007-10-23 JP JP2007275146A patent/JP2009101579A/ja active Pending
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Legal Events
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RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Effective date: 20100201 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 |
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