JP2009100052A - 遅延復調デバイス - Google Patents

Abstract

【課題】偏波乖離量を低減した遅延復調デバイスを提供する。
【解決手段】DQPSK信号を復調させる遅延復調デバイス１は、DQPSK信号を分岐した光信号が伝搬する長さの異なる２つの導波路をそれぞれ有し、一方の導波路を伝搬する光信号の位相を他方の導波路を伝搬する光信号の位相に対して１シンボル分遅延させる２つのマッハツェンダー干渉計６，７において、1/2波長板２１を挟んで対向する第１のヒータＡと第４のヒータＤ、或いは第３のヒータＢと第２のヒータＣを駆動させて偏波乖離量が調整されている。
【選択図】図１

Description

本発明は、光ファイバ通信に用いる遅延復調デバイス、特に、高密度波長分割多重（ＤＷＤＭ:Dense Wavelength Division Multiplexing）伝送方式の光ファイバ通信においてDQPSKやDPSK等の信号を復調させるPLC型のマッハツェンダー干渉計（MZI）を備えた遅延復調デバイスに関する。

近年、ブロードバンドの急速な普及を背景に、光伝送システムの高速化（伝送速度40Gbpsへ）の検討が盛んに行われている。しかしながら、伝送速度を上げると、光信号1bitあたりの時間幅が減少し、光ファイバの特性の影響により、信号波形が劣化し、通信回線の品質の劣化を引き起こしてしまうという問題がある。40Gbps級の長距離伝送を行う際には、伝送経路の途中で、光信号を電気に信号に変換して、再び、光信号に変換しなおすといった中継器が必要であるため、既存のファイバ網を使用し、ネットワークを構築することを困難にさせている。

このため、現在では光信号の時間幅を拡大させることによって信号波形劣化を低減できる多値変調の差動四値位相変調(DQPSK：Differential Quadrature Phase Shift Keying) や差動位相変調（DPSK：Differential Phase Shift Keying）等の研究開発が行われている。

DQPSKは４つの情報を異なる4つの光位相差に対応させて伝送する、つまり、２ビットのデータから構成され各シンボルの値（0,1,2,3）の４つの情報を、隣接する２つのシンボルの値の変化に応じて搬送波の位相（θ，θ＋π／2，θ＋π，θ＋3π／2）を変化させてデータを伝送する変調方式である。このDQPSK方式を用いた40GbpsDQPSK通信方式では、従来の2値変調方式を用いた40Gbps伝送よりも4倍の距離を伝送できることになる。このDQPSKにより、既存のファイバ網を利用した大都市間のネットワークの構築が可能になると考えられる。

DPSKは、先に送信したビットの値（０または１）と次に送信するビットの値（０または１）との間の「変化」に応じて、搬送波の位相（「θ」または「θ＋π」）が決定される。

従来、このようなDQPSK信号或いはDPSK信号を受信装置において復調するための遅延復調デバイスとして、例えば、特許文献１に記載された光受信回路や特許文献２に記載された復調器が知られている。

特許文献１に記載された光受信回路は、１組の光パスの一方に１シンボル遅延素子を備えその１組の光パスを介して入力ＲＺ−ＤＰＳＫ信号、つまり、ＲＺ（Return to zero）変調されたＤＰＳＫ信号を伝搬する干渉計（マッハツェンダー干渉計）を備える。この干渉計（１ビット遅延干渉計）により、入力ＲＺ−ＤＰＳＫが互いに相補的な１組の強度変調光信号に変換される。

また、特許文献２には、差動位相変調（DPSK）された光信号或いは差動四値位相変調(DQPSK)された光信号を、マイケルソン干渉計を用いて復調する復調器が開示されている。
特開２００７−６０４４２号公報 特開２００７−１５１０２６号公報

ところで、伝送速度が40GbpsのDQPSK方式を用いた40GbpsDQPSK通信方式において、遅延復調デバイスにおける偏波乖離量（PDλ）の許容量は0.5GHz(0.004nm)以下であると言われている。

偏波乖離量を解消する手段として、マッハツェンダー干渉計（MZI）の２つの導波路に1/2波長板を挿入する構成も考えられるが、このような構成にしても偏波乖離量を0.5GHz以下に抑えるのは難しく、歩留りが発生してしまう。そのため、偏波乖離量が小さい(PDλ<0.004nmの)遅延復調デバイスを実現することは非常に困難であった。

本発明は、このような従来の問題点に着目してなされたもので、その目的は、偏波乖離量を低減した遅延復調デバイスを提供することにある。

上記課題を解決するために、本発明者らは、波長板に対向するマッハツェンダー干渉計（MZI）上のヒータをそれぞれ駆動させることにより、偏波乖離量を調整できることを見出し、偏波低減の手法を考案した。

次に、上記課題を解決するための手段を以下に具体的に記載する。
請求項１に記載の発明に係る遅延復調デバイスは、DQPSK信号を復調させる平面光波回路型の遅延復調デバイスであって、前記DQPSK信号を分岐した光信号がそれぞれ伝搬する長さの異なる２つの導波路をそれぞれ有し、一方の導波路を伝搬する前記光信号の位相を他方の導波路を伝搬する前記光信号の位相に対して１シンボル分遅延させる２つのマッハツェンダー干渉計と、前記２つのマッハツェンダー干渉計各々の前記２つの導波路の中央部に配置された1/2波長板と、前記各マッハツェンダー干渉計の前記一方の導波路上に、前記1/2波長板を挟んで形成された第１のヒータ（Ａ）及び第２のヒータ（Ｃ）と、前記各マッハツェンダー干渉計の前記他方の導波路上に、前記1/2波長板を挟んで形成された第３のヒータ（Ｂ）及び第４のヒータ（Ｄ）と、を備え、前記各マッハツェンダー干渉計において、前記1/2波長板を挟んで対向する前記第１のヒータ（Ａ）と前記第４のヒータ（Ｄ）、或いは前記第３のヒータ（Ｂ）と前記第２のヒータ（Ｃ）を駆動させて偏波乖離量が調整されていることを特徴とする。

請求項２に記載の発明に係る遅延復調デバイスは、前記DQPSK信号を分岐するＹ分岐導波路と、前記２つのマッハツェンダー干渉計が、一つのPLC基板上に形成された平面光波回路であることを特徴とする。

請求項３に記載の発明に係る遅延復調デバイスは、前記各マッハツェンダー干渉計は、独立した別のPLC基板上に個別に形成された平面光波回路であり、前記各マッハツェンダー干渉計には、前記DQPSK信号が前記PLC基板外で分岐されて入力されることを特徴とする。

請求項４に記載の発明に係る遅延復調デバイスは、DPSK信号を復調させる平面光波回路型の遅延復調デバイスであって、前記DPSK信号がそれぞれ伝搬する長さの異なる２つの導波路を有し、一方の導波路を伝搬する前記光信号の位相を他方の導波路を伝搬する前記光信号の位相に対して１ビット分遅延させる一つのマッハツェンダー干渉計と、前記２つの導波路の中央部に配置された1/2波長板と、前記一方の導波路上に、前記1/2波長板を挟んで形成された第１のヒータ（Ａ）及び第２のヒータ（Ｃ）と、前記他方の導波路上に、前記1/2波長板を挟んで形成された第３のヒータ（Ｂ）及び第４のヒータ（Ｄ）と、を備え、前記1/2波長板を挟んで対向する前記第１のヒータ（Ａ）と前記第４のヒータ（Ｄ）、或いは前記第３のヒータ（Ｂ）と前記第２のヒータ（Ｃ）を駆動させて偏波乖離量が調整されていることを特徴とする。

請求項１に記載の本発明によれば、偏波乖離量を低減したDQPSK用の遅延復調デバイスを得ることができる。

請求項４に記載の発明によれば、偏波乖離量を低減したDPSK用の遅延復調デバイスを得ることができる。

本発明を具体化した各実施形態に係る遅延復調デバイスを図面に基づいて説明する。なお、各実施形態の説明において同様の部位には同一の符号を付して重複した説明を省略する。

（第１実施形態）
第１実施形態に係る遅延復調デバイスを、図１乃至図６に基づいて説明する。図１は第１実施形態に係る遅延復調デバイスの概略構成を示している。図２は、DQPSK方式を用いた光伝送システム（光送受信器）の概略構成を示している。図３は、４つのヒータＡ，Ｂ，Ｃ，Ｄのうち、ヒータＡとヒータＤを、これらのヒータに印加する電圧を変えて駆動したときの偏波乖離量PDλの変化を示すグラフである。図４は、ヒータＣとヒータＢを、これらのヒータに印加する電圧を変えて駆動したときの偏波乖離量PDλの変化を示すグラフである。図５は、ヒータＡとヒータＢを、これらのヒータに印加する電圧を変えて駆動したときの偏波乖離量PDλの変化を示すグラフである。そして、図６は、ヒータＣとヒータＤを、これらのヒータに印加する電圧を変えて駆動したときの偏波乖離量PDλの変化を示すグラフである。

図１に示す遅延復調デバイス１は、DQPSK信号を復調させる平面光波回路型（PLC型）の遅延復調デバイス（復調器）である。この遅延復調デバイス１は、例えば、伝送速度が40GbpsのDQPSK方式を用いた図２に示す光伝送システムに使用される40GbpsDQPSK用遅延復調デバイスである。

この光伝送システムでは、光送信器４０から光ファイバ伝送路５４に、２ビットのデータから構成される各シンボルの値（0,1,2,3）の４つの情報を、隣接する２つのシンボルの値の変化に応じて搬送波の位相（θ，θ＋π／2，θ＋π，θ＋3π／2）の位相情報に変調されたDQPSK信号が伝送される。光ファイバ伝送路５４から光受信器５０に送られてきたDQPSK信号は遅延復調デバイス１により光強度信号に変換され、さらには、その光強度信号がバランスドレシーバ５１，５２により電気信号に変換され、DQPSK信号の上記４つの情報を復調させることができる。受信電気回路５３では、復号化処理などがなされる。

図１に示す遅延復調デバイス１は、平面光波回路（PLC：Planar Lightwave Circuit）である１本の光入力導波路２と、この光入力導波路２を分岐するＹ分岐導波路３と、Ｙ分岐導波路３により分岐された２本の導波路４，５にそれぞれ接続された２×２のマッハツェンダー干渉計回路６，７とを備える。これらの導波路を含む平面光波回路は、PLC基板としてのシリコン基板２０上に火炎加水分解法（FHD法）、フォトリソグラフィ、反応性イオンエッチングにより石英系ガラス３０で構成される。

マッハツェンダー干渉計回路６は、２つの方向性結合器８，９と、これら２つの方向性結合器８，９間に接続された長さの異なる２つの導波路１０，１１とを備えている。同様に、マッハツェンダー干渉計回路７は、２つの方向性結合器１２，１３と、これら２つの方向性結合器１２，１３間に接続された長さの異なる２つの導波路１４，１５とを備えている。

マッハツェンダー干渉計回路６にあっては、光ファイバ伝送路５４から光受信器５０に送られるDQPSK信号がＹ分岐導波路３で分岐され、その分岐されたDQPSK信号（光信号）が長さの異なる２つの導波路１０，１１を伝搬する。マッハツェンダー干渉計回路６は、一方の導波路１１を伝搬する光信号の位相を他方の導波路１０を伝搬する光信号の位相に対して１シンボル分遅延させるようになっている。

同様に、マッハツェンダー干渉計回路７にあっては、DQPSK信号がＹ分岐導波路３で分岐され、その分岐されたDQPSK信号（光信号）が長さの異なる２つの導波路１４，１５を伝搬する。マッハツェンダー干渉計回路７は、一方の導波路１５を伝搬する光信号の位相を他方の導波路１４を伝搬する光信号の位相に対して１シンボル分遅延させるようになっている。

マッハツェンダー干渉計６の２つの導波路１０，１１の中央部およびマッハツェンダー干渉計７の２つの導波路１４，１５の中央部には、一つの1/2波長板２１が配置されている。

マッハツェンダー干渉計６は、一方の導波路１１上に1/2波長板２１を挟んで形成された第１のヒータＡ及び第２のヒータＣと、他方の導波路１０上に1/2波長板２１を挟んで形成された第３のヒータＢ及び第４のヒータＤとを備えている。

同様に、マッハツェンダー干渉計７は、一方の導波路１５上に1/2波長板２１を挟んで形成された第１のヒータＡ及び第２のヒータＣと、他方の導波路１４上に1/2波長板２１を挟んで形成された第３のヒータＢ及び第４のヒータＤとを備えている。各ヒータＡ〜Ｄは、シリコン基板２０上に形成された導波路１０，１１，１４，１５のうちの対応する導波路の上部クラッド上に形成された薄膜ヒータである。各ヒータＡ〜Ｄは、例えば、各導波路の上部クラッド上にスパッタにより形成されたTa系の薄膜ヒータである。

マッハツェンダー干渉計回路６の方向性結合器９には、２つの光出力導波路２３，２４が接続されている。マッハツェンダー干渉計回路７の方向性結合器１３には、２つの光出力導波路２５，２６が接続されている。

遅延復調デバイス１は、各マッハツェンダー干渉計６，７において、1/2波長板２１を挟んで対向するヒータＡとヒータＤ、或いはヒータＢとヒータＣを駆動させて偏波乖離量PDλが調整されている。

また、この遅延復調デバイス１では、マッハツェンダー干渉計回路６の位相に対し、マッハツェンダー干渉計回路７の位相をπ/2だけシフトさせる必要がある。その位相調整作業は、ヒータＡとヒータＤ、或いはヒータＢとヒータＣを駆動させて偏波乖離量PDλを調整する前に、各マッハツェンダー干渉計６，７のヒータＡ〜Ｄのいずれかを駆動させることで行う。

このように、本実施形態では、DQPSK信号を復調させる平面光波回路型（PLC型）の遅延復調デバイス１が、DQPSK信号を分岐するＹ分岐導波路３と、２つのマッハツェンダー干渉計６，７が、一つのシリコン基板（PLC基板）２０上に形成された平面光波回路で構成されている。

〔実施例〕
シリコン基板２０上に火炎加水分解法（FHD法）、フォトリソグラフィー、反応性イオンエッチングにより石英系ガラス３０で構成される１つのＹ分岐導波路３、マッハツェンダー干渉計回路６，７を有する40GbpsのDQPSK用の遅延復調デバイス１を作製した。

各マッハツェンダー干渉計回路６，７の導波路１０，１１，１４，１５には、Ｔａ系のヒータ（薄膜ヒータ）Ａ〜Ｄがスパッタにより形成されている。各ヒータＡ〜Ｄのヒータ長を5000um、ヒータ幅を60umとした。これらの抵抗値はほとんど同じであることを確認している。さらに、スペクトルの偏波乖離量（PDλ）を抑制するために、各マッハツェンダー干渉計６，７の２つの導波路の中央部に1/2λ波長板２１が挿入されている。その後、1550nm付近におけるマッハツェンダー干渉計６の初期PDλ(スルーポート)を測定した。

ここで、各マッハツェンダー干渉計６，７のヒータＡとＤに、或いは、ヒータＢとＣにそれぞれ同じ電圧（波長シフトが起こらないようにするため）を印加して駆動すると、ヒータＡとＤを駆動した場合には図３に示すように、ヒータＣとＢを駆動した場合には図４に示すようにPDλがそれぞれ変化する。

これは印加電圧により、ＰＬＣ膜に内在する応力やヒータ膜起因の応力が変化するために起こるものと考えられる。図３より、PDλを一番小さくするためは、各マッハツェンダー干渉計６，７のヒータＡとＤにそれぞれ9.5Vを印加すればよいことがわかる。この場合、図３に示すように、ヒータＡとＤへの印加電圧が「０」のときの偏波乖離量（PDλ)を０nmとして、ヒータＡとＤに印加する電圧を9.5Vにしたときに、PDλが−0.002nm付近まで小さくなっている。このように、各マッハツェンダー干渉計６，７のヒータＡとＤを駆動することにより、偏波乖離量が小さい遅延復調デバイス１を作製することができる。

なお、ここではヒータＡとＤを駆動させるとPDλが小さくなる方向にあったが、これに限ることなく、PLC作製時の初期PDλの状態によって、駆動させるヒータが決定される。また、PDλを小さくするための印加電圧は10V程度であるが、ヒータ長やヒータ幅を変更すれば所望に変えることができる。

なお、図５はヒータAとBに電圧を印加した際のグラフを、図６はヒータCとDに電圧を印加した際のグラフをそれぞれ示す。これらグラフから、各マッハツェンダー干渉計６，７のヒータAとB、或いはヒータCとDに電圧を印加してもPDλは変わらない。PDλを変化させるためには、各マッハツェンダー干渉計６，７において、1/2波長板２１を挟んで対向するヒータAとDに、或いは、ヒータBとC をそれぞれ駆動させる必要がある。

以上の構成を有する第１実施形態によれば、以下のような作用効果を奏する。
○各マッハツェンダー干渉計６，７のヒータAとDに、或いは、ヒータBとCにそれぞれ電圧（例えば同じ電圧）を印加して駆動することで、偏波乖離量（PDλ）を調整することができる。

○各マッハツェンダー干渉計６，７のヒータAとDに、PDλを一番小さくするための電圧を印加して駆動することで、従来困難であった偏波乖離量が小さい40GbpsDQPSK用遅延復調デバイスを得ることができる。

○各マッハツェンダー干渉計６，７のヒータＡ〜Ｄの各抵抗値はほぼ同じであり、偏波乖離量（PDλ）を調整するために、ヒータＡとヒータＤ、或いはヒータＢとヒータＣに、それぞれ同じ電圧を印加することで、波長シフトが起こらないようにすることができる。

○平面光波回路型の遅延復調デバイス１を、DQPSK信号を分岐するＹ分岐導波路３と、２つのマッハツェンダー干渉計６，７が、一つのシリコン基板（PLC基板）２０上に形成された平面光波回路で構成しているので、40GbpsDQPSK用遅延復調デバイスの作製が容易になる。

（第２実施形態）
図７は第２実施形態に係る遅延復調デバイス１Ａの概略構成を示している。

この遅延復調デバイス１Ａは、DPSK信号を復調させる平面光波回路型（PLC型）の遅延復調デバイスであって、DPSK方式を用いた光伝送システムに使用される40GbpDPSK用遅延復調デバイスである。

この光伝送システムでは、光送信器（図２に示す光送信器４０参照）から、１ビットのデータから構成される各ビットの値（０または１）の２つの情報を、隣接する２つのビットの値の変化に応じて搬送波の位相（θまたはθ＋π）の位相情報に変調されたDPSK信号が伝送される。光送信器から光受信器（図２に示す光受信器５０参照）に送られてきたDPSK信号は遅延復調デバイス１Ａにより光強度信号に変換され、さらには、その光強度信号がバランスドレシーバにより電気信号に変換され、DPSK信号の上記２つの情報を復調させることができる。

この遅延復調デバイス１Ａは、平面光波回路（PLC）である１本の光入力導波路２Ａと、この光入力導波路２Ａに接続された２×２のマッハツェンダー干渉計回路６とを備える。

マッハツェンダー干渉計回路６は、DPSK信号がそれぞれ伝搬する長さの異なる２つの導波路１０，１１を有し、一方の導波路１１を伝搬するDPSK信号の位相を他方の導波路１０を伝搬するDPSK信号の位相に対して１ビット分遅延させるように構成されている。

また、遅延復調デバイス１Ａは、２つの導波路１０，１１の中央部に配置された1/2波長板２１と、一方の導波路１１上に、1/2波長板２１を挟んで形成された第１のヒータＡ及び第２のヒータＣと、他方の導波路１０上に、1/2波長板２１を挟んで形成された第３のヒータＢ及び第４のヒータＤと、を備えている。

遅延復調デバイス１Ａは、1/2波長板２１を挟んで対向する第１のヒータＡと第４のヒータＤ、或いは第３のヒータＢと第２のヒータＣを駆動させて偏波乖離量（PDλ）が調整されている。

以上の構成を有する第２実施形態によれば、以下のような作用効果を奏する。
○マッハツェンダー干渉計６のヒータAとDに、或いは、ヒータBとCにそれぞれ電圧（例えば同じ電圧）を印加して駆動することで、偏波乖離量（PDλ）を調整することができる。

○マッハツェンダー干渉計６のヒータAとDに、PDλを一番小さくするための電圧を印加して駆動することで、偏波乖離量（PDλ）が小さいDPSK用遅延復調デバイスを作製することができる。

なお、この発明は以下のように変更して具体化することもできる。
・上記第１実施形態では、DQPSK信号を復調させる平面光波回路型（PLC型）の遅延復調デバイス１が、DQPSK信号を分岐するＹ分岐導波路３と、２つのマッハツェンダー干渉計６，７が、一つのシリコン基板（PLC基板）２０上に形成された平面光波回路で構成されているが、本発明はこのような構成に限定されない。例えば、図７に示すような遅延復調デバイス１Ｂにも本発明は適用可能である。

この遅延復調デバイス１Ａは、各マッハツェンダー干渉計６，７が独立した別のPLC基板であるシリコン基板２０ａ、２０ｂ上に個別に形成された平面光波回路であり、各マッハツェンダー干渉計６，７には、DQPSK信号がシリコン基板２０ａ、２０ｂ外にあるカプラ６０で分岐されて入力されるように構成されている。なお、符号２１ａ、２１ｂは、図１に示す1/2波長板２１と同様の1/2波長板である。

・上記第１実施形態では、波長シフトを生じさせないために、各ヒータに同一の電圧を印加したが、これに限ることなく、プロセスによって各ヒータの抵抗値にバラツキが生じることもあるため、波長シフトが生じないように、各ヒータの抵抗値を考慮して、各ヒータに異なる電圧を印加するようにしてもよい。

・上記第１実施形態では、波長シフトを生じさせないために、各ヒータに同一の電圧を印加したが、マッハツェンダー干渉計６の位相とマッハツェンダー干渉計７の位相との位相合わせを考慮して、各ヒータに異なる電圧を印加するようにしてもよい。

第１実施形態に係る遅延復調デバイスの概略構成を示す斜視図。 DQPSK方式を用いた光伝送システムの概略構成を示すブロック図。 ヒータＡとヒータＤを、これらのヒータに印加する電圧を変えて駆動したときの偏波乖離量PDλの変化を示すグラフ。 ヒータＣとヒータＢを、これらのヒータに印加する電圧を変えて駆動したときの偏波乖離量PDλの変化を示すグラフ。 ヒータＡとヒータＢを、これらのヒータに印加する電圧を変えて駆動したときの偏波乖離量PDλの変化を示すグラフ。 ヒータＣとヒータＤを、これらのヒータに印加する電圧を変えて駆動したときの偏波乖離量PDλの変化を示すグラフ。 第２実施形態に係る遅延復調デバイスの概略構成を示す斜視図。 第１実施形態に係る遅延復調デバイスの変形例の概略構成を示すブロック図。

符号の説明

１，１Ａ，１Ｂ…遅延復調デバイス、２，２Ａ…光入力導波路、３…Ｙ分岐導波路、
４，５…分岐された２本の導波路、６…２×２のマッハツェンダー干渉計回路、
７…２×２の第２のマッハツェンダー干渉計回路、８，９…方向性結合器、
１０，１１…長さの異なる２つの導波路、１２，１３…方向性結合器、
１４，１５…長さの異なる２つの導波路、
Ａ…第１のヒータ、Ｃ…第２のヒータＣ、Ｂ…第３のヒータ、Ｄ…第４のヒータ、
２０…シリコン基板、２１，２１ａ，２１ｂ…1/2波長板。

Claims (4)

1. DQPSK信号を復調させる平面光波回路型の遅延復調デバイスであって、
   前記DQPSK信号を分岐した光信号がそれぞれ伝搬する長さの異なる２つの導波路をそれぞれ有し、一方の導波路を伝搬する前記光信号の位相を他方の導波路を伝搬する前記光信号の位相に対して１シンボル分遅延させる２つのマッハツェンダー干渉計と、
   前記２つのマッハツェンダー干渉計各々の前記２つの導波路の中央部に配置された1/2波長板と、
   前記各マッハツェンダー干渉計の前記一方の導波路上に、前記1/2波長板を挟んで形成された第１のヒータ（Ａ）及び第２のヒータ（Ｃ）と、
   前記各マッハツェンダー干渉計の前記他方の導波路上に、前記1/2波長板を挟んで形成された第３のヒータ（Ｂ）及び第４のヒータ（Ｄ）と、を備え、
   前記各マッハツェンダー干渉計において、前記1/2波長板を挟んで対向する前記第１のヒータ（Ａ）と前記第４のヒータ（Ｄ）、或いは前記第３のヒータ（Ｂ）と前記第２のヒータ（Ｃ）を駆動させて偏波乖離量が調整されていることを特徴とする遅延復調デバイス。
2. 前記DQPSK信号を分岐するＹ分岐導波路と、前記２つのマッハツェンダー干渉計が、一つのPLC基板上に形成された平面光波回路であることを特徴とする請求項１に記載の遅延復調デバイス。
3. 前記各マッハツェンダー干渉計は、独立した別のPLC基板上に個別に形成された平面光波回路であり、前記各マッハツェンダー干渉計には、前記DQPSK信号が前記PLC基板外で分岐されて入力されることを特徴とする請求項１に記載の遅延復調デバイス。
4. DPSK信号を復調させる平面光波回路型の遅延復調デバイスであって、
   前記DPSK信号がそれぞれ伝搬する長さの異なる２つの導波路を有し、一方の導波路を伝搬する前記光信号の位相を他方の導波路を伝搬する前記光信号の位相に対して１ビット分遅延させる一つのマッハツェンダー干渉計と、
   前記２つの導波路の中央部に配置された1/2波長板と、
   前記一方の導波路上に、前記1/2波長板を挟んで形成された第１のヒータ（Ａ）及び第２のヒータ（Ｃ）と、
   前記他方の導波路上に、前記1/2波長板を挟んで形成された第３のヒータ（Ｂ）及び第４のヒータ（Ｄ）と、を備え、
   前記1/2波長板を挟んで対向する前記第１のヒータ（Ａ）と前記第４のヒータ（Ｄ）、或いは前記第３のヒータ（Ｂ）と前記第２のヒータ（Ｃ）を駆動させて偏波乖離量が調整されていることを特徴とする遅延復調デバイス。

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