JP2009099719A - 減圧乾燥装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】チャンバー10における支持ピン15と対向する位置には、冷却風吐出ノズル52が配設されている。この冷却風吐出ノズル52は、管路53を介して、ボルテックス効果を利用した冷却風発生器51と連結されている。この冷却風吐出ノズル52は、その吐出口が、基板Wを支持する支持ピン15と対向する位置に配置されている。
【選択図】図1
Description
11 蓋部
12 パッキング
13 基部
15 支持ピン
21 昇降ピン
22 支持板
24 支持棒
25 昇降機構
31 排気口
32 管路
33 開閉弁
34 真空ポンプ
51 ボルテックス効果を利用した冷却風発生器
52 冷却風吐出ノズル
53 管路
54 管路
W 基板
Claims (2)
- 基板の主面に形成された薄膜を減圧乾燥する減圧乾燥装置において、
基板の周囲を覆うチャンバーと、
前記チャンバー内において基板を支持する支持ピンと、
前記チャンバー内を排気する排気手段と、
ボルテックス効果を利用した冷却風発生器と、
前記冷却風発生器に連結され、前記冷却風発生器で発生した冷却風を前記支持ピンに吹き付ける冷却風吐出ノズルと、
を備えたことを特徴とする減圧乾燥装置。 - 請求項1に記載の減圧乾燥装置において、
基板をチャンバー内に収納し、当該チャンバー内から少量の排気量で排気を行った後、大量の排気量で排気を行うことにより、基板の主面に形成された薄膜から溶剤を減圧乾燥するものであり、
前記冷却風吐出ノズルは、少量の排気量で排気を行うときに、前記支持ピンに冷却風を吹き付ける減圧乾燥装置。
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