JP2009096652A - Method of manufacturing ceramic and method of manufacturing movement-guiding device - Google Patents

Method of manufacturing ceramic and method of manufacturing movement-guiding device Download PDF

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徹 高橋
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a manufacturing method of highly accurately and inexpensively manufacturing ceramics used for a mechanical component. <P>SOLUTION: The method of manufacturing ceramics implements a process including: a preparation step (step S10) of preparing ceramic raw material powder by stirring the ceramic raw material powder in which a prescribed quantity of a binder, a solvent and a sintering aid are blended; molding steps (step S11-S14) of deaerating and kneading the ceramic raw material powder to form ceramic clay paste, molding the ceramic clay paste and drying the molded ceramic clay paste to obtain a molding shaped in a desired semi-finished product; a degreasing step (step S15) of degreasing the molding; and a firing step (step S16) of firing the molding. The molding step includes a heat resistant material installation step (step S12, S13) of installing a heat resistant material in the molding, and the heat resistant material installed in the heat resistant material installation step is removed by carrying out a removal step (step S17) implemented after the firing step. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は、機械部品に用いられるセラミックスを高精度且つ安価に製造するために用いられるセラミックスの製造方法に関するものである。   The present invention relates to a method for producing ceramics used for producing ceramics used for machine parts with high accuracy and at low cost.

例えば、従来から用いられている機械要素として、ボールねじやリニアガイド、直動ベアリング、ボールスプライン等といった運動案内装置が知られている。かかる運動案内装置は、転動体転走面を備える軌道部材と、この転動体転走面に対向する負荷転動体転走面を備える移動部材と、転動体転走面と負荷転動体転走面とによって構成される負荷転走路内に転動自在に設置される複数の転動体と、を有することにより、移動部材が軌道部材の軸線方向又は周方向に往復運動自在又は回転運動自在とされる装置である。   For example, motion guide devices such as ball screws, linear guides, linear motion bearings, ball splines, and the like are known as conventionally used machine elements. Such a motion guide device includes a raceway member having a rolling element rolling surface, a moving member having a loaded rolling element rolling surface opposite to the rolling element rolling surface, a rolling element rolling surface, and a loaded rolling element rolling surface. A plurality of rolling elements that are movably installed in a load rolling path constituted by the moving member, so that the moving member can reciprocate or rotate freely in the axial direction or circumferential direction of the track member. Device.

この種の運動案内装置は、軌道部材と移動部材との間に配設される複数の転動体が繰り返し転がり運動を行うことになるので、これら運動案内装置の構成部材には繰り返し接触応力が加わることとなる。そのため、軌道部材、移動部材、及び転動体を構成する材料には、疲労寿命や耐摩耗性等に優れた金属材料や樹脂材料等が採用されている。   In this type of motion guide device, a plurality of rolling elements disposed between the track member and the moving member repeatedly roll, and therefore, contact stress is repeatedly applied to the constituent members of the motion guide device. It will be. Therefore, a metal material or a resin material excellent in fatigue life, wear resistance, or the like is adopted as a material constituting the race member, the moving member, and the rolling element.

ところが、近年の運動案内装置にあっては、案内運動のさらなる高速化や高加減速化等の要請が高まっており、かかる要請を現実のものとするための一つの解決手段として、従来の金属材料等に代えてセラミックスを構成部材に使用したいとの要望が存在していた。   However, in recent motion guide devices, there is an increasing demand for further speeding up and high acceleration / deceleration of the guide motion. As one solution for realizing such a request, conventional metal guides are used. There has been a demand to use ceramics as a constituent member instead of materials.

しかしながら、従来のセラミックスでは、焼結前の成形体の状態から焼結後の焼結製品となる工程において熱収縮が発生してしまうので、運動案内装置に適用できるほどの製品寸法精度を得ることが困難であった。また、例えば上述した運動案内装置を構成する移動部材の場合には、負荷転動体転走面などの長手方向に延びる溝形状もしくは孔形状を形成する必要があるが、セラミックスのような硬度の高い材料においては、焼結後に上記のような溝形状もしくは孔形状を精度良く加工することは非常に困難であり、また、たとえ加工できたとしても、膨大な加工コストを要してしまうという問題を有していた。   However, with conventional ceramics, heat shrinkage occurs in the process of forming a sintered product after sintering from the state of the green body before sintering, so that a product dimensional accuracy that can be applied to a motion guide device is obtained. It was difficult. In addition, for example, in the case of the moving member constituting the motion guide device described above, it is necessary to form a groove shape or a hole shape extending in the longitudinal direction such as a loaded rolling element rolling surface, but it has a high hardness like ceramics. In materials, it is very difficult to accurately process the groove shape or hole shape as described above after sintering, and even if it can be processed, a huge processing cost is required. Had.

本発明は、上述した課題の存在に鑑みて成されたものであって、その目的は、例えば運動案内装置の構成部材のように形状が複雑で高い製品寸法精度を必要とするような部材について、セラミックスで製造することを可能とし、しかもこのセラミックスを高精度且つ安価に製造することのできる技術を提供することにある。   The present invention has been made in view of the above-described problems, and the object thereof is, for example, a member having a complicated shape and requiring high product dimensional accuracy, such as a constituent member of a motion guide device. An object of the present invention is to provide a technique that enables manufacturing with ceramics and that can manufacture the ceramics with high accuracy and at low cost.

本発明に係るセラミックスの製造方法は、所定量のバインダー、溶媒、及び焼結助剤を配合してセラミック原料粉末を調製する調製工程と、前記セラミック原料粉末に成形加工を施すことによって成形体を得る成形工程と、前記成形体に脱脂処理を行う脱脂工程と、前記脱脂処理が行われた前記成形体に焼成処理を行う焼成工程と、を含む処理を実行するセラミックスの製造方法であって、前記成形工程は、前記成形体に対して耐熱材料を設置する耐熱材料設置工程を含み、当該耐熱材料設置工程にて設置された前記耐熱材料が、前記焼成工程の後に実施される撤去工程において取り除かれることにより、前記セラミックスの製品形状が得られることを特徴とする。   The method for producing a ceramic according to the present invention comprises a preparation step of preparing a ceramic raw material powder by blending a predetermined amount of a binder, a solvent, and a sintering aid, and a forming process by subjecting the ceramic raw material powder to a forming process. A method for producing ceramics, comprising: a forming step to obtain; a degreasing step for degreasing the molded body; and a firing step for firing the molded body on which the degreasing treatment has been performed. The molding step includes a heat-resistant material installation step of installing a heat-resistant material on the molded body, and the heat-resistant material installed in the heat-resistant material installation step is removed in a removal step performed after the firing step. In this way, the product shape of the ceramic can be obtained.

本発明に係るセラミックスの製造方法では、前記耐熱材料設置工程にて前記成形体に設置される前記耐熱材料を、除去加工によって形成された前記成形体の被除去加工部位に対して設置することができる。   In the ceramic manufacturing method according to the present invention, the heat-resistant material installed on the molded body in the heat-resistant material installation step may be installed on a portion to be removed of the molded body formed by removal processing. it can.

また、本発明に係るセラミックスの製造方法において、前記耐熱材料設置工程は、前記成形工程と同時に実行されることができる。   In the method for producing ceramics according to the present invention, the heat-resistant material installation step can be performed simultaneously with the forming step.

さらに、本発明に係るセラミックスの製造方法では、前記耐熱材料の熱膨張率が、前記セラミックスよりも小さいことが好適である。   Furthermore, in the method for producing a ceramic according to the present invention, it is preferable that the heat-resistant material has a smaller coefficient of thermal expansion than the ceramic.

またさらに、本発明に係るセラミックスの製造方法において、前記耐熱材料は、炭素系材料又は多孔質材料から成ることとすることができる。   Furthermore, in the method for producing ceramics according to the present invention, the heat-resistant material can be made of a carbon-based material or a porous material.

本発明に係る運動案内装置の製造方法は、転動体転走面を備える軌道部材と、前記転動体転走面に対向する負荷転動体転走面を備える移動部材と、前記転動体転走面と前記負荷転動体転走面とによって構成される負荷転走路内に転動自在に設置される複数の転動体と、を有することにより、前記移動部材が前記軌道部材の軸線方向又は周方向に往復運動自在又は回転運動自在とされる運動案内装置の製造方法であって、前記軌道部材又は前記移動部材が、所定量のバインダー、溶媒、及び焼結助剤を配合してセラミック原料粉末を調製する調製工程と、前記セラミック原料粉末に成形加工を施すことによって成形体を得る成形工程と、前記成形体に脱脂処理を行う脱脂工程と、前記脱脂処理が行われた前記成形体に焼成処理を行う焼成工程と、を含む処理を実行されることにより製品形状に成形され、さらに、前記成形工程は、前記成形体に対して耐熱材料を設置する耐熱材料設置工程を含み、当該耐熱材料設置工程にて設置された前記耐熱材料が、前記焼成工程の後に実施される撤去工程において取り除かれることを特徴とする。   The method of manufacturing a motion guide device according to the present invention includes a raceway member having a rolling element rolling surface, a moving member having a loaded rolling element rolling surface facing the rolling element rolling surface, and the rolling element rolling surface. And a plurality of rolling elements that are movably installed in a loaded rolling path constituted by the rolling surface of the load rolling element, so that the moving member is in the axial direction or the circumferential direction of the track member A method of manufacturing a motion guide device that is freely reciprocally movable or rotationally movable, wherein the raceway member or the moving member is mixed with a predetermined amount of a binder, a solvent, and a sintering aid to prepare a ceramic raw material powder. A preparation step, a forming step of obtaining a formed body by performing a forming process on the ceramic raw material powder, a degreasing step of performing a degreasing process on the formed body, and a baking treatment on the formed body subjected to the degreasing process. A firing step to be performed and Is formed into a product shape, and the forming step further includes a heat-resistant material installation step of installing a heat-resistant material on the molded body, and is installed in the heat-resistant material installation step. The heat-resistant material is removed in a removal step performed after the firing step.

本発明によれば、セラミックスを高精度且つ安価に製造することができる。したがって、例えば運動案内装置を構成する部材のような製品寸法精度の要求される部材に対してセラミックスを適用することが可能となる。   According to the present invention, ceramics can be manufactured with high accuracy and at low cost. Therefore, for example, ceramics can be applied to a member that requires product dimensional accuracy, such as a member constituting a motion guide device.

特に、本発明によって製造される高寸法精度で軽量化が実現されたセラミックスを運動案内装置に適用することにより、従来では困難であったレベルの運動案内装置の案内精度向上や高速化、あるいは高加減速化等を実現することが可能となる。   In particular, by applying high dimensional accuracy and light weight ceramics manufactured according to the present invention to a motion guide device, the guide accuracy of the motion guide device can be improved, speeded up, or increased, which has been difficult in the past. Acceleration / deceleration and the like can be realized.

また、本発明によれば、セラミックスを安価に量産化することができるので、コスト面の問題で導入が困難となっていた分野の部材に対しても、セラミックスを適用することが可能となる。   Further, according to the present invention, ceramics can be mass-produced at low cost, so that ceramics can be applied to members in fields where introduction is difficult due to cost problems.

まず、図1を用いることによって、本発明に係るセラミックスの製造方法によって製造可能なリニアガイド装置10の概略構成を説明する。ここで、図1は、本発明に係るセラミックスの製造方法によって製造可能なリニアガイド装置10の概略構成を説明するための縦断面図である。なお、以下で説明する各実施形態においては、図1によって例示される一般的なリニアガイド装置10として構成される運動案内装置のうち、特に移動部材である移動ブロック21の構成部材である移動ブロック本体部23を製造することを想定したものである。   First, a schematic configuration of a linear guide device 10 that can be manufactured by the ceramic manufacturing method according to the present invention will be described with reference to FIG. Here, FIG. 1 is a longitudinal sectional view for explaining a schematic configuration of a linear guide device 10 that can be manufactured by the ceramic manufacturing method according to the present invention. In each embodiment described below, among the motion guide devices configured as the general linear guide device 10 illustrated by FIG. 1, a moving block that is a constituent member of the moving block 21 that is a moving member in particular. It is assumed that the main body portion 23 is manufactured.

図1にて示すリニアガイド装置10は、転動体転走面12を備える軌道部材としての軌道レール11と、軌道レール11に形成された転動体転走面12に対向する負荷転動体転走面22を備える移動部材としての移動ブロック21と、転動体転走面12と負荷転動体転走面22とによって構成される負荷転走路24内に転動自在に設置される複数の転動体としてのボール31と、を有して構成されている。   A linear guide device 10 shown in FIG. 1 includes a track rail 11 as a track member having a rolling element rolling surface 12 and a loaded rolling element rolling surface facing the rolling element rolling surface 12 formed on the track rail 11. As a plurality of rolling elements installed in a freely rolling manner in a load rolling path 24 constituted by a moving block 21 as a moving member having 22, a rolling element rolling surface 12 and a load rolling element rolling surface 22. And a ball 31.

軌道レール11は概略矩形の断面を有する長尺の部材であり、その外表面には複数のボール31を受け入れ可能な転動体転走面12が軌道レール11の長手方向に沿って形成されている。また、図1にて示すリニアガイド装置10の場合、軌道レール11には合計で4条の転動体転走面12が軌道レール11の全長に亘って形成されている。さらに、軌道レール11には、その長手方向に適宜間隔をおいて複数のボルト取付孔13が形成されている。これらボルト取付孔13に螺着されるボルト(不図示)により、軌道レール11が所定の取付面、例えば工作機械のベッドの上面に固定される。なお、図示の軌道レール11は直線状に形成されたものを示しているが、一定の曲率を持った曲線状のレールが使用されることもある。   The track rail 11 is a long member having a substantially rectangular cross section, and a rolling element rolling surface 12 capable of receiving a plurality of balls 31 is formed along the longitudinal direction of the track rail 11 on the outer surface thereof. . In the case of the linear guide device 10 shown in FIG. 1, a total of four rolling element rolling surfaces 12 are formed on the track rail 11 over the entire length of the track rail 11. Furthermore, a plurality of bolt mounting holes 13 are formed in the track rail 11 at appropriate intervals in the longitudinal direction. The track rail 11 is fixed to a predetermined mounting surface, for example, the upper surface of a bed of a machine tool, by bolts (not shown) screwed into the bolt mounting holes 13. In addition, although the track rail 11 of illustration shows what was formed in linear form, the curved rail with a fixed curvature may be used.

一方、移動ブロック21は、鋼等の強度の高い材料にて構成された移動ブロック本体部23と、その移動ブロック本体部23の両端にボルト(不図示)にて固定される一対の側蓋体(図1には示されておらず、図1では側蓋体が取り外された状態で描かれている)とを備えている。   On the other hand, the moving block 21 includes a moving block main body portion 23 made of a high-strength material such as steel, and a pair of side lid bodies fixed to both ends of the moving block main body portion 23 with bolts (not shown). (It is not shown in FIG. 1 and is depicted in FIG. 1 with the side lid removed).

移動ブロック本体部23には、軌道レール11の転動体転走面12とそれぞれ対向する4条の負荷転動体転走面22が設けられている。これら転動体転走面12と負荷転動体転走面22との組み合わせにより、軌道レール11と移動ブロック21との間に4条の負荷転走路24が形成される。移動ブロック本体部21の上面には複数(図1では2箇所のみ描かれている)の雌ねじ穴25が形成されており、これらの雌ねじ穴25を利用することによって、移動ブロック21が所定の取付面、例えば工作機械のサドルやテーブルの下面に固定される。   The moving block body 23 is provided with four loaded rolling element rolling surfaces 22 that face the rolling element rolling surfaces 12 of the track rail 11. By combining the rolling element rolling surface 12 and the loaded rolling element rolling surface 22, four load rolling paths 24 are formed between the track rail 11 and the moving block 21. A plurality of female screw holes 25 (only two are drawn in FIG. 1) are formed on the upper surface of the moving block main body 21. By using these female screw holes 25, the moving block 21 is attached to a predetermined position. It is fixed to a surface, for example, a saddle of a machine tool or a lower surface of a table.

また、移動ブロック本体部23には、4条の負荷転動体転走面22に対して略平行な貫通孔として構成される無負荷転走路26が形成されている。さらに、移動ブロック本体部23の両端に固定される一対の側蓋体(不図示)には、負荷転走路24と無負荷転走路26の端同士を連通する方向転換路が4条ずつ形成されており、移動ブロック本体部23への側蓋体(不図示)の装着によってこれら4条の方向転換路が負荷転走路24と無負荷転走路26とを連通し、4条の無限循環路を形成する。図1にて例示されるリニアガイド装置10は、以上のような構成を備えているので、移動ブロック21が軌道レール11の長手方向(すなわち、軸線方向)で往復運動自在となっている。   The moving block body 23 is formed with a no-load rolling path 26 configured as a through hole substantially parallel to the four loaded rolling element rolling surfaces 22. Further, a pair of side lids (not shown) fixed to both ends of the moving block main body portion 23 are formed with four direction change paths each connecting the ends of the load rolling path 24 and the no-load rolling path 26. By attaching a side lid (not shown) to the moving block main body 23, these four direction change paths connect the load rolling path 24 and the no-load rolling path 26 to the four endless circulation paths. Form. Since the linear guide device 10 illustrated in FIG. 1 has the above-described configuration, the moving block 21 can freely reciprocate in the longitudinal direction (that is, the axial direction) of the track rail 11.

そして、以上のような構成を有する一般的なリニアガイド装置10において、例えば移動ブロック本体部23については、長手方向に延びる無負荷転走路26といった孔形状や負荷転動体転走面22といった溝形状、あるいは軌道レール11に対して跨って組み付けられる必要性からその断面形状が門型形状として形成される必要がある。また、これらの形状は、案内運動を精度良く行う必要があることから、非常に高い寸法精度を要求されるものである。このような移動ブロック本体部23については、従来のセラミックスの製造技術を用いたのでは満足いくものを製造することはできなかった。   In the general linear guide device 10 having the above-described configuration, for example, with respect to the moving block main body 23, a hole shape such as a no-load rolling path 26 extending in the longitudinal direction and a groove shape such as a loaded rolling element rolling surface 22. Alternatively, the cross-sectional shape needs to be formed as a gate shape from the necessity of being assembled across the track rail 11. In addition, these shapes require a very high dimensional accuracy because the guide motion needs to be performed with high accuracy. As for the moving block main body 23 as described above, a satisfactory one could not be manufactured by using a conventional ceramic manufacturing technique.

そこで、移動ブロック本体部23のように形状が複雑で高い製品寸法精度を必要とする部材について、セラミックスで製造することを可能とし、しかもこのセラミックスを高精度且つ安価に製造することのできる本発明の好適な実施形態を、フローチャートを用いて以下に説明する。なお、以下の各実施形態は、各請求項に係る発明を限定するものではなく、また、各実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。   Accordingly, the present invention is capable of manufacturing a member having a complicated shape and requiring high product dimensional accuracy, such as the moving block main body 23, with ceramics, and capable of manufacturing the ceramics with high accuracy and low cost. A preferred embodiment will be described below with reference to a flowchart. The following embodiments do not limit the invention according to each claim, and all combinations of features described in each embodiment are essential to the solution means of the invention. Not exclusively.

[第1の実施形態]
図2は、第1の実施形態に係るセラミックスの製造方法を示すフローチャートである。第1の実施形態に係るセラミックスの製造方法では、まず、セラミック原料粉末、バインダー、溶媒としての水、及び焼結助剤を少なくとも用意し、セラミック原料粉末に対して所定量のバインダー、水、及び焼結助剤を配合した上で攪拌を行い、セラミック原料粉末の調製を行う(調製工程:ステップS10)。
[First Embodiment]
FIG. 2 is a flowchart showing a method for manufacturing ceramics according to the first embodiment. In the ceramic manufacturing method according to the first embodiment, first, at least a ceramic raw material powder, a binder, water as a solvent, and a sintering aid are prepared, and a predetermined amount of binder, water, and After mixing the sintering aid, stirring is performed to prepare a ceramic raw material powder (preparation step: step S10).

第1の実施形態で使用されるセラミック原料粉末にはサイアロンを想定しているが、例えば、窒化アルミニウム(AlN)、炭化ケイ素(SiC)、窒化ケイ素(Si34)、サイアロン、窒化ホウ素(BN)等の非酸化物系の汎用セラミックス原料や、アルミナ、ジルコニア、チタニア、ムライト、ベリリア、コージェライト、ジルコニア、フェライト等の酸化物系の汎用セラミックス原料を、1種又は2種以上混合して使用することができる。 As the ceramic raw material powder used in the first embodiment, sialon is assumed. For example, aluminum nitride (AlN), silicon carbide (SiC), silicon nitride (Si 3 N 4 ), sialon, boron nitride ( BN) and other non-oxide general-purpose ceramic raw materials, and oxide-based general-purpose ceramic raw materials such as alumina, zirconia, titania, mullite, beryllia, cordierite, zirconia, ferrite, etc. Can be used.

なお、セラミック原料粉末にサイアロンを用いた場合には、βサイアロンから成るセラミックスを得ることが可能である。βサイアロンは、軽量で高剛性、高耐食性といった有意な性能を備えており、運用案内装置の構成部材として用いた場合に案内運動の高速化や高精度化を実現することに寄与することになるので、好適である。また、βサイアロンは、真空環境下での運動案内装置の使用を可能とするなど、特殊環境下での使用に耐え得る点で好ましい。   In addition, when sialon is used for the ceramic raw material powder, it is possible to obtain ceramics composed of β sialon. β Sialon has significant performance such as light weight, high rigidity, and high corrosion resistance, and contributes to speeding up and high accuracy of guide movement when used as a component of operation guidance equipment. Therefore, it is preferable. In addition, β sialon is preferable in that it can withstand use in a special environment, such as enabling the use of a motion guide device in a vacuum environment.

セラミック原料粉末に配合される焼結助剤については、酸化イットリウム、酸化マグネシウム、酸化アルミニウム、酸化セリウム、炭酸マグネシウム、炭酸カルシウム、もしくは珪酸等の公知慣用の焼結助剤や、不飽和ポリエステル樹脂、フェノール樹脂、アミノ系樹脂、エポキシ樹脂、ジアリルフタレート樹脂、熱硬化型ウレタン樹脂又は熱硬化型アクリル樹脂等のバインダー、さらにはLi2O、BaO、Ta23、PtもしくはPd等の電気的性質を変化させるような各種の添加剤あるいは遷移金属酸化物のような着色剤を加えることができる。 About the sintering aid blended in the ceramic raw material powder, known and commonly used sintering aids such as yttrium oxide, magnesium oxide, aluminum oxide, cerium oxide, magnesium carbonate, calcium carbonate, or silicic acid, unsaturated polyester resin, Binders such as phenol resin, amino resin, epoxy resin, diallyl phthalate resin, thermosetting urethane resin or thermosetting acrylic resin, and electrical properties such as Li 2 O, BaO, Ta 2 O 3 , Pt or Pd Various additives that change the color or colorants such as transition metal oxides can be added.

続いて、上記調製工程(ステップS10)にて調製されたセラミック原料粉末を押出成形機に投入し、投入されたセラミック原料粉末を脱気・混練してセラミック練土にしたものに押出成形加工を行った後、乾燥処理を施すことによって長尺の成形体を成形する成形工程が実施される(ステップS11)。このとき成形される長尺の成形体は、後に実施される工程での形状変形を考慮した寸法精度にて成形された半製品であり、その長手方向に対して垂直な方向の断面で見たときの外郭形状は、図1で示した移動ブロック本体部23の断面形状にほぼ一致したものとなっている。   Subsequently, the ceramic raw material powder prepared in the above preparation step (Step S10) is put into an extrusion molding machine, and the ceramic raw material powder that has been put into the ceramic dough is degassed and kneaded to perform extrusion molding. After performing, the shaping | molding process which shape | molds a elongate molded object by performing a drying process is implemented (step S11). The long molded body formed at this time is a semi-finished product formed with dimensional accuracy in consideration of shape deformation in a process to be performed later, and viewed in a cross section perpendicular to the longitudinal direction. The outer shape at this time is substantially the same as the cross-sectional shape of the moving block main body 23 shown in FIG.

さらに、長尺の成形体に対して孔開け加工を行うことにより、移動ブロック本体部23が有する無負荷転走路26に相当する箇所を形成する(ステップS12)。なお、この工程での除去加工については、あらゆる公知の除去加工技術を用いることが可能であり、例えばドリル等の工具を用いたドリル加工やその他の工具を用いた研削加工や切削加工など、あらゆる手法を用いることができる。   Furthermore, a portion corresponding to the no-load rolling path 26 of the moving block main body 23 is formed by drilling a long shaped body (step S12). For the removal process in this step, any known removal process technique can be used, for example, any drill process using a tool such as a drill or any other grinding process or cutting process using other tools. Techniques can be used.

次に、上記孔開け加工によって形成された長尺の成形体の被除去加工部位である長孔に対して、耐熱材料を埋め込む(ステップS13)。この耐熱材料は、後工程での長孔の寸法変形を抑えて寸法精度の高い無負荷転走路26を得るために設置されるものであり、無負荷転走路26の形状とほぼ同一寸法にて形成されたものである。なお、ステップS13にて埋め込まれる耐熱材料には、例えば炭素系材料のC/Cコンポジット(炭素繊維強化炭素複合材)やセラミック多孔質材料等を採用することができる。これらの耐熱材料については、熱膨張率が成形体よりも小さいという性質を有している。このような性質を有することから、上記耐熱材料は、後に実施される焼成工程(ステップS16)にて寸法形状を維持しつつ残存するとともに、さらにその後の撤去工程(ステップS17)にて容易に取り除くことが可能となっている。以上のステップS12及びステップS13にて、第1の実施形態における耐熱材料設置工程が完了する。   Next, a heat-resistant material is embedded in the long hole, which is the part to be removed of the long molded body formed by the hole punching process (step S13). This heat-resistant material is installed in order to obtain a no-load rolling path 26 with high dimensional accuracy by suppressing dimensional deformation of the long hole in a subsequent process, and has substantially the same dimensions as the shape of the no-load rolling path 26. It is formed. As the heat-resistant material embedded in step S13, for example, a carbon-based material C / C composite (carbon fiber reinforced carbon composite material), a ceramic porous material, or the like can be employed. These heat-resistant materials have a property that the coefficient of thermal expansion is smaller than that of the molded body. Since it has such properties, the heat-resistant material remains while maintaining the dimensional shape in the baking process (step S16) performed later, and is easily removed in the subsequent removal process (step S17). It is possible. In step S12 and step S13 described above, the heat-resistant material installation process in the first embodiment is completed.

以上のようにして耐熱材料を埋め込まれた長尺の成形体は、所望の長さにて切断される(ステップS14)。この切断長さは、移動ブロック本体部23の長さにほぼ相当する寸法を有しており、本工程にてステップS11〜ステップS14の成形工程が完了し、所望の半製品形状から成る成形体が完成する。   The long molded body in which the heat-resistant material is embedded as described above is cut to a desired length (step S14). This cut length has a dimension substantially corresponding to the length of the moving block main body 23, and the molding process of steps S11 to S14 is completed in this process, and a molded body having a desired semi-finished product shape. Is completed.

成形工程(ステップS11〜ステップS14)によって完成した成形体に対しては、続いて行われる脱脂工程にて脱脂処理が行われる(ステップS15)。この脱脂処理は、最高温度約600℃程度で行われるものであり、これまで成形体の形状を保持していたバインダーを成形体から除去するために行われる処理工程である。この脱脂工程(ステップS15)にて成形体からバインダーが除去されるのは、バインダーがこの後に行われる焼成処理での焼結性を阻害するからであり、また、成形工程(ステップS11〜ステップS14)が実施された段階の成形体は十分乾燥してその形状が安定保持されているので、バインダーによる保形性を維持する必要がもはや不要となっているからである。   A degreasing process is performed on the molded body completed by the molding process (steps S11 to S14) in a subsequent degreasing process (step S15). This degreasing treatment is performed at a maximum temperature of about 600 ° C., and is a treatment step performed to remove the binder that has maintained the shape of the molded body so far from the molded body. The reason why the binder is removed from the molded body in this degreasing process (step S15) is that the binder hinders the sinterability in the subsequent firing treatment, and the molding process (steps S11 to S14). This is because it is no longer necessary to maintain the shape-retaining property by the binder because the molded body at the stage where the above-mentioned method is carried out is sufficiently dried and its shape is stably maintained.

その後、焼成工程にて焼成処理が実施され、成形体は焼成されて、セラミックスとなる(ステップS16)。この焼成工程において、成形体の熱収縮が開始するのは約1400℃程度であるが、成形体に埋め込まれた耐熱材料は最高温度約1800℃程度の焼結温度以上の融点を有していることから、焼成処理中はその寸法形状を維持して変化することなく残存する。したがって、成形体には、セラミックスへと焼成される際に極端な寸法変化が生じることはなく、所望の寸法精度を有する無負荷転走路26を得ることが可能となる。   Then, a baking process is implemented in a baking process, a molded object is baked and becomes ceramics (step S16). In this firing step, the thermal shrinkage of the molded body starts at about 1400 ° C., but the heat-resistant material embedded in the molded body has a melting point equal to or higher than the sintering temperature of about 1800 ° C. For this reason, the dimensional shape is maintained and remains unchanged during the firing process. Therefore, the molded body does not undergo an extreme dimensional change when fired into ceramics, and it is possible to obtain an unloaded rolling path 26 having a desired dimensional accuracy.

なお、耐熱材料は、セラミックスや金属材料等と比較して硬度が非常に低いので、この耐熱材料を取り除くために実施される撤去工程(ステップS17)は、非常に容易であり、且つ安価に実行することができる。かかる耐熱材料の存在によって、好適な寸法精度と表面性状を有する無負荷転走路26が形成される。ちなみに、この撤去工程(ステップS17)は、耐熱材料を撤去して無負荷転走路26の表面性状を美化する程度の目的で成されるものであり、寸法精度を確保することを目的とするものではない。したがって、高度な加工技術や加工費用を伴うものではないので、上述したような非常に安価な実施が可能となっている。   In addition, since the heat-resistant material has a very low hardness compared to ceramics, metal materials, etc., the removal process (step S17) performed to remove the heat-resistant material is very easy and inexpensive. can do. Due to the presence of such a heat resistant material, an unloaded rolling path 26 having suitable dimensional accuracy and surface properties is formed. Incidentally, this removal step (step S17) is performed for the purpose of removing the heat-resistant material and beautifying the surface properties of the no-load rolling path 26, and is intended to ensure dimensional accuracy. is not. Therefore, since it does not involve advanced processing technology or processing cost, the above-described very inexpensive implementation is possible.

最後に、移動ブロック本体部23を仕上げる仕上げ加工が実施され(ステップS18)、移動ブロック本体部23が完成する。ステップS18で実施される仕上げ加工についても、この段階で既にセラミックスは高い寸法精度を有する移動ブロック本体部23としてほぼ完成されているので、低コストでの仕上げ加工が可能となっている。   Finally, a finishing process for finishing the moving block main body 23 is performed (step S18), and the moving block main body 23 is completed. Also in the finishing process performed in step S18, the ceramic has already been almost completed as the moving block main body 23 having high dimensional accuracy at this stage, so that the finishing process can be performed at low cost.

以上、第1の実施形態に係るセラミックスの製造方法を説明したが、図2で示した第1の実施形態に係るセラミックスの製造方法は、移動ブロック本体部23を量産化することを考慮した製法となっているため、長尺の成形体に耐熱材料を埋め込んだ後、所望の長さに切断することとした。しかしながら、これら成形工程中における耐熱材料設置工程の実行順序については任意に入れ替えることが可能であり、例えば長尺の成形体を所望の長さに切断した上で除去加工を行い、その後に耐熱材料を埋め込み設置するようにしても良い。   The ceramic manufacturing method according to the first embodiment has been described above. However, the ceramic manufacturing method according to the first embodiment shown in FIG. 2 is a manufacturing method that takes into account the mass production of the moving block main body 23. Therefore, after embedding a heat-resistant material in a long molded body, it was cut to a desired length. However, the order of execution of the heat-resistant material installation process in these molding processes can be arbitrarily changed. For example, a long molded body is cut into a desired length and then removed, and then the heat-resistant material is placed. May be embedded and installed.

また、第1の実施形態に係るセラミックスの製造方法では、長尺の成形体を成形する際に、押出成形機を用いた押出成形を実施していた(ステップS11)。このような押出成形を採用したのは、製造対象である移動ブロック本体部23が長手方向で同一の軸直角断面形状を有するものであり、これを量産化するためには押出成形を用いることが最も効率的だったからである。しかしながら、複雑形状を有する製品や単品ものを製造する際には、押出成形に代えて、例えば図3におけるステップS22に示すようなCIP成形を用いることによって成形体を成形することが好適である。   In the ceramic manufacturing method according to the first embodiment, when a long shaped body is formed, extrusion using an extrusion molding machine is performed (step S11). The reason why such extrusion molding is adopted is that the moving block main body portion 23 to be manufactured has the same cross-sectional shape perpendicular to the axis in the longitudinal direction, and in order to mass-produce this, it is necessary to use extrusion molding. Because it was the most efficient. However, when manufacturing a product having a complicated shape or a single product, it is preferable to form the molded body by using, for example, CIP molding as shown in step S22 in FIG. 3 instead of extrusion molding.

CIP成形(Cold Isostatic Pressing:冷間等方圧加工法)なる手法によれば、セラミックの表面は一様に等しい加圧力を受けて方向性なく圧縮成形されるので、高い寸法精度を有する成形体を得ることが可能となる。なお、CIP成形を用いて成形体を成形する場合には、その前処理として、調製工程(ステップS20)にて得られたセラミックスラリーを顆粒化処理しておくことが好適である(ステップS21)。なお、セラミックスラリーは、練土に比して水を多く含有させることによって、流動性を高めたものである。このステップS21で実行される顆粒化処理については、既に公知の噴霧乾燥(スプレードライ)法等の手法を用いることが可能である。また、図3におけるその他の工程(ステップS20,ステップS23〜ステップS29)については、図2で説明した工程(ステップS10,ステップS12〜ステップS18)の内容と同じであるので、説明を省略する。   According to the technique called CIP molding (Cold Isostatic Pressing), the ceramic surface is uniformly compression-molded by receiving equal and uniform pressure, so that it has high dimensional accuracy. Can be obtained. In addition, when shape | molding a molded object using CIP shaping | molding, it is suitable to granulate the ceramic slurry obtained at the preparation process (step S20) as the pretreatment (step S21). . In addition, the ceramic slurry has improved fluidity by containing more water than kneaded clay. For the granulation process executed in step S21, it is possible to use a technique such as a known spray drying method. Further, the other steps (step S20, step S23 to step S29) in FIG. 3 are the same as the steps (step S10, step S12 to step S18) described in FIG.

[第2の実施形態]
図4は、第2の実施形態に係るセラミックスの製造方法を示すフローチャートである。第2の実施形態に係るセラミックスの製造方法で特徴的なことは、第1の実施形態で説明した成形体の成形加工と耐熱材料の埋込設置を同時に実行するようにした点にある。以下、第2の実施形態に係るセラミックスの製造方法について、詳細に説明を行う。なお、上述した第1の実施形態と同一又は類似する工程、処理内容については、説明を省略する場合がある。
[Second Embodiment]
FIG. 4 is a flowchart showing a method for manufacturing ceramics according to the second embodiment. What is characteristic of the ceramic manufacturing method according to the second embodiment is that the molding process and the heat-resistant material embedding installation described in the first embodiment are executed simultaneously. Hereinafter, the ceramic manufacturing method according to the second embodiment will be described in detail. In addition, description may be abbreviate | omitted about the process and process content which are the same or similar to 1st Embodiment mentioned above.

第2の実施形態に係るセラミックスの製造方法では、まず、セラミック原料粉末、バインダー、水、及び焼結助剤を少なくとも用意し、セラミック原料粉末に対して所定量のバインダー、水、及び焼結助剤を配合した上で攪拌を行い、セラミックスラリーを得るための調製工程を実施する(ステップS30)。   In the ceramic manufacturing method according to the second embodiment, first, at least a ceramic raw material powder, a binder, water, and a sintering aid are prepared, and a predetermined amount of binder, water, and a sintering aid are prepared with respect to the ceramic raw material powder. After preparing the agent, stirring is performed, and a preparation process for obtaining a ceramic slurry is performed (step S30).

続いて、上記調製工程(ステップS30)にて得られたセラミックスラリーに対して噴霧乾燥(スプレードライ)法等の手法を用い、顆粒化処理を行う(ステップS31)。ステップS31にて顆粒化されたセラミックスラリーは、続いてプレス成形機に投入される(ステップS32)。そして、顆粒化されたセラミックスラリーは、プレス成形機を用いてプレス成形加工を実行されることにより、成形体が成形される(ステップS32)。ただし、このステップS32におけるプレス成形加工では、耐熱材料も同時にプレス成形機にセットされており、耐熱材料を有する成形体が1つの工程で作成されることとなる。つまり、成形工程(ステップS31〜ステップS32)における成形体の成形と、耐熱材料設置工程(ステップS32)における耐熱材料の埋め込みが同時に実施されるのである。   Subsequently, granulation is performed on the ceramic slurry obtained in the preparation step (step S30) using a technique such as a spray drying method (step S31). The ceramic slurry granulated in step S31 is then put into a press molding machine (step S32). And the molded object is shape | molded by performing the press molding process using the press molding machine for the granulated ceramic slurry (step S32). However, in the press molding process in step S32, the heat-resistant material is also set in the press molding machine at the same time, and a molded body having the heat-resistant material is created in one process. That is, molding of the molded body in the molding process (steps S31 to S32) and embedding of the heat-resistant material in the heat-resistant material installation process (step S32) are performed simultaneously.

なお、このとき成形される成形体は、後に実施される工程での形状変形を考慮した寸法精度にて成形された半製品であり、その内部に設置される耐熱材料についても、移動ブロック本体部23における無負荷転走路26の形成位置にほぼ一致した配置位置となっている。このようにして、成形体が完成する。   In addition, the molded body molded at this time is a semi-finished product molded with dimensional accuracy in consideration of shape deformation in a process to be performed later, and the heat-resistant material installed inside the movable block main body portion 23 is an arrangement position substantially coinciding with the formation position of the no-load rolling path 26 in FIG. In this way, a molded body is completed.

成形工程(ステップS31〜ステップS32)によって完成した成形体には、脱脂工程にて脱脂処理が施され、焼成可能な状態となる(ステップS33)。   The molded body completed by the molding process (steps S31 to S32) is subjected to a degreasing process in the degreasing process, and is ready to be fired (step S33).

その後、焼成工程にて焼成処理が実施され、成形体はセラミックスへと焼成される(ステップS34)。この焼成工程において、成形体に埋め込まれた耐熱材料は、焼結温度以上の融点を有していることから、焼結中での寸法形状に変化が生じることはない。また、耐熱材料の融点は、成形体の熱収縮開始温度よりも十分高いので、耐熱材料の存在によって焼成工程(ステップS34)における無負荷転走路26の寸法精度は安定しており、成形体からセラミックスへと焼成される際に極端な寸法変化はなく、所望の寸法精度を有する無負荷転走路26を得ることが可能となる。   Then, a baking process is implemented in a baking process and a molded object is baked to ceramics (step S34). In this firing step, since the heat-resistant material embedded in the molded body has a melting point equal to or higher than the sintering temperature, there is no change in the dimensional shape during sintering. In addition, since the melting point of the heat-resistant material is sufficiently higher than the thermal shrinkage start temperature of the molded body, the dimensional accuracy of the no-load rolling path 26 in the firing step (step S34) is stable due to the presence of the heat-resistant material. There is no extreme dimensional change when firing into ceramics, and it is possible to obtain an unloaded rolling path 26 having a desired dimensional accuracy.

続いて耐熱材料を取り除く撤去工程(ステップS35)が実施され、無負荷転走路26の好適な表面性状が確保される。なお、この撤去工程(ステップS35)は、無負荷転走路26の表面性状を美化する程度の目的で成されるものであり、寸法精度を確保することを目的とするものではない。したがって、高度な加工技術や加工費用を伴うものではないので、非常に安価に実施することが可能となっている。   Then, the removal process (step S35) which removes a heat-resistant material is implemented, and the suitable surface property of the no-load rolling path 26 is ensured. In addition, this removal process (step S35) is made for the purpose of beautifying the surface properties of the no-load rolling path 26, and is not intended to ensure dimensional accuracy. Therefore, since it does not involve advanced processing techniques and processing costs, it can be implemented at a very low cost.

最後に、移動ブロック本体部23を仕上げる仕上げ加工が実施され(ステップS36)、移動ブロック本体部23が完成する。ステップS36で実施される仕上げ加工についても、この段階で既にセラミックスは高い寸法精度を有する移動ブロック本体部23としてほぼ完成されているので、低コストでの仕上げ加工が可能となっている。   Finally, a finishing process for finishing the moving block main body 23 is performed (step S36), and the moving block main body 23 is completed. Also in the finishing process performed in step S36, the ceramic is already almost completed as the moving block main body 23 having a high dimensional accuracy at this stage, so that the finishing process can be performed at low cost.

第2の実施形態に係るセラミックスの製造方法を説明したが、図4で示した第2の実施形態で好適な点は、図2及び図3にて説明した第1の実施形態に比べて製造工程が少ないことが挙げられる。上述した第1の実施形態の場合は長手方向に直交する断面の形状が同一な部材を量産化する場合に好適であったが、第2の実施形態の場合には、単品ものを製造する場合に好適に用いることが可能である。また、製造工程が少ないことによって製造コストをも削減することが可能である。   Although the ceramic manufacturing method according to the second embodiment has been described, the preferred embodiment of the second embodiment shown in FIG. 4 is manufactured in comparison with the first embodiment described with reference to FIGS. There are few steps. In the case of the first embodiment described above, it was suitable for mass production of members having the same cross-sectional shape orthogonal to the longitudinal direction, but in the case of the second embodiment, a single product is manufactured. It is possible to use it suitably. In addition, the manufacturing cost can be reduced due to the small number of manufacturing steps.

以上、本発明の好適な実施形態について説明した。なお、本発明によれば、大きな残留応力を与えることなく、セラミックスに溝形状もしくは孔形状を形成することができる。ここで、残留応力は、例えばX線回折法(XRD)などの、X線による残留応力測定手法を用いることで評価することが可能である。   The preferred embodiments of the present invention have been described above. According to the present invention, it is possible to form a groove shape or a hole shape in ceramics without applying a large residual stress. Here, the residual stress can be evaluated by using a residual stress measurement method using X-rays such as an X-ray diffraction method (XRD).

また、セラミックスの用途によっては、撤去工程(ステップS17、ステップS28、ステップS35)により形成された溝形状もしくは孔形状に対して、仕上げ加工レスとすることもできる。この場合、溝形状もしくは孔形状の表面の微構造観察により、仕上げ加工の有無を区別することができる。   Further, depending on the application of ceramics, it is possible to eliminate the finishing process for the groove shape or hole shape formed by the removal process (step S17, step S28, step S35). In this case, the presence or absence of finishing can be distinguished by observing the microstructure of the groove-shaped or hole-shaped surface.

なお、本発明の技術的範囲は上記実施形態に記載の範囲には限定されない。上記実施形態には、多様な変更又は改良を加えることが可能である。   The technical scope of the present invention is not limited to the scope described in the above embodiment. Various modifications or improvements can be added to the embodiment.

例えば、以上説明した第1及び第2の実施形態に係るセラミックスの製造方法は、成形体に炭素系材料等の耐熱材料を埋め込んで脱脂・焼結を行い、所望のセラミックスを得る手法についてのものであった。しかし、本発明に適用可能な耐熱材料については、上述した炭素系材料やセラミック多孔質材料等には限られない。耐熱材料に適用可能な材料としては、成形体の熱収縮が開始する約1400℃程度の以上の融点温度を有するものであれば良く、さらに好ましくは、焼成処理の温度である約1800℃程度の以上の融点温度を有するものであればなお良い。例えば、約1400℃近辺の温度域では寸法形状が維持され、約1800℃近辺の温度域において気化して消失するような材料を本発明に係る耐熱材料として用いることが好適である。このような材料であれば、その後に実施する撤去工程(ステップS17、ステップS28、ステップS35)を省略したり、簡略化したりすることが可能となり、製造コストの削減につながる。また、焼成処理の温度である約1800℃程度以上の融点温度を有する材料であっても、その後に実施する撤去工程(ステップS17、ステップS28、ステップS35)での撤去作業が容易に行える材料、例えば押圧力を加えるだけで簡単にセラミックスの被除去加工部位から脱落するような材料であれば、セラミックスのような硬度の高い材料であっても本発明に係る耐熱材料として好適に用いることができる。   For example, the ceramic manufacturing method according to the first and second embodiments described above relates to a method for obtaining a desired ceramic by embedding a heat-resistant material such as a carbon-based material in a molded body and performing degreasing and sintering. Met. However, the heat-resistant material applicable to the present invention is not limited to the above-described carbon-based material and ceramic porous material. As a material applicable to the heat-resistant material, any material having a melting point temperature of about 1400 ° C. or higher at which thermal contraction of the molded body starts is preferable, and more preferably about 1800 ° C. which is a temperature of the baking treatment. It is even better if it has the above melting point temperature. For example, it is preferable to use, as the heat-resistant material according to the present invention, a material that maintains its dimensional shape in the temperature range around 1400 ° C. and vaporizes and disappears in the temperature range around 1800 ° C. With such a material, it is possible to omit or simplify the removal process (step S17, step S28, step S35) to be performed later, leading to a reduction in manufacturing cost. Further, even a material having a melting point temperature of about 1800 ° C. or higher, which is the temperature of the baking treatment, can be easily removed in the removal step (step S17, step S28, step S35) to be performed thereafter, For example, a material that can be easily removed from a part to be removed of ceramics simply by applying a pressing force can be suitably used as a heat-resistant material according to the present invention even if the material has high hardness such as ceramics. .

また、上述した各実施形態では、リニアガイド装置10を構成する移動ブロック本体部23を製造する場合を例示して説明を行い、特に、成形体に埋め込む耐熱材料によって、移動ブロック本体部23の長手方向に延びる無負荷転走路26の寸法精度を高めた場合を例示した。しかしながら、本発明の適用範囲は上述したものには限られず、例えば耐熱材料を設置する場所については、移動ブロック本体部23が有する負荷転動体転走面22や軌道レール11との対向面といった溝形状や外郭形状を精度良く製造することにも適用することができる。   Moreover, in each embodiment mentioned above, the case where the moving block main-body part 23 which comprises the linear guide apparatus 10 is manufactured is demonstrated, and it demonstrates especially, and especially the longitudinal direction of the moving block main-body part 23 with the heat-resistant material embedded in a molded object. The case where the dimensional accuracy of the unloaded rolling path 26 extending in the direction is increased is illustrated. However, the scope of application of the present invention is not limited to the above-described ones. For example, for places where heat-resistant materials are installed, grooves such as a load rolling element rolling surface 22 and a surface facing the track rail 11 of the moving block main body 23 are provided. It can also be applied to manufacturing the shape and outline shape with high accuracy.

さらに、本発明は、移動ブロック本体部23に限らず、軌道レール11といったリニアガイド装置10を構成するその他の部材や、その他のあらゆる機械装置の構成部材を製造する際に用いることが可能である。具体的には、軌道部材としてのボールねじと、移動部材としてのナット部材とを備えるボールねじ装置や、軌道部材としてのスプライン軸と、移動部材としてのスプライン外筒とを備えるボールスプライン装置などといった運動案内装置の構成部材に対して、本発明に係るセラミックスの製造方法によって製造された部材を適用することが可能である。本発明の適用によって、運動案内装置は軽量化や高精度化等といった有意な特性を得ることができる。   Furthermore, the present invention is not limited to the moving block main body 23, and can be used when manufacturing other members constituting the linear guide device 10 such as the track rail 11 and components of all other mechanical devices. . Specifically, a ball screw device including a ball screw as a track member and a nut member as a moving member, a ball spline device including a spline shaft as a track member, and a spline outer cylinder as a moving member, etc. A member manufactured by the method for manufacturing a ceramic according to the present invention can be applied to the constituent members of the motion guide device. By applying the present invention, the motion guide device can obtain significant characteristics such as weight reduction and high accuracy.

その様な変更又は改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。   It is apparent from the description of the scope of claims that embodiments with such changes or improvements can be included in the technical scope of the present invention.

本発明に係るセラミックスの製造方法によって製造可能なリニアガイド装置の概略構成を説明するための縦断面図である。It is a longitudinal cross-sectional view for demonstrating schematic structure of the linear guide apparatus which can be manufactured with the manufacturing method of the ceramics which concern on this invention. 第1の実施形態に係るセラミックスの製造方法を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the manufacturing method of the ceramics which concern on 1st Embodiment. 第1の実施形態に係るセラミックスの製造方法の多様な変形形態のうちの一例を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows an example among the various deformation | transformation forms of the manufacturing method of the ceramics which concern on 1st Embodiment. 第2の実施形態に係るセラミックスの製造方法を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the manufacturing method of the ceramics concerning 2nd Embodiment.

符号の説明Explanation of symbols

10 リニアガイド装置、11 軌道レール、12 転動体転走面、13 ボルト取付孔、21 移動ブロック、22 負荷転動体転走面、23 移動ブロック本体部、24 負荷転走路、25 雌ねじ穴、26 無負荷転走路、31 ボール。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Linear guide apparatus, 11 Track rail, 12 Rolling body rolling surface, 13 Bolt mounting hole, 21 Moving block, 22 Load rolling body rolling surface, 23 Moving block main-body part, 24 Load rolling path, 25 Female screw hole, 26 None Load rolling road, 31 balls.

Claims (6)

所定量のバインダー、溶媒、及び焼結助剤を配合してセラミック原料粉末を調製する調製工程と、
前記セラミック原料粉末に成形加工を施すことによって成形体を得る成形工程と、
前記成形体に脱脂処理を行う脱脂工程と、
前記脱脂処理が行われた前記成形体に焼成処理を行う焼成工程と、
を含む処理を実行するセラミックスの製造方法であって、
前記成形工程は、前記成形体に対して耐熱材料を設置する耐熱材料設置工程を含み、
当該耐熱材料設置工程にて設置された前記耐熱材料が、前記焼成工程の後に実施される撤去工程において取り除かれることにより、前記セラミックスの製品形状が得られることを特徴とするセラミックスの製造方法。
A preparation step of preparing a ceramic raw material powder by blending a predetermined amount of a binder, a solvent, and a sintering aid;
A molding step of obtaining a molded body by subjecting the ceramic raw material powder to a molding process;
A degreasing step for degreasing the molded body;
A firing step of firing the molded body that has been subjected to the degreasing treatment;
A method for producing ceramics that performs a process including:
The molding step includes a heat-resistant material installation step of installing a heat-resistant material on the molded body,
A method for producing a ceramic, wherein the product shape of the ceramic is obtained by removing the heat-resistant material installed in the heat-resistant material installation step in a removal step performed after the firing step.
請求項1に記載のセラミックスの製造方法において、
前記耐熱材料設置工程にて前記成形体に設置される前記耐熱材料は、除去加工によって形成された前記成形体の被除去加工部位に対して設置されることを特徴とするセラミックスの製造方法。
In the manufacturing method of the ceramics according to claim 1,
The method for producing ceramics according to claim 1, wherein the heat-resistant material placed on the molded body in the heat-resistant material placing step is placed on a part to be removed of the molded body formed by a removal process.
請求項1に記載のセラミックスの製造方法において、
前記耐熱材料設置工程は、前記成形工程と同時に実行されることを特徴とするセラミックスの製造方法。
In the manufacturing method of the ceramics according to claim 1,
The method for producing ceramics, wherein the heat-resistant material installation step is performed simultaneously with the forming step.
請求項1〜3のいずれか1項に記載のセラミックスの製造方法において、
前記耐熱材料の熱膨張率が、前記セラミックスよりも小さいことを特徴とするセラミックスの製造方法。
In the manufacturing method of ceramics given in any 1 paragraph of Claims 1-3,
A method for producing ceramics, characterized in that a coefficient of thermal expansion of the heat-resistant material is smaller than that of the ceramics.
請求項1〜4のいずれか1項に記載のセラミックスの製造方法において、
前記耐熱材料は、炭素系材料又は多孔質材料から成ることを特徴とするセラミックスの製造方法。
In the manufacturing method of ceramics given in any 1 paragraph of Claims 1-4,
The method for producing ceramics, wherein the heat-resistant material is made of a carbon-based material or a porous material.
転動体転走面を備える軌道部材と、
前記転動体転走面に対向する負荷転動体転走面を備える移動部材と、
前記転動体転走面と前記負荷転動体転走面とによって構成される負荷転走路内に転動自在に設置される複数の転動体と、
を有することにより、前記移動部材が前記軌道部材の軸線方向又は周方向に往復運動自在又は回転運動自在とされる運動案内装置の製造方法であって、
前記軌道部材又は前記移動部材が、
所定量のバインダー、溶媒、及び焼結助剤を配合してセラミック原料粉末を調製する調製工程と、
前記セラミック原料粉末に成形加工を施すことによって成形体を得る成形工程と、
前記成形体に脱脂処理を行う脱脂工程と、
前記脱脂処理が行われた前記成形体に焼成処理を行う焼成工程と、
を含む処理を実行されることにより製品形状に成形され、さらに、
前記成形工程は、前記成形体に対して耐熱材料を設置する耐熱材料設置工程を含み、
当該耐熱材料設置工程にて設置された前記耐熱材料が、前記焼成工程の後に実施される撤去工程において取り除かれることを特徴とする運動案内装置の製造方法。
A track member having a rolling element rolling surface;
A moving member provided with a loaded rolling element rolling surface facing the rolling element rolling surface;
A plurality of rolling elements installed in a freely rolling manner in a load rolling path constituted by the rolling element rolling surface and the load rolling element rolling surface;
A moving guide device manufacturing method in which the moving member is reciprocally movable or freely rotatable in the axial direction or circumferential direction of the track member,
The track member or the moving member is
A preparation step of preparing a ceramic raw material powder by blending a predetermined amount of a binder, a solvent, and a sintering aid;
A molding step of obtaining a molded body by subjecting the ceramic raw material powder to a molding process;
A degreasing step for degreasing the molded body;
A firing step of firing the molded body that has been subjected to the degreasing treatment;
Is formed into a product shape by performing a process including:
The molding step includes a heat-resistant material installation step of installing a heat-resistant material on the molded body,
The method for manufacturing a motion guide device, wherein the heat-resistant material installed in the heat-resistant material installation step is removed in a removal step performed after the firing step.
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KR102156574B1 (en) * 2020-01-23 2020-09-17 주식회사 화인테크 Machinable ceramic composite material and manufacturing method thereof

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