JP2009094407A - ウェーハ研磨装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】投影/撮像部11によりプラテン2上の研磨パッド5の表面に静止画像Aを投影する。投影位置はプラテンの回転方向の下流側で研磨ヘッド6のごく近傍とする。画像処理部は撮像画像を監視しており、研磨ヘッドからウェーハWが外れて下流側へ出てきたときウェーハに掛かった画像の変化を検出してシステム全体を停止する。投影画像を撮像して画像変化を検出することにより、研磨パッドとプラテンの色の相違や反射率からスリップアウトを判断するシステムよりも、外光などの外乱の影響を受けず、検出精度及び安定性が向上する。
【選択図】図1
Description
2 プラテン
3 プラテン駆動モータ
4 回転駆動機構
5 研磨パッド
6 研磨ヘッド
11 投影/撮像部
12 LED光源
13 画像センサ
14 画像処理部
15 CMP制御部
16 研磨ヘッド駆動回路
17 プラテン駆動回路
18 研磨ヘッド駆動モータ
W ウェーハ
Claims (6)
- 研磨ヘッドの下面にウェーハを装着し、プラテン上の研磨パッドの表面へ前記ウェーハを押付け、プラテンと研磨ヘッドをそれぞれ回転駆動して、ウェーハを研磨するウェーハ研磨装置において、
研磨パッドの表面の研磨ヘッド近傍位置、且つプラテンの回転方向の下流に相当する位置へ静止画像を投影する手段と、投影された静止画像を撮像する手段と、投影した画像と撮像した画像とを比較する手段と、投影した画像と撮像した画像との比較結果に差異が生じたときは、プラテンと研磨ヘッドの回転を停止させる制御手段とを備え、
研磨ヘッドからウェーハが逸脱したときの撮像画像の変化を検出して、プラテンと研磨ヘッドの回転を停止させるように構成したことを特徴とするウェーハ研磨装置。 - 上記画像投影手段と撮像手段のうち、すくなくとも撮像手段の入射角は研磨パッドの表面に対して斜めである請求項1記載のウェーハ研磨装置。
- ブラケットなどの取付け手段を介して上記画像投影手段と撮像手段を研磨ヘッド支持体へ取付けた請求項1記載のウェーハ研磨装置。
- 上記画像投影手段と撮像手段への液体或いは蒸気などの付着を防ぐ雰囲気浄化手段を設けた請求項1記載のウェーハ研磨装置。
- 上記プラテンと研磨ヘッドの回転を停止させる制御手段をハードウェアによって構成した請求項1記載のウェーハ研磨装置。
- ウェーハの逸脱検出時に、エラーログデータをコンピュータ或いは他の記憶装置へ出力する通信機能を備えた請求項1記載のウェーハ研磨装置。
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