JP2009094397A - Ccd型固体撮像素子及び撮像装置 - Google Patents

Ccd型固体撮像素子及び撮像装置 Download PDF

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Abstract

【課題】垂直電荷転送路上で画素加算を行えるようにする。
【解決手段】奇数行の画素行に対して偶数行の画素行を1/2画素ピッチづつずらして形成し、奇数行の画素で構成する第1画素群と偶数行の画素で構成される第2画素群の各々にカラーフィルタをベイヤ配列し、隣接する画素列のうちカラーフィルタ配列が同パターンとなる2列の画素列の各々の垂直電荷転送路102を該2列の画素列で共用する構造とする。これにより、垂直電荷転送路102上で、B画素とb画素の信号電荷を加算することができ、G画素とg画素の信号電荷を加算することが可能となり、R画素とr画素の信号電荷を加算することが可能となる。
【選択図】図2

Description

本発明はCCD(Charge Coupled Device:電荷結合素子)型固体撮像素子及び撮像装置に係り、特に、垂直電荷転送路上で画素加算を行うことが可能なCCD型固体撮像素子及びこのCCD型固体撮像素子を搭載した撮像装置に関する。
特許文献1の図2には、半導体基板に二次元アレイ状に設ける画素のうち約半数を大面積の高感度画素とし、残り約半数を小面積の低感度画素としたCCD型固体撮像素子が開示されている。このCCD型固体撮像素子は、奇数行の画素行に対して偶数行の画素行が1/2画素ピッチづつずらして形成され、低感度画素列と、その左隣の高感度画素列とが、低感度画素列の両脇に設けられている垂直電荷転送路を共用する構成になっている。
特開2004―55786号公報(図2)
画素列毎に夫々1本の垂直電荷転送路を設けるより、2本の画素列が1本の垂直電荷転送路を共用する構成にすると、固体撮像素子受光面に占める垂直電荷転送路の占有面積を節約でき、その分だけ各画素の受光面積増大を図ることができ、高感度撮影を行うことが可能になる。
近年の固体撮像素子は微細加工技術が進展して数百万画素以上を搭載するのが普通となり、1画素1画素の受光面積が小さくなっている。つまり、1画素1画素の飽和電荷量が小さくなり高感度撮影が困難な固体撮像素子になってきている。このため、垂直電荷転送路を複数の画素列が共用する構成は、高感度化を図る上で有用である。
しかし、更なる高感度化を図るには、画素加算すなわち隣接する同色画素の検出電荷を加算して出力させ、信号量の増大を図る必要がある。ところが、上述した特許文献1記載の従来技術は、高感度画素及び低感度画素を設けたことにより撮像画像の広ダイナミックレンジ化を図っているに過ぎず、画素加算については全く考慮していない。つまり、画素加算する構造にはなっていない。
本発明の目的は、画素加算を垂直電荷転送路で行うことが可能な構造を備えるCCD型固体撮像素子及び撮像装置を提供することにある。
本発明のCCD型固体撮像素子は、半導体基板の表面部に二次元アレイ状に配列形成され奇数行の画素行に対して偶数行の画素行が1/2画素ピッチずらして配列された複数の画素と、該複数の画素で構成される各画素列に沿って形成された複数の垂直電荷転送路と、奇数行(または偶数行)の各画素(以下、第1画素群という。)上にベイヤ配列されると共に偶数行(または奇数行)の各画素(以下、第2画素群)上にベイヤ配列された三原色カラーフィルタとを備えるCCD型固体撮像素子において、前記第1画素群の画素列に沿い該画素列(以下、第1画素列という。)の信号電荷が読み出され転送される前記垂直電荷転送路と、該第1画素列に隣接する前記第2画素群の2列の画素列のうちカラーフィルタ配列が前記第1画素列と同じパターンとなる画素列に沿い該画素列の信号電荷が読み出され転送される前記垂直電荷転送路とを1組とし、各組内の2列の前記垂直電荷転送路が接する範囲の埋め込みチャネルを連通構造にすると共に隣接する組間の2列の前記垂直電荷転送路の接する部分をチャネルストップで分離する構造にしたことを特徴とする。
本発明の撮像装置は、上記記載のCCD型固体撮像素子と、前記組内の2本の前記垂直電荷転送路に沿う2列の画素列から該垂直電荷転送路に読み出された信号電荷のうち同一色のカラーフィルタが搭載された隣接する2つの画素の信号電荷を該垂直電荷転送路上で加算して転送させ出力させる撮像素子駆動手段とを備えることを特徴とする。
本発明の撮像装置の前記撮像素子駆動手段は、前記2つの画素の信号電荷を前記垂直電荷転送路上で加算して転送させ出力させる駆動モードの他に、該2つの画素の各々の信号電荷のうち一方を第1フィールドで読み出し転送させ出力させると共に他方の信号電荷を第2フィールドで読み出し転送させ出力させる駆動モードを備えることを特徴とする。
本発明によれば、画素加算を垂直電荷転送路上ででき、高感度撮影を容易に行うことが可能となる。
以下、本発明の一実施形態について、図面を参照して説明する。
図1は、本発明の一実施形態に係る撮像装置の機能ブロック図である。この撮像装置はデジタルカメラを例としており、撮像部21と、撮像部21から出力されるアナログの画像データを自動利得調整(AGC)や相関二重サンプリング処理(CDS)等のアナログ処理するアナログ信号処理部22と、アナログ信号処理部22から出力されるアナログ画像データをデジタル画像データに変換するアナログデジタル変換部(A/D)23と、後述のシステム制御部(CPU)29からの指示によってA/D23,アナログ信号処理部22,撮像部21の駆動制御を行う駆動部(タイミングジェネレータTGを含む)24と、CPU29からの指示によって発光するフラッシュ25とを備える。
撮像部21は、被写界からの光を集光する光学レンズ系21aと、該光学レンズ系21aを通った光を絞る絞りや静止画像撮像時に用いるメカニカルシャッタ21bと、光学レンズ系21aによって集光され絞りによって絞られた光を受光し撮像画像データ(アナログ画像データ)を出力する単板式のカラー画像撮像用固体撮像素子100とを備える。
本実施形態のデジタルカメラは更に、A/D23から出力されるデジタル画像データを取り込み補間処理やホワイトバランス補正,RGB/YC変換処理,後述する第1画素群,第2画素群の各検出信号の合成処理等を行うデジタル信号処理部26と、画像データをJPEG形式などの画像データに圧縮したり逆に伸長したりする圧縮/伸長処理部27と、メニューなどを表示したりスルー画像や撮像画像を表示する表示部28と、デジタルカメラ全体を統括制御するシステム制御部(CPU)29と、フレームメモリ等の内部メモリ30と、JPEG画像データ等を格納する記録メディア32との間のインタフェース処理を行うメディアインタフェース(I/F)部31と、これらを相互に接続するバス40とを備え、また、システム制御部29には、ユーザからの指示入力を行う操作部33が接続されている。
ユーザ操作部33は、撮影モードを高精細撮影モードとするか画素加算による高感度撮影モードとするかの指示スイッチや、シャッタレリーズボタン等を備える。CPU29は、ユーザ操作部33からの入力内容に従って固体撮像素子100の駆動制御を撮像素子駆動部24を介して行う。
図2は、固体撮像素子100の表面模式図である。本実施形態のデジタルカメラでは、固体撮像素子100として、画素が市松状に配列された所謂ハニカム画素配列のCCD型固体撮像素子を用いている。
半導体基板の表面部には複数の光電変換素子(フォトダイオードPD:以下、画素という。)101が二次元アレイ状に配列形成されている。そして、奇数行の画素行に対して偶数行の画素行が1/2画素ピッチづつずらして形成されている。
偶数行(または奇数行)の画素(第1画素群)だけを見てみれば、各画素101は正方格子状に配列されており、この正方格子配列に対して、カラーフィルタ(R=赤,G=緑,B=青)がベイヤ配列されている。また、奇数行(または偶数行)の画素(第2画素群)だけ見れば、各画素は正方格子状に配列されており、この正方格子配列に対して、カラーフィルタ(r=赤,g=緑,b=青)がベイヤ配列されている。大文字のRGBと小文字のrgbは、第1画素群と第2画素群のいずれに属するかを示すだけであり、カラーフィルタとしては同じである。
図3は、図2に示すCCD型固体撮像素子のカラーフィルタ配列説明図である。正方格子状に配列された第1画素群にはR,G,Bのカラーフィルタがベイヤ配列されており、正方格子状に配列された第2画素群にもr,g,bのカラーフィルタがベイヤ配列されている。
この第1画素群に対し、第2画素群を、行方向,列方向共に1/2画素ピッチづつずらして配列すると、図3下段のカラーフィルタ配列となり、全体としてベイヤ配列の二重構造になる。
以下、第1画素群の各検出信号である赤色信号,緑色信号,青色信号やフィルタ色を大文字のR,G,Bで表し、フィルタR,G,Bを搭載した画素をR画素,G画素,B画素として説明する。また、第2画素群の各検出信号である赤色信号,緑色信号,青色信号やフィルタ色を小文字のr,g,bで表し、フィルタr,g,bを搭載した画素をr画素,g画素,b画素として説明する。
尚、本実施形態のCCD型固体撮像素子100では、第1画素群のRGB画素と第2画素群のrgb画素は同一受光感度の画素としているが、第1画素群を高感度画素群、第2画素群を低感度画素群のような受光面積を異ならせたものとすることでも良い。
図2に戻り、各画素列に沿って、垂直電荷転送路(VCCD)102が形成され、各垂直電荷転送路102の転送方向端部に沿って、水平電荷転送路(HCCD)103が設けられ、水平電荷転送路103の出力部に、転送されてきた電荷の電荷量に応じた電圧値信号を撮像データとして出力するアンプ104が設けられている。
垂直電荷転送路102は、第1画素群の画素列(BGBG…の画素列またはGRGR…の画素列)と、該画素列に隣接する第2画素群の画素列(bgbg…の画素列またはgrgr…の画素列)とが共用する構成になっている。
即ち、図示する例では、GR画素列,BG画素列の各々に沿って垂直電荷転送路102が設けられ、各垂直電荷転送路102内に、gr画素列またはbg画素列が設けられ、GR画素列とgr画素列とが同じ垂直電荷転送路102を共用し、BG画素列とbg画素列とが同じ垂直電荷転送路102を共用する構成になっている。
このため、垂直方向に並ぶG画素/R画素間あるいはB画素/G画素間は素子分離帯(チャネルストップ)106が設けられ、隣接する垂直電荷転送路102の埋め込みチャネルが分離される反面、垂直方向に並ぶg画素/r画素間あるいはb画素/g画素間には素子分離帯は設けられておらず、r画素,g画素,b画素の左右の垂直転送路埋め込みチャネルは連続する構成すなわち信号電荷が連通する構造になっている。
この構成により、R画素と、信号電荷読出方向(図2の各画素101毎に記載した矢印の方向)の斜め下に位置する同色の隣接r画素とを垂直電荷転送路102内で画素加算することが可能となる。また、G画素と、信号電荷読出方向の斜め下に位置する同色の隣接g画素とを垂直電荷転送路102内で画素加算することが可能となり、同様に、B画素と、信号電荷読出方向の斜め下に位置する同色の隣接b画素とを垂直電荷転送路102内で画素加算することが可能となる。
図4に、図2または図3下段に示すカラーフィルタ配列において、垂直電荷転送路102上で画素加算する同色2画素を点線長円で囲って示す。
尚、「水平」,「垂直」という用語を用いて説明しているが、これは、半導体基板表面に沿う「1方向」,「この1方向に略垂直な方向」という意味に過ぎない。
図5は、図2に示す点線矩形枠V内の詳細構成図である。各画素(フォトダイオード)101の形成箇所は、周囲をp型高濃度不純物領域でなるチャネルストップ106で囲まれ、その外側の垂直電荷転送路102と画成される。図示する例では、各画素101の右斜め下方向のチャネルストップ106は設けられていない。これはこの箇所114が当該画素101の信号電荷を垂直電荷転送路102に読み出すトランスファーゲート114になっているためである。
そして、第1画素群のBG画素列及びGR画素列においては、垂直方向に隣接する画素101の周囲に設けられるチャネルストップ106同士が、p型高濃度不純物領域でなるチャネルストップ106aで接続されている。これに対し、第2画素群の各画素列においては、この様なチャネルストップ106aは設けていない。
半導体基板の画素101が設けられた周囲には、n型不純物領域(網掛け模様で示す。)が設けられており、これが垂直電荷転送路102の埋め込みチャネルとなっている。この埋め込みチャネルがチャネルストップ106,106aにより分断区分けされ、第1画素群のBG画素列及び第2画素群のbg画素列を1組、第1画素群のGR画素列及び第2画素群のgr画素列を1組として、各組に1つの垂直電荷転送路102が対応付けられる。
垂直電荷転送路102は、上記の埋め込みチャネルと、その上に絶縁層を介して積層される垂直転送電極膜とで構成される。垂直転送電極膜は、各垂直転送路に渡って水平方向に連続して設けられ、同一転送パルスによって各垂直電荷転送路における転送を同時に起こせる様になっている。垂直転送電極膜は、例えばポリシリコン膜で構成され、図示する例では、1画素当たり2枚の転送電極膜116,117が設けられている。
図6は、図5のVI―VI’線位置における断面模式図である。半導体基板11にはPウェル層12が設けられており、このPウェル層12の表面部に、n領域13が形成されることで、フォトダイオード101が設けられる。
n領域13の表面には暗電流抑制用の高濃度p型表面層14が設けられる。また、n領域13の隣には、垂直電荷転送路102の埋め込みチャネルとなるn領域15が設けられ、埋め込みチャネル15の下側には、高濃度p領域16が設けられる。図示する例では、画素101の周囲に設けるチャネルストップ106がp型高濃度不純物領域として設けられる他、2つの垂直電荷転送路102の埋め込みチャネル15を区分けするチャネルストップ106aが設けられている。
半導体基板11の最表面にはゲート酸化膜17が設けられ、その上で且つ埋め込みチャネル15の上に転送電極膜116(117)がポリシリコン膜で形成される。そして、その上に、画素101の上に開口18aが設けられた遮光膜18が設けられる。
図7は、図5のVII―VII’線位置における断面模式図である。図5のVI―VI’線位置と異なるのは、2本の垂直転送路102を分けるチャネルストップ106aが無い位置の断面である点だけである。従って、図6に示すチャネルストップ106aが存在しない点だけが異なる。
次に、上述した実施形態のCCD型固体撮像素子を用いたデジタルカメラにおける動作を説明する。本実施形態のデジタルカメラでは、上述した様に、高精細撮影モードと、高感度撮影モードがあり、ユーザが操作部33から指示入力する様になっている。高精細撮影モード時には、図4に示す画素加算は行わず、個々の画素毎に信号電荷を読み出して転送し、出力する(図8,図9,図10)。例えば動画撮像時などの高感度撮影モード時には、図4に示す画素加算を垂直電荷転送路上で行いながら、出力する(図11,図12)。
(高精細撮影モード)
ユーザが高精細撮影モードを選択した場合には、CPU29は、撮像素子駆動部24を介して、次の様にCCD型固体撮像素子100を駆動させる。図8は高精細撮影モード時における駆動タイミングを示す図であり、図9,図10は、高精細撮影モード時における各信号電荷の転送の様子を示す図である。
CCD型固体撮像素子100では、2フィールドで1画面の撮像画像データを読み出すことを基本とし、先ず、第1フィールドで、第1画素群の検出電荷を右隣の垂直電荷転送路102に読み出し、これを水平電荷転送路103(図1)まで転送し、水平電荷転送路103に沿って転送し、アンプ104から出力する。
次の第2フィールドでは、第2画素群の検出電荷を垂直電荷転送路102に読み出し、これを水平電荷転送路103まで転送し、水平電荷転送路103に沿って転送し、アンプ104から出力する。
図9は、第1フィールドにおける信号電荷の転送の様子を示す図である。第1画素群(RGB画素)の転送電極兼用読出電極V3,V7に読出パルスa(図8参照)を印加すると、RGB画素の各々の信号電荷が、図9のタイミングT0に示す様に、垂直電荷転送路102の該当電極V3,V7下に形成されている電位パケット内に読み出される。
この電位パケットは、図7に示すチャネルストップ106a(図6参照)が無い位置に形成されるため、幅広の垂直電荷転送路102の同一電極下に渡って形成され、この電位パケット内に1つの画素の信号電荷が読み出される。
次に垂直転送パルスが垂直転送電極に印加されると、例えばB画素の信号電荷は、図9のタイミングT1,T2に示す様に、b画素を挟んで左右に分流して転送され、次のタイミングT3で、また、チャネルストップ106aの無い箇所で合流する。以上の分流,合流という動作を繰り返すことで、第1画素群の信号電荷は水平電荷転送路まで転送される。
図10は、第2フィールドにおける信号電荷の転送の様子を示す図である。第1画素群の各信号電荷の出力が終了(第1フィールドの終了)した後に第2画素群の転送電極兼用読出電極V1,V5に読み出しパルスb(図8参照)が印加されると、第2画素群の各々の信号電荷が、図10のタイミングT0に示す様に、垂直電荷転送路102の該当電極V1,V5下に形成されている電位パケット内に読み出される。
この電位パケットは、チャネルストップ106aが無い位置に形成されるため、幅広の垂直電荷転送路102の同一電極下に渡って形成され、この電位パケット内に1つの画素の信号電荷が読み出される。
次に垂直転送パルスが垂直転送電極に印加されると、第2画素群の各信号電荷は、図10のタイミングT1,T2,T3に示される様に、第2画素群の各画素の左右に分流して転送され、次に合流するという動作を繰り返し、水平電荷転送路まで転送される。
以上により、第1画素群,第2画素群の各々の画素で検出された信号電荷は、個別にアンプ104まで転送され、出力される。デジタル信号処理部26は、各画素の撮像画像信号に基づき、高精細な被写体画像を再生することができる。
(高感度撮影モード)
ユーザが高感度撮影モードを選択した場合には、CCD型固体撮像素子100は次の様に動作する。上述した高精細撮影モード時には、2フィールド読み出しとしたが、高感度撮影モード時には、1フィールドで全画素の読み出しを行う。
図11は、高感度撮影モード時の駆動タイミングチャートである。先ず、読出電極兼用転送電極V3,V7に読出パルスcを印加する。これにより、図12のタイミングT0に示す様に、第1画素群の各画素から右隣の垂直電荷転送路102に信号電荷が読み出される。この信号電荷を、タイミングT1,T2と転送することで、信号電荷は、分流して2転送電極分だけ転送される。
次のタイミングT3で、更に1転送電極分の転送を進めると同時に、読出電極兼用転送電極V1,V5に読出パルスd(図11)を印加する。これにより、第2画素群の各画素から信号電荷が電極V1,V5下に読み出される。
このとき、先に読み出され転送されてきた第1画素群の信号電荷は、夫々読出電極V1,V5の次電極V2,V6まで転送されており、読出電極下に形成される深い電位パケット内に第2画素群の各信号電荷が読み出され、読出パルスdの印加が終了すると、図12のタイミングT4に示すように、第2画素群の信号電荷は、第1画素群の同色の信号電荷と加算されることになる。
以後、加算された信号電荷を、垂直電荷転送路102に沿って水平電荷転送路103まで転送し、水平電荷転送路103に沿って転送し、アンプ104から撮像信号として出力させることで、画素加算された撮像信号が図1のメインメモリ30内に取り込まれる。図1のデジタル信号処理部26は、この撮像信号を画像処理することで、高感度な被写体画像を再生することができる。
この様に、本実施形態のCCD型固体撮像素子は、各画素の配列をハニカム画素配列にすると共にカラーフィルタ配列をベイヤ配列の二重構造とし、更に、第1画素群の画素列と第2画素群の画素列のカラーフィルタ配列が斜め下方向に同じとなる2列の画素列に対して1本の垂直電荷転送路を設けてこの2列の画素列に共用させる構成としたため、垂直電荷転送路上での同色画素の画素加算を行うことが可能となる。
この構成によれば、垂直電荷転送路の転送レートを向上させて画素加算を行うことが可能になると共に、垂直電荷転送路を2本の画素列が共用するため、フォトダイオードの受光面積増大も図ることが可能となる。
本発明に係るCCD型固体撮像素子は、高感度撮影が可能となるため、高感度撮影機能を搭載したデジタルカメラ等に搭載すると有用である。
本発明の一実施形態に係るデジタルカメラの機能ブロック構成図である。 図1に示すCCD型固体撮像素子の表面模式図である。 図2に示すCCD型固体撮像素子のカラーフィルタ配列説明図である。 図2に示すCCD型固体撮像素子の加算画素の説明図である。 図2の点線矩形枠V内の詳細構成図である。 図5のVI―VI’線断面模式図である。 図5のVII―VII’線断面模式図である。 高精細撮影モー時におけるCCD型固体撮像素子の駆動タイミング説明図である。 高精細撮影モード時の第1フィールドにおける電荷転送の様子を説明する図である。 高精細差遺影モード時の第2フィールドにおける電荷転送路の様子を説明する図である。 高感度撮影モード時におけるCCD型固体撮像素子の駆動タイミング説明図である。 高感度撮影モード時における電荷転送及び画素加算の様子を説明する図である。
符号の説明
11 半導体基板
15 垂直電荷転送路の埋め込みチャネル
21 撮像部
24 撮像素子駆動部
26 デジタル信号処理部
100 CCD型固体撮像素子
101 画素(フォトダイオード)
102 垂直電荷転送路(VCCD)
103 水平電荷転送路(HCCD)
104 出力アンプ
106,106a 素子分離帯(チャネルストップ)
114 読出ゲート部

Claims (3)

  1. 半導体基板の表面部に二次元アレイ状に配列形成され奇数行の画素行に対して偶数行の画素行が1/2画素ピッチずらして配列された複数の画素と、該複数の画素で構成される各画素列に沿って形成された複数の垂直電荷転送路と、奇数行(または偶数行)の各画素(以下、第1画素群という。)上にベイヤ配列されると共に偶数行(または奇数行)の各画素(以下、第2画素群)上にベイヤ配列された三原色カラーフィルタとを備えるCCD型固体撮像素子において、前記第1画素群の画素列に沿い該画素列(以下、第1画素列という。)の信号電荷が読み出され転送される前記垂直電荷転送路と、該第1画素列に隣接する前記第2画素群の2列の画素列のうちカラーフィルタ配列が前記第1画素列と同じパターンとなる画素列に沿い該画素列の信号電荷が読み出され転送される前記垂直電荷転送路とを1組とし、各組内の2列の前記垂直電荷転送路が接する範囲の埋め込みチャネルを連通構造にすると共に隣接する組間の2列の前記垂直電荷転送路の接する部分をチャネルストップで分離する構造にしたことを特徴とするCCD型固体撮像素子。
  2. 請求項1記載のCCD型固体撮像素子と、前記組内の2本の前記垂直電荷転送路に沿う2列の画素列から該垂直電荷転送路に読み出された信号電荷のうち同一色のカラーフィルタが搭載された隣接する2つの画素の信号電荷を該垂直電荷転送路上で加算して転送させ出力させる撮像素子駆動手段とを備えることを特徴とする撮像装置。
  3. 前記撮像素子駆動手段は、前記2つの画素の信号電荷を前記垂直電荷転送路上で加算して転送させ出力させる駆動モードの他に、該2つの画素の各々の信号電荷のうち一方を第1フィールドで読み出し転送させ出力させると共に他方の信号電荷を第2フィールドで読み出し転送させ出力させる駆動モードを備えることを特徴とする請求項2に記載の撮像装置。
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