JP2009092881A - Color filter substrate, liquid crystal display panel, liquid crystal display device, and method for manufacturing color filter substrate - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、カラーフィルタ基板、液晶表示パネル、液晶表示装置及びカラーフィルタ基板の製造方法に関する。より詳しくは、樹脂BMが形成されたカラーフィルタ基板、液晶表示パネル、液晶表示装置及びカラーフィルタ基板の製造方法に関するものである。 The present invention relates to a color filter substrate, a liquid crystal display panel, a liquid crystal display device, and a method for manufacturing a color filter substrate. More specifically, the present invention relates to a color filter substrate on which a resin BM is formed, a liquid crystal display panel, a liquid crystal display device, and a method for manufacturing a color filter substrate.
近年、薄型軽量、低消費電力という大きな利点をもつ液晶表示装置は、日本語ワードプロセッサやデスクトップパーソナルコンピュータ等のパーソナルOA機器の表示装置として積極的に用いられている。 2. Description of the Related Art In recent years, liquid crystal display devices having great advantages such as thin and light weight and low power consumption have been actively used as display devices for personal office automation equipment such as Japanese word processors and desktop personal computers.
液晶表示装置用カラーフィルタ基板には、基板上の画素となる領域に着色層が形成され、各画素の境界領域には表示コントラストを高めるために一定の幅を持つ遮光層が設けられている。この遮光層がブラックマトリクス(BM)である。 In a color filter substrate for a liquid crystal display device, a colored layer is formed in a region to be a pixel on the substrate, and a light shielding layer having a certain width is provided in a boundary region of each pixel in order to increase display contrast. This light shielding layer is a black matrix (BM).
BMは通常、ガラス基板上に微小なパターンの金属薄膜として形成される。金属薄膜の材質としては、クロム、ニッケル、アルミニウム等が採用されており、製膜方法としては、蒸着法、スパッタ法、真空製膜が一般的である。金属薄膜のパターン化は、金属薄膜上にフォトレジストを塗布、乾燥した後、フォトマスクを介して紫外線を照射し、現像液で未露光部を溶解してレジストパターンを形成後、金属のエッチング、レジスト剥離の工程により行われる。しかしながら、この方法では工程の煩雑さから製造コストが高くなり、したがって、カラーフィルタ基板自体のコストが高くなる。また、この金属薄膜により形成されたBMを有するカラーフィルタ基板を液晶表示装置に搭載した場合、金属薄膜の表面の反射率が高いため、強い外光が照射されると、反射光が強いために表示品位が著しく低下してしまうことがあった。そこで、金属薄膜以外の他の材料として、樹脂を用いて形成するBMが提案されている。 The BM is usually formed as a metal thin film with a minute pattern on a glass substrate. As the material of the metal thin film, chromium, nickel, aluminum or the like is adopted, and as a film forming method, a vapor deposition method, a sputtering method, or a vacuum film forming is generally used. Patterning of the metal thin film is performed by applying a photoresist on the metal thin film, drying, irradiating ultraviolet rays through a photomask, dissolving the unexposed portion with a developer to form a resist pattern, etching the metal, This is performed by a resist stripping process. However, this method increases the manufacturing cost due to the complexity of the process, and thus increases the cost of the color filter substrate itself. In addition, when a color filter substrate having a BM formed of this metal thin film is mounted on a liquid crystal display device, the reflectance of the surface of the metal thin film is high, so that when strong external light is irradiated, the reflected light is strong. The display quality may be remarkably deteriorated. Therefore, BM formed using resin as a material other than the metal thin film has been proposed.
樹脂BMは、アルカリ溶解タイプのネガレジストにカーボンブラックに代表される黒色顔料や、赤、緑、青、黄色、紫等の顔料を混ぜてなる混色黒色顔料を単独若しくは混合で分散させて構成されたものが用いられる。このように、樹脂BMでは遮光特性を成分中に含有させる黒色顔料で得るため、金属BMと比較して厚みが必要となる。樹脂BMの形成方法としては、まず、透明基板上にネガレジストである感光性樹脂の塗布、乾燥を行う。次に、ブラックマトリクスとする所望のパターンを形成したフォトマスクを介して感光性樹脂に紫外線露光を行う。ネガレジストは露光部が光のエネルギーで架橋反応を起こし光硬化することにより現像液に対しての溶解性が未露光部より低下する。この溶解度差を利用してパターン形成を行う。すなわち、炭酸ナトリウム等の希アルカリ系の現像液を用いて未露光部を選択的に溶解除去後、現像液を洗浄することにより所望のパターンを形成する。以上のように、樹脂BMのパターニングは通常のフォトリソグラフィ工程のみであり、金属BMと比較して簡略かつ安価にパターン形成が可能である。 Resin BM is configured by dispersing a black pigment typified by carbon black or a mixed color black pigment obtained by mixing a pigment such as red, green, blue, yellow, and purple alone or in a mixture with an alkali-soluble negative resist. Is used. As described above, the resin BM requires a thickness as compared with the metal BM because the resin BM is obtained with a black pigment containing a light shielding property in the component. As a method for forming the resin BM, first, a photosensitive resin, which is a negative resist, is applied and dried on a transparent substrate. Next, the photosensitive resin is exposed to ultraviolet rays through a photomask having a desired pattern as a black matrix. In the negative resist, the exposed portion undergoes a crosslinking reaction with light energy and is photocured, so that the solubility in the developing solution is lower than that in the unexposed portion. Pattern formation is performed using this difference in solubility. That is, after a non-exposed portion is selectively dissolved and removed using a dilute alkaline developer such as sodium carbonate, a desired pattern is formed by washing the developer. As described above, the patterning of the resin BM is only a normal photolithography process, and the pattern can be formed simply and inexpensively compared with the metal BM.
また、樹脂BMを用いる技術としては、液晶表示素子の表示領域においてはBMを1層形成し、周辺部においてはBMを2層形成し、かつ、周辺部におけるBMの膜厚の和と、表示領域におけるカラーフィルタの膜厚とをほぼ同じに形成する液晶表示装置が開示されている(例えば、特許文献1参照。)。 As a technique using the resin BM, one layer of BM is formed in the display area of the liquid crystal display element, two layers of BM are formed in the peripheral portion, and the sum of the BM film thickness in the peripheral portion is displayed. A liquid crystal display device in which the film thickness of the color filter in the region is formed to be substantially the same is disclosed (for example, see Patent Document 1).
更に、透明基板上に、樹脂BMと、上記樹脂BM間に設けられた着色部を有するカラーフィルタにおいて、表示画素領域部の外周にある非表示部の上記樹脂BMの膜厚が表示画素領域部の上記樹脂BMの膜厚よりも薄くなるように形成したカラーフィルタが開示されている(例えば、特許文献2参照。)。 Further, in a color filter having a resin BM and a colored portion provided between the resins BM on a transparent substrate, the film thickness of the resin BM in the non-display portion on the outer periphery of the display pixel region portion is the display pixel region portion. A color filter formed to be thinner than the film thickness of the resin BM is disclosed (for example, see Patent Document 2).
そして、フォトリソグラフィ法により基体層上に遮光層を形成する第1のリブとこの第1のリブよりも小なる高さを有する第2のリブとをパターン形成する第1ステップと、インクジェット技術により第1のリブと第2のリブとにより画定される領域に透光性材料を滴下して段差形成層を形成する第2ステップと、段差形成層を形成した後、インクジェット技術により第1のリブにより画定される領域に光着色性材料を滴下して着色層を形成する第3ステップとを有するカラーフィルタを製造する方法が開示されている(例えば、特許文献3参照。)。
しかしながら、樹脂BMが形成された液晶表示装置においては、樹脂BM近傍で、黒表示時において光漏れが発生したり、コントラストが低下したりすることがあった。より具体的には、例えば、樹脂BMが形成されたVA(Vertical Alignment)モードの液晶表示装置においては、黒表示時に、BM端部近傍において光漏れが発生していた。また、樹脂BMが形成されたECB(Electrically Controled Birefringence)モードの液晶表示装置においては、ラビングの進行方向に対して樹脂BMの影になる領域が白く光り、コントラストが低下することがあった。 However, in the liquid crystal display device on which the resin BM is formed, light leakage may occur in the vicinity of the resin BM during black display, or the contrast may be lowered. More specifically, for example, in a VA (Vertical Alignment) mode liquid crystal display device in which the resin BM is formed, light leakage occurs near the end of the BM during black display. In addition, in an ECB (Electrically Controlled Birefringence) mode liquid crystal display device in which the resin BM is formed, a region that is shaded by the resin BM in the rubbing progress direction may shine white and the contrast may decrease.
本発明は、上記現状に鑑みてなされたものであり、樹脂BMを形成したとしても、黒表示時における光漏れの発生と、コントラストの低下とを抑制することが可能であるカラーフィルタ基板、液晶表示パネル、液晶表示装置及びカラーフィルタ基板の製造方法を提供することを目的とするものである。 The present invention has been made in view of the above situation, and even when the resin BM is formed, a color filter substrate, a liquid crystal capable of suppressing the occurrence of light leakage and a decrease in contrast during black display An object of the present invention is to provide a method for manufacturing a display panel, a liquid crystal display device, and a color filter substrate.
本発明者らは、樹脂BMを形成したとしても、黒表示時における光漏れの発生と、コントラストの低下とを抑制することが可能であるカラーフィルタ基板、液晶表示パネル、液晶表示装置及びカラーフィルタ基板の製造方法について種々検討したところ、BMとBMの上方に形成される配向膜とに着目した。そして、従来の樹脂BMの膜厚は大きく、かつ一様であるため、樹脂BMの端部に対応する領域の配向膜が大きな段差を有することになり、その結果、樹脂BMの端部近傍において、液晶分子の配向が乱れてしまうことを見いだした。 The present inventors have provided a color filter substrate, a liquid crystal display panel, a liquid crystal display device, and a color filter capable of suppressing the occurrence of light leakage during black display and the reduction in contrast even when the resin BM is formed. As a result of various studies on the substrate manufacturing method, attention was paid to the BM and the alignment film formed above the BM. Since the film thickness of the conventional resin BM is large and uniform, the alignment film in the region corresponding to the end portion of the resin BM has a large step, and as a result, in the vicinity of the end portion of the resin BM. They found that the alignment of liquid crystal molecules was disturbed.
ここで、図6及び7を用いて、樹脂BM近傍で、黒表示時において光漏れが発生したり、コントラストが低下したりする原因について、更に詳細に説明する。図6は、黒表示時における従来のVAモードの液晶表示装置のカラーフィルタ基板側のアクティブエリアにおける構成と表示状態とを示す模式図であり、(a)は、平面図であり、(b)は、(a)中のP1−P2線における断面図である。なお、図6において画素開口部の明るさは、グレーの濃淡で表されている。図7は、従来のECBモードの液晶表示装置のカラーフィルタ基板側のアクティブエリアにおける構成を示す模式図であり、(a)は、平面図であり、(b)は、(a)中のQ1−Q2線における断面図である。 Here, with reference to FIGS. 6 and 7, the cause of the occurrence of light leakage or a decrease in contrast in the vicinity of the resin BM during black display will be described in more detail. FIG. 6 is a schematic diagram showing a configuration and a display state in an active area on the color filter substrate side of a conventional VA mode liquid crystal display device during black display, (a) is a plan view, (b) These are sectional drawings in the P1-P2 line in (a). In FIG. 6, the brightness of the pixel opening is represented by gray shades. FIG. 7 is a schematic diagram showing a configuration in an active area on the color filter substrate side of a conventional ECB mode liquid crystal display device, (a) is a plan view, and (b) is Q1 in (a). It is sectional drawing in the -Q2 line.
VAモードの場合、黒表示時では、液晶分子115は、図6(b)に示すように、画素中央部においては通常、透明基板111の主面に対して垂直に配向する。それに対して、樹脂BM112の端部においては、樹脂BM112の厚みに起因して垂直配向膜114が大きな段差を有することになる。すなわち、垂直配向膜114は、樹脂BM112の端部近傍において、大きく傾斜することになる。したがって、液晶分子115は、樹脂BM112の端部近傍においては、透明基板111の主面に対して斜めに配向する、すなわち倒れた状態に配向してしまい、その結果、図6(a)に示すように、光漏れが発生していた。
In the VA mode, during black display, the
一方、ECBモードの場合、配向膜のラビング処理によって液晶の配向を制御しているが、配向膜224は、図7(b)示すように、樹脂BM222の厚みに起因して段差を有するために、ラビングの進行方向(図7中、白抜き矢印の方向)に対して樹脂BM222の影になる領域(図7(a)中における白塗り領域、及び、図7(b)中における配向膜224の白塗り領域)は、ラビングが充分に行われず、この領域において、液晶分子の配向が乱れてしまっていた。そのため、図7(b)に示すように、樹脂BM222の影になる領域が白く光り、コントラストが低下していた。
On the other hand, in the ECB mode, the alignment of the liquid crystal is controlled by rubbing the alignment film. However, the
そこで、更に検討した結果、一画素内において、BM(着色層の境界領域に設けられた遮光層)の膜厚を部分的に変化させることにより、遮光層の上方に形成される配向膜の平坦性が向上されるとともに、遮光層の端部近傍、すなわち画素端部における液晶分子の配向状態が改善され、その結果、光漏れの発生やコントラストの低下を抑制できることを見いだし、上記課題をみごとに解決することができることに想到し、本発明に到達したものである。 Therefore, as a result of further investigation, the alignment film formed above the light shielding layer is flattened by partially changing the film thickness of the BM (light shielding layer provided in the boundary region of the colored layer) within one pixel. As a result, it was found that the alignment state of liquid crystal molecules in the vicinity of the edge of the light shielding layer, that is, the edge of the pixel was improved, and as a result, the occurrence of light leakage and the decrease in contrast could be suppressed. The inventors have arrived at the present invention by conceiving that the problem can be solved.
すなわち、本発明は、基板と、上記基板の一方の主面側に画素に対応して配列された複数の着色層と、上記複数の着色層の境界領域に設けられた遮光層とを備えるカラーフィルタ基板であって、上記遮光層は、一画素内において、膜厚が部分的に異なるカラーフィルタ基板である。これにより、通常、遮光層の上方に着色層を介して形成される配向膜の平坦性が向上するように、遮光層の膜厚を適宜変更することができる。したがって、遮光層の端部近傍における液晶分子の配向状態を改善することができ、その結果、光漏れの発生やコントラストの低下を抑制することができる。 That is, the present invention provides a color comprising a substrate, a plurality of colored layers arranged in correspondence with pixels on one main surface side of the substrate, and a light shielding layer provided in a boundary region of the plurality of colored layers. In the filter substrate, the light shielding layer is a color filter substrate having partially different film thicknesses within one pixel. Thereby, the film thickness of the light shielding layer can be appropriately changed so that the flatness of the alignment film usually formed above the light shielding layer via the colored layer is improved. Therefore, the alignment state of the liquid crystal molecules in the vicinity of the end portion of the light shielding layer can be improved, and as a result, the occurrence of light leakage and the decrease in contrast can be suppressed.
なお、上記画素は、サブ画素と呼ばれるものであってもよい。 Note that the pixels may be called sub-pixels.
本発明のカラーフィルタ基板の構成としては、このような構成要素を必須として形成されるものである限り、その他の構成要素を含んでいても含んでいなくてもよく、特に限定されるものではない。
本発明のカラーフィルタ基板における好ましい形態について以下に詳しく説明する。
The configuration of the color filter substrate of the present invention is not particularly limited as long as such components are formed as essential components, and may or may not include other components. Absent.
A preferred embodiment of the color filter substrate of the present invention will be described in detail below.
上記遮光層は、画素開口部側の部分が中央部分よりも薄くてもよい。これにより、VAモード等の液晶分子の配向を配向膜の表面形状により制御しているモードで、遮光層近傍の液晶分子の配向を画素中央部の液晶分子の配向に近づけることができる。したがって、VAモード等において、黒表示時における光漏れの発生を抑制することができる。 The light shielding layer may be thinner at the pixel opening side than at the center. Thereby, the alignment of the liquid crystal molecules in the vicinity of the light shielding layer can be brought close to the alignment of the liquid crystal molecules in the center of the pixel in a mode in which the alignment of the liquid crystal molecules such as the VA mode is controlled by the surface shape of the alignment film. Therefore, in the VA mode or the like, it is possible to suppress light leakage during black display.
上記遮光層は、長手方向に対して直交する方向における断面において、一方の端部が他方の端部よりも薄くてもよい。これにより、ECBモード等の液晶分子の配向をラビングにより制御しているモードで、ラビング時において配向膜の樹脂BMの影になる領域を狭くすることができる。すなわち、設計通りにラビング処理を行うことができる。したがって、ECBモード等において、ラビングの進行方向に対して樹脂BMの影になる領域が白く光ることに起因して、コントラストが低下するのを抑制することができる。 One end portion of the light shielding layer may be thinner than the other end portion in a cross section in a direction orthogonal to the longitudinal direction. Thereby, in a mode in which the alignment of liquid crystal molecules such as ECB mode is controlled by rubbing, a region that is shaded by the resin BM of the alignment film during rubbing can be narrowed. That is, the rubbing process can be performed as designed. Therefore, in the ECB mode or the like, it is possible to suppress a decrease in contrast due to a white area in the shadow of the resin BM shining in the rubbing progress direction.
上記遮光層は、膜厚が階段状に変化してもよいし、膜厚がテーパ状に変化してもよい。これらにより、より容易に遮光層を形成することが可能となる。 The light shielding layer may have a stepped film thickness or a taper film thickness. Accordingly, the light shielding layer can be formed more easily.
上記遮光層は、樹脂を含んでもよい。すなわち上記遮光層は、樹脂BMであってもよい。上述したように、樹脂BMは、金属薄膜により形成されたBMと比較して、通常、厚く形成されるため、この形態においては、本発明の効果をより効果的に奏することができる。また、より容易に遮光層を形成することが可能となる。 The light shielding layer may contain a resin. That is, the light shielding layer may be a resin BM. As described above, since the resin BM is usually formed thicker than the BM formed of the metal thin film, the effect of the present invention can be more effectively achieved in this embodiment. In addition, the light shielding layer can be formed more easily.
上記遮光層が樹脂を含む場合、上記遮光層は、感光性樹脂を含んでもよいし、単一層から構成されてもよい。これらにより、製造プロセスを複雑化させることなく、グレイトーンマスク、ハーフトーンマスク等の多階調マスクを用いたフォトリソ工程により遮光層を更に容易に形成することができる。 When the light shielding layer contains a resin, the light shielding layer may contain a photosensitive resin or may be composed of a single layer. As a result, the light shielding layer can be more easily formed by a photolithography process using a multi-tone mask such as a gray-tone mask or a half-tone mask without complicating the manufacturing process.
上記カラーフィルタ基板は、オーバーコート層を有さなくてもよい。このとき、配向膜は、遮光層の膜厚の影響をより直接的に受けやすくなるため、この形態によれば、本発明の効果をより効果的に奏することができる。また、製造プロセスの簡略化が可能になる。 The color filter substrate may not have an overcoat layer. At this time, the alignment film is more easily affected by the film thickness of the light shielding layer. Therefore, according to this embodiment, the effect of the present invention can be achieved more effectively. In addition, the manufacturing process can be simplified.
本発明はまた、本発明のカラーフィルタ基板を備える液晶表示パネルでもある。これにより、液晶表示パネルの表示品位を向上することができる。 The present invention is also a liquid crystal display panel including the color filter substrate of the present invention. Thereby, the display quality of the liquid crystal display panel can be improved.
本発明は更に、本発明の液晶表示パネルを備える液晶表示装置でもある。これにより、液晶表示装置の表示品位を向上することができる。 The present invention is also a liquid crystal display device including the liquid crystal display panel of the present invention. Thereby, the display quality of a liquid crystal display device can be improved.
本発明はそして、本発明のカラーフィルタ基板の製造方法であって、上記製造方法は、多階調マスクを用いて遮光層を形成する工程を含むカラーフィルタ基板の製造方法である。これにより、遮光層をより容易に作製することができる。また、多階調マスクを使用することで光の透過率を容易に制御することが可能となるため、遮光層の厚みの制御をより容易に行うことができる。 The present invention is a method for manufacturing a color filter substrate of the present invention, wherein the manufacturing method is a method for manufacturing a color filter substrate including a step of forming a light shielding layer using a multi-tone mask. Thereby, a light shielding layer can be produced more easily. Further, since the light transmittance can be easily controlled by using the multi-tone mask, the thickness of the light shielding layer can be controlled more easily.
なお、多階調マスクとしては、遮光部と、透光部と、遮光部及び透光部間の光透過率を有する中間調部とを有するフォトマスクであれば特に限定されないが、なかでもグレイトーンマスク、ハーフトーンマスクが好適である。 The multi-tone mask is not particularly limited as long as it is a photomask having a light shielding portion, a light transmitting portion, and a halftone portion having a light transmittance between the light shielding portion and the light transmitting portion. A tone mask and a halftone mask are preferable.
本発明のカラーフィルタ基板によれば、樹脂BMを形成したとしても、黒表示時において光漏れが発生したり、コントラストが低下したりするのを抑制することができる。 According to the color filter substrate of the present invention, even when the resin BM is formed, it is possible to suppress light leakage or a decrease in contrast during black display.
以下に実施形態を掲げ、本発明を図面を参照して更に詳細に説明するが、本発明はこれらの実施形態のみに限定されるものではない。 Embodiments will be described below, and the present invention will be described in more detail with reference to the drawings. However, the present invention is not limited only to these embodiments.
(実施形態1)
まず、実施形態1のVAモードの液晶表示装置について説明する。本実施形態の液晶表示装置の液晶モードとしては、液晶分子の配向を配向膜の表面形状により制御しているモードであれば特に限定されないが、VAモードが好適である。図1は、実施形態1の液晶表示装置のカラーフィルタ基板側のアクティブエリアにおける構成を示す模式図であり、(a)は、平面図であり、(b)は、(a)中のX1−X2線における断面図である。また、図2は、黒表示時における実施形態1の液晶表示装置の表示状態を示す概念図である。なお、図2において画素開口部の明るさは、グレーの濃淡で表されている。
(Embodiment 1)
First, the VA mode liquid crystal display device of
実施形態1の液晶表示装置は、液晶表示パネル100と、液晶表示パネル100の後方側に配置されたバックライトユニットと、これらを収納するカバーとを備える。
The liquid crystal display device of
本実施形態の液晶表示装置は、透過型であってもよいし、半透過型(透過反射両用型)であってもよいし、反射型であってもよい。また、反射型とする場合は、バックライトユニットは、設けなくともよい。 The liquid crystal display device of this embodiment may be a transmissive type, a transflective type (transmission / reflection type), or a reflection type. In the case of a reflection type, the backlight unit is not necessarily provided.
バックライトユニットの構成としては、光源、反射板、光学シート類等の一般的な構成を有すればよい。また、バックライトユニットは、直下型であってもよいし、エッジライト型(サイドライト型)であってもよい。 As a structure of a backlight unit, what is necessary is just to have general structures, such as a light source, a reflecting plate, and optical sheets. The backlight unit may be a direct type or an edge light type (side light type).
液晶表示パネル100は、対向する一対の基板であるTFTアレイ基板と、カラーフィルタ基板(CF基板)10と、CF基板10の輪郭に沿って配置されたシールとを有し、TFTアレイ基板、CF基板10及びシールにより形成された空間に液晶材料が充填されることによって、TFTアレイ基板及びCF基板10に狭持された液晶層が形成されている。また、TFTアレイ基板及びCF基板10の外側の主面上には、一対の偏光板がクロスニコルに配置されている。
The liquid crystal display panel 100 includes a TFT array substrate, which is a pair of opposing substrates, a color filter substrate (CF substrate) 10, and a seal disposed along the contour of the
TFTアレイ基板は、基板である透明基板の液晶層側に、液晶表示パネル100の表示素子の構成要素として、スイチッング素子である薄膜トランジスタ(TFT)、画素電極、データ配線、走査配線等のバス配線、垂直配向膜等が設けられている。このように、液晶表示パネル100は、アクティブマトリクス型液晶表示パネルである。 The TFT array substrate has a thin film transistor (TFT) as a switching element, a pixel electrode, a data wiring, a bus wiring such as a scanning wiring, as a constituent element of the display element of the liquid crystal display panel 100 on the liquid crystal layer side of the transparent substrate as a substrate. A vertical alignment film or the like is provided. Thus, the liquid crystal display panel 100 is an active matrix liquid crystal display panel.
一方、CF基板10には、図1に示すように、基板である透明基板11の液晶層側に、感光性樹脂をパターニングすることによって形成された遮光層である樹脂BM12が格子状に設けられており、樹脂BM12で区画された領域には赤、緑及び青の着色層(色版、カラーフィルタ)13R、13G、13Bが形成されている。このように、液晶表示パネル100は、短冊状の3色のサブ画素から構成される画素がマトリクス状に配列されている。なお、各サブ画素は、図1(a)中の破線で画定された領域、すなわち隣接するサブ画素間の略中心を通る境界線により画定された領域である。したがって、各サブ画素は、樹脂BM12を含む領域として規定される。また、液晶表示パネル100は、ストライプ配列の画素配列を有する。更に、各着色層13R、13G、13B間に樹脂BM12が形成されていることから、隣接するサブ画素間で混色が発生するのを抑制することができる。そして、特に、樹脂BM12は、中央部分よりも画素開口部側の部分が薄くなるように階段状に形成されている。すなわち、樹脂BM12は、中央部分の厚膜部12aと、画素開口部側の部分の薄膜部12bとを有し、厚膜部12aは、各サブ画素の境界に対応して格子状に設けられ、薄膜部12bは、厚膜部12aの両端部に沿って、各サブ画素内に環状に設けられている。
On the other hand, as shown in FIG. 1, the
透明基板11には、ガラスが多く用いられるが、例えばプラスチックフィルムやプラスチックシートでもよい。また必要に応じて、透明基板11と、樹脂BM12及び着色材料(着色層13R、13G、13Bの材料)との密着性を向上させるために、透明基板11上にあらかじめ密着性を向上させるような薄膜を形成してもよい。
The
樹脂BM12の材料は、樹脂成分と黒色の顔料、及び/又は、赤、緑、青、黄、紫等の顔料を混ぜてなる混色黒色顔料と、これらの成分を分散溶解させるための溶媒とを含む黒色感光性樹脂である。樹脂BM12の材料としては、一般的な黒色感光性樹脂用として用いられているアクリル樹脂のような感光性樹脂であればネガ型でもポジ型でもよい。また、黒色の顔料成分としては、カーボンブラックや、赤、緑、青、黄、紫等の顔料を混ぜてなる混色黒色顔料としての有機顔料を用いることができる。 The material of the resin BM12 includes a mixed color black pigment obtained by mixing a resin component and a black pigment and / or a pigment such as red, green, blue, yellow, and purple, and a solvent for dispersing and dissolving these components. It is a black photosensitive resin containing. The material of the resin BM12 may be a negative type or a positive type as long as it is a photosensitive resin such as an acrylic resin used for a general black photosensitive resin. Moreover, as a black pigment component, an organic pigment as a mixed color black pigment obtained by mixing carbon black or a pigment such as red, green, blue, yellow, or purple can be used.
また、樹脂BM12では成分中に含有された黒色顔料で遮光特性を得ており、膜厚に比例した遮光特性が得られる。したがって、樹脂BM12の膜厚の最低限度は、求める遮光特性によって規定される。 Further, in the resin BM12, the light shielding property is obtained with the black pigment contained in the component, and the light shielding property proportional to the film thickness is obtained. Accordingly, the minimum film thickness of the resin BM12 is defined by the required light shielding characteristics.
透明基板11上に樹脂BM12のパターンを形成するには、例えばスピンコート等によって1〜3μm程度の厚みを持った薄膜を形成した後、露光、現像、洗浄、ポストベークすることで形成することができる。樹脂BM12は、例えば60μm×100μm程度の開口部を有し、幅20μm程度の樹脂BM12で区切られている格子状のパターンであり、この開口部を着色材料で埋めることで、短冊状の着色層13R、13G、13Bを形成している。このとき、着色層13R、13G、13Bは、各着色層13R、13G、13Bの端部が樹脂BM12に重なるように形成される。
In order to form the pattern of the resin BM12 on the
以上のように形成した樹脂BM12及び着色層13R、13G、13B上に、透明電極(図示せず)、垂直配向膜14を順に形成することで、CF基板10が完成する。なお、透明電極の材料としては特に限定されず、例えばインジウム・錫酸化物膜(ITO膜)が挙げられる。また、垂直配向膜14の材料としては液晶分子を配向膜表面に対して略垂直に配向させるものであれば特に限定されず、熱硬化型のポリイミド樹脂等が挙げられる。
The
なお、本実施形態において、着色層の色の組み合わせは、赤、緑及び青に特に限定されず、例えば、シアン、イエロー及びマゼンタであってもよいし、着色層の色は、4色以上であってもよい。また、着色層の配列は、ストライプ配列に特に限定されず、例えば、デルタ配列、モザイク配列等であってもよい。 In the present embodiment, the color combination of the colored layers is not particularly limited to red, green, and blue. For example, cyan, yellow, and magenta may be used, and the color of the colored layer may be four or more colors. There may be. Further, the arrangement of the colored layers is not particularly limited to the stripe arrangement, and may be, for example, a delta arrangement, a mosaic arrangement, or the like.
本実施形態によれば、樹脂BM12が、中央部分よりも画素開口部側が薄くなるように形成されている。したがって、樹脂BM12の厚みに起因する垂直配向膜14の傾斜を小さくすることができ、画素開口部内、特に樹脂BM12の端部近傍における垂直配向膜14の平坦性を向上することができる。それにより、樹脂BM12近傍の液晶分子15の配向を、画素中央部の液晶分子15の配向に近づけることができる。すなわち、黒表示時において、樹脂BM12近傍の液晶分子15を透明基板11の主面に対してより垂直な方向に配向させることができ、図2に示すように、黒表示時における樹脂BM12近傍の光漏れの発生を抑制することができる。
According to the present embodiment, the resin BM12 is formed so that the pixel opening side is thinner than the central portion. Therefore, the inclination of the
図8(a)〜(c)は、実施形態1の液晶表示装置の樹脂BM近傍を示す断面模式図である。必要な遮光特性を確保しつつ、光漏れの発生を充分に抑制する観点からは、樹脂BM12の薄膜部12bの膜厚T1bは、必要な遮光特性を確保できる範囲内で可能な限り薄いことが好ましい。また、薄膜部12bの幅W1bは、必要な開口率を確保できる範囲内で可能な限り大きいことが好ましい。他方、樹脂BM12の厚膜部12aの膜厚T1aは、必要な遮光特性に合わせて適宜設定すればよい。また、樹脂BM12の厚膜部12aの幅W1aは、薄膜部12bの幅W1bに合わせて適宜設定すればよい。このように、薄膜部12bの画素開口部側の端部境界と、薄膜部12b及び厚膜部12aの境界とを結ぶ線(面)が透明基板11の主面となす角θ1は、図8(a)に示すように、可能な限り小さいことが好ましい。これにより、必要な遮光特性を確保しつつ、光漏れの発生を充分に抑制することができる。他方、図8(b)に示すように、薄膜部12bの幅W1bが短すぎたり、図8(c)に示すように、薄膜部12bの膜厚T1bが大きすぎたりすると、樹脂BM12近傍の液晶分子15の傾きが大きくなり、充分に光漏れの発生を充分には抑制できない場合がある。
8A to 8C are schematic cross-sectional views showing the vicinity of the resin BM of the liquid crystal display device according to the first embodiment. From the viewpoint of sufficiently suppressing the occurrence of light leakage while ensuring the necessary light shielding characteristics, the film thickness T1b of the
なお、CF基板10は、着色層13R、13G、13Bと透明電極との間の層に、樹脂BM12や着色層13R、13G、13Bを保護する透明のオーバーコート層(保護層)が設けられてもよい。しかしながら、オーバーコート層が平坦化作用を充分に発揮しない場合、すなわちオーバーコート層を設けたとしても樹脂BM12の凹凸が平坦化されない場合や、オーバーコート層が設けられない場合に、特に本実施形態のCF基板10を好適に用いることができる。すなわち、CF基板10によれば、平坦化作用を充分に発揮しないオーバーコート層が設けられたり、オーバーコート層が設けられなかったりしたとしても、垂直配向膜14の平坦性を向上し、黒表示時における光漏れの発生を抑制することができる。なお、オーバーコート層の材料としては特に限定されず、アクリル樹脂等を用いた熱硬化型や紫外線硬化型等の透明樹脂が挙げられる。
The
また、CF基板10は、TFTアレイ基板に設けられたTFT等のスイッチング素子に対応する領域(素子領域)にも樹脂BM12が形成されていてもよい。これにより、光リーク電流の発生を抑制することができる。なお、TFTの光リーク電流を抑制するには、ある程度のOD値が必要であるため、素子領域の樹脂BM12は、それに相当する厚みを有することが好ましい。このように、素子領域の樹脂BM12は、厚膜部12aと同程度の膜厚を有することが好ましく、これにより、光リーク電流の発生をより効果的に抑制することができる。
In the
更に、CF基板10は、画像表示を行うアクティブエリアの外周領域、いわゆる額縁エリアにも樹脂BM12が形成されていてもよい。これにより、額縁エリアにおける光漏れの発生を抑制することができる。なお、額縁エリアの樹脂BM12のOD値が小さいと、額縁エリアが明るくなり、表示品位に悪影響を与えるため、額縁エリアの樹脂BM12は、ある程度厚く形成されることが好ましい。このように、額縁エリアの樹脂BM12は、厚膜部12aと同程度の膜厚を有することが好ましく、これにより、額縁エリアにおける光漏れの発生をより効果的に抑制することができる。
Further, the
そして、樹脂BM12の膜厚を階段状に変化させる場合、樹脂BM12の段数は図1に示したような二段以上であれば特に限定されず、三段以上であってもよいが、本発明の効果を充分に奏しつつ、より容易に樹脂BM12を形成する観点からは、樹脂BM12の段数は少ない方が好ましい。 When the thickness of the resin BM12 is changed stepwise, the number of steps of the resin BM12 is not particularly limited as long as it is two or more as shown in FIG. 1, and may be three or more. From the viewpoint of forming the resin BM12 more easily while sufficiently exhibiting the above effect, it is preferable that the number of steps of the resin BM12 is small.
図3は、実施形態1のカラーフィルタ基板の変形例を示す断面模式図である。樹脂BM12は、図3に示すように、膜厚がテーパ状に変化してもよい。すなわち、樹脂BM11は、厚膜部12aとテーパ部12cとを有してもよい。これによっても、樹脂BM12の膜厚を階段状に変化させた場合と同様の効果を奏することができる。
FIG. 3 is a schematic cross-sectional view showing a modification of the color filter substrate of
樹脂BM12の膜厚をテーパ状に変化させた場合には、階段状に変化させた場合と同様の観点から、テーパ部12cの画素開口部側の端部の膜厚T1cは、必要な遮光特性を確保できる範囲内で可能な限り薄いことが好ましい。他方、厚膜部12aの膜厚T1aは、必要な遮光特性に合わせて適宜設定すればよい。
When the film thickness of the resin BM12 is changed to a taper shape, the film thickness T1c at the end of the taper portion 12c on the pixel opening side is a necessary light shielding characteristic from the same viewpoint as the case where the resin BM12 is changed to a staircase shape. Is preferably as thin as possible within a range in which On the other hand, the film thickness T1a of the
また、樹脂BM12の膜厚をテーパ状に変化させた場合においても、階段状に変化させた場合と同様の観点から、テーパ部12cの幅W1cは、必要な開口率を確保できる範囲内で可能な限り大きいことが好ましい。他方、厚膜部12aの幅W1aは、テーパ部12cの幅W1cに合わせて適宜設定すればよい。
Further, even when the film thickness of the resin BM12 is changed to a taper shape, the width W1c of the taper portion 12c can be within a range in which a necessary opening ratio can be secured from the same viewpoint as when the resin BM12 is changed to a step shape. It is preferable that it is as large as possible. On the other hand, the width W1a of the
以下に、本実施形態の液晶表示装置の製造方法についてより詳細に説明する。なお、本実施形態のTFTアレイ基板は、一般的な方法により製造可能であるので、その説明は省略する。 Below, the manufacturing method of the liquid crystal display device of this embodiment is demonstrated in detail. Note that the TFT array substrate of the present embodiment can be manufactured by a general method, and the description thereof is omitted.
まず、透明基板11上に樹脂BM12の材料として、例えば、黒色ネガ型レジスト材料をスピンコート法、スリットコート法、各種印刷法等の方法にて塗布し、ホットプレートを用いてプリベークを行い、黒色ネガ型レジスト層を形成する。
First, as a material of the resin BM12 on the
次に、透明基板11の上方に、マスクと基板の間に間隙をあけてグレイトーンマスクを配置した後、グレイトーンマスクを介して樹脂BM12のパターンを黒色ネガ型レジストの光硬化に必要な露光量で黒色ネガ型レジスト層に露光する。グレイトーンマスクには、光をほぼ完全に透過する透光部と光りをほぼ完全に遮光する遮光部とに加えて、解像度以下のパターンであるモザイク状のパターン(例えば縦横ともにラインアンドスペース4μmのモザイク状のパターン)が形成され、光を所定の中間程度に透過する中間調部が設けられている。したがって、グレイトーンマスクによれば、1回の露光でレジスト層に完全露光部、中間露光部及び未露光部を形成することができる。また、レジスト層の中間調部を介して露光された中間露光部は、露光量が小さく、現像液にある程度溶けることとなる。したがって、レジスト層の中間露光部に、樹脂BM12の薄膜部12bを形成することができる。
Next, a gray tone mask is disposed above the
なお、中間調部の光の透過率は、解像度以下のパターンの密度や大きさを調整することによって、薄膜部12bの所望の膜厚に応じて適宜設定されている。また、樹脂BM12の膜厚を階段状に変化させる場合には、解像度以下のパターンが一定の密度で形成されたグレイトーンマスクを用いればよく、樹脂BM12の膜厚をテーパ状に変化させる場合には、密度が徐々に変化する解像度以下のパターンが形成されたグレイトーンマスクを用いればよい。
The light transmittance of the halftone portion is appropriately set according to the desired film thickness of the
次に、所定の現像液にて現像処理を行い、現像液を除去するために純水にてリンス処理を行った後、オーブンにてベークし、硬化することで、図1に示したような樹脂BM12が形成される。 Next, after developing with a predetermined developer and rinsing with pure water to remove the developer, baking in an oven and curing, as shown in FIG. Resin BM12 is formed.
このように形成した樹脂BM12には画素開口部となる開口部があり、この部分に例えば顔料分散法により、着色層13R、13G、13Bを形成する。より具体的には、赤、緑又は青の顔料が分散された感光性レジスト材料を塗布した後、露光及び現像を行う工程を3回繰り返すことによって着色層13R、13G、13Bが形成される。なお、着色層13R、13G、13Bは、非感光性の材料を用いて形成されてもよいし、染色法により形成されてもよい。
The resin BM12 formed in this way has an opening serving as a pixel opening, and the
次に、基板上に、ITO膜からなる透明電極をスパッタリング法により形成し、更に、ポリイミド樹脂を含む垂直配向膜14をオフセット印刷法により形成することによって、CF基板10を形成する。
Next, a transparent electrode made of an ITO film is formed on the substrate by a sputtering method, and further, a
その後、TFT等がサブ画素毎に形成されたTFTアレイ基板TFT基板と、セルギャップを維持するためのギャップ材が基板表面上に形成されたCF基板10とを、電極面が相対向するように配置して、パネル周辺をシールして空セルを形成する。そして、この空セル内に、誘電率が負のネマチック液晶を含む液晶材料を注入し、注入口を封止する。更に、TFTアレイ基板及びCF基板10の外側の主面に偏光板を貼り付けることよって本実施形態の液晶表示パネルを作製する。更に、一般的な方法によりモジュール組み立て工程を行うことによって、本実施形態の液晶表示装置を完成することができる。
Thereafter, the TFT array substrate TFT substrate in which TFTs and the like are formed for each sub-pixel and the
以上のように、本実施形態の製造方法によれば、中間調部を有するグレイトーンマスクを用いて樹脂BM12の材料を露光することによって、樹脂BM12の画素開口部側の部分に対する露光量を選択的に減少させ、現像時に減膜させることが可能となり、上述の樹脂BM12の構成を容易に実現することができる。また、1回のフォトリソ工程により、単一層からなる膜厚の部分的に異なる樹脂BMを容易に形成すことができる。更に、TFTアレイ基板側には、遮光層を設ける等の特別のプロセスを別途加えることなく、本実施形態の液晶表示装置を実現することができる。 As described above, according to the manufacturing method of the present embodiment, the exposure amount for the portion of the resin BM12 on the pixel opening side is selected by exposing the material of the resin BM12 using the gray tone mask having a halftone portion. Therefore, the film thickness can be reduced during development, and the configuration of the resin BM12 can be easily realized. In addition, a resin BM having a single layer and having different thicknesses can be easily formed by a single photolithography process. Furthermore, the liquid crystal display device of this embodiment can be realized without adding a special process such as providing a light shielding layer on the TFT array substrate side.
なお、グレイトーンマスクに形成される解像度以下のパターンとしては、格子状のパターンの他、モザイク状のパターンが繰り返されたものでもよい。また、解像度以下のパターンは、同形状の開口パターンがマトリクス状に配置されたものであればよく、円形や多角形といった開口パターン等でもよい。 In addition, as a pattern below the resolution formed in a gray tone mask, the pattern of a mosaic pattern other than a lattice pattern may be repeated. Moreover, the pattern below the resolution may be a pattern in which opening patterns having the same shape are arranged in a matrix, and may be an opening pattern such as a circle or a polygon.
更に、樹脂BM12の材料は、透光部及び遮光部に加えて、半透過(半透明)の中間調部が設けられたハーフトーンマスクを介して露光されてもよい。 Further, the material of the resin BM12 may be exposed through a halftone mask provided with a semi-transparent (semi-transparent) halftone part in addition to the light-transmitting part and the light-shielding part.
(実施形態2)
次に、実施形態2のECBモードの液晶表示装置について説明する。なお、本実施形態の液晶表示装置の液晶モードとしては、液晶分子の配向をラビングにより制御しているモードであれば特に限定されず、TN(Twisted Nematic)モード、IPS(In−Plane Switching)モード等であってもよい。また、実施形態1と本実施形態とにおいて重複する内容については、その説明を省略する。図4は、実施形態2の液晶表示装置のカラーフィルタ基板側のアクティブエリアにおける構成を示す模式図であり、(a)は、平面図であり、(b)は、(a)中のY1−Y2線における断面図である。
(Embodiment 2)
Next, an ECB mode liquid crystal display device according to the second embodiment will be described. The liquid crystal mode of the liquid crystal display device of the present embodiment is not particularly limited as long as the alignment of liquid crystal molecules is controlled by rubbing, and is a TN (Twisted Nematic) mode or an IPS (In-Plane Switching) mode. Etc. Further, the description of the same contents in the first embodiment and the present embodiment is omitted. 4A and 4B are schematic views showing a configuration in an active area on the color filter substrate side of the liquid crystal display device of Embodiment 2, wherein FIG. 4A is a plan view and FIG. 4B is a view of Y1- in FIG. It is sectional drawing in the Y2 line.
本実施形態の液晶表示パネル200は、CF基板20を有し、CF基板20には、実施形態1のCF基板10と同様に、図4に示すように、透明基板11の液晶層側に、感光性樹脂をパターニングすることによって形成された遮光層である樹脂BM22が格子状に設けられており、樹脂BM22で区画された領域には赤、緑及び青の着色層13R、13G、13Bが形成されている。また、樹脂BM22及び着色層13R、13G、13B上に、透明電極(図示せず)、配向膜24が透明基板11側からこの順に設けられている。なお、各サブ画素は、実施形態1と同様に、図4(a)中の破線で画定された領域であり、樹脂BM22を含む領域として規定される。
The liquid crystal display panel 200 of the present embodiment has a
だだし、樹脂BM22は、図4(b)に示すように、樹脂BM22の長手方向に対して直交する方向における断面において、一方の端部が他方の端部よりも薄くなるように階段状に形成されている。すなわち、樹脂BM22は、一方の端部側の厚膜部22aと、他方の端部側の薄膜部22bとを有し、厚膜部22aは、各サブ画素の境界に対応して格子状に設けられ、薄膜部22bは、厚膜部22aの端部に沿って、各サブ画素に略L字状に設けられている。このように、樹脂BM22は、任意の方向に対して、その方向のより前方側にある端部側が、その方向のより後方側にある端部側よりも薄くなっている。
However, as shown in FIG. 4B, the resin BM22 is stepped so that one end is thinner than the other end in the cross section in the direction orthogonal to the longitudinal direction of the resin BM22. Is formed. That is, the resin BM22 has a
本実施形態によれば、樹脂BM22が、一方の端部が他方の端部よりも薄くなるように形成されている。また、配向膜24は、樹脂BM22の薄膜部22b側において、樹脂BM22の厚膜部22a側よりもよりなだらかに傾斜している。したがって、厚膜部22a側から薄膜部22b側(図4中、白抜き矢印の方向)に向かってラビングを行うことによって、ラビング時において配向膜24の樹脂BM22の影になる領域(図4(a)中における白塗り領域、及び、図4(b)中における配向膜24の白塗り領域)を狭くすることができる。すなわち、設計通りにラビングされる領域(図4(a)中における斜線で塗られた領域、及び、図4(b)中における配向膜24の斜線で塗られた領域)を広くすることができる。したがって、ラビングの進行方向に対して樹脂BM22の影になる領域が白く光ることに起因して、コントラストが低下するのを抑制することができる。このように、CF基板20においては、樹脂BM22のラビングの起点となる方向と逆側の部分が、ラビングの起点となる方向の部分よりも薄くなっている。
According to the present embodiment, the resin BM22 is formed so that one end is thinner than the other end. In addition, the
図9は、ラビング工程における実施形態2の液晶表示装置の樹脂BM近傍を示す断面模式図である。必要な遮光特性を確保しつつ、コントラストの低下を充分に抑制する観点からは、樹脂BM22の薄膜部22bの膜厚T2bは、必要な遮光特性を確保できる範囲内で可能な限り薄いことが好ましい。また、薄膜部22bの幅W2bは、必要な開口率を確保できる範囲内で可能な限り大きいことが好ましい。他方、樹脂BM22の厚膜部22aの膜厚T2aは、必要な遮光特性に合わせて適宜設定すればよい。また、樹脂BM22の厚膜部22aの幅W2aは、薄膜部22bの幅W2bに合わせて適宜設定すればよい。このように、薄膜部22bの画素開口部側の端部境界と、薄膜部22b及び厚膜部22aの境界とを結ぶ線(面)が透明基板11の主面となす角θ2は、図9に示すように、可能な限り小さいことが好ましい。これにより、ラビング用のロール30が接触せずに、樹脂BM22の影になる領域の幅Wを短くすることができるので、必要な遮光特性を確保しつつ、コントラストの低下を充分に抑制することができる。
FIG. 9 is a schematic cross-sectional view showing the vicinity of the resin BM of the liquid crystal display device of Embodiment 2 in the rubbing process. From the viewpoint of sufficiently suppressing the decrease in contrast while ensuring the necessary light shielding characteristics, it is preferable that the film thickness T2b of the
図5は、実施形態2のカラーフィルタ基板の変形例を示す断面模式図である。樹脂BM22は、図5に示すように、膜厚がテーパ状に変化してもよい。すなわち、樹脂BM21は、厚膜部22aとテーパ部22cとを有してもよい。これによっても、樹脂BM22の膜厚を階段状に変化させた場合と同様の効果を奏することができる。
FIG. 5 is a schematic cross-sectional view showing a modification of the color filter substrate of the second embodiment. As shown in FIG. 5, the film thickness of the resin BM22 may change in a tapered shape. That is, the resin BM21 may have a
樹脂BM22の膜厚をテーパ状に変化させた場合には、階段状に変化させた場合と同様の観点から、テーパ部22cの画素開口部側の端部の膜厚T2cは、必要な遮光特性を確保できる範囲内で可能な限り薄いことが好ましい。他方、厚膜部22aの膜厚T2aは、必要な遮光特性に合わせて適宜設定すればよい。
When the film thickness of the resin BM22 is changed to a taper shape, the film thickness T2c at the end on the pixel opening side of the
また、樹脂BM22の膜厚をテーパ状に変化させた場合には、階段状に変化させた場合と同様の観点から、テーパ部22cの幅W2cは、必要な開口率を確保できる範囲内で可能な限り大きいことが好ましい。他方、厚膜部22aの幅W2aは、テーパ部22cの幅W2cに合わせて適宜設定すればよい。
Further, when the film thickness of the resin BM22 is changed to a taper shape, the width W2c of the
以上、実施形態1及び2により本発明をより具体的に説明したが、各実施形態は、本発明の要旨を逸脱しない範囲において適宜組み合わせてもよい。
As mentioned above, although this invention was demonstrated more concretely by
10、20:カラーフィルタ基板(CF基板)
11、111:透明基板(基板)
12、22、112、122:樹脂BM
12a、22a:樹脂BMの厚膜部
12b、22b:樹脂BMの薄膜部
12c、22c:樹脂BMのテーパ部
13R、113R:赤の着色層
13G、113G:緑の着色層
13B、113B:青の着色層
14、114:垂直配向膜
15、115:液晶分子
24、224:配向膜
30:ラビング用のロール
100、200:液晶表示パネル
T1a、T2a:樹脂BMの厚膜部の膜厚
T1b、T2b:樹脂BMの薄膜部の膜厚
T1c、T2c:樹脂BMのテーパ部の画素開口部側の端部の膜厚
W1a、W2a:樹脂BMの厚膜部の幅
W1b、W2b:樹脂BMの薄膜部の幅
W1c、W2c:樹脂BMのテーパ部の幅
W:樹脂BMの影になる領域の幅
θ1、θ2:角
10, 20: Color filter substrate (CF substrate)
11, 111: Transparent substrate (substrate)
12, 22, 112, 122: Resin BM
12a, 22a: Resin BM
Claims (12)
該遮光層は、一画素内において、膜厚が部分的に異なることを特徴とするカラーフィルタ基板。 A color filter substrate comprising a substrate, a plurality of colored layers arranged corresponding to pixels on one main surface side of the substrate, and a light shielding layer provided in a boundary region of the plurality of colored layers,
The color filter substrate, wherein the light shielding layer has partially different film thicknesses within one pixel.
該製造方法は、多階調マスクを用いて遮光層を形成する工程を含むことを特徴とするカラーフィルタ基板の製造方法。 A method for producing a color filter substrate according to claim 1,
The manufacturing method includes a step of forming a light shielding layer using a multi-tone mask.
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