JP2009092346A - 流体加熱装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 本発明に関わる流体加熱装置は、両端部が閉塞されているとともに、長手軸を上下方向に沿わせて縦置きに設けられ、下部に被加熱流体の流入口を有し、かつ上部に被加熱流体の流出口を有する外管と、この外管における長手軸の方向と交差し、外管を貫通して固定設置されるとともに、外管との間において被加熱流体の流路を画成する内管と、この内管に収容設置されるランプヒータとを具備している。
【選択図】 図3
Description
図1〜図3は、本発明に関わる流体加熱装置を、半導体製造の様々なプロセスで使用される薬液(被温調流体)を、任意に温度調節するための流体加熱装置に適用した例を示している。
10A、20A、30A、40A、50A…ケーシング、
10U、20U、30U、40U、50U…加熱ユニット、
11、21、31、41、51…外管、
11i、21i、31i、41i、51i…供給パイプ(流入口)、
11o、21o、31o、41o、51o…排出パイプ(流出口)、
11g、21g、31g、41g、51g…流路、
12、22、32、42、52…内管、
13、23、33、43、53…ハロゲンランプヒータ(ランプヒータ)、
13a、23a、33a、43a、53a…ヒータ管、
13b、23b、33b、43b、53b…端部ベース、
L…薬液(被温調流体)。
Claims (5)
- 両端部が閉塞されているとともに、長手軸を上下方向に沿わせて縦置きに設けられ、下部に被加熱流体の流入口を有し、かつ上部に前記被加熱流体の流出口を有する外管と、
前記外管における前記長手軸の方向と交差し、前記外管を貫通して固定設置されるとともに、前記外管との間において前記被加熱流体の流路を画成する内管と、
前記内管に収容設置されるランプヒータと、
を具備して成ることを特徴とする流体加熱装置。 - 複数個の前記内管を、前記外管における前記長手軸の方向に沿って展開する同一の平面上に設置したことを特徴とする請求項1記載の流体加熱装置。
- 前記外管が、両端部の閉塞された四角筒形状を呈していることを特徴とする請求項2記載の流体加熱装置。
- 複数個の前記内管を、隣接する前記内管同士が互いに平行を成さない位置態様で設置したことを特徴とする請求項1記載の流体加熱装置。
- 前記外管が、両端部の閉塞された円筒形状を呈していることを特徴とする請求項4記載の流体加熱装置。
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