JP2009084356A - Sheet-like glass substrate prepreg, layered plate, and printed wiring board - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a sheet-like glass substrate prepreg capable of lowering water absorption without spoiling insulation reliability and heat resistance required for a printed wiring board, to provide a layered plate and to provide the printed wiring board. <P>SOLUTION: In the sheet-like glass substrate prepreg formed by impregnating or coating a thermosetting resin (B) in or on a sheet-like glass substrate (A) and drying the resin, an area ratio [R<SB>s</SB>=Sg/2S] is in a range of 0.5 to 1.3, when the sum total area of a glass surface of the sheet-like glass substrate (A) and a sheet area are defined as Sg and S, respectively. The layered plate and the printed wiring board using the same are also provided. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は、吸水率が少なく、電気特性が良好で微細配線形成性に優れた配線板を提供するシート状ガラス基材プリプレグ、積層板及びプリント配線板に関する。   The present invention relates to a sheet-like glass substrate prepreg, a laminate, and a printed wiring board that provide a wiring board having a low water absorption rate, good electrical characteristics, and excellent fine wiring formability.

近年、電子機器の小型化・軽量化・高速化の要求が高まり、プリント配線板の高密度化が進んでおり、微細配線形成のための高い銅箔接着性や、ドリル又は打ち抜きにより穴あけ等の加工をする際の加工性が必要とされる。また、近年の環境問題から、鉛フリーはんだによる電子部品の搭載やハロゲンフリーによる難燃化が要求され、そのため従来のものよりも高い耐熱性及び難燃性が必要とされる。さらに、製品の安全性や作業環境の向上化のため、毒性の低い成分のみで構成され、毒性ガス等が発生しない熱硬化性樹脂組成物が望まれている。このような要求を満たすため、現在ではさまざまな樹脂が開発されている。このような樹脂は、ガラスクロスに含浸してBステージのプリプレグとし、それを用いてプリント配線板を作製するのが一般的である。     In recent years, demands for smaller, lighter, and faster electronic devices have increased, and the density of printed wiring boards has been increasing. High copper foil adhesion for fine wiring formation, drilling or punching, etc. Processability when processing is required. Moreover, due to recent environmental problems, mounting of electronic parts using lead-free solder and flame resistance using halogen-free are required, and therefore higher heat resistance and flame resistance than conventional ones are required. Furthermore, in order to improve the safety of the product and the working environment, there is a demand for a thermosetting resin composition that is composed only of low-toxic components and does not generate toxic gases. Various resins are currently being developed to meet these requirements. In general, such a resin is impregnated into a glass cloth to form a B-stage prepreg, and a printed wiring board is produced using the prepreg.

上記のガラスクロスに含浸してBステージ化したプリプレグとしては、ガラスペーパーと称される、エポキシ樹脂等をバインダとしたガラス繊維よりなるペーパー状の不織布等に樹脂を含浸させたものがある(例えば特許文献1参照)。
しかし、上記のようなシート状ガラス基材プリプレグをプリント配線板材料に使用すると、樹脂によっては吸水率が高くなってしまい、絶縁信頼性や耐熱性に悪影響を及ぼす。その対策として樹脂骨格や配合組成を変えると、樹脂が本来持っていたその他の特性を十分に発揮できないことがある。
特開平9−241404号公報
As the prepreg impregnated into the glass cloth and made into a B stage, there is a prepreg called glass paper in which a resin is impregnated with a paper-like non-woven fabric made of glass fiber using an epoxy resin or the like as a binder (for example, Patent Document 1).
However, when a sheet-like glass substrate prepreg as described above is used as a printed wiring board material, the water absorption rate is increased depending on the resin, which adversely affects insulation reliability and heat resistance. If the resin skeleton or compounding composition is changed as a countermeasure, other characteristics inherent to the resin may not be fully exhibited.
JP-A-9-241404

本発明の目的は、プリント配線板に求められる絶縁信頼性や耐熱性を損なうことなく吸水率を低くできるシート状ガラス基材プリプレグ及びこれを用いた積層板、プリント配線板を提供するものである。   An object of the present invention is to provide a sheet-like glass substrate prepreg capable of lowering the water absorption without impairing the insulation reliability and heat resistance required for a printed wiring board, a laminate using the same, and a printed wiring board. .

本発明者らは、前記目的を達成するために鋭意研究を重ねた結果、樹脂とガラスの界面に蓄積される水分に着目し、シート面積に対するガラス表面積の比率(面積比率)を小さくすることで吸水率を従来品よりも低下させることができることを見出した。
また、熱硬化性樹脂、特にエポキシ樹脂の中に、グアナミン化合物を含有させると、銅箔接着性、耐熱性、耐湿性、難燃性、銅付き耐熱性及び誘電特性においてバランスのとれたプリント配線板を作製できるが、吸湿性が他の樹脂と比較して若干高いため、通常のガラス基材に含浸させた場合、吸水率が高くなってしまい、絶縁信頼性や耐熱性に悪影響を及ぼすことに対して、特定の面積比率のガラス基材を使用することにより吸水率を効果的に低下させることができることを見出し、本発明に到達した。本発明は、かかる知見に基づいて完成したものである。
As a result of intensive research to achieve the above object, the present inventors pay attention to moisture accumulated at the interface between the resin and glass, and reduce the ratio of the glass surface area to the sheet area (area ratio). It has been found that the water absorption rate can be lowered as compared with the conventional product.
In addition, when a guanamine compound is contained in a thermosetting resin, particularly an epoxy resin, printed wiring balanced in copper foil adhesion, heat resistance, moisture resistance, flame resistance, heat resistance with copper and dielectric properties. Although it is possible to produce a plate, the hygroscopicity is slightly higher than other resins, so when impregnated in a normal glass substrate, the water absorption rate will increase, which will adversely affect insulation reliability and heat resistance. On the other hand, the inventors have found that the water absorption rate can be effectively reduced by using a glass substrate having a specific area ratio, and have reached the present invention. The present invention has been completed based on such findings.

すなわち、本発明は、以下のシート状ガラス基材プリプレグ、積層板及びプリント配線板を提供するものである。
1.シート状ガラス基材(A)に熱硬化性樹脂(B)を含浸又は塗工し乾燥してなるプリプレグであって、シート状ガラス基材(A)のガラス表面の総面積をSg、シート面積をSとしたときの面積比率〔RS=Sg/2S〕が0.5〜1.3の範囲であることを特徴とするシート状ガラス基材プリプレグ。
2.シート状ガラス基材(A)が、網目状及び/又は薄膜状のガラスである上記1のシート状ガラス基材プリプレグ。
That is, the present invention provides the following sheet-like glass substrate prepreg, laminate and printed wiring board.
1. A prepreg obtained by impregnating or applying a thermosetting resin (B) to a sheet-like glass substrate (A) and drying, wherein the total area of the glass surface of the sheet-like glass substrate (A) is Sg, the sheet area An area ratio [R S = Sg / 2S] where S is S is in the range of 0.5 to 1.3.
2. The sheet-like glass substrate prepreg according to 1 above, wherein the sheet-like glass substrate (A) is a mesh-like and / or thin-film glass.

3.熱硬化性樹脂(B)が、グアナミン化合物を含有するものである上記1又は2のシート状ガラス基材プリプレグ。
4.熱硬化性樹脂(B)が、1分子中に少なくとも2個のエポキシ基を有するエポキシ樹脂(a)、1分子中に少なくとも2個のN−置換マレイミド基を有するマレイミド化合物(b1)と下記一般式(1)に示す酸性置換基を有するアミン化合物(b2)とを有機溶媒(b3)中で反応させて製造された酸性置換基と不飽和マレイミド基とを有する化合物(b)、下記一般式(2)に示す6−置換グアナミン化合物(c)及び下記一般式(3)に示すモノマー単位(d1)と下記一般式(4)に示すモノマー単位(d2)とを有する共重合樹脂(d)とを含有する樹脂組成物である上記3のシート状ガラス基材プリプレグ。
3. 3. The sheet-like glass substrate prepreg according to 1 or 2 above, wherein the thermosetting resin (B) contains a guanamine compound.
4). The thermosetting resin (B) is an epoxy resin (a) having at least two epoxy groups in one molecule, a maleimide compound (b1) having at least two N-substituted maleimide groups in one molecule, and the following general Compound (b) having an acidic substituent and an unsaturated maleimide group produced by reacting an amine compound (b2) having an acidic substituent represented by formula (1) in an organic solvent (b3), the following general formula A copolymer resin (d) having a 6-substituted guanamine compound (c) shown in (2) and a monomer unit (d1) shown in the following general formula (3) and a monomer unit (d2) shown in the following general formula (4) 3. The sheet-like glass substrate prepreg according to 3 above, which is a resin composition containing

Figure 2009084356
(式中、R1は、水酸基、カルボキシ基及び、スルホン酸基から選ばれる酸性置換基、R2は、水素原子、炭素数1〜5の脂肪族炭化水素基又は、ハロゲン原子を示し、xは1〜5の整数、yは0〜4の整数で、且つxとyの和が5である。)
Figure 2009084356
(In the formula, R 1 represents an acidic substituent selected from a hydroxyl group, a carboxy group, and a sulfonic acid group; R 2 represents a hydrogen atom, an aliphatic hydrocarbon group having 1 to 5 carbon atoms, or a halogen atom; Is an integer from 1 to 5, y is an integer from 0 to 4, and the sum of x and y is 5.)

Figure 2009084356
(式中、R3は、フェニル基、メチル基、アリル基、ブチル基、メトキシ基又はベンジルオキシ基を示す)
Figure 2009084356
(Wherein R 3 represents a phenyl group, a methyl group, an allyl group, a butyl group, a methoxy group or a benzyloxy group)

Figure 2009084356
(式中、R4、R5は、それぞれ独立して、水素原子、ハロゲン原子、炭素数1〜5個の炭化水素基、フェニル基又は置換フェニル基を示す。)
Figure 2009084356
(In the formula, R 4 and R 5 each independently represent a hydrogen atom, a halogen atom, a hydrocarbon group having 1 to 5 carbon atoms, a phenyl group or a substituted phenyl group.)

Figure 2009084356
Figure 2009084356

5.上記1〜4のいずれかのシート状ガラス基材プリプレグを積層成形して得られた積層板。
6.上記1〜4のいずれかのプリプレグの1枚又は2枚以上重ね合わせたものの少なくとも一面に金属箔を重ねた後、加熱加圧成形して得られた金属張積層板。
7.上記5の積層板又は上記6の金属張積層板を用い、配線加工して得られたプリント配線板。
5). A laminate obtained by laminating the sheet-like glass substrate prepreg according to any one of 1 to 4 above.
6). A metal-clad laminate obtained by heating and press-molding a metal foil on at least one surface of one or two or more of the prepregs of any one of 1 to 4 above.
7). The printed wiring board obtained by carrying out wiring processing using said 5 laminated board or said 6 metal-clad laminated board.

本発明によると、吸水率が少なく、電気特性良好で微細配線形成性に優れたプリント配線板を提供することが可能となる。
特に、樹脂として上記のようにエポキシ樹脂の中にグアナミン化合物を配合した樹脂組成物を用いた場合においても、吸湿性を低減することができ、シート状ガラス基材プリプレグは、積層板を製造するためのプリプレグとして、電子部品等に好適に用いることができる。
According to the present invention, it is possible to provide a printed wiring board having a low water absorption rate, good electrical characteristics, and excellent fine wiring formability.
In particular, even when a resin composition in which a guanamine compound is blended in an epoxy resin as described above is used as the resin, the hygroscopicity can be reduced, and the sheet-like glass substrate prepreg produces a laminate. As a prepreg for this purpose, it can be suitably used for electronic parts and the like.

以下、本発明について詳細に説明する。
本発明のシート状ガラス基材プリプレグは、面積比率RSが0.5〜1.3の範囲のシート状ガラス基材(A)に熱硬化性樹脂(B)を含浸又は塗工し乾燥してなるものである。
本発明において、面積比率RSは、ガラス表面の総面積をSg、ガラス基材のシート面積をSとしたとき、ガラス表面の総面積をガラス基材のシート面積の2倍で除した値:Sg/2Sと定義する。ここで、分母を2Sとする理由は、シート状ガラス基材の表側と裏側を考慮したためである。
なお、シート面積(S)とは、通常、平面的な状態での面積である。一方、ガラス表面の総面積(Sg)を求める方法としては、幾何学的な計算により求める方法や、BET法と呼ばれるような、窒素ガスやクリプトンガスの吸着量をもとにガラス表面の総面積や面積比率RSを求める方法などがあるが、実用性の点から窒素ガスの吸着量を基にして求めることが好ましい。
Hereinafter, the present invention will be described in detail.
The sheet-like glass substrate prepreg of the present invention is impregnated or coated with a thermosetting resin (B) on a sheet-like glass substrate (A) having an area ratio R S of 0.5 to 1.3 and dried. It will be.
In the present invention, the area ratio R S is obtained by dividing the total area of the glass surface by twice the sheet area of the glass substrate, where Sg is the total area of the glass surface and S is the sheet area of the glass substrate: It is defined as Sg / 2S. Here, the reason why the denominator is 2S is that the front side and the back side of the sheet-like glass substrate are taken into consideration.
The sheet area (S) is usually an area in a planar state. On the other hand, as a method for obtaining the total area (Sg) of the glass surface, the total area of the glass surface based on the amount of nitrogen gas or krypton gas adsorbed, such as a method obtained by geometric calculation or the BET method. There is a method for obtaining the area ratio R S , etc., but it is preferable to obtain it based on the adsorption amount of nitrogen gas from the practical point of view.

プリント配線板用に通常用いられているシート状ガラス基材は、太さ数ミクロンのガラス繊維を、数十〜数千本束ねた糸を用いて作製された織布や不織布からなるものであり、その面積比率RSは20〜400であり、前述したように吸水率が非常に高くなる。
これに対し、本発明において使用するシート状ガラス基材(A)の面積比率RSは、0.5〜1.3の範囲であり、吸水率を確実に減少させるためには、1.0以下であることが特に好ましい。
面積比率RSを1.3以下とすることにより、吸水率が低下し、樹脂の特性による効果が支配的になり、その傾向は、更に面積比率RSを低くするに従って助長される。但し、0.5未満となると、ガラスの体積が相当量少なくなるため、強度や取り扱い性、熱膨張率低減効果などのガラス基材使用の効果が低下するので好ましくない。また、吸湿性の高い樹脂では,ガラス体積の減少に伴う樹脂分の増加により、逆に吸水率が増加することがあるため、面積比率RSを0.5未満にすることは効果的ではない。
A sheet-like glass substrate usually used for a printed wiring board is composed of a woven fabric or a non-woven fabric made of yarns of several tens to several thousands of glass fibers having a thickness of several microns. The area ratio R S is 20 to 400, and the water absorption is very high as described above.
On the other hand, the area ratio R S of the sheet-like glass substrate (A) used in the present invention is in the range of 0.5 to 1.3, and in order to reliably reduce the water absorption rate, 1.0% It is particularly preferred that
By setting the area ratio R S to 1.3 or less, the water absorption rate decreases, and the effect of the resin characteristics becomes dominant, and this tendency is further promoted as the area ratio R S is further lowered. However, if it is less than 0.5, the volume of the glass is considerably reduced, and therefore the effects of using the glass substrate such as strength, handleability, and the effect of reducing the coefficient of thermal expansion are not preferable. In addition, in a highly hygroscopic resin, the water absorption rate may increase due to an increase in the resin content accompanying a decrease in the glass volume. Therefore, it is not effective to make the area ratio R S less than 0.5. .

本発明のプリプレグに用いられるシート状ガラス基材(A)は、面積比率RSが0.5〜1.3と小さいものであり、この面積比率とするために、薄膜状又は網目状のガラスが好ましい。
シート状ガラス基材(A)としては、完全にボイドのない薄膜状のガラスであることが電気特性の点で好ましいが、加工性および樹脂との密着性の点では、網目状若しくはランダムに穴の開いた薄膜状のガラス又は網目状ガラスであることが好ましい。
これらの網目状ガラス及び薄膜状ガラスは、いずれも平面的な形状をしているが、薄膜状ガラスは、面積比率RSが1未満のガラス基材とするためには、幾何学的な理由から空隙を有することが理論的に必須である。この空隙は、薄膜状ガラスの作製時に形成しても、また、後でドリルやレーザーなどで形成してもよい。また、網目状ガラスは、扁平形状のガラスファイバーを網目状に編んで作成するのが好ましい。
The sheet-like glass substrate (A) used in the prepreg of the present invention has a small area ratio R S of 0.5 to 1.3, and in order to obtain this area ratio, a thin-film or network-like glass is used. Is preferred.
The sheet-like glass substrate (A) is preferably a thin glass with no voids from the viewpoint of electrical characteristics, but in terms of processability and adhesion to the resin, it is a mesh or randomly formed holes. It is preferable that the glass is a thin film glass or a mesh glass.
These mesh-like glass and thin-film glass are both planar, but the thin-film glass has a geometric reason for making the glass substrate having an area ratio R S of less than 1. It is theoretically essential to have voids. This void may be formed at the time of producing the thin film glass, or may be formed later by a drill or a laser. The mesh glass is preferably produced by knitting flat glass fibers into a mesh shape.

これらの薄膜状ガラス及び扁平形状のガラスファイバーの製造方法としては、シリコンなどの基板に蒸着して薄膜を形成する方法、溶融したガラスを水平に取り出すフロート法、垂直方向に下に取り出すフュージョン法などがあり、目的とするものが得られればいずれの方法を用いてもよい。
また、プリント配線板用に通常用いられているガラスクロスを加熱溶融させ製造したものでもよい。さらに、ガラス薄膜を研磨してさらに薄くすることもできる。
本発明においては、空隙の有無及び形状にかかわらず、従来のガラス繊維を束ねた糸を使用したガラスクロスよりも面積比率RSが小さいことが重要である。
ガラスの種類としては、Eガラス,Dガラス,Sガラス又はQガラス等が挙げられる。
シート状ガラス基材の厚みには取り扱い性や加工性に問題がなければ特に制限はないが、上記の網目状ガラス又は薄膜状ガラスを1枚又は複数枚重ねた、0.01〜0.5mm(10〜500μm)程度のものを使用する。
The method for producing these thin glass and flat glass fibers includes a method of forming a thin film by vapor deposition on a substrate such as silicon, a float method for taking out molten glass horizontally, a fusion method for taking down vertically in a vertical direction, etc. Any method may be used as long as the desired product is obtained.
Moreover, what was manufactured by heat-melting the glass cloth normally used for printed wiring boards may be used. Further, the glass thin film can be polished to make it thinner.
In the present invention, it is important that the area ratio R S is smaller than that of a glass cloth using a conventional yarn in which glass fibers are bundled regardless of the presence or absence and shape of voids.
Examples of the glass include E glass, D glass, S glass, and Q glass.
The thickness of the sheet-like glass substrate is not particularly limited as long as there is no problem in handleability and workability, but 0.01 to 0.5 mm obtained by laminating one or more of the above-mentioned mesh-like glass or thin-film glass. A thing (about 10-500 micrometers) is used.

シート状ガラス基材(A)は、シランカップリング剤等で表面処理したものが、耐熱性や耐湿性、加工性の面から好適である。
シランカップリング剤としては、例えば、3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン等のエポキシ官能性シラン、3−アミノプロピルトリメトキシシラン、N−2−(アミノエチル)3−アミノプロピルトリメトキシシラン、N−2−(アミノエチル)3−アミノプロピルメチルジメトキシシラン等のアミノ官能性シラン、ビニルトリメトキシシラン、ビニルフェニルトリメトキシシラン、ビニルトリス(2−メトキシエトキシ)シラン等のオレフィン官能性シラン、3−アクリロキシプロピルトリメトキシシラン等のアクリル官能性シラン、3−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン等のメタクリル官能性シラン、3−メルカプトプロピルトリメトキシシラン等のメルカプト官能性シランなどが用いられる。後に含浸させる樹脂との相性を考えると、分子内にエポキシ基あるいはアミノ基を有することが望ましい。これらは単独で用いても良いし、複数を混合して用いても良い。
シランカップリング剤による表面処理は、これらのカップリング剤を水などの溶媒に0.1〜15g/Lの濃度で溶解させて、室温(25℃)〜50℃の温度でガラスに吸着させた後、加熱、紫外線照射等によって安定的結合を形成することによって行われる。加熱であれば100〜200℃の温度で2〜60秒乾燥させ、紫外線照射であれば200〜400nmの波長で、200〜2500mJ/cm2の照射量の範囲で行うのが一般的である。
The sheet-like glass substrate (A) is preferably surface-treated with a silane coupling agent or the like from the viewpoints of heat resistance, moisture resistance, and workability.
Examples of the silane coupling agent include 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane, epoxy-functional silanes such as 2- (3,4-epoxycyclohexyl) ethyltrimethoxysilane, 3-aminopropyltrimethoxysilane, N- Amino-functional silanes such as 2- (aminoethyl) 3-aminopropyltrimethoxysilane and N-2- (aminoethyl) 3-aminopropylmethyldimethoxysilane, vinyltrimethoxysilane, vinylphenyltrimethoxysilane, vinyltris (2 Olefin functional silanes such as -methoxyethoxy) silane, acrylic functional silanes such as 3-acryloxypropyltrimethoxysilane, methacryl functional silanes such as 3-methacryloxypropyltrimethoxysilane, 3-mercaptopropyltrimethoxysila And mercapto-functional silanes and the like are used. Considering compatibility with the resin to be impregnated later, it is desirable to have an epoxy group or an amino group in the molecule. These may be used alone or in combination.
In the surface treatment with a silane coupling agent, these coupling agents were dissolved in a solvent such as water at a concentration of 0.1 to 15 g / L and adsorbed on glass at a temperature of room temperature (25 ° C.) to 50 ° C. Thereafter, it is carried out by forming a stable bond by heating, ultraviolet irradiation or the like. In general, heating is performed at a temperature of 100 to 200 ° C. for 2 to 60 seconds, and ultraviolet irradiation is performed at a wavelength of 200 to 400 nm and in an irradiation amount range of 200 to 2500 mJ / cm 2 .

本発明のシート状ガラス基材プリプレグに用いられる熱硬化性樹脂(B)としては、プリント配線板の絶縁材料として一般に用いられる樹脂や樹脂組成物を用いることができる。この熱硬化性樹脂(B)は、通常、耐熱性及び耐薬品性の良好な熱硬化性樹脂がベースとして用いられ、フェノール樹脂、エポキシ樹脂、シアネートエステル樹脂、マレイミド樹脂、イソシアネート樹脂、ベンゾシクロブテン樹脂、ビニル樹脂などが例示されるが、これらに限定さない。これらの熱硬化性樹脂は、1種類のものを単独で用いても良いし、2種類以上を混合して用いても良い。   As the thermosetting resin (B) used for the sheet-like glass substrate prepreg of the present invention, a resin or a resin composition generally used as an insulating material for a printed wiring board can be used. This thermosetting resin (B) is usually based on a thermosetting resin having good heat resistance and chemical resistance, such as phenol resin, epoxy resin, cyanate ester resin, maleimide resin, isocyanate resin, benzocyclobutene. Examples thereof include, but are not limited to, resins and vinyl resins. These thermosetting resins may be used alone or in combination of two or more.

エポキシ樹脂は、上記の熱硬化性樹脂の中でも、耐熱性、耐薬品性及び電気特性に優れ、比較的安価であることから、絶縁樹脂として広く用いられており、特に重要である。
エポキシ樹脂としては、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールS型エポキシ樹脂などのビスフェノール型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ビスフェノールAノボラック型エポキシ樹脂などのノボラック型エポキシ樹脂、脂環式エポキシ樹脂、脂肪族鎖状エポキシ樹脂、ビフェノールのジグリシジルエーテル化物、ナフタレンジオールのジグリシジルエーテル化物、フェノール類のジグリシジルエーテル化物及びアルコール類のジグリシジルエーテル化物並びにこれらのアルキル置換体、ハロゲン化物、水素添加物などが例示される。エポキシ樹脂は、1種類のものを単独で用いても良いし、2種類以上を混合して用いても良い。
また、エポキシ樹脂と共にエポキシ樹脂の硬化剤が用いることができる。この硬化剤はエポキシ樹脂を硬化させるものであれば、限定することなく使用でき、例えば、多官能フェノール類、多官能アルコール類、アミン類、イミダゾール化合物、酸無水物及び有機リン化合物並びにこれらのハロゲン化物などが挙げられる。これらのエポキシ樹脂硬化剤は、1種類のものを単独で用いても良いし、2種類以上を混合して用いても良い。
Epoxy resins are particularly important because they are widely used as insulating resins because they are excellent in heat resistance, chemical resistance and electrical characteristics among the thermosetting resins described above, and are relatively inexpensive.
Epoxy resins include bisphenol A type epoxy resins, bisphenol F type epoxy resins, bisphenol S type epoxy resins and other bisphenol type epoxy resins, phenol novolac type epoxy resins, cresol novolac type epoxy resins, and bisphenol A novolak type epoxy resins. Type epoxy resin, cycloaliphatic epoxy resin, aliphatic chain epoxy resin, diglycidyl etherified product of biphenol, diglycidyl etherified product of naphthalenediol, diglycidyl etherified product of phenols and diglycidyl etherified product of alcohols, and these Examples include alkyl-substituted products, halides, hydrogenated products, and the like. One type of epoxy resin may be used alone, or two or more types may be mixed and used.
In addition, an epoxy resin curing agent can be used together with the epoxy resin. This curing agent can be used without limitation as long as it cures an epoxy resin, such as polyfunctional phenols, polyfunctional alcohols, amines, imidazole compounds, acid anhydrides and organophosphorus compounds, and halogens thereof. And the like. These epoxy resin curing agents may be used alone or in combination of two or more.

本発明において、熱硬化性樹脂(B)として、エポキシ樹脂の中にグアナミン化合物を含有する樹脂が好適に用いられ、このような樹脂としては、1分子中に少なくとも2個のエポキシ基を有するエポキシ樹脂(a)、1分子中に少なくとも2個のN−置換マレイミド基を有するマレイミド化合物(b1)と下記一般式(1)に示す酸性置換基とを有するアミン化合物(b2)とを有機溶媒(b3)中で反応させて製造された酸性置換基と不飽和マレイミド基とを有する化合物(b)、下記一般式(2)に示す6−置換グアナミン化合物(c)及び下記一般式(3)に示すモノマー単位(d1)と下記一般式(4)に示すモノマー単位(d2)とを有する共重合樹脂(d)とを含有した樹脂組成物がある。   In the present invention, as the thermosetting resin (B), a resin containing a guanamine compound in an epoxy resin is preferably used. As such a resin, an epoxy having at least two epoxy groups in one molecule is used. Resin (a) A maleimide compound (b1) having at least two N-substituted maleimide groups in one molecule and an amine compound (b2) having an acidic substituent represented by the following general formula (1) are combined with an organic solvent ( b3) a compound (b) having an acidic substituent and an unsaturated maleimide group produced by reacting in 6-substituted guanamine compound (c) shown in the following general formula (2) and the following general formula (3) There is a resin composition containing a copolymer resin (d) having a monomer unit (d1) shown and a monomer unit (d2) shown in the following general formula (4).

Figure 2009084356
(式中、R1は、水酸基、カルボキシ基及びスルホン酸基から選ばれる酸性置換基、R2は、水素原子、炭素数1〜5の脂肪族炭化水素基又はハロゲン原子を示し、xは1〜5の整数、yは0〜4の整数で、且つxとyの和が5である。)
Figure 2009084356
(In the formula, R 1 represents an acidic substituent selected from a hydroxyl group, a carboxy group, and a sulfonic acid group; R 2 represents a hydrogen atom, an aliphatic hydrocarbon group having 1 to 5 carbon atoms, or a halogen atom; An integer of ˜5, y is an integer of 0 to 4, and the sum of x and y is 5.)

Figure 2009084356
(式中、R3は、フェニル基、メチル基、アリル基、ブチル基、メトキシ基又はベンジルオキシ基を示す。)
Figure 2009084356
(In the formula, R 3 represents a phenyl group, a methyl group, an allyl group, a butyl group, a methoxy group, or a benzyloxy group.)

Figure 2009084356
(式中、R4、R5は、それぞれ独立して、水素原子、ハロゲン原子、炭素数1〜5個の炭化水素基、フェニル基又は置換フェニル基を示す。)
Figure 2009084356
(In the formula, R 4 and R 5 each independently represent a hydrogen atom, a halogen atom, a hydrocarbon group having 1 to 5 carbon atoms, a phenyl group or a substituted phenyl group.)

Figure 2009084356
Figure 2009084356

上記の樹脂組成物において、1分子中に少なくとも2個のエポキシ基を有するエポキシ樹脂(a)〔以下、エポキシ樹脂(a)とも云う〕は、特に制限されず、例えば、ビスフェノールA系、ビスフェノールF系、ビフェニル系、ノボラック系、多官能フェノール系、ナフタレン系、脂環式系、アルコール系等のグリシジルエーテル、グリシジルアミン系、グリシジルエステル系等が挙げられ、これらの1種又は2種以上を混合して使用することができる。   In the above resin composition, the epoxy resin (a) having at least two epoxy groups in one molecule [hereinafter also referred to as epoxy resin (a)] is not particularly limited, and examples thereof include bisphenol A and bisphenol F. Glycidyl ethers, glycidyl amines, glycidyl esters, etc., such as bismuth, biphenyl, novolac, polyfunctional phenol, naphthalene, alicyclic, alcohol, etc. Can be used.

これらの中で、誘電特性、耐熱性、耐湿性及び銅箔接着性の点からビスフェノールF型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂、ナフタレン環含有エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、ビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂及びクレゾールノボラック型エポキシ樹脂が好ましく、誘電特性や高いガラス転移温度を有する点からジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂、ビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂及びフェノールノボラック型エポキシ樹脂がより好ましく、耐湿耐熱性の点からフェノールノボラック型エポキシ樹脂及びジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂が特に好ましい。   Among these, bisphenol F type epoxy resin, dicyclopentadiene type epoxy resin, naphthalene ring-containing epoxy resin, biphenyl type epoxy resin, biphenyl aralkyl type epoxy resin in terms of dielectric properties, heat resistance, moisture resistance and copper foil adhesion Phenol novolac type epoxy resin and cresol novolac type epoxy resin are preferable, and dicyclopentadiene type epoxy resin, biphenyl aralkyl type epoxy resin, biphenyl type epoxy resin and phenol novolac type epoxy resin are preferable because they have dielectric properties and high glass transition temperature. More preferred are phenol novolac type epoxy resins and dicyclopentadiene type epoxy resins from the viewpoint of moisture and heat resistance.

エポキシ樹脂(a)にはエポキシ樹脂の硬化剤や硬化促進剤を使用しても良く、エポキシ樹脂(a)の硬化剤の例としては、無水マレイン酸、無水マレイン酸共重合体等の酸無水物、ジシアノジアミド等のアミン化合物、フェノールノボラック、クレゾールノボラック等のフェノール化合物等が挙げられる。これらの中で、耐熱性が良好となるフェノールノボラック、クレゾールノボラック等のフェノール化合物が好ましく、難燃性や接着性が向上することからクレゾールノボラック型フェノール樹脂が特に好ましい。
エポキシ樹脂(a)の硬化促進剤の例としては、イミダゾール類及びその誘導体、第三級アミン類及び第四級アンモニウム塩等が挙げられる。
An epoxy resin curing agent or curing accelerator may be used for the epoxy resin (a). Examples of the curing agent for the epoxy resin (a) include acid anhydrides such as maleic anhydride and maleic anhydride copolymers. Products, amine compounds such as dicyanodiamide, phenolic compounds such as phenol novolac and cresol novolac. Of these, phenol compounds such as phenol novolak and cresol novolak that have good heat resistance are preferred, and cresol novolak type phenol resins are particularly preferred because of their improved flame retardancy and adhesion.
Examples of the curing accelerator for the epoxy resin (a) include imidazoles and derivatives thereof, tertiary amines and quaternary ammonium salts.

酸性置換基と不飽和マレイミド基を有する化合物(b)は、1分子中に少なくとも2個のN−置換マレイミド基を有するマレイミド化合物(b1)と一般式(1)に示す酸性置換基を有するアミン化合物(b2)とを有機溶媒(b3)中で反応させて製造される。   The compound (b) having an acidic substituent and an unsaturated maleimide group includes a maleimide compound (b1) having at least two N-substituted maleimide groups in one molecule and an amine having an acidic substituent represented by the general formula (1) It is produced by reacting compound (b2) with organic solvent (b3).

1分子中に少なくとも2個のN−置換マレイミド基を有するマレイミド化合物(b1)〔以下、マレイミド化合物(b1)とも云う〕としては、例えば、ビス(4−マレイミドフェニル)メタン、ポリ(マレイミドフェニル)メタン、ビス(4−マレイミドフェニル)エーテル、ビス(4−マレイミドフェニル)スルホン、3,3−ジメチル−5,5−ジエチル−4,4−ジフェニルメタンビスマレイミド、4−メチル−1,3−フェニレンビスマレイミド、m−フェニレンビスマレイミド、2,2−ビス〔4−(4−マレイミドフェノキシ)フェニル〕プロパン等が挙げられ、これらの中で、反応率が高く、より高耐熱性化できるビス(4−マレイミドフェニル)メタン、m−フェニレンビスマレイミド及びビス(4−マレイミドフェニル)スルホンが好ましく、安価である点から、m−フェニレンビスマレイミド及びビス(4−マレイミドフェニル)メタンがより好ましく、溶剤への溶解性の点からビス(4−マレイミドフェニル)メタンが特に好ましい。   Examples of maleimide compound (b1) having at least two N-substituted maleimide groups in one molecule [hereinafter also referred to as maleimide compound (b1)] include bis (4-maleimidophenyl) methane, poly (maleimidophenyl) Methane, bis (4-maleimidophenyl) ether, bis (4-maleimidophenyl) sulfone, 3,3-dimethyl-5,5-diethyl-4,4-diphenylmethane bismaleimide, 4-methyl-1,3-phenylenebis Maleimide, m-phenylene bismaleimide, 2,2-bis [4- (4-maleimidophenoxy) phenyl] propane, and the like. Among these, bis (4- Maleimidophenyl) methane, m-phenylenebismaleimide and bis (4-maleimidophenyl) Sulfone are preferable, from the viewpoint is inexpensive, m- phenylene bismaleimide and bis (4-maleimide phenyl), more preferably methane, bis (4-maleimide phenyl) methane in terms of solubility in a solvent particularly preferred.

一般式(1)に示す酸性置換基を有するアミン化合物(b2)〔以下、アミン化合物(b2)とも云う〕としては、例えば、m−アミノフェノール、p−アミノフェノール、o−アミノフェノール、p−アミノ安息香酸、m−アミノ安息香酸、o−アミノ安息香酸、o−アミノベンゼンスルホン酸、m−アミノベンゼンスルホン酸、p−アミノベンゼンスルホン酸、3,5−ジヒドロキシアニリン、3,5−ジカルボキシアニリン等が挙げられ、これらの中で、溶解性や合成の収率の点からm−アミノフェノール、p−アミノフェノール、p−アミノ安息香酸、m−アミノ安息香酸及び3,5−ジヒドロキシアニリンが好ましく、耐熱性の点からm−アミノフェノール及びp−アミノフェノールがより好ましく、低毒性である点からm−アミノフェノールが特に好ましい。   Examples of the amine compound (b2) having an acidic substituent represented by the general formula (1) [hereinafter also referred to as amine compound (b2)] include m-aminophenol, p-aminophenol, o-aminophenol, p- Aminobenzoic acid, m-aminobenzoic acid, o-aminobenzoic acid, o-aminobenzenesulfonic acid, m-aminobenzenesulfonic acid, p-aminobenzenesulfonic acid, 3,5-dihydroxyaniline, 3,5-dicarboxyl Among these, m-aminophenol, p-aminophenol, p-aminobenzoic acid, m-aminobenzoic acid and 3,5-dihydroxyaniline are preferred in view of solubility and synthesis yield. Preferably, m-aminophenol and p-aminophenol are more preferable from the viewpoint of heat resistance, and m-aminophenol is preferable from the viewpoint of low toxicity. Phenol is particularly preferred.

酸性置換基と不飽和マレイミド基とを有する化合物(b)を製造する際のマレイミド化合物(b1)とアミン化合物(b2)の使用量は、マレイミド化合物(b1)のマレイミド基の当量と、アミン化合物(b2)の−NH2基換算の当量との当量比が次式:
1.0≦(マレイミド基当量)/(−NH2基換算の当量)≦10.0
に示す範囲となる量であることが好ましく、この当量比が2.0〜10.0の範囲となる量であることがさらに好ましい。
この当量比を上記範囲内とすることにより、溶剤への溶解性が不足したり、ゲル化を起こしたり、熱硬化性樹脂の耐熱性が低下することがない。
この反応で使用される有機溶媒(b3)は特に制限されないが、例えばエタノール、プロパノール、ブタノール、メチルセロソルブ、ブチルセロソルブ、プロピレングリコールモノメチルエーテル等のアルコール系溶媒、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン等のケトン系溶媒、テトラヒドロフラン等のエーテル系溶媒、トルエン、キシレン、メシチレン等の芳香族系溶媒、ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド、N−メチルピロリドン等の窒素原子含有溶媒、ジメチルスルホキシド等の硫黄原子含有溶媒などが挙げられ、これらの1種又は2種以上を混合して使用できる。
これらの有機溶媒の中で、溶解性の点からシクロヘキサノン、プロピレングリコールモノメチルエーテル及びメチルセロソルブが好ましく、低毒性である点からシクロヘキサノン及びプロピレングリコールモノメチルエーテルがより好ましく、揮発性が高くプリプレグの製造時に残溶媒として残りにくいプロピレングリコールモノメチルエーテルが特に好ましい。
有機溶媒(b3)の使用量は、アミン化合物(b1)とマレイミド化合物(b2)の総和100質量部当たり、10〜1000質量部とすることが好ましく、100〜500質量部とすることがより好ましく、200〜500質量部とすることが特に好ましい。
The amount of the maleimide compound (b1) and amine compound (b2) used in the production of the compound (b) having an acidic substituent and an unsaturated maleimide group is the equivalent of the maleimide group of the maleimide compound (b1) and the amine compound. The equivalent ratio of (b2) to the equivalent of —NH 2 group is represented by the following formula:
1.0 ≦ (maleimide group equivalent) / (- equivalent of NH 2 groups in terms) ≦ 10.0
It is preferable that it is the quantity used as the range shown in this, and it is still more preferable that this equivalent ratio is the quantity used as the range of 2.0-10.0.
By setting the equivalent ratio within the above range, the solubility in the solvent is not insufficient, gelation occurs, and the heat resistance of the thermosetting resin does not decrease.
The organic solvent (b3) used in this reaction is not particularly limited, but alcohol solvents such as ethanol, propanol, butanol, methyl cellosolve, butyl cellosolve, propylene glycol monomethyl ether, acetone, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, cyclohexanone, etc. Ketone solvents, ether solvents such as tetrahydrofuran, aromatic solvents such as toluene, xylene, mesitylene, nitrogen atom containing solvents such as dimethylformamide, dimethylacetamide, N-methylpyrrolidone, sulfur atom containing solvents such as dimethyl sulfoxide, etc. 1 type or 2 types or more can be mixed and used.
Among these organic solvents, cyclohexanone, propylene glycol monomethyl ether and methyl cellosolve are preferable from the viewpoint of solubility, and cyclohexanone and propylene glycol monomethyl ether are more preferable from the viewpoint of low toxicity, and they are highly volatile and remain at the time of production of the prepreg. Particularly preferred is propylene glycol monomethyl ether which hardly remains as a solvent.
The amount of the organic solvent (b3) used is preferably 10 to 1000 parts by mass, more preferably 100 to 500 parts by mass, per 100 parts by mass of the total of the amine compound (b1) and the maleimide compound (b2). 200 to 500 parts by mass is particularly preferable.

酸性置換基と不飽和マレイミド基とを有する化合物(b)を製造する際の反応温度は50〜200℃、好ましくは100〜160℃であり、反応時間は0.1〜10時間、好ましくは1〜8時間である。
反応には、必要により任意に反応触媒を使用することができる。反応触媒は特に制限されないが、例えば、トリエチルアミン、ピリジン、トリブチルアミン等のアミン類、メチルイミダゾール、フェニルイミダゾール等のイミダゾール類、トリフェニルホスフィン等のリン系触媒等が挙げられ、これらの1種又は2種以上を混合して使用できる。
この反応により、例えば、マレイミド化合物(b1)としてビス(4−マレイミドフェニル)化合物を用い、アミン化合物(b2)と反応させることにより、下記一般式(5)に示す酸性置換基と不飽和マレイミド基を有する化合物が合成される。
The reaction temperature for producing the compound (b) having an acidic substituent and an unsaturated maleimide group is 50 to 200 ° C., preferably 100 to 160 ° C., and the reaction time is 0.1 to 10 hours, preferably 1 ~ 8 hours.
In the reaction, a reaction catalyst can be optionally used as necessary. The reaction catalyst is not particularly limited, and examples thereof include amines such as triethylamine, pyridine, and tributylamine, imidazoles such as methylimidazole and phenylimidazole, and phosphorus-based catalysts such as triphenylphosphine. A mixture of seeds or more can be used.
By this reaction, for example, by using a bis (4-maleimidophenyl) compound as the maleimide compound (b1) and reacting with the amine compound (b2), an acidic substituent and an unsaturated maleimide group represented by the following general formula (5) Is synthesized.

Figure 2009084356
(式中、R1は、水酸基、カルボキシ基およびスルホン酸基から選ばれる酸性置換基、R2は水素原子、炭素数1〜5の脂肪族炭化水素基又はハロゲン原子を示し、xは1〜5の整数、yは0〜4の整数で、且つxとyの和が5である。Aはアルキレン基、アルキリデン基、エーテル基又はスルフォニル基を示す。)
Figure 2009084356
(In the formula, R 1 represents an acidic substituent selected from a hydroxyl group, a carboxy group and a sulfonic acid group; R 2 represents a hydrogen atom, an aliphatic hydrocarbon group having 1 to 5 carbon atoms or a halogen atom; An integer of 5 and y is an integer of 0 to 4 and the sum of x and y is 5. A represents an alkylene group, an alkylidene group, an ether group or a sulfonyl group.

6−置換グアナミン化合物(c)は、一般式(2)で表される化合物であり、例えばベンゾグアナミンと称される2,4−ジアミノ−6−フェニル−s−トリアジン、アセトグアナミンと称される2,4−ジアミノ−6−メチル−s−トリアジン、2,4−ジアミノ−6−ビニル−s−トリアジン等が挙げられ、これらの中で、反応の反応率が高く、より高耐熱性化できるベンゾグアナミン及び2,4−ジアミノ−6−ビニル−s−トリアジンがより好ましく、低毒性で安価である点からベンゾグアナミンが特に好ましい。   The 6-substituted guanamine compound (c) is a compound represented by the general formula (2). For example, 2,4-diamino-6-phenyl-s-triazine called benzoguanamine, 2 called acetoguanamine. , 4-diamino-6-methyl-s-triazine, 2,4-diamino-6-vinyl-s-triazine, and the like. Among these, benzoguanamine having a high reaction rate and higher heat resistance And 2,4-diamino-6-vinyl-s-triazine are more preferable, and benzoguanamine is particularly preferable from the viewpoint of low toxicity and low cost.

共重合樹脂(d)は、一般式(3)で示されるモノマー単位(d1)と一般式(4)で示されるモノマー単位(d2)とを有する共重合樹脂である。
一般式(3)で示されるモノマー単位(d1)は、例えば、スチレン、1−メチルスチレン、ビニルトルエン、ジメチルスチレン、クロルスチレン、ブロムスチレン等のスチレン化合物や、エチレン、プロピレン、イソブチレン等のビニル化合物から得られ、必要により2種以上のモノマーを混合して用いてもよい。また、一般式(4)で示されるモノマー単位(d2)は、無水マレイン酸から得られる。
共重合樹脂(d)には、更に、上記のモノマー単位以外にも、各種の重合可能なモノマー単位(d3)を含有させてもよく、モノマー単位(d3)としては、例えば、N−フェニルマレイミド、N−ヒドロキシフェニルマレイミド、N−カルボキシフェニルマレイミド、N−シクロヘキシルマレイミド等のマレイミド化合物、メチルメタクリレートやメチルアクリレート等のメタクリロイル基又はアクリロイル基を有する化合物等が挙げられ、誘電特性や難燃性の点からマレイミド化合物が好ましく、耐湿耐熱性や接着性の点からN−フェニルマレイミド及びN−ヒドロキシフェニルマレイミドがより好ましい。
The copolymer resin (d) is a copolymer resin having a monomer unit (d1) represented by the general formula (3) and a monomer unit (d2) represented by the general formula (4).
Examples of the monomer unit (d1) represented by the general formula (3) include styrene compounds such as styrene, 1-methylstyrene, vinyltoluene, dimethylstyrene, chlorostyrene, and bromostyrene, and vinyl compounds such as ethylene, propylene, and isobutylene. If necessary, two or more monomers may be mixed and used. Further, the monomer unit (d2) represented by the general formula (4) is obtained from maleic anhydride.
The copolymer resin (d) may further contain various polymerizable monomer units (d3) in addition to the above monomer units. Examples of the monomer unit (d3) include N-phenylmaleimide. , N-hydroxyphenylmaleimide, N-carboxyphenylmaleimide, N-cyclohexylmaleimide and other maleimide compounds, methyl methacrylate, methyl acrylate and other methacryloyl group or acryloyl group-containing compounds, etc. From the viewpoint of moisture and heat resistance and adhesiveness, N-phenylmaleimide and N-hydroxyphenylmaleimide are more preferable.

共重合樹脂(d)におけるモノマー単位(d1)のモノマー単位数をm、モノマー単位数(d2)のモノマー単位数をn、モノマー単位(d3)のモノマー単位数をrとした場合、モノマー比率(m/n)は、誘電特性やガラス転移温度、耐湿耐熱性、接着性とのバランスを考慮すると、0.8〜19.0が好ましく、1.0〜6.0がより好ましい。
また、モノマー単位(d3)を含有する場合のモノマー比率〔m/(n+r)〕は、誘電特性やガラス転移温度、耐湿耐熱性、接着性とのバランスを考慮すると、0.1〜9.0が好ましく、1.0〜6.0がより好ましい。
共重合樹脂(d)の重量平均分子量は、耐熱性や機械強度と成型加工性とのバランスを考慮すると、1,000〜200,000であることが好ましい。なお、重量平均分子量は、溶離液としてテトラヒドロフランを用いたGPCにより測定し、標準ポリスチレン検量線により換算した値である。
When the number of monomer units of the monomer unit (d1) in the copolymer resin (d) is m, the number of monomer units of the monomer unit (d2) is n, and the number of monomer units of the monomer unit (d3) is r, the monomer ratio ( m / n) is preferably 0.8 to 19.0, and more preferably 1.0 to 6.0, considering the balance between dielectric properties, glass transition temperature, moisture and heat resistance, and adhesiveness.
Further, the monomer ratio [m / (n + r)] in the case of containing the monomer unit (d3) is 0.1 to 9.0 in consideration of the balance between dielectric properties, glass transition temperature, moisture and heat resistance, and adhesiveness. Is preferable, and 1.0 to 6.0 is more preferable.
The weight average molecular weight of the copolymer resin (d) is preferably 1,000 to 200,000 in consideration of the balance between heat resistance and mechanical strength and moldability. The weight average molecular weight is a value measured by GPC using tetrahydrofuran as an eluent and converted by a standard polystyrene calibration curve.

熱硬化性樹脂(B)が、エポキシ樹脂(a)、酸性置換基と不飽和マレイミド基を有する化合物(b)、6−置換グアナミン化合物(c)及び共重合樹脂(d)を含有する樹脂組成物である場合の各成分の含有量は、(a)〜(d)成分の質量の総和100質量部中の質量として、次のようにすることが好ましい。
エポキシ樹脂(a)は1〜96質量部とすることが好ましく、20〜96質量部とすることがより好ましく、20〜90質量部とすることが特に好ましい。エポキシ樹脂(a)の含有量を1質量部以上とすることにより、難燃性や接着性、耐熱性が不足することがなく、96質量部以下とすることにより、低誘電損失性が低下することがない。
酸性置換基と不飽和マレイミド基を有する化合物(b)は1〜96質量部とすることが好ましく、20〜96質量部とすることがより好ましく、20〜90質量部とすることが特に好ましい。酸性置換基と不飽和マレイミド基を有する化合物(b)含有量を1質量部以上とすることにより、難燃性や接着性、可とう性が不足することがなく、96質量部以下とすることにより耐熱性が低下することがない。
6−置換グアナミン化合物(c)は1〜96質量部とすることが好ましく、20〜96質量部とすることがより好ましく、20〜90質量部とすることが特に好ましい。6−置換グアナミン化合物(c)の含有量を1質量部以上とすることにより、難燃性や接着性、誘電特性が不足することがなく、96質量部以下とすることにより耐熱性が低下することがない。
共重合樹脂(d)は1〜50質量部とすることが好ましく、1〜30質量部とすることがより好ましく、1〜20質量部とすることが特に好ましい。共重合樹脂(d)の含有量を1質量部以上とすることにより、溶解性や誘電特性が不足することがなく、50質量部以下とすることにより、難燃性が低下することがない。
Resin composition in which thermosetting resin (B) contains epoxy resin (a), compound (b) having acidic substituent and unsaturated maleimide group, 6-substituted guanamine compound (c) and copolymer resin (d) The content of each component in the case of a product is preferably as follows as the mass in 100 parts by mass of the total mass of the components (a) to (d).
The epoxy resin (a) is preferably 1 to 96 parts by mass, more preferably 20 to 96 parts by mass, and particularly preferably 20 to 90 parts by mass. By setting the content of the epoxy resin (a) to 1 part by mass or more, flame retardancy, adhesiveness, and heat resistance are not insufficient, and by setting the content to 96 parts by mass or less, the low dielectric loss property is lowered. There is nothing.
The compound (b) having an acidic substituent and an unsaturated maleimide group is preferably 1 to 96 parts by mass, more preferably 20 to 96 parts by mass, and particularly preferably 20 to 90 parts by mass. By setting the content of the compound (b) having an acidic substituent and an unsaturated maleimide group to 1 part by mass or more, flame retardancy, adhesiveness, and flexibility are not deficient, and 96 parts by mass or less. Therefore, the heat resistance is not lowered.
The 6-substituted guanamine compound (c) is preferably 1 to 96 parts by mass, more preferably 20 to 96 parts by mass, and particularly preferably 20 to 90 parts by mass. By setting the content of the 6-substituted guanamine compound (c) to 1 part by mass or more, flame retardancy, adhesiveness, and dielectric properties are not insufficient, and by setting the content to 96 parts by mass or less, heat resistance decreases. There is nothing.
The copolymer resin (d) is preferably 1 to 50 parts by mass, more preferably 1 to 30 parts by mass, and particularly preferably 1 to 20 parts by mass. By setting the content of the copolymer resin (d) to 1 part by mass or more, the solubility and dielectric properties are not insufficient, and by setting the content to 50 parts by mass or less, flame retardancy does not decrease.

上記のグアナミン化合物を含有する樹脂は、前述したように各種特性に優れているが、吸湿性がほかの樹脂と比較して若干高いため、本発明を適用することによって、他の樹脂のもつ吸湿性と同等にすることができる。即ち、銅箔接着性、耐熱性、耐湿性、難燃性、銅付き耐熱性、誘電特性及び吸湿性の全てにおいてバランスのとれたプリント配線板を作製できるので、上記のグアナミン樹脂は熱硬化性樹脂(B)として好適である。   The resin containing the above guanamine compound is excellent in various properties as described above, but has a slightly higher hygroscopicity than other resins, so by applying the present invention, the hygroscopic property of other resins. Can be equivalent to sex. In other words, the above guanamine resin is thermosetting because it can produce a printed wiring board balanced in all of copper foil adhesion, heat resistance, moisture resistance, flame resistance, heat resistance with copper, dielectric properties and moisture absorption. Suitable as the resin (B).

熱硬化性樹脂(B)としては、また、シアネートエステル樹脂が好適に用いられる。シアネートエステル樹脂は、加熱によりトリアジン環を繰り返し単位とする硬化物を生成する樹脂であり、硬化物は誘電特性に優れるため、特に高周波特性が要求される場合などに用いられることが多い。シアネートエステル樹脂としては、2,2−ビス(4−シアナトフェニル)プロパン、ビス(4−シアナトフェニル)エタン、2,2−ビス(3,5−ジメチル−4−シアナトフェニル)メタン、2,2−ビス(4−シアナトフェニル)−1,1,1,3,3,3−ヘキサフルオロプロパン、α,α'−ビス(4−シアナトフェニル)−m−ジイソプロピルベンゼン、フェノールノボラック及びアルキルフェノールノボラックのシアネートエステル化物等が挙げられる。
上記のシアネートエステル樹脂の中でも、2,2−ビス(4−シアナトフェニル)プロパンは硬化物の誘電特性と硬化性のバランスが特に良好であり、コスト的にも安価であるため好ましい。シアネートエステル樹脂は、1種類を単独で用いてもよく、2種類以上を混合して用いてもよい。また、ここで用いられるシアネートエステル樹脂は予め一部が三量体や五量体にオリゴマー化されていても構わない。
また、このシアネートエステル樹脂に対して硬化触媒や硬化促進剤を使用することができる。硬化触媒としては、マンガン、鉄、コバルト、ニッケル、銅、亜鉛等の金属類が用いられ、具体的には、2−エチルヘキサン酸塩、ナフテン酸塩、オクチル酸塩等の有機金属塩及びアセチルアセトン錯体などの有機金属錯体として用いられる。これらは、単独で使用しても良いし、二種類以上を混合して使用しても良い。硬化促進剤としてはフェノール類を使用することが好ましく、ノニルフェノール、パラクミルフェノールなどの単官能フェノールや、ビスフェノールA、ビスフェノールF、ビスフェノールSなどの二官能フェノールあるいはフェノールノボラック、クレゾールノボラックなどの多官能フェノールなどを用いることができる。これらは、単独で使用しても良いし、二種類以上を混合して使用しても良い。
As the thermosetting resin (B), a cyanate ester resin is also preferably used. The cyanate ester resin is a resin that generates a cured product having a triazine ring as a repeating unit by heating, and the cured product is excellent in dielectric characteristics, and is often used particularly when high-frequency characteristics are required. Examples of cyanate ester resins include 2,2-bis (4-cyanatophenyl) propane, bis (4-cyanatophenyl) ethane, 2,2-bis (3,5-dimethyl-4-cyanatophenyl) methane, 2,2-bis (4-cyanatophenyl) -1,1,1,3,3,3-hexafluoropropane, α, α′-bis (4-cyanatophenyl) -m-diisopropylbenzene, phenol novolac And cyanate esterified products of alkylphenol novolac and the like.
Among the above-mentioned cyanate ester resins, 2,2-bis (4-cyanatophenyl) propane is preferable because it has a particularly good balance between the dielectric properties and curability of the cured product and is inexpensive in terms of cost. One kind of cyanate ester resin may be used alone, or two or more kinds may be mixed and used. Moreover, the cyanate ester resin used here may be partially oligomerized in advance to a trimer or a pentamer.
Moreover, a curing catalyst or a curing accelerator can be used for the cyanate ester resin. As the curing catalyst, metals such as manganese, iron, cobalt, nickel, copper, and zinc are used. Specifically, organic metal salts such as 2-ethylhexanoate, naphthenate, octylate, and acetylacetone are used. Used as organometallic complexes such as complexes. These may be used alone or in combination of two or more. Phenols are preferably used as the curing accelerator, and monofunctional phenols such as nonylphenol and paracumylphenol, bifunctional phenols such as bisphenol A, bisphenol F, and bisphenol S, or polyfunctional phenols such as phenol novolac and cresol novolac. Etc. can be used. These may be used alone or in combination of two or more.

熱硬化性樹脂(B)には、誘電特性、耐衝撃性、フィルム加工性などを考慮して、熱硬化性樹脂としての性質を損なわない程度に、熱可塑性樹脂を含有させることができる。熱可塑性樹脂としては、フッ素樹脂、ポリフェニレンエーテル、変性ポリフェニレンエーテル、ポリフェニレンスルフィド、ポリカーボネート、ポリエーテルイミド、ポリエーテルエーテルケトン、ポリアリレート、ポリアミド、ポリアミドイミド、ポリブタジエンなどが例示されるが、これらに限定されるわけではない。熱可塑性樹脂は、1種類のものを単独で用いても良いし、2種類以上を混合して用いても良い。   In consideration of dielectric properties, impact resistance, film processability, etc., the thermosetting resin (B) can contain a thermoplastic resin to such an extent that the properties as a thermosetting resin are not impaired. Examples of the thermoplastic resin include, but are not limited to, fluororesin, polyphenylene ether, modified polyphenylene ether, polyphenylene sulfide, polycarbonate, polyether imide, polyether ether ketone, polyarylate, polyamide, polyamide imide, and polybutadiene. I don't mean. One type of thermoplastic resin may be used alone, or two or more types may be mixed and used.

熱可塑性樹脂の中でも、ポリフェニレンエーテルおよび変性ポリフェニレンエーテルを配合すると、硬化物の誘電特性が向上するので有用である。ポリフェニレンエーテルおよび変性ポリフェニレンエーテルとしては、例えば、ポリ(2,6−ジメチル−1,4−フェニレン)エーテル、ポリ(2,6−ジメチル−1,4−フェニレン)エーテルとポリスチレンのアロイ化ポリマー、ポリ(2,6−ジメチル−1,4−フェニレン)エーテルとスチレン−ブタジエンコポリマのアロイ化ポリマー、ポリ(2,6−ジメチル−1,4−フェニレン)エーテルとスチレン−無水マレイン酸コポリマのアロイ化ポリマー、ポリ(2,6−ジメチル−1,4−フェニレン)エーテルとポリアミドのアロイ化ポリマー、ポリ(2,6−ジメチル−1,4−フェニレン)エーテルとスチレン−ブタジエン−アクリロニトリルコポリマーのアロイ化ポリマーなどが挙げられる。また、ポリフェニレンエーテルに反応性、重合性を付与するために、ポリマー鎖末端にアミノ基、エポキシ基、カルボキシル基、スチリル基、メタクリル基などの官能基を導入したり、ポリマー鎖側鎖にアミノ基、エポキシ基、カルボキシル基、スチリル基、メタクリル基などの官能基を導入したりしてもよい。   Among thermoplastic resins, blending polyphenylene ether and modified polyphenylene ether is useful because it improves the dielectric properties of the cured product. Examples of polyphenylene ether and modified polyphenylene ether include poly (2,6-dimethyl-1,4-phenylene) ether, poly (2,6-dimethyl-1,4-phenylene) ether and polystyrene alloyed polymer, poly Alloyed polymer of (2,6-dimethyl-1,4-phenylene) ether and styrene-butadiene copolymer, Alloyed polymer of poly (2,6-dimethyl-1,4-phenylene) ether and styrene-maleic anhydride copolymer Alloying polymer of poly (2,6-dimethyl-1,4-phenylene) ether and polyamide, alloying polymer of poly (2,6-dimethyl-1,4-phenylene) ether and styrene-butadiene-acrylonitrile copolymer, etc. Is mentioned. In addition, in order to impart reactivity and polymerizability to polyphenylene ether, functional groups such as amino groups, epoxy groups, carboxyl groups, styryl groups, and methacryl groups are introduced at the ends of polymer chains, or amino groups are introduced into the side chains of polymer chains. In addition, a functional group such as an epoxy group, a carboxyl group, a styryl group, or a methacryl group may be introduced.

熱可塑性樹脂の中でも、ポリアミドイミド樹脂は、耐熱性、耐湿性に優れることに加え、金属に対する接着性が良好であるので有用である。ポリアミドイミドの原料のうち、酸成分としては、無水トリメリット酸、無水トリメリット酸モノクロライド、アミン成分としては、メタフェニレンジアミン、パラフェニレンジアミン、4,4'−ジアミノジフェニルエーテル、4,4'−ジアミノジフェニルメタン、ビス[4−(アミノフェノキシ)フェニル]スルホン、2,2'−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]プロパンなどが例示されるが、これに限定されるわけではない。乾燥性を向上させるためにシロキサン変性としても良く、この場合、アミノ成分にシロキサンジアミンが用いられる。フィルム加工性を考慮すると、分子量は5万以上のものを用いるのが好ましい。   Among thermoplastic resins, polyamideimide resin is useful because it has excellent heat resistance and moisture resistance, and also has good adhesion to metal. Among the raw materials of polyamideimide, trimellitic anhydride, trimellitic anhydride monochloride, as the acid component, and metaphenylene diamine, paraphenylene diamine, 4,4′-diaminodiphenyl ether, 4,4′- as the amine component. Examples include, but are not limited to, diaminodiphenylmethane, bis [4- (aminophenoxy) phenyl] sulfone, 2,2′-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] propane, and the like. In order to improve drying property, it may be modified with siloxane. In this case, siloxane diamine is used as the amino component. In consideration of film processability, it is preferable to use a molecular weight of 50,000 or more.

熱硬化性樹脂(B)には、無機フィラーを含有させることができる。無機フィラーとしては、アルミナ、水酸化アルミニウム、水酸化マグネシウム、クレー、タルク、三酸化アンチモン、五酸化アンチモン、酸化亜鉛、溶融シリカ、ガラス粉、石英粉、シラスバルーンなどが挙げられる。これら無機フィラーは単独で使用しても良いし、2種類以上を使用しても良い。   The thermosetting resin (B) can contain an inorganic filler. Examples of the inorganic filler include alumina, aluminum hydroxide, magnesium hydroxide, clay, talc, antimony trioxide, antimony pentoxide, zinc oxide, fused silica, glass powder, quartz powder, and shirasu balloon. These inorganic fillers may be used alone or in combination of two or more.

熱硬化性樹脂(B)には、有機溶媒を配合することができる。有機溶媒としては、ベンゼン、トルエン、キシレン、トリメチルベンゼンのような芳香族炭化水素系溶媒;アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトンのようなケトン系溶媒;テトラヒドロフランのようなエーテル系溶媒;イソプロパノール、ブタノールのようなアルコール系溶媒;2−メトキシエタノール、2−ブトキシエタノールのようなエーテルアルコール系溶媒;N−メチルピロリドン、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミドのようなアミド系溶媒等が使用される。
プリプレグを作製する場合におけるワニス中の有機溶媒量は40〜80質量%の範囲とするのが好ましく、ワニスの粘度は20〜1000cPの範囲とするのが好ましい。
An organic solvent can be mix | blended with a thermosetting resin (B). Examples of the organic solvent include aromatic hydrocarbon solvents such as benzene, toluene, xylene, and trimethylbenzene; ketone solvents such as acetone, methyl ethyl ketone, and methyl isobutyl ketone; ether solvents such as tetrahydrofuran; Alcohol solvents; ether alcohol solvents such as 2-methoxyethanol and 2-butoxyethanol; amide solvents such as N-methylpyrrolidone, N, N-dimethylformamide and N, N-dimethylacetamide are used. The
When preparing the prepreg, the amount of the organic solvent in the varnish is preferably in the range of 40 to 80% by mass, and the viscosity of the varnish is preferably in the range of 20 to 1000 cP.

熱硬化性樹脂(B)には難燃剤を含有させても良い。難燃剤としては、デカブロモジフェニルエーテル、テトラブロモビスフェノールA、テトラブロモ無水フタル酸、トリブロモフェノールなどの臭素化合物、トリフェニルフォスフェート、トリクレジルフォスフェート、トリキシリルフォスフェート、クレジルジフェニルフォスフェートなどのリン化合物、水酸化マグネシウム、水酸化アルミニウムなどの金属水酸化物、赤リン及びその変性物、三酸化アンチモン、五酸化アンチモンなどのアンチモン化合物、メラミン、シアヌール酸、シアヌール酸メラミンなどのトリアジン化合物など公知慣例の難燃剤を用いることができる。
熱硬化性樹脂(B)には、さらに必要に応じて、硬化剤、硬化促進剤、熱可塑性粒子、着色剤、紫外線不透過剤、酸化防止剤、還元剤などの各種添加剤や充填剤を含有させることができる。
You may make a thermosetting resin (B) contain a flame retardant. Examples of flame retardants include bromine compounds such as decabromodiphenyl ether, tetrabromobisphenol A, tetrabromophthalic anhydride, tribromophenol, triphenyl phosphate, tricresyl phosphate, trixyl phosphate, cresyl diphenyl phosphate, etc. Known metal compounds such as phosphorus compounds, magnesium hydroxide and aluminum hydroxide, red phosphorus and its modified products, antimony compounds such as antimony trioxide and antimony pentoxide, and triazine compounds such as melamine, cyanuric acid and melamine cyanurate Conventional flame retardants can be used.
If necessary, the thermosetting resin (B) may contain various additives and fillers such as a curing agent, a curing accelerator, thermoplastic particles, a colorant, an ultraviolet opaque agent, an antioxidant, and a reducing agent. It can be included.

本発明のシート状ガラス基材プリプレグは、シート状ガラス基材(A)に熱硬化性樹脂(B)を含浸又は塗工し乾燥してなるプリプレグであって、通常、シート状ガラス基材(A)に熱硬化性樹脂(B)を、乾燥後のプリプレグの樹脂含有率で20〜90質量%となるように基材に含浸又は塗工した後、100〜200℃の温度で1〜30分加熱乾燥し、半硬化状態(Bステージ状態)にすることにより製造される。
また、本発明の積層板は、シート状ガラス基材プリプレグを通常1〜20枚重ね、積層成形して得られるものであり、金属張積層板は、プリプレグを通常1〜20枚重ね、その少なくとも一面に金属箔を配置した構成で加熱加圧することにより得られるものである。
成形方法としては通常の積層板の手法が適用でき、例えば多段プレス、多段真空プレス、連続成形、オートクレーブ成形機等を使用し、通常、温度100〜250℃、圧力0.2〜10MPa、加熱時間0.1〜5時間の範囲で成形するか、真空ラミネート装置などを用いてラミネート条件50〜150℃、0.1〜5MPaの条件で減圧下又は大気圧の条件で行う。絶縁層となるプリプレグ層の厚みは用途によって異なるが、通常0.01〜5.0mmである。
The sheet-like glass substrate prepreg of the present invention is a prepreg obtained by impregnating or applying a thermosetting resin (B) to a sheet-like glass substrate (A) and drying, and is usually a sheet-like glass substrate ( A) The thermosetting resin (B) is impregnated or coated on the substrate so that the resin content of the prepreg after drying is 20 to 90% by mass, and then 1 to 30 at a temperature of 100 to 200 ° C. It is manufactured by heating and drying for half a minute to bring it into a semi-cured state (B stage state).
Further, the laminate of the present invention is obtained by usually laminating and molding 1 to 20 sheet-like glass substrate prepregs, and the metal-clad laminate usually accumulates 1 to 20 prepregs, at least of which It is obtained by heating and pressing in a configuration in which a metal foil is disposed on one surface.
As a forming method, a method of a normal laminated plate can be applied, for example, using a multistage press, a multistage vacuum press, continuous forming, an autoclave molding machine, etc. It shape | molds in the range for 0.1 to 5 hours, or it carries out on the conditions of pressure reduction and atmospheric pressure on the conditions of lamination conditions 50-150 degreeC and 0.1-5 MPa using a vacuum laminating apparatus. Although the thickness of the prepreg layer used as an insulating layer changes with uses, it is 0.01-5.0 mm normally.

本発明の金属張積層板形成に用いる金属箔の表面粗さは特に限定されるものではないが、JISB0601に示す10点平均粗さ(Rz)が両面とも2.0μm以下であることが電気特性上好ましい。金属箔には銅箔、ニッケル箔、アルミ箔などを用いることができるが、通常は銅箔を使用する。銅箔の製造条件は、硫酸銅浴の場合、硫酸50〜100g/L、銅30〜100g/L、液温20℃〜80℃、電流密度0.5〜100A/dm2の条件、ピロリン酸銅浴の場合、ピロリン酸カリウム100〜700g/L、銅10〜50g/L、液温30〜60℃、pH8〜12、電流密度1〜10A/dm2の条件が一般的によく用いられ、銅の物性や平滑性を考慮して各種添加剤を使用することもできる。 The surface roughness of the metal foil used for forming the metal-clad laminate of the present invention is not particularly limited, but the electrical characteristics are that the 10-point average roughness (Rz) shown in JIS B0601 is 2.0 μm or less on both sides. Above preferred. Although copper foil, nickel foil, aluminum foil, etc. can be used for metal foil, copper foil is usually used. In the case of a copper sulfate bath, the manufacturing conditions of the copper foil are 50 to 100 g / L of sulfuric acid, 30 to 100 g / L of copper, a liquid temperature of 20 to 80 ° C., a current density of 0.5 to 100 A / dm 2 , pyrophosphoric acid In the case of a copper bath, the conditions of potassium pyrophosphate 100-700 g / L, copper 10-50 g / L, liquid temperature 30-60 ° C., pH 8-12, current density 1-10 A / dm 2 are commonly used, Various additives can also be used in consideration of the physical properties and smoothness of copper.

金属箔の厚みは,特に限定されるものではなく、一般にプリント配線板に用いられている厚み105μm以下の金属箔で構わないが、微細配線を形成するために、厚みが好ましくは3.0μm以下のピーラブルタイプの金属箔を用いると良い。ここで、ピーラブルタイプの金属箔とは、キャリアを有する金属箔であり、キャリアが引き剥がし可能な金属箔である。例えば、ピーラブルタイプの極薄銅箔の場合、厚み10〜50μmのキャリア箔上に剥離層となる金属酸化物或いは有機物層を形成し、その上に硫酸銅浴であれば硫酸50〜100g/L、銅30〜100g/L、液温20℃〜80℃、電流密度0.5〜100A/dm2の条件、ピロリン酸銅浴であればピロリン酸カリウム100〜700g/L、銅10〜50g/L、液温30℃〜60℃、pH8〜12、電流密度1〜10A/dm2の条件で厚み0.3〜3.0μmの金属箔を形成し、製造される。このような箔を給電層に用いた場合、後述するように配線形成性が良好である。なお、ピーラブルタイプの代わりにアルミキャリアやニッケルキャリアを有するエッチャブルタイプの銅箔を用いることもできる。 The thickness of the metal foil is not particularly limited, and may be a metal foil having a thickness of 105 μm or less that is generally used for a printed wiring board. However, in order to form fine wiring, the thickness is preferably 3.0 μm or less. Peelable type metal foil may be used. Here, the peelable type metal foil is a metal foil having a carrier, which is a metal foil that can be peeled off by the carrier. For example, in the case of a peelable type ultra-thin copper foil, a metal oxide or organic layer to be a release layer is formed on a carrier foil having a thickness of 10 to 50 μm, and a sulfuric acid 50 to 100 g / h is used on the copper sulfate bath. L, copper 30 to 100 g / L, liquid temperature 20 ° C. to 80 ° C., current density 0.5 to 100 A / dm 2 , potassium pyrophosphate bath 100 to 700 g / L potassium pyrophosphate, copper 10 to 50 g / L, a liquid temperature of 30 ° C. to 60 ° C., a pH of 8 to 12, and a current density of 1 to 10 A / dm 2 are produced by forming a metal foil having a thickness of 0.3 to 3.0 μm. When such a foil is used for the power feeding layer, the wiring formability is good as described later. Note that an etchable type copper foil having an aluminum carrier or a nickel carrier can be used instead of the peelable type.

金属箔のプリプレグや樹脂と当接する面には防錆処理を行うことが好ましい。この防錆処理は、ニッケル、錫、亜鉛、クロム、モリブデン、コバルトのいずれか、若しくはそれらの合金を用いて行うことができるが、亜鉛及びクロムにより行われることが好ましい。これらはスパッタや電気めっき、無電解めっきにより金属箔上に薄膜形成を行うものであるが、コストの面から電気めっきが好ましい。具体的にはめっき層にニッケル、錫、亜鉛、クロム、モリブデン、コバルトの内一種類以上の金属塩を含むめっき層を用いてめっきを行うことにより防錆処理が行われる。後の信頼性等の観点から、亜鉛を含むめっきを行うのが好適である。金属イオンの析出を容易にするためにクエン酸塩、酒石酸塩、スルファミン酸等の錯化剤を必要量添加することも出来る。
めっき液は通常、酸性領域で用い、室温(25℃)〜80℃の温度で行う。めっきは通常、電流密度0.1〜10A/dm2、通電時間1〜60秒、好ましくは1〜30秒の範囲から適宜選択する。防錆処理金属の量は、金属の種類によって異なるが、合計で10〜2000μg/dm2が好適である。防錆処理が厚すぎるとエッチング阻害と電気特性の低下を引き起こし、薄すぎると樹脂とのピール強度低下の要因となりうる。
Rust prevention treatment is preferably performed on the surface of the metal foil that comes into contact with the prepreg or resin. This rust prevention treatment can be performed using any of nickel, tin, zinc, chromium, molybdenum, cobalt, or an alloy thereof, but is preferably performed using zinc and chromium. In these methods, a thin film is formed on a metal foil by sputtering, electroplating or electroless plating, but electroplating is preferable from the viewpoint of cost. Specifically, the rust prevention treatment is performed by performing plating using a plating layer containing one or more metal salts of nickel, tin, zinc, chromium, molybdenum, and cobalt. From the viewpoint of reliability and the like later, it is preferable to perform plating containing zinc. In order to facilitate the precipitation of metal ions, a complexing agent such as citrate, tartrate or sulfamic acid can be added in the required amount.
The plating solution is usually used in an acidic region and is performed at a temperature of room temperature (25 ° C.) to 80 ° C. In general, the plating is appropriately selected from the range of current density of 0.1 to 10 A / dm 2 , energization time of 1 to 60 seconds, preferably 1 to 30 seconds. The amount of the rust-proofing metal varies depending on the type of metal, but is preferably 10 to 2000 μg / dm 2 in total. If the rust preventive treatment is too thick, it may cause etching inhibition and deterioration of electrical characteristics, and if it is too thin, it may cause a reduction in peel strength with the resin.

さらに、防錆処理上にクロメート処理層が形成されていると樹脂とのピール強度低下を抑制できるため有用である。具体的には六価クロムイオンを含む水溶液を用いて行われる。クロメート処理は単純な浸漬処理でも可能であるが、好ましくは陰極処理で行う。重クロム酸ナトリウム0.1〜50g/L、pH1〜13、浴温0〜60℃、電流密度0.1〜5A/dm2、電解時間0.1〜100秒の条件で行うのが良い。重クロム酸ナトリウムの代わりにクロム酸或いは重クロム酸カリウムを用いて行うことも出来る。 Furthermore, if a chromate treatment layer is formed on the rust prevention treatment, it is useful because a reduction in peel strength with the resin can be suppressed. Specifically, it is performed using an aqueous solution containing hexavalent chromium ions. The chromate treatment can be performed by a simple immersion treatment, but is preferably performed by a cathode treatment. It is good to carry out under conditions of sodium dichromate 0.1-50 g / L, pH 1-13, bath temperature 0-60 ° C., current density 0.1-5 A / dm 2 , electrolysis time 0.1-100 seconds. It can also carry out using chromic acid or potassium dichromate instead of sodium dichromate.

本発明においては、金属箔の表面にさらにシランカップリング剤が吸着していることが好ましい。シランカップリング剤としては例えば、3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン等のエポキシ官能性シラン、3−アミノプロピルトリメトキシシラン、N−2−(アミノエチル)3−アミノプロピルトリメトキシシラン、N−2−(アミノエチル)3−アミノプロピルメチルジメトキシシラン等のアミノ官能性シラン、ビニルトリメトキシシラン、ビニルフェニルトリメトキシシラン、ビニルトリス(2−メトキシエトキシ)シラン等のオレフィン官能性シラン、3−アクリロキシプロピルトリメトキシシラン等のアクリル官能性シラン、3−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン等のメタクリル官能性シラン、3−メルカプトプロピルトリメトキシシラン等のメルカプト官能性シランなどが用いられる。プリプレグとの相性を考えると、分子内にエポキシ基あるいはアミノ基を有することが望ましい。これらは単独で用いても良いし、複数を混合して用いても良い。   In the present invention, it is preferable that a silane coupling agent is further adsorbed on the surface of the metal foil. Examples of the silane coupling agent include 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane, epoxy-functional silanes such as 2- (3,4-epoxycyclohexyl) ethyltrimethoxysilane, 3-aminopropyltrimethoxysilane, and N-2. Amino-functional silanes such as-(aminoethyl) 3-aminopropyltrimethoxysilane, N-2- (aminoethyl) 3-aminopropylmethyldimethoxysilane, vinyltrimethoxysilane, vinylphenyltrimethoxysilane, vinyltris (2- Olefin functional silane such as methoxyethoxy) silane, acrylic functional silane such as 3-acryloxypropyltrimethoxysilane, methacryl functional silane such as 3-methacryloxypropyltrimethoxysilane, 3-mercaptopropyltrimethoxysilane Such as mercapto functional silane is used. Considering compatibility with the prepreg, it is desirable to have an epoxy group or an amino group in the molecule. These may be used alone or in combination.

これらのカップリング剤は、水などの溶媒に0.1〜15g/Lの濃度で溶解させて室温(25℃)〜50℃の温度で金属箔に塗布したり、電着させたりして吸着させる。これらのシランカップリング剤は金属箔表面の防錆金属の水酸基と縮合結合することで皮膜を形成する。シランカップリング処理後は加熱、紫外線照射等によって安定的結合を形成する。加熱であれば100〜200℃の温度で2〜60秒乾燥させる。紫外線照射であれば200〜400nm、200〜2500mJ/cm2の範囲で行う。以上のような銅箔を公知の方法でプリプレグと一体化し、積層板とすることができる。 These coupling agents are dissolved in a solvent such as water at a concentration of 0.1 to 15 g / L and applied to a metal foil at a temperature of room temperature (25 ° C.) to 50 ° C. or electrodeposited for adsorption. Let These silane coupling agents form a film by condensation bonding with a hydroxyl group of a rust-preventing metal on the surface of the metal foil. After the silane coupling treatment, a stable bond is formed by heating, ultraviolet irradiation or the like. If it is heating, it is dried at a temperature of 100 to 200 ° C. for 2 to 60 seconds. In the case of ultraviolet irradiation, it is performed in the range of 200 to 400 nm and 200 to 2500 mJ / cm 2 . The copper foil as described above can be integrated with the prepreg by a known method to obtain a laminated sheet.

次に、上記金属張積層板のうち、金属箔として厚さ3μmの極薄銅箔を用いたプリント配線板作製方法の一例を示す。まず、上記金属張積層体に層間接続用の貫通スルーホールを形成する。スルーホール径が100μm以上であればドリルによる加工が適しており、スルーホール径が100μm以下であればCO2やCO、エキシマ等の気体レーザーやYAG等の固体レーザーが適している。 Next, an example of a printed wiring board manufacturing method using an ultrathin copper foil having a thickness of 3 μm as the metal foil among the metal-clad laminates will be described. First, through-holes for interlayer connection are formed in the metal-clad laminate. If the through hole diameter is 100 μm or more, processing by a drill is suitable, and if the through hole diameter is 100 μm or less, a gas laser such as CO 2 , CO, or excimer, or a solid laser such as YAG is suitable.

次いで金属箔上及びスルーホール内部に触媒核を付与する。触媒核の付与には、パラジウムイオン触媒であるアクチベーターネオガント(アトテック・ジャパン株式会社製、商品名)やパラジウムコロイド触媒であるHS201B(日立化成工業株式会社製、商品名)を使用する。パラジウム触媒を付与する場合、CLC−201(日立化成工業株式会社製、商品名)のようなコンディショニング処理を事前に行う。   Next, catalyst nuclei are provided on the metal foil and inside the through hole. For providing the catalyst nucleus, an activator neogant (trade name, manufactured by Atotech Japan Co., Ltd.), which is a palladium ion catalyst, and HS201B (trade name, manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.), which is a palladium colloid catalyst, are used. When the palladium catalyst is applied, a conditioning treatment such as CLC-201 (trade name, manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.) is performed in advance.

次に触媒核を付与した金属箔上及びスルーホール内部に薄付けの無電解めっき層を形成する。この無電解めっきには、CUST2000(日立化成工業株式会社製、商品名)やCUST201(日立化成工業株式会社製、商品名)等の市販の無電解銅めっきが使用できる。これらの無電解銅めっきは硫酸銅、ホルマリン、錯化剤及び水酸化ナトリウムを主成分とする。めっきの厚さは次の電気めっきが行うことができる厚さであればよく、0.1〜1μm程度で十分である。尚、層間接続が必要ない場合は、無電解銅めっきを省略することができる。   Next, a thin electroless plating layer is formed on the metal foil provided with the catalyst nucleus and inside the through hole. For this electroless plating, commercially available electroless copper plating such as CUST2000 (manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd., trade name) or CUST201 (product name of Hitachi Chemical Co., Ltd.) can be used. These electroless copper platings are mainly composed of copper sulfate, formalin, complexing agent and sodium hydroxide. The thickness of the plating is not limited as long as the next electroplating can be performed, and about 0.1 to 1 μm is sufficient. If interlayer connection is not required, electroless copper plating can be omitted.

次に無電解めっきを行った上にめっきレジストを形成する。めっきレジストの厚さは、その後めっきする導体の厚さと同程度かより厚い膜厚にするのが好適である。めっきレジストに使用できる樹脂には、PMER P−LA900PM(東京応化株式会社製、商品名)のような液状レジストや、HW−425(日立化成工業株式会社、商品名)、RY−3325(日立化成工業株式会社、商品名)等のドライフィルムがある。ビアホール上と導体回路となるべき個所はめっきレジストを形成しない。   Next, after performing electroless plating, a plating resist is formed. The thickness of the plating resist is preferably set to a thickness that is about the same as or thicker than the conductor to be subsequently plated. Resins that can be used for the plating resist include liquid resists such as PMER P-LA900PM (trade name, manufactured by Tokyo Ohka Co., Ltd.), HW-425 (trade name, Hitachi Chemical Co., Ltd.), RY-3325 (Hitachi Chemical). There are dry films such as Kogyo Co., Ltd. (trade name). A plating resist is not formed on the via hole and the portion to be a conductor circuit.

次に電気めっきにより回路パターンを形成する。電気めっきには、通常プリント配線板で使用される硫酸銅電気めっきが使用できる。めっきの厚さは、回路導体として使用できればよく、1〜100μmの範囲であることが好ましく、5〜50μmの範囲であることがより好ましい。   Next, a circuit pattern is formed by electroplating. For the electroplating, copper sulfate electroplating usually used for printed wiring boards can be used. The plating thickness may be used as a circuit conductor, and is preferably in the range of 1 to 100 μm, and more preferably in the range of 5 to 50 μm.

次にアルカリ性剥離液や硫酸あるいは市販のレジスト剥離液を用いてレジストの剥離を行い、パターン部以外の銅をエッチング除去する。この場合高圧スプレー等によりエッチングを行うのが一般的であるが、配線の微細な部分はどうしても液の交換が悪くなる。従って銅とエッチング液の反応は拡散律速ではなく、反応律速であることが望ましい。銅とエッチング液の反応が反応律速であれば、拡散をそれ以上強めたとしてもエッチング速度は変わらない。即ち液交換の良い場所と悪い場所でのエッチング速度差があまり生じない。具体的には過酸化水素とハロゲン元素を含まない酸とを主成分とするエッチング液を用いるのが良い。酸化剤に過酸化水素を用いると、過酸化水素濃度を管理することで厳密なエッチング速度制御が可能になる。尚、エッチング液にハロゲン元素が混入すると、溶解反応が拡散律速になりやすい。ハロゲンを含まない酸としては、硝酸、硫酸、有機酸等が使用できるが、硫酸であることが安価で好ましい。更に硫酸と過酸化水素が主成分である場合には、それぞれの濃度を5〜300g/L,5〜200g/Lとすることがエッチング速度、液の安定性の面から好ましい。   Next, the resist is stripped using an alkaline stripping solution, sulfuric acid, or a commercially available resist stripping solution, and copper other than the pattern portion is removed by etching. In this case, etching is generally performed by high-pressure spraying or the like, but the exchange of the liquid is inevitably worsened for fine portions of the wiring. Therefore, it is desirable that the reaction between the copper and the etching solution is not diffusion-limited but reaction-limited. If the reaction between copper and the etchant is reaction-controlled, the etching rate does not change even if diffusion is further increased. That is, a difference in etching rate between a place where the liquid exchange is good and a place where the liquid exchange is bad does not occur much. Specifically, an etching solution mainly containing hydrogen peroxide and an acid not containing a halogen element is preferably used. When hydrogen peroxide is used as the oxidizing agent, strict etching rate control is possible by controlling the hydrogen peroxide concentration. If a halogen element is mixed in the etching solution, the dissolution reaction tends to be diffusion-limited. As the acid not containing halogen, nitric acid, sulfuric acid, organic acid, and the like can be used, but sulfuric acid is preferable because it is inexpensive. Furthermore, when sulfuric acid and hydrogen peroxide are the main components, the respective concentrations are preferably 5 to 300 g / L and 5 to 200 g / L from the viewpoints of etching rate and liquid stability.

以上、極薄銅箔を用いたセミアディティブ法で基板を作製する方法を示したが、一般的なセミアディティブ法やサブトラクティブ法などの他の手法であっても良い。
以上示した方法により2層より成るコア基板が完成する。この上にさらにプリプレグを積層し、多層配線板を作製することもできる。この場合用いるプリプレグはコア基板と同様の方法で作製する。積層後、金属箔の上から層間樹脂絶縁層に層間接続穴(IVH)を形成する。IVHを形成する方法としては、レーザーを用いるのが好適である。ここで用いることが出来るレーザーとしては、CO2やCO、エキシマ等の気体レーザーやYAG等の固体レーザーがある。CO2レーザーが容易に大出力を得られることから径50μm以上のIVHの加工に適している。径50μm以下の微細なIVHを加工する場合は、より短波長で集光性のよいYAGレーザーが適している。
As mentioned above, although the method of producing a board | substrate by the semi-additive method using ultra-thin copper foil was shown, other methods, such as a general semi-additive method and a subtractive method, may be used.
A core substrate composed of two layers is completed by the method described above. A prepreg may be further laminated thereon to produce a multilayer wiring board. The prepreg used in this case is produced by the same method as that for the core substrate. After lamination, an interlayer connection hole (IVH) is formed in the interlayer resin insulation layer from above the metal foil. As a method for forming IVH, it is preferable to use a laser. Lasers that can be used here include gas lasers such as CO 2 , CO, and excimer, and solid lasers such as YAG. Since a CO 2 laser can easily obtain a large output, it is suitable for processing IVH having a diameter of 50 μm or more. When processing a fine IVH having a diameter of 50 μm or less, a YAG laser having a shorter wavelength and good condensing property is suitable.

またIVH形成にコンフォーマル穴あけを用いることができる。この場合、フォトリソ法により銅箔に窓穴を形成し、窓穴より大きいレーザー径でIVH形成を行うものである。またラージウインドウ法によるIVH形成も可能であり、この場合IVH周辺の樹脂が剥き出しになった箇所のめっき剥離が発生しない。   Conformal drilling can also be used for IVH formation. In this case, a window hole is formed in the copper foil by a photolithography method, and IVH is formed with a laser diameter larger than that of the window hole. In addition, IVH formation by a large window method is also possible, and in this case, plating peeling does not occur in a portion where the resin around IVH is exposed.

次いで過マンガン酸塩、クロム酸塩、クロム酸のような酸化剤を用いてIVH内部の樹脂残さの除去を行い、次いで金属箔上及びIVH内部に触媒核を付与する。本発明ではIVH内部の樹脂残さの除去を行うと同時に樹脂が剥き出しになった箇所を粗面化できるため、後のめっき工程でのめっき付性が向上する。   Next, the resin residue inside the IVH is removed using an oxidizing agent such as permanganate, chromate or chromic acid, and then catalyst nuclei are imparted on the metal foil and inside the IVH. In the present invention, since the resin residue inside the IVH is removed and at the same time the portion where the resin is exposed can be roughened, the plateability in the subsequent plating process is improved.

次に触媒核を付与した金属箔上及びIVH内部に薄付けの無電解めっき層を形成する。この無電解めっきには、CUST2000(日立化成工業株式会社製、商品名)やCUST201(日立化成工業株式会社製、商品名)等の市販の無電解銅めっきが使用できる。これらの無電解銅めっきは硫酸銅、ホルマリン、錯化剤、水酸化ナトリウムを主成分とする。めっきの厚さは次の電気めっきが行うことができる厚さであればよく、0.1〜1μm程度で十分である。   Next, a thin electroless plating layer is formed on the metal foil provided with catalyst nuclei and inside IVH. For this electroless plating, commercially available electroless copper plating such as CUST2000 (manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd., trade name) or CUST201 (product name of Hitachi Chemical Co., Ltd.) can be used. These electroless copper platings are mainly composed of copper sulfate, formalin, complexing agent and sodium hydroxide. The thickness of the plating is not limited as long as the next electroplating can be performed, and about 0.1 to 1 μm is sufficient.

次に無電解めっきを行った上にめっきレジストを形成する。めっきレジストの厚さは、その後めっきする導体の厚さと同程度か又はそれより厚い膜厚にするのが好適である。めっきレジストに使用できる樹脂には、PMER P−LA900PM(東京応化株式会社製、商品名)のような液状レジストや、HW−425(日立化成工業株式会社製、商品名)、RY−3325(日立化成工業株式会社製、商品名)等のドライフィルムがある。ビアホール上と導体回路となるべき個所はめっきレジストを形成しない。   Next, after performing electroless plating, a plating resist is formed. The thickness of the plating resist is preferably about the same as or thicker than the conductor to be subsequently plated. Resins that can be used for the plating resist include liquid resists such as PMER P-LA900PM (trade name, manufactured by Tokyo Ohka Co., Ltd.), HW-425 (trade name, manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.), RY-3325 (Hitachi). There are dry films such as those manufactured by Kasei Kogyo Co., Ltd. A plating resist is not formed on the via hole and the portion to be a conductor circuit.

次に電気めっきにより回路パターンを形成する。電気めっきには、通常プリント配線板で使用される硫酸銅電気めっきが使用できる。めっきの厚さは、回路導体として使用できればよく、1〜100μmの範囲である事が好ましく、5〜50μmの範囲であることがより好ましい。次にアルカリ性剥離液や硫酸あるいは市販のレジスト剥離液を用いてレジストの剥離を行う。次にパターン部以外の銅を好ましくは10〜300g/Lの硫酸及び10〜200g/Lの過酸化水素を主成分とするエッチング液を用いて除去することで回路形成が終了する。   Next, a circuit pattern is formed by electroplating. For the electroplating, copper sulfate electroplating usually used for printed wiring boards can be used. The plating thickness may be used as a circuit conductor, and is preferably in the range of 1 to 100 μm, and more preferably in the range of 5 to 50 μm. Next, the resist is stripped using an alkaline stripping solution, sulfuric acid, or a commercially available resist stripping solution. Next, the formation of the circuit is completed by removing the copper other than the pattern portion by using an etchant preferably containing 10 to 300 g / L sulfuric acid and 10 to 200 g / L hydrogen peroxide as main components.

さらに回路上に無電解金めっきを行い、金めっき層を形成する。金めっきの方法としては、SA―100(日立化成工業株式会社製、商品名)のような活性化処理液で導体界面の活性化処理を行い、NIPS―100(日立化成工業株式会社製、商品名)のような無電解ニッケルめっきを1〜10μm程度行い、HGS―100(日立化成工業株式会社製、商品名)のような置換金めっきを0.01〜0.1μm程度行った後にHGS−2000(日立化成工業株式会社製、商品名)のような無電解金めっきを0.1〜1μm程度行う。また特開平11−140659にあるように無電解ニッケルめっきと無電解金めっきの間に無電解パラジウムめっきを行うと、接続信頼性が更に向上する。無電解パラジウムめっきはパレット(小島化学薬品株式会社製、商品名)等を0.01〜1μm程度行う。電気特性を考慮した場合、無電解ニッケルめっきを省略することもできる。これらの組み合わせは製品用途によって異なり、コスト、電気特性及び接続信頼性を考慮した上で決まる。本発明はいずれの手法を用いた場合でも有効である。   Further, electroless gold plating is performed on the circuit to form a gold plating layer. As a gold plating method, the conductor interface is activated with an activation treatment solution such as SA-100 (manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd., trade name), and NIPS-100 (manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd., product). Electroless nickel plating such as HGS-100 (made by Hitachi Chemical Co., Ltd., trade name) and HGS- Electroless gold plating such as 2000 (manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd., trade name) is performed for about 0.1 to 1 μm. Further, when electroless palladium plating is performed between electroless nickel plating and electroless gold plating as disclosed in JP-A-11-140659, connection reliability is further improved. For electroless palladium plating, a pallet (trade name, manufactured by Kojima Chemical Co., Ltd.) is used in an amount of 0.01 to 1 μm. In consideration of electrical characteristics, electroless nickel plating can be omitted. These combinations vary depending on the product application, and are determined in consideration of cost, electrical characteristics, and connection reliability. The present invention is effective regardless of which method is used.

次に、下記の実施例により本発明を更に詳しく説明するが、これらの実施例は本発明を制限するものではない。
なお、以下の実施例および比較例においてシート状ガラス基材の面積比率および銅張積層板の吸水率は次に方法により得た数値である。
(1)面積比率(RS
シート状ガラス基材のシート面積(S)はシート状ガラス基材の縦横の長さより計算で算出し、ガラス表面の総面積(Sg)はBET法で測定して次式による面積比率を求めた。
面積比率 RS=Sg/2S
(2)吸水率(SW
銅張積層板をエッチングし、銅箔を完全に除去した樹脂板を80℃で30分乾燥し、乾燥時の質量(Wd)を測定した後、121℃、2気圧(0.2MPa)で5時間PCT(Pressure Cooker Test)処理した後、吸水後の質量(Ww)を測定し、次式による吸水率(%)を求めた。
吸水率 SW=〔(Ww−Wd)/Wd〕×100
Next, the present invention will be described in more detail with reference to the following examples, but these examples do not limit the present invention.
In the following examples and comparative examples, the area ratio of the sheet-like glass substrate and the water absorption rate of the copper clad laminate are numerical values obtained by the following method.
(1) Area ratio (R S )
The sheet area (S) of the sheet-like glass substrate was calculated from the length and width of the sheet-like glass substrate, and the total area (Sg) of the glass surface was measured by the BET method to determine the area ratio according to the following formula. .
Area ratio R S = Sg / 2S
(2) Water absorption rate (S W )
After etching the copper-clad laminate, the resin plate from which the copper foil was completely removed was dried at 80 ° C. for 30 minutes, and the mass (W d ) at the time of drying was measured, and then at 121 ° C. and 2 atm (0.2 MPa) After 5 hours of PCT (Pressure Cooker Test) treatment, the mass (W w ) after water absorption was measured, and the water absorption rate (%) was determined according to the following formula.
Water absorption S W = [(W w −W d ) / W d ] × 100

実施例1
(ワニスAの製造)
温度計、攪拌装置、還流冷却管付き水分定量器の付いた加熱及び冷却可能な容積2リットルの反応容器に、ビス(4−マレイミドフェニル)メタン:358.00gとm−アミノフェノール:54.50g及びプロピレングリコールモノメチルエーテル:412.50gを入れ、還流させながら5時間反応させて酸性置換基と不飽和マレイミド基を有する化合物(b)の溶液(1)を得た。
Example 1
(Manufacture of varnish A)
In a reaction vessel with a volume of 2 liters that can be heated and cooled, equipped with a thermometer, a stirrer, and a moisture meter with a reflux condenser, bis (4-maleimidophenyl) methane: 358.00 g and m-aminophenol: 54.50 g And propylene glycol monomethyl ether: 412.50 g was added and reacted for 5 hours while refluxing to obtain a solution (1) of the compound (b) having an acidic substituent and an unsaturated maleimide group.

温度計、攪拌装置、還流冷却管付き水分定量器の付いた加熱及び冷却可能な容積2リットルの反応容器に、スチレンと無水マレイン酸の共重合樹脂(エルフ・アトケム社製、商品名EF−40):514.00g、及びシクロヘキサノン:462.60g、トルエン:51.40gを入れ、70℃に昇温して均一に溶解した後、アニリン:46.50gを徐々に滴下した。次いで還流温度まで昇温し、発生する縮合水を除去しながら5時間反応させてスチレンと無水マレイン酸とN−フェニルマレイミドからなる共重合樹脂(d)の溶液(2)を得た。重量平均分子量は10,000であった。溶液(1)の樹脂40質量部にベンゾグアナミン10質量部、溶液(2)の樹脂10質量部、フェノールノボラック型エポキシ樹脂40質量部、無機充填剤として水酸化アルミニウム80質量部、破砕シリカ10質量部を配合し、また希釈溶剤にメチルエチルケトンを使用して樹脂分70質量%の均一なワニスAを得た。   In a reaction vessel with a volume of 2 liters, which can be heated and cooled, equipped with a thermometer, a stirrer, and a moisture quantifier with a reflux condenser, a copolymer resin of styrene and maleic anhydride (manufactured by Elf Atchem, trade name EF-40) ): 514.00 g, cyclohexanone: 462.60 g and toluene: 51.40 g were added, and the mixture was heated to 70 ° C. and uniformly dissolved, and then aniline: 46.50 g was gradually added dropwise. Next, the temperature was raised to the reflux temperature, and the reaction was carried out for 5 hours while removing the generated condensed water to obtain a solution (2) of a copolymer resin (d) composed of styrene, maleic anhydride and N-phenylmaleimide. The weight average molecular weight was 10,000. 40 parts by mass of the resin of the solution (1), 10 parts by mass of the benzoguanamine, 10 parts by mass of the resin of the solution (2), 40 parts by mass of a phenol novolac type epoxy resin, 80 parts by mass of aluminum hydroxide as an inorganic filler, 10 parts by mass of crushed silica In addition, uniform varnish A having a resin content of 70% by mass was obtained using methyl ethyl ketone as a diluent solvent.

(シート状ガラス基材Aの製造)
厚さ5μm、幅20μmの扁平形状のガラスファイバーを網目状にピッチ(隣接するガラスファイバー同士の中心間距離)を縦横同じ39μmとして織り、3−グリシドキシプロピルトリメトキシシランを水に加えた0.1g/Lの溶液に60秒浸漬し、水洗後、120℃で60秒乾燥し、厚さ10μmのシート状ガラス基材Aを得た。このシート状ガラス基材の面積比率(RS)は1.27であった。
(Manufacture of sheet-like glass substrate A)
A flat glass fiber having a thickness of 5 μm and a width of 20 μm is woven in a mesh shape with a pitch (distance between centers of adjacent glass fibers) of 39 μm vertically and horizontally, and 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane is added to water. It was immersed in a 0.1 g / L solution for 60 seconds, washed with water, and then dried at 120 ° C. for 60 seconds to obtain a sheet-like glass substrate A having a thickness of 10 μm. The area ratio (R S ) of this sheet-like glass substrate was 1.27.

(プリプレグAの製造)
シート状ガラス基材AにワニスAを卓上塗工機で塗工し、160℃で10分加熱乾燥して樹脂含有量55質量%のプリプレグAを得た。
(Manufacture of prepreg A)
Varnish A was applied to the sheet-like glass substrate A with a tabletop coating machine and dried by heating at 160 ° C. for 10 minutes to obtain a prepreg A having a resin content of 55% by mass.

(銅張積層板Aの製造)
プリプレグAを4枚重ね、厚さ18μmの電解銅箔を上下に配置し、圧力2.5MPa、温度185℃で90分間プレスを行い、銅張積層板Aを得た。銅張積層板Aの吸水率(Sw)は0.44%であった。銅張積層板Aを288℃のはんだバス上に10分間浮かべ、耐熱試験を行ったところ、ふくれは発生しなかった。
(Manufacture of copper-clad laminate A)
Four prepregs A were stacked, and an electrolytic copper foil having a thickness of 18 μm was placed on top and bottom, and pressed at a pressure of 2.5 MPa and a temperature of 185 ° C. for 90 minutes to obtain a copper-clad laminate A. The water absorption (Sw) of the copper clad laminate A was 0.44%. When the copper clad laminate A was floated on a solder bath at 288 ° C. for 10 minutes and subjected to a heat resistance test, no blistering occurred.

(プリント配線板の製造)
銅張積層板Aを厚さ5μmまでエッチングし、前述の極薄銅箔を用いたセミアディティブ法に準じた方法で配線を形成し、プリント配線板Aを得た。L/S=30/30の櫛型パターンを用いて絶縁信頼性試験を行ったところ、HAST(超加速寿命試験:Highly Accelerated Stress Test)100時間経過後も絶縁不良は発生しなかった。
(Manufacture of printed wiring boards)
The copper-clad laminate A was etched to a thickness of 5 μm, and wiring was formed by a method according to the semi-additive method using the ultrathin copper foil described above to obtain a printed wiring board A. When an insulation reliability test was performed using a comb pattern of L / S = 30/30, no insulation failure occurred even after 100 hours of HAST (Highly Accelerated Stress Test).

実施例2
厚さ5μm、幅50μmの扁平形状のガラスファイバーを用い、実施例1と同様にしてガラスファイバーのピッチを155μmとして織り、厚さ10μmのシート状ガラス基材Bを製造した。このシート状ガラス基材の面積比率(RS)は0.71であった。
次に実施例1と同様にしてプリプレグ及び銅張積層板Bを製造した。銅張積層板Bの吸水率(SW)は0.38%であった。
Example 2
A flat glass fiber having a thickness of 5 μm and a width of 50 μm was used and woven with a glass fiber pitch of 155 μm in the same manner as in Example 1 to produce a sheet-like glass substrate B having a thickness of 10 μm. The area ratio (R S ) of this sheet-like glass substrate was 0.71.
Next, a prepreg and a copper clad laminate B were produced in the same manner as in Example 1. The water absorption (S W ) of the copper clad laminate B was 0.38%.

実施例3
厚さ5μm、幅50μmの扁平形状のガラスファイバーを用い、実施例1と同様にしてガラスファイバーのピッチを180μmとして織り、厚さ10μmのシート状ガラス基材Cを製造した。シート状ガラス基材Cの面積比率(RS)は0.61であった。
次に実施例1と同様にしてプリプレグ及び銅張積層板Cを製造した。銅張積層板Cの吸水率(SW)は0.43%であった。
Example 3
A flat glass fiber having a thickness of 5 μm and a width of 50 μm was used, and the pitch of the glass fiber was woven as 180 μm in the same manner as in Example 1 to produce a sheet-like glass substrate C having a thickness of 10 μm. The area ratio (R S ) of the sheet-like glass substrate C was 0.61.
Next, a prepreg and a copper clad laminate C were produced in the same manner as in Example 1. The water absorption (S W ) of the copper clad laminate C was 0.43%.

比較例1
実施例1において、シート状ガラス基材Aの代わりにシート状ガラス基材D(旭シュエーベル社製、ガラスクロス1027、厚さ20μm)を使用し、実施例1と同様にしてプリプレグ及び銅張積層板Dを製造した。シート状ガラス基材Dの面積比率(RS)は139であり、銅張積層板Dの吸水率(SW)は0.68%であった。
銅張積層板Dを288℃のはんだバス上に10分間浮かべ、耐熱試験を行ったところ、ふくれは発生しなかった。
Comparative Example 1
In Example 1, instead of the sheet-like glass substrate A, a sheet-like glass substrate D (manufactured by Asahi Schwer, glass cloth 1027, thickness 20 μm) was used. Plate D was produced. The area ratio (R S ) of the sheet-like glass substrate D was 139, and the water absorption rate (S W ) of the copper-clad laminate D was 0.68%.
When the copper clad laminate D was floated on a solder bath at 288 ° C. for 10 minutes and subjected to a heat resistance test, no blistering occurred.

(プリント配線板の製造)
実施例1と同様にして配線を形成し、プリント配線板Dを得た。L/S=30/30の櫛型パターンを用いて絶縁信頼性試験を行ったところ、HAST100時間経過後も絶縁不良は発生しなかった。
(Manufacture of printed wiring boards)
Wiring was formed in the same manner as in Example 1, and a printed wiring board D was obtained. When an insulation reliability test was performed using a comb pattern of L / S = 30/30, no insulation failure occurred even after 100 hours of HAST.

以上の実施例より、本発明のプリプレグを用いることで、積層板の吸水率を低下させることが可能となり、これにより耐熱性、絶縁信頼性、電気特性に優れたプリント配線板を提供することが可能となることが分かる。   From the above examples, by using the prepreg of the present invention, it becomes possible to reduce the water absorption rate of the laminate, thereby providing a printed wiring board excellent in heat resistance, insulation reliability, and electrical characteristics. It turns out that it is possible.

Claims (7)

シート状ガラス基材(A)に熱硬化性樹脂(B)を含浸又は塗工し乾燥してなるプリプレグであって、シート状ガラス基材(A)のガラス表面の総面積をSg、シート面積をSとしたときの面積比率〔RS=Sg/2S〕が0.5〜1.3の範囲であることを特徴とするシート状ガラス基材プリプレグ。 A prepreg obtained by impregnating or applying a thermosetting resin (B) to a sheet-like glass substrate (A) and drying, wherein the total area of the glass surface of the sheet-like glass substrate (A) is Sg, the sheet area An area ratio [R S = Sg / 2S] where S is S is in the range of 0.5 to 1.3. シート状ガラス基材(A)が、網目状及び/又は薄膜状のガラスである請求項1に記載のシート状ガラス基材プリプレグ。   The sheet-like glass substrate prepreg according to claim 1, wherein the sheet-like glass substrate (A) is a mesh-like and / or thin-film glass. 熱硬化性樹脂(B)が、グアナミン化合物を含有する樹脂である請求項1又は2に記載のシート状ガラス基材プリプレグ。   The sheet-like glass substrate prepreg according to claim 1 or 2, wherein the thermosetting resin (B) is a resin containing a guanamine compound. 熱硬化性樹脂(B)が、1分子中に少なくとも2個のエポキシ基を有するエポキシ樹脂(a)、1分子中に少なくとも2個のN−置換マレイミド基を有するマレイミド化合物(b1)と下記一般式(1)に示す酸性置換基を有するアミン化合物(b2)とを有機溶媒(b3)中で反応させて製造された酸性置換基と不飽和マレイミド基とを有する化合物(b)、下記一般式(2)に示す6−置換グアナミン化合物(c)及び下記一般式(3)に示すモノマー単位(d1)と下記一般式(4)に示すモノマー単位(d2)とを有する共重合樹脂(d)を含有する樹脂組成物である請求項3に記載のシート状ガラス基材プリプレグ。
Figure 2009084356
(式中、R1は、水酸基、カルボキシ基及びスルホン酸基から選ばれる酸性置換基、R2は、水素原子、炭素数1〜5の脂肪族炭化水素基又はハロゲン原子を示し、xは1〜5の整数、yは0〜4の整数で、且つxとyの和が5である。)
Figure 2009084356
(式中、R3は、フェニル基、メチル基、アリル基、ブチル基、メトキシ基又はベンジルオキシ基を示す。)
Figure 2009084356
(式中、R4、R5は、それぞれ独立して、水素原子、ハロゲン原子、炭素数1〜5個の炭化水素基、フェニル基又は置換フェニル基を示す。)
Figure 2009084356
The thermosetting resin (B) is an epoxy resin (a) having at least two epoxy groups in one molecule, a maleimide compound (b1) having at least two N-substituted maleimide groups in one molecule, and the following general Compound (b) having an acidic substituent and an unsaturated maleimide group produced by reacting an amine compound (b2) having an acidic substituent represented by formula (1) in an organic solvent (b3), the following general formula A copolymer resin (d) having a 6-substituted guanamine compound (c) shown in (2) and a monomer unit (d1) shown in the following general formula (3) and a monomer unit (d2) shown in the following general formula (4) The sheet-like glass substrate prepreg according to claim 3, which is a resin composition containing
Figure 2009084356
(In the formula, R 1 represents an acidic substituent selected from a hydroxyl group, a carboxy group, and a sulfonic acid group; R 2 represents a hydrogen atom, an aliphatic hydrocarbon group having 1 to 5 carbon atoms, or a halogen atom; An integer of ˜5, y is an integer of 0 to 4, and the sum of x and y is 5.)
Figure 2009084356
(In the formula, R 3 represents a phenyl group, a methyl group, an allyl group, a butyl group, a methoxy group, or a benzyloxy group.)
Figure 2009084356
(In the formula, R 4 and R 5 each independently represent a hydrogen atom, a halogen atom, a hydrocarbon group having 1 to 5 carbon atoms, a phenyl group or a substituted phenyl group.)
Figure 2009084356
請求項1〜4のいずれかに記載のシート状ガラス基材プリプレグを積層成形して得られた積層板。   The laminated board obtained by carrying out lamination molding of the sheet-like glass base material prepreg in any one of Claims 1-4. 請求項1〜4のいずれかに記載のシート状ガラス基材プリプレグの1枚又は2枚以上重ね合わせたものの少なくとも一面に金属箔を重ねた後、加熱加圧成形して得られた金属張積層板。   A metal-clad laminate obtained by superposing one or more sheets of the sheet-like glass substrate prepreg according to any one of claims 1 to 4 on at least one surface and then heating and pressing. Board. 請求項5に記載の積層板又は請求項6に記載の金属張積層板を用い、配線加工して得られたプリント配線板。   The printed wiring board obtained by carrying out wiring processing using the laminated board of Claim 5, or the metal-clad laminated board of Claim 6.
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Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011225777A (en) * 2010-04-22 2011-11-10 Sumitomo Bakelite Co Ltd Prepreg, its manufacturing method and laminated board
JP2014120689A (en) * 2012-12-18 2014-06-30 Hitachi Chemical Co Ltd Laminated body, laminated plate, multilayer laminated plate, printed wiring board, multilayer printed wiring board, and method for manufacturing laminated plate
JPWO2012099133A1 (en) * 2011-01-18 2014-06-30 日立化成株式会社 Modified silicone compound, thermosetting resin composition using the same, prepreg, laminate and printed wiring board
JPWO2013042748A1 (en) * 2011-09-22 2015-03-26 日立化成株式会社 LAMINATE, LAMINATE, MULTILAYER LAMINATE, PRINTED WIRING BOARD AND METHOD FOR PRODUCING LAMINATE
JPWO2013042749A1 (en) * 2011-09-22 2015-03-26 日立化成株式会社 LAMINATE, LAMINATE, MULTILAYER LAMINATE, PRINTED WIRING BOARD AND METHOD FOR PRODUCING LAMINATE
JP2015076542A (en) * 2013-10-10 2015-04-20 信越化学工業株式会社 Method for sealing wafer, and resin composition for wafer level sealing use
JP2015229286A (en) * 2014-06-04 2015-12-21 日立化成株式会社 Laminate, laminated plate and printed wiring board
CN115340737A (en) * 2016-07-25 2022-11-15 伊索拉美国有限公司 Improved SMA resin formulation

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5659834A (en) * 1979-10-10 1981-05-23 Toshiba Chem Corp Thermosetting resin composition
JP2001064046A (en) * 1999-08-25 2001-03-13 Mitsubishi Plastics Ind Ltd Glass laminate, its production and laminated sheet
JP2001162721A (en) * 1999-12-06 2001-06-19 Mitsubishi Plastics Ind Ltd Thermosetting resin composite article and method of manufacturing the same
JP2002317085A (en) * 2001-01-30 2002-10-31 Hitachi Chem Co Ltd Thermosetting resin composition and use thereof
JP2003253545A (en) * 2002-02-28 2003-09-10 Nitto Boseki Co Ltd Method for producing glass cloth and the resulting glass cloth
JP2004148700A (en) * 2002-10-31 2004-05-27 Kawasaki Heavy Ind Ltd Laminate shim made of composite material, and its manufacturing method
WO2006075962A1 (en) * 2005-01-17 2006-07-20 Tape Weaving Sweden Ab A woven material comprising tape-like warp an dweft, and an apparatus and method for weaving thereof
JP2007186675A (en) * 2005-12-13 2007-07-26 Hitachi Chem Co Ltd (modified) guanamine compound solution, thermosetting resin composition, prepreg and laminate using the same

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5659834A (en) * 1979-10-10 1981-05-23 Toshiba Chem Corp Thermosetting resin composition
JP2001064046A (en) * 1999-08-25 2001-03-13 Mitsubishi Plastics Ind Ltd Glass laminate, its production and laminated sheet
JP2001162721A (en) * 1999-12-06 2001-06-19 Mitsubishi Plastics Ind Ltd Thermosetting resin composite article and method of manufacturing the same
JP2002317085A (en) * 2001-01-30 2002-10-31 Hitachi Chem Co Ltd Thermosetting resin composition and use thereof
JP2003253545A (en) * 2002-02-28 2003-09-10 Nitto Boseki Co Ltd Method for producing glass cloth and the resulting glass cloth
JP2004148700A (en) * 2002-10-31 2004-05-27 Kawasaki Heavy Ind Ltd Laminate shim made of composite material, and its manufacturing method
WO2006075962A1 (en) * 2005-01-17 2006-07-20 Tape Weaving Sweden Ab A woven material comprising tape-like warp an dweft, and an apparatus and method for weaving thereof
JP2007186675A (en) * 2005-12-13 2007-07-26 Hitachi Chem Co Ltd (modified) guanamine compound solution, thermosetting resin composition, prepreg and laminate using the same

Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011225777A (en) * 2010-04-22 2011-11-10 Sumitomo Bakelite Co Ltd Prepreg, its manufacturing method and laminated board
JPWO2012099133A1 (en) * 2011-01-18 2014-06-30 日立化成株式会社 Modified silicone compound, thermosetting resin composition using the same, prepreg, laminate and printed wiring board
JP2016074907A (en) * 2011-01-18 2016-05-12 日立化成株式会社 Method for producing modified silicone compound, method for producing thermosetting resin composition using the same, method for producing prepreg and method for producing laminate and printed wiring board
JP2017057409A (en) * 2011-01-18 2017-03-23 日立化成株式会社 Manufacturing method of modified silicone compound, manufacturing method of thermosetting resin composition using the same, manufacturing method of prepreg and manufacturing method of laminate and printed wiring board
JPWO2013042748A1 (en) * 2011-09-22 2015-03-26 日立化成株式会社 LAMINATE, LAMINATE, MULTILAYER LAMINATE, PRINTED WIRING BOARD AND METHOD FOR PRODUCING LAMINATE
JPWO2013042749A1 (en) * 2011-09-22 2015-03-26 日立化成株式会社 LAMINATE, LAMINATE, MULTILAYER LAMINATE, PRINTED WIRING BOARD AND METHOD FOR PRODUCING LAMINATE
JP2018069737A (en) * 2011-09-22 2018-05-10 日立化成株式会社 Laminated body, laminated plate, multilayer laminated plate, printed wiring board, and method for manufacturing laminated plate
JP2014120689A (en) * 2012-12-18 2014-06-30 Hitachi Chemical Co Ltd Laminated body, laminated plate, multilayer laminated plate, printed wiring board, multilayer printed wiring board, and method for manufacturing laminated plate
JP2015076542A (en) * 2013-10-10 2015-04-20 信越化学工業株式会社 Method for sealing wafer, and resin composition for wafer level sealing use
JP2015229286A (en) * 2014-06-04 2015-12-21 日立化成株式会社 Laminate, laminated plate and printed wiring board
CN115340737A (en) * 2016-07-25 2022-11-15 伊索拉美国有限公司 Improved SMA resin formulation

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