JP2009076520A - 露光装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】
液侵領域に発生する気泡を効果的に除去し、露光欠陥の発生を低減させた液侵露光装置を提供する。
【解決手段】
本発明の露光装置は、投影光学系の最終面の光学素子5と基板との間の領域に液体を流し、投影光学系を介して原版のパターンを基板に露光する露光装置であって、液侵領域に液体18を供給する供給口12と、液侵領域から液体18を回収する回収口13と、移動可能に配置された平面板22と、平面板22に設けられ、液体18又は気体を吸引する吸引ポート23と、吸引ポート23が液体18又は気体を吸引しているときに、平面板22を平面板の表面と平行に駆動して吸引ポート23の位置を移動させる駆動装置27とを有する。
【選択図】 図5
Description
本発明は、原版のパターンを投影光学系を介して感光基板に照射する露光装置に係り、特に、投影光学系と感光基板の間を液体で満たした液浸型の露光装置に関する。
LSIあるいは超LSIなどの極微細パターンで構成される半導体デバイスの製造工程において、マスクに形成されたパターンを感光剤が塗布された基板上に縮小投影して転写する縮小型投影露光装置が用いられる。露光装置は、半導体デバイスの集積密度の向上に伴い、パターンの更なる微細化が要求され、レジストプロセスの発展とともに微細化への対応がなされてきた。
露光装置の解像力を向上させるには、一般的に、露光波長を短くするか、又は、投影光学系の開口数(NA)を大きくすることが必要である。
露光波長については、248nm付近の発振波長を有するKrFエキシマレーザー光から193nm付近の発振波長を有するArFエキシマレーザー光に移行しつつある。さらに、157nm付近の発振波長を有するフッ素(F2)エキシマレーザーの開発も行なわれている。
一方、これらとは全く別の解像力向上技術として、液浸法が存在する。従来、投影光学系の最終面と露光対象基板(例えばウエハ)面との間の空間は気体で満たされていた。しかし液浸法では、この空間を液体で満たして投影露光を実施する。液浸法の利点は、解像力が向上することである。
例えば、液浸液体を純水(屈折率1.44)とし、ウエハに結像する光線の最大入射角が液浸法と従来方法で等しいと仮定した場合、同一波長の光源を用いても、液浸法の解像力は従来の1.44倍に向上する。これは、従来方法の投影光学系の開口数NAを1.44倍にすることと等価である。このため、液浸法によれば、従来方法では不可能なNA=1以上の解像力を得ることが可能となる。 この投影光学系の最終面とウエハ面との間の空間を液体で満たす方法として、大別して二つの方法が提案されている。一つの方法は、投影光学系の最終面とウエハ全体を液槽の中に配置する方法である。もう一つは、投影光学系の最終面の光学素子とウエハ面とで挟まれた空間だけに液体を流すローカルフィル法である。
例えば、液浸液体を純水(屈折率1.44)とし、ウエハに結像する光線の最大入射角が液浸法と従来方法で等しいと仮定した場合、同一波長の光源を用いても、液浸法の解像力は従来の1.44倍に向上する。これは、従来方法の投影光学系の開口数NAを1.44倍にすることと等価である。このため、液浸法によれば、従来方法では不可能なNA=1以上の解像力を得ることが可能となる。 この投影光学系の最終面とウエハ面との間の空間を液体で満たす方法として、大別して二つの方法が提案されている。一つの方法は、投影光学系の最終面とウエハ全体を液槽の中に配置する方法である。もう一つは、投影光学系の最終面の光学素子とウエハ面とで挟まれた空間だけに液体を流すローカルフィル法である。
液浸法を用いた露光装置では、基板を露光する前に投影光学系の最終面とウエハ面との間の空間を液体で満たすこと(液体の初期充填)が必要である。初期充填を行う方法として、液体を供給しながらウエハを保持するウエハステージを動かし、投影光学系の最終面とウエハ面との間の空間を液体で満たす構成が、特開2006−074061号公報(特許文献1)に開示されている。
また、特許文献1には、ウエハと実質的に等しい高さの面を有する平面板に液体を吸引する吸引口を設け、投影光学系の最終面を吸引口に対向させた状態で初期充填を行う構成が開示されている。
また、投影光学系の最終面が凹面部を有する場合において、凹面部の内側の異物を除去する除去装置を配置した構成が特開2006−140459号公報(特許文献2)に開示されている。
特開2006−074061号公報
特開2006−140459号公報
液浸法を用いる露光装置では、液体中の気泡の露光に対する影響を防止することが重要である。投影光学系の最終面と基板の間の露光領域に小さな気泡が進入すると、露光光を散乱する。また大きな気泡が進入すると、露光領域に液体が存在しない部分が発生する。そのため、転写されるパターンの線幅が許容できる範囲を超えて変動し、露光欠陥が発生するため、装置の生産性が悪化するという問題がある。
気泡は、特に液体の初期充填の工程を行っているときに発生しやすい。これは、液体で満たすべき空間に存在する段差や溝、隙間やエッジ部、或いは表面状態の違いに起因している。投影光学系の最終面とウエハの間の空間において、液体で充填されていない状態から、液体が充填された状態へと状態が変化する領域では、理想的には表面状態の変化がないことが好ましい。すなわち、段差や溝、隙間やエッジ部が存在せず、また表面粗さや液体に対する親水度など、全ての表面状態が同じであることが好ましい。このような状態であれば、スムーズに、気泡が発生することなく、投影光学系の最終面とウエハの間の空間を液体で満たすことができる。
しかしながら、実際の露光装置では、液体で満たすべき空間には、段差や溝、隙間やエッジ部が存在し、また表面状態が異なる領域が存在する。そのため、液体の初期充填時に、これらの部分で気泡がトラップされてしまう。この様子を、図11〜図13を用いて説明する。図11は従来の液浸型露光装置の液体の初期充填を説明するための概略側面図であり、液体が充填される前の状態を示している。図12は、図11の露光装置において、ノズル104に設けられた供給口102と回収口103を用いて、最終レンズ101とウエハ105の間に液体が初期充填された状態を示している。図13は、図12において、ウエハ105と最終レンズ101の間で切断し、最終レンズ101とノズル104を下方から見上げた平面図である。
図11に示すように、従来の露光装置では、最終レンズ101とノズル104の間に隙間とエッジ部が存在する。隙間とエッジ部が存在すると、その部分で気泡がトラップされ易くなる。そのため、図12及び図13に示すように、最終レンズ101とウエハ105の間に液体106を充填した後でも、気泡が液体106内に残留する場合がある。また、液体106は気泡の周りを流れるため、初期充填後に液体の連続的な供給と回収を行っても、トラップされた気泡は除去されることがない。さらに、エッジ部でトラップされた気泡はウエハ105を動かしても外側に追い出すことができず、気泡は液体106内に残留し続けることになる。そのため、露光欠陥が増大し、装置の生産性が悪化する。
本発明は、上述の点に鑑みてなされたものであり、液体の初期充填時において、液侵領域に発生する気泡を効果的に除去する露光装置を提供する。
本発明は、上述の点に鑑みてなされたものであり、液体の初期充填時において、液侵領域に発生する気泡を効果的に除去する露光装置を提供する。
上記目的を達成するため、本発明の露光装置のうち代表的な一つは、投影光学系の最終面の光学素子と基板との間の領域に液体を流し、該投影光学系を介して原版のパターンを該基板に露光する露光装置であって、前記領域に前記液体を供給する供給口と、前記領域から前記液体を回収する回収口と、移動可能に配置された平面板と、前記平面板に設けられ、前記液体又は気体を吸引する吸引管と、前記吸引管が前記液体又は前記気体を吸引しているときに、前記平面板を該平面板の表面と平行に駆動して前記吸引管の位置を移動させる駆動装置とを有する。
本発明の露光装置によれば、液侵領域に発生する気泡を効果的に除去して、露光欠陥の発生を低減させることができる。
以下、本発明の実施例について、図面を参照しながら詳細に説明する。
図1は、本発明を適用できるステップ・アンド・スキャン型の投影露光装置の模式的な側面図である。本実施例の露光装置は、液侵法を用いた露光装置であり、特に、投影光学系の最終面の光学素子と基板との間の空間(領域)に液体を流すローカルフィル法を用いた露光装置である。
図1において、ArFエキシマレーザーやF2エキシマレーザーなどの露光光源(不図示)から射出された光は、照明光学系1に提供される。照明光学系1は、露光光源から提供された光を用いて、レチクル(原版、マスク)2の一部をスリット光(スリットを通過したような断面形状を有する光)により照明する。スリット光でレチクル2を照明している間、レチクル2を保持しているレチクルステージ(原版ステージ)3とウエハ(基板)6を保持しているウエハステージ(基板ステージ)7は、一方が他方に同期しながらスキャン移動する。このような同期スキャンにより、レチクル2上のパターン全体が投影光学系4を介してウエハ6上に連続的に結像し、ウエハ6の表面に塗布されたレジストを感光させる。なお、ウエハステージ7は、ウエハステージ定盤8に搭載される。
図1において、10はウエハステージ7に固定して設けられたX方向測長用ミラーである。11はウエハステージ7のX方向の位置を計測するX方向レーザー干渉計である。同様に、ウエハステージ7に固定して設けられたY方向測長用ミラー(不図示)、及び、Y方向の位置を計測するY方向レーザー干渉計(不図示)が設けられ、ウエハステージ7のY方向の位置が計測される。また、レチクルステージ3にも、測長用ミラー(不図示)が設けられ、レチクルステージ3の位置を計測するレーザー干渉計(不図示)によって、レチクルステージ3の位置が計測される。
レチクルステージ3やウエハステージ7の位置は、各レーザー干渉計によりリアルタイムに計測される。制御装置(付図示)は、得られた計測値に基づいて、レチクル2(レチクルステージ3)やウエハ6(ウエハステージ7)の位置決めや同期制御を行う。ウエハステージ7には、ウエハ6の上下方向(鉛直方向)の位置や回転方向、傾きを調整、変更或いは制御する駆動装置が内蔵されている。
駆動装置は、露光時において、ウエハ6上の露光領域が投影光学系4の焦点面に常に高精度に合致するように、ウエハステージ7を制御する。ここで、ウエハ6上の面の位置(上下方向の位置と傾き)は、不図示の光フォーカスセンサによって計測され、制御装置(不図示)に提供される。
駆動装置は、露光時において、ウエハ6上の露光領域が投影光学系4の焦点面に常に高精度に合致するように、ウエハステージ7を制御する。ここで、ウエハ6上の面の位置(上下方向の位置と傾き)は、不図示の光フォーカスセンサによって計測され、制御装置(不図示)に提供される。
ウエハステージ7及び投影光学系4の最終レンズ(光学素子5)近傍を取り巻く空間は概密閉空間が形成され、この空間内に、空調装置(不図示)から所定の温度と湿度に制御された気体が吹き込まれる。これにより、ウエハステージ7及び最終レンズである光学素子5周りの空間は、所定の温度に保たれる。また、レチクルステージ3を取り巻く空間についても同様に、概密閉空間が形成され、空調された気体が吹き込まれる。これにより、レチクルステージ周りの空間は所定の温度に保たれる。
ノズル19は、光学素子5を囲むように設けられている。ノズル19には、光学素子5とウエハ6の間の空間(液侵領域)に液体18を供給するための供給口12(詳細は後述する)が設けられている。供給口12は、光学素子5の外周を囲み、ウエハ6と対向するように配置されている。供給口12の上方にはバッファ空間20が設けられている。バッファ空間20は、供給管14より供給される液体が供給口12の全周に行き渡るように設けられている。バッファ空間20は、液体の供給管14を介して液体の供給装置16と接続されている。
また、ノズル19には、液体及び気体を回収するための回収口13(詳細は後述する)が設けられている。回収口13は、供給口12を囲み、ウエハ6と対向するように配置されている。回収口13の上方には、供給口12と同様にバッファ空間21が設けられている。バッファ空間21は、回収管15を介して液体及び気体の回収装置17と接続されている。
図1において、バッファ空間20につながる供給管14、及び、バッファ空間21につながる回収管15は、理解を容易にするため、同一平面(ウエハ6と垂直な平面)に描かれている。供給管14及び回収管15は、図1のように同一平面に配置されているもののみならず、ウエハ6と垂直な平面に対して、異なる平面内に配置してもよい。
供給口12及び回収口13は、単なる開口として構成することができる。ただし、液体18の供給流量や回収流量の場所ムラがなく、面内の流速分布がほぼ均一な状態で供給又は回収がなされることが好ましい。このため、供給口12や回収口13には、小さな孔を円周上に複数個配置した多孔板を用いることがより好ましい。また、他に、微小な隙間からガスを吹き出すスリットを用いてもよく、フィルタ等に利用される金属や樹脂あるいは無機質からなる焼結材、発泡材、繊維材等の多孔質部材を用いてもよい。さらには、これらの部材を積層させてもよい。
液体の供給装置16は、例えば、液体を貯めるタンク、液体を送り出す圧送装置、液体の供給流量の制御を行う流量制御装置を含んで構成される。液体の供給装置16には、さらに、液体の供給温度を制御するための温度制御装置を含むことが好ましい。液体及び気体の回収装置17は、例えば、回収した液体と気体を分離し、液体を一時的に貯めるタンク、液体及び気体を吸い取る吸引装置、液体及び気体の回収流量を制御するための流量制御装置を含んで構成される。
ノズル19は、光学素子5を囲むように設けられている。ノズル19には、光学素子5とウエハ6の間の空間(液侵領域)に液体18を供給するための供給口12(詳細は後述する)が設けられている。供給口12は、光学素子5の外周を囲み、ウエハ6と対向するように配置されている。供給口12の上方にはバッファ空間20が設けられている。バッファ空間20は、供給管14より供給される液体が供給口12の全周に行き渡るように設けられている。バッファ空間20は、液体の供給管14を介して液体の供給装置16と接続されている。
また、ノズル19には、液体及び気体を回収するための回収口13(詳細は後述する)が設けられている。回収口13は、供給口12を囲み、ウエハ6と対向するように配置されている。回収口13の上方には、供給口12と同様にバッファ空間21が設けられている。バッファ空間21は、回収管15を介して液体及び気体の回収装置17と接続されている。
図1において、バッファ空間20につながる供給管14、及び、バッファ空間21につながる回収管15は、理解を容易にするため、同一平面(ウエハ6と垂直な平面)に描かれている。供給管14及び回収管15は、図1のように同一平面に配置されているもののみならず、ウエハ6と垂直な平面に対して、異なる平面内に配置してもよい。
供給口12及び回収口13は、単なる開口として構成することができる。ただし、液体18の供給流量や回収流量の場所ムラがなく、面内の流速分布がほぼ均一な状態で供給又は回収がなされることが好ましい。このため、供給口12や回収口13には、小さな孔を円周上に複数個配置した多孔板を用いることがより好ましい。また、他に、微小な隙間からガスを吹き出すスリットを用いてもよく、フィルタ等に利用される金属や樹脂あるいは無機質からなる焼結材、発泡材、繊維材等の多孔質部材を用いてもよい。さらには、これらの部材を積層させてもよい。
液体の供給装置16は、例えば、液体を貯めるタンク、液体を送り出す圧送装置、液体の供給流量の制御を行う流量制御装置を含んで構成される。液体の供給装置16には、さらに、液体の供給温度を制御するための温度制御装置を含むことが好ましい。液体及び気体の回収装置17は、例えば、回収した液体と気体を分離し、液体を一時的に貯めるタンク、液体及び気体を吸い取る吸引装置、液体及び気体の回収流量を制御するための流量制御装置を含んで構成される。
液浸用の液体は、露光光の吸収が少ないものから選択される。具体的には、液浸用の液体として、純水、機能水、フッ化液(例えば、フルオロカーボン)などが候補として掲げられる。液浸用の液体は、予め脱気装置を用いて溶存ガスが十分に取り除かれたものが好ましい。これは、気泡の発生を抑制し、また、気泡が発生しても即座に液体中に吸収できるからである。例えば、環境気体中に多く含まれる窒素、酸素を対象とし、液体に溶存可能なガス量の80%以上を除去すれば、十分に気泡の発生を抑制することができる。もちろん、不図示の脱気装置を露光装置に備えて、常に液体中の溶存ガスを取り除きながら液体の供給装置16に液体を供給してもよい。脱気装置としては、例えば、ガス透過性の膜を隔てて一方に液体を流し、もう一方を真空にして液体中の溶存ガスをその膜を介して真空中に追い出す、真空脱気装置が好ましい。
ウエハ6の外側周囲には、ウエハ6と略同一の高さの同面板9が設けられている。同面板9により、ウエハ6の端部でも光学素子5とウエハ6の間の空間に液体18を保持し、ウエハ6の端部での露光が可能となる。
平面板22は、ウエハステージ7とは独立して設けられている。平面板22には、液体或いは気体、又は、その両方を吸引する吸引ポート23(吸引管)が配置されている。平面板22は、駆動装置27により、移動可能に配置されており、ウエハステージ7とは独立して駆動される。
平面板22は、液体18の初期充填時、光学素子5と対向する位置に配置される。液体18の初期充填は、光学素子5と対向して配置された平面板22上において行われる。初期充填時には、光学素子5とウエハ6の間の空間(液浸領域)を液体18で満たすため、液体の供給口12から液体18が供給される。同時に、液体の回収口13から液体18が回収(除去)される。吸引ポート23は、吸引ポンプやシリンダーなど、不図示の吸引装置に接続される。吸引ポート23は、液体18の初期充填時における所定のタイミングで、液体或いは気体、又はその両方の吸引を行う。
ウエハ6の外側周囲には、ウエハ6と略同一の高さの同面板9が設けられている。同面板9により、ウエハ6の端部でも光学素子5とウエハ6の間の空間に液体18を保持し、ウエハ6の端部での露光が可能となる。
平面板22は、ウエハステージ7とは独立して設けられている。平面板22には、液体或いは気体、又は、その両方を吸引する吸引ポート23(吸引管)が配置されている。平面板22は、駆動装置27により、移動可能に配置されており、ウエハステージ7とは独立して駆動される。
平面板22は、液体18の初期充填時、光学素子5と対向する位置に配置される。液体18の初期充填は、光学素子5と対向して配置された平面板22上において行われる。初期充填時には、光学素子5とウエハ6の間の空間(液浸領域)を液体18で満たすため、液体の供給口12から液体18が供給される。同時に、液体の回収口13から液体18が回収(除去)される。吸引ポート23は、吸引ポンプやシリンダーなど、不図示の吸引装置に接続される。吸引ポート23は、液体18の初期充填時における所定のタイミングで、液体或いは気体、又はその両方の吸引を行う。
ノズル19や同面板9、平面板22など、液体18が接液する部材には、ステンレス鋼やフッ素樹脂、セラミック等の化学的に汚染されにくく清浄度を保ちやすい材質が用いられる。
次に、図2乃至図4を用いて、本実施例における液体18の初期充填について説明する。ここで、図2は、光学素子5と対向する位置に吸引ポート23が配置された場合の光学素子5近傍の概略構成を示す側面図である。なお、図2は、初期充填を行う前の状態を示している。図3は、従来の方法で初期充填を行った場合の光学素子5近傍の概略構成を示す側面図である。図4は、本実施例の効果を説明するための光学素子5近傍の概略構成を示す側面図である。図2乃至図4において、図1と同一の構成要素には同一符号を付し、これらの構成要素についての詳細な説明は省略する。 図2に示すように、本実施例の露光装置は、従来例の露光装置と同様に、ノズル19と投影光学系4の間に、隙間及びエッジ部が存在する。したがって、従来の初期充填方法では、図3に示すように、気泡がトラップされてしまう場合がある。供給口12から吸引ポート23へと向かう液体18の流れが存在しても、液体18は気泡の周りを流れるため、トラップされた気泡は除去されない。さらに、エッジ部などでトラップされた気泡は、平面板22を動かしても外側に追い出すことが困難である。一度トラップされた気泡は、液体18内に残留し続ける。このため、基板の露光時において、露光欠陥が増大し、装置の生産性が悪化する。
次に、図2乃至図4を用いて、本実施例における液体18の初期充填について説明する。ここで、図2は、光学素子5と対向する位置に吸引ポート23が配置された場合の光学素子5近傍の概略構成を示す側面図である。なお、図2は、初期充填を行う前の状態を示している。図3は、従来の方法で初期充填を行った場合の光学素子5近傍の概略構成を示す側面図である。図4は、本実施例の効果を説明するための光学素子5近傍の概略構成を示す側面図である。図2乃至図4において、図1と同一の構成要素には同一符号を付し、これらの構成要素についての詳細な説明は省略する。 図2に示すように、本実施例の露光装置は、従来例の露光装置と同様に、ノズル19と投影光学系4の間に、隙間及びエッジ部が存在する。したがって、従来の初期充填方法では、図3に示すように、気泡がトラップされてしまう場合がある。供給口12から吸引ポート23へと向かう液体18の流れが存在しても、液体18は気泡の周りを流れるため、トラップされた気泡は除去されない。さらに、エッジ部などでトラップされた気泡は、平面板22を動かしても外側に追い出すことが困難である。一度トラップされた気泡は、液体18内に残留し続ける。このため、基板の露光時において、露光欠陥が増大し、装置の生産性が悪化する。
なお、図3では隙間やエッジ部で気泡のトラップが発生している状態を示しているが、気泡のトラップの発生場所は、これらに限定されない。露光時において、ウエハ6に塗布されたレジスト膜やトップコート膜が液体18中に溶解し、光学素子5の一部の表面に析出する可能性がある。このように、光学素子5の表面状態が局所的に変化している場合などは、この表面状態が変化している領域の境界部分で気泡のトラップが発生する。
前述のとおり、気泡のトラップは、段差や溝、隙間やエッジ部、又は、表面状態が異なる領域の界面で発生する傾向がある。これは、段差や溝、隙間やエッジ部、又は、表面状態が異なる領域を気泡が乗り越えるとき、大きな力(エネルギー)を気泡に加える必要があるからである。
一般的に、ある表面でトラップされた気泡が、段差などを乗り越えて他の表面に移動するとき、その形状が大きく変化し、気泡が持つ表面エネルギーが増加する。したがって、気泡を移動させようとすると、このエネルギー増加分よりも大きなエネルギーを気泡に与える必要がある。しかしながら、ステージ駆動などで気泡に外力を加えても、不十分であることが多い。そのため、気泡は段差や溝、隙間やエッジ部、又は、表面状態が異なる領域の界面を乗り越えることができず、トラップされ続けることになる。
本実施例の露光装置は、トラップされた気泡が動かないという状況を利用して、気泡の除去を行うものである。平面板22をウエハ6の主面と平行な平面内で駆動させても気泡は動かない。このため、吸引ポート23が気泡の直下に配置されるように、平面板22を駆動させる。図4(a)、図4(b)に示すように、吸引ポート23を気泡の直下すなわち隙間、エッジ部の直下に移動させることにより、気泡を効果的に除去することができる。
前述のとおり、気泡のトラップは、段差や溝、隙間やエッジ部、又は、表面状態が異なる領域の界面で発生する傾向がある。これは、段差や溝、隙間やエッジ部、又は、表面状態が異なる領域を気泡が乗り越えるとき、大きな力(エネルギー)を気泡に加える必要があるからである。
一般的に、ある表面でトラップされた気泡が、段差などを乗り越えて他の表面に移動するとき、その形状が大きく変化し、気泡が持つ表面エネルギーが増加する。したがって、気泡を移動させようとすると、このエネルギー増加分よりも大きなエネルギーを気泡に与える必要がある。しかしながら、ステージ駆動などで気泡に外力を加えても、不十分であることが多い。そのため、気泡は段差や溝、隙間やエッジ部、又は、表面状態が異なる領域の界面を乗り越えることができず、トラップされ続けることになる。
本実施例の露光装置は、トラップされた気泡が動かないという状況を利用して、気泡の除去を行うものである。平面板22をウエハ6の主面と平行な平面内で駆動させても気泡は動かない。このため、吸引ポート23が気泡の直下に配置されるように、平面板22を駆動させる。図4(a)、図4(b)に示すように、吸引ポート23を気泡の直下すなわち隙間、エッジ部の直下に移動させることにより、気泡を効果的に除去することができる。
図4では、理解を容易にするため、吸引ポート23が気泡の直下に配置されるように、平面板22を駆動させている。しかし実際には、気泡がトラップされる位置の予測は困難である。このため、あらゆる場所で気泡がトラップされることを想定する必要がある。そこで、吸引ポート23を開放状態にし、液体18を吸引しながら平面板22を駆動させることが好ましい。液体18を吸引しながら平面板22を駆動させることで、あらゆる場所で気泡がトラップされても、トラップされた気泡を効果的に除去できる。この結果、液体18の中に気泡が残留するリスクを低減させることが可能になる。
図5(a)乃至図5(d)、及び、図14を参照して、本実施例における液体18の初期充填方法について詳細に説明する。
図5(a)乃至図5(d)は、光学素子5と対向する位置に平面板22が配置された場合の光学素子5近傍の概略構成を示す側面図であり、初期充填の工程を示している。図14は、液体18の初期充填時のフローチャートである。
図5(a)乃至図5(d)は、光学素子5と対向する位置に平面板22が配置された場合の光学素子5近傍の概略構成を示す側面図であり、初期充填の工程を示している。図14は、液体18の初期充填時のフローチャートである。
液体18の初期充填時には、初めに、光学素子5と対向する位置に吸引ポート23が配置されるように、平面板22を移動させる。これにより、吸引ポート23は光学素子5の下に移動する(図14:ステップS101)。この状態において、供給口12から液体18を液侵領域に供給し、回収口13から液体18を回収する(図5(a)、図14:ステップS102)。
液侵領域に供給された液体18は、光学素子5と平面板22の間の中央部に気体を残したまま、供給口12の配置に従い環状形状を形成する(図5(b))。そして、吸引ポート23を開放することにより、液体18又は内部に残留している気体(気泡)を吸引する(図14:ステップS103)。
ステップS103の開放タイミングは、タイマ回路を設けて、液体18の供給を開始したときから所定時間が経過した後に吸引ポート23を開放するように設定することができる。また、液侵領域における液体18の液量を検知する液量検知手段を設け、液量検知手段により検知された液量が所定値を超えた場合に、吸引ポート23を開放するように設定することもできる。
この吸引により、吸引ポート23に引き寄せられる力が液体18に働き、液体18は吸引ポート23に向かって速やかに流れ始める。時間の経過とともに、光学素子5の下方の大部分は液体18で満たされる。しかし、図5(c)に示すように、エッジ部などで気泡(気体)がトラップされる場合がある。
そこで、吸引ポート23が液体18又は気泡を吸引しているときに、平面板22を平面板の表面と平行に駆動して吸引ポート23の位置を移動させる(図14:ステップS104)。このとき、吸引ポート23は開放状態に保持されており、吸引ポート23からの吸引は継続しつつ、吸引ポート23が気泡の直下を通過する。
平面板22は、この表面に平行に移動するように、駆動装置27にて駆動される。平面板22がこの表面と平行に移動するため、平面板22に設けられた吸引ポート23は液侵領域を移動し、液侵領域に形成された気泡の直下を通過する。これにより、気泡は吸引ポート23を介して除去される(図5(d))。したがって、光学素子5と平面板22の間の液体18中に生成された気泡を効果的に除去することができ、気泡の残留リスクを低減させることが可能になる。
ステップS104の駆動タイミングとしては、タイマ回路を設けて、吸引ポート23を開放状態にしてから所定時間が経過した後に平面板22を駆動するように設定することができる。また、液侵領域における液体18の液量を検知する液量検知手段を設け、液量検知手段により検知された液量が所定値を超えた場合に、吸引ポート23を開放するように設定することもできる。
この吸引により、吸引ポート23に引き寄せられる力が液体18に働き、液体18は吸引ポート23に向かって速やかに流れ始める。時間の経過とともに、光学素子5の下方の大部分は液体18で満たされる。しかし、図5(c)に示すように、エッジ部などで気泡(気体)がトラップされる場合がある。
そこで、吸引ポート23が液体18又は気泡を吸引しているときに、平面板22を平面板の表面と平行に駆動して吸引ポート23の位置を移動させる(図14:ステップS104)。このとき、吸引ポート23は開放状態に保持されており、吸引ポート23からの吸引は継続しつつ、吸引ポート23が気泡の直下を通過する。
平面板22は、この表面に平行に移動するように、駆動装置27にて駆動される。平面板22がこの表面と平行に移動するため、平面板22に設けられた吸引ポート23は液侵領域を移動し、液侵領域に形成された気泡の直下を通過する。これにより、気泡は吸引ポート23を介して除去される(図5(d))。したがって、光学素子5と平面板22の間の液体18中に生成された気泡を効果的に除去することができ、気泡の残留リスクを低減させることが可能になる。
ステップS104の駆動タイミングとしては、タイマ回路を設けて、吸引ポート23を開放状態にしてから所定時間が経過した後に平面板22を駆動するように設定することができる。また、液侵領域における液体18の液量を検知する液量検知手段を設け、液量検知手段により検知された液量が所定値を超えた場合に、吸引ポート23を開放するように設定することもできる。
なお、本実施例では、吸引ポート23を開放状態にした後に、平面板22(吸引ポート23)を駆動させている(図14:ステップS103、S104)。しかし、これに限定されるものではなく、例えば、吸引ポート23を開放すると同時に、平面板22の駆動を開始することも可能である。図14のステップS102乃至ステップS104の順番はこれに限定されない。これらの順番は、他の順番でもよく、また、同時に行うこともできる。
駆動装置27は、気泡を除去するのに十分な時間だけ平面板22を駆動させると、平面板22の駆動を停止する(図14:ステップS105)。駆動装置27は、例えば、平面板22(吸引ポート23)が液侵領域内を2往復したときに、平面板22の駆動を停止する。ただしこれに限られず、液侵領域内を1往復した場合や3往復以上した場合に停止してもよい。また、平面板22の駆動時間を計測するためのタイマ回路を設けることもできる。タイマ回路は、計測された駆動時間に従い、駆動装置27による平面板22の駆動を停止させる。このようなタイマ回路を設ければ、駆動装置27が例えば30秒間だけ平面板22を駆動した後に駆動を停止するように制御することが可能である。平面板22の停止条件は、気泡を除去するのに必要な時間や吸引ポート23の移動距離などにより決定される。
平面板22の駆動が停止されることにより、液体18の初期充填の期間は終了する。図14のステップS101からステップS105までの初期充填のステップが終了すると、ウエハ6を搭載したウエハステージ7を光学素子5の下に移動させる(図14:ステップS106)。ウエハステージ7が移動すると、露光装置は順次ウエハ6を露光する(図14:ステップS107)。
なお、光学素子5の下方の露光領域での気泡が残留するリスクをより確実に低減させるには、吸引ポート23の動く移動領域が、露光領域と同じか、それよりも広範囲であるように、平面板22を駆動させることが望ましい。
気泡は、隙間やエッジ部でトラップされやすい。このため、さらに確実に液体18中に気泡が残留するリスクを低減させるには、吸引ポート23の動く領域は、光学素子5の接液部と同じ大きさか、それよりも広範囲に渡るように、平面板22を駆動させることが望ましい。これにより、光学素子5の周囲の隙間やエッジ部でトラップされた気泡を、より確実に除去することが可能になる。
気泡は、隙間やエッジ部でトラップされやすい。このため、さらに確実に液体18中に気泡が残留するリスクを低減させるには、吸引ポート23の動く領域は、光学素子5の接液部と同じ大きさか、それよりも広範囲に渡るように、平面板22を駆動させることが望ましい。これにより、光学素子5の周囲の隙間やエッジ部でトラップされた気泡を、より確実に除去することが可能になる。
本実施例では、図5に示すように、従来の初期充填方法で液体18を充填した後、すなわち、図5(a)から図5(c)の工程終了後、吸引ポート23を開放状態にして平面板22を駆動させる構成とした。しかしながら、平面板22の駆動方法はこれに限定されることはない。従来の初期充填方法で液体18の充填中に、例えば図5(b)の工程が終了し、図5(c)の工程が始まると同時に、吸引ポート23を開放状態にして平面板22を駆動させてもよい。このようにすると、従来と同じ時間で液体18の初期充填を行うことができるため、スループットを悪化させることなく、液体18の中の気泡を効果的に除去することが可能になる。
本実施例では、初期充填時における液体18中に残留する気泡の除去について説明したが、光学素子5の下方から液体18を除去する場合も同様である。液体18を除去する場合も、段差や溝、隙間やエッジ部、或いは表面状態が異なる領域の界面で液体18が残留し易くなる。このため、液体18の初期充填時と同様に、吸引ポート23を開放状態にして平面板22を駆動させることで、残留した液体を効果的に除去することができる。この結果、液体18除去後の漏水のリスクを低減させることが可能となる。 また、本実施例の露光装置を用いて基板を露光するステップを有するデバイス製造方法によれば、良好な露光パターンを形成したデバイスを製造することが可能になる。
次に、実施例2の露光装置について、図6及び図7を用いて説明する。
図6及び図7は、本実施例の露光装置における光学素子5近傍の概略構成を示す側面図である。図6及び図7において、実施例1の露光装置と同様の構成要素には同一符号を付し、同一の構成要素に関する説明は省略する。
本実施例の露光装置は、平面板22に露光光を受光するセンサ24を設けた点で、実施例1の露光装置とは異なる。
本実施例の露光装置は、図6に示すように、センサ24を用いて気泡の有無について測定を行い、気泡(気体)の残留位置を特定する。その後、図7に示すように、センサ24の測定結果から特定される気泡の位置に吸引ポート23(吸引管)が配置されるように、平面板22を移動させる。このように、本実施例では、センサ24により気泡の残留位置を特定することができるため、より確実かつ効果的に気泡を除去することが可能になる。
センサ24は、例えば、露光光の照度を計測するための照度センサが用いられる。気泡が存在すると、気泡に照射された露光光は散乱される。このため、液体18中において、気泡の存在位置での露光光の照度は悪化する。すなわち、気泡の存在位置での照度は、液体18で満たされた場所(気泡がない場所)の照度より小さくなる。このため、照度が周囲より小さいと計測された位置に吸引ポート23が配置するように、平面板22を移動させる。
本実施例の露光装置では、センサ24を用いて気泡の有無を計測するため、気泡の位置を容易に特定することができる。このため、吸引ポート23が適切な位置に移動するように平面板22を駆動させることにより、液体18中に発生した気泡を効果的に除去することができる。
なお、センサ24として、照度センサに代えて、フォーカスセンサや収差計測を行うセンサを用いることもできる。気泡の残留位置では、デフォーカスが発生し、また収差が悪化する。このため、フォーカスセンサや収差計測を行うセンサを用いた場合でも、気泡の残留場所を特定することができる。
図6及び図7は、本実施例の露光装置における光学素子5近傍の概略構成を示す側面図である。図6及び図7において、実施例1の露光装置と同様の構成要素には同一符号を付し、同一の構成要素に関する説明は省略する。
本実施例の露光装置は、平面板22に露光光を受光するセンサ24を設けた点で、実施例1の露光装置とは異なる。
本実施例の露光装置は、図6に示すように、センサ24を用いて気泡の有無について測定を行い、気泡(気体)の残留位置を特定する。その後、図7に示すように、センサ24の測定結果から特定される気泡の位置に吸引ポート23(吸引管)が配置されるように、平面板22を移動させる。このように、本実施例では、センサ24により気泡の残留位置を特定することができるため、より確実かつ効果的に気泡を除去することが可能になる。
センサ24は、例えば、露光光の照度を計測するための照度センサが用いられる。気泡が存在すると、気泡に照射された露光光は散乱される。このため、液体18中において、気泡の存在位置での露光光の照度は悪化する。すなわち、気泡の存在位置での照度は、液体18で満たされた場所(気泡がない場所)の照度より小さくなる。このため、照度が周囲より小さいと計測された位置に吸引ポート23が配置するように、平面板22を移動させる。
本実施例の露光装置では、センサ24を用いて気泡の有無を計測するため、気泡の位置を容易に特定することができる。このため、吸引ポート23が適切な位置に移動するように平面板22を駆動させることにより、液体18中に発生した気泡を効果的に除去することができる。
なお、センサ24として、照度センサに代えて、フォーカスセンサや収差計測を行うセンサを用いることもできる。気泡の残留位置では、デフォーカスが発生し、また収差が悪化する。このため、フォーカスセンサや収差計測を行うセンサを用いた場合でも、気泡の残留場所を特定することができる。
本実施例の露光装置では、平面板22をウエハステージ7とは独立して駆動させる構成としている。平面板22は、駆動装置27により駆動される。また、平面板22には気泡の位置を特定するためのセンサ24が設けられている。ただし、センサ24は平面板22以外の箇所に設けることもできる。例えば、センサ24を駆動装置27上に設けることができる。この場合でも、液体18中の気泡位置を特定することが可能であり、気泡を効果的に除去することができる。
本実施例又は実施例1の露光装置では、平面板22は駆動装置27にて、ウエハステージ7とは独立して駆動させる構成としている。しかし、駆動装置としてウエハステージ7を用いることもできる。この場合、同面板9が平面板22の機能を有することになる。このように構成することにより、装置の大型化を抑制できるという利点がある。
また、上記構成は、以下に説明する実施例3にも適用できる。なお、同面板9に平面板22の機能を持たせる場合、センサ24は、必ずしも同面板9に設けられる必要はない。同面板9に代えて、ウエハステージ7上にセンサ24を設けてもよい。
本実施例又は実施例1の露光装置では、ウエハステージ7は1つ(シングルステージ)である。ただし、ウエハステージ7を2つ(ツインステージ)設けた場合でも、本実施例又は実施例1の構成を適用することが可能である。
ツインステージを採用した場合、ツインステージとは独立して平面板22を構成してもよいし、2つのステージの少なくとも一方の同面板9に、平面板22の機能を持たせてもよい。全てのステージに平面板22の機能を設ければ、より生産性を向上させることが可能である。なお、上記構成は、以下に説明する実施例3にも適用することができる。
本実施例又は実施例1の露光装置では、気泡除去のための平面板22の駆動は初期充填時に行っているが、初期充填後に適宜行ってもよい。例えば、光学素子5とウエハ6の間の空間(液侵領域)に、液体18が常に保持されている構成(常時液浸状態)が採用されている露光装置では、液体18の初期充填後に連続してウエハ6の処理が行われる。この場合、例えばロット終了時などに、気泡除去のための平面板22の駆動を行ってもよい。このような構成により、常時液浸状態が採用された露光装置でも、安定して、液体18中に発生した気泡を効果的に除去することができる。
本実施例又は実施例1の露光装置では、平面板22は駆動装置27にて、ウエハステージ7とは独立して駆動させる構成としている。しかし、駆動装置としてウエハステージ7を用いることもできる。この場合、同面板9が平面板22の機能を有することになる。このように構成することにより、装置の大型化を抑制できるという利点がある。
また、上記構成は、以下に説明する実施例3にも適用できる。なお、同面板9に平面板22の機能を持たせる場合、センサ24は、必ずしも同面板9に設けられる必要はない。同面板9に代えて、ウエハステージ7上にセンサ24を設けてもよい。
本実施例又は実施例1の露光装置では、ウエハステージ7は1つ(シングルステージ)である。ただし、ウエハステージ7を2つ(ツインステージ)設けた場合でも、本実施例又は実施例1の構成を適用することが可能である。
ツインステージを採用した場合、ツインステージとは独立して平面板22を構成してもよいし、2つのステージの少なくとも一方の同面板9に、平面板22の機能を持たせてもよい。全てのステージに平面板22の機能を設ければ、より生産性を向上させることが可能である。なお、上記構成は、以下に説明する実施例3にも適用することができる。
本実施例又は実施例1の露光装置では、気泡除去のための平面板22の駆動は初期充填時に行っているが、初期充填後に適宜行ってもよい。例えば、光学素子5とウエハ6の間の空間(液侵領域)に、液体18が常に保持されている構成(常時液浸状態)が採用されている露光装置では、液体18の初期充填後に連続してウエハ6の処理が行われる。この場合、例えばロット終了時などに、気泡除去のための平面板22の駆動を行ってもよい。このような構成により、常時液浸状態が採用された露光装置でも、安定して、液体18中に発生した気泡を効果的に除去することができる。
次に、実施例3の露光装置について、図8を用いて説明する。
図8は、本実施例の露光装置における光学素子5近傍の概略構成を示す側面図である。図8において、実施例1の露光装置と同様の構成要素には同一符号を付し、同一箇所の説明は省略する。
本実施例の露光装置は、平面板22に吸引部材25が設けられている点で、実施例1の露光装置とは異なる。吸引部材25は、露光領域より広く、かつ、光学素子5の接液部(光学素子5が液体18と接する部分)より広く形成されることが好ましい。
図8において、吸引部材25の下方には、吸引部材25のほぼ全領域から液体18あるいは気体(気泡)を均一に吸引できるように、バッファ空間26が設けられている。
吸引部材25には、吸引流量の場所ムラがなく、面内の流速分布がほぼ均一な状態で、液体18又は気体(気泡)を吸引することが要求される。このため、吸引部材25には、小さな貫通孔を複数個配置した多孔板を用いることが好ましい。また、これに代えて、フィルタ等に利用されている金属や樹脂、又は、無機質からなる焼結材、発泡材、繊維材等の多孔質部材を用いてもよい。さらには、これらの部材を積層させてもよい。
図8は、本実施例の露光装置における光学素子5近傍の概略構成を示す側面図である。図8において、実施例1の露光装置と同様の構成要素には同一符号を付し、同一箇所の説明は省略する。
本実施例の露光装置は、平面板22に吸引部材25が設けられている点で、実施例1の露光装置とは異なる。吸引部材25は、露光領域より広く、かつ、光学素子5の接液部(光学素子5が液体18と接する部分)より広く形成されることが好ましい。
図8において、吸引部材25の下方には、吸引部材25のほぼ全領域から液体18あるいは気体(気泡)を均一に吸引できるように、バッファ空間26が設けられている。
吸引部材25には、吸引流量の場所ムラがなく、面内の流速分布がほぼ均一な状態で、液体18又は気体(気泡)を吸引することが要求される。このため、吸引部材25には、小さな貫通孔を複数個配置した多孔板を用いることが好ましい。また、これに代えて、フィルタ等に利用されている金属や樹脂、又は、無機質からなる焼結材、発泡材、繊維材等の多孔質部材を用いてもよい。さらには、これらの部材を積層させてもよい。
本実施例の露光装置では、吸引部材25は、光学素子5の接液部より広くなるように形成されている。このため、光学素子5の周辺の段差や溝、隙間やエッジ部、又は、表面状態が異なる領域の界面で、気泡がトラップされたとしても、直ちに吸引部材25で気泡を除去することができる。したがって、光学素子5の下における液体18中の気泡を効果的に除去し、液体18中に気泡が残留するリスクを低減させることができる。
上記のとおり、本実施例の露光装置では、吸引部材25が光学素子5の接液部より広くなるように形成されている。ただし、吸引部材25の大きさはこれに限定されない。装置内のスペースの配置次第では、吸引部材25を光学素子5の接液部より広く形成することが困難な場合もある。この場合には、吸引部材25を露光領域より広くなるように形成すればよい。このような構成でも、液体18中の気泡を効果的に除去することができるため、露光欠陥の発生を低減することが可能である。
本実施例の露光装置には、露光領域より広い吸引部材25が設けられている。このため、吸引部材25を開放状態にして、吸引ポート23(吸引管)から気泡を吸引すれば、平面板22を駆動させなくても、気泡を効果的に除去することが可能である。ただし、実施例1と同様に、平面板22を駆動させてもよい。平面板22を駆動させれば、より確実に液体18中の気泡を除去することが可能になる。
本実施例の露光装置には、露光領域より広い吸引部材25が設けられている。このため、吸引部材25を開放状態にして、吸引ポート23(吸引管)から気泡を吸引すれば、平面板22を駆動させなくても、気泡を効果的に除去することが可能である。ただし、実施例1と同様に、平面板22を駆動させてもよい。平面板22を駆動させれば、より確実に液体18中の気泡を除去することが可能になる。
本実施例の露光装置において、吸引部材25は大きいほうがより好ましい。具体的には、本実施例のように、吸引部材25は光学素子5の接液部の面積より大きいことが好ましい。さらに好ましくは、液体18の液侵領域より大きくすることである。このような構成により、光学素子5の下方の液体18中の気泡を確実に除去することができる。
吸引部材25を備えた本実施例の露光装置では、平面板22を駆動させることなく、又は、小さい駆動量で気泡を効果的に除去することができる。このため、実施例1及び実施例2の露光装置よりスループットを向上させることが可能になる。
次に、図9及び図10を用いて、実施例4の露光装置について説明する。
図9は、本実施例の露光装置の光学素子5近傍の概略構成を示す側面図である。図10は、図9において、平面板22と光学素子5の間の領域を切断し、上方から見下ろした平面図である。図9及び図10において、実施例1と同様の構成要素には同一符号を付し、同一箇所の説明は省略する。
図9は、本実施例の露光装置の光学素子5近傍の概略構成を示す側面図である。図10は、図9において、平面板22と光学素子5の間の領域を切断し、上方から見下ろした平面図である。図9及び図10において、実施例1と同様の構成要素には同一符号を付し、同一箇所の説明は省略する。
図9及び図10の露光装置は、実施例3の吸引部材25に代えて、吸引ポート23(吸引管)が光学素子5の接液部の面積より広い範囲に複数個配置されている点で、実施例3の露光装置と異なる。なお、図10では、1つの吸引ポートのみを符号で示している。吸引ポート23を複数個配置することにより、実施例3の露光装置のように、液体18中の気泡をより確実に除去することができ、液体18中に気泡が残留するリスクを低減させることができる。
なお、図10に示すように、吸引ポート23は、液体18の形状に合わせて円形形状に配置されている。ただし、円形形状に限定されるものではなく、例えば矩形形状に配置してもよい。液体18の形状や光学素子5の形状に合わせて、吸引ポート23の配置を適宜変更することができる。
図9及び図10の露光装置では、吸引ポート23を37個配置しているが、吸引ポートの個数はこれに限定されない。また配置される位置も限定されることはない。これらは任意に設定できる。例えば、露光領域と同じ大きさに配置してもよく、また、液体18の領域より広い範囲に配置してもよい。
また、本実施例の露光装置には、複数の吸引ポート23が設けられている。このため、複数の吸引ポート23を開放状態にして、複数の吸引ポート23から気泡を吸引すれば、平面板22を駆動させなくても、気泡を効果的に除去することが可能である。ただし、実施例1と同様に、平面板22を駆動させてもよい。平面板22を駆動させれば、より確実に液体18中の気泡を除去することが可能になる。 以上、上記実施例によれば、投影光学系と基板の間の空間(液侵領域)に液体を流す液浸型露光装置において、液侵領域に発生する気泡を効果的に除去して、露光欠陥の発生を低減させることができる。また、本実施例の露光装置を用いて基板を露光するステップを有するデバイス製造方法によれば、良好な露光パターンを形成したデバイスを製造することが可能になる。
図9及び図10の露光装置では、吸引ポート23を37個配置しているが、吸引ポートの個数はこれに限定されない。また配置される位置も限定されることはない。これらは任意に設定できる。例えば、露光領域と同じ大きさに配置してもよく、また、液体18の領域より広い範囲に配置してもよい。
また、本実施例の露光装置には、複数の吸引ポート23が設けられている。このため、複数の吸引ポート23を開放状態にして、複数の吸引ポート23から気泡を吸引すれば、平面板22を駆動させなくても、気泡を効果的に除去することが可能である。ただし、実施例1と同様に、平面板22を駆動させてもよい。平面板22を駆動させれば、より確実に液体18中の気泡を除去することが可能になる。 以上、上記実施例によれば、投影光学系と基板の間の空間(液侵領域)に液体を流す液浸型露光装置において、液侵領域に発生する気泡を効果的に除去して、露光欠陥の発生を低減させることができる。また、本実施例の露光装置を用いて基板を露光するステップを有するデバイス製造方法によれば、良好な露光パターンを形成したデバイスを製造することが可能になる。
1:照明光学系
2:レチクル
3:レチクルステージ
4:投影光学系
5:光学素子
6:ウエハ
7:ウエハステージ
8:ウエハステージ定盤
9:同面板
10:X方向測長用ミラー
11:X方向レーザー干渉計
12:供給口
13:回収口
14:供給管
15:回収管
16:供給装置
17:回収装置
18:液体
19:ノズル
20、21、26:バッファ空間
22:平面板
23:吸引ポート
24:センサ
25:吸引部材
27:駆動装置
2:レチクル
3:レチクルステージ
4:投影光学系
5:光学素子
6:ウエハ
7:ウエハステージ
8:ウエハステージ定盤
9:同面板
10:X方向測長用ミラー
11:X方向レーザー干渉計
12:供給口
13:回収口
14:供給管
15:回収管
16:供給装置
17:回収装置
18:液体
19:ノズル
20、21、26:バッファ空間
22:平面板
23:吸引ポート
24:センサ
25:吸引部材
27:駆動装置
Claims (10)
- 投影光学系の最終面の光学素子と基板との間の領域に液体を流し、該投影光学系を介して原版のパターンを該基板に露光する露光装置であって、
前記領域に前記液体を供給する供給口と、
前記領域から前記液体を回収する回収口と、
移動可能に配置された平面板と、
前記平面板に設けられ、前記液体又は気体を吸引する吸引管と、
前記吸引管が前記液体又は前記気体を吸引しているときに、前記平面板を該平面板の表面と平行に駆動して前記吸引管の位置を移動させる駆動装置と、を有することを特徴とする露光装置。 - 前記駆動装置は、前記平面板を駆動して露光領域より広い範囲で前記吸引管を移動させることを特徴とする請求項1記載の露光装置。
- 前記駆動装置は、前記平面板を駆動して前記光学素子の接液部より広い範囲で前記吸引管を移動させることを特徴とする請求項1記載の露光装置。
- 前記露光装置は、前記駆動装置による前記平面板の駆動時間を計測するタイマ回路を有し、
前記タイマ回路は、計測された前記駆動時間に従い、前記駆動装置による前記平面板の駆動を停止させることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一に記載の露光装置。 - 前記露光装置は、露光光を受光することにより気体の位置を特定するセンサを有し、
前記駆動装置は、前記平面板を駆動して、前記センサにより特定された前記気体の位置に前記吸引管を移動させることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一に記載の露光装置。 - 投影光学系の最終面の光学素子と基板との間の領域に液体を流し、該投影光学系を介して原版のパターンを該基板に露光する露光装置であって、
前記領域に前記液体を供給する供給口と、
前記領域から前記液体を回収する回収口と、
前記光学素子と対向して配置される平面板と、
前記平面板に設けられ、前記液体又は気体を吸引する吸引管と、
前記平面板に設けられ、露光領域より広い開口を備えた吸引部材と、を有し、
前記液体又は前記気体は、前記吸引部材を介して前記吸引管に吸引されることを特徴とする露光装置。 - 前記吸引部材は、複数の貫通孔が形成された多孔板であることを特徴とする請求項6記載の露光装置。
- 前記吸引部材は、多孔質部材からなることを特徴とする請求項6記載の露光装置。
- 投影光学系の最終面の光学素子と基板との間の領域に液体を流し、該投影光学系を介して原版のパターンを該基板に露光する露光装置であって、
前記領域に前記液体を供給する供給口と、
前記領域から前記液体を回収する回収口と、
前記光学素子と対向して配置される平面板と、
前記平面板に設けられ、前記液体又は気体を吸引する複数の吸引管と、を有し、
前記複数の吸引管は、露光領域より広い範囲に配置されていることを特徴とする露光装置。 - 請求項1乃至9のいずれか一に記載の露光装置を用いて前記基板を露光するステップを有することを特徴とするデバイス製造方法。
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