JP2009070880A - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板の一方の面から樹脂をハーフカットする工程と、前記ハーフカットした基板を前記外部接続端子が形成された面を上面にして水に浸し、氷の上面が前記基板の外部接続端子の上面と実質的に同じ、または上方になるように凍結する工程と、前記基板の他方の面に形成された樹脂を少なくとも前記ハーフカットした位置まで研削する工程と、を有する。
【選択図】図1
Description
図1(a)から1(e)は、本発明の第1の実施の形態を説明するための工程フローを示す断面模式図である。
図2は本発明の第2の実施の形態を説明するための工程フローを示す工程断面図である。
11 基板
12 外部接続端子
13 ステージ
14 ハンドラ
15 樹脂
16 氷
17 ブレード
18 ハーフカット
19 グラインドホイール
20 洗浄、乾燥
21 研削用ステージ
101 基板
102 UVテープ
103 ダイシングリング
104 ブレード
105 個片化された半導体装置
106 コレット
107 トレー
108 固定治具
Claims (7)
- 基板の一方の面に外部接続端子が形成され、他方の面に樹脂封止された半導体チップが複数搭載された基板を個片化して半導体装置を製造する方法であって、
前記基板の一方の面から前記樹脂をハーフカットする工程と、
前記ハーフカットした基板を前記外部接続端子が形成された面を上面にして水に浸し、氷の上面が前記基板の外部接続端子の上面と実質的に同じ、または上方になるように凍結する工程と、
前記基板の他方の面に形成された樹脂を少なくとも前記ハーフカットした位置まで研削する工程と、を有する半導体装置の製造方法。 - 前記ハーフカットする工程の前に、
前記基板を前記外部端子が形成された一方の面が上面になるようにステージ上に載置する工程と、
前記基板を水に浸し、氷の上面が外部接続端子が形成された前記基板の上面と実質的に同じ、または下方になるように凍結する工程と、を有する請求項1に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記氷の上面が前記基板の外部接続端子の上面と実質的に同じ、または上方になるように前記基板を凍結する工程の後に、
前記基板の外部接続端子が形成された面を研削する工程をさらに有する請求項1または2に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記基板の外部接続端子が形成された面を研削する工程が、少なくとも前記外部接続端子の端部が露出するまで研削する請求項3に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記樹脂をハーフカットする工程において、
前記ハーフカットの深さが樹脂の設計厚さ以上である請求項1乃至4のいずれかに記載の半導体装置の製造方法。 - 前記基板の樹脂を前記ハーフカットした位置まで研削する工程の後に、
前記基板を洗浄、乾燥する工程を有する請求項1乃至5のいずれかに記載の半導体装置の製造方法。 - 前記基板の外部接続端子が形成された一方の面にダイシング用のアライメントマークが形成されている請求項1乃至6のいずれかに記載の半導体装置の製造方法。
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2007
- 2007-09-11 JP JP2007235088A patent/JP2009070880A/ja active Pending
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