JP2009069520A - Inspecting device for display panel, inspection system for display panel, method for manufacturing display panel, program, and recording medium - Google Patents

Inspecting device for display panel, inspection system for display panel, method for manufacturing display panel, program, and recording medium Download PDF

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an inspection device for a display panel and the like, which inspects a defect by once imaging without generating halation and insufficient sensitivity, when defect-inspecting an inspection pattern with a gradation displayed by stepwise change patterns in every divided screen in the display panel of screen division drive. <P>SOLUTION: A screen of a liquid crystal panel 11 is imaged by a camera, to be inspected. The inspection device for the display panel is provided with: source drivers 12a, 12b and a gate driver 13 for dividing the screen of the liquid crystal panel 11 into the plurality along at least one direction to be driven independently each other at the same time; and a liquid crystal panel lighting signal generator 20 for displaying the gradation stepwise change patterns as the inspection pattern, on the respective divided screens of the liquid crystal panel 11. The inspection device 10 for the liquid crystal panel includes an inversion data preparing circuit 24 and an input selection circuit 25 for arranging the stepwise change patterns of the gradations displayed on the respective divided screens of the liquid crystal panel 11, to be alternatively brought into an ascending order and a descending order, or the descending order and the ascending order, in every divided screen. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は、例えば液晶パネル等の表示パネルを撮像装置にて撮像することにより表示パネルの欠陥検査を行う表示パネルの検査装置、表示パネルの検査方法、表示パネルの製造方法、プログラム及び記録媒体に関するものである。   The present invention relates to a display panel inspection apparatus that performs a defect inspection of a display panel by imaging a display panel such as a liquid crystal panel with an imaging apparatus, a display panel inspection method, a display panel manufacturing method, a program, and a recording medium. Is.

例えば、液晶パネル等の表示デバイスは、その製造後半工程において、表示パネルを点灯させてその良否が検査される。   For example, a display device such as a liquid crystal panel is inspected for quality by turning on the display panel in the latter half of the manufacturing process.

この表示パネルの欠陥検査において、従来行われてきた目視検査では、新規機種への対応や新規欠陥モードへの対応が容易であり、ムラやシミの検出といった官能検査に向いている反面、見逃しや個人差による判定のばらつきがある。また、表示デバイスは、近年、高精細化しており、表示画素の数が何百万画素のオーダーになっているため、目視によって見つけた欠陥位置、及び欠陥種類を正確に記録し、修正やプロセス改善のためのフィードバック情報とすることは難しい。   In the conventional defect inspection of display panels, the conventional visual inspection is easy to deal with new models and new defect modes, and is suitable for sensory inspections such as detection of unevenness and spots, but overlooked and There are variations in judgment due to individual differences. In addition, display devices have recently become high-definition and the number of display pixels is in the order of millions of pixels, so that the defect positions and defect types found by visual observation are accurately recorded, corrected, and processed. It is difficult to provide feedback information for improvement.

なお、本明細書においては、画素とは、赤(R)、緑(G)、青(B)の3つの絵素を1つの単位としたものをいう。また、絵素とは、赤(R)、緑(G)、青(B)の各絵素をいう。一般に、絵素の横サイズ:縦サイズ=1:3程度である。   Note that in this specification, a pixel means a unit composed of three picture elements of red (R), green (G), and blue (B). In addition, a picture element refers to each of red (R), green (G), and blue (B) picture elements. Generally, the horizontal size of the picture element: vertical size = 1: 3.

このような問題に対し、自動検査は点灯された表示デバイスをラインセンサやエリアセンサ等のカメラで撮像して得られた信号を処理し検査を行うために、検査判定のばらつきがなく、様々な方法が提案されている。   In order to deal with such problems, automatic inspection processes a signal obtained by imaging a lit display device with a camera such as a line sensor or an area sensor, and performs inspection. A method has been proposed.

一方、液晶パネルの点灯検査においては、様々な欠陥を検査するために、多数の表示パターンである検査パターンが用いられている。最も基本的には、輝点欠陥を検出するために全面黒表示、いわゆる黒ベタ画面を使用する一方、黒点欠陥を検出するために全面白表示、いわゆる色ベタ画面を使用する。   On the other hand, in the lighting inspection of a liquid crystal panel, in order to inspect various defects, an inspection pattern which is a large number of display patterns is used. Most basically, a full black display, so-called black solid screen, is used to detect bright spot defects, while a full white display, so-called color solid screen, is used to detect black spot defects.

上述の全面白表示の検査パターンによる検査において、バックライトの輝度が大きい場合には黒点が目立たなくなり、欠陥の発見が困難となる。また、上述の全面黒表示の検査パターンによる検査において、バックライトの輝度が小さい場合には輝点が目立たなくなり、欠陥の発見が困難となる。   In the inspection using the above-described entire white display inspection pattern, if the luminance of the backlight is high, black spots are not noticeable, and it is difficult to find defects. Further, in the inspection using the inspection pattern for the entire black display described above, if the luminance of the backlight is low, the bright spot becomes inconspicuous and it becomes difficult to find a defect.

そこで、特許文献1に開示する表示パネルの検査方法では、例えば、全面黒表示の検査パターンにおける輝点欠陥検査時にはバックライトの強度を上げることによって輝点の背景に対する相対強度を上げる等、複数の表示モード及び検査の目的に適したバックライト強度の制御を行っている。これにより、検査員が欠陥を発見するのを容易にしている。   Therefore, in the display panel inspection method disclosed in Patent Document 1, for example, when the bright spot defect inspection is performed in the entire black display inspection pattern, the backlight intensity is increased to increase the relative intensity of the bright spot with respect to the background. The backlight intensity suitable for the display mode and inspection purpose is controlled. This makes it easy for inspectors to find defects.

また、特許文献2に開示する被検査パターンの欠陥検査方法では、図16に示すように、半導体ウエハ101上に多数配設されて形成されたメモリチップ120の欠陥検査において、照明光源102からハーフミラー103及び対物レンズ104を通して、メモリチップ120に光を照射し、その反射光をイメージセンサ105にて撮像して濃淡画像信号を得る。   Further, in the defect inspection method for the pattern to be inspected disclosed in Patent Document 2, as shown in FIG. 16, in the defect inspection of the memory chip 120 formed in a large number on the semiconductor wafer 101, the illumination light source 102 is half-processed. The memory chip 120 is irradiated with light through the mirror 103 and the objective lens 104, and the reflected light is imaged by the image sensor 105 to obtain a grayscale image signal.

ここで、上記メモリチップ120は、図17(a)に示すように、繰り返しパターン部からなるメモリマット部121と非繰り返しパターン部からなる周辺回路122とからなっていると共に、図17(b)に示すように、メモリマット部121は周辺回路122よりも暗いものとなっている。   Here, as shown in FIG. 17A, the memory chip 120 includes a memory mat portion 121 composed of a repetitive pattern portion and a peripheral circuit 122 composed of a non-repetitive pattern portion. As shown, the memory mat portion 121 is darker than the peripheral circuit 122.

そして、上記イメージセンサ105にて得られる濃淡画像信号によって、第1の比較器110aにて各メモリマット部121…の明るさが比較されることにより、その明るさに差があるときには、該メモリマット部121に欠陥があると判断する一方、第2の比較器110bにて各メモリチップ120の周辺回路122…の明るさが比較されることにより、その明るさに差があるときには、該周辺回路122に欠陥があると判断するようになっている。   When the brightness of each memory mat section 121 is compared by the first comparator 110a based on the grayscale image signal obtained by the image sensor 105, if there is a difference in the brightness, the memory While it is determined that the mat portion 121 is defective, the brightness of the peripheral circuits 122 of each memory chip 120 is compared by the second comparator 110b. It is determined that the circuit 122 is defective.

しかしながら、上記イメージセンサ105にて得られる濃淡画像信号は、上記暗いメモリマット部121と明るい周辺回路122とが混在したものからなっているにも関わらず同一の検出感度にて欠陥判断をしており、両方に対して適切な検出感度とはなっていない。この結果、誤判断が生じ易いという問題を有している。   However, the grayscale image signal obtained by the image sensor 105 makes a defect determination with the same detection sensitivity even though the dark memory mat portion 121 and the bright peripheral circuit 122 are mixed. Therefore, the detection sensitivity is not appropriate for both. As a result, there is a problem that erroneous determination is likely to occur.

そこで、該特許文献2に開示する被検査パターンの欠陥検査方法では、階調変換部111aにて暗いメモリマット部121の階調を高くするよう変換すると共に、階調変換部111bにて明るい周辺回路122の階調を低くするよう変換する。これにより、メモリマット部121の階調と周辺回路122の階調とを略同じ階調で欠陥判断するようにしている。   Therefore, in the defect inspection method for the pattern to be inspected disclosed in Patent Document 2, the gradation conversion unit 111a converts the dark memory mat unit 121 to increase the gradation, and the gradation conversion unit 111b performs a bright peripheral. Conversion is performed so that the gradation of the circuit 122 is lowered. As a result, the defect judgment is made with the gradation of the memory mat portion 121 and the gradation of the peripheral circuit 122 substantially the same gradation.

この結果、特許文献2では、明暗の混在した撮像対象領域に対して、検出画像信号を、全体として同じ明るさ及びコントラストとするので、欠陥の判定精度が向上するようになっている。
特開2006−343688号公報(2006年12月21日公開) 特開平8−320294号公報(1996年12月3日公開) 特開2001−204049号公報(2001年7月27日公開)
As a result, in Patent Document 2, since the detected image signal has the same brightness and contrast as a whole for an imaging target region in which light and dark are mixed, the defect determination accuracy is improved.
JP 2006-343688 A (published on December 21, 2006) JP-A-8-320294 (released on December 3, 1996) JP 2001-204049 A (released on July 27, 2001)

ところで、液晶パネルの回路不良や異物の混入等を原因とする液晶パネルの欠陥は、特定の表示モードでのみ顕在化する場合が多いため、点灯検査は複数の表示モードを液晶パネル上に表示しながら検査を行う必要がある。   By the way, since defects in the liquid crystal panel due to liquid crystal panel circuit defects or contamination of foreign matter are often manifested only in a specific display mode, the lighting inspection displays a plurality of display modes on the liquid crystal panel. Inspection is necessary.

例えば、特許文献3では、図18に示すように、特定の階調パターンを複数回繰り返したような検査パターンが開示されている。この種の検査パターンでは、液晶パネルの画面に高階調と低階調とが繰り返されていることになる。   For example, Patent Document 3 discloses an inspection pattern in which a specific gradation pattern is repeated a plurality of times as shown in FIG. In this type of inspection pattern, high gradation and low gradation are repeated on the screen of the liquid crystal panel.

一方、ソースドライバの不良を検出するために、階調の段階的変化パターンを持った検査パターンを使用する場合もある。このような階調分布を持った表示パターンを自動検査する場合、1つの表示画面内で明るい領域と暗い領域が存在するため、どちらか一方の領域に撮像感度を合わせると画像上にハレーション領域が発生する一方、感度の低い領域が発生するといった問題がある。   On the other hand, in order to detect a defect in the source driver, an inspection pattern having a gradation step change pattern may be used. When automatically inspecting a display pattern having such a gradation distribution, there are a bright area and a dark area in one display screen. Therefore, if the imaging sensitivity is adjusted to one of the areas, a halation area is displayed on the image. On the other hand, there is a problem that a region with low sensitivity occurs.

特に、近年では、信号線の長さに起因する画素の保持電圧の低下を防ぎ、画面の輝度を均一化するために、ソースドライバを分割して、表示画面の上下領域を上下のソースドライバにて駆動させる場合がある。   In particular, in recent years, in order to prevent a decrease in the pixel holding voltage due to the length of the signal line and to make the screen brightness uniform, the source driver is divided so that the upper and lower areas of the display screen become upper and lower source drivers. May be driven.

このような液晶パネルにおいて、階調の段階的変化パターンを液晶パネルに表示させる場合、図17に示すように、黒→白の階調の段階的変化パターンが複数段となる表示モードにて欠陥検出を行う。したがって、液晶パネルの1画面に黒→白の階調の段階的変化パターンが複数繰り返されていることになる。   In such a liquid crystal panel, when a gradation change pattern of gradation is displayed on the liquid crystal panel, as shown in FIG. 17, a defect is caused in a display mode in which the gradation change pattern of black → white gradation has a plurality of stages. Perform detection. Therefore, a plurality of stepwise change patterns of black to white gradation are repeated on one screen of the liquid crystal panel.

しかしながら、上記特許文献1に開示された従来の液晶パネルの検査装置では、これらの検査パターンに対して、表示部全面の透過光量を一様に増大、減少させるため、暗領域を強調すると明領域がハレーション(飽和)を起こす一方、明領域を抑制すると暗領域の輝度が低下するという問題を有している。   However, in the conventional liquid crystal panel inspection apparatus disclosed in Patent Document 1, in order to uniformly increase or decrease the amount of transmitted light over the entire display unit with respect to these inspection patterns, a bright region is emphasized when the dark region is emphasized. Causes halation (saturation), but if the bright region is suppressed, the luminance of the dark region decreases.

また、特許文献2に開示された従来の被検査パターンの欠陥検査方法及びその装置において撮像領域に応じて検出画像信号の階調変換を行うだけでは、その前段階において、CCD受光素子のダイナミックレンジを超える明暗パターンを一度に撮像することができないという問題点を有している。   In addition, the conventional method for inspecting a defect in a pattern to be inspected in Patent Document 2 and the apparatus thereof only perform gradation conversion of a detected image signal in accordance with an imaging region, and in the preceding stage, the dynamic range of the CCD light-receiving element. However, it has a problem that it is impossible to image bright and dark patterns exceeding 1 at a time.

本発明は、上記従来の問題点に鑑みなされたものであって、その目的は、画面を分割駆動する表示パネルにおいて分割画面毎に階調が段階的変化パターンにて表示される検査パターンを撮像装置にて撮像して欠陥検査する場合に、ハレーション及び感度不足を生じることなく一度の撮像で検査を行い得る表示パネルの検査装置、表示パネルの検査方法、表示パネルの製造方法、プログラム及び記録媒体を提供することにある。   The present invention has been made in view of the above-described conventional problems, and an object of the present invention is to image a test pattern in which a gradation is displayed in a stepwise change pattern for each divided screen on a display panel that divides and drives the screen. Display panel inspection apparatus, display panel inspection method, display panel manufacturing method, program, and recording medium capable of performing inspection by single imaging without causing halation and lack of sensitivity when performing defect inspection by imaging with an apparatus Is to provide.

本発明の表示パネルの検査装置は、上記課題を解決するために、表示パネルの画面を撮像装置にて撮像して上記表示パネルの欠陥検査を行う表示パネルの検査装置において、上記表示パネルの画面を少なくとも一方向に複数に分割して互いに独立して同時駆動させる画面分割駆動手段と、上記表示パネルの各分割画面に、検査パターンとして階調の段階的変化パターンを表示させる検査パターン表示手段とが設けられていると共に、上記検査パターン表示手段は、上記表示パネルの各分割画面に表示される階調の段階的変化パターンを、分割画面毎に交互に昇順及び降順、又は降順及び昇順となるように配設する昇降順序配設手段を備えていることを特徴としている。   In order to solve the above-described problems, the display panel inspection apparatus of the present invention is a display panel inspection apparatus that performs image inspection of a display panel by imaging the display panel screen with an imaging device. Screen division driving means for dividing the image into a plurality of parts in at least one direction and simultaneously driving them independently from each other; and inspection pattern display means for displaying a gradation step change pattern as an inspection pattern on each divided screen of the display panel; In addition, the inspection pattern display means alternately displays the gradation step change patterns displayed on the divided screens of the display panel in ascending order and descending order, or descending order and ascending order for each divided screen. It is characterized by having an ascending / descending order arrangement means.

本発明の表示パネルの検査方法は、上記課題を解決するために、表示パネルの画面を撮像装置にて撮像して上記表示パネルの欠陥検査を行う表示パネルの検査方法において、上記表示パネルの画面を少なくとも一方向に複数に分割して互いに独立して同時駆動させる画面分割駆動工程と、上記表示パネルの各分割画面に、検査パターンとして階調の段階的変化パターンを表示させる検査パターン表示工程と、上記表示パネルの各分割画面に表示される階調の段階的変化パターンを、分割画面毎に交互に昇順及び降順、又は降順及び昇順となるように配設する昇降順序配設工程とを含むことを特徴としている。   In order to solve the above-described problem, the display panel inspection method of the present invention is a display panel inspection method in which a display panel image is picked up by an imaging device and a defect inspection of the display panel is performed. A screen division driving process in which a plurality of screens are divided into at least one direction and simultaneously driven independently from each other, and an inspection pattern display process for displaying a gradation step change pattern as an inspection pattern on each divided screen of the display panel; And an ascending / descending order arranging step of arranging the gradation step change pattern displayed on each divided screen of the display panel alternately in ascending order and descending order or descending order and ascending order for each divided screen. It is characterized by that.

本発明の表示パネルの製造方法は、上記課題を解決するために、前記記載の表示パネルの検査装置における撮像装置の対向位置に表示パネルを配置する工程と、上記表示パネルの検査装置における撮像装置の対向位置に配置された表示パネルを、前記記載の表示パネルの検査方法により、欠陥検査する工程とを含むことを特徴としている。   In order to solve the above problems, a method for manufacturing a display panel according to the present invention includes a step of disposing a display panel at a position opposite to an imaging device in the display panel inspection device described above, and an imaging device in the display panel inspection device. And the step of inspecting the display panel disposed at the opposite position by the above-described display panel inspection method.

上記の発明によれば、画面を少なくとも一方向に複数に分割して互いに独立して同時駆動させる表示パネルの画面を撮像装置にて撮像して表示パネルの欠陥検査を行う。そして、本発明では、表示パネルの各分割画面に検査パターンとして階調の段階的変化パターンを表示させる。   According to the above invention, the screen of the display panel that is divided into a plurality of screens in at least one direction and is driven simultaneously and independently is imaged by the imaging device, and the display panel is inspected for defects. In the present invention, a gradation step change pattern is displayed as an inspection pattern on each divided screen of the display panel.

この場合、従来では、表示パネルの各分割画面に表示される階調の段階的変化パターンは分割画面毎に同じ順序の繰り返しであった。そのため、撮像装置における分割画面の境界を含む撮像領域では、白表示部分と黒表示部分とが混在しているので、一度に両方を満たす感度調整ができず、白表示部分ではハレーションを生じ、黒表示部分では感度不足を生じることになっていた。   In this case, conventionally, the gradation step change pattern displayed on each divided screen of the display panel is repeated in the same order for each divided screen. For this reason, in the imaging area including the boundary of the divided screen in the imaging device, since the white display portion and the black display portion are mixed, sensitivity adjustment that satisfies both of them cannot be performed at once, and halation occurs in the white display portion. Insufficient sensitivity was supposed to occur in the display area.

これに対して、本発明では、検査パターン表示手段は、表示パネルの各分割画面に表示される階調の段階的変化パターンを、分割画面毎に交互に昇順及び降順、又は降順及び昇順となるように配設する昇降順序配設手段を備えている。   On the other hand, in the present invention, the inspection pattern display means displays the gradation step change pattern displayed on each divided screen of the display panel alternately in ascending order and descending order or descending order and ascending order for each divided screen. Ascending / descending order arranging means is arranged.

この結果、撮像装置における分割画面の境界を含む撮像領域を、白表示部分又は黒表示部分とすることが可能となる。   As a result, the imaging region including the boundary of the divided screen in the imaging device can be set as a white display portion or a black display portion.

したがって、画面を分割駆動する表示パネルにおいて分割画面毎に階調が段階的変化パターンにて表示される検査パターンを撮像装置にて撮像して欠陥検査する場合に、ハレーション及び感度不足を生じることなく一度の撮像で検査を行い得る表示パネルの検査装置、表示パネルの検査方法、表示パネルの製造方法を提供することができる。   Therefore, in a display panel that divides and drives the screen, when an inspection pattern in which gradation is displayed in a stepwise change pattern for each divided screen is imaged by the imaging device and defect inspection is performed, halation and lack of sensitivity do not occur. It is possible to provide a display panel inspection apparatus, a display panel inspection method, and a display panel manufacturing method capable of performing inspection with a single imaging.

また、本発明の表示パネルの検査装置では、前記検査パターン表示手段は、画面分割数を含む機種情報を入力する機種情報手段と、予め設定された階調を表示する検査パターンの正信号データを取得する正信号データ取得手段と、前記画面分割駆動手段に上記検査パターンを表示させる制御信号を出力する制御信号出力手段とを備えていると共に、前記昇降順序配設手段は、上記正信号データを反転した反転データを作成する反転データ作成手段と、上記制御信号出力手段が前記画面分割駆動手段に上記検査パターンを表示させる制御信号を出力するときに、上記正信号データ及び反転信号データを、表示パネルの分割画面毎に交互に出力するように切り替える正・反転信号データ切替手段とを備えていることが好ましい。   In the display panel inspection apparatus of the present invention, the inspection pattern display means includes model information means for inputting model information including the number of screen divisions, and positive signal data of an inspection pattern for displaying a preset gradation. A positive signal data acquiring means for acquiring, and a control signal output means for outputting a control signal for displaying the inspection pattern on the screen division driving means, and the ascending / descending order arranging means includes the positive signal data. When the inverted data generating means for generating inverted inverted data and the control signal output means output a control signal for causing the screen division driving means to display the inspection pattern, the positive signal data and the inverted signal data are displayed. It is preferable to include a normal / inverted signal data switching means for switching so as to alternately output every divided screen of the panel.

これにより、具体的に、表示パネルの各分割画面に表示される階調の段階的変化パターンを、分割画面毎に交互に昇順及び降順、又は降順及び昇順となるように配設することができる。   Thereby, specifically, the gradation step change pattern displayed on each divided screen of the display panel can be arranged so as to be alternately in ascending order and descending order, or descending order and ascending order for each divided screen. .

また、本発明の表示パネルの検査装置では、前記撮像装置は、階調の段階的変化パターンにおける階調変化方向に沿う複数の撮像素子毎に感度調整を行う感度調整手段を備えていることが好ましい。   In the display panel inspection apparatus of the present invention, the imaging device includes a sensitivity adjustment unit that performs sensitivity adjustment for each of a plurality of imaging elements along a gradation change direction in a gradation stepwise change pattern. preferable.

これにより、撮像装置の感度調整手段は、階調の段階的変化パターンにおける階調変化方向に沿う複数の撮像素子毎に感度調整を行うので、階調に適した感度を得ることができる。したがって、ハレーション及び感度不足を生じることなく検査を行うことができる。   Thus, the sensitivity adjustment unit of the imaging apparatus performs sensitivity adjustment for each of the plurality of image pickup elements along the gradation change direction in the gradation step change pattern, so that sensitivity suitable for gradation can be obtained. Therefore, inspection can be performed without causing halation and insufficient sensitivity.

また、本発明の表示パネルの検査装置では、前記撮像装置は、TDIセンサ型カメラからなっていることが好ましい。   In the display panel inspection apparatus of the present invention, it is preferable that the imaging device is composed of a TDI sensor type camera.

上記TDIセンサ型カメラは走査型のカメラであり、走査速度と露光周期とを合わせることにより、幅の長い表示パネルであっても、均一かつ精度の高い撮像画像を一度の走査で得ることができる。   The TDI sensor type camera is a scanning camera, and by combining the scanning speed and the exposure cycle, a uniform and highly accurate captured image can be obtained by a single scan even for a wide display panel. .

また、本発明の表示パネルの検査装置では、前記表示パネルを背後から照射する複数の光源を有し、かつ各光源の上記表示パネルへの照射光量を増減制御する照射手段と、前記階調が高い表示領域ほど上記光源の表示パネルへの照射光量を小さくすると共に、上記階調が低い表示領域ほど上記光源の表示パネルへの照射光量を大きくするように上記照射手段を制御する光量制御手段とを備えていることが好ましい。   In the display panel inspection apparatus of the present invention, there are a plurality of light sources that irradiate the display panel from behind, and an irradiation unit that controls increase / decrease of the amount of light applied to the display panel of each light source, and the gradation is A light amount control means for controlling the irradiation means so that the higher the display area, the smaller the irradiation light amount of the light source to the display panel, and the lower the gradation, the larger the irradiation light amount of the light source to the display panel; It is preferable to provide.

従来、全面白表示の検査パターンによる検査において、バックライトの輝度が大きい場合には黒点が目立たなくなり、欠陥の発見が困難となると共に、全面黒表示の検査パターンによる検査において、バックライトの輝度が小さい場合には輝点が目立たなくなり、欠陥の発見が困難となっていた。   Conventionally, in the inspection with the entire white display inspection pattern, when the backlight luminance is high, the black spot becomes inconspicuous, making it difficult to find the defect, and in the inspection with the entire black display inspection pattern, the backlight luminance is high. When it was small, the bright spot was not noticeable, and it was difficult to find defects.

そこで、例えば特許文献1に開示する表示パネルの検査方法では、例えば、全面黒表示の検査パターンにおける輝点欠陥検査時にはバックライト全体の強度を上げることによって輝点の背景に対する相対強度を上げる等により、複数の表示モード及び検査の目的に適したバックライト強度の制御を行っていた。   Thus, for example, in the display panel inspection method disclosed in Patent Document 1, for example, by increasing the intensity of the entire backlight to increase the relative intensity of the luminescent spots with respect to the background during the luminescent spot defect inspection in the entire black display inspection pattern. Control of backlight intensity suitable for a plurality of display modes and inspection purposes has been performed.

しかし、検査パターンには、種々のものがあり、例えば、階調の段階的変化パターンを用いた検査パターンにおいては、上記特許文献1によるバックライト全体の強度を増減する方法では、撮像装置の適正感度に合わすことができない。   However, there are various inspection patterns. For example, in the inspection pattern using the gradation step change pattern, the method of increasing or decreasing the intensity of the entire backlight according to Patent Document 1 is appropriate for the imaging device. Cannot match the sensitivity.

そこで、本発明では、照射手段は、表示パネルを背後から照射する複数の光源を有し、かつ各光源の上記表示パネルへの照射光量を増減制御すると共に、光量制御手段は、階調が高い表示領域ほど光源の表示パネルへの照射光量を小さくすると共に、階調が低い表示領域ほど上記光源の表示パネルへの照射光量を大きくするように上記照射手段を制御する。   Therefore, in the present invention, the irradiating means has a plurality of light sources that irradiate the display panel from behind, and controls the increase and decrease of the amount of light irradiated to the display panel of each light source, and the light quantity control means has a high gradation. The irradiation means is controlled so that the amount of light applied to the display panel of the light source is reduced as the display area is reduced, and the amount of light applied to the display panel of the light source is increased as the display area is lower in gradation.

したがって、2種類以上の異なる階調の表示領域を同時に有する検査パターンを有する場合において、表示領域毎の欠陥を高精度に検出することができる。   Therefore, in the case of having an inspection pattern having two or more types of display areas with different gradations simultaneously, it is possible to detect a defect for each display area with high accuracy.

ところで、本発明において、画面を少なくとも一方向に複数に分割して互いに独立して同時駆動させる表示パネルの画面を撮像装置にて撮像して表示パネルの欠陥検査を行うときに、表示パネルの各分割画面に検査パターンとして階調の段階的変化パターンを表示させる場合には、問題が生じる。   By the way, in the present invention, when the screen of the display panel that is divided into a plurality of screens in at least one direction and is simultaneously driven independently is imaged by the imaging device and the display panel is inspected for defects, A problem arises when a gradational change pattern of gradation is displayed as an inspection pattern on a divided screen.

すなわち、従来では、表示パネルの各分割画面に表示される階調の段階的変化パターンは分割画面毎に同じ順序の繰り返しであった。そのため、撮像装置における分割画面の境界を含む撮像領域では、白表示部分と黒表示部分とが混在しているので、一度に両方を満たす光量調整ができなかった。   That is, conventionally, the gradation step change pattern displayed on each divided screen of the display panel is repeated in the same order for each divided screen. For this reason, in the imaging region including the boundary of the divided screen in the imaging device, the white display portion and the black display portion are mixed, and thus it is not possible to adjust the amount of light satisfying both at once.

これに対して、本発明では、検査パターン表示手段は、表示パネルの各分割画面に表示される階調の段階的変化パターンを、分割画面毎に交互に昇順及び降順、又は降順及び昇順となるように配設する昇降順序配設手段を備えている。   On the other hand, in the present invention, the inspection pattern display means displays the gradation step change pattern displayed on each divided screen of the display panel alternately in ascending order and descending order or descending order and ascending order for each divided screen. Ascending / descending order arranging means is arranged.

この結果、分割画面の境界を含む撮像領域を、白表示部分又は黒表示部分とすることが可能となる。   As a result, the imaging area including the boundary of the divided screen can be a white display portion or a black display portion.

したがって、分割画面の境界を含む撮像領域における白表示部分又は黒表示部分を照射する照射手段を適切に光量調整することができる。   Therefore, it is possible to appropriately adjust the light amount of the irradiation unit that irradiates the white display portion or the black display portion in the imaging region including the boundary of the divided screen.

また、本発明の表示パネルの検査装置では、前記光源は、蛍光管からなると共に、前記光量制御手段は、蛍光管の前記表示パネルへの照射光量を制御することが好ましい。   In the display panel inspection apparatus of the present invention, it is preferable that the light source is a fluorescent tube, and the light amount control means controls the amount of light applied to the display panel of the fluorescent tube.

これにより、光源は蛍光管からなるので、例えば、液晶パネルの光源として一般的な蛍光管を用いる場合に、表示パネルに、少なくとも2種類以上の異なる階調の表示領域を同時に有する検査パターンを有する場合において、表示領域毎の欠陥を高精度に検出することが可能となる。   Accordingly, since the light source is made of a fluorescent tube, for example, when a general fluorescent tube is used as a light source of a liquid crystal panel, the display panel has a test pattern having at least two types of display areas with different gradations simultaneously. In some cases, it is possible to detect a defect for each display region with high accuracy.

また、本発明の表示パネルの検査装置では、前記光源は、発光素子からなると共に、前記光量制御手段は、上記発光素子の前記表示パネルへの照射光量を制御することが好ましい。   In the display panel inspection apparatus of the present invention, it is preferable that the light source includes a light emitting element, and the light amount control unit controls the amount of light applied to the display panel by the light emitting element.

これにより、光源は、発光素子からなるので、近年、表示パネルの光源として用いられるようになってきた発光素子を用いる場合に、表示パネルに、少なくとも2種類以上の異なる階調の表示領域を同時に有する検査パターンを有する場合において、表示領域毎の欠陥を高精度に検出することができる。   Accordingly, since the light source is composed of a light emitting element, when using a light emitting element that has recently been used as a light source of a display panel, at least two types of display areas having different gradations are simultaneously provided on the display panel. In the case of having the inspection pattern, it is possible to detect the defect for each display region with high accuracy.

また、本発明の表示パネルの検査装置では、前記表示パネルを撮像装置の対向位置に搬送配置する搬送手段を備えていることが好ましい。   In the display panel inspection apparatus of the present invention, it is preferable that the display panel inspection apparatus further includes a transport unit that transports and arranges the display panel at a position facing the imaging apparatus.

これにより、表示パネルと撮像装置及びその他の構成要素とを分離することが可能である。したがって、表示パネル以外の構成要素を固定し、表示パネルを順次交換しながら検査を行うことができる。   Accordingly, it is possible to separate the display panel from the imaging device and other components. Therefore, it is possible to perform inspection while fixing components other than the display panel and sequentially replacing the display panel.

なお、上記表示パネルの検査装置は、コンピュータによって実現してもよく、この場合には、コンピュータを上記各手段として動作させることにより上記表示パネルの検査装置をコンピュータにて実現させる表示パネルの検査装置の検査プログラム、及びそれを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体も、本発明の範疇に入る。   The display panel inspection apparatus may be realized by a computer. In this case, the display panel inspection apparatus is realized by the computer by causing the computer to operate as the above-described means. The inspection program and a computer-readable recording medium recording the inspection program also fall within the scope of the present invention.

本発明の表示パネルの検査装置は、以上のように、表示パネルの画面を少なくとも一方向に複数に分割して互いに独立して同時駆動させる画面分割駆動手段と、上記表示パネルの各分割画面に、検査パターンとして階調の段階的変化パターンを表示させる検査パターン表示手段とが設けられていると共に、上記検査パターン表示手段は、上記表示パネルの各分割画面に表示される階調の段階的変化パターンを、分割画面毎に交互に昇順及び降順、又は降順及び昇順となるように配設する昇降順序配設手段を備えているものである。   As described above, the display panel inspection apparatus of the present invention divides the screen of the display panel into a plurality of screens in at least one direction and simultaneously drives them independently of each other, and each of the divided screens of the display panel. And an inspection pattern display means for displaying a gradation step change pattern as the inspection pattern, and the inspection pattern display means includes a gradation change displayed on each divided screen of the display panel. Ascending / descending order arranging means for arranging the patterns alternately in ascending order and descending order or descending order and ascending order for each divided screen is provided.

また、本発明の表示パネルの検査方法は、以上のように、表示パネルの画面を少なくとも一方向に複数に分割して互いに独立して同時駆動させる画面分割駆動工程と、上記表示パネルの各分割画面に、検査パターンとして階調の段階的変化パターンを表示させる検査パターン表示工程と、上記表示パネルの各分割画面に表示される階調の段階的変化パターンを、分割画面毎に交互に昇順及び降順、又は降順及び昇順となるように配設する昇降順序配設工程とを含む方法である。   In addition, as described above, the display panel inspection method of the present invention divides the screen of the display panel into a plurality of screens in at least one direction and simultaneously drives them independently of each other, and each of the divisions of the display panel. An inspection pattern display step for displaying a gradation step change pattern as an inspection pattern on the screen, and a gradation step change pattern displayed on each divided screen of the display panel are alternately arranged in ascending order for each divided screen. And an ascending / descending order arranging step of arranging in descending order or descending order and ascending order.

また、本発明の表示パネルの製造方法は、以上のように、前記記載の表示パネルの検査装置における撮像装置の対向位置に表示パネルを配置する工程と、上記表示パネルの検査装置における撮像装置の対向位置に配置された表示パネルを、前記記載の表示パネルの検査方法により、欠陥検査する工程とを含む方法である。   In addition, as described above, the method for manufacturing a display panel according to the present invention includes the step of disposing the display panel at a position opposite to the imaging device in the display panel inspection device described above, and the imaging device in the display panel inspection device. And a step of inspecting the display panel disposed at the opposing position by the above-described display panel inspection method.

それゆえ、画面を分割駆動する表示パネルにおいて分割画面毎に階調が段階的変化パターンにて表示される検査パターンを撮像装置にて撮像して欠陥検査する場合に、ハレーション及び感度不足を生じることなく一度の撮像で検査を行い得る表示パネルの検査装置、表示パネルの検査方法、表示パネルの製造方法を提供することができるという効果を奏する。   Therefore, in a display panel that divides and drives the screen, when the inspection pattern in which the gradation is displayed in a step-change pattern for each divided screen is imaged by the imaging device and defect inspection is performed, halation and insufficient sensitivity occur. There is an effect that it is possible to provide a display panel inspection apparatus, a display panel inspection method, and a display panel manufacturing method capable of performing inspection with a single imaging.

本発明の一実施形態について図1ないし図15に基づいて説明すれば、以下の通りである。   An embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 to 15 as follows.

本実施の形態の表示パネルとしての液晶パネルの検査を行うための検査装置としての液晶パネル検査装置の構成を図2に基づいて説明する。図2は、上記液晶パネル検査装置10の構成を示すブロック図である。   A configuration of a liquid crystal panel inspection apparatus as an inspection apparatus for inspecting a liquid crystal panel as a display panel of the present embodiment will be described with reference to FIG. FIG. 2 is a block diagram showing a configuration of the liquid crystal panel inspection apparatus 10.

上記液晶パネル検査装置10は、図2に示すように、検査対象である例えば透過型の液晶パネル11に背面から光を照射させる例えば5本の光源としての蛍光管1aとこの蛍光管1aの光を拡散させる拡散板1bとからなる照射手段としてのバックライトユニット1と、上記バックライトユニット1の点灯を制御する光量制御手段としてのバックライト制御装置2と、上記液晶パネル11の点灯を制御する検査パターン表示手段としての液晶パネル点灯信号発生装置20と、液晶パネル11を正面から撮像する撮像装置としてのカメラ3と、上記カメラ3の走査ステージ4と、上記カメラ3にて撮像した液晶パネル11の像を画像処理する画像処理装置5と、検査制御装置30と、搬送手段としての図示しない搬送コンベアと、工場情報系との図示しない通信装置とを備えている。   As shown in FIG. 2, the liquid crystal panel inspection apparatus 10 includes, for example, a fluorescent tube 1a as five light sources for irradiating light, for example, to a transmissive liquid crystal panel 11 to be inspected, and light from the fluorescent tube 1a. A backlight unit 1 as an irradiating means comprising a diffusion plate 1b for diffusing light, a backlight control device 2 as a light quantity control means for controlling lighting of the backlight unit 1, and lighting of the liquid crystal panel 11. A liquid crystal panel lighting signal generator 20 as an inspection pattern display means, a camera 3 as an imaging device for imaging the liquid crystal panel 11 from the front, a scanning stage 4 of the camera 3, and a liquid crystal panel 11 captured by the camera 3 An image processing device 5 that performs image processing on the image of the image, an inspection control device 30, a transport conveyor (not shown) as transport means, a factory information system, And a not-shown communication device.

上記検査制御装置30は、液晶パネル検査装置10全体を制御するものであり、搬送コンベア又は工場情報系からの検査要求に対して、検査準備を開始し、検査対象となる機種情報の取得、検査レシピの設定、カメラ撮像条件の設定、及び検査を行う検査パターンの表示を行うために、上記バックライト制御装置2、液晶パネル点灯信号発生装置20、カメラ3の撮像条件の設定、カメラ3の走査ステージ4上での駆動、及び画像処理装置5を制御する。   The inspection control device 30 controls the entire liquid crystal panel inspection device 10, and starts preparation for inspection in response to an inspection request from a transport conveyor or a factory information system, and acquires and inspects model information to be inspected. In order to perform recipe setting, camera imaging condition setting, and inspection pattern display for inspection, the backlight control device 2, liquid crystal panel lighting signal generator 20, camera 3 imaging condition setting, and camera 3 scanning are performed. The drive on the stage 4 and the image processing apparatus 5 are controlled.

本実施の形態では、上記液晶パネル検査装置10は、検査対象である液晶パネル11とは独立して設けられており、製造装置の一部として固定されている。そして、液晶パネル11は、例えば搬送コンベアによる搬送ライン上を移動して順次液晶パネル検査装置10におけるカメラ3の対向位置及びバックライトユニット1の前面位置に設置されるようになっている。   In the present embodiment, the liquid crystal panel inspection apparatus 10 is provided independently of the liquid crystal panel 11 to be inspected, and is fixed as a part of the manufacturing apparatus. And the liquid crystal panel 11 moves on the conveyance line by a conveyance conveyor, for example, and is sequentially installed in the opposing position of the camera 3 in the liquid crystal panel test | inspection apparatus 10, and the front surface position of the backlight unit 1. FIG.

上記液晶パネル11は、画面としての表示画面11a、額縁11b、図示しない配線接続部及び各ドライバ基板等からなっている。   The liquid crystal panel 11 includes a display screen 11a as a screen, a frame 11b, a wiring connection portion (not shown), and driver boards.

本実施の形態では、高速駆動を行うために、ソースドライバを分割構造として分割駆動するようになっている。   In this embodiment, in order to perform high-speed driving, the source driver is dividedly driven as a divided structure.

したがって、本実施の形態では、液晶パネル11の表示画面11aは上下に複数分割としての例えば2分割されていると共に、液晶パネル11の額縁11bには、図1に示すように、階調を制御する2つのソースドライバ12a・12bが設けられている。ソースドライバ12aは、例えば、液晶パネル11の上側(図2において紙面上側)の額縁11bに設けられていると共に、ソースドライバ12bは液晶パネル11の下側(図2において紙面下側)の額縁11bに設けられている。なお、本実施の形態では、説明を簡単にするために液晶パネル11は上下方向において2分割されているが、必ずしもこれに限らず、3分割、4分割…等のより多くの分割数に分割されていてもよい。また、本実施の形態では、上下方向に分割されているが、必ずしもこれに限らず、左右方向に分割されていてもよい。さらに、上下分割と左右分割とが組み合わされていてもよい。   Therefore, in the present embodiment, the display screen 11a of the liquid crystal panel 11 is divided into, for example, two parts in the vertical direction, and the gradation is controlled on the frame 11b of the liquid crystal panel 11 as shown in FIG. Two source drivers 12a and 12b are provided. For example, the source driver 12a is provided on the frame 11b on the upper side (the upper side in FIG. 2) of the liquid crystal panel 11, and the source driver 12b is provided on the frame 11b on the lower side (the lower side in FIG. 2) of the liquid crystal panel 11. Is provided. In the present embodiment, the liquid crystal panel 11 is divided into two parts in the vertical direction for the sake of simplicity. However, the liquid crystal panel 11 is not necessarily limited to this, and is divided into a larger number of divisions such as three parts, four parts, etc. May be. In the present embodiment, although it is divided in the vertical direction, it is not necessarily limited thereto, and may be divided in the horizontal direction. Furthermore, the vertical division and the horizontal division may be combined.

また、液晶パネル11の例えば左側(図2において紙面左側)の額縁11bには、走査線を制御するゲートドライバ13が設けられている。本発明では、上記ソースドライバ12a・12b及びゲートドライバ13は、画面分割駆動手段としての機能を有している。   A gate driver 13 for controlling the scanning lines is provided on the frame 11b on the left side of the liquid crystal panel 11, for example (left side in FIG. 2). In the present invention, the source drivers 12a and 12b and the gate driver 13 have a function as screen division driving means.

なお、本実施の形態では、後述するように、ソースドライバ12a・12b及びゲートドライバ13を制御するコントロール回路である制御回路26を上記液晶パネル点灯信号発生装置20に設けている。ただし、必ずしもこれに限らず、ソースドライバ12a・12b及びゲートドライバ13を制御するコントロール回路を液晶パネル11に含んでいてもよい。   In the present embodiment, as will be described later, the liquid crystal panel lighting signal generator 20 is provided with a control circuit 26 that is a control circuit for controlling the source drivers 12a and 12b and the gate driver 13. However, the present invention is not necessarily limited to this, and the liquid crystal panel 11 may include a control circuit for controlling the source drivers 12a and 12b and the gate driver 13.

また、液晶パネル11には、製品となるときに必要となるバックライトは含まれていない。   Further, the liquid crystal panel 11 does not include a backlight that is necessary when the product is a product.

上記の液晶パネル検査装置10に設置された液晶パネル11に対しては、背面からバックライトユニット1における独立に輝度を制御可能な5本の蛍光管1aにて光を照射させ、この光を拡散板1bにて拡散させて液晶パネル11に入光させる。次いで、液晶パネル11の透過光を、この液晶パネル11の正面に設置したカメラ3によって観測する。   The liquid crystal panel 11 installed in the liquid crystal panel inspection apparatus 10 is irradiated with light from the back through five fluorescent tubes 1a whose brightness can be controlled independently in the backlight unit 1, and diffuses this light. The light is diffused by the plate 1 b to enter the liquid crystal panel 11. Next, the transmitted light of the liquid crystal panel 11 is observed by the camera 3 installed in front of the liquid crystal panel 11.

上記カメラ3は、検査制御装置30により制御されており、カメラ3によって液晶パネル11の正面から撮像した検査用画像は、画像処理装置5によって画像処理され、濃淡比較を行うことによって、欠陥の判別が行われる。   The camera 3 is controlled by the inspection control device 30, and the inspection image captured from the front of the liquid crystal panel 11 by the camera 3 is image-processed by the image processing device 5 and is subjected to density comparison, thereby determining defects. Is done.

本実施の形態では、上記のカメラ3は、TDI(Time Drey Integrated)機能を有する走査型のTDIセンサ型カメラにてなっており、図3に示すように、1×m個(mは自然数)のフォトダイオードからなる受光素子である撮像素子3aで構成されたラインセンサを備えていると共に、撮像素子3aの電荷を、n個(nは、n≦mを満たす自然数)の撮像素子3a毎に増幅する感度調整手段としてのアンプ部3bを備えている。上記TDI機能を有するラインセンサは、数10ラインのラインセンサからなっており、走査速度を露光周期に合わせることによって1露光周期当たり液晶パネル11の縦1列〜縦複数列のピクセル(pixel)を撮像することができる。   In the present embodiment, the camera 3 is a scanning TDI sensor type camera having a TDI (Time Drey Integrated) function, and as shown in FIG. 3, 1 × m (m is a natural number). And a line sensor composed of an image sensor 3a, which is a light receiving element made of a photodiode, and the image sensor 3a has n charges (n is a natural number satisfying n ≦ m) for each image sensor 3a. An amplifier unit 3b is provided as sensitivity adjustment means for amplification. The line sensor having the TDI function is composed of several tens of line sensors. By adjusting the scanning speed to the exposure period, pixels of one column to a plurality of columns of the liquid crystal panel 11 per exposure cycle can be obtained. An image can be taken.

そして、各アンプ部3bを制御することにより、上記表示画面11aの階調の段階的変化パターンの変化方向と垂直な方向に複数の撮像素子3aの領域毎に感度調整であるゲイン調整が可能となる。したがって、このアンプ部3bのアンプ1〜アンプnにおけるnが例えば16の場合には、後述する図12(b)に示すように、走査方向に互いに平行な撮像領域TAP1〜TAP16毎にゲイン調整が可能となる。   By controlling each amplifier unit 3b, it is possible to perform gain adjustment, which is sensitivity adjustment, for each region of the plurality of image pickup devices 3a in a direction perpendicular to the change direction of the gradation step change pattern of the display screen 11a. Become. Therefore, when n in the amplifier 1 to the amplifier n of the amplifier unit 3b is 16, for example, gain adjustment is performed for each of the imaging regions TAP1 to TAP16 parallel to the scanning direction as shown in FIG. It becomes possible.

なお、各撮像領域TAP1〜TAP16は、階調の段階的変化パターンにおける各段階と対応している必要はない。例えば、後述する図11に示すように、撮像領域TAP1〜TAP16(アンプ1〜アンプ16)は16個であるが、段階的変化パターン数の方が多い状態となっている(例えば8bit、256階調)。また、隣り合う段階的変化の差が1つのアンプnで調整できる範囲であれば、段階的変化の境界部分に1つのアンプnが跨っていても構わない。   Each imaging region TAP1 to TAP16 does not need to correspond to each stage in the gradation step change pattern. For example, as shown in FIG. 11 to be described later, there are 16 imaging regions TAP1 to TAP16 (amplifier 1 to amplifier 16), but the number of stepwise change patterns is larger (for example, 8 bits, 256 floors). Key). Further, as long as the difference between adjacent step changes can be adjusted by one amplifier n, one amplifier n may straddle the boundary portion of the step changes.

この走査型のTDIセンサ型カメラは、一般に、検査対象物に光量の濃淡が存在すると高光量領域でハレーション(飽和)或いは低光量領域で感度不足が発生する可能性がある。この場合にも、本実施の形態では、検査パターンの表示方法の変更することによって、及び独立に輝度を制御可能な5本の蛍光管1aを備えたバックライトユニット1にてハレーション及び感度不足領域の光量を制御することによって、検査対象物全域で高感度の検査を行うことができる。   In this scanning type TDI sensor type camera, generally, there is a possibility that halation (saturation) occurs in a high light amount region or insufficient sensitivity occurs in a low light amount region when the light intensity of the inspection target exists. Also in this case, in the present embodiment, the halation and lack of sensitivity regions are obtained in the backlight unit 1 including the five fluorescent tubes 1a that can control the brightness independently by changing the inspection pattern display method. By controlling the amount of light, high-sensitivity inspection can be performed over the entire inspection object.

上記のバックライト制御装置2、液晶パネル点灯信号発生装置20及びカメラ3は、いずれも検査制御装置30によって同期を取りながら制御される。   The backlight control device 2, the liquid crystal panel lighting signal generation device 20, and the camera 3 are all controlled by the inspection control device 30 while being synchronized.

このような構成をとることにより、最終製品のバックライト仕様に関わりなく液晶パネル11の欠陥検査を提供できるようになる。   By adopting such a configuration, it becomes possible to provide a defect inspection of the liquid crystal panel 11 regardless of the backlight specification of the final product.

ここで、検査に際して、欠陥原因を求めるためには、一般的に、液晶パネル11の表示画面11aに種々の表示パターンである検査パターンを表示させて行う。   Here, in order to obtain the cause of the defect at the time of inspection, generally, inspection patterns which are various display patterns are displayed on the display screen 11 a of the liquid crystal panel 11.

本実施の形態では、液晶パネル11の表示画面11aの表示は、液晶パネル点灯信号発生装置20によって制御することができるようになっている。   In the present embodiment, the display on the display screen 11 a of the liquid crystal panel 11 can be controlled by the liquid crystal panel lighting signal generator 20.

ところで、液晶パネル11の欠陥として、例えば、黒点、輝点等のドット画素欠陥、黒線、輝線等の線欠陥、又はシミ・ムラとしての現象が現れるが、これらの現象に対する欠陥原因は、一律ではなく種々のものがある。   By the way, as defects of the liquid crystal panel 11, for example, dot pixel defects such as black spots and bright spots, line defects such as black lines and bright lines, or phenomena such as spots / unevenness appear, but the cause of defects for these phenomena is uniform. There are various things.

例えば、微小な点欠陥は、例えば、液晶パネル11の表示素子を構成するTFT(Thin Film Transistor)の異常により、表示信号を与えて駆動した際に所望の輝度レベルよりも輝度の高い点が表示されたり、又は所望の輝度レベルよりも輝度の低い点が表示されたりして生じる。また、液晶層内、偏光板群とTFT基板との間、又は偏光板群とCF(Color Filter)基板との間の微小異物の存在により偏光状態が乱れて、同様に所望の輝度レベルよりも輝度の高い点又は輝度の低い点が表示されることがある。なお、カラーの液晶パネル11における1つの絵素は一般的に3つのドットから構成され、これらのドットは1つの絵素内に赤(R)ドット、緑(G)ドット及び青(B)ドットの3色を持つ。また、本実施の形態の説明に関しては、赤(R)ドット、緑(G)ドット及び青(B)ドットの図示は省略するが、本発明の適用対象パネルを制限するものではない。   For example, a minute point defect is a point having a luminance higher than a desired luminance level when driven by giving a display signal due to abnormality of a TFT (Thin Film Transistor) constituting the display element of the liquid crystal panel 11, for example. Or a point having a luminance lower than a desired luminance level is displayed. In addition, the polarization state is disturbed by the presence of minute foreign matter in the liquid crystal layer, between the polarizing plate group and the TFT substrate, or between the polarizing plate group and the CF (Color Filter) substrate, and the level is similarly lower than the desired luminance level. A point with high luminance or a point with low luminance may be displayed. Note that one picture element in the color liquid crystal panel 11 is generally composed of three dots, and these dots are red (R) dots, green (G) dots, and blue (B) dots in one picture element. It has three colors. Regarding the description of the present embodiment, illustration of red (R) dots, green (G) dots and blue (B) dots is omitted, but the application target panel of the present invention is not limited.

次に、線欠陥は、前記TFTを駆動するドライバの異常や信号線の断線・ショート等により、同様に所望の輝度レベルよりも輝度の高い線、又は輝度の低い線が表示されるものである。   Next, line defects are those in which lines with higher or lower luminance than the desired luminance level are displayed due to abnormalities in the driver for driving the TFT or disconnection / short-circuiting of signal lines. .

シミ・ムラ等は、TFT基板及びCF基板の製造工程での薄膜の膜厚異常や、TFT基板とCF基板との間における液晶層のセルギャップの異常等により発生する。   Spots and unevenness occur due to an abnormality in the film thickness of the thin film in the manufacturing process of the TFT substrate and the CF substrate, an abnormality in the cell gap of the liquid crystal layer between the TFT substrate and the CF substrate, and the like.

上記液晶パネル11の検査を行うために液晶パネル11に表示される表示パターンである検査パターンについて、図4〜図8に基づいて詳述する。   An inspection pattern which is a display pattern displayed on the liquid crystal panel 11 in order to inspect the liquid crystal panel 11 will be described in detail with reference to FIGS.

例えば、図4(a)に示すように、全面白表示D1の検査パターンを表示させる。この全面白表示D1の検査パターンでは、例えばノーマリブラックモードにおいて、液晶パネル11の画素を例えば階調255の状態、つまり光透過量100%の透過状態となっており、そのときに、黒点が出現する場合には、そのドットが常時消灯状態であり、そのドットに欠陥が存在していることが把握できる。また、図4(a)において、黒線が出現する場合には、そのドット列が常時消灯状態であり、そのドット列にデータを供給するソースバスラインに欠陥が存在していることが把握できる。   For example, as shown in FIG. 4A, the entire white display D1 inspection pattern is displayed. In this entire white display D1 inspection pattern, for example, in the normally black mode, the pixels of the liquid crystal panel 11 are in a state of, for example, gradation 255, that is, a transmission state with a light transmission amount of 100%. When it appears, the dot is always in the off state, and it can be understood that the dot has a defect. Further, in FIG. 4A, when a black line appears, it can be understood that the dot row is always in the off state, and that there is a defect in the source bus line that supplies data to the dot row. .

同様に、図4(b)に示すように、全面黒表示D2の検査パターンにおいては、例えばノーマリブラックモードにおいて、液晶パネル11の全ドットを例えば階調0の状態、つまり光透過量0%の透過状態となっており、このときに、輝点が出現する場合には、そのドットが常時点灯状態であり、そのドットに欠陥が存在していることが把握できる。また、図4(b)において、輝線が出現する場合には、そのドット列が常時点灯状態であり、そのドット列にデータを供給するソースバスラインに欠陥が存在していることが把握できる。   Similarly, as shown in FIG. 4B, in the entire black display D2 inspection pattern, for example, in the normally black mode, all the dots on the liquid crystal panel 11 are in the state of, for example, gradation 0, that is, the light transmission amount is 0%. When a bright spot appears at this time, it can be grasped that the dot is always lit and a defect exists in the dot. Further, in FIG. 4B, when a bright line appears, it can be understood that the dot row is always lit and that a defect exists in the source bus line that supplies data to the dot row.

また、欠陥の原因として、例えば、液晶パネル11における縦方向の該当ドット以外のドットに電荷がかかっている場合に、配線のリークによって電荷が該ドットに流れ込むリーク欠陥がある。   In addition, as a cause of the defect, for example, when a charge is applied to a dot other than the corresponding dot in the vertical direction in the liquid crystal panel 11, there is a leak defect in which the charge flows into the dot due to the leakage of the wiring.

このようなリーク欠陥を発見するために、図5(a)(b)に示すように、液晶パネル11の半面を白表示し、液晶パネル11の残り半面を黒表示した白黒表示D3又は黒白表示D4にて検査を行う。   In order to find such a leak defect, as shown in FIGS. 5A and 5B, a monochrome display D3 or a black-and-white display in which half of the liquid crystal panel 11 is displayed in white and the remaining half of the liquid crystal panel 11 is displayed in black. Inspect at D4.

例えば、ソース(S)方向の電荷がドレイン(D)に漏出して発生するいわゆるSDリークの欠陥を発見するためには、図5(a)(b)に示すように、液晶パネル11の全ドットのソース(S)に例えば階調255の電圧を印加すると共に、液晶パネル11の表示を上下2分割し、ゲート(G)を半面毎にオフして検査を行う。   For example, in order to find a defect of so-called SD leak that occurs due to leakage of charge in the source (S) direction to the drain (D), as shown in FIGS. For example, a voltage of gradation 255 is applied to the dot source (S), and the display of the liquid crystal panel 11 is divided into two vertically and the inspection is performed with the gate (G) turned off for each half surface.

この検査パターンにおいて、ドットのソース(S)とドレイン(D)とが短絡している場合には、図5(a)(b)に示すように、黒表示の部分に輝点欠陥(当該255階調を示す明るさの輝点)が発生する。   In this inspection pattern, when the dot source (S) and drain (D) are short-circuited, as shown in FIGS. A bright spot indicating a gradation) is generated.

すなわち、ゲート(G)がオフとなっている半面黒表示において、ドットにSDリークが存在すると、ソース(S)電圧の電圧変化がドレイン(D)を介してそのままドットの電圧変化となる。したがって、ゲート(G)オフ期間における黒表示領域中に輝点欠陥が存在すれば、その欠陥は、SDリークの欠陥であることが把握できる。   That is, in the half-black display in which the gate (G) is off, if there is an SD leak in the dot, the voltage change of the source (S) voltage becomes the voltage change of the dot as it is via the drain (D). Therefore, if a bright spot defect exists in the black display region in the gate (G) off period, it can be understood that the defect is an SD leak defect.

なお、図5(a)(b)に示す白黒表示D3又は黒白表示D4にて検査を行う場合において、白黒表示D3における白表示部分の隅部は、液晶パネル11の位置合わせを行うときに、液晶パネル11の隅角が、所定位置と一致しているかの確認を行う必要がある。その場合に、白黒表示D3における白表示部分の隅部が明る過ぎると、該位置の確認が困難となる。したがって、白表示部分においては、液晶パネル11の隅角の位置合わせを行う場合においても、蛍光管1aの光量調整することによって、位置合わせを容易に行うことができるものとなる。   5A and 5B, when the inspection is performed in the monochrome display D3 or the black-and-white display D4, the corner of the white display portion in the monochrome display D3 is used when the liquid crystal panel 11 is aligned. It is necessary to check whether the corner angle of the liquid crystal panel 11 matches the predetermined position. In this case, if the corner of the white display portion in the monochrome display D3 is too bright, it is difficult to confirm the position. Therefore, in the white display portion, even when the alignment of the corners of the liquid crystal panel 11 is performed, the alignment can be easily performed by adjusting the light amount of the fluorescent tube 1a.

次に、ソースドライバの不具合により特定の階調表示が異常となる欠陥がある。このようなドライバ欠陥を発見するためには、例えば、図6に示すように、画面上辺から下辺にかけて階調の段階的変化パターン(グラデーション)をつけた全階調表示D5の検査パターンを表示させる。その結果、特定の階調でコントラストが目立つ線欠陥である特定階調線欠陥F1、又はドライバにおける特定のビットの動作不良によって生じる特定階調不良F2の線欠陥を発見することができる。例えば、最小階調0〜最大階調255の場合、8ビットで表される。このため、この8ビットのうちの1つのビットに欠陥があると、その欠陥ビットを用いる階調範囲で輝線欠陥が出現する。   Next, there is a defect that a specific gradation display becomes abnormal due to a defect of the source driver. In order to find such a driver defect, for example, as shown in FIG. 6, an inspection pattern of all gradation display D5 with gradation step change pattern (gradation) is displayed from the upper side to the lower side of the screen. . As a result, it is possible to find the line defect of the specific gradation line defect F1 which is a line defect having a conspicuous contrast at a specific gradation or the specific gradation defect F2 caused by the operation failure of a specific bit in the driver. For example, the minimum gradation 0 to the maximum gradation 255 are represented by 8 bits. For this reason, if one of the 8 bits is defective, a bright line defect appears in the gradation range using the defective bit.

簡単のため、階調表示数が3bit、かつソースバスラインと平行な方向の絵素数が8個の状態であり、液晶パネル11の上縁側から順に階調の段階的表示(昇順)を行う場合を例にとって、図7(a)〜(d)に基づいて説明する。   For simplicity, the number of gradation display is 3 bits, the number of picture elements in the direction parallel to the source bus line is 8, and the gradation display is performed in order from the upper edge side of the liquid crystal panel 11 (ascending order). Will be described with reference to FIGS. 7A to 7D.

ソースドライバが正常な場合、図7(a)に示すように、液晶パネル11の上縁側の絵素から順に階調0、1、2、3、・・・6、7と表示される。しかし、ソースドライバ内の不具合により、1bit目に異常があると、図7(b)のように表示される。同様に、2bit目、3bit目に異常がある場合を、図7(c)(d)に示す。したがって、このようなソースドライバの不具合により特定の階調表示が異常となる特定階調不良の検査を行うには、ソースバスラインと平行方向に階調分布として階調の段階的表示を行う。例えば、ソースバスラインと平行方向に1080ピクセル(pixel)の絵素に256階調の階調分布を表示させる場合、図8(a)(b)に示すように、1階調当たり例えば4絵素使用して階調の段階的変化パターンの表示を行う。   When the source driver is normal, gradations 0, 1, 2, 3,..., 6, 7 are displayed in order from the picture element on the upper edge side of the liquid crystal panel 11, as shown in FIG. However, if there is an abnormality in the first bit due to a defect in the source driver, it is displayed as shown in FIG. Similarly, a case where there is an abnormality in the second bit and the third bit is shown in FIGS. Therefore, in order to inspect a specific gradation defect in which a specific gradation display becomes abnormal due to such a defect of the source driver, gradation display is performed in gradation as a gradation distribution in a direction parallel to the source bus line. For example, when displaying a gradation distribution of 256 gradations on a picture element of 1080 pixels in the direction parallel to the source bus line, for example, 4 pictures per gradation, as shown in FIGS. The gradation stepwise change pattern is displayed using the element.

本実施の形態では、上述したように、液晶パネル11の表示パターンである検査パターンは簡易のために、全面白表示D1、全面黒表示D2、白黒表示D3、黒白表示D4、全階調表示D5の5パターンとしている。しかし、必ずしもこれに限らず、より多くの検査パターンを用いることができる。   In the present embodiment, as described above, the inspection pattern which is the display pattern of the liquid crystal panel 11 is for the sake of simplicity, the entire white display D1, the entire black display D2, the black and white display D3, the black and white display D4, and the all gradation display D5. 5 patterns. However, the present invention is not necessarily limited to this, and more inspection patterns can be used.

ところで、このような液晶パネル11の欠陥の発生により、人間の目視検査により、当該点欠陥及び線欠陥を認識することができるが、例えば全面白表示D1における黒点欠陥検査時において、バックライトユニット1における蛍光管1aの光量が一定である場合には、ドットは液晶パネル11に比べて微細であるので、見落とす可能性がある。また、逆に、全面黒表示D2における輝点欠陥検査時において、バックライトユニット1における蛍光管1aの光量が一定である場合にも、ドットは液晶パネル11に比べて微細であるので、見落とす可能性がある。   By the way, when such a defect occurs in the liquid crystal panel 11, the point defect and the line defect can be recognized by a human visual inspection. For example, when the black point defect inspection in the entire white display D1 is performed, the backlight unit 1 When the light quantity of the fluorescent tube 1a is constant, the dots are finer than the liquid crystal panel 11 and may be overlooked. On the other hand, even when the light intensity of the fluorescent tube 1a in the backlight unit 1 is constant during the bright spot defect inspection in the entire black display D2, the dots are finer than the liquid crystal panel 11 and can be overlooked. There is sex.

また、目視検査に限らず、カメラ3にて液晶パネル11の像を撮像するときにも、カメラ3には、明るさに対する感度に一定の範囲が存在するので、全面白表示D1における黒点等が写らない可能性がある。すなわち、検査員が目視で検査を行う場合は、人の目の光量調整機能により上記のようなパネル輝度の差があっても対応可能であるが、カメラ等の機械的手段を用いて検査を行う場合はダイナミックレンジの制限により、検査精度が向上する領域と検査精度が低下する領域とが混在することになる。   Further, not only for visual inspection but also when an image of the liquid crystal panel 11 is captured by the camera 3, since the camera 3 has a certain range of sensitivity to brightness, black spots or the like in the entire white display D1 are present. There is a possibility that it does not appear. In other words, when the inspector visually inspects, even if there is a difference in panel brightness as described above by the light amount adjustment function of the human eye, it can be handled, but the inspection is performed using mechanical means such as a camera. When performing, due to the limitation of the dynamic range, a region where the inspection accuracy is improved and a region where the inspection accuracy is lowered are mixed.

そこで、例えば、前記特許文献1では、全面黒表示D2においてはバックライトの強度を上げることによって輝点の背景に対する相対強度を上げ、全面白表示D1においてはバックライトの強度を下げることにより黒点の背景に対する相対強度を下げている。これにより、検査員が欠陥を発見するのを容易にしている。   Therefore, for example, in Patent Document 1, the relative intensity of the bright spot with respect to the background is increased by increasing the intensity of the backlight in the entire black display D2, and the intensity of the black dot is decreased by decreasing the intensity of the backlight in the entire white display D1. The relative strength with respect to the background is lowered. This makes it easy for inspectors to find defects.

しかしながら、本実施の形態のように、白黒表示D3、黒白表示D4及び全階調表示D5を行う場合には、バックライトユニット1の強度を上下しても全表示画面11aにおいては輝点又は黒点の背景に対する適切な相対強度を得ることができない。例えば、暗い領域を強調するために明るい領域がハレーションを起こす一方、その逆に、明るい領域を抑制するために暗い領域の輝度が低下するという問題点を有している。   However, when performing monochrome display D3, black-and-white display D4, and all gradation display D5 as in the present embodiment, even if the intensity of the backlight unit 1 is increased or decreased, bright spots or black spots are displayed on the entire display screen 11a. An appropriate relative intensity with respect to the background cannot be obtained. For example, a bright region causes halation to emphasize a dark region, and conversely, the luminance of a dark region decreases to suppress a bright region.

そこで、本実施の形態では、液晶パネル11の検査を行うときに、欠陥を出現させる検査パターンの濃淡を緩和するように検査パターンに対応した領域別に、バックライト制御装置2にて、バックライトユニット1における蛍光管1aの光量出力を制御するようになっている。すなわち、バックライトユニット1における複数としての例えば5本の蛍光管1aは、それぞれが出射光量を大きくしたり又は小さくしたりの個別制御ができるようになっている。なお、本実施の形態の液晶パネル検査装置10では、液晶パネル11の縦方向に5個の領域で個別に、蛍光管1aの制御が可能となっているが、これは検査対象である液晶パネル11のドライバが液晶パネル11の縦方向に共通であるためである。   Therefore, in the present embodiment, when the liquid crystal panel 11 is inspected, the backlight control device 2 uses the backlight unit 2 for each region corresponding to the inspection pattern so as to reduce the density of the inspection pattern that causes a defect to appear. 1 controls the light quantity output of the fluorescent tube 1a. That is, for example, five fluorescent tubes 1a as a plurality in the backlight unit 1 can individually control to increase or decrease the amount of emitted light. In the liquid crystal panel inspection apparatus 10 of the present embodiment, the fluorescent tube 1a can be individually controlled in five regions in the vertical direction of the liquid crystal panel 11, but this is the liquid crystal panel to be inspected. This is because 11 drivers are common in the vertical direction of the liquid crystal panel 11.

ここで、バックライト制御装置2は、液晶パネル11の光透過量が多い表示領域ほど蛍光管1aの出射光量を小さくすると共に、液晶パネル11の光透過量が少ない表示領域ほど蛍光管1aの出射光量を大きくするように、バックライトユニット1を制御するようになっている。   Here, the backlight control device 2 reduces the amount of light emitted from the fluorescent tube 1a in the display region where the light transmission amount of the liquid crystal panel 11 is large, and emits light from the fluorescent tube 1a in the display region where the light transmission amount of the liquid crystal panel 11 is small. The backlight unit 1 is controlled so as to increase the amount of light.

具体的には、図4(a)に示す全面白表示D1の場合には、図9(a)に示すように、全ての蛍光管1aの光量を例えば輝度50%にした点灯パターンLP1とする。すなわち、図4(a)に示す全面白表示D1では、蛍光管1aの光量は多くなくても、液晶パネル11の欠陥を認識できるので、図9(a)に示すように、蛍光管1aの輝度を小さく抑えることができる。   Specifically, in the case of the entire white display D1 shown in FIG. 4A, as shown in FIG. 9A, the lighting pattern LP1 in which the light quantity of all the fluorescent tubes 1a is set to, for example, 50% luminance. . That is, in the entire white display D1 shown in FIG. 4A, since the defect of the liquid crystal panel 11 can be recognized even if the light quantity of the fluorescent tube 1a is not large, as shown in FIG. The brightness can be kept small.

また、図4(b)に示す全面黒表示D2の場合には、図9(b)に示すように、全ての蛍光管1aの光量を例えば輝度100%にした点灯パターンLP2とする。すなわち、図4(b)に示す全面黒表示D2では、蛍光管1aの光量が多くなければ、液晶パネル11の欠陥の認識が困難となるので、図9(b)に示すように、蛍光管1aの輝度を例えば、最大限の100%にする。   Further, in the case of the entire black display D2 shown in FIG. 4B, as shown in FIG. 9B, the lighting pattern LP2 in which the light amounts of all the fluorescent tubes 1a are set to 100% luminance, for example, is used. That is, in the entire black display D2 shown in FIG. 4B, it is difficult to recognize defects in the liquid crystal panel 11 unless the light quantity of the fluorescent tube 1a is large. As shown in FIG. For example, the luminance of 1a is set to a maximum of 100%.

同様の考え方にて、図5(a)に示す白黒表示D3の場合には、図9(c)に示すように、白表示部位に近い領域1及び領域2の蛍光管1aの光量を例えば輝度50%とし、黒表示部位に近い領域3〜領域5の蛍光管1aの光量を例えば輝度100%とした点灯パターンLP3とする。図5(b)に示す黒白表示D4の場合には、図9(d)に示すように、黒表示部位に近い領域1〜領域3の蛍光管1aの光量を例えば輝度100%とし、白表示部位に近い領域4及び領域5の蛍光管1aの光量を例えば輝度50%とした点灯パターンLP4とする。最後に、図6に示す全階調表示D5の場合には、図9(e)に示すように、白表示から黒表示の順に、領域1の蛍光管1aの光量を例えば輝度50%とし、領域2の蛍光管1aの光量を例えば輝度62.5%とし、領域3の蛍光管1aの光量を例えば輝度75%とし、領域4の蛍光管1aの光量を例えば輝度87.5%とし、領域5の蛍光管1aの光量を例えば輝度100%とした点灯パターンLP5とする。このように、階調の大きさとは逆になるようにバックライトユニット1の蛍光管1aの出力値を制御する。   In the same way of thinking, in the case of the black and white display D3 shown in FIG. 5A, as shown in FIG. 9C, the light quantity of the fluorescent tubes 1a in the region 1 and the region 2 close to the white display part is set to, for example, the luminance. The lighting pattern LP3 is 50%, and the light quantity of the fluorescent tubes 1a in the regions 3 to 5 close to the black display region is, for example, 100% luminance. In the case of the black-and-white display D4 shown in FIG. 5B, as shown in FIG. 9D, the light quantity of the fluorescent tubes 1a in the regions 1 to 3 close to the black display part is set to, for example, 100% luminance, and white display is performed. For example, a lighting pattern LP4 in which the light quantity of the fluorescent tubes 1a in the region 4 and the region 5 near the part is 50% in luminance is used. Finally, in the case of the all gradation display D5 shown in FIG. 6, as shown in FIG. 9 (e), the light quantity of the fluorescent tube 1a in the region 1 is set to, for example, 50% luminance in the order from white display to black display. The light intensity of the fluorescent tube 1a in the area 2 is set to, for example, luminance 62.5%, the light intensity of the fluorescent tube 1a in the area 3 is set to 75%, for example, and the light quantity of the fluorescent tube 1a in the area 4 is set to, for example, 87.5%. For example, a lighting pattern LP5 in which the light quantity of the fluorescent tube 1a of No. 5 is 100% luminance is used. In this way, the output value of the fluorescent tube 1a of the backlight unit 1 is controlled so as to be opposite to the gradation level.

これらにより、液晶パネル11の白表示部分においては黒点の背景の光量が低減され、液晶パネル11の黒表示部分においては輝点の光量が増加される。したがって、人間の目視検査において、検査員が欠陥を発見するのが容易となる。また、カメラ3による液晶パネル11の像の撮像においても、カメラ3の感度範囲となり、カメラ3による機械的な自動検出を可能とすることができる。   As a result, the amount of black background light is reduced in the white display portion of the liquid crystal panel 11, and the amount of bright spot light is increased in the black display portion of the liquid crystal panel 11. Therefore, it becomes easy for an inspector to find a defect in human visual inspection. In addition, when the image of the liquid crystal panel 11 is captured by the camera 3, the sensitivity range of the camera 3 is obtained, and mechanical automatic detection by the camera 3 can be performed.

ところで、前述したように、本実施の形態では、ソースドライバ12a・12bを分割構造として液晶パネル11の表示画面11aを分割駆動するようになっている。このソースドライバ12a・12bによる分割駆動において上記全階調表示D5を2つに分割された画面に表示させると、従来の説明図である図19(a)(b)に示すように、階調の段階的階調パターンが繰り返されて表示されることになる。なお、階調の段階的変化パターンは、昇順又は降順のいずれであっても良い。   As described above, in the present embodiment, the display screen 11a of the liquid crystal panel 11 is divided and driven by using the source drivers 12a and 12b as a divided structure. When the all gradation display D5 is displayed on the screen divided into two in the division driving by the source drivers 12a and 12b, as shown in FIGS. 19A and 19B, which are conventional explanatory diagrams, gradations are displayed. The stepwise gradation pattern is repeatedly displayed. Note that the gradation step change pattern may be in ascending order or descending order.

この場合、目視検査にて特定階調不良を検査する場合、人間の目のダイナミックレンジは優れており、明るい階調から暗い階調まで一度に検査を行うことが可能である。しかしながら、カメラ3を用いて検査を行う場合、明るい階調に感度を合わせると暗い階調での感度が不足し、暗い階調に感度を合わせると明るい階調でハレーションを起こしてしまう。したがって、一旦、明るい階調に感度を合わせた画像を撮像し、再度暗い階調に感度を合わせて撮像して検査を行う必要があった。   In this case, when a specific gradation defect is inspected by visual inspection, the dynamic range of human eyes is excellent, and it is possible to perform inspection from a bright gradation to a dark gradation at a time. However, when the inspection is performed using the camera 3, the sensitivity at the dark gradation is insufficient when the sensitivity is adjusted to the bright gradation, and the halation is caused at the bright gradation when the sensitivity is adjusted to the dark gradation. Therefore, it has been necessary to once inspect an image in which the sensitivity is adjusted to the bright gradation, and to be inspected again in accordance with the sensitivity to the dark gradation.

ここで、TDIセンサ型カメラにてこの表示画面を撮像するために、図20に示すように、例えば、液晶パネル211よりも少し広い範囲が撮像される。そして、この液晶パネル211よりも少し広い範囲は、TDIセンサ型カメラの撮像可能領域に対応して、例えば、該範囲の上側から下側まで例えば16分割した撮像領域TAP1〜TAP16に分けられる。   Here, in order to capture the display screen with the TDI sensor type camera, as shown in FIG. 20, for example, a range slightly wider than the liquid crystal panel 211 is captured. The range slightly wider than the liquid crystal panel 211 is divided into, for example, imaging areas TAP1 to TAP16 divided into, for example, 16 parts from the upper side to the lower side of the range, corresponding to the imaging possible area of the TDI sensor type camera.

そして、バックライトユニットにおける5本の蛍光管の照射光量が一定である場合、カメラの感度であるゲインは、階調の大きさに合わせて調整される。具体的には、図21(a)に示すように、階調が高い(白側)程ゲインを低く設定し、階調が低い(黒側)程ゲインを高く設定する。   And when the irradiation light quantity of five fluorescent tubes in a backlight unit is constant, the gain which is a sensitivity of a camera is adjusted according to the magnitude | size of a gradation. Specifically, as shown in FIG. 21A, the gain is set lower as the gradation is higher (white side), and the gain is set higher as the gradation is lower (black side).

この結果、階調とゲインとの関係は、図21(b)に示すものとなる。このとき、カメラの撮像領域TAP9においては、図20に示すように、階調が最大の場合と最小の場合との両方に跨っている。この結果、前述したバックライトユニットの蛍光管の照射光量を領域毎に制御する方法を用いて、液晶パネル211の中央部の照射光量を調整したとしても、一度に撮像することは不可能である。この理由は、明るい階調部分と暗い階調部分とを一度に適切に感度調整できないためである。   As a result, the relationship between gradation and gain is as shown in FIG. At this time, in the imaging area TAP9 of the camera, as shown in FIG. 20, it extends over both the case where the gradation is maximum and the case where the gradation is minimum. As a result, even if the irradiation light amount of the central portion of the liquid crystal panel 211 is adjusted by using the method for controlling the irradiation light amount of the fluorescent tube of the backlight unit for each region, it is impossible to capture an image at a time. . This is because the sensitivity of the bright gradation portion and the dark gradation portion cannot be appropriately adjusted at a time.

この問題を解決するために、本実施の形態では、液晶パネル11の各分割画面に表示される階調の段階的変化パターンを、分割画面毎に交互に昇順及び降順、又は降順及び昇順となるように配設するようにしている。   In order to solve this problem, in this embodiment, the gradation step change pattern displayed on each divided screen of the liquid crystal panel 11 is alternately in ascending order and descending order, or descending order and ascending order for each divided screen. It arrange | positions like this.

これにより、図19(a)に示すように、階調の段階的変化パターンが分割画面毎に液晶パネル211の上側から降順→降順となっているのを、図10(a)に示すように、降順→昇順とする。また、図19(b)に示すように、階調の段階的変化パターンが分割画面毎に液晶パネル211の上側から昇順→昇順となっているのを、図10(b)に示すように、昇順→降順とする。この結果、図10(a)に示すように、降順→昇順とした場合には液晶パネル11の中央部が黒表示となる一方、図10(b)に示すように、昇順→降順とした場合には液晶パネル11の中央部が白表示となる。   As a result, as shown in FIG. 19A, as shown in FIG. 19A, the gradation step change pattern is in descending order → descending order from the upper side of the liquid crystal panel 211 for each divided screen. Descending order → ascending order. Further, as shown in FIG. 19B, as shown in FIG. 10B, as shown in FIG. 10B, the gradation step change pattern is in ascending order → ascending order from the upper side of the liquid crystal panel 211 for each divided screen. Ascending order → descending order. As a result, as shown in FIG. 10A, when the descending order is changed to ascending order, the central portion of the liquid crystal panel 11 is displayed in black, while as shown in FIG. 10B, the order is ascending order → descending order. The center portion of the liquid crystal panel 11 is displayed in white.

したがって、例えば、図10(a)に示すように、降順→昇順とした場合に、この液晶パネル11の表示画面11aにおいては、図11に示すように、撮像領域TAP9の全領域において、黒表示となっている。すなわち、上側、又は下側の領域の検査パターンを反転させて表示させることにより、表示画面11aの中央部においては急激な階調変化がない検査パターンとなる。この結果、表示画面11aの中央部において黒表示の感度であるゲインを設定することができる。   Therefore, for example, as shown in FIG. 10A, when the descending order is changed to the ascending order, the display screen 11a of the liquid crystal panel 11 displays black in the entire area of the imaging area TAP9 as shown in FIG. It has become. That is, by inverting and displaying the inspection pattern in the upper or lower region, the inspection pattern does not have a sharp gradation change in the central portion of the display screen 11a. As a result, it is possible to set the gain that is the sensitivity of black display at the center of the display screen 11a.

また、例えば、図10(b)に示すように、昇順→降順とした場合に、この液晶パネル11の表示画面11aにおいては、図12(a)に示すように、中央部が白表示となっている。したがって、図12(b)に示すように、撮像領域TAP9の全領域において白表示となっている。   Further, for example, as shown in FIG. 10B, when the order is ascending order → descending order, the center portion of the display screen 11a of the liquid crystal panel 11 is displayed in white as shown in FIG. 12A. ing. Therefore, as shown in FIG. 12B, the entire area of the imaging area TAP9 is displayed in white.

このように、液晶パネル11の上側の領域の検査パターン又は下側の領域の検査パターンを反転させて表示させることにより、表示画面11aの中央部においては急激な階調変化がない検査パターンとなる。この結果、表示画面11aの中央部において白表示の感度であるゲインにて適切に撮像することができる。   As described above, the inspection pattern in the upper area of the liquid crystal panel 11 or the inspection pattern in the lower area is inverted and displayed, so that an inspection pattern without a sharp gradation change is obtained in the central portion of the display screen 11a. . As a result, it is possible to appropriately capture an image with a gain that is a sensitivity of white display at the center of the display screen 11a.

上記液晶パネル11の分割画面における階調の段階的変化パターンを、分割画面毎に交互に昇順及び降順、又は降順及び昇順となるように配設するのは、本実施の形態では検査パターン表示手段としての液晶パネル点灯信号発生装置20の昇降順序配設手段が行う。   In the present embodiment, the inspection pattern display means is arranged so that the gradation stepwise change pattern in the divided screen of the liquid crystal panel 11 is alternately arranged in ascending order and descending order or descending order and ascending order for each divided screen. Ascending / descending order arranging means of the liquid crystal panel lighting signal generating device 20 is performed.

上記液晶パネル点灯信号発生装置20の構成について、図1に基づいて説明する。図1は、液晶パネル点灯信号発生装置20の構成を示すブロック図である。   The configuration of the liquid crystal panel lighting signal generator 20 will be described with reference to FIG. FIG. 1 is a block diagram showing the configuration of the liquid crystal panel lighting signal generator 20.

図1に示すように、液晶パネル点灯信号発生装置20は、機種情報手段としての機種情報入力部21と、信号データ記憶部22と、正信号データ取得手段としての信号データロード部23と、昇降順序配設手段及び反転データ作成手段としての反転データ作成回路24と、昇降順序配設手段及び正・反転信号データ切替手段としての入力選択回路25と、制御信号出力手段としての制御回路26とを有している。   As shown in FIG. 1, a liquid crystal panel lighting signal generator 20 includes a model information input unit 21 as a model information unit, a signal data storage unit 22, a signal data load unit 23 as a positive signal data acquisition unit, An inverted data creation circuit 24 as an order arrangement means and an inverted data creation means, an input selection circuit 25 as an ascending / descending order arrangement means and a normal / inverted signal data switching means, and a control circuit 26 as a control signal output means Have.

上記機種情報入力部21は、検査対象の液晶パネル11の機種情報を入力操作できるようになっており、この機種情報入力部21から、検査対象の液晶パネル11の機種情報を入力することにより、ソースドライバ数が入力選択回路25に入力されると共に、表示させる検査パターンに対応する信号IDが信号データロード部23に入力される。   The model information input unit 21 can input the model information of the liquid crystal panel 11 to be inspected. By inputting the model information of the liquid crystal panel 11 to be inspected from the model information input unit 21, The number of source drivers is input to the input selection circuit 25, and a signal ID corresponding to the inspection pattern to be displayed is input to the signal data load unit 23.

本実施の形態では、表示させる検査パターンのデータを予め液晶パネル点灯信号発生装置20内の信号データ記憶部22に登録しておき、検査の度にそれをロードする。ただし、必ずしもこれに限らず、表示させる検査パターンのデータを外部から入力するようにしてもよい。また、ソースドライバ12a・12bの分割数は、例えば上下2分割のように機種が固定されているならば、入力しないようにしてもよい。   In the present embodiment, the data of the inspection pattern to be displayed is registered in advance in the signal data storage unit 22 in the liquid crystal panel lighting signal generator 20, and is loaded every time the inspection is performed. However, the present invention is not necessarily limited to this, and test pattern data to be displayed may be input from the outside. In addition, the number of divisions of the source drivers 12a and 12b may not be input if the model is fixed, for example, vertically divided into two.

上記信号データロード部23では、例えば、階調の段階的変化パターンとして降順のグラデーションの検査パターンを信号データ記憶部22から読み出す。そして、読み出された階調の段階的変化パターンとして降順のグラデーションの検査パターンは、通常信号として入力選択回路25に入力されると共に、反転データ作成回路24にも入力される。   The signal data loading unit 23 reads, for example, a descending gradation inspection pattern from the signal data storage unit 22 as a gradation step change pattern. Then, the gradation inspection pattern in descending order as the read gradation step change pattern is input to the input selection circuit 25 as a normal signal and also input to the inverted data generation circuit 24.

反転データ作成回路24では、上記の階調の段階的変化パターンとして降順のグラデーションの検査パターンに対して反転した検査パターンである階調の段階的変化パターンとして昇順のグラデーションの検査パターンを作成して、入力選択回路25に入力する。例えば3bitの場合、通常信号は、(0、1、2、3、4、5、6、7)であり、反転信号は、(7、6、5、4、3、2、1、0)となる。   The inverted data creation circuit 24 creates an ascending gradation test pattern as a gradation step change pattern which is a test pattern inverted with respect to the descending gradation test pattern as the gradation step change pattern described above. , Input to the input selection circuit 25. For example, in the case of 3 bits, the normal signal is (0, 1, 2, 3, 4, 5, 6, 7) and the inverted signal is (7, 6, 5, 4, 3, 2, 1, 0). It becomes.

入力選択回路25では、通常信号と反転信号とを上側ソースドライバであるソースドライバ12a、及び下側ソースドライバであるソースドライバ12bへと振り分ける。ここで、ソースドライバが3個以上ある場合、例えば、偶数番目のソースドライバに通常信号を振り分け、奇数番目のソースドライバに反転信号を振り分ける。これにより、例えば、3分割等の奇数分割の場合には、分割画面毎に交互に昇順→降順→昇順となるか、又は降順→昇順→降順となるように、昇順と降順とが交互に配設される。したがって、各分割画面の境界は、白→白、又は黒→黒となり、白→黒、又は黒→白となることはない。   The input selection circuit 25 distributes the normal signal and the inverted signal to the source driver 12a that is the upper source driver and the source driver 12b that is the lower source driver. Here, when there are three or more source drivers, for example, a normal signal is distributed to even-numbered source drivers and an inverted signal is distributed to odd-numbered source drivers. Thus, for example, in the case of odd division such as three divisions, ascending order → descending order → ascending order alternately for each divided screen, or ascending order and descending order are alternately arranged so that descending order → ascending order → descending order. Established. Accordingly, the boundary of each divided screen is white → white or black → black, and white → black or black → white.

上記入力選択回路25では、機種情報入力部21から入力されたソースドライバ数に基づいて、分割画面毎に交互に昇順及び降順、又は降順及び昇順となるように選択して、それぞれ通常信号と反転信号とをソースドライバ12a・12bに振り分けて出力する。   In the input selection circuit 25, based on the number of source drivers input from the model information input unit 21, selection is performed alternately in ascending order and descending order, or descending order and ascending order for each divided screen, and each is inverted with a normal signal. The signal is distributed to the source drivers 12a and 12b and output.

これによって、液晶パネル11では、図10(a)(b)に示すように、中央部が黒表示となるように、階調の段階的変化パターンが分割画面毎に交互に昇順及び降順、又は降順及び昇順となるように表示される。   As a result, in the liquid crystal panel 11, as shown in FIGS. 10A and 10B, the gradation step change pattern is alternately changed in ascending order and descending order for each divided screen so that the central portion is displayed in black, or Displayed in descending and ascending order.

最後に、制御回路26にて映像信号、クロック信号、及びタイミング信号等の各種制御信号、基準電圧等を出力する。   Finally, the control circuit 26 outputs various control signals such as a video signal, a clock signal, and a timing signal, a reference voltage, and the like.

ところで、本実施の形態では、前述したように、バックライトユニット1の各蛍光管1aは個別に照射光量の設定が可能となっている。そこで、このバックライトユニット1における各蛍光管1aの個別の照射光量設定と、液晶パネル11の分割画面における階調の段階的変化パターンを分割画面毎に交互に昇順及び降順、又は降順及び昇順となるように配設することとを組み合わせた場合の動作について、以下に説明する。   By the way, in this Embodiment, as above-mentioned, each fluorescent tube 1a of the backlight unit 1 can set the irradiation light quantity separately. Therefore, the individual irradiation light amount setting of each fluorescent tube 1a in the backlight unit 1 and the gradation step change pattern in the divided screen of the liquid crystal panel 11 are alternately changed in ascending order and descending order or descending order and ascending order for each divided screen. The operation when combined with the arrangement will be described below.

すなわち、図13(a)に示すように、階調が高い(白側)程、バックライトユニット1の蛍光管1aの輝度を低く設定し、階調が低い(黒側)程、バックライトユニット1の蛍光管1aの輝度を高く設定する必要がある。   That is, as shown in FIG. 13A, the brightness of the fluorescent tube 1a of the backlight unit 1 is set lower as the gradation is higher (white side), and the backlight unit is lower as the gradation is lower (black side). It is necessary to set the luminance of one fluorescent tube 1a high.

しかし、階調の段階的変化パターンが分割画面毎に昇順及び昇順、又は降順及び降順となっていた場合には、図13(b)に示すように、2分割の場合には、中央の領域3の蛍光管1aの照明光量の制御が困難である。   However, when the gradation step change pattern is in ascending order and ascending order or descending order and descending order for each divided screen, as shown in FIG. It is difficult to control the illumination light quantity of the fluorescent tube 1a.

これに対して、本実施の形態では、図14(a)に示すように、例えば、階調の段階的変化パターンを分割画面毎に昇順及び降順となっていた場合には中央の領域3が白表示となるので、図14(b)に示すように、中央の領域3の蛍光管1aの照明光量の制御も容易となる。   On the other hand, in the present embodiment, as shown in FIG. 14A, for example, when the gradation step change pattern is in ascending order and descending order for each divided screen, the central region 3 is displayed. Since white display is performed, as shown in FIG. 14B, it becomes easy to control the amount of light emitted from the fluorescent tube 1a in the central region 3.

また、ゲインを設定した後、上記蛍光管1aの照明光量の設定することにより、さらに適切な撮像条件を得ることができる。   Further, after setting the gain, by setting the illumination light amount of the fluorescent tube 1a, it is possible to obtain more appropriate imaging conditions.

このような一連の処理の制御は、検査制御装置30が行う。この処理の制御の流れについて、図15に基づいて説明する。   The inspection control device 30 controls such a series of processing. The control flow of this process will be described with reference to FIG.

図15に示すように、検査制御装置30は、工場情報系から検査処理要求があると、例えば信号データ記憶部22から検査情報を取得する(S1)。   As shown in FIG. 15, when there is an inspection processing request from the factory information system, the inspection control device 30 acquires inspection information from, for example, the signal data storage unit 22 (S1).

次いで、撮像の準備として、カメラ3のゲイン設定等を行う(S2)。また、このとき、バックライト制御装置2を制御して(S3)、蛍光管1aの点灯切り替えを行う(S4)と共に、液晶パネル点灯信号発生装置20を制御して(S5)、液晶パネル11に検査パターンを表示させる(S6)。   Next, as a preparation for imaging, the gain setting of the camera 3 is performed (S2). At this time, the backlight control device 2 is controlled (S3), the lighting of the fluorescent tube 1a is switched (S4), and the liquid crystal panel lighting signal generator 20 is controlled (S5). An inspection pattern is displayed (S6).

次いで、走査ステージ4を制御しながら(S7)、カメラ3にて撮像を行う(S8)。そして、カメラ3の撮像データを画像処理して、検査処理を行い(S9)、例えば信号データ記憶部22に検査結果を出力する(S10)。   Next, imaging is performed by the camera 3 while controlling the scanning stage 4 (S7) (S8). Then, the imaging data of the camera 3 is subjected to image processing and inspection processing is performed (S9), and for example, the inspection result is output to the signal data storage unit 22 (S10).

その後、他の検査パターンによる検査を行うために、再度、S2及びS3に戻って、S2〜S10の処理を繰り返す。そして、全ての対象領域の検査処理が終わると、当該液晶パネル11の検査が終了し、次の液晶パネル11の検査に移行する。   Thereafter, in order to perform an inspection using another inspection pattern, the process returns to S2 and S3 again, and the processes of S2 to S10 are repeated. Then, when the inspection process for all the target areas is finished, the inspection of the liquid crystal panel 11 is finished, and the next liquid crystal panel 11 is inspected.

すなわち、一般的に、点灯検査では複数の検査パターンで検査を行う必要があり、その検査パターン数に応じて、カメラ撮像条件の設定、検査を行う検査パターンの表示を予め行う。そして、全ての検査パターンの検査を完了すると、検査結果を工場情報系に送信し、液晶パネル11は搬出される。   That is, in general, in the lighting inspection, it is necessary to inspect with a plurality of inspection patterns, and in accordance with the number of inspection patterns, setting of camera imaging conditions and display of inspection patterns for performing inspection are performed in advance. When the inspection of all the inspection patterns is completed, the inspection result is transmitted to the factory information system, and the liquid crystal panel 11 is carried out.

なお、S1及びS10においては、例えば信号データ記憶部22から検査情報を取得し、例えば信号データ記憶部22に検査結果を出力するとしているが、必ずしもこれに限らず、例えば工場情報系から検査情報を取得し、例えば工場情報系に検査結果を出力するとすることも可能である。   In S1 and S10, for example, inspection information is acquired from the signal data storage unit 22 and, for example, the inspection result is output to the signal data storage unit 22. However, the present invention is not limited to this. For example, it is possible to output the inspection result to the factory information system.

以上のように、本実施の形態の液晶パネル検査装置10は、液晶パネル11の検査パターンを制御する液晶パネル点灯信号発生装置20と、この液晶パネル点灯信号発生装置20により制御された表示画面11aを撮像する手段であるカメラ3を備えている。そして、液晶パネル検査装置10における信号発生器である液晶パネル点灯信号発生装置20においては、ソースドライバ12a・12bを液晶パネル11の表示画面11aの少なくとも一方向に分割して同時動作させる。この液晶パネル11は、画面分割数を含む機種情報を入力する手段である機種情報入力部21と、予め設定された階調を有する検査パターンの信号データをロードする手段である信号データロード部23と、信号データを反転した反転データを作成する手段である反転データ作成回路24と、通常信号データと反転信号データとを液晶パネル11を駆動するタイミングで奇数・偶数順に各ソースドライバ12a・12b及びゲートドライバ13へと出力する手段である入力選択回路25と、各ソースドライバ12a・12b及びゲートドライバ13にタイミング信号を出力する手段である制御回路26とを備えている。   As described above, the liquid crystal panel inspection apparatus 10 according to the present embodiment includes the liquid crystal panel lighting signal generator 20 that controls the inspection pattern of the liquid crystal panel 11 and the display screen 11a controlled by the liquid crystal panel lighting signal generator 20. The camera 3 which is a means to image is provided. In the liquid crystal panel lighting signal generator 20 which is a signal generator in the liquid crystal panel inspection apparatus 10, the source drivers 12 a and 12 b are divided and operated simultaneously in at least one direction of the display screen 11 a of the liquid crystal panel 11. The liquid crystal panel 11 includes a model information input unit 21 that is a unit that inputs model information including the number of screen divisions, and a signal data load unit 23 that is a unit that loads signal data of an inspection pattern having a preset gradation. And inverted data creation circuit 24 which is means for creating inverted data obtained by inverting the signal data, and the source drivers 12a and 12b in the order of odd and even numbers at the timing of driving the liquid crystal panel 11 with the normal signal data and the inverted signal data. An input selection circuit 25 that is means for outputting to the gate driver 13 and a control circuit 26 that is means for outputting timing signals to the source drivers 12a and 12b and the gate driver 13 are provided.

また、カメラ3は、階調の段階的変化パターンにおける階調の変化方向と垂直な方向の複数の撮像領域TAP1〜TAP16毎にゲイン調整を行う。さらに、液晶パネル点灯信号発生装置20により制御された表示画面11aにおいて、階調分布と逆になるようにバックライトユニット1の出力値を制御するバックライト制御装置2を有している。そして、液晶パネル11の表示画面11aをカメラ3で撮像し、良否判定を行う。   Further, the camera 3 performs gain adjustment for each of the plurality of imaging regions TAP1 to TAP16 in the direction perpendicular to the gradation change direction in the gradation change pattern of gradation. Furthermore, the display screen 11a controlled by the liquid crystal panel lighting signal generator 20 has a backlight control device 2 that controls the output value of the backlight unit 1 so as to be opposite to the gradation distribution. And the display screen 11a of the liquid crystal panel 11 is imaged with the camera 3, and quality determination is performed.

これにより、特に信号線の長さに起因するドットの保持電圧の低下を防ぎ、表示画面11aの輝度を均一化するために、ソースドライバを分割して、表示画面11aの上下領域を上下のソースドライバ12a・12bにて駆動させる液晶パネル11の液晶パネル検査装置10において、階調分布を持つ検査パターンを表示させた際に、ハレーションを起こすことや感度不足になることなく、一度の撮像で検査を行うことが可能となる。   In this way, in particular, in order to prevent a decrease in dot holding voltage due to the length of the signal line and to make the luminance of the display screen 11a uniform, the source driver is divided so that the upper and lower regions of the display screen 11a In the liquid crystal panel inspection apparatus 10 of the liquid crystal panel 11 driven by the drivers 12a and 12b, when an inspection pattern having a gradation distribution is displayed, inspection is performed with one imaging without causing halation or lack of sensitivity. Can be performed.

なお、本実施の形態では、液晶パネル11は透過型としているが、本発明では、反射型の液晶パネル11であってもよい。また、本発明では、表示パネルは発光素子を利用する表示パネルであってもよい。これらの場合には、バックライトユニット1は不要である。   In the present embodiment, the liquid crystal panel 11 is a transmission type, but in the present invention, a reflection type liquid crystal panel 11 may be used. In the present invention, the display panel may be a display panel using a light emitting element. In these cases, the backlight unit 1 is unnecessary.

最後に、液晶パネル検査装置10の各ブロック、特に検査制御装置30、液晶パネル点灯信号発生装置20、及びバックライト制御装置2は、ハードウェアロジックによって構成してもよいし、次のようにCPUを用いてソフトウェアによって実現してもよい。   Finally, each block of the liquid crystal panel inspection apparatus 10, particularly the inspection control apparatus 30, the liquid crystal panel lighting signal generation apparatus 20, and the backlight control apparatus 2 may be configured by hardware logic, or as described below. It may be realized by software using

すなわち、液晶パネル検査装置10は、各機能を実現する制御プログラムの命令を実行するCPU(central processing unit )、上記プログラムを格納したROM(read only memory)、上記プログラムを展開するRAM(random access memory)、上記プログラムおよび各種データを格納するメモリ等の記憶装置(記録媒体)などを備えている。そして、本発明の目的は、上述した機能を実現するソフトウェアである液晶パネル検査装置10の制御プログラムのプログラムコード(実行形式プログラム、中間コードプログラム、ソースプログラム)をコンピュータで読み取り可能に記録した記録媒体を、上記液晶パネル検査装置10に供給し、そのコンピュータ(またはCPUやMPU)が記録媒体に記録されているプログラムコードを読み出し実行することによっても、達成可能である。   That is, the liquid crystal panel inspection apparatus 10 includes a CPU (central processing unit) that executes instructions of a control program that realizes each function, a ROM (read only memory) that stores the program, and a RAM (random access memory) that expands the program. ), A storage device (recording medium) such as a memory for storing the program and various data. An object of the present invention is a recording medium in which a program code (execution format program, intermediate code program, source program) of a control program of the liquid crystal panel inspection apparatus 10 which is software for realizing the functions described above is recorded so as to be readable by a computer. Can also be achieved by reading the program code recorded in the recording medium and executing it by the computer (or CPU or MPU).

上記記録媒体としては、例えば、磁気テープやカセットテープ等のテープ系、フロッピー(登録商標)ディスク/ハードディスク等の磁気ディスクやCD−ROM/MO/MD/DVD/CD−R等の光ディスクを含むディスク系、ICカード(メモリカードを含む)/光カード等のカード系、あるいはマスクROM/EPROM/EEPROM/フラッシュROM等の半導体メモリ系などを用いることができる。   Examples of the recording medium include a tape system such as a magnetic tape and a cassette tape, a magnetic disk such as a floppy (registered trademark) disk / hard disk, and an optical disk such as a CD-ROM / MO / MD / DVD / CD-R. Card system such as IC card, IC card (including memory card) / optical card, or semiconductor memory system such as mask ROM / EPROM / EEPROM / flash ROM.

また、液晶パネル検査装置10を通信ネットワークと接続可能に構成し、上記プログラムコードを通信ネットワークを介して供給してもよい。この通信ネットワークとしては、特に限定されず、例えば、インターネット、イントラネット、エキストラネット、LAN、ISDN、VAN、CATV通信網、仮想専用網(virtual private network)、電話回線網、移動体通信網、衛星通信網等が利用可能である。また、通信ネットワークを構成する伝送媒体としては、特に限定されず、例えば、IEEE1394、USB、電力線搬送、ケーブルTV回線、電話線、ADSL回線等の有線でも、IrDAやリモコンのような赤外線、Bluetooth(登録商標)、802.11無線、HDR、携帯電話網、衛星回線、地上波デジタル網等の無線でも利用可能である。なお、本発明は、上記プログラムコードが電子的な伝送で具現化された、搬送波に埋め込まれたコンピュータデータ信号の形態でも実現され得る。   Further, the liquid crystal panel inspection apparatus 10 may be configured to be connectable to a communication network, and the program code may be supplied via the communication network. The communication network is not particularly limited. For example, the Internet, intranet, extranet, LAN, ISDN, VAN, CATV communication network, virtual private network, telephone line network, mobile communication network, satellite communication. A net or the like is available. Also, the transmission medium constituting the communication network is not particularly limited. For example, even in the case of wired such as IEEE 1394, USB, power line carrier, cable TV line, telephone line, ADSL line, etc., infrared rays such as IrDA and remote control, Bluetooth ( (Registered trademark), 802.11 wireless, HDR, mobile phone network, satellite line, terrestrial digital network, and the like can also be used. The present invention can also be realized in the form of a computer data signal embedded in a carrier wave in which the program code is embodied by electronic transmission.

このように、本実施の形態の液晶パネル検査装置10は、液晶パネル11の表示画面11aをカメラ3にて撮像して液晶パネル11の欠陥検査を行う。そして、液晶パネル検査装置10には、液晶パネル11の表示画面11aを少なくとも一方向に複数に分割して互いに独立して同時駆動させるソースドライバ12a・12b及びゲートドライバ13と、液晶パネル11の各分割画面に、検査パターンとして階調の段階的変化パターンを表示させる液晶パネル点灯信号発生装置20とが設けられていると共に、液晶パネル点灯信号発生装置20は、液晶パネル11の各分割画面に表示される階調の段階的変化パターンを、分割画面毎に交互に昇順及び降順、又は降順及び昇順となるように配設する昇降順序配設手段を備えている。   As described above, the liquid crystal panel inspection apparatus 10 according to the present embodiment images the display screen 11a of the liquid crystal panel 11 with the camera 3 and inspects the liquid crystal panel 11 for defects. The liquid crystal panel inspection apparatus 10 includes the source drivers 12a and 12b and the gate driver 13 that divide the display screen 11a of the liquid crystal panel 11 into a plurality of parts in at least one direction and simultaneously drive them independently of each other. A liquid crystal panel lighting signal generator 20 for displaying a gradation step change pattern as a test pattern is provided on the divided screen, and the liquid crystal panel lighting signal generator 20 is displayed on each divided screen of the liquid crystal panel 11. There is provided an ascending / descending order arrangement means for arranging the gradation stepwise change patterns alternately in ascending order and descending order or descending order and ascending order for each divided screen.

また、本実施の形態の液晶パネル11の検査方法は、液晶パネル11の表示画面11aを撮像装置にて撮像して上記表示パネルの欠陥検査を行う液晶パネル11の検査方法において、液晶パネル11の表示画面11aを少なくとも一方向に複数に分割して互いに独立して同時駆動させる画面分割駆動工程と、液晶パネル11の各分割画面に、検査パターンとして階調の段階的変化パターンを表示させる検査パターン表示工程と、液晶パネル11の各分割画面に表示される階調の段階的変化パターンを、分割画面毎に交互に昇順及び降順、又は降順及び昇順となるように配設する昇降順序配設工程とを含んでいる。   Further, the inspection method for the liquid crystal panel 11 according to the present embodiment is an inspection method for the liquid crystal panel 11 in which the display screen 11a of the liquid crystal panel 11 is imaged by an imaging device and the display panel is inspected for defects. A screen division driving process for dividing the display screen 11a into a plurality of parts in at least one direction and simultaneously driving them independently, and an inspection pattern for displaying a gradation step change pattern as an inspection pattern on each divided screen of the liquid crystal panel 11 A display step and an ascending / descending order arranging step of arranging the gradation step change patterns displayed on each divided screen of the liquid crystal panel 11 alternately in ascending order and descending order or descending order and ascending order for each divided screen. Including.

また、本実施の形態の液晶パネル11の製造方法は、前記記載の液晶パネル検査装置10におけるカメラ3の対向位置に液晶パネル11を配置する工程と、液晶パネル検査装置10におけるカメラ3の対向位置に配置された液晶パネル11を、前記記載の液晶パネル11の検査方法により、欠陥検査する工程とを含んでいる。   In addition, the manufacturing method of the liquid crystal panel 11 according to the present embodiment includes the step of disposing the liquid crystal panel 11 at the position facing the camera 3 in the liquid crystal panel inspection apparatus 10 described above, and the position facing the camera 3 in the liquid crystal panel inspection apparatus 10. And the step of inspecting the liquid crystal panel 11 arranged in the above-described manner by the inspection method for the liquid crystal panel 11 described above.

上記の構成によれば、表示画面11aを少なくとも一方向に複数に分割して互いに独立して同時駆動させる液晶パネル11の表示画面11aをカメラ3にて撮像して液晶パネル11の欠陥検査を行う。そして、本実施の形態では、液晶パネル11の各分割画面に検査パターンとして階調の段階的変化パターンを表示させる。   According to said structure, the display screen 11a of the liquid crystal panel 11 which divides | segments the display screen 11a into a plurality in at least one direction and drives it mutually independently simultaneously is imaged with the camera 3, and the defect inspection of the liquid crystal panel 11 is performed. . In this embodiment, a gradation step change pattern is displayed as an inspection pattern on each divided screen of the liquid crystal panel 11.

この場合、従来では、液晶パネル211の各分割画面に表示される階調の段階的変化パターンは分割画面毎に同じ順序の繰り返しであった。そのため、カメラにおける分割画面の境界を含む撮像領域では、白表示部分と黒表示部分とが混在しているので、一度に両方を満たす感度調整ができず、白表示部分ではハレーションを生じ、黒表示部分では感度不足を生じることになっていた。   In this case, conventionally, the gradation step change pattern displayed on each divided screen of the liquid crystal panel 211 is repeated in the same order for each divided screen. For this reason, in the imaging area that includes the boundary of the split screen in the camera, the white display part and the black display part are mixed, so sensitivity adjustment that satisfies both of them cannot be performed at once, and halation occurs in the white display part, resulting in black display. The part was supposed to cause a lack of sensitivity.

これに対して、本実施の形態では、液晶パネル点灯信号発生装置20は、液晶パネル11の各分割画面に表示される階調の段階的変化パターンを、分割画面毎に交互に昇順及び降順、又は降順及び昇順となるように配設する昇降順序配設手段としての反転データ作成回路24及び入力選択回路25を備えている。   On the other hand, in the present embodiment, the liquid crystal panel lighting signal generation device 20 displays the gradation step change pattern displayed on each divided screen of the liquid crystal panel 11 alternately in ascending order and descending order for each divided screen. Alternatively, an inverted data generation circuit 24 and an input selection circuit 25 are provided as ascending / descending order arrangement means arranged in descending order and ascending order.

この結果、カメラ3における分割画面の境界を含む撮像領域を、白表示部分又は黒表示部分とすることが可能となる。   As a result, the imaging region including the boundary of the divided screen in the camera 3 can be set as a white display portion or a black display portion.

したがって、表示画面11aを分割駆動する液晶パネル11において分割画面毎に階調が段階的変化パターンにて表示される検査パターンをカメラ3にて撮像して欠陥検査する場合に、ハレーション及び感度不足を生じることなく一度の撮像で検査を行い得る液晶パネル検査装置10、液晶パネル11の検査方法、液晶パネル11の製造方法を提供することができる。   Therefore, in the liquid crystal panel 11 that divides and drives the display screen 11a, when the inspection pattern in which the gradation is displayed in a step change pattern for each divided screen is imaged by the camera 3 and defect inspection is performed, halation and insufficient sensitivity are caused. It is possible to provide a liquid crystal panel inspection apparatus 10, an inspection method for the liquid crystal panel 11, and a manufacturing method for the liquid crystal panel 11 that can be inspected by one-time imaging without occurring.

また、本実施の形態の液晶パネル検査装置10では、液晶パネル点灯信号発生装置20は、画面分割数を含む機種情報を入力する機種情報入力部21と、予め設定された階調を表示する検査パターンの正信号データを取得する信号データロード部23と、ソースドライバ12a・12b及びゲートドライバ13に検査パターンを表示させる制御信号を出力する制御回路26とを備えていると共に、前記昇降順序配設手段は、正信号データを反転した反転データを作成する反転データ作成回路24と、制御回路26がソースドライバ12a・12b及びゲートドライバ13に上記検査パターンを表示させる制御信号を出力するときに、正信号データ及び反転信号データを、液晶パネル11の分割画面毎に交互に出力するように切り替える入力選択回路25とを備えている。   Further, in the liquid crystal panel inspection apparatus 10 of the present embodiment, the liquid crystal panel lighting signal generation apparatus 20 includes a model information input unit 21 that inputs model information including the number of screen divisions, and an inspection that displays preset gradations. The signal data load unit 23 for acquiring the positive signal data of the pattern, and the control circuit 26 for outputting the control signal for displaying the inspection pattern on the source drivers 12a and 12b and the gate driver 13, and the ascending / descending order arrangement are provided. The means includes an inverted data generation circuit 24 that generates inverted data obtained by inverting the positive signal data, and a positive signal when the control circuit 26 outputs a control signal that causes the source drivers 12a and 12b and the gate driver 13 to display the inspection pattern. Input selection for switching the signal data and the inverted signal data so as to be alternately output for each divided screen of the liquid crystal panel 11 And a circuit 25.

これにより、具体的に、液晶パネル11の各分割画面に表示される階調の段階的変化パターンを、分割画面毎に交互に昇順及び降順、又は降順及び昇順となるように配設することができる。   Thus, specifically, the gradation step change pattern displayed on each divided screen of the liquid crystal panel 11 may be arranged alternately in ascending order and descending order, or descending order and ascending order for each divided screen. it can.

また、本実施の形態の液晶パネル検査装置10では、カメラ3は、階調の段階的変化パターンにおける階調変化方向に沿う複数の撮像素子3a毎に感度調整を行うアンプ部3bを備えている。   Further, in the liquid crystal panel inspection apparatus 10 of the present embodiment, the camera 3 includes an amplifier unit 3b that performs sensitivity adjustment for each of the plurality of imaging elements 3a along the gradation change direction in the gradation step change pattern. .

これにより、カメラ3のアンプ部3bは、階調の段階的変化パターンにおける階調変化方向に沿う複数の撮像素子3a毎に感度調整を行うので、階調に適した感度を得ることができる。したがって、ハレーション及び感度不足を生じることなく検査を行うことができる。   Accordingly, the amplifier unit 3b of the camera 3 performs sensitivity adjustment for each of the plurality of image pickup devices 3a along the gradation change direction in the gradation change pattern of gradation, so that sensitivity suitable for gradation can be obtained. Therefore, inspection can be performed without causing halation and insufficient sensitivity.

また、本実施の形態の液晶パネル検査装置10では、カメラ3は、TDIセンサ型カメラからなっている。   Moreover, in the liquid crystal panel inspection apparatus 10 of this Embodiment, the camera 3 consists of a TDI sensor type camera.

上記TDIセンサ型カメラは走査型のカメラであり、走査速度と露光周期とを合わせることにより、幅の長い表示パネルであっても、均一かつ精度の高い撮像画像を一度の走査で得ることができる。   The TDI sensor type camera is a scanning camera, and by combining the scanning speed and the exposure cycle, a uniform and highly accurate captured image can be obtained by a single scan even for a wide display panel. .

また、本実施の形態の液晶パネル検査装置10では、液晶パネル11を背後から照射する複数の光源を有し、かつ各光源の液晶パネル11への照射光量を増減制御するバックライトユニット1と、階調が高い表示領域ほど光源の液晶パネル11への照射光量を小さくすると共に、階調が低い表示領域ほど光源の液晶パネル11への照射光量を大きくするようにバックライトユニット1を制御するバックライト制御装置2とを備えている。   Further, in the liquid crystal panel inspection apparatus 10 of the present embodiment, the backlight unit 1 includes a plurality of light sources that irradiate the liquid crystal panel 11 from behind, and controls increase / decrease in the amount of light applied to the liquid crystal panel 11 of each light source, A backlight that controls the backlight unit 1 so that the amount of light applied to the liquid crystal panel 11 of the light source is reduced as the display area has a higher gradation, and the amount of light applied to the liquid crystal panel 11 of the light source is increased as the display area has a lower gradation. And a light control device 2.

従来、全面白表示の検査パターンによる検査において、バックライトユニット1の輝度が大きい場合には黒点が目立たなくなり、欠陥の発見が困難となると共に、全面黒表示の検査パターンによる検査において、バックライトユニット1の輝度が小さい場合には輝点が目立たなくなり、欠陥の発見が困難となっていた。   Conventionally, when the backlight unit 1 has a high luminance in the inspection with the entire white display inspection pattern, the black spot becomes inconspicuous, making it difficult to find the defect, and in the inspection with the entire black display inspection pattern, When the luminance of 1 is small, the bright spot is not conspicuous, making it difficult to find defects.

そこで、例えば特許文献1に開示する表示パネルの検査方法では、例えば、全面黒表示の検査パターンにおける輝点欠陥検査時にはバックライト全体の強度を上げることによって輝点の背景に対する相対強度を上げる等により、複数の表示モード及び検査の目的に適したバックライト強度の制御を行っていた。   Thus, for example, in the display panel inspection method disclosed in Patent Document 1, for example, by increasing the intensity of the entire backlight to increase the relative intensity of the luminescent spots with respect to the background during the luminescent spot defect inspection in the entire black display inspection pattern. Control of backlight intensity suitable for a plurality of display modes and inspection purposes has been performed.

しかし、検査パターンには、種々のものがあり、例えば、階調の段階的変化パターンを用いた検査パターンにおいては、上記特許文献1によるバックライト全体の強度を増減する方法では、撮像装置の適正感度に合わすことができない。   However, there are various inspection patterns. For example, in the inspection pattern using the gradation step change pattern, the method of increasing or decreasing the intensity of the entire backlight according to Patent Document 1 is appropriate for the imaging device. Cannot match the sensitivity.

そこで、本実施の形態では、バックライトユニット1は、液晶パネル11を背後から照射する複数の例えば蛍光管1aを有し、かつ各蛍光管1aの液晶パネル11への照射光量を増減制御すると共に、バックライト制御装置2は、階調が高い表示領域ほど蛍光管1aの液晶パネル11への照射光量を小さくすると共に、階調が低い表示領域ほど蛍光管1aの液晶パネル11への照射光量を大きくするようにバックライトユニット1を制御する。   Therefore, in the present embodiment, the backlight unit 1 has a plurality of, for example, fluorescent tubes 1a that irradiate the liquid crystal panel 11 from behind, and controls increase / decrease of the amount of light applied to the liquid crystal panel 11 of each fluorescent tube 1a. The backlight control device 2 reduces the amount of light applied to the liquid crystal panel 11 of the fluorescent tube 1a as the display area has a higher gradation, and reduces the amount of light applied to the liquid crystal panel 11 of the fluorescent tube 1a as the display area has a lower gradation. The backlight unit 1 is controlled to be large.

したがって、2種類以上の異なる階調の表示領域を同時に有する検査パターンを有する場合において、表示領域毎の欠陥を高精度に検出することができる。   Therefore, in the case of having an inspection pattern having two or more types of display areas with different gradations simultaneously, it is possible to detect a defect for each display area with high accuracy.

ところで、本実施の形態において、表示画面11aを少なくとも一方向に複数に分割して互いに独立して同時駆動させる液晶パネル11の表示画面11aをカメラ3にて撮像して液晶パネル11の欠陥検査を行うときに、液晶パネル11の各分割画面に検査パターンとして階調の段階的変化パターンを表示させる場合には、問題が生じる。   By the way, in the present embodiment, the display screen 11a of the liquid crystal panel 11 that is divided into a plurality of display screens 11a in at least one direction and is driven simultaneously and independently is imaged by the camera 3 and defect inspection of the liquid crystal panel 11 is performed. When performing, when a gradation step change pattern is displayed as an inspection pattern on each divided screen of the liquid crystal panel 11, a problem arises.

すなわち、従来では、液晶パネル211の各分割画面に表示される階調の段階的変化パターンは分割画面毎に同じ順序の繰り返しであった。そのため、カメラにおける分割画面の境界を含む撮像領域では、白表示部分と黒表示部分とが混在しているので、一度に両方を満たす光量調整ができなかった。   That is, conventionally, the gradation step change pattern displayed on each divided screen of the liquid crystal panel 211 is repeated in the same order for each divided screen. For this reason, in the imaging region including the boundary of the divided screen in the camera, the white display portion and the black display portion are mixed, so that it is impossible to adjust the amount of light satisfying both at once.

これに対して、本実施の形態では、液晶パネル点灯信号発生装置20は、表示パネルの各分割画面に表示される階調の段階的変化パターンを、分割画面毎に交互に昇順及び降順、又は降順及び昇順となるように配設する反転データ作成回路24及び入力選択回路25を備えている。   On the other hand, in the present embodiment, the liquid crystal panel lighting signal generator 20 changes the gradation step change pattern displayed on each divided screen of the display panel alternately in ascending order and descending order for each divided screen, or An inversion data creation circuit 24 and an input selection circuit 25 are provided so as to be in descending order and ascending order.

この結果、分割画面の境界を含む撮像領域を、白表示部分又は黒表示部分とすることが可能となる。   As a result, the imaging area including the boundary of the divided screen can be a white display portion or a black display portion.

したがって、分割画面の境界を含む撮像領域における白表示部分又は黒表示部分を照射するバックライトユニット1を適切に光量調整することができる。   Therefore, the light amount of the backlight unit 1 that irradiates the white display portion or the black display portion in the imaging region including the boundary of the divided screen can be appropriately adjusted.

また、本実施の形態の液晶パネル検査装置10では、光源は、蛍光管1aからなると共に、バックライト制御装置2は、蛍光管1aの液晶パネル11への照射光量を制御する。   Moreover, in the liquid crystal panel inspection apparatus 10 of this Embodiment, while a light source consists of the fluorescent tube 1a, the backlight control apparatus 2 controls the irradiation light quantity to the liquid crystal panel 11 of the fluorescent tube 1a.

これにより、光源は蛍光管1aからなるので、液晶パネル11の光源として一般的な蛍光管1aを用いる場合に、液晶パネル11に、少なくとも2種類以上の異なる階調の表示領域を同時に有する検査パターンを有する場合において、表示領域毎の欠陥を高精度に検出することが可能となる。   Accordingly, since the light source is composed of the fluorescent tube 1a, when a general fluorescent tube 1a is used as the light source of the liquid crystal panel 11, the liquid crystal panel 11 has at least two types of display areas having different gradations simultaneously. When it has, it becomes possible to detect the defect for every display area with high precision.

また、本実施の形態の液晶パネル検査装置10では、光源は、発光素子からなると共に、バックライト制御装置2は、発光素子の液晶パネル11への照射光量を制御することができる。   Moreover, in the liquid crystal panel inspection apparatus 10 of this Embodiment, while a light source consists of a light emitting element, the backlight control apparatus 2 can control the irradiation light quantity to the liquid crystal panel 11 of a light emitting element.

これにより、光源は発光素子からなるので、近年、液晶パネル11の光源として用いられるようになってきた発光素子を用いる場合に、液晶パネル11に、少なくとも2種類以上の異なる階調の表示領域を同時に有する検査パターンを有する場合において、表示領域毎の欠陥を高精度に検出することができる。   Accordingly, since the light source is composed of a light emitting element, when a light emitting element that has been used as a light source of the liquid crystal panel 11 in recent years is used, at least two kinds of display areas having different gradations are provided on the liquid crystal panel 11. In the case where the inspection pattern is included at the same time, it is possible to detect a defect for each display region with high accuracy.

また、本実施の形態の液晶パネル検査装置10では、液晶パネル11をバックライト制御装置2の前面位置かつカメラ3の対向位置に搬送配置する搬送手段としての搬送コンベアを備えている。   In addition, the liquid crystal panel inspection apparatus 10 according to the present embodiment includes a transport conveyor as a transport unit that transports and arranges the liquid crystal panel 11 at the front position of the backlight control device 2 and at the position facing the camera 3.

これにより、液晶パネル11とカメラ3及びその他の構成要素とを分離することが可能である。したがって、液晶パネル11以外の構成要素を固定し、液晶パネル11を順次交換しながら検査を行うことができる。   Thereby, it is possible to separate the liquid crystal panel 11 from the camera 3 and other components. Therefore, it is possible to perform inspection while fixing the components other than the liquid crystal panel 11 and sequentially replacing the liquid crystal panel 11.

なお、本実施の形態の液晶パネル検査装置10は、コンピュータによって実現してもよく、この場合には、コンピュータを上記各手段として動作させることにより液晶パネル検査装置10をコンピュータにて実現させる液晶パネル検査装置10の検査プログラム、及びそれを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体も、本実施の形態の範疇に入る。   The liquid crystal panel inspection apparatus 10 of the present embodiment may be realized by a computer. In this case, a liquid crystal panel that realizes the liquid crystal panel inspection apparatus 10 by a computer by operating the computer as each of the above-described means. The inspection program of the inspection apparatus 10 and a computer-readable recording medium on which the inspection program is recorded also fall within the category of the present embodiment.

また、本発明は、上記の実施の形態に限定されるものではなく、本発明の範囲内で種々の変更が可能である。   The present invention is not limited to the above-described embodiment, and various modifications can be made within the scope of the present invention.

本発明は、表示パネルを撮像装置にて撮像することにより表示パネルの欠陥検査を行う表示パネルの検査装置、表示パネルの検査方法、表示パネルの製造方法、プログラム及び記録媒体に適用することができる。   INDUSTRIAL APPLICABILITY The present invention can be applied to a display panel inspection apparatus, a display panel inspection method, a display panel manufacturing method, a program, and a recording medium that perform defect inspection of the display panel by imaging the display panel with an imaging device. .

上記表示パネルは、透過型及び反射型の液晶パネルに適用可能であると共に、発光素子として、有機EL発光素子、無機EL発光素子、LED(Light Emitting Diode) 等の発光輝度が可変の素子を用いたディスプレイ、フィールドエミッションディスプレイ(FED)、プラズマディスプレイにも利用することができる。   The display panel can be applied to transmissive and reflective liquid crystal panels, and as the light emitting element, an organic EL light emitting element, an inorganic EL light emitting element, an LED (Light Emitting Diode) or the like having a variable light emission luminance is used. It can also be used for conventional displays, field emission displays (FEDs), and plasma displays.

また、液晶パネルのバックライトとしては、複数の蛍光管又はLED(Light Emitting Diode)等を用いることができる。   Further, as the backlight of the liquid crystal panel, a plurality of fluorescent tubes or LEDs (Light Emitting Diodes) can be used.

本発明における液晶パネル検査装置の実施の一形態を示すものであり、液晶パネル点灯制御装置及び液晶パネルの構成を示すブロック図である。BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 illustrates an embodiment of a liquid crystal panel inspection device according to the present invention, and is a block diagram illustrating a configuration of a liquid crystal panel lighting control device and a liquid crystal panel. 上記液晶パネル検査装置の全体構成を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the whole structure of the said liquid crystal panel test | inspection apparatus. 上記液晶パネル検査装置におけるカメラ3に設けられた撮像素子及びアンプ部を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the image pick-up element and amplifier part which were provided in the camera 3 in the said liquid crystal panel test | inspection apparatus. (a)は液晶パネルの全面白表示の検査パターンにおける欠陥を示す平面図であり、(b)は液晶パネルの全面黒表示における欠陥を示す平面図である。(A) is a top view which shows the defect in the test pattern of the whole surface white display of a liquid crystal panel, (b) is a top view which shows the defect in the whole surface black display of a liquid crystal panel. (a)は液晶パネルの白黒表示の検査パターンにおける欠陥を示す平面図であり、(b)は液晶パネルの黒白表示における欠陥を示す平面図である。(A) is a top view which shows the defect in the inspection pattern of the monochrome display of a liquid crystal panel, (b) is a top view which shows the defect in the black-and-white display of a liquid crystal panel. 液晶パネルにおける階調の段階的変化パターンである全階調表示の検査パターンにおける欠陥を示す平面図である。It is a top view which shows the defect in the test | inspection pattern of the all gradation display which is a gradation change pattern in a liquid crystal panel. (a)は3bitの場合における正常な階調の段階的変化パターンを示す図であり、(b)は3bitの場合において1桁目のbitが点灯しないときの階調の変化パターンを示す図であり、(c)は3bitの場合において2桁目のbitが点灯しないときの階調の変化パターンを示す図であり、(d)は3bitの場合において3桁目のbitが点灯しないときの階調の変化パターンを示す図である。(A) is a figure which shows the step change pattern of the normal gradation in the case of 3 bits, (b) is a figure which shows the change pattern of the gradation when the 1st bit bit does not light in the case of 3 bits. (C) is a diagram showing a gradation change pattern when the second digit bit is not lit in the case of 3 bits, and (d) is a floor when the third digit bit is not lit in the case of 3 bits. It is a figure which shows the change pattern of a tone. (a)は縦方向に1080ピクセルを有する液晶パネルの正常な階調の段階的変化パターンを示す平面図であり、(b)はその階調の段階的変化パターンを示す断面図である。(A) is a top view which shows the step change pattern of the normal gradation of the liquid crystal panel which has 1080 pixels in the vertical direction, (b) is sectional drawing which shows the step change pattern of the gradation. (a)〜(e)は、図4〜図6に示す液晶パネルの検査パターンに対応するバックライトユニットの点灯パターンを示す平面図である。(A)-(e) is a top view which shows the lighting pattern of the backlight unit corresponding to the test | inspection pattern of the liquid crystal panel shown in FIGS. (a)は液晶パネルの各分割画面に、昇順→降順となる階調の段階的変化パターンを表示させた検査パターンを示す平面図であり、(b)は液晶パネルの各分割画面に、降順→昇順となる階調の段階的変化パターンを表示させた検査パターンを示す平面図である。(A) is a top view which shows the test | inspection pattern which displayed the stepwise change pattern of the gradation which becomes an ascending order-> descending order on each divided screen of a liquid crystal panel, (b) is a descending order on each divided screen of a liquid crystal panel. → It is a plan view showing an inspection pattern displaying a gradation stepwise change pattern in ascending order. 上記液晶パネルの各分割画面に、昇順→降順となる階調の段階的変化パターンを表示させた検査パターンを採用することにより、液晶パネルの中央が黒表示となり、撮像領域TAP9が黒表示となっている液晶パネルを示す平面図である。By adopting an inspection pattern in which the gradation stepwise change pattern from ascending order to descending order is displayed on each divided screen of the liquid crystal panel, the center of the liquid crystal panel becomes black and the imaging area TAP9 becomes black. It is a top view which shows the liquid crystal panel. (a)は液晶パネルの各分割画面に、昇順→降順となる階調の段階的変化パターンを表示させた検査パターンを示すグラフであり、(b)はそのときの撮像領域TAP1〜TAP16とゲインとの関係を示すグラフである。(A) is a graph which shows the test pattern which displayed the gradation step change pattern which becomes an ascending order-> descending order on each division | segmentation screen of a liquid crystal panel, (b) is the imaging area TAP1-TAP16 at that time, and a gain It is a graph which shows the relationship. (a)は液晶パネルの各分割画面に、昇順→昇順となる階調の段階的変化パターンを表示させた検査パターンを示すグラフであり、(b)はそのときの各領域の蛍光管の電圧値との関係を示すグラフである。(A) is a graph which shows the test | inspection pattern which displayed the stepwise change pattern of the gradation which becomes an ascending order-> ascending order on each division | segmentation screen of a liquid crystal panel, (b) is the voltage of the fluorescent tube of each area | region at that time It is a graph which shows the relationship with a value. (a)は液晶パネルの各分割画面に、昇順→降順となる階調の段階的変化パターンを表示させた検査パターンを示すグラフであり、(b)はそのときの各領域の蛍光管の電圧値を示すグラフである。(A) is a graph which shows the test | inspection pattern which displayed the stepwise change pattern of the gradation which becomes an ascending order-> descending order on each division | segmentation screen of a liquid crystal panel, (b) is the voltage of the fluorescent tube of each area | region at that time It is a graph which shows a value. 上記液晶パネルの検査制御装置の制御動作を示す図である。It is a figure which shows the control action of the test | inspection control apparatus of the said liquid crystal panel. 従来の欠陥装置を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the conventional defect apparatus. (a)は上記欠陥装置の被対象領域であるメモリチップの構成を示す平面図であり、(b)はメモリチップにおけるメモリマット部及び周辺回路の明るさの違いを示すグラフである。(A) is a top view which shows the structure of the memory chip which is an object area | region of the said defect apparatus, (b) is a graph which shows the difference in the brightness of the memory mat part and peripheral circuit in a memory chip. 従来のさらに他の欠陥装置における検査パターンを示す図である。It is a figure which shows the test | inspection pattern in other conventional defect apparatuses. (a)は従来の他の欠陥装置において、液晶パネルの各分割画面に、昇順→昇順となる階調の段階的変化パターンを表示させた検査パターンを示す平面図であり、(b)は液晶パネルの各分割画面に、降順→降順となる階調の段階的変化パターンを表示させた検査パターンを示す平面図である。(A) is a top view which shows the test | inspection pattern which displayed the stepwise change pattern of the gradation which becomes an ascending order-> ascending order on each division | segmentation screen of a liquid crystal panel in another conventional defect apparatus, (b) is a liquid crystal It is a top view which shows the test | inspection pattern which displayed the stepwise change pattern of the gradation which becomes descending order-> descending order on each divided screen of a panel. 上記液晶パネルの各分割画面に、昇順→昇順となる階調の段階的変化パターンを表示させた検査パターンを採用することにより、液晶パネルの中央が白黒表示となり、撮像領域TAP9が白黒表示となっている液晶パネルを示す平面図である。By adopting an inspection pattern in which a gradation step change pattern from ascending order to ascending order is displayed on each divided screen of the liquid crystal panel, the center of the liquid crystal panel becomes black and white, and the imaging area TAP9 becomes black and white. It is a top view which shows the liquid crystal panel. (a)は液晶パネルの各分割画面に、昇順→昇順となる階調の段階的変化パターンを表示させた検査パターンを示すグラフであり、(b)はそのときの撮像領域TAP1〜TAP16のゲインを示すグラフである。(A) is a graph showing an inspection pattern in which gradation stepwise change patterns in ascending order → ascending order are displayed on each divided screen of the liquid crystal panel, and (b) is a gain of the imaging regions TAP1 to TAP16 at that time. It is a graph which shows.

符号の説明Explanation of symbols

1 バックライトユニット(照射手段)
1a 蛍光管(光源)
2 バックライト制御装置(光量制御手段)
3 カメラ(撮像装置)
3b アンプ部(感度調整手段)
4 走査ステージ
5 画像処理装置
10 液晶パネル検査装置(表示パネルの検査装置)
11 液晶パネル(表示パネル)
11a 表示画面(画面)
11b 額縁
12a ソースドライバ(画面分割駆動手段)
12b ソースドライバ(画面分割駆動手段)
13 ゲートドライバ(画面分割駆動手段)
20 液晶パネル点灯信号発生装置(検査パターン表示手段)
21 機種情報入力部(機種情報手段)
22 信号データ記憶部
23 信号データロード部(正信号データ取得手段)
24 反転データ作成回路(昇降順序配設手段、反転データ作成手段)
25 入力選択回路(昇降順序配設手段、正・反転信号データ切替手段)
26 制御回路(制御信号出力手段)
30 検査制御装置
TAP1〜16 撮像領域
1 Backlight unit (irradiation means)
1a Fluorescent tube (light source)
2 Backlight control device (light quantity control means)
3 Camera (imaging device)
3b Amplifier section (sensitivity adjustment means)
4 Scanning stage 5 Image processing device 10 Liquid crystal panel inspection device (display panel inspection device)
11 Liquid crystal panel (display panel)
11a Display screen (screen)
11b Frame 12a Source driver (screen division drive means)
12b Source driver (screen division drive means)
13 Gate driver (screen division drive means)
20 Liquid crystal panel lighting signal generator (inspection pattern display means)
21 Model information input section (model information means)
22 signal data storage unit 23 signal data load unit (positive signal data acquisition means)
24 Inverted data creation circuit (ascending / descending order arranging means, inverted data creating means)
25 Input selection circuit (ascending / descending order arrangement means, forward / reverse signal data switching means)
26 Control circuit (control signal output means)
30 Inspection Control Devices TAP1-16 Imaging Area

Claims (12)

表示パネルの画面を撮像装置にて撮像して上記表示パネルの欠陥検査を行う表示パネルの検査装置において、
上記表示パネルの画面を少なくとも一方向に複数に分割して互いに独立して同時駆動させる画面分割駆動手段と、
上記表示パネルの各分割画面に、検査パターンとして階調の段階的変化パターンを表示させる検査パターン表示手段とが設けられていると共に、
上記検査パターン表示手段は、
上記表示パネルの各分割画面に表示される階調の段階的変化パターンを、分割画面毎に交互に昇順及び降順、又は降順及び昇順となるように配設する昇降順序配設手段を備えていることを特徴とする表示パネルの検査装置。
In the display panel inspection apparatus that performs the defect inspection of the display panel by imaging the screen of the display panel with an imaging apparatus,
A screen division driving means for dividing the display panel screen into a plurality of screens in at least one direction and simultaneously driving them independently from each other;
Each divided screen of the display panel is provided with inspection pattern display means for displaying a gradation step change pattern as an inspection pattern, and
The inspection pattern display means includes
There is provided an ascending / descending order arrangement means for arranging the gradation step change pattern displayed on each divided screen of the display panel alternately in ascending order and descending order or descending order and ascending order for each divided screen. A display panel inspection apparatus characterized by that.
前記検査パターン表示手段は、
画面分割数を含む機種情報を入力する機種情報手段と、
予め設定された階調を表示する検査パターンの正信号データを取得する正信号データ取得手段と、
前記画面分割駆動手段に上記検査パターンを表示させる制御信号を出力する制御信号出力手段とを備えていると共に、
前記昇降順序配設手段は、
上記正信号データを反転した反転データを作成する反転データ作成手段と、
上記制御信号出力手段が前記画面分割駆動手段に上記検査パターンを表示させる制御信号を出力するときに、上記正信号データ及び反転信号データを、表示パネルの分割画面毎に交互に出力するように切り替える正・反転信号データ切替手段とを備えていることを特徴とする請求項1記載の表示パネルの検査装置。
The inspection pattern display means includes
Model information means for inputting model information including the number of screen divisions,
A positive signal data acquisition means for acquiring positive signal data of an inspection pattern for displaying a preset gradation;
A control signal output means for outputting a control signal for causing the screen division driving means to display the inspection pattern;
The ascending / descending order arrangement means includes:
Inverted data creating means for creating inverted data obtained by inverting the positive signal data;
When the control signal output means outputs a control signal for displaying the inspection pattern on the screen division driving means, the positive signal data and the inverted signal data are switched so as to be alternately output for each divided screen of the display panel. 2. The display panel inspection apparatus according to claim 1, further comprising a normal / inverted signal data switching means.
前記撮像装置は、階調の段階的変化パターンにおける階調変化方向に沿う複数の撮像素子毎に感度調整を行う感度調整手段を備えていることを特徴とする請求項1又は2記載の表示パネルの検査装置。   3. The display panel according to claim 1, wherein the imaging device includes a sensitivity adjustment unit that performs sensitivity adjustment for each of a plurality of imaging elements along a gradation change direction in a gradation stepwise change pattern. Inspection equipment. 前記撮像装置は、TDIセンサ型カメラからなっていることを特徴とする請求項1、2又は3記載の表示パネルの検査装置。   4. The display panel inspection apparatus according to claim 1, wherein the imaging apparatus is a TDI sensor type camera. 前記表示パネルを背後から照射する複数の光源を有し、かつ各光源の上記表示パネルへの照射光量を増減制御する照射手段と、
前記階調が高い表示領域ほど上記光源の表示パネルへの照射光量を小さくすると共に、上記階調が低い表示領域ほど上記光源の表示パネルへの照射光量を大きくするように上記照射手段を制御する光量制御手段とを備えていることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の表示パネルの検査装置。
A plurality of light sources for irradiating the display panel from behind, and an irradiating means for increasing / decreasing the amount of light applied to the display panel of each light source;
The irradiation unit is controlled so that the light amount irradiated to the display panel of the light source decreases as the display region with the higher gradation, and the light irradiation amount to the display panel of the light source increases in the display region with the lower gradation. 5. The display panel inspection apparatus according to claim 1, further comprising a light quantity control unit.
前記光源は、蛍光管からなると共に、
前記光量制御手段は、蛍光管の前記表示パネルへの照射光量を制御することを特徴とする請求項5記載の表示パネルの検査装置。
The light source comprises a fluorescent tube,
6. The display panel inspection apparatus according to claim 5, wherein the light amount control means controls a light amount irradiated to the display panel of a fluorescent tube.
前記光源は、発光素子からなると共に、
前記光量制御手段は、上記発光素子の前記表示パネルへの照射光量を制御することを特徴とする請求項5記載の透過型表示パネルの検査装置。
The light source comprises a light emitting element,
The transmissive display panel inspection apparatus according to claim 5, wherein the light amount control unit controls a light amount irradiated to the display panel of the light emitting element.
前記表示パネルを撮像装置の対向位置に搬送配置する搬送手段を備えていることを特徴とする請求項1〜7のいずれか1項に記載の表示パネルの検査装置。   The display panel inspection apparatus according to claim 1, further comprising a conveyance unit configured to convey and arrange the display panel at a position opposite to the imaging apparatus. 表示パネルの画面を撮像装置にて撮像して上記表示パネルの欠陥検査を行う表示パネルの検査方法において、
上記表示パネルの画面を少なくとも一方向に複数に分割して互いに独立して同時駆動させる画面分割駆動工程と、
上記表示パネルの各分割画面に、検査パターンとして階調の段階的変化パターンを表示させる検査パターン表示工程と、
上記表示パネルの各分割画面に表示される階調の段階的変化パターンを、分割画面毎に交互に昇順及び降順、又は降順及び昇順となるように配設する昇降順序配設工程とを含むことを特徴とする表示パネルの検査方法。
In the display panel inspection method in which the screen of the display panel is imaged by an imaging device and the display panel is inspected for defects.
A screen division driving process in which the screen of the display panel is divided into a plurality of screens in at least one direction and simultaneously and independently driven;
An inspection pattern display step for displaying a gradation step change pattern as an inspection pattern on each divided screen of the display panel;
And an ascending / descending order arranging step of arranging gradation changing patterns displayed on each divided screen of the display panel alternately in ascending order and descending order or descending order and ascending order for each divided screen. A display panel inspection method characterized by the above.
請求項1記載の表示パネルの検査装置における撮像装置の対向位置に表示パネルを配置する工程と、
上記表示パネルの検査装置における撮像装置の対向位置に配置された表示パネルを、請求項9記載の表示パネルの検査方法により、欠陥検査する工程とを含むことを特徴とする表示パネルの製造方法。
Disposing the display panel at a position facing the imaging device in the display panel inspection apparatus according to claim 1;
A method for manufacturing a display panel, comprising: a step of inspecting a display panel disposed at a position opposite to an imaging device in the display panel inspection apparatus by a display panel inspection method according to claim 9.
請求項1〜8のいずれか1項に記載の表示パネルの検査装置を動作させる表示パネルの検査プログラムであって、コンピュータを上記の各手段として機能させるための表示パネルの検査プログラム。   A display panel inspection program for operating the display panel inspection apparatus according to claim 1, wherein the computer functions as each of the above-described means. 請求項11に記載の表示パネルの検査プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体。   The computer-readable recording medium which recorded the test | inspection program of the display panel of Claim 11.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2015136589A1 (en) * 2014-03-14 2015-09-17 株式会社Joled Method for manufacturing display panel
JP2018130525A (en) * 2017-07-10 2018-08-23 株式会社大都技研 Game machine

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101799514B1 (en) 2011-04-11 2017-12-21 엘지디스플레이 주식회사 Apparatus for Testing Display Panel
KR20150001094A (en) 2013-06-26 2015-01-06 삼성디스플레이 주식회사 Method of substrate inspection

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0727714A (en) * 1993-07-13 1995-01-31 Sharp Corp Inspection apparatus for plane display panel
JP2006343688A (en) * 2005-06-10 2006-12-21 Seiko Epson Corp Display panel module, display apparatus, and apparatus and method for inspecting display panel
JP2009031332A (en) * 2007-07-24 2009-02-12 Sharp Corp Device and method for inspecting transmissive display panel, method for manufacturing transmissive display panel, program and recording medium

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0727714A (en) * 1993-07-13 1995-01-31 Sharp Corp Inspection apparatus for plane display panel
JP2006343688A (en) * 2005-06-10 2006-12-21 Seiko Epson Corp Display panel module, display apparatus, and apparatus and method for inspecting display panel
JP2009031332A (en) * 2007-07-24 2009-02-12 Sharp Corp Device and method for inspecting transmissive display panel, method for manufacturing transmissive display panel, program and recording medium

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2015136589A1 (en) * 2014-03-14 2015-09-17 株式会社Joled Method for manufacturing display panel
CN106133818A (en) * 2014-03-14 2016-11-16 株式会社日本有机雷特显示器 The manufacture method of display floater
JPWO2015136589A1 (en) * 2014-03-14 2017-04-06 株式会社Joled Manufacturing method of display panel
US9702919B2 (en) 2014-03-14 2017-07-11 Joled Inc. Method for manufacturing display panel
CN106133818B (en) * 2014-03-14 2019-04-02 株式会社日本有机雷特显示器 The manufacturing method of display panel
JP2018130525A (en) * 2017-07-10 2018-08-23 株式会社大都技研 Game machine

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