JP2009031332A - Device and method for inspecting transmissive display panel, method for manufacturing transmissive display panel, program and recording medium - Google Patents

Device and method for inspecting transmissive display panel, method for manufacturing transmissive display panel, program and recording medium Download PDF

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To detect a defect in each display region with high accuracy, in the case that an inspection pattern simultaneously having at least two kinds or more display regions with mutually different gray scale levels exists on a transmissive display panel. <P>SOLUTION: Defect inspection is conducted for a liquid crystal panel 11 performing a gray scale display by controlling fluctuation of transmitted light quantity. The inspecting device includes: a backlight unit 1 which has a plurality of fluorescent tubes 1a through which the liquid crystal panel 11 is irradiated with fluorescence from behind and controls the fluctuation of irradiating light quantity of each fluorescent tube 1a toward the liquid crystal panel 11; a liquid crystal panel turn-on controlling device 3 which displays the inspection pattern simultaneously having at least two kinds or more display regions with mutually different gray scales on the liquid crystal panel 11; and a backlight controller 2 which controls the backlight unit 1 in such a way that the higher the gray scale levels of the display region, the irradiating light quantity of the fluorescent tubes 1a is made smaller, and the lower the gray scale levels of the display region, the irradiating light quantity of the fluorescent tubes 1a is made larger. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は、例えば透過型液晶パネル等の透過型表示パネルの背面からバックライトを照射して、透過型表示パネルの欠陥部分の抽出を行うことにより透過型表示パネルの欠陥検査を行う透過型表示パネルの検査装置、透過型表示パネルの検査方法、透過型表示パネルの製造方法、プログラム及び記録媒体に関するものである。   The present invention relates to a transmissive display that performs defect inspection of a transmissive display panel by irradiating a backlight from the back of the transmissive display panel such as a transmissive liquid crystal panel and extracting defective portions of the transmissive display panel. The present invention relates to a panel inspection apparatus, a transmissive display panel inspection method, a transmissive display panel manufacturing method, a program, and a recording medium.

液晶パネル製造ラインの検査工程においては、液晶パネルの点灯検査としてバックライトを一様に光らせた状態で液晶パネルの透過光を検査員により観察し、又はカメラ等のセンサを用いて観察する。   In the inspection process of the liquid crystal panel production line, the transmitted light of the liquid crystal panel is observed by an inspector in a state where the backlight is uniformly illuminated as a lighting inspection of the liquid crystal panel, or is observed using a sensor such as a camera.

ところで、液晶パネルの回路不良や異物の混入等を原因とする液晶パネルの欠陥は、特定の表示モードでのみ顕在化する場合が多いため、上記点灯検査は複数の表示モードを液晶パネル上に表示しながら検査を行う必要がある。   By the way, since the defect of the liquid crystal panel due to the circuit defect of the liquid crystal panel or the mixing of foreign matters is often manifested only in a specific display mode, the above lighting inspection displays a plurality of display modes on the liquid crystal panel. Inspection is necessary.

例えば、特許文献1に開示する表示パネルの検査方法では、例えば黒表示における輝点欠陥検査時にはバックライトの強度を上げることにより、輝点の背景に対する相対強度を上げる等、複数の表示モード及び検査の目的に適したバックライト強度の制御を行っている。これにより、検査員が欠陥を発見するのを容易にしている。
特開2006−343688号公報(2006年12月21日公開) 特開2002−244097号公報(2002年8月28日公開)
For example, in the display panel inspection method disclosed in Patent Document 1, a plurality of display modes and inspections such as increasing the relative intensity of the bright spot with respect to the background by increasing the intensity of the backlight at the time of the bright spot defect inspection in black display, for example. The backlight intensity suitable for the purpose is controlled. This makes it easy for inspectors to find defects.
JP 2006-343688 A (published on December 21, 2006) JP 2002-244097 A (released on August 28, 2002)

しかしながら、上記従来の液晶パネルの検査装置では、パネル全面に一様な表示を行う場合の検査精度を上げることはできるものの、パネル内に特定の明暗パターンが存在した場合にのみ出現するような欠陥を強調する場合であってもパネル全面の透過光量を照明強度に比例して増大又は減少させる。このため、暗い領域を強調するために明るい領域が飽和する、又はその逆に、明るい領域を抑制するために暗い領域の輝度が低下するという問題点を有している。   However, in the above conventional liquid crystal panel inspection apparatus, although it is possible to improve the inspection accuracy when performing uniform display on the entire surface of the panel, a defect that appears only when a specific light and dark pattern exists in the panel Even when emphasizing, the amount of light transmitted through the entire panel is increased or decreased in proportion to the illumination intensity. For this reason, there is a problem that the bright region is saturated to emphasize the dark region, or conversely, the luminance of the dark region is decreased to suppress the bright region.

例えば、ソース−ドレイン間の短絡によるリーク欠陥を検出するための検査パターンとして、例えば特許文献2には、透過型表示パネルにおける表示画面を2分割し、一方が黒表示されかつ他方が白表示される場合と、上記一方が白表示されかつ上記他方が黒表示される場合とにより行うことが開示されている。このような場合には、上記の問題が発生する。   For example, as an inspection pattern for detecting a leak defect due to a short circuit between a source and a drain, for example, in Patent Document 2, a display screen in a transmissive display panel is divided into two, one being displayed in black and the other being displayed in white. And the case where the one is displayed in white and the other is displayed in black. In such a case, the above problem occurs.

本発明は、上記従来の問題点に鑑みなされたものであって、その目的は、透過型表示パネルに、少なくとも2種類以上の異なる階調の表示領域を同時に有する検査パターンを有する場合において、表示領域毎の欠陥を高精度に検出する透過型表示パネルの検査装置、透過型表示パネルの検査方法、透過型表示パネルの製造方法、プログラム及び記録媒体を実現することにある。   The present invention has been made in view of the above-described problems of the related art, and its object is to display in the case where a transmissive display panel has an inspection pattern having at least two kinds of display areas of different gradations at the same time. A transmissive display panel inspection apparatus, a transmissive display panel inspection method, a transmissive display panel manufacturing method, a program, and a recording medium that detect defects in each region with high accuracy are provided.

本発明の透過型表示パネルの検査装置は、上記課題を解決するために、光透過量の増減を制御することにより階調表示を行う、被検査物である透過型表示パネルの欠陥検査を行う透過型表示パネルの検査装置において、上記透過型表示パネルを背後から照射する複数の光源を有し、かつ各光源の上記透過型表示パネルへの照射光量を増減制御する照射手段と、上記透過型表示パネルに、少なくとも2種類以上の異なる階調の表示領域を同時に有する検査パターンを表示させる検査パターン表示手段と、上記階調が高い表示領域ほど上記光源の透過型表示パネルへの照射光量を小さくすると共に、上記階調が低い表示領域ほど上記光源の透過型表示パネルへの照射光量を大きくするように上記照射手段を制御する光量制御手段とを備えていることを特徴としている。なお、光透過量とは、単位面積当たりの光透過量をいう。   In order to solve the above-described problems, the inspection apparatus for a transmissive display panel according to the present invention performs a defect inspection of a transmissive display panel, which is an inspection object, that performs gradation display by controlling increase / decrease in the amount of light transmission. In an inspection apparatus for a transmissive display panel, the transmissive display panel includes a plurality of light sources that irradiate the transmissive display panel from behind, and an irradiating unit that controls increase / decrease of the amount of light applied to the transmissive display panel by each light source; Inspection pattern display means for displaying an inspection pattern having at least two different gradation display areas simultaneously on the display panel, and the amount of light applied to the transmissive display panel of the light source decreases as the display area has a higher gradation. And a light amount control means for controlling the irradiating means so as to increase the amount of light applied to the transmissive display panel of the light source as the display area has a lower gradation. It is characterized in. The light transmission amount refers to the light transmission amount per unit area.

また、本発明の透過型表示パネルの検査方法は、上記課題を解決するために、光透過量の増減を制御することにより階調表示を行う、被検査物である透過型表示パネルの欠陥検査を行う透過型表示パネルの検査方法において、上記透過型表示パネルを背後から照射する複数の光源を設ける工程と、上記透過型表示パネルに、少なくとも2種類以上の異なる階調の表示領域を同時に有する検査パターンを表示させる工程と、上記階調が高い表示領域ほど上記光源の透過型表示パネルへの照射光量を小さくすると共に、上記階調が低い表示領域ほど上記光源の透過型表示パネルへの照射光量を大きくするように制御する工程とを含むことを特徴としている。   In addition, in order to solve the above-described problem, the inspection method for a transmission display panel according to the present invention performs defect display by controlling increase / decrease in the amount of light transmission, and inspects the defect of the transmission display panel as an inspection object. In the inspection method for a transmissive display panel, a step of providing a plurality of light sources for irradiating the transmissive display panel from behind, and a transmissive display panel having at least two kinds of display areas of different gradations simultaneously The step of displaying an inspection pattern, and the amount of light emitted to the transmissive display panel of the light source is reduced as the display area has a higher gradation, and the light source irradiates the transmissive display panel of the light source as the display area has a lower gradation. And a step of controlling to increase the amount of light.

また、本発明の透過型表示パネルの製造方法は、上記課題を解決するために、上記記載の透過型表示パネルの検査装置における照射手段の前面位置に透過型表示パネルを配置する工程と、上記透過型表示パネルの検査装置における照射手段の前面位置に配置された透過型表示パネルを、上記記載の透過型表示パネルの検査方法により、欠陥検査する工程とを含むことを特徴としている。   According to another aspect of the present invention, there is provided a method for manufacturing a transmissive display panel, including a step of disposing a transmissive display panel at a front surface position of an irradiation unit in the transmissive display panel inspection apparatus described above, And a step of inspecting the transmissive display panel disposed in front of the irradiation means in the transmissive display panel inspection apparatus by the above-described transmissive display panel inspection method.

上記の発明によれば、照射手段は、透過型表示パネルを背後から照射する複数の光源を有し、かつ各光源の上記透過型表示パネルへの照射光量を増減制御するようになっている。そして、透過型表示パネルに、少なくとも2種類以上の異なる階調の表示領域を同時に有する検査パターンを表示させる場合の欠陥検査においては、光量制御手段が、階調が高い表示領域ほど光源の透過型表示パネルへの照射光量を小さくすると共に、階調が低い表示領域ほど光源の透過型表示パネルへの照射光量を大きくするように照射手段を制御する。   According to the invention, the irradiating means has a plurality of light sources that irradiate the transmissive display panel from the back, and controls the increase and decrease of the amount of light applied to the transmissive display panel by each light source. In the defect inspection in the case where an inspection pattern having at least two types of display areas with different gradations is displayed on the transmission type display panel at the same time, the light amount control means is configured such that the display area with higher gradations has a light source transmission type. The irradiation unit is controlled so as to reduce the amount of light applied to the display panel and to increase the amount of light applied to the transmissive display panel of the light source as the display area has a lower gradation.

このため、検査対象である透過型表示パネルを特定の条件下で点灯させたときに発生させた場合にのみ顕在化する透過型表示パネルの欠陥の検査を高精度に行うために、例えば、照射手段の光源毎の強度を透過型表示パネルの階調に基づいて制御することができる。   For this reason, in order to accurately inspect the defects of the transmissive display panel that becomes apparent only when it is generated when the transmissive display panel to be inspected is turned on under specific conditions, for example, irradiation The intensity for each light source of the means can be controlled based on the gradation of the transmissive display panel.

この結果、透過型表示パネルに現れた欠陥を透過型表示パネルの表示領域毎に最適な条件下で検査することができるようになり、欠陥の検出精度向上が可能になる。すなわち、検査員或いは検査用機材は、透過型表示パネルの全面を一様な照射光量下で観察できるようになるので、欠陥の発見を容易に行うことができるようになる。   As a result, defects appearing on the transmissive display panel can be inspected under optimum conditions for each display area of the transmissive display panel, and defect detection accuracy can be improved. That is, the inspector or the inspection equipment can observe the entire surface of the transmissive display panel under a uniform amount of irradiation light, so that the defect can be easily found.

特に、例えば、カメラで撮像した画像をコンピュータで処理することにより透過型表示パネルの欠陥検査を行う場合には、カメラのダイナミックレンジの範囲に適したパネル透過光条件が設定できるようになる。この結果、カメラの露光時間やゲインの設定を変更しながら複数回撮像を行う必要がなく、検査を迅速に行うことができるようになる。   In particular, for example, when a defect inspection of a transmissive display panel is performed by processing an image captured by a camera with a computer, a panel transmitted light condition suitable for the range of the dynamic range of the camera can be set. As a result, it is not necessary to perform imaging a plurality of times while changing the exposure time and gain setting of the camera, and the inspection can be performed quickly.

したがって、透過型表示パネルに、少なくとも2種類以上の異なる階調の表示領域を同時に有する検査パターンを有する場合において、表示領域毎の欠陥を高精度に検出する透過型表示パネルの検査装置、透過型表示パネルの検査方法、透過型表示パネルの製造方法を実現することができる。   Therefore, when the transmissive display panel has an inspection pattern having at least two types of display areas with different gradations at the same time, the transmissive display panel inspection apparatus and the transmissive display panel can detect defects in each display area with high accuracy. A display panel inspection method and a transmissive display panel manufacturing method can be realized.

また、本発明の透過型表示パネルの検査装置では、前記検査パターンは、前記透過型表示パネルにおける表示画面を2分割し、分割画面の一方が黒表示されかつ他方が白表示される場合と、分割画面の一方が白表示されかつ上記他方が黒表示される場合とを含むことが好ましい。   Further, in the inspection device for a transmissive display panel according to the present invention, the inspection pattern divides the display screen of the transmissive display panel into two, one of the divided screens is displayed in black and the other is displayed in white. Preferably, one of the divided screens is displayed in white and the other is displayed in black.

これにより、ソース(S)方向の電荷がドレイン(D)に漏出して発生するいわゆるSDリークの欠陥を精度良く検出することができる。   As a result, it is possible to accurately detect a so-called SD leak defect that occurs due to leakage of charge in the source (S) direction to the drain (D).

また、本発明の透過型表示パネルの検査装置では、前記検査パターンは、前記透過型表示パネルの最小階調から最大階調までを少なくとも3分割した、異なる階調の表示領域に分割表示されたものからなっていることが好ましい。   In the inspection apparatus for a transmissive display panel according to the present invention, the inspection pattern is divided and displayed in display areas of different gradations obtained by dividing at least three parts from the minimum gradation to the maximum gradation of the transmissive display panel. It is preferable to consist of things.

これにより、透過型表示パネルの最小階調から最大階調までを少なくとも3分割した、異なる階調の表示領域に分割表示された検査パターンを用いるので、特定の階調でコントラストが目立つ線欠陥である特定階調線欠陥、又はドライバにおける特定のビットの動作不良によって生じる特定階調不良の線欠陥を精度良く発見することができる。   As a result, the inspection pattern divided and displayed in the display area of different gradations obtained by dividing at least three from the minimum gradation to the maximum gradation of the transmissive display panel is used. A specific gradation line defect or a line defect of a specific gradation defect caused by an operation failure of a specific bit in the driver can be found with high accuracy.

また、本発明の透過型表示パネルの検査装置では、前記光量制御手段は、前記検査パターンにおける前記透過型表示パネルの各表示領域の階調毎における光源の標準光量による光透過量を測定する光透過量測定手段と、上記光透過量測定手段にて求めた各表示領域の光透過量に基づいて、各光源の出力を決定する部位出力設定手段とを備えていることが好ましい。   In the inspection apparatus for a transmissive display panel according to the present invention, the light amount control means is a light for measuring a light transmission amount by a standard light amount of a light source for each gradation of each display area of the transmissive display panel in the inspection pattern. It is preferable to include a transmission amount measurement unit and a part output setting unit that determines the output of each light source based on the light transmission amount of each display region obtained by the light transmission amount measurement unit.

これにより、光透過量測定手段及び部位出力設定手段により、表示領域毎の欠陥を検出するときに、具体的に、目視又はカメラによる検出において、検出し易く、かつカメラの測定ダイナミックレンジの範囲内になるように光透過量を設定することができる。   Thus, when a defect for each display area is detected by the light transmission amount measuring means and the part output setting means, specifically, it is easy to detect visually or in the detection by the camera, and is within the measurement dynamic range of the camera. The light transmission amount can be set so that

また、本発明の透過型表示パネルの検査装置では、前記透過型表示パネルにおける、光源からの透過光を撮像する撮像手段と、上記撮像手段にて撮像した像を画像処理し濃淡比較を行うことにより欠陥部分の抽出を行う画像処理手段が設けられていることが好ましい。   In the transmissive display panel inspection apparatus according to the present invention, the imaging means for imaging the transmitted light from the light source in the transmissive display panel and the image captured by the imaging means are subjected to image processing and density comparison is performed. It is preferable that image processing means for extracting a defective portion is provided.

これにより、撮像手段により光源からの透過光を撮像し、画像処理手段にて、その撮像手段にて撮像した像を画像処理し濃淡比較を行うことにより欠陥部分の抽出を行うことができる。   Thereby, the transmitted light from the light source is picked up by the image pickup means, the image picked up by the image pickup means is image processed by the image processing means, and the defective portion can be extracted by comparing the light and shade.

また、本発明の透過型表示パネルの検査装置では、前記撮像手段は、エリアセンサ型カメラであることが好ましい。   In the transmissive display panel inspection apparatus of the present invention, it is preferable that the imaging means is an area sensor type camera.

上記の発明によれば、撮像手段は、エリアセンサ型カメラである。すなわち、エリアセンサは、ラインセンサよりも撮像範囲が広い。しかし、エリアセンサは、一般に、撮像光量を調整するためのゲイン設定及び露光時間の制御が取込み領域全域で均一である。したがって、検査対象物に階調に基づく濃淡が存在すると飽和(高光量領域)或いは感度不足(低光量領域)が発生する可能性がある。すなわち、撮像手段がエリアセンサ型カメラである場合は、一般的に素子の出力は露光時間で決まる受光量にセンサ全体で一様なアナログゲインをかけたものになる。したがって、パネル透過光の強度の範囲が広いとカメラ素子のダイナミックレンジを超えるため飽和又は情報の欠落が発生する。   According to the above invention, the imaging means is an area sensor type camera. That is, the area sensor has a wider imaging range than the line sensor. However, in the area sensor, generally, the gain setting for adjusting the amount of imaged light and the control of the exposure time are uniform over the entire capturing area. Therefore, if the inspection object has a gradation based on gradation, saturation (high light amount region) or insufficient sensitivity (low light amount region) may occur. That is, when the imaging means is an area sensor type camera, the output of the element is generally obtained by multiplying the received light amount determined by the exposure time by a uniform analog gain over the entire sensor. Therefore, when the range of the intensity of the panel transmitted light is wide, the dynamic range of the camera element is exceeded, and saturation or information loss occurs.

したがって、本発明では、このようなエリアセンサ型カメラを用いた場合において、透過型表示パネルの表示領域における光源の照射光量を制御することによって、検査対象物全域で高感度の検査を行うことができる。   Therefore, in the present invention, when such an area sensor type camera is used, high sensitivity inspection can be performed over the entire inspection target by controlling the amount of light emitted from the light source in the display area of the transmissive display panel. it can.

また、本発明の透過型表示パネルの検査装置では、前記光源は、蛍光管からなると共に、前記光量制御手段は、蛍光管の前記透過型表示パネルへの照射光量を制御することが好ましい。   In the transmissive display panel inspection apparatus of the present invention, it is preferable that the light source is a fluorescent tube, and the light amount control means controls the amount of light applied to the transmissive display panel of the fluorescent tube.

これにより、光源は蛍光管からなるので、透過型表示パネルの光源として一般的な蛍光管を用いる場合に、透過型表示パネルに、少なくとも2種類以上の異なる階調の表示領域を同時に有する検査パターンを有する場合において、表示領域毎の欠陥を高精度に検出する透過型表示パネルの検査装置、透過型表示パネルの検査方法、透過型表示パネルの製造方法を実現することができる。   Accordingly, since the light source is made of a fluorescent tube, when a general fluorescent tube is used as the light source of the transmissive display panel, the transmissive display panel simultaneously has at least two kinds of display areas having different gradations. In this case, it is possible to realize a transmissive display panel inspection apparatus, a transmissive display panel inspection method, and a transmissive display panel manufacturing method that detect defects in each display region with high accuracy.

また、本発明の透過型表示パネルの検査装置では、前記光源は、発光素子からなると共に、前記光量制御手段は、上記発光素子の前記透過型表示パネルへの照射光量を制御することが好ましい。   In the inspection apparatus for a transmissive display panel according to the present invention, it is preferable that the light source includes a light emitting element, and the light amount control unit controls an irradiation light amount of the light emitting element to the transmissive display panel.

これにより、光源は、発光素子からなるので、近年、透過型表示パネルの光源として用いられるようになってきた発光素子を用いる場合に、透過型表示パネルに、少なくとも2種類以上の異なる階調の表示領域を同時に有する検査パターンを有する場合において、表示領域毎の欠陥を高精度に検出する透過型表示パネルの検査装置、透過型表示パネルの検査方法、透過型表示パネルの製造方法を実現することができる。   Accordingly, since the light source is composed of a light emitting element, when a light emitting element that has been used as a light source of a transmissive display panel in recent years is used, the transmissive display panel has at least two kinds of different gradations. Realizing a transmissive display panel inspection device, a transmissive display panel inspection method, and a transmissive display panel manufacturing method for detecting a defect in each display region with high accuracy when having an inspection pattern having a display region at the same time Can do.

また、本発明の透過型表示パネルの検査装置では、前記光量制御手段は、前記検査パターン表示手段による検査パターンに対応する照射手段における各光源の点灯位置及び照射光量を含む点灯パターンを記憶する点灯パターン記憶手段を備えていることが好ましい。   In the inspection apparatus for a transmissive display panel according to the present invention, the light amount control unit stores a lighting pattern including a lighting position of each light source and an irradiation light amount in the irradiation unit corresponding to the inspection pattern by the inspection pattern display unit. It is preferable that a pattern storage means is provided.

これにより、検査パターンが決まれば、点灯パターン記憶手段から、随時、検査パターンに対応する照射手段における各光源の点灯位置及び照射光量を含む点灯パターンを呼び出して照射手段の各光源を点灯制御できるので、点灯制御を早く行うことができる。   Thus, when the inspection pattern is determined, the lighting pattern storage unit can call the lighting pattern including the lighting position and the irradiation light amount of each light source in the irradiation unit corresponding to the inspection pattern at any time to control lighting of each light source of the irradiation unit. The lighting control can be performed quickly.

また、本発明の透過型表示パネルの検査装置では、前記光量制御手段は、光源の寿命を考慮して各光源の出力を決定する寿命制御手段を備えていることが好ましい。   In the transmissive display panel inspection apparatus of the present invention, it is preferable that the light amount control means includes a life control means for determining the output of each light source in consideration of the life of the light source.

すなわち、光量制御手段が照射手段の光源の照射光量を増減制御する場合に、光源の寿命を考慮しないと、適切な光透過量が得られない。   That is, when the light quantity control means controls increase / decrease of the irradiation light quantity of the light source of the irradiation means, an appropriate light transmission amount cannot be obtained unless the life of the light source is taken into consideration.

これに対して、本発明では、寿命制御手段は、光源の寿命を考慮して各光源の出力を決定する。この結果、蛍光管に対する有効電圧を、撮像手段によって撮像した画像の各光源に対応する領域の輝度変化を適切に補償するように逐次制御することができる。   In contrast, in the present invention, the lifetime control means determines the output of each light source in consideration of the lifetime of the light source. As a result, the effective voltage with respect to the fluorescent tube can be sequentially controlled so as to appropriately compensate for the luminance change in the region corresponding to each light source of the image captured by the imaging unit.

また、本発明の透過型表示パネルの検査装置では、前記透過型表示パネルを照射手段の前面位置に搬送配置する搬送手段を備えていることが好ましい。   In the inspection apparatus for a transmissive display panel according to the present invention, it is preferable that the transmissive display panel includes transport means for transporting and arranging the transmissive display panel at a front position of the irradiation means.

これにより、本発明では、透過型表示パネルと、照射手段及びその他の構成要素を分離することが可能である。したがって、透過型表示パネル以外の構成要素を固定し、透過型表示パネルを順次交換しながら検査を行うことができる。また、最終製品において照射手段に光源毎の照射強度調整機能を設ける必要がなくなる。   Thereby, in the present invention, it is possible to separate the transmissive display panel from the irradiation means and other components. Therefore, it is possible to perform inspection while fixing constituent elements other than the transmissive display panel and sequentially replacing the transmissive display panel. Moreover, it is not necessary to provide an irradiation intensity adjustment function for each light source in the irradiation means in the final product.

なお、上記透過型表示パネルの検査装置は、コンピュータによって実現してもよく、この場合には、コンピュータを上記各手段として動作させることにより上記透過型表示パネルの検査装置をコンピュータにて実現させる透過型表示パネルの検査装置の検査プログラム、及びそれを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体も、本発明の範疇に入る。   The transmissive display panel inspection apparatus may be realized by a computer. In this case, the transmissive display panel inspection apparatus is realized by a computer by operating the computer as each of the means. The inspection program for the inspection apparatus for the mold display panel and the computer-readable recording medium on which the inspection program is recorded also fall within the scope of the present invention.

本発明の透過型表示パネルの検査装置は、以上のように、透過型表示パネルを背後から照射する複数の光源を有し、かつ各光源の上記透過型表示パネルへの照射光量を増減制御する照射手段と、上記透過型表示パネルに、少なくとも2種類以上の異なる階調の表示領域を同時に有する検査パターンを表示させる検査パターン表示手段と、上記階調が高い表示領域ほど上記光源の透過型表示パネルへの照射光量を小さくすると共に、上記階調が低い表示領域ほど上記光源の透過型表示パネルへの照射光量を大きくするように制御する光量制御手段とを備えているものである。   As described above, the inspection apparatus for a transmissive display panel according to the present invention includes a plurality of light sources that irradiate the transmissive display panel from behind, and controls the increase and decrease of the amount of light emitted from each light source to the transmissive display panel. Irradiation means, inspection pattern display means for displaying an inspection pattern having at least two kinds of display areas of different gradations simultaneously on the transmission display panel, and transmission display of the light source as the display area has higher gradation A light amount control means is provided for controlling the light amount applied to the transmissive display panel of the light source so as to decrease the light amount applied to the panel, and to increase the light amount applied to the transmissive display panel of the light source.

また、本発明の透過型表示パネルの検査方法は、以上のように、上記透過型表示パネルを背後から照射する複数の光源を設ける工程と、上記透過型表示パネルに、少なくとも2種類以上の異なる階調の表示領域を同時に有する検査パターンを表示させる工程と、上記階調が高い表示領域ほど上記光源の透過型表示パネルへの照射光量を小さくすると共に、上記階調が低い表示領域ほど上記光源の透過型表示パネルへの照射光量を大きくするように制御する工程とを含む方法である。   Further, as described above, the inspection method of the transmission type display panel according to the present invention is different from the step of providing a plurality of light sources for irradiating the transmission type display panel from behind, and at least two types of the transmission type display panel. A step of displaying an inspection pattern having a gradation display area at the same time; and a display area having a higher gradation reduces the amount of light applied to the transmission display panel of the light source, and the display area has a lower gradation. And controlling to increase the amount of light applied to the transmissive display panel.

また、本発明の透過型表示パネルの製造方法は、以上のように、上記記載の透過型表示パネルの検査装置における照射手段の前面位置に透過型表示パネルを配置する工程と、上記透過型表示パネルの検査装置における照射手段の前面位置に配置された透過型表示パネルを、上記記載の透過型表示パネルの検査方法により、欠陥検査する工程とを含む製造方法である。   In addition, as described above, the method for manufacturing a transmissive display panel according to the present invention includes the step of disposing the transmissive display panel at the front position of the irradiation means in the inspection apparatus for the transmissive display panel described above, and the transmissive display. And a step of inspecting the transmissive display panel arranged at the front position of the irradiation means in the panel inspection apparatus by the above-described transmissive display panel inspection method.

それゆえ、透過型表示パネルに、少なくとも2種類以上の異なる階調の表示領域を同時に有する検査パターンを有する場合において、表示領域毎の欠陥を高精度に検出する透過型表示パネルの検査装置、透過型表示パネルの検査方法、透過型表示パネルの製造方法を実現することができるという効果を奏する。   Therefore, in the case where the transmission type display panel has an inspection pattern having at least two types of display areas with different gradations at the same time, the inspection apparatus for the transmission type display panel that detects defects in each display area with high accuracy, There is an effect that it is possible to realize a method for inspecting a mold display panel and a method for manufacturing a transmission display panel.

本発明の一実施形態について図1ないし図9に基づいて説明すれば、以下の通りである。   An embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 to 9 as follows.

本実施の形態の透過型表示パネルとしての液晶パネルの検査を行うための検査装置としての液晶パネル検査装置10の構成を図1に基づいて説明する。図1は、上記液晶パネル検査装置10の構成を示すブロック図である。   A configuration of a liquid crystal panel inspection apparatus 10 as an inspection apparatus for inspecting a liquid crystal panel as a transmission type display panel according to the present embodiment will be described with reference to FIG. FIG. 1 is a block diagram showing the configuration of the liquid crystal panel inspection apparatus 10.

上記液晶パネル検査装置10は、図1に示すように、検査対象である透過型の液晶パネル11に背面から光を照射させる例えば5本の光源としての蛍光管1aとこの蛍光管1aの光を拡散させる拡散板1bとからなる照射手段としてのバックライトユニット1と、上記バックライトユニット1の点灯を制御する光量制御手段としてのバックライト制御装置2と、上記液晶パネル11の点灯を制御する検査パターン表示手段としての液晶パネル点灯制御装置3と、液晶パネル11から透過光を正面から撮像する撮像手段としてのカメラ4と、上記カメラ4にて撮像した液晶パネル11の像を画像処理する画像処理手段としての画像処理装置5とを有している。   As shown in FIG. 1, the liquid crystal panel inspection apparatus 10 irradiates, for example, five fluorescent tubes 1a as light sources and irradiates light from the rear surface to the transmission type liquid crystal panel 11 to be inspected, and the light from the fluorescent tubes 1a. A backlight unit 1 as an irradiating means comprising a diffusion plate 1b to be diffused, a backlight control device 2 as a light amount control means for controlling lighting of the backlight unit 1, and an inspection for controlling lighting of the liquid crystal panel 11. A liquid crystal panel lighting control device 3 as a pattern display means, a camera 4 as an image pickup means for picking up transmitted light from the liquid crystal panel 11 from the front, and image processing for image processing of an image of the liquid crystal panel 11 picked up by the camera 4 And an image processing apparatus 5 as means.

本実施の形態では、上記液晶パネル検査装置10は、検査対象である液晶パネル11とは独立であり製造装置の一部として固定されている。そして、液晶パネル11は、図示しない搬送手段としてのコンベア等の搬送ライン上を移動して順次液晶パネル検査装置10に設置されるようになっている。なお、液晶パネル11は、階調を制御するソースドライバ、走査線を制御するゲートドライバ、及びこれらソースドライバ及びゲートドライバを制御するコントロール回路を含んでいる。したがって、液晶パネル11には、製品となるときには必要となるバックライトは含まれていない。   In the present embodiment, the liquid crystal panel inspection apparatus 10 is independent of the liquid crystal panel 11 to be inspected and is fixed as a part of the manufacturing apparatus. And the liquid crystal panel 11 moves on conveyance lines, such as a conveyor as a conveyance means which is not shown in figure, and is sequentially installed in the liquid crystal panel test | inspection apparatus 10. FIG. The liquid crystal panel 11 includes a source driver that controls gradation, a gate driver that controls scanning lines, and a control circuit that controls these source drivers and gate drivers. Therefore, the liquid crystal panel 11 does not include a backlight that is necessary when it becomes a product.

そして、液晶パネル検査装置10に設置された液晶パネル11に対して背面からバックライトユニット1における独立に輝度を制御可能な5本の蛍光管1aにて光を照射させ、この光を拡散板1bにて拡散させて液晶パネル11に入光させる。次いで、液晶パネル11の透過光を、この液晶パネル11の正面に設置したカメラ4によって観測する。   Then, the liquid crystal panel 11 installed in the liquid crystal panel inspection apparatus 10 is irradiated with light from the back through the five fluorescent tubes 1a whose brightness can be independently controlled in the backlight unit 1, and this light is diffused to the diffusion plate 1b. The liquid crystal panel 11 is made to enter by being diffused by. Next, the transmitted light of the liquid crystal panel 11 is observed by the camera 4 installed in front of the liquid crystal panel 11.

上記カメラ4は、画像処理装置5により制御されており、カメラ4によって液晶パネル11の正面から撮像した撮像した検査用画像は、画像処理装置5によって画像処理され、濃淡比較を行うことによって、欠陥の判別が行われる。なお、画像処理装置5により画像処理し、濃淡比較を行うことによって欠陥を判別する方法については、公知の技術であるので、説明を省略する。   The camera 4 is controlled by the image processing device 5, and the inspection image picked up from the front of the liquid crystal panel 11 by the camera 4 is image-processed by the image processing device 5 and is subjected to density comparison, thereby obtaining a defect. Is determined. Note that a method for discriminating a defect by performing image processing by the image processing device 5 and performing density comparison is a known technique, and thus description thereof is omitted.

上記のカメラ4は、例えばラインセンサを備えたものとすることができる。これにより、ラインセンサは取り込み周期≒露光周期となるので、後述するように、ゲイン調整で対応できない範囲の光量調整を、独立に輝度を制御可能な5本の蛍光管1aを備えたバックライトユニット1にて行うことにより検査精度向上が可能になる。   The camera 4 can be provided with a line sensor, for example. As a result, the line sensor has the capture cycle≈exposure cycle, and as will be described later, the backlight unit including the five fluorescent tubes 1a capable of independently controlling the brightness in the light amount adjustment that cannot be handled by gain adjustment. The inspection accuracy can be improved by performing the measurement at 1.

なお、カメラ4は、ラインセンサを備えたものに限らず、エリアセンサを備えたものとすることも可能である。エリアセンサは、一般に、光量を調整するためのゲイン設定及び露光時間の制御が取込み領域全域で均一である。したがって、検査対象物に光量の濃淡が存在すると飽和(高光量領域)或いは感度不足(低光量領域)が発生する可能性がある。この場合にも、本実施の形態では、独立に輝度を制御可能な5本の蛍光管1aを備えたバックライトユニット1にて飽和及び感度不足領域の光量を制御することによって、検査対象物全域で高感度の検査を行うことができる。   Note that the camera 4 is not limited to the one provided with the line sensor, but may be provided with the area sensor. In the area sensor, generally, the gain setting for adjusting the light amount and the control of the exposure time are uniform over the entire capturing area. Accordingly, if the light intensity of the inspection target exists, saturation (high light amount region) or insufficient sensitivity (low light amount region) may occur. Also in this case, in the present embodiment, the entire amount of the inspection object is controlled by controlling the amount of light in the saturated and insensitive areas by the backlight unit 1 including the five fluorescent tubes 1a capable of independently controlling the luminance. Can perform high-sensitivity inspection.

上記のバックライト制御装置2、液晶パネル点灯制御装置3、及び画像処理装置5は、いずれも液晶パネル検査装置10によって同期を取りながら制御される。なお、本発明においては、液晶パネル点灯制御装置3は必ずしも液晶パネル検査装置10に必須のものではない。前述したように、液晶パネル11には、ソースドライバ、ゲートドライバ、並びにソースドライバ及びゲートドライバを制御するコントロール回路が備えられているので、液晶パネル点灯制御装置3がなくても、液晶パネル11側で該液晶パネル11の検査パターンの表示制御を行うことができるためである。   The backlight control device 2, the liquid crystal panel lighting control device 3, and the image processing device 5 are all controlled by the liquid crystal panel inspection device 10 in synchronization. In the present invention, the liquid crystal panel lighting control device 3 is not necessarily essential for the liquid crystal panel inspection device 10. As described above, since the liquid crystal panel 11 includes the source driver, the gate driver, and the control circuit for controlling the source driver and the gate driver, the liquid crystal panel 11 side without the liquid crystal panel lighting control device 3 is provided. This is because the display control of the inspection pattern of the liquid crystal panel 11 can be performed.

このような構成をとることにより、最終製品のバックライト仕様に関わりなく液晶パネル11の欠陥検査を実現できるようになる。   By adopting such a configuration, defect inspection of the liquid crystal panel 11 can be realized regardless of the backlight specification of the final product.

ここで、検査に際して、液晶パネル11の透過性は、液晶パネル点灯制御装置3によって制御することができるようになっている。例えば、図2(a)(b)に示すように、全面黒表示や全面白表示のように一様な検査パターンを表示することや、図2(c)(d)に示すように、画面を2分割して、パネル上部を白表示としかつパネル下部を黒表示とする一方、これとは逆に、2分割された画面において、パネル上部を黒表示としかつパネル下部を白表示とする検査パターンを表示することができる。また、パネル上部からパネル下部にかけてグラデーションとなるような一様でない検査パターンを表示することができる。   Here, at the time of inspection, the transparency of the liquid crystal panel 11 can be controlled by the liquid crystal panel lighting control device 3. For example, as shown in FIGS. 2 (a) and 2 (b), a uniform inspection pattern such as a full black display or a full white display is displayed, or as shown in FIGS. 2 (c) and 2 (d). Is divided into two parts, and the upper part of the panel is displayed in white and the lower part of the panel is displayed in black. On the contrary, in the screen divided into two, the upper part of the panel is displayed in black and the lower part of the panel is displayed in white. A pattern can be displayed. In addition, a non-uniform inspection pattern having a gradation from the upper part of the panel to the lower part of the panel can be displayed.

上記液晶パネル11の検査を行うための検査パターンについて、図3(a)(b)〜図5に基づいて詳述する。なお、図3(a)(b)〜図5においては、簡略化のためにグレー表示としているが、必ずしもこれに限らず、カラー表示であってもよい。   An inspection pattern for inspecting the liquid crystal panel 11 will be described in detail with reference to FIGS. In FIGS. 3A and 3B to FIG. 5, gray display is used for simplification. However, the display is not limited to this, and color display may be used.

すなわち、液晶パネル11の欠陥として、例えば、黒点、輝点等の画素欠陥や黒線、輝線等の線欠陥としての現象が現れるが、これらの現象に対する欠陥原因は、一律ではなく種々のものがある。したがって、欠陥原因を求めるためには、液晶パネル11の画面に種々の検査パターンを表示させて行うのが一般的である。   That is, as defects of the liquid crystal panel 11, for example, phenomena such as pixel defects such as black spots and bright spots and line defects such as black lines and bright lines appear. However, the causes of defects for these phenomena are not uniform but various. is there. Therefore, in order to obtain the cause of the defect, it is common to display various inspection patterns on the screen of the liquid crystal panel 11.

例えば、図3(a)に示すように、全面白表示21の検査パターンにおいては、例えばノーマリブラックモードにおいて、液晶パネル11の全画素を例えば階調255の状態、つまり光透過量100%の透過状態となっており、そのときに、黒点が出現する場合には、その画素が常時消灯状態であり、その画素に欠陥が存在していることが把握できる。また、図3(a)において、黒線が出現する場合には、その画素列が常時消灯状態であり、その画素列にデータを供給するデータバスラインに欠陥が存在していることが把握できる。   For example, as shown in FIG. 3A, in the inspection pattern of the entire white display 21, for example, in the normally black mode, all the pixels of the liquid crystal panel 11 are in the state of, for example, the gradation 255, that is, the light transmission amount is 100%. If a black dot appears at that time, the pixel is always turned off, and it can be understood that the pixel has a defect. Further, in FIG. 3A, when a black line appears, it can be grasped that the pixel column is always in the off state, and that there is a defect in the data bus line that supplies data to the pixel column. .

同様に、図3(b)に示すように、全面黒表示22の検査パターンにおいては、例えばノーマリブラックモードにおいて、液晶パネル11の全画素を例えば階調0の状態、つまり光透過量0%の透過状態となっており、このときに、輝点が出現する場合には、その画素が常時点灯状態であり、その画素に欠陥が存在していることが把握できる。また、図3(b)において、輝線が出現する場合には、その画素列が常時点灯状態であり、その画素列にデータを供給するデータバスラインに欠陥が存在していることが把握できる。   Similarly, as shown in FIG. 3B, in the entire black display 22 inspection pattern, for example, in the normally black mode, all the pixels of the liquid crystal panel 11 are in, for example, a state of gradation 0, that is, a light transmission amount of 0%. When a bright spot appears at this time, it can be understood that the pixel is always lit and a defect exists in the pixel. Further, in FIG. 3B, when a bright line appears, it can be understood that the pixel column is always in a lighted state, and a defect exists in the data bus line that supplies data to the pixel column.

また、欠陥の原因として、例えば、図4(a)(b)に示すように、液晶パネル11における縦方向の該当画素以外の画素に電荷がかかっている場合に、配線のリークによって電荷が該画素に流れ込むリーク欠陥がある。   Further, as a cause of the defect, for example, as shown in FIGS. 4A and 4B, when charges are applied to pixels other than the corresponding pixel in the vertical direction in the liquid crystal panel 11, the charges are caused by leakage of wiring. There is a leak defect that flows into the pixel.

このようなリーク欠陥を発見するために、図4(a)(b)に示すように、液晶パネル11の半面を白表示し、液晶パネル11の残り半面を黒表示した白黒表示23又は黒白表示24にて検査を行う。   In order to find such a leak defect, as shown in FIGS. 4A and 4B, a monochrome display 23 or a black-and-white display in which half of the liquid crystal panel 11 is displayed in white and the remaining half of the liquid crystal panel 11 is displayed in black. Inspect at 24.

例えば、ソース(S)方向の電荷がドレイン(D)に漏出して発生するいわゆるSDリークの欠陥を発見するためには、図4(a)(b)に示すように、液晶パネル11の全画素のソース(S)に例えば階調255の電圧を印加すると共に、液晶パネル11を上下2分割し、ゲート(G)を半面毎にオフして検査を行う。この結果、検査パターンとしては、図2(c)(d)に示すように、白黒表示23及び黒白表示24の2種類となる。   For example, in order to find a defect of so-called SD leak that occurs due to leakage of charge in the source (S) direction to the drain (D), as shown in FIGS. For example, a voltage of gradation 255 is applied to the source (S) of the pixel, the liquid crystal panel 11 is divided into upper and lower parts, and the gate (G) is turned off for each half surface for inspection. As a result, there are two types of inspection patterns, black and white display 23 and black and white display 24, as shown in FIGS.

この検査パターンにおいて、画素のソース(S)とドレイン(D)とが短絡している場合には、図4(a)(b)に示すように、黒表示の部分に輝点欠陥(当該255階調を示す明るさの輝点)が発生する。   In this inspection pattern, when the source (S) and the drain (D) of the pixel are short-circuited, as shown in FIGS. A bright spot indicating a gradation) is generated.

すなわち、ゲート(G)がオフとなっている半面黒表示において、画素にSDリークが存在すると、ソース(S)電圧の電圧変化がドレイン(D)を介してそのまま画素の電圧変化となる。したがって、ゲート(G)オフ期間における黒表示領域中に輝点欠陥が存在すれば、その欠陥は、SDリークの欠陥であることが把握できる。   That is, in the half black display in which the gate (G) is turned off, if an SD leak exists in the pixel, the voltage change of the source (S) voltage becomes the voltage change of the pixel as it is through the drain (D). Therefore, if a bright spot defect exists in the black display region in the gate (G) off period, it can be understood that the defect is an SD leak defect.

次に、液晶パネル11の欠陥としては、液晶パネル11の図示しないドライバ部に欠陥があり特定の階調を表示した場合にのみ該当液晶素子が透過率最大になるドライバ欠陥がある。   Next, as a defect of the liquid crystal panel 11, there is a driver defect in which the liquid crystal element has a maximum transmittance only when a driver unit (not shown) of the liquid crystal panel 11 has a defect and a specific gradation is displayed.

このようなドライバ欠陥を発見するためには、ドライバを共有する方向に表示階調を変更しながら検査を行う必要がある。例えば、ドライバがパネル縦方向に共通である場合は、図2(e)に示すように、画面上辺から下辺にかけて透過率にグラデーションをつけた全階調表示25の検査パターンを表示させる。その結果、図5に示すように、特定の階調でコントラストが目立つ線欠陥である特定階調線欠陥25a、又はドライバにおける特定のビットの動作不良によって生じる特定階調不良25bの線欠陥を発見することができる。例えば、最小階調0〜最大階調255の場合、8ビットで表される。このため、この8ビットのうちの1つのビットに欠陥があると、その欠陥ビットを用いる階調範囲で輝線欠陥が出現する。   In order to find such a driver defect, it is necessary to perform inspection while changing the display gradation in the direction in which the driver is shared. For example, when the driver is common in the panel vertical direction, as shown in FIG. 2E, the inspection pattern of the all gradation display 25 in which the transmittance is gradation is displayed from the upper side to the lower side of the screen. As a result, as shown in FIG. 5, the line defect of the specific gradation line defect 25a, which is a line defect having a conspicuous contrast at a specific gradation, or the specific gradation defect 25b caused by the operation failure of a specific bit in the driver is found. can do. For example, the minimum gradation 0 to the maximum gradation 255 are represented by 8 bits. For this reason, if one of the 8 bits is defective, a bright line defect appears in the gradation range using the defective bit.

したがって、全階調表示25の検査パターンによって、コントラスト欠陥及びドライバにおける特定のビットの動作不良を発見することができる。   Therefore, it is possible to find a contrast defect and a malfunction of a specific bit in the driver by the inspection pattern of the all gradation display 25.

なお、図4(a)(b)に示す白黒表示23又は黒白表示24にて検査を行う場合において、白黒表示23における白表示部分の隅部は、液晶パネル11の位置合わせを行うときに、液晶パネル11の隅角が、所定位置と一致しているかの確認を行う必要がある。その場合に、白黒表示23における白表示部分の隅部が明る過ぎると、該位置の確認が困難となる。したがって、白表示部分においては、液晶パネル11の隅角の位置合わせを行う場合においても、蛍光管1aの光量調整することによって、位置合わせを容易に行うことができるものとなる。   4A and 4B, when the inspection is performed in the black and white display 23 or the black and white display 24, the corner of the white display portion in the black and white display 23 is used when the liquid crystal panel 11 is aligned. It is necessary to check whether the corner angle of the liquid crystal panel 11 matches the predetermined position. In this case, if the corner of the white display portion in the black and white display 23 is too bright, it is difficult to confirm the position. Therefore, in the white display portion, even when the alignment of the corners of the liquid crystal panel 11 is performed, the alignment can be easily performed by adjusting the light amount of the fluorescent tube 1a.

なお、本実施の形態では、図2(a)〜(e)に示すように、液晶パネル11の検査用の表示パターンは簡易のために、全面白表示21、全面黒表示22、白黒表示23、黒白表示24、全階調表示25の5パターンとしている。しかし、必ずしもこれに限らず、より多くの検査用の表示パターンを用いることができる。   In this embodiment, as shown in FIGS. 2A to 2E, the display pattern for inspection of the liquid crystal panel 11 is simple, and the entire white display 21, the entire black display 22, and the black and white display 23 are displayed. , Black and white display 24 and all gradation display 25. However, the present invention is not necessarily limited to this, and more display patterns for inspection can be used.

ところで、このような液晶パネル11の欠陥の発生により、人間の目視検査により、当該点欠陥及び線欠陥を認識することができるが、例えば全面白表示21における黒点欠陥検査時において、バックライトユニット1における蛍光管1aの光量が一定である場合には、画素は液晶パネル11に比べて微細であるので、見落とす可能性がある。また、逆に、全面黒表示22における輝点欠陥検査時において、バックライトユニット1における蛍光管1aの光量が一定である場合にも、画素は液晶パネル11に比べて微細であるので、見落とす可能性がある。   By the way, when such a defect occurs in the liquid crystal panel 11, the point defect and the line defect can be recognized by human visual inspection. For example, when the black point defect inspection in the entire white display 21 is performed, the backlight unit 1. When the light quantity of the fluorescent tube 1a is constant, the pixels are finer than the liquid crystal panel 11 and may be overlooked. On the other hand, even when the light intensity of the fluorescent tube 1a in the backlight unit 1 is constant during the luminescent spot defect inspection in the entire black display 22, the pixels are finer than the liquid crystal panel 11 and can be overlooked. There is sex.

また、目視検査に限らず、カメラ4にて液晶パネル11の像を撮像するときにも、カメラ4には、明るさに対する感度に一定の範囲が存在するので、全面白表示21における黒点等が写らない可能性がある。すなわち、検査員が目視で検査を行う場合は、人の目の光量調整機能により上記のようなパネル輝度の差があっても対応可能であるが、カメラ等の機械的手段を用いて検査を行う場合はダイナミックレンジの制限により、検査精度が向上する領域と検査精度が低下する領域とが混在することになる。   Further, not only for visual inspection but also when the image of the liquid crystal panel 11 is captured by the camera 4, the camera 4 has a certain range of sensitivity to brightness. There is a possibility that it does not appear. In other words, when the inspector visually inspects, even if there is a difference in panel brightness as described above by the light amount adjustment function of the human eye, it can be handled, but the inspection is performed using mechanical means such as a camera. When performing, due to the limitation of the dynamic range, a region where the inspection accuracy is improved and a region where the inspection accuracy is lowered are mixed.

そこで、例えば、前記特許文献1では、全面黒表示22においてはバックライトの強度を上げることにより輝点の背景に対する相対強度を上げ、全面白表示21においてはバックライトの強度を下げることにより黒点の背景に対する相対強度を下げている。これにより、検査員が欠陥を発見するのを容易にしている。   Therefore, for example, in Patent Document 1, the relative intensity of the bright spot with respect to the background is increased by increasing the intensity of the backlight in the entire black display 22, and the intensity of the black dot is decreased in the entire white display 21 by decreasing the intensity of the backlight. The relative strength with respect to the background is lowered. This makes it easy for inspectors to find defects.

しかしながら、本実施の形態のように、白黒表示23、黒白表示24及び全階調表示25を行う場合には、バックライトユニット1の強度を上下しても全画面においては輝点又は黒点の背景に対する適切な相対強度を得ることができない。例えば、暗い領域を強調するために明るい領域が飽和する、又はその逆に、明るい領域を抑制するために暗い領域の輝度が低下するという問題点を有している。   However, when the monochrome display 23, the black-and-white display 24, and the full gradation display 25 are performed as in the present embodiment, the background of bright spots or black spots on the entire screen even if the intensity of the backlight unit 1 is increased or decreased. It is not possible to obtain an appropriate relative strength for. For example, there is a problem that a bright region is saturated to emphasize a dark region, or conversely, a luminance of a dark region is decreased to suppress a bright region.

そこで、本実施の形態では、液晶パネル11の検査を行うときに、欠陥を出現させる検査パターンの濃淡を緩和するように検査パターンに対応した領域別に、バックライト制御装置2にて、バックライトユニット1における蛍光管1aの光量出力を制御するようになっている。すなわち、バックライトユニット1における複数としての例えば5本の蛍光管1aは、それぞれが出射光量を大きくしたり小さくしたりの個別制御ができるようになっている。なお、本実施の形態の液晶パネル検査装置10では、液晶パネル11の縦方向に5個の領域で個別に、蛍光管1aの制御が可能となっているが、これは検査対象である液晶パネル11のドライバが液晶パネル11の縦方向に共通であるためである。   Therefore, in the present embodiment, when the liquid crystal panel 11 is inspected, the backlight control device 2 uses the backlight unit 2 for each region corresponding to the inspection pattern so as to reduce the density of the inspection pattern that causes a defect to appear. 1 controls the light quantity output of the fluorescent tube 1a. That is, the plurality of fluorescent tubes 1a, for example, as a plurality in the backlight unit 1 can be individually controlled to increase or decrease the amount of emitted light. In the liquid crystal panel inspection apparatus 10 of the present embodiment, the fluorescent tube 1a can be individually controlled in five regions in the vertical direction of the liquid crystal panel 11, but this is the liquid crystal panel to be inspected. This is because 11 drivers are common in the vertical direction of the liquid crystal panel 11.

ここで、バックライト制御装置2は、液晶パネル11の光透過量が多い表示領域ほど蛍光管1aの出射光量を小さくすると共に、液晶パネル11の光透過量が少ない表示領域ほど蛍光管1aの出射光量を大きくするように、バックライトユニット1を制御するようになっている。   Here, the backlight control device 2 reduces the amount of light emitted from the fluorescent tube 1a in the display region where the light transmission amount of the liquid crystal panel 11 is large, and emits light from the fluorescent tube 1a in the display region where the light transmission amount of the liquid crystal panel 11 is small. The backlight unit 1 is controlled so as to increase the amount of light.

具体的には、図2(a)に示す全面白表示21の場合には、図6(a)に示すように、全ての蛍光管1aの光量を例えば輝度50%にした点灯パターン31とする。すなわち、図2(a)に示す全面白表示21では、蛍光管1aの光量は多くなくても、液晶パネル11の欠陥を認識できるので、図6(a)に示すように、蛍光管1aの輝度を小さく抑えることができる。   Specifically, in the case of the entire white display 21 shown in FIG. 2A, as shown in FIG. 6A, the lighting pattern 31 is set such that the light quantity of all the fluorescent tubes 1a is set to, for example, 50% luminance. . That is, in the entire white display 21 shown in FIG. 2A, since the defect of the liquid crystal panel 11 can be recognized even if the light quantity of the fluorescent tube 1a is not large, as shown in FIG. The brightness can be kept small.

また、図2(b)に示す全面黒表示22の場合には、図6(b)に示すように、全ての蛍光管1aの光量を例えば輝度100%にした点灯パターン32とする。すなわち、図2(b)に示す全面黒表示22では、蛍光管1aの光量が多くなければ、液晶パネル11の欠陥の認識が困難となるので、図6(b)に示すように、蛍光管1aの輝度を例えば、最大限の100%にする。   Further, in the case of the entire black display 22 shown in FIG. 2B, as shown in FIG. 6B, the lighting pattern 32 in which the light quantity of all the fluorescent tubes 1a is set to 100%, for example, is used. That is, in the entire black display 22 shown in FIG. 2B, it is difficult to recognize defects in the liquid crystal panel 11 unless the amount of light in the fluorescent tube 1a is large. As shown in FIG. For example, the luminance of 1a is set to a maximum of 100%.

同様の考え方にて、図2(c)〜(e)においては、図3(c)〜(e)に示すように蛍光管1aの輝度をバックライト制御装置2にて制御する。   In the same way of thinking, in FIGS. 2C to 2E, the luminance of the fluorescent tube 1a is controlled by the backlight control device 2 as shown in FIGS. 3C to 3E.

具体的には、図2(c)に示す白黒表示23の場合には、図6(c)に示すように、白表示部位に近い領域1及び領域2の蛍光管1aの光量を例えば輝度50%とし、黒表示部位に近い領域3〜領域5の蛍光管1aの光量を例えば輝度100%とした点灯パターン33とする。図2(d)に示す黒白表示24の場合には、図6(d)に示すように、黒表示部位に近い領域1〜領域3の蛍光管1aの光量を例えば輝度100%とし、白表示部位に近い領域4及び領域5の蛍光管1aの光量を例えば輝度50%とした点灯パターン34とする。最後に、図2(e)に示す全階調表示25の場合には、図6(e)に示すように、白表示から黒表示の順に、領域1の蛍光管1aの光量を例えば輝度50%とし、領域2の蛍光管1aの光量を例えば輝度62.5%とし、領域3の蛍光管1aの光量を例えば輝度75%とし、領域4の蛍光管1aの光量を例えば輝度87.5%とし、領域5の蛍光管1aの光量を例えば輝度100%とした点灯パターン35とする。   Specifically, in the case of the black-and-white display 23 shown in FIG. 2C, as shown in FIG. 6C, the light quantity of the fluorescent tubes 1a in the regions 1 and 2 close to the white display region is set to, for example, the luminance 50. %, And a lighting pattern 33 in which the light quantity of the fluorescent tubes 1a in the regions 3 to 5 near the black display region is set to, for example, 100% luminance. In the case of the black and white display 24 shown in FIG. 2 (d), as shown in FIG. 6 (d), the light quantity of the fluorescent tubes 1a in the regions 1 to 3 close to the black display part is set to, for example, 100% luminance and white display is performed. The lighting pattern 34 is set such that the light quantity of the fluorescent tubes 1a in the region 4 and the region 5 close to the part is, for example, 50% luminance. Finally, in the case of the all gradation display 25 shown in FIG. 2E, as shown in FIG. 6E, the light quantity of the fluorescent tube 1a in the region 1 is set to, for example, the luminance 50 in the order from white display to black display. %, The light quantity of the fluorescent tube 1a in the area 2 is set to 62.5%, for example, the light quantity of the fluorescent tube 1a in the area 3 is set to 75%, for example, and the light quantity of the fluorescent tube 1a in the area 4 is set to 87.5%, for example. And a lighting pattern 35 in which the light quantity of the fluorescent tube 1a in the region 5 is set to 100% luminance, for example.

これらにより、液晶パネル11の白表示部分においては黒点の背景の光量が低減され、液晶パネル11の黒表示部分においては輝点の光量が増加される。したがって、人間の目視検査において、検査員が欠陥を発見するのが容易となる。また、カメラ4による液晶パネル11の像の撮像においても、カメラ4の感度範囲となり、カメラ4による機械的な自動検出を可能とすることができる。   As a result, the amount of black background light is reduced in the white display portion of the liquid crystal panel 11, and the amount of bright spot light is increased in the black display portion of the liquid crystal panel 11. Therefore, it becomes easy for an inspector to find a defect in human visual inspection. In addition, when the image of the liquid crystal panel 11 is captured by the camera 4, the sensitivity range of the camera 4 is obtained, and mechanical automatic detection by the camera 4 can be performed.

なお、本実施の形態では、バックライトユニット1における各蛍光管1aの光量設定値は、図2(a)〜(e)に示す検査パターンの5パターンにそれぞれ対応している。したがって、検査パターンが上記5パターンと異なるものである場合には、その検査パターンイに合わせて、各蛍光管1aの光量設定値も変化する。本実施の形態では、図1に示すように、バックライト制御装置2には、このような検査パターンに対応するバックライトユニット1における各光源の点灯位置及び出射光量を含む点灯パターンを記憶する例えばルックアップテーブルからなる点灯パターン記憶手段としての点灯パターン記憶部2aが設けられている。したがって、バックライト制御装置2は、この点灯パターン記憶部2aから、検査パターンに対応する点灯パターンを選択して、バックライトユニット1の各蛍光管1aを点灯制御することができるようになっている。   In the present embodiment, the light intensity setting value of each fluorescent tube 1a in the backlight unit 1 corresponds to each of the five inspection patterns shown in FIGS. Accordingly, when the inspection pattern is different from the above five patterns, the light amount setting value of each fluorescent tube 1a also changes in accordance with the inspection pattern i. In the present embodiment, as shown in FIG. 1, the backlight control device 2 stores a lighting pattern including the lighting position of each light source and the amount of emitted light in the backlight unit 1 corresponding to such an inspection pattern. A lighting pattern storage unit 2a is provided as lighting pattern storage means composed of a lookup table. Therefore, the backlight control device 2 can control lighting of each fluorescent tube 1a of the backlight unit 1 by selecting a lighting pattern corresponding to the inspection pattern from the lighting pattern storage unit 2a. .

ここで、上記蛍光管1aの輝度の設定方法について説明する。すなわち、本実施の形態では、蛍光管1aの輝度を設定する方法として、以下の方法を用いることができる。   Here, a method of setting the luminance of the fluorescent tube 1a will be described. That is, in the present embodiment, the following method can be used as a method for setting the luminance of the fluorescent tube 1a.

例えば、図2に示す全階調表示25を表示させ、図7(a)に示すように、蛍光管1aを標準光量に設定した状態で、各蛍光管1aでの領域5〜領域1における各光透過量を計測する。この計測した透過量に対してそれぞれ一定のオフセットを加えて、目標最大光透過量を算出する。そして、「最大許容光透過量÷目標最大光透過量=蛍光管強度」の演算により、図7(b)に示すように、各領域5〜領域1の蛍光管1aの強度を設定する。すなわち、目標最大光透過量は、計測した光透過量に、背景に対して欠陥を目立つようにするため及び液晶パネル11のバラツキを考慮するためのオフセットを加えたものであり、目標とする光透過量であるといえる。なお、蛍光管1aのこの光量設定は、検査の前に行われる。   For example, in the state where the all gradation display 25 shown in FIG. 2 is displayed and the fluorescent tube 1a is set to the standard light quantity as shown in FIG. 7A, each of the regions 5 to 1 in each fluorescent tube 1a is displayed. Measure light transmission. The target maximum light transmission amount is calculated by adding a certain offset to the measured transmission amount. Then, by calculating “maximum allowable light transmission amount ÷ target maximum light transmission amount = fluorescent tube intensity”, the intensities of the fluorescent tubes 1a in the respective regions 5 to 1 are set as shown in FIG. 7B. That is, the target maximum light transmission amount is obtained by adding an offset to the measured light transmission amount so that a defect is conspicuous with respect to the background and taking into account variations in the liquid crystal panel 11. It can be said that the amount of transmission. The light quantity setting of the fluorescent tube 1a is performed before the inspection.

同図7(a)(b)において、具体的には、最大許容光透過量を3.3とし、領域5では3.3÷1.0=3.3、領域3では3.3÷2.0=1.7、領域1では3.3÷3.0=1.1としている。   7A and 7B, specifically, the maximum allowable light transmission amount is 3.3, 3.3 ÷ 1.0 = 3.3 in the region 5, and 3.3 ÷ 2 in the region 3. 0.0 = 1.7, and in region 1, 3.3 / 3.0 = 1.1.

これにより、カメラ4のダイナミックレンジに適した蛍光管1aの照射光量とすることが可能である。すなわち、本実施の形態では、検査対象の液晶パネル11の部分毎の光透過量と反比例するように蛍光管1aの照射強度を変更することができる。この結果、検査員或いは検査用機材は液晶パネル11の全面を一様な照射光量下で観察できるようになるので、欠陥の発見を容易に行うことができるようになる。   Thereby, it is possible to set the irradiation light amount of the fluorescent tube 1 a suitable for the dynamic range of the camera 4. That is, in this embodiment, the irradiation intensity of the fluorescent tube 1a can be changed so as to be inversely proportional to the light transmission amount for each portion of the liquid crystal panel 11 to be inspected. As a result, the inspector or the inspection equipment can observe the entire surface of the liquid crystal panel 11 under a uniform amount of irradiation light, so that the defect can be easily found.

また、本実施の形態では、上述した蛍光管1aの光量設定は、図1に示すように、バックライト制御装置2に設けられた光透過量測定手段としての光透過量測定部2bと部位出力設定手段としての部位出力設定部2cによって行うことができるようになっている。すなわち、光透過量測定部2bは、液晶パネル11の各階調における蛍光管1aの標準光量での光透過量を測定する。また、部位出力設定部2cは、上記光透過量測定部2bにて求めた光透過量から部位毎の蛍光管1aの出力を決定する。   In the present embodiment, the light quantity setting of the fluorescent tube 1a described above is performed by the light transmission amount measuring unit 2b as the light transmission amount measuring means provided in the backlight control device 2 and the region output as shown in FIG. It can be performed by the part output setting unit 2c as setting means. That is, the light transmission amount measuring unit 2 b measures the light transmission amount with the standard light amount of the fluorescent tube 1 a in each gradation of the liquid crystal panel 11. The part output setting unit 2c determines the output of the fluorescent tube 1a for each part from the light transmission amount obtained by the light transmission amount measurement unit 2b.

なお、本実施の形態では、検査を行う毎に、そのルックアップテーブルを光透過量測定部2bでの測定結果をその都度ルックアップテーブルを修正しておくことが可能である。これにより、毎回、液晶パネル11の表示階調毎の光透過量を上記光透過量測定部2bにて求めることなく、ルックアップテーブルからデータを読み出すので、蛍光管1aの光量設定を短時間で行うことができる。   In this embodiment, each time an inspection is performed, the lookup table can be corrected each time the measurement result of the light transmission amount measuring unit 2b is measured. As a result, the light transmission amount for each display gradation of the liquid crystal panel 11 is read out from the lookup table without obtaining the light transmission amount measurement unit 2b each time, so that the light amount setting of the fluorescent tube 1a can be set in a short time. It can be carried out.

上記構成の液晶パネル検査装置10における液晶パネル検査方法について、図8のフローチャートに基づいて説明する。図8は液晶パネル検査方法を示すフローチャートである。なお、このフローチャートの前段階として、液晶パネル11の階調つまり光透過量に応じた蛍光管1aの照射光量は設定されているのものとする。すなわち、ここで説明する検査パターンは、図2(a)〜(e)に示す5つの検査パターンであり、点灯パターンは、図6(a)〜(e)に示す5つの点灯パターンである。   A liquid crystal panel inspection method in the liquid crystal panel inspection apparatus 10 having the above configuration will be described based on the flowchart of FIG. FIG. 8 is a flowchart showing a liquid crystal panel inspection method. It is assumed that the irradiation light quantity of the fluorescent tube 1a is set according to the gradation of the liquid crystal panel 11, that is, the light transmission amount, as the previous stage of this flowchart. That is, the inspection patterns described here are the five inspection patterns shown in FIGS. 2A to 2E, and the lighting patterns are the five lighting patterns shown in FIGS. 6A to 6E.

先ず、図8に示すように、液晶パネル点灯制御装置3にて液晶パネル11の検査パターンとして、全面白表示21に変更する(S1)。次いで、バックライト制御装置2にて、バックライトユニット1を点灯パターン31に変更する(S2)。そして、この状態で、カメラ4により液晶パネル11の画像を撮像し、画像処理装置5にて画像処理を行うという欠陥検査を行う(S3)。その結果、欠陥が見つかれば(S4)、欠陥種類及び欠陥位置を保存する(S5)。S4において欠陥が見つからなければ、次の図2(b)に示す全面黒表示22の検査に移行する。   First, as shown in FIG. 8, the liquid crystal panel lighting control device 3 changes the entire white display 21 as an inspection pattern of the liquid crystal panel 11 (S1). Next, the backlight control device 2 changes the backlight unit 1 to the lighting pattern 31 (S2). In this state, a defect inspection is performed in which an image of the liquid crystal panel 11 is captured by the camera 4 and image processing is performed by the image processing device 5 (S3). As a result, if a defect is found (S4), the defect type and the defect position are stored (S5). If no defect is found in S4, the process proceeds to the inspection of the entire black display 22 shown in FIG.

液晶パネル11の全面黒表示22の検査では、液晶パネル点灯制御装置3にて液晶パネル11の検査パターンとして、全面黒表示22に変更する(S6)。次いで、バックライト制御装置2にて、バックライトユニット1を点灯パターン32に変更する(S7)。そして、この状態で、カメラ4により液晶パネル11の画像を撮像し、画像処理装置5にて画像処理を行うという欠陥検査を行う(S8)。その結果、欠陥が見つかれば(S9)、欠陥種類及び欠陥位置を保存する(S10)。S9において欠陥が見つからなければ、次の図2(c)に示す白黒表示23の検査に移行する。   In the inspection of the entire black display 22 of the liquid crystal panel 11, the liquid crystal panel lighting control device 3 changes the entire black display 22 as the inspection pattern of the liquid crystal panel 11 (S6). Next, the backlight control device 2 changes the backlight unit 1 to the lighting pattern 32 (S7). In this state, a defect inspection is performed in which an image of the liquid crystal panel 11 is captured by the camera 4 and image processing is performed by the image processing device 5 (S8). As a result, if a defect is found (S9), the defect type and the defect position are stored (S10). If no defect is found in S9, the process proceeds to the inspection of the monochrome display 23 shown in FIG.

液晶パネル11の白黒表示23の検査では、液晶パネル点灯制御装置3にて液晶パネル11の検査パターンとして、白黒表示23に変更する(S11)。次いで、バックライト制御装置2にて、バックライトユニット1を点灯パターン33に変更する(S12)。そして、この状態で、カメラ4により液晶パネル11の画像を撮像し、画像処理装置5にて画像処理を行うという欠陥検査を行う(S13)。その結果、欠陥が見つかれば(S14)、欠陥種類及び欠陥位置を保存する(S15)。S14において欠陥が見つからなければ、次の図2(d)に示す黒白表示24の検査に移行する。   In the inspection of the monochrome display 23 of the liquid crystal panel 11, the liquid crystal panel lighting control device 3 changes the inspection pattern of the liquid crystal panel 11 to the monochrome display 23 (S11). Next, the backlight control device 2 changes the backlight unit 1 to the lighting pattern 33 (S12). In this state, a defect inspection is performed in which an image of the liquid crystal panel 11 is captured by the camera 4 and image processing is performed by the image processing apparatus 5 (S13). As a result, if a defect is found (S14), the defect type and the defect position are stored (S15). If no defect is found in S14, the process proceeds to the inspection of the black and white display 24 shown in FIG.

液晶パネル11の黒白表示24の検査では、液晶パネル点灯制御装置3にて液晶パネル11の検査パターンとして、黒白表示24に変更する(S16)。次いで、バックライト制御装置2にて、バックライトユニット1を点灯パターン34に変更する(S17)。そして、この状態で、カメラ4により液晶パネル11の画像を撮像し、画像処理装置5にて画像処理を行うという欠陥検査を行う(S18)。その結果、欠陥が見つかれば(S19)、欠陥種類及び欠陥位置を保存する(S20)。S19において欠陥が見つからなければ、次の図2(e)に示す全階調表示25の検査に移行する。   In the inspection of the black and white display 24 on the liquid crystal panel 11, the liquid crystal panel lighting control device 3 changes the inspection pattern of the liquid crystal panel 11 to the black and white display 24 (S16). Next, the backlight control device 2 changes the backlight unit 1 to the lighting pattern 34 (S17). In this state, a defect inspection is performed in which an image of the liquid crystal panel 11 is captured by the camera 4 and image processing is performed by the image processing device 5 (S18). As a result, if a defect is found (S19), the defect type and the defect position are stored (S20). If no defect is found in S19, the process proceeds to the inspection of all gradation display 25 shown in FIG.

液晶パネル11の全階調表示25の検査では、液晶パネル点灯制御装置3にて液晶パネル11の検査パターンとして、全階調表示25に変更する(S21)。次いで、バックライト制御装置2にて、バックライトユニット1を点灯パターン35に変更する(S22)。そして、この状態で、カメラ4により液晶パネル11の画像を撮像し、画像処理装置5にて画像処理を行うという欠陥検査を行う(S23)。その結果、欠陥が見つかれば(S24)、欠陥種類及び欠陥位置を保存する(S25)。S23において欠陥が見つからなければ、今までに保存した欠陥の抽出を行い、検査結果の統合を行う(S26)。   In the inspection of the all gradation display 25 of the liquid crystal panel 11, the liquid crystal panel lighting control device 3 changes the inspection pattern of the liquid crystal panel 11 to the all gradation display 25 (S21). Next, the backlight control device 2 changes the backlight unit 1 to the lighting pattern 35 (S22). In this state, a defect inspection is performed in which an image of the liquid crystal panel 11 is captured by the camera 4 and image processing is performed by the image processing device 5 (S23). As a result, if a defect is found (S24), the defect type and the defect position are stored (S25). If no defect is found in S23, the defect stored so far is extracted and the inspection results are integrated (S26).

この処理により、バックライトユニット1における領域毎の光強度制御機能を利用した液晶パネル11の欠陥検査を実現できるようになる。   By this processing, it becomes possible to realize defect inspection of the liquid crystal panel 11 using the light intensity control function for each region in the backlight unit 1.

そして、図2(a)〜(e)に示す液晶パネル11の検査パターンと図6(a)〜(e)に示すバックライトユニット1の点灯パターンとを組合せることにより、カメラ4への入射光量は液晶パネル11の全面にわたって略一定になるので、特に領域毎にゲインを調整することが難しいエリア型カメラであってもパネル全面を均一の条件下で検査することができるようになる。   The inspection pattern of the liquid crystal panel 11 shown in FIGS. 2A to 2E and the lighting pattern of the backlight unit 1 shown in FIGS. 6A to 6E are combined to enter the camera 4. Since the amount of light is substantially constant over the entire surface of the liquid crystal panel 11, the entire panel surface can be inspected under uniform conditions even with an area type camera in which it is difficult to adjust the gain for each region.

すなわち、所定の欠陥が出現する点灯パターンに合わせたバックライトユニット1の部位毎の制御目標値変更を行うことにより、液晶パネル11の全面の透過光強度を略一定に保つことができるようになる。   That is, by changing the control target value for each part of the backlight unit 1 in accordance with the lighting pattern in which a predetermined defect appears, the transmitted light intensity on the entire surface of the liquid crystal panel 11 can be kept substantially constant. .

したがって、デジタルカメラ等のカメラ4を用いて機械的に液晶パネル11の検査を行うときに、液晶パネル11の全面の照射光量条件を一定範囲内に保ち、カメラ4のダイナミックレンジにパネル透過光強度の範囲を収めることができるようになるので、カメラ4の画像の飽和や量子化誤差の影響を低減できるようになり、検査の精度を高めることができるようになる。   Therefore, when the liquid crystal panel 11 is mechanically inspected using the camera 4 such as a digital camera, the irradiation light amount condition on the entire surface of the liquid crystal panel 11 is kept within a certain range, and the panel transmitted light intensity is kept within the dynamic range of the camera 4. Thus, the saturation of the image of the camera 4 and the influence of the quantization error can be reduced, and the inspection accuracy can be increased.

なお、本実施の形態においては、上記バックライトユニット1は、照射光量を独立制御可能な複数の蛍光管1aにて構成した。しかし、必ずしもこれに限らず、例えば、LED(Light Emitting Diode:発光素子)にて構成することが可能である。このLEDは、マトリックス状に配置しておく。これにより、必ずしも縦方向だけでなく、横方向にもLEDの照射光量を独立に制御可能となる。また、LEDは、サイズが小さく、細かいパターンに対応できる。その結果、非常に配置自由度が高く、複雑なパターンに対応できる。また、LEDは蛍光管1aに比べて寿命が長い。さらに、蛍光管1aは、経時劣化において最初に端部の照度が落ち、検査に影響が出ることがあるが、LEDではそういう問題も起こらない。   In the present embodiment, the backlight unit 1 is composed of a plurality of fluorescent tubes 1a capable of independently controlling the amount of irradiation light. However, the present invention is not necessarily limited to this, and for example, an LED (Light Emitting Diode) can be used. The LEDs are arranged in a matrix. As a result, the amount of light emitted from the LEDs can be independently controlled not only in the vertical direction but also in the horizontal direction. Also, the LED is small in size and can handle fine patterns. As a result, the degree of freedom in arrangement is very high and it is possible to deal with complicated patterns. Further, the LED has a longer lifetime than the fluorescent tube 1a. Further, the fluorescent tube 1a may have an influence on the inspection because the illuminance at the end portion of the fluorescent tube 1a is first deteriorated over time, but such a problem does not occur in the LED.

また、上記バックライト制御装置2では、蛍光管1aの寿命についての照射光量制御までは行っていなかったが、必ずしもこれに限らず、蛍光管1aの寿命を考慮した照射光量制御を行うことが可能である。   The backlight control device 2 does not perform the irradiation light amount control for the life of the fluorescent tube 1a. However, the present invention is not limited to this, and the irradiation light amount control considering the life of the fluorescent tube 1a can be performed. It is.

この場合には、図1に示すように、バックライト制御装置2には、ライト寿命制御部2dが設けられる。このライト寿命制御部2dにおける蛍光管1aの照射光量制御について以下に説明する。   In this case, as shown in FIG. 1, the backlight control device 2 is provided with a light life control unit 2d. The control of the amount of light emitted from the fluorescent tube 1a in the light life controller 2d will be described below.

例えば、図9(a)に示すように、i番目の蛍光管1aに対応する全面白表示21の画面領域の例えば直前5時間の輝度平均をIiとし、目標輝度をIdとする。このとき、図9(b)に示すように、輝度平均Iiが目標輝度Idの90%以下に低下した場合、ライト寿命制御部2dは、蛍光管1aの電圧を調整する。例えば、現在の蛍光管入力電圧がViであった場合、変更後電圧Vi’は、
Vi’=Id/Ii
とする。なお、変更後電圧Vi’が電源調整リミットVMaxを越えたときは調整ができなくなるので、蛍光管1aを交換するものとする。また、全面白表示21以外の4パターンの蛍光管1aの電圧は、全面白表示21の検査パターンにおける蛍光管入力電圧Viに比例して調整するものとする。
For example, as shown in FIG. 9A, the luminance average of the screen area of the entire white display 21 corresponding to the i-th fluorescent tube 1a, for example, for the last 5 hours is Ii, and the target luminance is Id. At this time, as shown in FIG. 9B, when the luminance average Ii falls to 90% or less of the target luminance Id, the light life control unit 2d adjusts the voltage of the fluorescent tube 1a. For example, when the current fluorescent tube input voltage is Vi, the changed voltage Vi ′ is
Vi ′ = Id / Ii
And Since it becomes impossible to adjust when the voltage Vi 'after changing over the power adjustment limit V Max, shall replace the fluorescent tubes 1a. The voltages of the four patterns of fluorescent tubes 1a other than the entire white display 21 are adjusted in proportion to the fluorescent tube input voltage Vi in the inspection pattern of the entire white display 21.

これにより、蛍光管1aの寿命を考慮して、検査パターンに応じた蛍光管1aの光量制御を行うことができる。なお、図9(b)では、蛍光管1aの交換時間を、例えば23時間として記載しているが、これは説明のために、便宜上そのように記載したものであり、実際には、このような短時間で蛍光管1aの寿命により取り替えるということはない。   Thereby, the light quantity control of the fluorescent tube 1a according to the inspection pattern can be performed in consideration of the life of the fluorescent tube 1a. In FIG. 9B, the replacement time of the fluorescent tube 1a is described as, for example, 23 hours. However, this is described as such for convenience of explanation, and in actuality, It will not be replaced in a short time due to the life of the fluorescent tube 1a.

最後に、液晶パネル検査装置10の各ブロック、特に画像処理装置5、液晶パネル点灯制御装置3、及びバックライト制御装置2は、ハードウェアロジックによって構成してもよいし、次のようにCPUを用いてソフトウェアによって実現してもよい。   Finally, each block of the liquid crystal panel inspection device 10, particularly the image processing device 5, the liquid crystal panel lighting control device 3, and the backlight control device 2 may be configured by hardware logic, or the CPU may be configured as follows. And may be realized by software.

すなわち、液晶パネル検査装置10は、各機能を実現する制御プログラムの命令を実行するCPU(central processing unit )、上記プログラムを格納したROM(read only memory)、上記プログラムを展開するRAM(random access memory)、上記プログラムおよび各種データを格納するメモリ等の記憶装置(記録媒体)などを備えている。そして、本発明の目的は、上述した機能を実現するソフトウェアである液晶パネル検査装置10の制御プログラムのプログラムコード(実行形式プログラム、中間コードプログラム、ソースプログラム)をコンピュータで読み取り可能に記録した記録媒体を、上記液晶パネル検査装置10に供給し、そのコンピュータ(またはCPUやMPU)が記録媒体に記録されているプログラムコードを読み出し実行することによっても、達成可能である。   That is, the liquid crystal panel inspection apparatus 10 includes a CPU (central processing unit) that executes instructions of a control program that realizes each function, a ROM (read only memory) that stores the program, and a RAM (random access memory) that expands the program. ), A storage device (recording medium) such as a memory for storing the program and various data. An object of the present invention is a recording medium in which a program code (execution format program, intermediate code program, source program) of a control program of the liquid crystal panel inspection apparatus 10 which is software for realizing the functions described above is recorded so as to be readable by a computer. Can also be achieved by reading the program code recorded in the recording medium and executing it by the computer (or CPU or MPU).

上記記録媒体としては、例えば、磁気テープやカセットテープ等のテープ系、フロッピー(登録商標)ディスク/ハードディスク等の磁気ディスクやCD−ROM/MO/MD/DVD/CD−R等の光ディスクを含むディスク系、ICカード(メモリカードを含む)/光カード等のカード系、あるいはマスクROM/EPROM/EEPROM/フラッシュROM等の半導体メモリ系などを用いることができる。   Examples of the recording medium include a tape system such as a magnetic tape and a cassette tape, a magnetic disk such as a floppy (registered trademark) disk / hard disk, and an optical disk such as a CD-ROM / MO / MD / DVD / CD-R. Card system such as IC card, IC card (including memory card) / optical card, or semiconductor memory system such as mask ROM / EPROM / EEPROM / flash ROM.

また、液晶パネル検査装置10を通信ネットワークと接続可能に構成し、上記プログラムコードを通信ネットワークを介して供給してもよい。この通信ネットワークとしては、特に限定されず、例えば、インターネット、イントラネット、エキストラネット、LAN、ISDN、VAN、CATV通信網、仮想専用網(virtual private network)、電話回線網、移動体通信網、衛星通信網等が利用可能である。また、通信ネットワークを構成する伝送媒体としては、特に限定されず、例えば、IEEE1394、USB、電力線搬送、ケーブルTV回線、電話線、ADSL回線等の有線でも、IrDAやリモコンのような赤外線、Bluetooth(登録商標)、802.11無線、HDR、携帯電話網、衛星回線、地上波デジタル網等の無線でも利用可能である。なお、本発明は、上記プログラムコードが電子的な伝送で具現化された、搬送波に埋め込まれたコンピュータデータ信号の形態でも実現され得る。   Further, the liquid crystal panel inspection apparatus 10 may be configured to be connectable to a communication network, and the program code may be supplied via the communication network. The communication network is not particularly limited. For example, the Internet, intranet, extranet, LAN, ISDN, VAN, CATV communication network, virtual private network, telephone line network, mobile communication network, satellite communication. A net or the like is available. Also, the transmission medium constituting the communication network is not particularly limited. For example, even in the case of wired such as IEEE 1394, USB, power line carrier, cable TV line, telephone line, ADSL line, etc., infrared rays such as IrDA and remote control, Bluetooth ( (Registered trademark), 802.11 wireless, HDR, mobile phone network, satellite line, terrestrial digital network, and the like can also be used. The present invention can also be realized in the form of a computer data signal embedded in a carrier wave in which the program code is embodied by electronic transmission.

このように、本実施の形態の液晶パネル検査装置10は、液晶パネル11を背後から照射する複数の光源を有し、かつ各光源の上記液晶パネル11への照射光量を増減制御するバックライトユニット1と、液晶パネル11に、少なくとも2種類以上の異なる階調の表示領域を同時に有する検査パターンを表示させる液晶パネル点灯制御装置3と、階調が高い表示領域ほど上記光源の液晶パネル11への照射光量を小さくすると共に、上記階調が低い表示領域ほど上記光源の液晶パネル11への照射光量を大きくするようにバックライトユニット1を制御するバックライト制御装置2とを備えている。   As described above, the liquid crystal panel inspection apparatus 10 according to the present embodiment includes a plurality of light sources that irradiate the liquid crystal panel 11 from behind, and the backlight unit that controls increase / decrease of the amount of light applied to the liquid crystal panel 11 by each light source. 1 and a liquid crystal panel lighting control device 3 for displaying a test pattern having at least two types of display areas with different gradations simultaneously on the liquid crystal panel 11, and a display area with higher gradations to the liquid crystal panel 11 of the light source. There is provided a backlight control device 2 that controls the backlight unit 1 so as to reduce the amount of irradiation light and to increase the amount of light irradiated to the liquid crystal panel 11 of the light source as the display area has a lower gradation.

また、本実施の形態の液晶パネル11の検査方法は、液晶パネル11を背後から照射する複数の光源を設ける工程と、液晶パネル11に、少なくとも2種類以上の異なる階調の表示領域を同時に有する検査パターンを表示させる工程と、階調が高い表示領域ほど上記光源の液晶パネル11への照射光量を小さくすると共に、階調が低い表示領域ほど上記光源の液晶パネル11への照射光量を大きくするように制御する工程とを含んでいる。   In addition, the method for inspecting the liquid crystal panel 11 according to the present embodiment includes a step of providing a plurality of light sources for irradiating the liquid crystal panel 11 from behind, and a liquid crystal panel 11 having at least two types of display areas with different gradations simultaneously. The step of displaying the inspection pattern, and the display area with higher gradation reduces the amount of light applied to the liquid crystal panel 11 of the light source, and the display area with lower gradation increases the amount of light applied to the liquid crystal panel 11 of the light source. And a controlling step.

また、本実施の形態の液晶パネル11の製造方法は、上記記載の液晶パネル検査装置10におけるバックライトユニット1の前面位置に液晶パネル11を配置する工程と、液晶パネル検査装置10におけるバックライトユニット1の前面位置に配置された液晶パネル11を、上記記載の液晶パネル11の検査方法により、欠陥検査する工程とを含む方法である。   Moreover, the manufacturing method of the liquid crystal panel 11 according to the present embodiment includes the step of disposing the liquid crystal panel 11 at the front position of the backlight unit 1 in the liquid crystal panel inspection apparatus 10 described above, and the backlight unit in the liquid crystal panel inspection apparatus 10. And a step of inspecting the liquid crystal panel 11 arranged at the front surface position 1 by the inspection method for the liquid crystal panel 11 described above.

これにより、検査対象である液晶パネル11を特定の条件下で点灯させたときに発生させた場合にのみ顕在化する液晶パネル11の欠陥の検査を高精度に行うために、バックライトユニット1における蛍光管1a毎の強度を液晶パネル11の階調に基づいて制御することができる。この結果、蛍光管1aに現れた欠陥を液晶パネル11の表示領域毎に最適な条件下で検査することができるようになり、欠陥の検出精度向上が可能になる。すなわち、検査員或いはカメラ4は、液晶パネル11の全面を一様な照射光量下で観察できるようになるので、欠陥の発見を容易に行うことができるようになる。   Thereby, in order to inspect the defect of the liquid crystal panel 11 which becomes apparent only when it is generated when the liquid crystal panel 11 to be inspected is turned on under a specific condition, in the backlight unit 1 The intensity of each fluorescent tube 1a can be controlled based on the gradation of the liquid crystal panel 11. As a result, defects appearing in the fluorescent tube 1a can be inspected under optimum conditions for each display area of the liquid crystal panel 11, and defect detection accuracy can be improved. That is, since the inspector or the camera 4 can observe the entire surface of the liquid crystal panel 11 under a uniform amount of irradiation light, the defect can be easily found.

特に、カメラ4で撮像した画像をコンピュータで処理することにより液晶パネル11の欠陥検査を行う場合には、カメラ4のダイナミックレンジの範囲に適したパネル透過光条件が設定できるようになる。この結果、カメラ4の露光時間やゲインの設定を変更しながら複数回撮像を行う必要がなく、検査を迅速に行うことができるようになる。   In particular, when a defect inspection of the liquid crystal panel 11 is performed by processing an image captured by the camera 4 with a computer, a panel transmission light condition suitable for the dynamic range of the camera 4 can be set. As a result, it is not necessary to perform imaging a plurality of times while changing the exposure time and gain setting of the camera 4, and the inspection can be performed quickly.

したがって、液晶パネル11に、少なくとも2種類以上の異なる階調の表示領域を同時に有する検査パターンを有する場合において、表示領域毎の欠陥を高精度に検出する液晶パネル検査装置10、液晶パネル11の検査方法、液晶パネル11の製造方法を実現することができる。   Therefore, in the case where the liquid crystal panel 11 has an inspection pattern having at least two types of display areas having different gradations at the same time, the liquid crystal panel inspection apparatus 10 that detects defects in each display area with high accuracy, and the inspection of the liquid crystal panel 11 The method and the manufacturing method of the liquid crystal panel 11 can be realized.

また、本実施の形態の液晶パネル検査装置10では、検査パターンは、液晶パネル11における表示画面を2分割し、分割画面の一方が黒表示されかつ他方が白表示される場合と、分割画面の一方が白表示されかつ上記他方が黒表示される場合とを含む。   Further, in the liquid crystal panel inspection apparatus 10 of the present embodiment, the inspection pattern is divided into two when the display screen on the liquid crystal panel 11 is divided and one of the divided screens is displayed in black and the other is displayed in white. This includes the case where one is displayed in white and the other is displayed in black.

これにより、ソース(S)方向の電荷がドレイン(D)に漏出して発生するいわゆるSDリークの欠陥を精度良く検出することができる。   As a result, it is possible to accurately detect a so-called SD leak defect that occurs due to leakage of charge in the source (S) direction to the drain (D).

また、本実施の形態の液晶パネル検査装置10では、液晶パネル11の最小階調である階調0から最大階調である階調255までを少なくとも3分割、例えば7分割した、異なる階調の表示領域に分割表示された検査パターンを用いるので、特定の階調でコントラストが目立つ線欠陥である特定階調線欠陥、又はドライバにおける特定のビットの動作不良によって生じる特定階調不良の線欠陥を精度良く発見することができる。   In the liquid crystal panel inspection apparatus 10 of the present embodiment, the gradation of the liquid crystal panel 11 from the gradation 0 which is the minimum gradation to the gradation 255 which is the maximum gradation is divided into at least three, for example, seven, Since the inspection pattern divided and displayed in the display area is used, a specific gradation line defect that is a line defect having a conspicuous contrast at a specific gradation, or a line defect of a specific gradation defect that is caused by a malfunction of a specific bit in the driver. It can be discovered with high accuracy.

また、本実施の形態の液晶パネル検査装置10では、バックライト制御装置2は、検査パターンにおける液晶パネル11の各表示領域の階調毎における蛍光管1aの標準光量による光透過量を測定する光透過量測定部2bと、この光透過量測定部2bにて求めた各表示領域の光透過量に基づいて、各蛍光管1aの出力を決定する部位出力設定部2cとを備えていることが好ましい。   Further, in the liquid crystal panel inspection device 10 of the present embodiment, the backlight control device 2 measures the light transmission amount by the standard light amount of the fluorescent tube 1a for each gradation of each display area of the liquid crystal panel 11 in the inspection pattern. A transmission amount measurement unit 2b and a part output setting unit 2c that determines the output of each fluorescent tube 1a based on the light transmission amount of each display area obtained by the light transmission amount measurement unit 2b. preferable.

これにより、光透過量測定部2b及び部位出力設定部2cにより、表示領域毎の欠陥を検出するときに、具体的に、目視又はカメラ4による検出において、検出し易く、かつカメラ4の測定ダイナミックレンジの範囲内になるように光透過量を設定することができる。   As a result, when a defect for each display area is detected by the light transmission amount measurement unit 2b and the part output setting unit 2c, specifically, it is easy to detect visually or in detection by the camera 4, and the measurement dynamics of the camera 4 are detected. The light transmission amount can be set so as to be within the range.

また、本実施の形態の液晶パネル検査装置10では、カメラ4により蛍光管1aからの透過光を撮像し、画像処理装置5にて、そのカメラ4にて撮像した像を画像処理し濃淡比較を行うことにより欠陥部分の抽出を行うことができる。   Moreover, in the liquid crystal panel inspection apparatus 10 of this Embodiment, the transmitted light from the fluorescent tube 1a is imaged with the camera 4, and the image imaged with the camera 4 is image-processed with the image processing apparatus 5, and a light / dark comparison is carried out. By doing so, a defective portion can be extracted.

また、本実施の形態の液晶パネル検査装置10では、カメラ4は、エリアセンサ型カメラであることが好ましい。   Moreover, in the liquid crystal panel inspection apparatus 10 of this Embodiment, it is preferable that the camera 4 is an area sensor type camera.

すなわち、エリアセンサは、ラインセンサよりも撮像範囲が広い。しかし、エリアセンサは、一般に、撮像光量を調整するためのゲイン設定及び露光時間の制御が取込み領域全域で均一である。したがって、検査対象物に階調に基づく濃淡が存在すると飽和(高光量領域)或いは感度不足(低光量領域)が発生する可能性がある。すなわち、カメラ4がエリアセンサ型カメラである場合は、一般的に素子の出力は露光時間で決まる受光量にセンサ全体で一様なアナログゲインをかけたものになる。この結果、パネル透過光の強度の範囲が広いとカメラ素子のダイナミックレンジを超えるため飽和、又は情報の欠落が発生する。   That is, the area sensor has a wider imaging range than the line sensor. However, in the area sensor, generally, the gain setting for adjusting the amount of imaged light and the control of the exposure time are uniform over the entire capturing area. Therefore, if the inspection object has a gradation based on gradation, saturation (high light amount region) or insufficient sensitivity (low light amount region) may occur. That is, when the camera 4 is an area sensor type camera, the output of the element is generally obtained by multiplying the received light amount determined by the exposure time by a uniform analog gain for the entire sensor. As a result, if the range of the intensity of the panel transmitted light is wide, the dynamic range of the camera element is exceeded, so saturation or missing of information occurs.

したがって、本実施の形態では、このようなエリアセンサ型カメラを用いた場合において、液晶パネル11の表示領域における光源の照射光量を制御することによって、検査対象物全域で高感度の検査を行うことができる。   Therefore, in the present embodiment, when such an area sensor type camera is used, high sensitivity inspection is performed on the entire inspection object by controlling the amount of light emitted from the light source in the display area of the liquid crystal panel 11. Can do.

また、カメラ4の光学条件によっては光透過量の多い領域で蛍光管1aの出射強度を大きくした場合、カメラ4の感度を上げるためにゲインを上げた場合等にレンズ内の反射やカメラ素子の構造に起因するゴーストが発生する場合がある。   Depending on the optical conditions of the camera 4, when the emission intensity of the fluorescent tube 1 a is increased in a region where the amount of light transmission is large, or when the gain is increased to increase the sensitivity of the camera 4, reflection in the lens or camera element Ghosts resulting from the structure may occur.

しかし、本実施の形態の液晶パネル検査装置10では、ゴーストの発生する可能性のある領域のみ、蛍光管1aの照射強度を下げることによりゴーストに起因する検査精度の低下を回避することができるようになる。   However, in the liquid crystal panel inspection apparatus 10 of the present embodiment, it is possible to avoid a decrease in inspection accuracy due to ghosts by reducing the irradiation intensity of the fluorescent tube 1a only in a region where ghosts may occur. become.

また、本実施の形態の液晶パネル検査装置10では、光源は蛍光管1aからなるので、液晶パネル11の光源として一般的な蛍光管1aを用いる場合に、液晶パネル11に、少なくとも2種類以上の異なる階調の表示領域を同時に有する検査パターンを有する場合において、表示領域毎の欠陥を高精度に検出する液晶パネル検査装置10、液晶パネル11の検査方法、液晶パネル11の製造方法を実現することができる。   Further, in the liquid crystal panel inspection apparatus 10 of the present embodiment, the light source is composed of the fluorescent tube 1a. Therefore, when the general fluorescent tube 1a is used as the light source of the liquid crystal panel 11, the liquid crystal panel 11 has at least two types. To realize a liquid crystal panel inspection apparatus 10, a liquid crystal panel 11 inspection method, and a liquid crystal panel 11 manufacturing method for detecting defects in each display area with high accuracy in the case of having an inspection pattern having display areas of different gradations simultaneously. Can do.

また、本実施の形態の液晶パネル検査装置10では、光源は、LED等の発光素子からなるとすることができる。すなわち、近年、液晶パネル11の光源として用いられるようになってきた発光素子を用いる場合に、液晶パネル11に、少なくとも2種類以上の異なる階調の表示領域を同時に有する検査パターンを有する場合において、表示領域毎の欠陥を高精度に検出する表示領域毎の欠陥を高精度に検出する液晶パネル検査装置10、液晶パネル点灯制御装置3による液晶パネル11の検査方法、液晶パネル11の製造方法を実現することができる。   Moreover, in the liquid crystal panel test | inspection apparatus 10 of this Embodiment, a light source can be comprised from light emitting elements, such as LED. That is, in the case of using a light emitting element that has been used as a light source of the liquid crystal panel 11 in recent years, the liquid crystal panel 11 has an inspection pattern having at least two kinds of display areas of different gradations simultaneously. A liquid crystal panel inspection apparatus 10 that detects defects for each display area with high accuracy, a liquid crystal panel inspection apparatus 10 that detects defects for each display area with high precision, a liquid crystal panel lighting control apparatus 3 inspection method, and a liquid crystal panel 11 manufacturing method. can do.

なお、本実施の形態では、上述したように、光量制御手段としてのバックライト制御装置2は、蛍光管1aやLED等の発光素子の液晶パネル11への照射光量を増減制御するものとなっている。   In the present embodiment, as described above, the backlight control device 2 as the light amount control means controls to increase or decrease the amount of light applied to the liquid crystal panel 11 of the light emitting element such as the fluorescent tube 1a or the LED. Yes.

しかしながら、本発明においては、必ずしもこれに限らず、光量制御手段は、バックライトユニット1と液晶パネル11との間に設けたシャッター機構によっても構成することが可能である。すなわち、シャッター機構としてルーバー形式のシャッターを設け、このルーバーを全閉から全開までを自在に変化できるようにしておけば、バックライトユニット1による光源の液晶パネル11への照射光量を変化できるものとなる。   However, in the present invention, the present invention is not necessarily limited to this, and the light amount control means can also be configured by a shutter mechanism provided between the backlight unit 1 and the liquid crystal panel 11. That is, if a louver type shutter is provided as a shutter mechanism and the louver can be freely changed from fully closed to fully open, the amount of light applied to the liquid crystal panel 11 of the light source by the backlight unit 1 can be changed. Become.

また、本実施の形態の液晶パネル検査装置10では、バックライト制御装置2は、液晶に対応するバックライトユニット1における各光源の点灯位置及び照射光量を含む点灯パターンを記憶する例えばルックアップテーブル等の点灯パターン記憶手段としての点灯パターン記憶部2aを備えている。   Moreover, in the liquid crystal panel inspection apparatus 10 of this Embodiment, the backlight control apparatus 2 memorize | stores the lighting pattern containing the lighting position and irradiation light quantity of each light source in the backlight unit 1 corresponding to a liquid crystal, for example, a look-up table etc. The lighting pattern memory | storage part 2a as a lighting pattern memory | storage means is provided.

これにより、検査パターンが決まれば、点灯パターン記憶部2aから、随時、検査パターンに対応するバックライトユニット1における各光源の点灯位置及び照射光量を含む点灯パターンを呼び出してバックライトユニット1の各光源を点灯制御できるので、点灯制御を早く行うことができる。   Thus, when the inspection pattern is determined, the lighting pattern storage unit 2a calls the lighting pattern including the lighting position and the irradiation light amount of each light source in the backlight unit 1 corresponding to the inspection pattern from time to time, and each light source of the backlight unit 1 Since the lighting control can be performed, the lighting control can be performed quickly.

また、本実施の形態の液晶パネル検査装置10では、バックライト制御装置2は、蛍光管1aの寿命を考慮して各蛍光管1aの出力を決定するライト寿命制御部2dを備えていることが好ましい。   Moreover, in the liquid crystal panel inspection apparatus 10 of this Embodiment, the backlight control apparatus 2 is provided with the light lifetime control part 2d which determines the output of each fluorescent tube 1a in consideration of the lifetime of the fluorescent tube 1a. preferable.

すなわち、バックライト制御装置2がバックライトユニット1の蛍光管1aの照射光量を増減制御する場合に、蛍光管1aの寿命を考慮しないと、適切な光透過量が得られない。   That is, when the backlight control device 2 controls to increase or decrease the amount of light emitted from the fluorescent tube 1a of the backlight unit 1, an appropriate light transmission amount cannot be obtained unless the life of the fluorescent tube 1a is taken into consideration.

これに対して、本実施の形態では、ライト寿命制御部2dは、蛍光管1aの寿命を考慮して各蛍光管1aの出力を決定する。この結果、蛍光管1aに対する有効電圧を、カメラ4によって撮像した画像の各蛍光管1aに対応する領域の輝度変化を適切に補償するように逐次制御することができる。   On the other hand, in this embodiment, the light life control unit 2d determines the output of each fluorescent tube 1a in consideration of the life of the fluorescent tube 1a. As a result, the effective voltage for the fluorescent tube 1a can be sequentially controlled so as to appropriately compensate for the luminance change in the region corresponding to each fluorescent tube 1a of the image captured by the camera 4.

また、本実施の形態の液晶パネル検査装置10では、液晶パネル11をバックライトユニット1の前面位置に搬送配置する搬送手段としてのコンベアを備えていることが好ましい。   Moreover, in the liquid crystal panel inspection apparatus 10 of this Embodiment, it is preferable to provide the conveyor as a conveyance means which conveys and arrange | positions the liquid crystal panel 11 to the front surface position of the backlight unit 1. FIG.

これにより、本実施の形態では、液晶パネル11と、バックライトユニット1及びその他の構成要素を分離することが可能である。したがって、液晶パネル11以外の構成要素を固定し、液晶パネル11を順次交換しながら検査を行うことができる。また、最終製品においてバックライトユニット1に光源毎の照射強度調整機能を設ける必要がなくなる。   Thereby, in this Embodiment, it is possible to isolate | separate the liquid crystal panel 11, the backlight unit 1, and another component. Therefore, it is possible to perform inspection while fixing the components other than the liquid crystal panel 11 and sequentially replacing the liquid crystal panel 11. Further, it is not necessary to provide the backlight unit 1 with an irradiation intensity adjustment function for each light source in the final product.

なお、上記液晶パネル検査装置10は、コンピュータによって実現してもよく、この場合には、コンピュータを上記各手段として動作させることにより上記液晶パネル検査装置10をコンピュータにて実現させる液晶パネル11の検査装置の検査プログラム、及びそれを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体も、本発明の範疇に入る。   The liquid crystal panel inspection apparatus 10 may be realized by a computer. In this case, the liquid crystal panel inspection apparatus 10 that realizes the liquid crystal panel inspection apparatus 10 by a computer by operating the computer as each of the above means is used. An apparatus inspection program and a computer-readable recording medium on which the apparatus inspection program is recorded also fall within the scope of the present invention.

本発明は、例えば透過型液晶パネル等の透過型表示パネルの背面からバックライトを照射して、透過型表示パネルの欠陥部分の抽出を行うことにより透過型表示パネルの欠陥検査を行う透過型表示パネルの検査装置、透過型表示パネルの検査方法、透過型表示パネルの製造方法、プログラム及び記録媒体に適用することができる。   The present invention relates to a transmissive display that performs defect inspection of a transmissive display panel by irradiating a backlight from the back of the transmissive display panel such as a transmissive liquid crystal panel and extracting defective portions of the transmissive display panel. The present invention can be applied to a panel inspection apparatus, a transmissive display panel inspection method, a transmissive display panel manufacturing method, a program, and a recording medium.

また、透過型表示パネルとしては、例えば透過型液晶パネル、プロジェクタ等の透過型表示パネルに適用することができる。さらに、バックライトとしては、複数の蛍光管又はLED(Light Emitting Diode)等を用いることができる。   The transmissive display panel can be applied to a transmissive display panel such as a transmissive liquid crystal panel or a projector. Furthermore, a plurality of fluorescent tubes or LEDs (Light Emitting Diodes) can be used as the backlight.

本発明における液晶パネル検査装置の実施の一形態を示すブロック図である。It is a block diagram which shows one Embodiment of the liquid crystal panel test | inspection apparatus in this invention. (a)〜(e)は上記液晶パネル検査装置の被検査対象である液晶パネルの検査用の表示パターンを示す平面図である。(A)-(e) is a top view which shows the display pattern for the test | inspection of the liquid crystal panel which is a test object of the said liquid crystal panel test | inspection apparatus. (a)は液晶パネルの全面白表示の検査パターンにおける欠陥を示す平面図であり、(b)は液晶パネルの全面黒表示における欠陥を示す平面図である。(A) is a top view which shows the defect in the test pattern of the whole surface white display of a liquid crystal panel, (b) is a top view which shows the defect in the whole surface black display of a liquid crystal panel. (a)は液晶パネルの白黒表示の検査パターンにおける欠陥を示す平面図であり、(b)は液晶パネルの黒白表示における欠陥を示す平面図である。(A) is a top view which shows the defect in the inspection pattern of the monochrome display of a liquid crystal panel, (b) is a top view which shows the defect in the black-and-white display of a liquid crystal panel. 液晶パネルの全階調表示の検査パターンにおける欠陥を示す平面図である。It is a top view which shows the defect in the test | inspection pattern of the all gradation display of a liquid crystal panel. (a)〜(e)は、図2(a)〜(e)に示す液晶パネルの検査用の表示パターンに対応するバックライトユニットの点灯パターンを示す平面図である。(A)-(e) is a top view which shows the lighting pattern of the backlight unit corresponding to the display pattern for a test | inspection of the liquid crystal panel shown to Fig.2 (a)-(e). (a)(b)は、蛍光管における設定強度の求め方を示すグラフである。(A) (b) is a graph which shows how to obtain | require the setting intensity | strength in a fluorescent tube. 上記の液晶パネル検査装置における液晶パネルの検査方法を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the test | inspection method of the liquid crystal panel in said liquid crystal panel test | inspection apparatus. (a)(b)は、上記液晶パネル検査装置のバックライト制御装置におけるライト寿命制御部による設定強度の求め方を示すグラフである。(A) (b) is a graph which shows how to obtain | require the setting intensity | strength by the light life control part in the backlight control apparatus of the said liquid crystal panel test | inspection apparatus.

符号の説明Explanation of symbols

1 バックライトユニット(照射手段)
1a 蛍光管(光源)
2 バックライト制御装置(光量制御手段)
2a 点灯パターン記憶部(点灯パターン記憶手段)
2b 光透過量測定部(光透過量測定手段)
2c 部位出力設定部(部位出力設定手段)
2d ライト寿命制御部(ライト寿命制御手段)
3 液晶パネル点灯制御装置(検査パターン表示手段)
4 カメラ(撮像手段)
5 画像処理装置(画像処理手段)
10 液晶パネル検査装置(透過型表示パネルの検査装置)
11 液晶パネル(透過型表示パネル)
21 全面白表示(検査パターン)
22 全面黒表示(検査パターン)
23 白黒表示(検査パターン)
24 黒白表示(検査パターン)
25 全階調表示(検査パターン)
31〜35 点灯パターン
1 Backlight unit (irradiation means)
1a Fluorescent tube (light source)
2 Backlight control device (light quantity control means)
2a lighting pattern storage unit (lighting pattern storage means)
2b Light transmission measurement unit (light transmission measurement means)
2c Part output setting part (part output setting means)
2d Light life control unit (light life control means)
3. Liquid crystal panel lighting control device (inspection pattern display means)
4 Camera (imaging means)
5 Image processing device (image processing means)
10 Liquid crystal panel inspection device (Transmission display panel inspection device)
11 Liquid crystal panel (transmission type display panel)
21 Fully white display (inspection pattern)
22 Fully black display (inspection pattern)
23 Black and white display (inspection pattern)
24 Black and white display (inspection pattern)
25 All gradation display (inspection pattern)
31-35 lighting pattern

Claims (15)

光透過量の増減を制御することにより階調表示を行う、被検査物である透過型表示パネルの欠陥検査を行う透過型表示パネルの検査装置において、
上記透過型表示パネルを背後から照射する複数の光源を有し、かつ各光源の上記透過型表示パネルへの照射光量を増減制御する照射手段と、
上記透過型表示パネルに、少なくとも2種類以上の異なる階調の表示領域を同時に有する検査パターンを表示させる検査パターン表示手段と、
上記階調が高い表示領域ほど上記光源の透過型表示パネルへの照射光量を小さくすると共に、上記階調が低い表示領域ほど上記光源の透過型表示パネルへの照射光量を大きくするように上記照射手段を制御する光量制御手段とを備えていることを特徴とする透過型表示パネルの検査装置。
In a transmissive display panel inspection apparatus that performs gradation display by controlling increase / decrease in light transmission amount, and inspects a defect of a transmissive display panel that is an inspection object,
A plurality of light sources that irradiate the transmissive display panel from behind, and an irradiating means that controls increase / decrease in the amount of light applied to the transmissive display panel of each light source;
Inspection pattern display means for displaying an inspection pattern having at least two types of display areas of different gradations simultaneously on the transmissive display panel;
The above-mentioned irradiation is performed so that the display area with the higher gradation has a smaller amount of light applied to the transmissive display panel of the light source and the display area with the lower gradation has a larger amount of light applied to the transmissive display panel of the light source. An inspection apparatus for a transmissive display panel, comprising: a light amount control means for controlling the means.
前記検査パターンは、前記透過型表示パネルにおける表示画面を2分割し、分割画面の一方が黒表示されかつ他方が白表示される場合と、分割画面の一方が白表示されかつ上記他方が黒表示される場合とを含むことを特徴とする請求項1記載の透過型表示パネルの検査装置。   In the inspection pattern, the display screen of the transmissive display panel is divided into two, where one of the divided screens is displayed in black and the other is displayed in white, and one of the divided screens is displayed in white and the other is displayed in black. The inspection apparatus for a transmissive display panel according to claim 1, further comprising: 前記検査パターンは、前記透過型表示パネルの最小階調から最大階調までを少なくとも3分割した、異なる階調の表示領域に分割表示されたものからなっていることを特徴とする請求項1記載の透過型表示パネルの検査装置。   2. The inspection pattern is formed by being divided and displayed in display areas of different gradations obtained by dividing at least three parts from the minimum gradation to the maximum gradation of the transmissive display panel. Inspection equipment for transmissive display panels. 前記光量制御手段は、
前記検査パターンにおける前記透過型表示パネルの各表示領域の階調毎における光源の標準光量による光透過量を測定する光透過量測定手段と、
上記光透過量測定手段にて求めた各表示領域の光透過量に基づいて、各光源の出力を決定する部位出力設定手段とを備えていることを特徴とする請求項1、2又は3記載の透過型表示パネルの検査装置。
The light amount control means includes
A light transmission amount measuring means for measuring a light transmission amount by a standard light amount of a light source for each gradation of each display area of the transmission type display panel in the inspection pattern;
4. A part output setting means for determining the output of each light source based on the light transmission amount of each display area obtained by the light transmission amount measuring means. Inspection equipment for transmissive display panels.
前記透過型表示パネルにおける、光源からの透過光を撮像する撮像手段と、
上記撮像手段にて撮像した像を画像処理し濃淡比較を行うことにより欠陥部分の抽出を行う画像処理手段が設けられていることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の透過型表示パネルの検査装置。
In the transmissive display panel, imaging means for imaging transmitted light from a light source;
5. The image processing unit according to claim 1, further comprising an image processing unit configured to perform image processing on an image captured by the imaging unit and perform density comparison to extract a defective portion. Inspection device for transmissive display panels.
前記撮像手段は、エリアセンサ型カメラであることを特徴とする請求項5記載の透過型表示パネルの検査装置。   6. The inspection apparatus for a transmissive display panel according to claim 5, wherein the imaging means is an area sensor type camera. 前記光源は、蛍光管からなると共に、
前記光量制御手段は、蛍光管の前記透過型表示パネルへの照射光量を制御することを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載の透過型表示パネルの検査装置。
The light source comprises a fluorescent tube,
The transmissive display panel inspection apparatus according to claim 1, wherein the light amount control unit controls an amount of light applied to the transmissive display panel of a fluorescent tube.
前記光源は、発光素子からなると共に、
前記光量制御手段は、上記発光素子の前記透過型表示パネルへの照射光量を制御することを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載の透過型表示パネルの検査装置。
The light source comprises a light emitting element,
The transmissive display panel inspection apparatus according to claim 1, wherein the light amount control unit controls an amount of light emitted from the light emitting element to the transmissive display panel.
前記光量制御手段は、
前記検査パターン表示手段による検査パターンに対応する照射手段における各光源の点灯位置及び照射光量を含む点灯パターンを記憶する点灯パターン記憶手段を備えていることを特徴とする請求項7又は8記載の透過型表示パネルの検査装置。
The light amount control means includes
9. The transmission according to claim 7, further comprising a lighting pattern storage unit that stores a lighting pattern including a lighting position of each light source and an irradiation light amount in the irradiation unit corresponding to the inspection pattern displayed by the inspection pattern display unit. Type display panel inspection equipment.
前記光量制御手段は、光源の寿命を考慮して各光源の出力を決定する寿命制御手段を備えていることを特徴とする請求項1〜9のいずれか1項に記載の透過型表示パネルの検査装置。   10. The transmissive display panel according to claim 1, wherein the light quantity control unit includes a lifetime control unit that determines an output of each light source in consideration of a lifetime of the light source. Inspection device. 前記透過型表示パネルを照射手段の前面位置に搬送配置する搬送手段を備えていることを特徴とする請求項1〜10のいずれか1項に記載の透過型表示パネルの検査装置。   11. The inspection apparatus for a transmissive display panel according to claim 1, further comprising transport means for transporting and arranging the transmissive display panel at a front position of the irradiation means. 光透過量の増減を制御することにより階調表示を行う、被検査物である透過型表示パネルの欠陥検査を行う透過型表示パネルの検査方法において、
上記透過型表示パネルを背後から照射する複数の光源を設ける工程と、
上記透過型表示パネルに、少なくとも2種類以上の異なる階調の表示領域を同時に有する検査パターンを表示させる工程と、
上記階調が高い表示領域ほど上記光源の透過型表示パネルへの照射光量を小さくすると共に、上記階調が低い表示領域ほど上記光源の透過型表示パネルへの照射光量を大きくするように制御する工程とを含むことを特徴とする透過型表示パネルの検査方法。
In the inspection method of the transmissive display panel, which performs gradation display by controlling the increase / decrease in the amount of light transmission, performs the defect inspection of the transmissive display panel that is the inspection object,
Providing a plurality of light sources for irradiating the transmissive display panel from behind;
Displaying the inspection pattern having at least two kinds of display areas of different gradations simultaneously on the transmissive display panel;
The display area with higher gradation is controlled to reduce the amount of light applied to the transmissive display panel of the light source, and the display area with lower gradation is controlled to increase the amount of light applied to the transmissive display panel of the light source. And a transmissive display panel inspection method.
請求項1記載の透過型表示パネルの検査装置における照射手段の前面位置に透過型表示パネルを配置する工程と、
上記透過型表示パネルの検査装置における照射手段の前面位置に配置された透過型表示パネルを、請求項12記載の透過型表示パネルの検査方法により、欠陥検査する工程とを含むことを特徴とする透過型表示パネルの製造方法。
Arranging the transmissive display panel at a front position of the irradiation means in the transmissive display panel inspection apparatus according to claim 1;
And a step of inspecting the transmissive display panel disposed in front of the irradiation means in the transmissive display panel inspection apparatus by the transmissive display panel inspection method according to claim 12. A method for manufacturing a transmissive display panel.
請求項1〜11のいずれか1項に記載の透過型表示パネルの検査装置を動作させる透過型表示パネルの検査プログラムであって、コンピュータを上記の各手段として機能させるための透過型表示パネルの検査プログラム。   A transmissive display panel inspection program for operating the transmissive display panel inspection device according to any one of claims 1 to 11, comprising: a transmissive display panel for causing a computer to function as each of the above means; Inspection program. 請求項14に記載の透過型表示パネルの検査プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体。   A computer-readable recording medium in which the inspection program for a transmissive display panel according to claim 14 is recorded.
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