JP2009064803A - 半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体素子の電極にコンタクトプラグが接続された半導体装置において、金属シリサイド層の電極を含む半導体素子と、半導体素子を覆うように形成された層間絶縁層と、層間絶縁層に、金属シリサイド層の表面が露出するように設けられたコンタクトホールと、コンタクトホールの内壁を覆うように形成されたバリアメタル層であって、層間絶縁層と接する領域がチタン層からなるバリアメタル層と、バリアメタル層上に形成されたルテニウムを含むシード層と、シード層上にコンタクトホールを埋め込むように形成された銅プラグ層とを含む。
【選択図】図1
Description
このような銅のコンタクトプラグは、コンタクトホールを形成した後、コンタクトホール中に、Ta/TaNからなるバリアメタル層、Cuからなるシード層を形成し、電解メッキでコンタクトホールにCuを埋め込んでコンタクトプラグを形成する(例えば、特許文献1参照)。
これに対して、タングステンのコンタクトプラグで用いられていたTiN/Tiをバリアメタルとして用いた場合、半導体素子の電極との接触抵抗は小さくなるが、Cuシード層との濡れ性が悪く、Cuの埋め込みが不十分になるという問題が発生した。
また、電解メッキ法の代わりにスパッタ法を用いてCuを埋め込んだ場合、微細化されアスペクト比が大きなコンタクトホールではコンタクトホールの肩部で堆積したCuがオーバーハング形状となり、ボイド等が発生して十分な埋め込みが得られず、コンタクトプラグの電気抵抗が大きくなるという問題があった。
半導体装置100は、例えばシリコンからなる半導体基板1を含む。半導体基板1には、例えば酸化シリコンからなる素子分離領域2が形成されている。更に、チャネル領域15を挟んで1組のソース/ドレイン領域3が設けられている。ソース/ドレイン領域3の上には例えばニッケルシリサイド(NiSi)やニッケルプラチナシリサイド(NiPtSi)からなる金属シリサイド層4が設けられている。また、金属シリサイド層4の内側には、必要に応じてエクステンション層14が設けられている。
Claims (6)
- 半導体素子の電極にコンタクトプラグが接続された半導体装置であって、
金属シリサイド層の電極を含む半導体素子と、
該半導体素子を覆うように形成された層間絶縁層と、
該層間絶縁層に、該金属シリサイド層の表面が露出するように設けられたコンタクトホールと、
該コンタクトホールの内壁を覆うように形成されたバリアメタル層であって、該層間絶縁層と接する領域がチタン層からなる該バリアメタル層と、
該バリアメタル層上に形成されたルテニウムを含むシード層と、
該シード層上に、コンタクトホールを埋め込むように形成された銅プラグ層とを含むことを特徴とする半導体装置。 - 半導体素子の電極にコンタクトプラグが接続された半導体装置であって、
金属シリサイド層の電極を含む半導体素子と、
該半導体素子を覆うように形成された層間絶縁層と、
該層間絶縁層に、該金属シリサイド層の表面が露出するように設けられたコンタクトホールと、
該コンタクトホールの内壁を覆うように形成されたバリアメタル層であって、該層間絶縁層と接する領域がチタン層からなる該バリアメタル層と、
該バリアメタル層上に、コンタクトホールを埋め込むように形成された銅プラグとを含むことを特徴とする半導体装置。 - 上記バリアメタル層が、上記チタン層と、その上に形成された窒化チタン、窒化タンタル、および窒化タングステンからなる群から選択される1または2以上の窒化金属層とを含むことを特徴とする請求項1又は2に記載の半導体装置。
- 上記バリアメタル層が、上記金属シリサイド層と接する領域にチタンシリサイド層を含むことを特徴とする請求項1〜3のいずれか1つに記載の半導体装置。
- 上記シード層が、ルテニウムまたはその合金からなることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1つに記載の半導体装置。
- 上記半導体素子の電極が、ゲート電極、またはソース/ドレイン電極であることを特徴とする請求項1〜5のいずれか1つに記載の半導体装置。
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JP2003309082A (ja) * | 2002-04-15 | 2003-10-31 | Nec Corp | 半導体装置の構造 |
JP2006120870A (ja) * | 2004-10-21 | 2006-05-11 | Ebara Corp | 配線形成方法及び装置 |
JP2009531838A (ja) * | 2006-03-24 | 2009-09-03 | インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーション | 電着されたコンタクトを形成する構造体及び方法 |
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2007
- 2007-09-04 JP JP2007228871A patent/JP2009064803A/ja active Pending
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