JP2009063171A - 弁装置の監視システム - Google Patents
弁装置の監視システム Download PDFInfo
- Publication number
- JP2009063171A JP2009063171A JP2008269291A JP2008269291A JP2009063171A JP 2009063171 A JP2009063171 A JP 2009063171A JP 2008269291 A JP2008269291 A JP 2008269291A JP 2008269291 A JP2008269291 A JP 2008269291A JP 2009063171 A JP2009063171 A JP 2009063171A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- valve
- semiconductor substrate
- impurity diffusion
- monitoring system
- diffusion layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Electrically Driven Valve-Operating Means (AREA)
- Indication Of The Valve Opening Or Closing Status (AREA)
Abstract
【解決手段】複数の不純物拡散抵抗で構成されるブリッジ回路を有する半導体基板2を、弁装置の弁棒10,バルブヨーク9,トルクスプリング28、軸のうちの何れかに設け、該ブリッジ回路の計測値からスラスト力とトルクを求め、弁装置の監視に供する。
【選択図】図1
Description
本発明では、内部電源と無線通信を採用したため、外部とは有線接続が無くなり、回転する弁棒に設置が可能になったためである。
Claims (48)
- 不純物拡散抵抗で構成されるブリッジ回路を有する半導体基板を、
弁装置の弁棒に取り付けることを特徴とする弁装置の監視システム。 - 請求項1において、
前記弁装置は、
弁棒と、
前記弁棒の一部を内部に有し、内部を流体が流れる弁箱と、
前記弁棒の周囲であり前記弁箱に設けられ、前記流体をシールするシール部材と、
前記弁棒を回転駆動させる駆動装置とを有し、
前記半導体基板を前記シール部材よりも前記駆動装置側に備えたことを特徴とする弁装置の監視システム。 - 請求項1において、
前記半導体基板は、前記弁棒の内部に備えられたことを特徴とする弁装置の監視システム。 - 請求項1において、
前記弁棒の側面に平面部を有し、
前記半導体基板を、前記平面部に備えたことを特徴とする弁装置の監視システム。 - 請求項1において、
前記半導体基板は、前記弁棒の側面に取り付けられ、前記半導体基板を取り付けた領域の近傍は、前記弁棒が中空であることを特徴とする弁装置の監視システム。 - 請求項1において、
p型不純物拡散抵抗から構成される第一のブリッジ回路を有する半導体基板と、
n型不純物拡散抵抗から構成される第二のブリッジ回路を有する半導体基板とを前記弁棒に取り付けたことを特徴とする弁装置の監視システム。 - 請求項1において、
p型不純物拡散抵抗から構成される第一のブリッジ回路とn型不純物拡散抵抗から構成される第二のブリッジ回路とを有する単一の半導体基板を前記弁棒に取り付けたことを特徴とする弁装置の監視システム。 - 請求項1乃至7のいずれかにおいて、
前記弁装置は手動弁であることを特徴とする弁装置の監視システム。 - 不純物拡散抵抗で構成されるブリッジ回路を有する半導体基板を、弁装置に取り付ける弁装置の監視システムにおいて、
前記弁装置は、
弁棒と、
駆動力を発生させる駆動装置と、
前記駆動装置の駆動力を伝える駆動軸と、
前記駆動軸の回転を前記弁棒に伝えるギアとを有し、
前記半導体基板を前記駆動軸に備えたことを特徴とする弁装置の監視システム。 - 請求項9において、
前記不純物拡散層は、その長手方向が前記半導体基板の結晶方位の<110>方向を向いたp型不純物拡散層であり、
前記半導体基板の結晶方位の<110>方向は前記駆動軸の回転軸方向を向いていることを特徴とする弁装置の監視システム。 - 請求項9において、
前記不純物拡散層は、その長手方向が前記半導体基板の<100>方向を向いたn型不純物拡散層であり、
前記半導体基板の<100>方向は前記駆動軸の回転軸方向を向いていることを特徴とする弁装置の監視システム。 - 請求項9において、
前記駆動軸は、その先端にバネを有し、
前記半導体基板を前記バネに備えたことを特徴とする弁装置の監視システム。 - 請求項9において、
前記駆動軸は、その先端にトルクスプリングを有し、
前記半導体基板をトルクスプリング上に備え、
前記半導体基板は、ブリッジ回路を構成する不純物拡散層のうち2本の長手方向が該トルクスプリングの径方向を向いていることを特徴とする弁装置の監視システム。 - 不純物拡散抵抗で構成されるブリッジ回路を有する半導体基板を、弁装置に取り付ける弁装置の監視システムにおいて、
前記弁装置は、
弁棒と、
駆動力を発生させる駆動装置と、
前記駆動装置の駆動力を伝える駆動軸と、
前記駆動軸の前記駆動軸の軸方向端部に備えられた弾性体と、
前記駆動軸の回転を前記弁棒に伝えるギアとを有し、
前記半導体基板を前記弾性体に備えたことを特徴とする弁装置の監視システム。 - 請求項14において、
前記半導体基板は、
その長手方向が前記半導体基板の結晶方位の<110>方向を向き、前記弾性体の周方向に平行または直角になるように配置されるp型不純物拡散層と、
前記p型不純物拡散層で構成されるブリッジ回路を有することを特徴とする弁装置の監視システム。 - 請求項14において、
前記半導体基板は、
その長手方向が前記半導体基板の結晶方位の<100>方向を向き、前記弾性体の周方向に平行または直角になるように配置されるn型不純物拡散層と、
前記n型不純物拡散層で構成されるブリッジ回路を有することを特徴とする弁装置の監視システム。 - 不純物拡散抵抗で構成されるブリッジ回路を有する半導体基板を、
弁装置のバルブヨークに取り付けることを特徴とする弁装置の監視システム。 - 請求項17において、
前記半導体基板は、前記バルブヨークの弁棒側に取り付けられることを特徴とする弁装置の監視システム。 - 請求項17において、
前記半導体基板からの信号を処理する演算処理装置と、前記処理された信号を無線送信する通信装置を有し、
前記通信装置は前記バルブヨークの弁棒側とは異なる側に取り付けられたことを特徴とする弁装置の監視システム。 - 請求項1,9,17のいずれかにおいて、
前記半導体基板は、
長手方向が結晶方位の<110>方向を向いたp型不純物拡散層で構成される第一のブリッジ回路と、
長手方向が結晶方位の<100>方向を向いたn型不純物拡散層構成される第二のブリッジ回路とを有し、
該半導体基板の結晶方位の<110>方向を前記弁棒の軸の長手方向に向けて取り付けたことを特徴とする弁装置の監視システム。 - 請求項1,9,17において、
前記半導体基板は、
長手方向が結晶方位の<110>方向を向いたp型不純物拡散層で構成される第一のブリッジ回路と、
長手方向が結晶方位の<100>方向を向いたn型不純物拡散層で構成される第二のブリッジ回路とを有し、
該半導体基板の結晶方位の<100>方向を前記弁棒の軸の長手方向に向けて取り付けたことを特徴とする弁装置の監視システム。 - 請求項20または請求項21において、
前記半導体基板上に温度センサを備えたことを特徴とする弁装置の監視システム。 - 弁棒と、バルブヨークと、有する弁装置を監視する弁装置の監視システムであって、
前記弁棒または前記バルブヨークに取り付けられる半導体基板と、
前記半導体基板に形成された不純物拡散層であって、その長手方向が前記弁棒の軸方向に平行または直角になるように形成され、ブリッジ回路を構成する不純物拡散層と、を有することを特徴とする弁装置の監視システム。 - 請求項23において、
前記不純物拡散層は、その長手方向が前記半導体基板の結晶方位の<110>方向を向いたp型不純物拡散層であり、
前記半導体基板の結晶方位の<110>方向は前記弁棒の回転軸方向を向いていることを特徴とする弁装置の監視システム。 - 請求項23において、
前記不純物拡散層は、その長手方向が前記半導体基板の結晶方位の<100>方向を向いたn型不純物拡散層であり、
前記半導体基板の結晶方位の<100>方向は前記弁棒の回転軸方向を向いていることを特徴とする弁装置の監視システム。 - 弁棒と、バルブヨークと、有する弁装置を監視する弁装置の監視システムであって、
前記弁棒または前記バルブヨークに取り付けられる半導体基板と、
前記半導体基板に形成された不純物拡散層であって、その長手方向が前記弁棒の軸方向に対して45度をなす方向を向いて形成され、ブリッジ回路を構成する不純物拡散層と、を有することを特徴とする弁装置の監視システム。 - 請求項26において、
前記不純物拡散層は、その長手方向が前記半導体基板の結晶方位の<110>方向を向いたp型不純物拡散層であり、
前記半導体基板の結晶方位の<100>方向は前記弁棒の軸方向を向いていることを特徴とする弁装置の監視システム。 - 請求項26において、
前記不純物拡散層は、その長手方向が前記半導体基板の結晶方位の<100>方向を向いたn型不純物拡散層であり、
前記半導体基板の結晶方位の<110>方向は前記弁棒の軸方向を向いていることを特徴とする弁装置の監視システム。 - 請求項23において、
前記半導体基板上に、その長手方向が前記弁棒の軸方向に対して45度をなす方向を向いて前記半導体基板上に形成され、ブリッジ回路を構成する不純物拡散層を有することを特徴とする弁装置の監視システム。 - 請求項29において、
前記半導体基板の結晶方位の<110>方向は、前記弁棒の軸方向を向いており、
前記その長手方向が前記弁棒の軸方向に平行または直角になる不純物拡散層は、該半導体基板の結晶方位の<110>方向を向いたp型不純物拡散層であり、
前記その長手方向が前記弁棒の軸方向と45度をなす方向を向いた不純物拡散層は、該半導体基板の結晶方位の<100>方向を向いたn型不純物拡散層であることを特徴とする弁装置の監視システム。 - 請求項29において、
前記半導体基板の結晶方位の<100>方向は、前記弁棒の軸方向を向いており、
前記その長手方向が前記弁棒の軸方向に平行または直角になる不純物拡散層は、該半導体基板の結晶方位の<100>方向を向いたn型不純物拡散層であり、
前記その長手方向が前記弁棒の軸方向と45度をなす方向を向いた不純物拡散層は、該半導体基板の結晶方位の<110>方向を向いたp型不純物拡散層であることを特徴とする弁装置の監視システム。 - 請求項26において、
前記半導体基板上に、その長手方向が前記弁棒の軸方向に平行に設けられ、ブリッジ回路を構成する不純物拡散層を有することを特徴とする弁装置の監視システム。 - 請求項32において、
前記半導体基板の<100>方向は、前記弁棒の軸方向を向いており、
前記その長手方向が前記弁棒の軸方向と45度をなす方向を向いた不純物拡散層は、該半導体基板の結晶方位の<110>方向を向いたp型不純物拡散層であり、
前記その長手方向が前記弁棒の軸方向に平行になる不純物拡散層は、該半導体基板の結晶方位の<100>方向を向いたp型不純物拡散抵抗及びn型不純物拡散層であることを特徴とする弁装置の監視システム。 - 不純物拡散層で構成されるブリッジ回路を有する半導体基板を弁装置に取り付け、
前記半導体基板により弁の開閉状態を検知して伝送する弁装置の監視システム。 - 請求項34において、
前記伝送は、無線伝送であることを特徴とする弁装置の監視システム。 - 請求項35において、
前記半導体装置を用いて前記弁の開閉状態を検知し、
前記開閉状態が変化したときに無線伝送を行うことを特徴とする弁装置の監視システム。 - 請求項35において、
前記半導体装置を用いて計測を行い、
前記計測値の変化量が所定の値よりも大きいときに無線伝送を行うことを特徴とする弁装置の監視システム。 - 請求項35において、
前記弁の開閉状態の伝送を、受信設備に向けて行い、
前記受信設備が発する受信確認信号を受信するまで前記伝送を連続または間欠的に行うことを特徴とする弁装置の監視システム。 - 請求項35において、
前記半導体装置を用いて前記弁の開閉状態を検知して間欠的に伝送を行い、
前記開閉状態が変化したときに、前記開閉状態が変化しないときよりも短い間隔で間欠伝送を行う、または連続伝送を行うことを特徴とする弁装置の監視システム。 - 請求項35において、
前記半導体装置を用いて計測を行って間欠的に伝送を行い、
前記計測値の変化量が所定の値よりも大きいときに、前記計測値の変化量が所定の値よりも小さいときよりも短い間隔で間欠伝送を行う、または連続伝送を行うことを特徴とする弁装置の監視システム。 - 請求項35において、
前記半導体基板により測定したデータもしくはこれを加工したデータを記憶する記憶装置を有することを特徴とする弁装置の監視システム。 - 請求項35において、
計測値の変化量もしくはこれを加工したデータを伝送することを特徴とする弁装置の監視システム。 - 請求項35において、
内部電源を備え、前記内部電源の残量を意味する数値を伝送することを特徴とする弁装置の監視システム。 - 不純物拡散層で構成されるブリッジ回路を有する半導体基板を弁装置に取り付け、
前記半導体基板により弁の開閉状態を検知して伝送し、
前記弁の開閉状態を検知して報知する報知装置を内蔵または接続した弁装置の監視システム。 - 請求項44において、
前記報知装置は、前記処理装置に設けられた発光装置であることを特徴とする弁装置の監視システム。 - 請求項45において、前記不純物拡散層が計測したひずみ状態に応じて、前記報知装置を作動させることを特徴とする弁装置の監視システム。
- 請求項44において、
前記弁の開閉状態は、
前記弁が開である第一の状態と、前記弁が閉である第二の状態と、前記弁が前記第一の状態と前記第二の状態の間の状態である第三の状態とを有し、
前記弁が前記第三の状態のときに前記報知装置を作動させることを特徴とする弁装置の監視システム。 - 請求項45において、外部からの信号を受信し、前記受信した信号に応じて前記報知装置の作動させることを特徴とする弁装置の監視システム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008269291A JP2009063171A (ja) | 2008-10-20 | 2008-10-20 | 弁装置の監視システム |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008269291A JP2009063171A (ja) | 2008-10-20 | 2008-10-20 | 弁装置の監視システム |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006216367A Division JP4248567B2 (ja) | 2006-08-09 | 2006-08-09 | 弁装置の監視システム |
Related Child Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011197825A Division JP5320445B2 (ja) | 2011-09-12 | 2011-09-12 | 弁装置の監視システム |
JP2012097256A Division JP2012197938A (ja) | 2012-04-23 | 2012-04-23 | 弁装置の監視システム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009063171A true JP2009063171A (ja) | 2009-03-26 |
JP2009063171A5 JP2009063171A5 (ja) | 2009-10-15 |
Family
ID=40557906
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008269291A Pending JP2009063171A (ja) | 2008-10-20 | 2008-10-20 | 弁装置の監視システム |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2009063171A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101477619B1 (ko) * | 2013-10-30 | 2014-12-30 | (주)에너토크 | 세팅 장치 |
KR20160076947A (ko) * | 2014-12-23 | 2016-07-01 | (주)에너토크 | 작동 제한점 세팅 장치 |
JP2017219060A (ja) * | 2016-06-03 | 2017-12-14 | Kyb株式会社 | コントロールバルブの状態検出システム |
JP2020118643A (ja) * | 2019-01-28 | 2020-08-06 | アズビル株式会社 | 電動アクチュエータおよび劣化指標計算方法 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0666388A (ja) * | 1992-08-19 | 1994-03-08 | Toshiba Corp | 隔離弁モニタ |
JPH1061820A (ja) * | 1996-08-23 | 1998-03-06 | Tokico Ltd | 弁監視装置 |
JP2001227675A (ja) * | 2000-02-14 | 2001-08-24 | Okano Valve Mfg Co | 弁機能検出装置 |
JP2001271962A (ja) * | 2000-03-27 | 2001-10-05 | Kawaden:Kk | バルブ用アクチュエータの制御システム |
JP2003269652A (ja) * | 2002-03-18 | 2003-09-25 | Tomoe Tech Res Co | バルブ用電動ポジショナ |
JP2005338012A (ja) * | 2004-05-31 | 2005-12-08 | Katsura Seiki Seisakusho:Kk | 常時監視型のガス微少漏洩検知装置 |
JP2006079442A (ja) * | 2004-09-10 | 2006-03-23 | Mitsubishi Electric Corp | 無線データ収集システム |
JP2006184195A (ja) * | 2004-12-28 | 2006-07-13 | Japan Atom Power Co Ltd:The | 空気駆動弁の現場監視装置 |
-
2008
- 2008-10-20 JP JP2008269291A patent/JP2009063171A/ja active Pending
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0666388A (ja) * | 1992-08-19 | 1994-03-08 | Toshiba Corp | 隔離弁モニタ |
JPH1061820A (ja) * | 1996-08-23 | 1998-03-06 | Tokico Ltd | 弁監視装置 |
JP2001227675A (ja) * | 2000-02-14 | 2001-08-24 | Okano Valve Mfg Co | 弁機能検出装置 |
JP2001271962A (ja) * | 2000-03-27 | 2001-10-05 | Kawaden:Kk | バルブ用アクチュエータの制御システム |
JP2003269652A (ja) * | 2002-03-18 | 2003-09-25 | Tomoe Tech Res Co | バルブ用電動ポジショナ |
JP2005338012A (ja) * | 2004-05-31 | 2005-12-08 | Katsura Seiki Seisakusho:Kk | 常時監視型のガス微少漏洩検知装置 |
JP2006079442A (ja) * | 2004-09-10 | 2006-03-23 | Mitsubishi Electric Corp | 無線データ収集システム |
JP2006184195A (ja) * | 2004-12-28 | 2006-07-13 | Japan Atom Power Co Ltd:The | 空気駆動弁の現場監視装置 |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101477619B1 (ko) * | 2013-10-30 | 2014-12-30 | (주)에너토크 | 세팅 장치 |
KR20160076947A (ko) * | 2014-12-23 | 2016-07-01 | (주)에너토크 | 작동 제한점 세팅 장치 |
KR101695233B1 (ko) * | 2014-12-23 | 2017-01-11 | (주)에너토크 | 작동 제한점 세팅 장치 |
JP2017219060A (ja) * | 2016-06-03 | 2017-12-14 | Kyb株式会社 | コントロールバルブの状態検出システム |
JP2020118643A (ja) * | 2019-01-28 | 2020-08-06 | アズビル株式会社 | 電動アクチュエータおよび劣化指標計算方法 |
JP7197385B2 (ja) | 2019-01-28 | 2022-12-27 | アズビル株式会社 | 電動アクチュエータおよび劣化指標計算方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4248567B2 (ja) | 弁装置の監視システム | |
JP2012197938A (ja) | 弁装置の監視システム | |
JP6968073B2 (ja) | センサを備えた管継手 | |
US8596134B2 (en) | Bolt tension monitoring system | |
KR101952476B1 (ko) | 제어 밸브 모니터링 시스템 | |
US20110254282A1 (en) | Wind turbine tower monitoring device | |
CN101622462A (zh) | 指示负载的方法和设备 | |
JP2011022029A (ja) | コンクリート構造物の歪み検出装置 | |
JP2009063171A (ja) | 弁装置の監視システム | |
US20150323435A1 (en) | Containment integrity sensor device | |
JP5320445B2 (ja) | 弁装置の監視システム | |
JP5150543B2 (ja) | 弁状態監視方法および弁状態監視システム | |
CN112728195B (zh) | 一种电动阀及其执行器的扭矩和行程测量系统及方法 | |
CA2890971A1 (en) | Containment integrity sensor device | |
US20080264173A1 (en) | Sensor Unit | |
GB2623048A (en) | Sensor monitoring system | |
CZ32413U1 (cs) | Spoj, zejména utěsněný přírubový spoj | |
WO2007043499A1 (ja) | 構造材の内部応力測定方法と装置 | |
CZ2017159A3 (cs) | Spoj, zejména utěsněný přírubový spoj a způsob jeho utahování | |
JP2016075617A (ja) | バルブ応力検知方法、該方法を利用したバルブ寿命予測方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090803 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090803 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090803 |
|
A977 | Report on retrieval |
Effective date: 20110629 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110712 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110912 |
|
A521 | Written amendment |
Effective date: 20110912 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20120124 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120425 |