JP2009061732A - 液滴吐出装置 - Google Patents

Abstract

【課題】 オペアンプの応答性に依存することなく、高スルーレートでかつ高耐圧電位でインクジェットヘッドごとに駆動することができる液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】 電圧生成部１８は、オペアンプ１８２によって増幅された電圧までコンデンサＣ１に電荷を充電し、インクジェットヘッドを駆動するための個別電圧Ｖｃｈｎをスイッチング回路１１に送る。共通電圧発生回路部１６は、インクジェットヘッド共通の共通電圧Ｖｃｏｍをスイッチング回路１１に送る。スイッチング回路１１は、スイッチング制御回路部１２の指示に従って、液滴を吐出させるインクジェットヘッドの電極２３には、個別電圧Ｖｃｈｎの第１駆動パルスＰ１を印加し、液滴を吐出させるインクジェットヘッドに隣接するインクジェットヘッドの電極２３には、共通電圧Ｖｃｏｍの第２駆動パルスＰ２を印加するように切り換える。
【選択図】 図１

Description

本発明は、記録媒体に液滴を吐出する液滴吐出装置に関し、より詳細には、チャネル個別に駆動電圧を制御可能なインクジェットヘッド駆動回路を駆動するために必要な高い駆動電位を予めチャネル毎に個別の直流電圧を生成して蓄電し、蓄電した電荷を各チャネルの駆動回路に選択的に印加することによって、高速応答性が要求されないオペアンプを用いることを可能とし、オペアンプへの負荷を低減することができる液滴吐出装置に関する。

容量の大きい圧電体を用いるインクジェットヘッドを備えたインクジェット装置は、圧電体に対して電荷の供給および放電を繰り返すことによって圧電体を変形させ、変形によって生じる圧力変化によってインクを吐出する。インクを吐出するためには、高耐圧電位かつ高スルーレート特性をもつ駆動電圧を圧電体に与えることが必要である。従来の評価結果では、高耐圧電位として０〜３０Ｖ（ボルト）の一定の電位が必要であり、かつ高スルーレート特性として５０Ｖ／μｓ（マイクロ秒）以上のスルーレートが必要である。

従来の技術であるインクジェットヘッドの駆動装置は、低電圧のパルスをオペアンプなどの増幅回路でリアルタイムに増幅して出力する回路を用いている。具体的には、可変低電圧源の出力に比例して電流値が制御される２つの停電流源を用いて、コンデンサを充放電し、コンデンサに可変定電流源の出力電圧の電位と零電位との間で変化する電圧波形を生成する。生成された電圧波形を電力増幅器つまりオペアンプで増幅して、インクジェットヘッドの複数の圧電体を制御する構成である（たとえば特許文献１参照）。

特開平７−１４８９２０号公報

しかしながら、この構成は、簡単でかつ安価であるという特徴を有するが、電圧波形を直接オペアンプで増幅して駆動しているので、オペアンプの動作電流が大きく、多くの電力を消費する。すなわち、駆動装置の性能がオペアンプの性能に依存しており、高速に駆動するには限界がある。さらに、オペアンプの動作電流が駆動周波数に応じて多くなるので、多チャネルの構成での高速駆動には適していない。

高精細パネルなどの製造に使用されるインクジェット装置においては、吐出する液滴の高精度な均一性が要求される。特に、チャネル間のばらつきを低減させるための制御回路が必要不可欠である。圧電体としてピエゾ素子を使用するインクジェットヘッドを駆動するためには、高電圧かつ高スルーレートの駆動電圧の波形を所定の方法によって、インクジェットヘッドに与える必要がある。さらに、吐出する液滴の均一性を向上するためには、チャネルごとに駆動電圧を制御することを可能とする制御回路が必要である。

インクジェットヘッドの圧電体として容量性の高負荷の圧電材料を用いて駆動するためには、高速応答性、具体的にはスルーレートが５０Ｖ／μｓ以上の応答性と、高耐圧電位、具体的には０〜３０Ｖの電位とが必要である。さらに、高精度の着弾を実現するためには、高精度電圧制御の特性を備えた駆動パルス波形が必要である。特に、高速応答性と高耐圧電位との両者は相反関係にあり、従来のオペアンプを用いて両者の機能を同時に実現することは難しいという問題がある。

本発明の目的は、オペアンプの応答性に依存することなく、高スルーレートでかつ高耐圧電位でインクジェットヘッドごとに駆動することができる液滴吐出装置を提供することである。

本発明は、液滴を吐出する複数の液滴吐出ヘッドから記録媒体に液滴を吐出する液滴吐出装置であって、
液滴吐出ヘッドごとに設けられ、各液滴吐出ヘッドを個別に駆動するための個別電圧をコンデンサを用いて生成する複数の個別電圧生成手段と、
前記複数の液滴吐出ヘッドを共通に駆動するための共通電圧を生成する共通電圧生成手段と、
液滴吐出ヘッドごとに設けられ、個別電圧生成手段によって生成された個別電圧と、共通電圧生成手段によって生成された共通電圧とのうちのいずれか１つの電圧を選択して、各液滴吐出ヘッドに供給するか否かを制御する複数の供給制御手段とを含むことを特徴とする液滴吐出装置である。

また本発明は、前記個別電圧生成手段は、前記個別電圧を表す個別電圧データをアナログ電圧に変換するアナログ電圧変換回路と、アナログ電圧変換回路によって変換されたアナログ電圧を予め定める増幅率で増幅する電圧増幅回路と、電圧増幅回路で増幅された電圧まで電荷を充電する前記コンデンサとを含み、
前記供給制御手段は、液滴吐出ヘッドに個別電圧を供給するとき、前記コンデンサに充電された電荷による電圧を個別電圧として供給することを特徴とする。

また本発明は、前記コンデンサは、液滴吐出ヘッドが１滴の液滴を吐出させるために消費する電気エネルギの予め定める倍率以上の電気エネルギの電荷を充電することができる容量であることを特徴とする。

また本発明は、前記予め定める倍率は、１０００倍以上であることを特徴とする。
また本発明は、前記個別電圧生成手段および前記供給制御手段は、前記液滴吐出ヘッドのうちの対応する１つの液滴吐出ヘッドごとに１つのユニットとして構成され、液滴吐出ヘッドごとに独立に設けられることを特徴とする。

また本発明は、前記個別電圧は、各液滴吐出ヘッドを駆動する電圧の変化に対する各液滴吐出ヘッドから吐出される液滴の吐出量の変化が実測された実測結果に基づいて、各液滴吐出ヘッドから吐出される液滴の吐出量が予め定める吐出量になるように予め設定された電圧であることを特徴とする。

また本発明は、前記個別電圧は、各液滴吐出ヘッドを駆動する電圧の変化に対する各液滴吐出ヘッドから吐出される液滴の吐出速度の変化が実測された実測結果に基づいて、各液滴吐出ヘッドから吐出される液滴の吐出速度が予め定める吐出速度になるように予め設定された電圧であることを特徴とする。

また本発明は、前記液滴吐出ヘッドは、液滴を吐出するノズルに連通し、圧電材料によって形成される隔壁によって隔てられる圧力室内の液体の圧力を、隔壁を変形させることによって変化させて、ノズルから液滴を吐出させることを特徴とする。

本発明によれば、液滴を吐出する複数の液滴吐出ヘッドから記録媒体に液滴を吐出するにあたって、液滴吐出ヘッドごとに設けられる複数の個別電圧生成手段によって、各液滴吐出ヘッドを個別に駆動するための個別電圧がコンデンサを用いて生成され、共通電圧生成手段によって、前記複数の液滴吐出ヘッドを共通に駆動するための共通電圧が生成される。

そして、滴吐出ヘッドごとに設けられる複数の供給制御手段によって、個別電圧生成手段によって生成された個別電圧と、共通電圧生成手段によって生成された共通電圧とのうちのいずれか１つの電圧が選択されて、各液滴吐出ヘッドに供給するか否かが制御される。

すなわち、液滴吐出ヘッドを駆動するための個別電圧をコンデンサを用いて生成するので、従来のように個別電圧をオペアンプによって生成する必要がない。したがって、オペアンプの応答性に依存することなく、高スルーレートでかつ高速に液滴吐出ヘッドごとに駆動することができる。

図１は、本発明の実施の一形態である液滴吐出装置１の構成を示すブロック図である。
液滴吐出装置である液滴吐出装置１は、インクジェットヘッド部１０、スイッチング回路１１、スイッチング制御回路部１２、描画制御部１３、画像データシリアルパラレル変換部１４、画像データラッチ部１５、共通電圧発生回路部１６、電圧データシリアルパラレル変換部１７、および電圧生成部１８を含む。

図２は、インクジェットヘッド部１０の断面図である。インクジェットヘッド部１０は、ベース部材２４と、図示しない液体供給口が形成されたカバー部材２５と、液滴を吐出するノズルが形成された図示しないノズル板とを貼り合わせて形成される。図２に示した断面図は、ノズル板の接着面側から見た断面図である。

図２（ａ）は、電極２３ａ〜２３ｃのいずれにも電圧を印加していない状態を示している。ベース部材２４は、圧電材料によって構成され、複数の溝が形成される。隣接する溝を隔てる隔壁２１ａ〜２１ｄは、分極処理が施されている。各溝は、隔壁２１ａ〜２１ｄ、カバー部材２５、および図示しないノズル版によって密閉された圧力室２２ａ〜２２ｃを形成する。隔壁２１ａ〜２１ｄには、圧電材料の分極方向と直交する方向に電界を印加するための電極２３ａ〜２３ｃが形成されている。同じ圧力室内にある電極は接続されており、同じ参照符号を付している。インクジェットヘッド部１０は、ノズルごとに１つの液滴吐出ヘッドであるインクジェットヘッドを形成し、複数のインクジェットヘッドを含む。

図２（ｂ）は、圧力室２２ｂの容積を拡大する方向の電圧を電極２３ｂに印加した状態を示し、図２（ｃ）は、圧力室２２ｂの容積を縮小する方向の電圧を電極２３ｂに印加した状態を示している。以下、個々の隔壁を区別せずにいう場合は、隔壁２１といい、個々の圧力室を区別せずにいう場合は、圧力室２２といい、個々の電極を区別せずにいう場合は、電極２３という。

図２に示したインクジェットヘッド部１０は、シェアモード型つまり液滴を吐出するための圧力室を連続的に配置した型のインクジェットヘッドである。このタイプのインクジェットヘッドは、互いに隣接する圧力室２２を隔てる隔壁２１を変形させて液滴を吐出するので、隣接する２つの圧力室２２を同時に動作させることはできない。そこで、並設された圧力室２２を、たとえば３つおきにグループ化して、それぞれ異なる吐出可能な期間を設け、グループごとに選択的に駆動させることによって全部の圧力室からの液滴吐出を可能にしている。

図３は、電極２３に印加する電圧波形を示す図である。図３（ａ）は、電極２３に印加する第１の電圧波形を示し、図３（ｂ）は、電極２３に印加する第２の電圧波形を示す。時間Ｔは、１つの液滴を吐出するための吐出期間であり、時刻Ｔｓから時刻ｔｅまでの時間である。

第１の電圧波形は、時刻ｔ１から時刻ｔ２までの印加時間ＡＬの期間、液滴を吐出するインクジェットヘッドごとに個別に設定された個別電圧Ｖｃｈｎが印加される第１駆動パルスＰ１の波形である。第１駆動パルスＰ１を図２に示した圧力室２２ｂの電極２３ｂに印加すると、圧力室２２ｂを形成する隔壁２１ｂおよび２１ｃは、印加時間ＡＬの期間、お互いに離反する方向に剪断変形し、圧力室２２ｂの容積が拡大する。圧力室２２ｂの容積が拡大すると、液体供給口から圧力室２２ｂに液体が流入する。

第２の電圧波形は、時刻ｔ２から時刻ｔ３までの印加時間２ＡＬの期間、各インクジェットヘッド共通に設定された共通電圧Ｖｃｏｍが印加される第２駆動パルスＰ２の波形である。第２駆動パルスＰ２を図２に示した圧力室２２ｂの両隣に隣接する圧力室２２ａの電極２３ａおよび圧力室２２ｃの電極２３ｃに印加すると、圧力室２２ｂを形成する隔壁２１ｂおよび２１ｃは、印加時間２ＡＬの期間、お互いに接近する方向に剪断変形し、圧力室２２ｂの容積が縮小する。圧力室２２ｂの容積が縮小すると、圧力室２２ｂ内の圧力が増加し、ノズルから液滴が吐出する。

第１駆動パルスＰ１の印加時間ＡＬは、容積が拡大した圧力室２２に液体が流入することによる圧力波が、圧力室２２の全域を伝播してノズルに達するまでの時間であり、圧力室２２の長さを液体中の音速で除算した時間である。これによって、液体の流入によって生じた圧力波を、液滴の吐出に効率的に活用することができる。

第２駆動パルスＰ２の印加時間２ＡＬは、圧力室２２が収縮することによって発生する圧力波が、圧力室２２内を往復伝播する時間である。これによって、収縮した圧力室２２が復元するときの負圧によって、液滴吐出後の残留振動を効率的にキャンセルすることができる。さらに、第２駆動パルスＰ２の立ち上がりのタイミングを、第１駆動パルスＰ１の立ち下がりのタイミングに一致させることによって、圧力室２２が収縮したときに発生する圧力波を液滴の吐出に効率的に活用することができる。

このように、第１駆動パルスＰ１の立ち上がりによって隔壁２１に生じる拡大方向の剪断変形による圧力波と、第１駆動パルスＰ１の立ち下がりおよび第２駆動パルスＰ２の立ち上がりによって隔壁２１に生じる縮小方向の剪断変形による圧力波とによって、圧力室２２内の液滴を吐出させる。

供給制御手段であるスイッチング回路１１ａ〜１１ｎは、各インクジェットヘッドの電極２３に駆動電圧を印加するか否かを制御する回路であり、インクジェットヘッドごとに設けられる。以下、個々のスイッチング回路を区別せずにいう場合は、スイッチング回路１１という。各スイッチング回路１１は、スイッチング制御回路部１２の指示に従って、インクジェットヘッドの電極２３に駆動電圧を印加するか否か、および駆動電圧を印加するときは第１駆動パルスＰ１を印加するのか第２駆動パルスＰ２を印加するのかを切り換える。

インクジェットヘッドの電極２３に印加する駆動電圧の波形は、第１駆動パルスＰ１の波形および第２駆動パルスＰ２の波形のうちのいずれかであり、液滴を吐出させるインクジェットヘッドの電極２３には、第１駆動パルスＰ１を印加し、液滴を吐出させるインクジェットヘッドに隣接するインクジェットヘッドの電極２３には、第２駆動パルスＰ２を印加する。

スイッチング制御回路部１２は、画像データラッチ部１５からの信号に基づいて、各スイッチング回路１１に、各スイッチング回路１１に対応するインクジェットヘッドの電極２３に駆動電圧を印加するか否か、およびどの駆動パルスを印加するのかを指示する。画像データラッチ部１５からの信号は、インクジェットヘッドごとに液滴を吐出させるか否かを示す信号である。

描画制御部１３は、たとえば半導体メモリあるいはハードディスク装置によって構成され、プログラムおよびデータを記憶する記憶装置と、記憶装置に記憶されるプログラムを実行する中央処理装置（Central Processing Unit：以下「ＣＰＵ」という）とによって構成される。ＣＰＵは、記憶装置に記憶されるプログラムを実行することによって、スイッチング制御回路部１２、画像データシリアルパラレル変換部１４、画像データラッチ部１５、共通電圧発生回路部１６および電圧データシリアルパラレル変換部１７を制御する。

描画制御部１３は、スイッチング制御回路部１２には、スイッチング回路１１を切り換えるタイミングの基になる駆動タイミング信号を送る。そして、画像データシリアルパラレル変換部１４には、各インクジェットヘッドが描画する画像を表す画像データをシリアル転送で送る。画像データラッチ部１５には、画像データをラッチするタイミングを示すタイミング信号であるデータラッチ信号を送る。共通電圧発生回路部１６には、第２駆動パルスＰ２の共通電圧Ｖｃｏｍを表す共通電子データを送る。電圧データシリアルパラレル変換部１７には、第１駆動パルスＰ１のインクジェットヘッドごとの個別電圧Ｖｃｈｎを表す個別電子データをシリアル転送で送る。

画像データシリアルパラレル変換部１４は、描画制御部１３からシリアル転送で送られる画像データを受け取って、インクジェットヘッドごとの画像データに変換して、画像データラッチ部１５にパラレル転送で送る。画像データラッチ部１５は、画像データシリアルパラレル変換部１４からパラレル転送で送られる画像データを、描画制御部１３から送られるデータラッチ信号のタイミングでラッチし、ラッチしたデータをスイッチング制御回路部１２に送る。

共通電圧生成手段である共通電圧発生回路部１６は、たとえばレギュレータなどによって構成され、描画制御部１３から送られる電子データが示す共通電圧Ｖｃｏｍを発生して、各スイッチング回路１１に送る。電圧データシリアルパラレル変換部１７は、描画制御部１３からシリアル転送で送られる個別電子データを受け取って、インクジェットヘッドごとの個別電子データに変換し、変換したインクジェットヘッドごとの個別電子データを対応する電圧生成部１８ａ〜１８ｎにパラレル転送で送る。

個別電圧生成手段である電圧生成部１８ａ〜１８ｎは、電圧データシリアルパラレル変換部１７から送られるインクジェットヘッドごとの個別電子データが示す個別電圧Ｖｃｈｎを生成して、各スイッチング回路１１に送る。以下、個々の電圧生成部を区別せずにいう場合は、電圧生成部１８という。

図４は、電圧生成部１８の回路構成を示す図である。電圧生成部１８は、インクジェットヘッドごとに設けられ、ＤＡＣ（Digital Analog Converter）回路１８１、増幅回路（以下「オペアンプ」ともいう）１８２、抵抗Ｒ１およびＲ２、ならびにコンデンサＣ１を含んで構成される。

アナログ電圧変換回路であるＤＡＣ回路１８１は、電圧データシリアルパラレル変換部１７から送られるインクジェットヘッドごとの個別電圧データである個別電子データをアナログ電圧に変換する。インクジェットヘッドごとの個別電子データが示す個別電圧Ｖｃｈｎは、各インクジェットヘッドを駆動する駆動電圧と吐出量との関係に基づいて、予め定める吐出量になるように設定された電圧である。各インクジェットヘッドの駆動電圧と吐出量との関係は、インクジェットヘッド部１０を液滴吐出装置１に組み込む前に、たとえば「ＷＹＫＯ ＮＴ３３００表面形状粗さ計測定器」などを用いてインクジェットヘッドごとに実測したものである。

このように、前記個別電圧は、各インクジェットヘッドを駆動する電圧の変化に対する各インクジェットヘッドから吐出される液滴の吐出量の変化が実測された実測結果に基づいて、各インクジェットヘッドから吐出される液滴の吐出量が予め定める吐出量になるように予め設定された電圧である。

したがって、各インクジェットヘッドから吐出される液滴の吐出量のばらつきを、各インクジェットヘッドに指示する個別電圧をインクジェットヘッドごとに設定することによってなくすことができ、電圧生成部１８を同じ回路構成とすることができる。

電圧増幅回路であるオペアンプ１８２は、ＤＡＣ回路１８１からのアナログ電圧を所定の増幅率で増幅する。ＤＡＣ回路１８１から出力されるアナログ電圧では、駆動するために必要な電圧を得られないので、オペアンプ１８２を用いて増幅する。ＤＡＣ回路１８１の出力側には、フィードバック抵抗Ｒ１が接続され、フィードバック抵抗Ｒ１のＤＡＣ回路１８１への入力側に接地抵抗Ｒ２が接続されている。所定の増幅率は、式（１＋（Ｒ２／Ｒ１））によって算出される値である。

コンデンサＣ１は、片方の端子がオペアンプ１８２に接続され、多端が接地される。コンデンサＣ１は、オペアンプ１８２によって増幅された電圧まで電荷を充電し、インクジェットヘッドを駆動するための個別電圧Ｖｃｈｎを生成する。コンデンサＣ１によって生成された個別電圧Ｖｃｈｎは、オペアンプ１８２に接続される端子から対応するスイッチング回路１１に送られる。

容量性の負荷となる圧電材料を変形させるためには、コンデンサＣ１は、高電位でかつ大容量の電荷を保持することができるコンデンサとする必要がある。しかし、駆動電圧を大きく変化させたときに、コンデンサの特性によっては、コンデンサに保持させた電荷がオペアンプ１８２の入力側に流れることがある。電荷がオペアンプ１８２の入力側に流れると、オペアンプ１８２の入力端子がマイナス側に大きく揺さぶられて、入力定格以上の電圧が掛かり、オペアンプ１８２が誤動作し、最悪の場合は、オペアンプ１８２が破壊されてしまうことがある。

オペアンプ１８２の誤動作あるいは破壊を回避することができ、かつ十分な駆動能力を有するコンデンサの容量の決定と種類の選定とを行う必要がある。先ず、コンデンサの容量に決定については、出力電位０〜３０Ｖ（ボルト）の範囲の個別電圧を安定して保持できるコンデンサの選定を行う。高い電位を保持するためには、その高い電位に見合った大きな容量が必要である。しかし、容量が大きすぎると、オペアンプ１８２の発振を誘発し、不安定な回路となる。逆に、容量が小さすぎると、所定の電圧を保持することができず、出力電圧が不安定になる。

図５は、コンデンサＣ１の容量決定のためのシミュレーションモデル３０を示す図である。シミュレーションモデル３０では、市販されている回路シミュレータを使用している。シミュレーションモデル３０は、オペアンプ１８２に相当するオペアンプ「Ｕ１ＡＭＣ３４０３」、コンデンサＣ１、抵抗Ｒ１およびＲ２、スイッチング回路１１に相当するアナログスイッチ「ＶｃＳＷ２ＴＴＬ」および「ＶｃＳＷ３ＴＴＬ」を含んで構成される。接続する外部負荷としては、液滴吐出装置１で用いるインクジェットヘッドの圧電材料の負荷容量の２倍以上の値である１ｎＦとしている。コンデンサＣ１の容量を変化させて、オペアンプ「Ｕ１ＡＭＣ３４０３」の出力電位をシミュレーションする。

オペアンプ「Ｕ１ＡＭＣ３４０３」に供給される電源電圧Ｖ１は３０Ｖであり、オペアンプ「Ｕ１ＡＭＣ３４０３」への入力電圧Ｖ３は５Ｖであり、抵抗Ｒ１は４ｋオームであり、抵抗Ｒ２は１ｋオームであり、抵抗Ｒ３およびＲ４は４５オームであり、抵抗Ｒ５は２５オームである。アナログスイッチ「ＶｃＳＷ２ＴＴＬ」および「ＶｃＳＷ３ＴＴＬ」は、いずれも２００ｋＨｚで駆動され、アナログスイッチ「ＶｃＳＷ２ＴＴＬ」の電圧Ｖ５およびアナログスイッチ「ＶｃＳＷ３ＴＴＬ」の電圧Ｖ２とも０Ｖと５Ｖとの間を変化する。

図６は、シミュレーションモデル３０によるシミュレーション結果を示す図である。横軸はコンデンサＣ１の容量（ｎＦ）であり、縦軸はコンデンサＣ１による出力電位のばらつきの度合いを表す標準偏差値である。実線は実測値を結んだ線であり、点線は近似曲線である。

図６に示したシミュレーション結果は、コンデンサＣ１の容量として、１０ｎＦ、１００ｎＦ、１，０００ｎＦ、２，０００ｎＦ、５，０００ｎＦおよび１０，０００ｎＦの６つの容量についてシミュレーションを行った結果を示している。出力電位の標準偏差値は、コンデンサＣ１の容量が１０ｎＦで０．４３であり、コンデンサＣ１の容量が１００ｎＦで０．０７であり、コンデンサＣ１の容量が１，０００ｎＦで０．０６であるが、コンデンサＣ１の容量が２，０００ｎＦ、５，０００ｎＦおよび１０，０００ｎＦでは、出力電位の標準偏差値はいずれも０．０４であり、ばらつきの少ない安定した結果である。すなわち、コンデンサＣ１としては、２，０００ｎＦ以上の容量値のコンデンサを用いる。

次に、コンデンサの種類の選定については、基板の実装密度を向上するために、設置面積の小さいサイズのコンデンサを選定する必要がある。コンデンサの容量が１，０００ｎＦ以上になると、安価で大容量である電解コンデンサは、特性的にはよいが、部品サイズが大きいために実装効率が悪く、短寿命という欠点がある。タンタルコンデンサは、小形で比較的大きい容量であるが、故障する形態が短絡であることが多く、故障した場合に発熱を伴うので、信頼性に乏しい。積層セラミックコンデンサは、温度特性が電解コンデンサおよびタンタルコンデンサに比べてやや劣るが、周波数特性が電解コンデンサに比べてよい。さらに、小形、安価、比較的大容量、高耐圧仕様、かつ信頼性が高い。したがって、積層セラミックコンデンサを用いることとする。積層セラミックコンデンサの温度特性は、Ｂ特性±１０％品を使用することで、十分使用に耐えるものとすることができる。

図７は、コンデンサＣ１として積層セラミックコンデンサを用いて容量を変化させたときの電圧生成部１８の出力電位の実測値のばらつきを示す図である。横軸はコンデンサＣ１の容量（ｎＦ）であり、縦軸は電圧生成部１８の出力電位の標準偏差値である。

図７に示した実測値は、コンデンサＣ１の容量として、１．０μＦ、２．２μＦおよび４．７μＦの３つの容量について、電圧生成部１８の出力電位を測定したときの出力電位のばらつきの度合いを示す標準偏差値である。出力電位の標準偏差値は、コンデンサＣ１の容量が４．７μＦで０．１４０であり、コンデンサＣ１の容量が２．２μＦで０．１４２であり、コンデンサＣ１の容量が１．０μＦで０．１５９である。

図８は、図７に示したコンデンサＣ１の容量を変化させたときの電圧生成部１８の出力電位の実測値の最大値、平均値および最小値を示す図である。横軸はコンデンサＣ１の容量（ｎＦ）であり、縦軸は電圧生成部１８の出力電位（Ｖ）である。

図８に示した実測値は、コンデンサＣ１の容量として、１．０μＦ、２．２μＦおよび４．７μＦの３つの容量について、電圧生成部１８の出力電位の最大値、平均値および最小値を示す。出力電位の最大値、平均値および最小値は、コンデンサＣ１の容量が４．７μＦでは、それぞれ１８．８Ｖ、１８．３Ｖ、および１７．９Ｖであり、コンデンサＣ１の容量が２．２μＦでは、それぞれ１８．８Ｖ、１８．３Ｖ、および１７．９Ｖであり、コンデンサＣ１の容量が１．０μＦでは、それぞれ１８．９Ｖ、１８．３Ｖ、および１７．７Ｖである。

図７に示した出力電位の標準偏差値は、部品を実際の回路に実装した状態での実測値に基づく標準偏差値であり、外乱等の影響のない図６に示したシミュレーション結果の標準偏差値よりも値が増加しているが、図７および図８のいずれにおいてもコンデンサＣ１の容量が４．７μＦおよび２．２μＦでほぼ安定した出力電位が得られている。オシロスコープによる出力電位の波形観測では、コンデンサＣ１の容量が４．７μＦで、他のインクジェットヘッドの出力電位の観測波形に影響が見られるので、コンデンサＣ１の容量として、２．２μＦを選定する。

図９は、電圧生成部１８の入出力特性を示す図である。横軸は個別電圧として設定する設定電圧（Ｖ）であり、縦軸は電圧生成部１８の出力電位（Ｖ）である。実線は理想値を示し、ドットは実測値を示す。図９に示した入出力特性は、設定電圧（Ｖ）を０〜３０Ｖで変化させたときの電圧生成部１８の出力電位（Ｖ）を示しており、実測値がほぼ理想値に一致している。理想値は、設定電圧の電位に一致する出力電位である。

図１０は、チャネルごとの出力電位の実測値を示す図である。図１０に示す実測値は、チャネル番号ｃｈ１〜ｃｈ１６の１６個のチャネルについて、設定電圧を３０Ｖとしたときの出力電位を実測した値である。各チャネルの実測値は、チャネル番号ｃｈ１から順に、３０．０２Ｖ、３０．０４Ｖ、３０．０３Ｖ、３０．０２Ｖ、３０．０３Ｖ、３０．０３Ｖ、３０．０３Ｖ、３０．０３Ｖ、３０．０３Ｖ、３０．０４Ｖ、３０．０２Ｖ、３０．０３Ｖ、３０．０４Ｖ、３０．０９Ｖ、３０．０２Ｖおよび３０．０３Ｖである。設定電圧を３０Ｖとしたときの出力電位の理想値は、３０Ｖである。

理想値に対する誤差は、直線性誤差は４ｍＶであり、非直線性誤差は３０ｍＶであり、インクジェットヘッド間のばらつきは０．２３％である。直線性誤差は、設定電圧をデジタル値で表したとき、デジタル値を１ビット（ｂｉｔ）に相当する値を増加させたときの理想の増加量に対する誤差をいい、１ｂｉｔ誤差ともいう。非直線性誤差は、設定電圧のデジタル値を１６進数で、”００”から”ＦＦ”まで変化させるとき、設定電圧が”００”時の出力電位と設定電圧が”ＦＦ”時の出力電位とを結ぶ理想曲線に対する実測値の誤差をいう。ばらつきは、チャネルごとの実測値のうち最大の実測値と最小の実測値との差の理想値に対する割合である。図１０に示した実測値では、最大の実測値３０．０９Ｖと最小の実測値３０．０２Ｖとの差が０．０７Ｖであり、その差０．０７Ｖを理想値３０Ｖで除算した百分率が０．２３％となる。

直線性誤差、非直線性誤差およびばらつきの仕様は、回路が搭載する装置ごとに設定されるが、液滴吐出装置１では、たとえば、直線性誤差の仕様は、１００ｍＶ以下であること、非直線性誤差の仕様は、２００ｍＶ以下であること、およびばらつきの仕様は、±２％以内であることであり、上述した実測値に基づく値は、仕様を満足する値である。

さらに、駆動波形の立ち上がり特性は、０Ｖから１８Ｖに達するのに要する時間が約４０ｎｓであり、スルーレートの目標値５０Ｖ／μｓを十分満足する性能を実現することができる。

このように、液滴を吐出する複数のインクジェットヘッドから記録媒体に液滴を吐出するにあたって、インクジェットヘッドごとに設けられる複数の電圧生成部１８によって、各インクジェットヘッドを個別に駆動するための個別電圧がコンデンサＣ１を用いて生成され、共通電圧発生回路部１６によって、前記複数のインクジェットヘッドを共通に駆動するための共通電圧が生成される。

そして、インクジェットヘッドごとに設けられる複数のスイッチング回路１１によって、電圧生成部１８によって生成された個別電圧と、共通電圧発生回路部１６によって生成された共通電圧とのうちのいずれか１つの電圧が選択されて、各インクジェットヘッドに供給するか否かが制御される。

すなわち、インクジェットヘッドを駆動するための個別電圧をコンデンサＣ１を用いて生成するので、従来のように個別電圧をオペアンプ１８２によって生成する必要がない。したがって、オペアンプ１８２の応答性に依存することなく、高スルーレートでかつ高速にインクジェットヘッドごとに駆動することができる。

このように、電圧生成部１８によって、前記個別電圧を表す個別電圧データをアナログ電圧に変換するＤＡＣ回路１８１と、ＤＡＣ回路１８１によって変換されたアナログ電圧を予め定める増幅率で増幅するオペアンプ１８２と、オペアンプ１８２で増幅された電圧まで電荷を充電するコンデンサＣ１とが含まれ、スイッチング回路１１によって、インクジェットヘッドに個別電圧が供給されるとき、コンデンサＣ１に充電された電荷による電圧が個別電圧として供給される。

すなわち、電圧増幅回路つまりオペアンプ１８２は、コンデンサＣ１を充電するためにのみ用いるので、オペアンプ１８２のピーク電流を抑えることができ、低消費電力化を実現することができる。

このように、前記インクジェットヘッドは、液滴を吐出するノズルに連通し、圧電材料によって形成される隔壁２１によって隔てられる圧力室２２内の液体の圧力を、隔壁２１を変形させることによって変化させて、ノズルから液滴を吐出させるので、シェアモード型のインクジェットヘッドを駆動するときに、オペアンプ１８２の応答性に依存することなく、高スルーレートでかつ高速にインクジェットヘッドごとに駆動することができる。

インクジェットヘッドごとの個別電圧は、吐出速度が一定になるように設定してもよい。インクジェットヘッドごとの個別電圧は、各インクジェットヘッドを駆動する駆動電圧と吐出速度との関係に基づいて、予め定める吐出速度になるように決定する。各インクジェットヘッドの駆動電圧と吐出速度との関係は、インクジェットヘッド部１０を液滴吐出装置１に組み込む前に、たとえばストロボ回路などを用いてインクジェットヘッドごとに実測しておく。

このように、前記個別電圧は、各インクジェットヘッドを駆動する電圧の変化に対する各インクジェットヘッドから吐出される液滴の吐出速度の変化が実測された実測結果に基づいて、各インクジェットヘッドから吐出される液滴の吐出速度が予め定める吐出速度になるように予め設定された電圧である。

したがって、各インクジェットヘッドから吐出される液滴の吐出速度のばらつきを、各インクジェットヘッドに指示する個別電圧をインクジェットヘッドごとに設定することによってなくすことができ、電圧生成部１８を同じ回路構成とすることができる。

インクジェットヘッドを駆動したときに圧電材料で消費される電気エネルギＰａは、駆動電圧をＶｋ、電気エネルギをＰａとするために必要な電流をＩａとすると、Ｐａ＝Ｉａ×Ｖｋである。必要な電流Ｉａは、インクジェットヘッドの圧電材料の容量Ｃｐを３６０ｐＦ、駆動電圧Ｖｋを３０Ｖ、駆動周波数ｆを１００ｋＨｚ、インクジェットヘッドの数Ｎｃｈを６４チャネルとすると、Ｉａ＝Ｃｐ×Ｖｋ×ｆ×Ｎｃｈ＝３６０×３０×１００×６４＝０．０６９１２Ａ（アンペア）となる。したがって、消費される電気エネルギＰａは、Ｐａ＝Ｉａ×Ｖｋ＝０．０６９１２×３０＝２．０７３６Ｗ（ワット；１Ｗ＝１ｋｇ・ｍ^２・ｓ^−３；以下同じ）となる。

液滴吐出装置１では、コンデンサＣ１として２．２μＦのコンデンサを用いるので、駆動可能な電気エネルギＰｋは、駆動電圧をＶｋ、電気エネルギをＰｋとするために必要な電流をＩｋとすると、Ｐｋ＝Ｉｋ×Ｖｋである。必要な電流Ｉｋは、駆動電圧Ｖｋを３０Ｖ、駆動周波数ｆを１００ｋＨｚ、インクジェットヘッドの数Ｎｃｈを６４チャネルとすると、Ｉｋ＝Ｃ１×Ｖｋ×ｆ×Ｎｃｈ＝２．２×３０×１００×６４＝４２２．４Ａとなる。したがって、駆動可能な電気エネルギＰｋは、Ｐｋ＝Ｉｋ×Ｖｋ＝４２２．４×３０＝１２６７２Ｗとなる。

駆動可能な電気エネルギＰｋに対する消費される電気エネルギＰａの割合は、Ｐｋ／Ｐａ＝１２６７２／２．０７３６≒６０００である。すなわち、電圧生成部１８は、インクジェットヘッドを駆動するために必要とされる電気エネルギＰａの約６０００倍の電気エネルギを蓄積することができる。

インクジェットヘッドの圧電材料の容量Ｃｐを３６０ｐＦとして試算したが、圧電材料の容量Ｃｐを１０００ｐＦで試算すると、この割合は約２０００倍となり、圧電材料の容量Ｃｐを２０００ｐＦで試算すると、この割合は約１０００倍となる。

したがって、液滴吐出装置１の電圧生成部１８に用いるために選定された容量２．２μＦのコンデンサＣ１は、インクジェットヘッドを１回駆動させるときに消費される電気エネルギの１０００倍以上の電気エネルギを蓄えることができる。さらに、１００ｋＨｚ以上の高速で駆動を行う場合においても、十分駆動可能であることが分かる。

このように、コンデンサＣ１は、インクジェットヘッドが１滴の液滴を吐出させるために消費する電気エネルギの予め定める倍率以上の電気エネルギの電荷を充電することができる容量であるので、１００ｋＨｚ以上の高速で駆動を行う場合においても、十分駆動可能である。

このように、前記予め定める倍率は、１０００倍以上であるので、コンデンサＣ１の容量が２０００ｐＦ以上で、駆動回路を駆動するための電位のインクジェットヘッドごとのばらつきの標準偏差を０．０４以下に抑えることができる。

電圧生成部１８およびスイッチング回路１１は、インクジェットヘッドごとに独立に１ユニットとして構成される。したがって、ユニット間でのクロストークをなくし、各インクジェットヘッドを高精度に制御することができ、多チャネル化および集積回路化に有効な回路構成とすることができる。さらに、１ユニットが故障しても、ユニットごとに独立しているので、他のユニットに影響を及ぼすことがなく、多チャネル化に対する信頼性を向上することができる。信頼性が高いので、液滴吐出装置１は、精度を必要とするカラーフィルタ作成用インクジェット装置、および有機ＥＬ（Electro-Luminescence）などの発光インクの塗布装置などに応用することができる。

このように、電圧生成部１８およびスイッチング回路１１は、インクジェットヘッドのうちの対応する１つのインクジェットヘッドごとに１つのユニットとして構成され、インクジェットヘッドごとに独立に設けられるので、ユニット間でのクロストークをなくし、各インクジェットヘッドを高精度に制御することができ、多チャネル化および集積回路化に有効な回路構成とすることができる。さらに、１つのユニットが故障しても、他のユニットに影響を及ぼすことがなく、部品もユニット単位で交換可能である。したがって、多チャネル化に対する信頼性を向上することができる。

図１１は、本発明の実施の他の形態である液滴吐出装置２の構成を示すブロック図である。図１に示した液滴吐出装置１は、１種類の共通電圧を用いて制御したが、図１１に示す液滴吐出装置２は、２種類の共通電圧を用いて制御するものである。液滴吐出装置である液滴吐出装置２は、インクジェットヘッド部２１０、スイッチング回路２１１、スイッチング制御回路部２１２、描画制御部２１３、画像データシリアルパラレル変換部２１４、画像データラッチ部２１５、共通電圧発生回路部２１６、電圧データシリアルパラレル変換部２１７、および電圧生成部２１８を含む。

インクジェットヘッド部２１０、スイッチング制御回路部２１２、画像データシリアルパラレル変換部２１４、画像データラッチ部２１５、電圧データシリアルパラレル変換部２１７および電圧生成部２１８は、それぞれ図１に示したインクジェットヘッド部１０、スイッチング制御回路部１２、画像データシリアルパラレル変換部１４、画像データラッチ部１５、電圧データシリアルパラレル変換部１７および電圧生成部１８と同じ構成であり、重複を避けるために説明を省略する。

描画制御部２１３は、共通電圧発生回路部１６には、第２駆動パルスＰ２の共通電圧および第３駆動パルスＰ３の第２の共通電圧を指示する共通電子データを送る。他の部位には、描画制御部１３と同じ信号およびデータを送る。共通電圧生成手段である共通電圧発生回路部２１６は、たとえばレギュレータなどによって構成され、描画制御部２１３から送られる共通電子データが示す共通電圧および第２の共通電圧を生成して、各スイッチング回路１１に送る。

供給制御手段であるスイッチング回路２１１ａ〜２１１ｎは、インクジェットヘッドの電極２３に駆動電圧を印加するか否かを制御する回路であり、インクジェットヘッドごとに設けられる。以下、個々のスイッチング回路を区別せずにいう場合は、スイッチング回路２１１という。各スイッチング回路２１１は、スイッチング制御回路部２１２の指示に従って、インクジェットヘッドの電極２３に駆動電圧を印加するか否か、および駆動電圧を印加するときは第１駆動パルスＰ１〜第３駆動パルスＰ３のうちのいずれを印加するのかを切り換える。

インクジェットヘッドの電極２３に印加する駆動電圧の波形は、第１駆動パルスＰ１、第２駆動パルスＰ２および第３駆動パルスＰ３のうちのいずれか１つであり、駆動するグループに含まれるインクジェットヘッドのうち、液滴を吐出させるインクジェットヘッドの圧力室（以下「吐出圧力室」という）の電極２３には、第１駆動パルスＰ１を印加し、駆動するグループに含まれるインクジェットヘッドに隣接するインクジェットヘッドの圧力室の電極２３には、第２駆動パルスＰ２を印加し、駆動するグループに含まれるインクジェットヘッドのうち、液滴を吐出させないインクジェットヘッドの圧力室（以下「非吐出圧力室」という）の電極２３には、第３駆動パルスＰ３を印加する。

図１２は、電極２３に印加する電圧波形および隔壁２１に生じる電位差の波形を示す図である。電極２３に印加する電圧波形には、個別電圧Ｖｃｈｎのパルスである第１駆動パルスＰ１（以下「Ｖｃｈｎパルス」ともいう）の波形、共通電圧Ｖｃｏｍのパルスである第２駆動パルスＰ２（以下「Ｖｃｏｍパルス」ともいう）の波形、および第２の共通電圧Ｖｎｏｎのパルスである第３駆動パルスＰ３（以下「Ｖｎｏｎパルス」ともいう）の波形がある。

Ｖｃｈｎパルス波形は、図３に示した第１駆動パルスＰ１と同じ波形であり、Ｖｃｏｍパルス波形は、図３に示した第２駆動パルスＰ２と同じ波形である。Ｖｎｏｎパルスは、時刻ｔ１から時刻ｔ３までの時間３ＡＬの期間、第２の共通電圧Ｖｎｏｎが印加されるパルスの波形である。

吐出圧力室の隔壁２１に生じる電位差の波形は、Ｖｃｈｎパルス波形の電位からＶｃｏｍパルス波形の電位を減算した電位差の波形であり、非吐出圧力室の隔壁２１に生じる電位差の波形は、Ｖｎｏｎパルス波形の電位からＶｃｏｍパルス波形の電位を減算した電位差の波形である。

Ｖｎｏｎパルスの電圧は、Ｖｃｈｎパルスの電位およびＶｃｏｍパルスの電位よりも低くする。したがって、非吐出圧力室の隔壁２１に生じる電位差は、吐出圧力室の隔壁２１に生じる電位差よりも小さい。非吐出圧力室の隔壁２１に生じる電位差を吐出圧力室の隔壁２１に生じる電位差よりも小さくすることによって、圧力室の残留振動、および温度の影響を小さく抑えることが可能となり、吐出精度を向上し、誤吐出に対するマージンを確保することができる。

非吐出圧力室の隔壁２１に生じる電位差の波形は、吐出圧力室の隔壁２１に生じる電位差の波形の相似形になっている。したがって、各圧力室２２を駆動するタイミングを同じにすることができ、インクジェットヘッド部２１０に生じする振動のタイミングは同一になる。

時刻ｔ２における電圧値の変化によって生じる圧力波、つまり拡張された圧力室を収縮させるときの圧力波は、時刻ｔ１における電圧値の変化によって発生させた圧力波、つまり圧力室を拡張するときの圧力波に共振するように設定されている。逆に、時刻ｔ３における電圧値の変化によって生じる圧力波、つまり収縮された圧力室を中立の状態に復元させるときの圧力波は、それら圧力波を相殺する方向に設定されている。Ｖｃｈｎパルス、ＶｃｏｍパルスおよびＶｎｏｎパルスのそれぞれの電圧の変化量は、生じる圧力波の大きさに関係している。

したがって、Ｖｎｏｎパルスの電圧値を調整することによって、上記共振させる圧力波と相殺する圧力波との配分を変化させることができるので、残留振動の大きさを制御することが可能となる。

Ｖｎｏｎパルスの電圧は、１つの圧力室を連続駆動させた場合と、断続的に駆動させた場合との吐出液滴の速度の差または体積の差が小さくなるように調整する。吐出液滴の速度の差または体積の差が小さくなるように調整することによって、駆動されたことによる圧力室の残留振動および温度の影響を最小化することができる。

圧力室２２を駆動した場合、圧電材料のヒステリシス損によって発熱するが、吐出圧力室では、吐出される液滴によって一部の熱量が外部に放出される。したがって、吐出圧力室と非吐出圧力室との温度差を少なくするには、非吐出圧力室の発熱量を、吐出圧力室の発熱量よりも少なくすることが必要である。発熱量は、電圧の大きさにのみ関係しており、電圧変化の方向には影響されないので、Ｖｎｏｎパルスの電圧をＶｃｈｎパルスおよびＶｃｏｍパルスよりも低い電圧に設定することによって、吐出圧力室と非吐出圧力室との温度差を少なくすることができる。

上述した実施の形態では、吐出圧力室と非吐出圧力室との残留振動の合わせ込みに重点をおいて駆動電圧を設定し、その副次的な効果として、吐出圧力室と非吐出圧力室との温度差が少なくなる場合を説明したが、駆動電圧の設定は、これに限定されるものではない。これとは逆に、温度差を少なくすることに重点をおいて駆動電圧を設定することも可能である。もっとも好ましくは、残留振動と温度差との双方の影響を同時に解消することができるように、あるいは解消することができなくても無視することができる程度になるように、インクジェットヘッドおよびインクなどの液体の特性を考慮して、Ｖｃｈｎパルス、ＶｃｏｍパルスおよびＶｎｏｎパルスを全体的に調整して設定することである。

本発明の実施の一形態である液滴吐出装置１の構成を示すブロック図である。 インクジェットヘッド部１０の断面図である。 電極２３に印加する電圧波形を示す図である。 電圧生成部１８の回路構成を示す図である。 コンデンサＣ１の容量決定のためのシミュレーションモデル３０を示す図である。 シミュレーションモデル３０によるシミュレーション結果を示す図である。 コンデンサＣ１として積層セラミックコンデンサを用いて容量を変化させたときの電圧生成部１８の出力電位の実測値のばらつきを示す図である。 図７に示したコンデンサＣ１の容量を変化させたときの電圧生成部１８の出力電位の実測値の平均値、最大値および最小値を示す図である。 電圧生成部１８の入出力特性を示す図である。 チャネルごとの出力電位の実測値を示す図である。 本発明の実施の他の形態である液滴吐出装置２の構成を示すブロック図である。 電極２３に印加する電圧波形および隔壁２１に生じる電位差の波形を示す図である。

符号の説明

１，２ 液滴吐出装置
１０，２１０ インクジェットヘッド部
１１，１１ａ〜１１ｎ，２１１，２１１ａ〜２１１ｎ スイッチング回路
１２，２１２ スイッチング制御回路部
１３，２１３ 描画制御部
１４，２１４ 画像データシリアルパラレル変換部
１５，２１５ 画像データラッチ部
１６，２１６ 共通電圧発生回路部
１７，２１７ 電圧データシリアルパラレル変換部
１８，１８ａ〜１８ｎ，２１８，２１８ａ〜２１８ｎ 電圧生成部
２１ 隔壁
２２ 圧力室
２３ 電極
２４ ベース部材
２５ カバー部材
３０ シミュレーションモデル
１８１ ＤＡＣ回路
１８２ 増幅回路
Ｃ１ コンデンサ
Ｒ１，Ｒ２ 抵抗

Claims (8)

1. 液滴を吐出する複数の液滴吐出ヘッドから記録媒体に液滴を吐出する液滴吐出装置であって、
   液滴吐出ヘッドごとに設けられ、各液滴吐出ヘッドを個別に駆動するための個別電圧をコンデンサを用いて生成する複数の個別電圧生成手段と、
   前記複数の液滴吐出ヘッドを共通に駆動するための共通電圧を生成する共通電圧生成手段と、
   液滴吐出ヘッドごとに設けられ、個別電圧生成手段によって生成された個別電圧と、共通電圧生成手段によって生成された共通電圧とのうちのいずれか１つの電圧を選択して、各液滴吐出ヘッドに供給するか否かを制御する複数の供給制御手段とを含むことを特徴とする液滴吐出装置。
2. 前記個別電圧生成手段は、前記個別電圧を表す個別電圧データをアナログ電圧に変換するアナログ電圧変換回路と、アナログ電圧変換回路によって変換されたアナログ電圧を予め定める増幅率で増幅する電圧増幅回路と、電圧増幅回路で増幅された電圧まで電荷を充電する前記コンデンサとを含み、
   前記供給制御手段は、液滴吐出ヘッドに個別電圧を供給するとき、前記コンデンサに充電された電荷による電圧を個別電圧として供給することを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出装置。
3. 前記コンデンサは、液滴吐出ヘッドが１滴の液滴を吐出させるために消費する電気エネルギの予め定める倍率以上の電気エネルギの電荷を充電することができる容量であることを特徴とする請求項１または２に記載の液滴吐出装置。
4. 前記予め定める倍率は、１０００倍以上であることを特徴とする請求項３に記載の液滴吐出装置。
5. 前記個別電圧生成手段および前記供給制御手段は、前記液滴吐出ヘッドのうちの対応する１つの液滴吐出ヘッドごとに１つのユニットとして構成され、液滴吐出ヘッドごとに独立に設けられることを特徴とする請求項１〜４のうちのいずれか１つに記載の液滴吐出装置。
6. 前記個別電圧は、各液滴吐出ヘッドを駆動する電圧の変化に対する各液滴吐出ヘッドから吐出される液滴の吐出量の変化が実測された実測結果に基づいて、各液滴吐出ヘッドから吐出される液滴の吐出量が予め定める吐出量になるように予め設定された電圧であることを特徴とする請求項１〜５のうちのいずれか１つに記載の液滴吐出装置。
7. 前記個別電圧は、各液滴吐出ヘッドを駆動する電圧の変化に対する各液滴吐出ヘッドから吐出される液滴の吐出速度の変化が実測された実測結果に基づいて、各液滴吐出ヘッドから吐出される液滴の吐出速度が予め定める吐出速度になるように予め設定された電圧であることを特徴とする請求項１〜５のうちのいずれか１つに記載の液滴吐出装置。
8. 前記液滴吐出ヘッドは、液滴を吐出するノズルに連通し、圧電材料によって形成される隔壁によって隔てられる圧力室内の液体の圧力を、隔壁を変形させることによって変化させて、ノズルから液滴を吐出させることを特徴とする請求項１〜７のうちのいずれか１つに記載の液滴吐出装置。

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