JP2009061446A - Method of treating long object - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method of heat-treating a long object such as a textile, a film, a sheet, a metal foil, and a metal foil laminate capable of efficiently converting a metal foil laminate prepared by directly applying a polyimide resin solution in particular onto a metal foil and subsequently subjecting it to a preliminary drying treatment, into a metal foil laminate free of curling and excellent in such a characteristic as dimensional precision, moisture absorption characteristics, adhesion strength, and the reliability thereof (consistent adhesion strength subsequent to the heat treatment, for example) at a high yield. <P>SOLUTION: The method of heat-treating a metal foil laminate prepared by continuously applying a polyimide resin solution onto a metal foil and subjecting the resulting metal foil laminate to a preliminary drying treatment is characterized in that the metal foil laminate is continuously conveyed by a specific conveying method and heat-treated under a specific condition in a furnace equipped with a far-infrared heater. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は長尺物の処理方法に関し、更に詳しくは、フィルム、繊維織物、シート、及び金属箔等の長尺物を水や有機溶剤溶液で含浸またはコーティング加工した後の長尺物の乾燥及び/又は熱処理を歩留まり良く、効率的に行う方法、及び、寸法安定性、吸湿特性等の性能に優れる長尺物の処理方法に関する。   The present invention relates to a method for treating a long object, and more specifically, drying a long object after impregnating or coating a long object such as a film, a textile fabric, a sheet, and a metal foil with water or an organic solvent solution, and The present invention relates to a method for efficiently performing a heat treatment with a high yield and a method for treating a long object having excellent performance such as dimensional stability and moisture absorption characteristics.

従来より、繊維織物やフィルム、シート、金属箔などの長尺物を水や有機溶剤溶液で含浸またはコーティング加工した後の乾燥や熱処理は、通常一定長さの加熱ゾーンを一定速度で連続的に通すことによって行われている。しかし、この方法では、溶剤の沸点が高かったりする場合、乾燥、あるいは熱処理時にカール(反り)が発生しやすく、又、更に、塗布厚が厚いと、歩留まり良く、効率的に乾燥することは困難であった。特に、長尺物として、金属箔にポリイミド系樹脂溶液、及び/又は、その前駆体を塗布・初期乾燥した金属箔積層体を熱処理する場合、カールが大きく、生産性良く製造することは困難であり、効率的な乾燥も困難であった。又、カールが大きく、外観や寸法安定性など、生産品そのものの特性も好ましくなく、単に乾燥しただけでは、吸湿特性、接着強度、及びその信頼性(加熱処理後の接着強度など)といった特性に劣るという欠点があった。   Conventionally, drying and heat treatment after impregnating or coating long materials such as textile fabrics, films, sheets and metal foils with water or organic solvent solutions are usually performed continuously at a constant rate in a heating zone of a certain length. It is done by passing. However, in this method, when the boiling point of the solvent is high, curling (warping) is likely to occur during drying or heat treatment, and when the coating thickness is thick, it is difficult to dry efficiently with good yield. Met. In particular, when heat treating a metal foil laminate obtained by applying a polyimide resin solution and / or its precursor to metal foil and initially drying it as a long object, the curl is large and it is difficult to manufacture with high productivity. In addition, efficient drying was difficult. In addition, the curl is large, and the properties of the product itself such as appearance and dimensional stability are also unfavorable. Simply drying it will result in properties such as moisture absorption properties, adhesive strength, and reliability (such as adhesive strength after heat treatment). There was a disadvantage of being inferior.

これらの問題を解決する為に、以下の文献に開示する様に、これまで、円筒状ドラムに巻き付け熱処理するなど、種々の方法が検討されているが、いずれの文献においても、実質的には、生産性の高い方式ではなく、又、必ずしも外観や寸法安定性、接着強度など、生産品そのものの特性も十分ではなかった。   In order to solve these problems, as disclosed in the following documents, various methods such as heat treatment by wrapping around a cylindrical drum have been studied so far. It is not a highly productive system, and the characteristics of the product itself such as appearance, dimensional stability, and adhesive strength are not always sufficient.

特開昭57−50670号公報JP-A-57-50670 特開昭60−15728号公報JP-A-60-15728 特開昭55−75289号公報JP 55-75289 A 特開昭61−307789号公報JP-A 61-307789 特開平5−50547号公報JP-A-5-50547

以上の様な背景技術より、本発明の目的は、繊維織物やフィルム、シート、金属箔、特に、ポリイミド系樹脂溶液又は/及びその前駆体を金属箔に直接塗布、初期乾燥した金属箔積層体を熱処理することで、カールがなく寸法精度に優れる金属箔積層体を歩留まり良く、効率的に乾燥、製造しようとするものである。更に、吸湿特性、接着強度、及びその信頼性(加熱処理後の接着強度など)等の特性を改良しようというものである。   From the background art as described above, the object of the present invention is to provide a fiber woven fabric, film, sheet, metal foil, in particular, a metal foil laminate in which a polyimide resin solution or / and its precursor is directly applied to metal foil and initially dried. By heat-treating, a metal foil laminate having no curling and excellent dimensional accuracy is intended to be efficiently dried and manufactured with a high yield. Furthermore, it is intended to improve characteristics such as moisture absorption characteristics, adhesive strength, and reliability (such as adhesive strength after heat treatment).

本発明者らは、上記目的を達成するべく鋭意研究した結果、金属箔にポリイミド系樹脂溶液又は/及びその前駆体を連続的に塗布、初期乾燥して得られた金属積層体を熱処理するに際し、遠赤外加熱方式の加熱炉で、好ましくはさらに特定の搬送方式により連続搬送させ、熱処理することにより、達成できることを見出し、本発明に到った。
即ち、本発明は以下の様な構成からなる。
(1)長尺物を連続搬送させ、熱処理する工程を含む長尺物の連続処理方法において、該熱処理が、遠赤外加熱方式であることを特徴とする長尺物処理方法。
(2) 搬送が千鳥搬送方式であることを特徴とする(1)記載の長尺物処理方法。
(3) 長尺物が金属箔にポリイミド系樹脂溶液又は/及びその前駆体を塗布・初期乾
燥した金属箔積層体であることを特徴とする(1)又は(2)記載の長尺物処理方法。
(4)(1)〜(3)いずれか記載の長尺物処理方法より得られる長尺物。
As a result of diligent research to achieve the above object, the present inventors have conducted a heat treatment on a metal laminate obtained by continuously applying a polyimide resin solution and / or its precursor to a metal foil and initial drying. It has been found that this can be achieved in a far-infrared heating type heating furnace, preferably further continuously conveyed by a specific conveying method and heat-treated, and the present invention has been achieved.
That is, the present invention has the following configuration.
(1) In the continuous processing method of a long thing including the process of carrying and heat-treating a long thing continuously, this heat processing is a far-infrared heating system, The long thing processing method characterized by the above-mentioned.
(2) The long object processing method according to (1), wherein the transport is a staggered transport system.
(3) The long material treatment according to (1) or (2), wherein the long material is a metal foil laminate in which a polyimide resin solution and / or a precursor thereof is applied to metal foil and initially dried. Method.
(4) A long object obtained from the long object processing method according to any one of (1) to (3).

上述したように、本発明の長尺物は、遠赤外方式の加熱方法にて、好ましくはさらに特定の搬送方式を採用することで、連続搬送させて製造される。この為、カールがなく寸法安定性、接着強度、接着強度の信頼性、吸湿特性に優れる製品を歩留まり良く製造できるため、工業的に有用である。   As described above, the long object of the present invention is manufactured by continuous conveyance by a far-infrared heating method, preferably by employing a specific conveyance method. For this reason, a product excellent in dimensional stability, adhesive strength, reliability of adhesive strength, and moisture absorption characteristics without curling can be manufactured with good yield, and is industrially useful.

本発明に適用される長尺物としては、例えば、各種高分子からなるフィルムやシート、各種金属からなる箔やロール状で加工できる薄い板等があげられ、前記長尺物の処理としては、乾燥、熟成、硬化等の熱処理等に適用できる。特に好ましい適用例は、金属箔にポリイミド系樹脂溶液及び/又はその前駆体を塗布・初期乾燥した金属箔積層体を熱処理、乾燥する場合である。   As long objects applied to the present invention, for example, films and sheets made of various polymers, foils made of various metals, thin plates that can be processed in a roll shape, and the like, It can be applied to heat treatment such as drying, aging and curing. A particularly preferable application example is a case where a metal foil laminate obtained by applying a polyimide resin solution and / or a precursor thereof to a metal foil and initially drying it is heat-treated and dried.

前記金属箔積層体を製造する為に用いる金属箔としては、銅箔、アルミニウム箔、スチール箔、及びニッケル箔などを使用することができ、これらを複合した複合金属箔や亜鉛やクロム化合物など他の金属で処理した金属箔についても用いることができる。金属箔の厚みについては特に限定はないが、たとえば、1から50μm、好ましくは3から35μm、より好ましくは、3から18μmの金属箔を好適に用いることができる。金属箔の厚みが1μm未満では、搬送時の歩留まりが低下し、又、50μmより大きい場合は、長尺物としての巻きだし、巻き取り性に劣り、歩留まりが低下する。用いるポリイミド系樹脂としては、金属箔と同等の熱膨張係数を有し、耐熱性に優れるものであれば基本的にはどのような樹脂を用いてもよいが、好ましくは芳香族ポリイミドや芳香族ポリアミドイミドである。樹脂の厚みは、特に限定はないが、例えば、1から200μm、好ましくは、5から75μm、より好ましくは、8から35μmである。樹脂の厚みが、200μm以上では、銅箔同様、長尺物としての巻きだし、巻き取り性に劣り、歩留まりが低下する。1μm未満では、製造上、何ら支障はないが、実質的に、金属箔積層体の使用用途、例えば、プリント配線基板等としては使用が困難になる。幅に限定はなく、市販銅箔をそのまま、例えば、250mm幅から1080mm幅のものが使用できる。   As the metal foil used for producing the metal foil laminate, copper foil, aluminum foil, steel foil, nickel foil, and the like can be used. A metal foil treated with the above metal can also be used. The thickness of the metal foil is not particularly limited, but for example, a metal foil of 1 to 50 μm, preferably 3 to 35 μm, more preferably 3 to 18 μm can be suitably used. When the thickness of the metal foil is less than 1 μm, the yield at the time of conveyance is lowered, and when it is greater than 50 μm, the winding as a long object is unsatisfactory and the winding property is inferior, and the yield is lowered. As the polyimide-based resin to be used, any resin may be basically used as long as it has a thermal expansion coefficient equivalent to that of the metal foil and is excellent in heat resistance, but preferably aromatic polyimide or aromatic resin. Polyamideimide. The thickness of the resin is not particularly limited, but is, for example, 1 to 200 μm, preferably 5 to 75 μm, and more preferably 8 to 35 μm. When the thickness of the resin is 200 μm or more, like a copper foil, it is unwound as a long object, is inferior in winding property, and the yield decreases. If it is less than 1 μm, there is no problem in production, but it is practically difficult to use as a metal foil laminate, for example, a printed wiring board. The width is not limited, and a commercially available copper foil can be used as it is, for example, having a width of 250 mm to 1080 mm.

芳香族ポリイミドや芳香族ポリアミドイミドの製造は通常の方法で合成することができ、たとえば、イソシアネート法、酸クロリド法、低温溶液重合法、室温溶液重合法などである。   An aromatic polyimide or an aromatic polyamideimide can be produced by a usual method, for example, an isocyanate method, an acid chloride method, a low temperature solution polymerization method, a room temperature solution polymerization method, or the like.

芳香族ポリイミドに用いる原料としては、以下に示す様なものがあげられる。酸成分としては、ピロメリット酸、ベンゾフェノン−3、3’、4、4’−テトラカルボン酸、ビフエニル−3,3’、4、’ーテトラカルボン酸、ジフェニルスルホン3、3’、4、4’−テトラカルボン酸、ジフェニルエーテル−3,3’、4、4’−テトラカルボン酸、ナフタレン−2、3、6、7ーテトラカルボン酸、,ナフタレン−1、2、4、5−テトラカルボン酸、ナフタレン−1、4、5、8−テトラカルボン酸などの一無水物、二無水物、エステル化物などが単独、或いは、2種以上の混合物として用いることができる。
また、アミン成分としてはP−フェニレンジアミン、m−フェニレンジアミン、3、4’−ジアミノジフェニルエーテル、4、4’−ジアミノジフェニルエーテル、4、4’−ジアミノジフェニルスルホン、3、3’−ジアミノジフェニルスルホン、3、4’−ジアミノビフエニル、3、3’−ジアミノビフエニル、3,3’−ジアミノベンズアニリド、4,4’−ジアミノベンズアニリド、4、4’−ジアミノベンゾフエノン、3、3’−ジアミノベンゾフエノン、3、4’−ジアミノベンゾフエノン、2、6−トリレンジアミン、2、4−トリレンジアミン、4、4’−ジアミノジフェニルスルフィド、3、3’−ジアミノジフェニルスルフィド、4、4’−ジアミノジフェニルプロパン、3、3’−ジアミノジフェニルプロパン、4、4’−ジアミノジフェニルヘキサフルオロプロパン、3、3’−ジアミノジフェニルヘキサフルオロプロパン、3、3’−ジアミノジフェニルメタン、4、4’−ジアミノジフェニルメタン、4、4’−ジアミノジフェニルヘキサフルオロイソプロピリデン、P−キシレンジアミン、m−キシレンジアミン、1,4−ナフタレンジアミン、1,5−ナフタレンジアミン、2,6−ナフタレンジアミン、2,7−ナフタレンジアミン、O−トリジン、m−トリジン、2、2’−ビス(4−アミノフェニル)プロパン、2、2’−ビス(4−アミノフェニル)ヘキサフルオロプロパン、1,3−ビス(
3−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,3−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,4−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]プロパン、ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]スルホン、ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]スルホン、ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]プロパン、ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]ヘキサフルオロプロパン、4,4’−ビス(4−アミノフェノキシ)ビフェニル、4,4’−ビス(3−アミノフェノキシ)ビフェニル、2、2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フエニル]ヘキサフルオロプロパン、或いはこれらに対応するジイソシアネートなどの単独或いは2種以上の混合物を用いることができる。また、これら酸成分、アミン成分の組み合わせで別途重合した樹脂を混合して使用することもできる。
Examples of raw materials used for the aromatic polyimide include the following. Examples of the acid component include pyromellitic acid, benzophenone-3, 3 ', 4, 4'-tetracarboxylic acid, biphenyl-3, 3', 4, '-tetracarboxylic acid, diphenylsulfone 3, 3', 4, 4'- Tetracarboxylic acid, diphenyl ether-3,3 ', 4,4'-tetracarboxylic acid, naphthalene-2,3,6,7-tetracarboxylic acid, naphthalene-1,2,4,5-tetracarboxylic acid, naphthalene-1 Monoanhydrides such as 4,5,8-tetracarboxylic acid, dianhydrides, esterified products and the like can be used alone or as a mixture of two or more.
As the amine component, P-phenylenediamine, m-phenylenediamine, 3,4′-diaminodiphenyl ether, 4,4′-diaminodiphenyl ether, 4,4′-diaminodiphenylsulfone, 3,3′-diaminodiphenylsulfone, 3,4'-diaminobiphenyl, 3,3'-diaminobiphenyl, 3,3'-diaminobenzanilide, 4,4'-diaminobenzanilide, 4,4'-diaminobenzophenone, 3, 3 ' -Diaminobenzophenone, 3,4'-diaminobenzophenone, 2,6-tolylenediamine, 2,4-tolylenediamine, 4,4'-diaminodiphenyl sulfide, 3,3'-diaminodiphenyl sulfide, 4,4′-diaminodiphenylpropane, 3,3′-diaminodiphenylpropane, 4,4′-diaminodiphenyl Hexafluoropropane, 3,3′-diaminodiphenylhexafluoropropane, 3,3′-diaminodiphenylmethane, 4,4′-diaminodiphenylmethane, 4,4′-diaminodiphenylhexafluoroisopropylidene, P-xylenediamine, m -Xylenediamine, 1,4-naphthalenediamine, 1,5-naphthalenediamine, 2,6-naphthalenediamine, 2,7-naphthalenediamine, O-tolidine, m-tolidine, 2,2'-bis (4-amino Phenyl) propane, 2,2′-bis (4-aminophenyl) hexafluoropropane, 1,3-bis (
3-aminophenoxy) benzene, 1,3-bis (4-aminophenoxy) benzene, 1,4-bis (4-aminophenoxy) benzene, 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] propane Bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] sulfone, bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] sulfone, bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] propane, bis [4- (3- Aminophenoxy) phenyl] hexafluoropropane, 4,4′-bis (4-aminophenoxy) biphenyl, 4,4′-bis (3-aminophenoxy) biphenyl, 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) ) Phenyl] hexafluoropropane, or the corresponding diisocyanate, or a mixture of two or more It is possible. In addition, a resin separately polymerized by a combination of these acid component and amine component can be mixed and used.

芳香族ポリアミドイミドに用いる原料としては、酸成分としてトリメリット酸無水物、ジフエニルエーテル−3、3’、4’−トリカルボン酸無水物、ジフエニルスルホン−3、3’、4’−トリカルボン酸無水物、ベンゾフェノン−3、3’、4’−トリカルボン酸無水物、ナフタレンー1,2、4−トリカルボン酸無水物などのトリカルボン酸無水物類が単独或いは混合物として、アミン成分としてはポリイミド同様のジアミン、或いはジイソシアネートの単独、或いは混合物があげられる。また、これら酸成分、アミン成分の組み合わせで別途重合した樹脂を混合して使用することもできる。また、上記酸成分の他に、芳香族ポリイミドに用いる原料として例示した酸成分を使用しても良い。   Raw materials used for aromatic polyamideimides include trimellitic anhydride, diphenyl ether-3, 3 ′, 4′-tricarboxylic acid anhydride, diphenylsulfone-3, 3 ′, 4′-tricarboxylic acid as acid components. Tricarboxylic acid anhydrides such as anhydride, benzophenone-3, 3 ′, 4′-tricarboxylic acid anhydride, naphthalene-1,2,4-tricarboxylic acid anhydride alone or as a mixture, and the amine component is a diamine similar to polyimide Or a diisocyanate alone or a mixture thereof. In addition, a resin separately polymerized by a combination of these acid component and amine component can be mixed and used. Moreover, you may use the acid component illustrated as a raw material used for an aromatic polyimide other than the said acid component.

特に好ましいポリイミド系樹脂は有機溶剤に可溶な芳香族ポリイミド、芳香族ポリアミドイミドで、より好ましくは下記一般式(1)又は(2)で示される構造単位を含有する芳香族ポリアミドイミドである。
構造単位中、一般式(1)の好ましい含有量は、5モル%から99モル%、より好ましくは、20モル%から90モル%、更に好ましくは、40モル%から70モル%である。一般式(1)の含有量が、5モル%未満では、金属積層体のカール(反り)や寸法精度に劣り、99モル%より多い場合は、有機溶剤の溶解性に乏しくなる為、溶液での加工性が悪くなる。
一つの好ましい構造単位は、酸成分として、無水トリメリット酸(TMA)、3、3、‘、4、4’―ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物(BTDA)、3、3、‘、4、4’―ビフェニルテトラカルボン酸二無水物(BPDA)を、アミン成分として、O−トリジン(或いはジイソシアネート)を用い、酸成分の構成比が、TMA/BTDA/BPDA=80〜50モル/5〜20モル/20〜40モルのポリアミドイミド樹脂である。
又、一般式(2)の好ましい含有量は、1モル%から99モル%、より好ましくは、10モル%から90モル%、更に好ましくは、20モル%から80モル%である。一般式(2)の含有量が1モル%未満では、金属積層体のカール(反り)や寸法精度に劣り、99モル%より多い場合は、有機溶剤の溶解性に乏しくなる為、溶液での加工性に乏しくなる。一つの好ましい構造単位は、酸成分として、無水トリメリット酸(TMA)、3、3、‘、4、4’―ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物(BTDA)、3、3、‘、4、4’―ビフェニルテトラカルボン酸二無水物(BPDA)、ピロメリット酸無水物(PMA)をアミン成分として、1、5―ナフタレンジアミン(或いはジイソシアネート)を用い、酸成分の構成比が、TMA/BTDA/BPDA/PMA=10〜40モル/20〜50モル/10〜30モル/5〜15モルのポリアミドイミド樹脂である。
また、同一ポリマー中に一般式(1)、(2)の構造を含むものであっても良いし、一般式(1)、(2)の構造を有する各ポリマーをブレンドするものであっても構わない。
Particularly preferred polyimide resins are aromatic polyimides and aromatic polyamideimides soluble in organic solvents, and more preferably aromatic polyamideimides containing structural units represented by the following general formula (1) or (2).
In the structural unit, the preferable content of the general formula (1) is 5 mol% to 99 mol%, more preferably 20 mol% to 90 mol%, and still more preferably 40 mol% to 70 mol%. If the content of the general formula (1) is less than 5 mol%, the curl (warpage) or dimensional accuracy of the metal laminate is inferior, and if it is more than 99 mol%, the solubility of the organic solvent becomes poor. The workability of becomes worse.
One preferred structural unit is trimellitic anhydride (TMA), 3, 3, '4, 4'-benzophenone tetracarboxylic dianhydride (BTDA), 3, 3,', 4, 4 as the acid component. '-Biphenyltetracarboxylic dianhydride (BPDA) is used as an amine component, O-tolidine (or diisocyanate), the composition ratio of the acid component is TMA / BTDA / BPDA = 80-50 mol / 5-20 mol / 20-40 mol polyamideimide resin.
Further, the preferable content of the general formula (2) is 1 mol% to 99 mol%, more preferably 10 mol% to 90 mol%, and still more preferably 20 mol% to 80 mol%. If the content of the general formula (2) is less than 1 mol%, the curl (warp) or dimensional accuracy of the metal laminate is inferior. If it is more than 99 mol%, the solubility of the organic solvent becomes poor. It becomes poor in workability. One preferred structural unit is trimellitic anhydride (TMA), 3, 3, '4, 4'-benzophenone tetracarboxylic dianhydride (BTDA), 3, 3,', 4, 4 as the acid component. '-Biphenyltetracarboxylic dianhydride (BPDA) and pyromellitic anhydride (PMA) are used as amine components and 1,5-naphthalenediamine (or diisocyanate) is used, and the composition ratio of the acid components is TMA / BTDA / BPDA / PMA = 10-40 mol / 20-50 mol / 10-10-30 mol / 5-15 mol polyamideimide resin.
Further, the same polymer may contain the structures of the general formulas (1) and (2), or the polymers having the structures of the general formulas (1) and (2) may be blended. I do not care.

Figure 2009061446
(式中、R5、R6は同じであっても異なっていてもよく、それぞれ、水素もしくは炭素数1〜4のアルキル基を示す。)
Figure 2009061446
(In the formula, R5 and R6 may be the same or different and each represents hydrogen or an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms.)

Figure 2009061446
Figure 2009061446

前記ポリイミド系樹脂溶液の溶媒としては、N−メチル−2ーピロリドン、N、N’−ジメチルホルムアミド、N、N’−ジメチルアセトアミド、1、3−ジメチル−2−イミダゾリジノン、テトラメチルウレア、スルホラン、ジメチルスルホオキシド、γ−ブチロラクトン、シクロヘキサノン、シクロペンタノンなどで、好ましくはN−メチル−2−ピ
ロリドンある。また、これらの一部をトルエン、キシレンなどの炭化水素系有機溶剤、ジグライム、トリグライム、テトラヒドロフラン、などのエーテル系有機溶剤、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトンなどのケトン系有機溶剤で置き換えることも可能である。
Examples of the solvent for the polyimide resin solution include N-methyl-2-pyrrolidone, N, N′-dimethylformamide, N, N′-dimethylacetamide, 1,3-dimethyl-2-imidazolidinone, tetramethylurea, sulfolane. Dimethyl sulfoxide, γ-butyrolactone, cyclohexanone, cyclopentanone, etc., preferably N-methyl-2-pyrrolidone. Some of these can be replaced with hydrocarbon organic solvents such as toluene and xylene, ether organic solvents such as diglyme, triglyme and tetrahydrofuran, and ketone organic solvents such as methyl ethyl ketone and methyl isobutyl ketone.

前記ポリイミド系樹脂の分子量は、任意のものを使用することができる。例えば、N−メチル−2−ピロリドン中、ポリマー濃度0.5g/dl、30℃での対数粘度にして0.3から2.5dl/gであることが好ましく、より好ましくは1.0〜2.0dl/gである。対数粘度が0.3dl/g未満では折り曲げ性や基材の端裂抵抗などの機械的特性が不十分であり、また、2.5dl/gより大きいと接着強度が不足し、又、溶液粘度が高くなるため、成型加工が困難となる。数平均分子量では、通常5000から100000程度、分子量分布は2.0〜5.0程度であることが好ましい。   Any molecular weight of the polyimide resin can be used. For example, in N-methyl-2-pyrrolidone, it is preferable that the logarithmic viscosity at 30 ° C. is 0.3 to 2.5 dl / g, more preferably 1.0 to 2.0 dl / g in a polymer concentration of 0.5 g / dl. It is. If the logarithmic viscosity is less than 0.3 dl / g, the mechanical properties such as bendability and resistance to end tearing of the substrate are insufficient, and if it is greater than 2.5 dl / g, the adhesive strength is insufficient, and the solution viscosity is too low. Since it becomes high, the molding process becomes difficult. The number average molecular weight is preferably about 5000 to 100,000, and the molecular weight distribution is preferably about 2.0 to 5.0.

また、本発明で用いる芳香族ポリイミド、芳香族ポリアミドイミドにおいて耐熱性や熱膨張係数を損なわない範囲で、酸成分としてアジピン酸、アゼライン酸、セバシン酸、シクロヘキサン−4,4,’−ジカルボン酸、ブタン−1,2,4−トリカルボン酸、ブタン−1,2,3,4−テトラカルボン酸、シクロペンタン−1,2、3,4−テトラカルボン酸などの脂肪族や脂環族のジカルボン酸、ポリカルボン酸、及びこれらの一無水物や二無水物、エステル化物などを、又、アミン成分として、テトラメチレンジアミン、ヘキサメチレンジアミン、イソホロンジアミン、4、4’−ジシクロヘキシルメタンジアミン、シクロヘキサン−1,4−ジアミン、ジアミノシロキサンなどの脂肪族や脂環族ジアミン或いはこれらに対応するジイソシアネートを単独あるいは2種以上の混合物として用いても良い。また、これら酸成分、アミン成分の組み合わせで別途重合した樹脂を混合して使用することもできる。   Moreover, in the range which does not impair heat resistance and a thermal expansion coefficient in the aromatic polyimide used by this invention, and aromatic polyamideimide, adipic acid, azelaic acid, sebacic acid, cyclohexane-4,4, '-dicarboxylic acid, Aliphatic and alicyclic dicarboxylic acids such as butane-1,2,4-tricarboxylic acid, butane-1,2,3,4-tetracarboxylic acid, cyclopentane-1,2,3,4-tetracarboxylic acid , Polycarboxylic acids, and their monoanhydrides, dianhydrides, esterified products, and the like, and as an amine component, tetramethylenediamine, hexamethylenediamine, isophoronediamine, 4,4′-dicyclohexylmethanediamine, cyclohexane-1 Aliphatic and alicyclic diamines such as 1,4-diamine and diaminosiloxane or dii corresponding thereto Cyanate may be used alone or in combination of two or more. In addition, a resin separately polymerized by a combination of these acid component and amine component can be mixed and used.

また、本発明においては、金属箔積層体の諸特性、たとえば、機械的特性、電気的特性、滑り性、難燃性などを改良する目的で他の樹脂や有機化合物、及び無機化合物を混合させたり、あるいは反応させて併用してもよい。たとえば、滑剤(シリカ、タルク、シリコーン等)、接着促進剤、難燃剤(リン系やトリアジン系、水酸化アルミ等)、安定剤(酸化防止剤、紫外線吸収剤、重合禁止剤等)、メッキ活性化剤、有機や無機の充填剤(タルク、酸化チタン、フッ素系ポリマー微粒子、顔料、染料、炭化カルシウム等)、その他、シリコーン化合物、フッ素化合物、イソシアネート化合物、ブロックイソシアネート化合物、アクリル樹脂、ウレタン樹脂、ポリエステル樹脂、ポリアミド樹脂、エポキシ樹脂、フェノール樹脂のような樹脂や有機化合物、或いはこれらの硬化剤、酸化珪素、酸化チタン、炭酸カルシウム、酸化鉄などの無機化合物をこの発明の目的を阻害しない範囲で併用することができる。   In the present invention, other resins, organic compounds, and inorganic compounds are mixed for the purpose of improving various properties of the metal foil laminate, such as mechanical properties, electrical properties, slipperiness, and flame retardancy. Or you may make it react and use together. For example, lubricant (silica, talc, silicone, etc.), adhesion promoter, flame retardant (phosphorus, triazine, aluminum hydroxide, etc.), stabilizer (antioxidant, UV absorber, polymerization inhibitor, etc.), plating activity Agents, organic and inorganic fillers (talc, titanium oxide, fluoropolymer fine particles, pigments, dyes, calcium carbide, etc.), silicone compounds, fluorine compounds, isocyanate compounds, blocked isocyanate compounds, acrylic resins, urethane resins, Resins such as polyester resin, polyamide resin, epoxy resin, phenol resin and organic compounds, or these curing agents, inorganic compounds such as silicon oxide, titanium oxide, calcium carbonate, iron oxide, etc. are within the range not hindering the object of the present invention. Can be used together.

(初期乾燥工程)
本発明において、金属箔に耐熱性樹脂溶液を塗布、初期乾燥(初期乾燥工程)した後、更に、熱処理・乾燥(以下、熱処理・脱溶剤工程)して、金属箔積層体を製造することが好ましく、初期乾燥後の残存溶剤量に限定はないが、例えば1重量%〜50重量%、好ましくは、10重量%〜40重量%、更に好ましくは、15重量%〜30重量%の積層体を適用できる。初期乾燥後の残存溶剤率が1%未満では、後の熱処理・脱溶剤工程後でもカール(反り)が大きく、寸法精度が悪くなる。又、50重量%より多いと、樹脂塗工面がブロッキングする為、長尺物としての歩留まりが悪くなる。残存溶剤量とは塗布、初期乾燥後の溶剤を含んだ樹脂系中の溶剤量をさし、数式(2)で表されるものである。
(Initial drying process)
In the present invention, a heat resistant resin solution is applied to a metal foil, and after initial drying (initial drying step), heat treatment and drying (hereinafter referred to as heat treatment / solvent removal step) are further performed to produce a metal foil laminate. Preferably, the amount of the residual solvent after the initial drying is not limited. For example, a laminate of 1% by weight to 50% by weight, preferably 10% by weight to 40% by weight, and more preferably 15% by weight to 30% by weight. Applicable. If the residual solvent ratio after the initial drying is less than 1%, the curl (warp) is large even after the subsequent heat treatment / desolvation step, resulting in poor dimensional accuracy. On the other hand, when the amount is more than 50% by weight, the resin coated surface is blocked, and the yield as a long product is deteriorated. The amount of residual solvent refers to the amount of solvent in the resin system including the solvent after coating and initial drying, and is represented by Equation (2).

初期乾燥は、耐熱性樹脂溶液に使用する溶媒の沸点より70℃から130℃低い温度で行うことが好ましい。乾燥温度が(溶媒の沸点−70)℃より高いと、残存溶剤量が1重量%以上にしても、樹脂層の厚み方向での残溶剤のムラが大きくなり、特に樹脂表層の残溶剤量が少なくなるため、後の熱処理・脱溶剤工程で、基材にカールが発生しやすく生産性が低下する傾向がある。又、(溶媒の沸点−130)℃より低いと乾燥時間が長くなり、生産性が低下する傾向がある。
初期乾燥の好ましい時間は、設定する温度、樹脂の厚みにより異なるが、例えば樹脂の厚みが25μm(熱処理・脱溶剤工程後の厚み)の場合で、温度が100℃であれば、1分から10分、好ましくは、3分から7分、更に好ましくは、4分から5分である。又、同じ樹脂厚みで温度が70℃であれば、3分から15分、好ましくは、5分から10分、更に好ましくは、4分から8分である。各温度において、乾燥時間が下限未満の場合、乾燥性が不十分であり、ブロッキングなどにより歩留まりが低下する。又、上限より長いと、後の熱処理・脱溶剤工程後でもカール(反り)が大きく、寸法精度が悪くなる。
The initial drying is preferably performed at a temperature 70 to 130 ° C. lower than the boiling point of the solvent used for the heat resistant resin solution. If the drying temperature is higher than (boiling point of solvent−70) ° C., even if the amount of residual solvent is 1% by weight or more, unevenness of the residual solvent in the thickness direction of the resin layer becomes large. Therefore, in the subsequent heat treatment / solvent removal step, the substrate tends to be curled and the productivity tends to decrease. On the other hand, when the temperature is lower than (boiling point of solvent−130) ° C., the drying time becomes longer and the productivity tends to decrease.
The preferred time for the initial drying varies depending on the temperature to be set and the thickness of the resin. For example, when the thickness of the resin is 25 μm (thickness after the heat treatment / solvent removal step) and the temperature is 100 ° C., 1 minute to 10 minutes It is preferably 3 minutes to 7 minutes, more preferably 4 minutes to 5 minutes. Further, when the temperature is 70 ° C. with the same resin thickness, it is 3 minutes to 15 minutes, preferably 5 minutes to 10 minutes, and more preferably 4 minutes to 8 minutes. If the drying time is less than the lower limit at each temperature, the drying property is insufficient, and the yield decreases due to blocking or the like. On the other hand, if the length is longer than the upper limit, curling (warping) is great even after the subsequent heat treatment / solvent removal step, resulting in poor dimensional accuracy.

初期乾燥方式はロールサポート方式やフローティング方式など、従来公知の方法で行うことができる。また、塗工方法としては、特に限定されるものではなく、従来からよく知られている方法を適用させることができる。ロールコーター、ナイフコーター、ドクター
ブレードコーター、グラビアコーター、ダイコーター、多層ダイコーター、リバースコーター、リバースロールコーターなどにより、塗工液の粘度を調整後、金属箔に直接塗布することができる。適性な溶液粘度としては、25℃でのB型粘度で1から1000ポイズの範囲であることが好ましい。樹脂溶液の濃度は、樹脂の分子量にもよるが、通常、5〜30重量%が好ましく、より好ましくは10〜20重量%である。
塗工幅に限定はなく、使用する銅箔の幅に合わせて設定できる。例えば、250mm〜1000mmである。
The initial drying method can be performed by a conventionally known method such as a roll support method or a floating method. Moreover, it does not specifically limit as a coating method, A conventionally well-known method can be applied. The viscosity of the coating solution can be adjusted by a roll coater, knife coater, doctor blade coater, gravure coater, die coater, multilayer die coater, reverse coater, reverse roll coater, etc., and then applied directly to the metal foil. The suitable solution viscosity is preferably in the range of 1 to 1000 poise in B-type viscosity at 25 ° C. Although the density | concentration of a resin solution is based also on the molecular weight of resin, 5-30 weight% is preferable normally, More preferably, it is 10-20 weight%.
The coating width is not limited and can be set according to the width of the copper foil to be used. For example, it is 250 mm to 1000 mm.

(熱処理・脱溶剤工程)
本発明において熱処理・脱溶剤時の雰囲気は減圧下、及び/又は不活性ガス雰囲気中で行うことが好ましい。空気中で行うと樹脂層が劣化、或いは過度に架橋し、基材のカールが大きくなったり、樹脂層の機械的特性が損なわれる。また、N−メチル−2−ピロリドンなどの有機溶剤が所定量残っている状態で空気中や酸素が存在する雰囲気で熱処理すると、樹脂層の機械的特性のみではなく、樹脂層と金属箔との接着性が低下する。好ましくは10mmHg程度以下の減圧下、或いは、1000ppm以下の不活性ガス雰囲気中である。より好ましくは、5mmHg程度以下の減圧下、或いは、100ppm以下の不活性ガス雰囲気中である。更に好ましくは、2mmHg程度以下の減圧下、或いは、50ppm以下の不活性ガス雰囲気中である。10mmHg程度の減圧下、或いは、1000ppmの不活性ガス雰囲気下より高い場合は、樹脂層が劣化し、カールが大きくなる。
(Heat treatment / solvent removal process)
In the present invention, the atmosphere during the heat treatment / desolvation is preferably performed under reduced pressure and / or in an inert gas atmosphere. When carried out in air, the resin layer is deteriorated or excessively cross-linked, and the curl of the substrate becomes large, or the mechanical properties of the resin layer are impaired. In addition, when heat treatment is performed in an air or oxygen atmosphere with a predetermined amount of an organic solvent such as N-methyl-2-pyrrolidone remaining, not only the mechanical properties of the resin layer but also the resin layer and the metal foil Adhesiveness decreases. The pressure is preferably about 10 mmHg or less, or in an inert gas atmosphere of 1000 ppm or less. More preferably, it is under a reduced pressure of about 5 mmHg or less, or in an inert gas atmosphere of 100 ppm or less. More preferably, it is under a reduced pressure of about 2 mmHg or less, or in an inert gas atmosphere of 50 ppm or less. When the pressure is lower than about 10 mmHg or under an inert gas atmosphere of 1000 ppm, the resin layer deteriorates and the curl increases.

本発明において、熱処理・脱溶剤時の温度や時間の条件は、長尺物の種類により、任意に設定できる。温度は、金属積層体樹脂面の表面温度で50℃から450℃までの処理が適しており、搬送速度は、1m/分〜100m/分程度まで、処理時間に応じて、適時変更できる。好ましい適用範囲は、200℃〜400℃、より好ましくは、250℃〜350℃で、任意の速度に設定して処理することができる。温度が、450℃を超えると窒素雰囲気下でも樹脂が劣化する傾向にあり、例えば、金属箔にポリイミド系樹脂溶液及び/又はその前駆体を塗布・初期乾燥した金属箔積層体の場合、積層体の特性、特にカール、寸法精度等が悪くなる。50℃未満では、乾燥効率が悪く生産性が低下する。
好ましい処理時間は、厳密には、積層する樹脂厚み、及び、温度により異なるが、例えば、0.5分〜100分、より好ましくは3分〜40分、更に好ましくは、5分〜30分である。熱処理時間が0.5分未満では、乾燥性が悪く、又、カール(反り)、熱寸法精度、吸湿特性、及び、接着強度、及びその信頼性が低下する。熱処理時間が、100分より長い場合、樹脂の熱分解等の影響で、基材フィルム層の機械的特性が低下する。本発明で加熱の方式は、遠赤外線ヒーターを用いる。遠赤外線ヒーターの種類としては、特に限定はなく、電気式や、蒸気、熱媒油を熱源とするスチーム式、オイル式、ガスの燃焼熱を熱源とするガス式などが使用できる。波長域は、特に限定はなく、遠赤外域(5μm〜1000μm)の範囲であるが、近赤外線及び/又は赤外線との併用も好ましく用いることができる。特に、乾燥効率、寸法精度等の観点から、近赤外線(例えば、2μmから20μm)との併用での処理も好ましい。又、乾燥炉としては、従来公知の熱風循環式の加熱路、電気炉、IRヒーター、真空路等を併用しても構わない。
ヒーターから加熱体(金属積層体)までの距離(照射距離)は、特に限定はなく、金属積層体の表面温度が前記の温度になれば良い。例えば、5mm〜1000mmである。ヒーター位置は金属積層体の上面及び/又は下面のいずれでも構わない。又、電力も特に限定はないが、通常は1000〜10kwである。
なお、使用する樹脂がポリイミドの場合、イミド化処理が必要となる場合があるが、特に、加熱方法がかわる訳ではない。初期乾燥後、前述の内容で熱処理・脱溶剤することで、ポリイミド化できる。但し、ポリイミド前駆体の場合、閉環体(可溶性ポリイミドやポリアミドイミド)に比べ、熱分解し易く、熱寸法精度、耐熱性という観点から、遠赤外線での処理を行う前段階で、熱風循環式の加熱炉や、電気炉、IRヒーター等で加熱処理することが好ましい。
In the present invention, the temperature and time conditions during the heat treatment and solvent removal can be arbitrarily set depending on the type of the long object. The temperature is a surface temperature of the metal laminate resin surface, and a treatment from 50 ° C. to 450 ° C. is suitable, and the conveyance speed can be changed from 1 m / min to 100 m / min in accordance with the treatment time. A preferable application range is 200 ° C. to 400 ° C., more preferably 250 ° C. to 350 ° C., and an arbitrary speed can be set for the treatment. When the temperature exceeds 450 ° C., the resin tends to deteriorate even in a nitrogen atmosphere. For example, in the case of a metal foil laminate in which a polyimide resin solution and / or its precursor is applied to a metal foil and initially dried, the laminate Characteristics, especially curl, dimensional accuracy, etc. are deteriorated. If it is less than 50 degreeC, drying efficiency is bad and productivity falls.
Strictly speaking, the preferred treatment time varies depending on the thickness of the laminated resin and the temperature, but for example, 0.5 minutes to 100 minutes, more preferably 3 minutes to 40 minutes, and even more preferably 5 minutes to 30 minutes. is there. When the heat treatment time is less than 0.5 minutes, the drying property is poor, and curling (warping), thermal dimensional accuracy, moisture absorption characteristics, adhesive strength, and reliability thereof are lowered. When the heat treatment time is longer than 100 minutes, the mechanical properties of the base film layer are deteriorated due to the thermal decomposition of the resin. In the present invention, a far infrared heater is used as the heating method. The type of the far infrared heater is not particularly limited, and an electric type, a steam type using steam or heat transfer oil as a heat source, an oil type, or a gas type using gas combustion heat as a heat source can be used. The wavelength range is not particularly limited and is in the far infrared range (5 μm to 1000 μm), but near infrared and / or infrared radiation can also be preferably used. In particular, from the viewpoint of drying efficiency, dimensional accuracy, and the like, treatment with a combination of near infrared rays (for example, 2 to 20 μm) is also preferable. As the drying furnace, a conventionally known hot air circulation heating path, electric furnace, IR heater, vacuum path, or the like may be used in combination.
The distance (irradiation distance) from the heater to the heating body (metal laminate) is not particularly limited as long as the surface temperature of the metal laminate becomes the above temperature. For example, it is 5 mm to 1000 mm. The heater position may be on the upper surface and / or the lower surface of the metal laminate. The power is not particularly limited, but is usually 1000 to 10 kW.
In addition, when the resin to be used is polyimide, imidation treatment may be necessary, but the heating method is not particularly changed. Polyimide can be formed by heat treatment and solvent removal as described above after the initial drying. However, in the case of a polyimide precursor, compared with a closed ring (soluble polyimide or polyamideimide), it is easier to thermally decompose, and from the viewpoint of thermal dimensional accuracy and heat resistance, in the stage before performing the treatment with far infrared rays, It is preferable to heat-process with a heating furnace, an electric furnace, IR heater, etc.

本発明において、金属箔に積層する基材樹脂は、2層以上の積層構成とすることもできる。樹脂組成物としては、前記の芳香族ポリイミド、芳香族ポリアミドイミド等が好ましく、より好ましくは、一般式(1)又は一般式(2)の繰り返し単位を含むポリアミドイミドである。例えば、金属箔に接する1層目を一般式(2)を含む組成物とし、更に、その上に積層する2層目を一般式(1)を含む組成物とすることもできる。各一般式構造単位中、好ましい含有量は、一般式(1)の場合、5モル%から99モル%、より好ましくは、20モル%から90モル%、更に好ましくは、40モル%から70モル%である。一般式(1)の含有量が、5モル%未満では、金属積層体のカール(反り)や寸法精度に劣り、99モル%より多いと、有機溶剤の溶解性に乏しくなる為、溶液での加工性が悪くなる。一つの好ましい構造単位は、酸成分として、無水トリメリット酸(TMA)、3、3、‘、4、4’―ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物(BTDA)、3、3、‘、4、4’―ビフェニルテトラカルボン酸二無水物(BPDA)を、アミン成分として、O−トリジン(或いはジイソシアネート)を用い、酸成分の構成比が、TMA/BTDA/BPDA=80〜50モル/5〜20モル/20〜40モルのポリアミドイミド樹脂である。
又、一般式(2)の好ましい含有量は、1モル%から99モル%、より好ましくは、10モル%から90モル%、更に好ましくは、20モル%から80モル%である。一般式(2)の含有量が1モル%未満では、金属積層体のカール(反り)や寸法精度に劣り、99モル%より多いと、有機溶剤の溶解性に乏しくなる為、溶液での加工性が悪くなる。一つの好ましい構造単位は、酸成分として、無水トリメリット酸(TMA)、3、3、‘、4、4’―ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物(BTDA)、3、3、‘、4、4’―ビフェニルテトラカルボン酸二無水物(BPDA)、ピロメリット酸無水物(PMA)を、アミン成分として、1、5―ナフタレンジアミン(或いはジイソシアネート)を用い、酸成分の構成比が、TMA/BTDA/BPDA/PMA=10〜40モル/20〜50モル/10〜20モル/5〜15モルのポリアミドイミド樹脂である。当然、これらは、混合して使用することもできる。
一般式(1)の繰り返し単位を含むポリアミドイミド層と一般式(2)の繰り返し単位を含むポリアミドイミド層の厚み比は、好ましくは、一般式(1)/一般式(2)=1〜100μm/1μm〜100μm、好ましくは、一般式(1)/一般式(2)=10〜
50μm/5μm〜50μm、更に好ましくは、一般式(1)/一般式(2)=20〜
30μm/10μm〜30μm、である。一般式(2)の厚みが1μm未満では、接着強度、及びその信頼性が低下し、100μmより厚いと、吸湿特性が悪くなる。又、一般式(1)の厚みが、1μm未満では、吸湿特性、寸法精度が低下し、100μmより厚いと、カール(反り)という面で不利になる。また、例えば、金属箔に接する1層目を一般式(1)の繰り返し単位を含むポリアミドイミドとし、更に、その上に積層する2層目を一般式(2)の繰り返し単位を含むポリアミドイミドとすることもできる。
In the present invention, the base resin laminated on the metal foil may have a laminated structure of two or more layers. As the resin composition, the above-mentioned aromatic polyimide, aromatic polyamideimide and the like are preferable, and polyamideimide containing a repeating unit of the general formula (1) or the general formula (2) is more preferable. For example, the first layer in contact with the metal foil may be a composition containing the general formula (2), and the second layer laminated thereon may be a composition containing the general formula (1). In the general formula structural unit, the preferable content is 5 mol% to 99 mol%, more preferably 20 mol% to 90 mol%, and still more preferably 40 mol% to 70 mol in the case of the general formula (1). %. If the content of the general formula (1) is less than 5 mol%, the curl (warpage) and dimensional accuracy of the metal laminate is inferior, and if it is more than 99 mol%, the solubility of the organic solvent becomes poor. Workability deteriorates. One preferred structural unit is trimellitic anhydride (TMA), 3, 3, '4, 4'-benzophenone tetracarboxylic dianhydride (BTDA), 3, 3,', 4, 4 as the acid component. '-Biphenyltetracarboxylic dianhydride (BPDA) is used as an amine component, O-tolidine (or diisocyanate), the composition ratio of the acid component is TMA / BTDA / BPDA = 80-50 mol / 5-20 mol / 20-40 mol polyamideimide resin.
Further, the preferable content of the general formula (2) is 1 mol% to 99 mol%, more preferably 10 mol% to 90 mol%, and still more preferably 20 mol% to 80 mol%. When the content of the general formula (2) is less than 1 mol%, the metal laminate is inferior in curl (warp) and dimensional accuracy, and when it exceeds 99 mol%, the solubility of the organic solvent becomes poor. Sexuality gets worse. One preferred structural unit is trimellitic anhydride (TMA), 3, 3, '4, 4'-benzophenone tetracarboxylic dianhydride (BTDA), 3, 3,', 4, 4 as the acid component. '-Biphenyltetracarboxylic dianhydride (BPDA), pyromellitic anhydride (PMA) is used as the amine component, and 1,5-naphthalenediamine (or diisocyanate) as the amine component, and the composition ratio of the acid component is TMA / BTDA / BPDA / PMA = 10-40 mol / 20-50 mol / 10-10 mol / 5-15 mol polyamideimide resin. Of course, these can also be mixed and used.
The thickness ratio of the polyamideimide layer containing the repeating unit of the general formula (1) and the polyamideimide layer containing the repeating unit of the general formula (2) is preferably general formula (1) / general formula (2) = 1 to 100 μm. / 1 μm to 100 μm, preferably, general formula (1) / general formula (2) = 10
50 μm / 5 μm to 50 μm, more preferably, general formula (1) / general formula (2) = 20˜
30 μm / 10 μm to 30 μm. When the thickness of the general formula (2) is less than 1 μm, the adhesive strength and its reliability are lowered, and when it is thicker than 100 μm, the moisture absorption property is deteriorated. Further, if the thickness of the general formula (1) is less than 1 μm, the moisture absorption characteristics and dimensional accuracy are deteriorated, and if it is more than 100 μm, it is disadvantageous in terms of curling (warping). For example, the first layer in contact with the metal foil is a polyamideimide containing a repeating unit of the general formula (1), and the second layer laminated thereon is a polyamideimide containing a repeating unit of the general formula (2) You can also

2層以上を積層する方法としては、第1層目を塗工し、初期乾燥後、第2層目を塗工、初期乾燥、熱処理・脱溶剤して製造できる。又、第1層目を塗工し、初期乾燥、熱処理・脱溶剤した後に、第2層目を塗工し、初期乾燥、熱処理・脱溶剤して製造することもできる。更に、第1層目を塗工した後に、第2層目を塗工、或いは、第1層目と第2層目を同時塗工し、初期乾燥、熱処理・脱溶剤して製造することもできる。   As a method of laminating two or more layers, the first layer can be applied, and after the initial drying, the second layer can be applied, initial drying, heat treatment and desolvation. Alternatively, the first layer may be coated, initially dried, heat-treated / desolvent, and then the second layer may be coated, initially dried, heat-treated / desolved. Furthermore, after the first layer is applied, the second layer may be applied, or the first layer and the second layer may be applied simultaneously, followed by initial drying, heat treatment and solvent removal. it can.

本発明における遠赤外方式の加熱炉で熱処理、乾燥する方式においては、乾燥効率が高く、又、乾燥速度や、厚み方向での乾燥効率も一定とすることができる。又、例えば、金属箔積層体の場合、残存溶剤率、カール、寸法変化率の他、接着強度、塗布した樹脂の機械的特性、吸湿特性などの物理的特性などに関して、均一で良好なものを得ることができる。特に、本願の長尺物が金属箔にポリイミド系樹脂溶液、及び/又はその前駆体を塗布・初期乾燥した金属箔積層体の場合、接着強度やその信頼性、吸湿特性などの特性が、従来の一般的な乾燥方式、乾燥条件で得られるものに比べ、大幅に改良される。これは、遠赤外加熱方式により達成される特異な挙動である。   In the method of heat treatment and drying in the far-infrared heating furnace in the present invention, the drying efficiency is high, and the drying speed and the drying efficiency in the thickness direction can be made constant. For example, in the case of a metal foil laminate, in addition to the residual solvent rate, curl, dimensional change rate, the adhesive strength, mechanical properties of the applied resin, physical properties such as moisture absorption properties, etc. should be uniform and good. Obtainable. In particular, when the long product of the present application is a metal foil laminate in which a polyimide resin solution and / or a precursor thereof is applied to a metal foil and initially dried, characteristics such as adhesive strength, reliability, and moisture absorption characteristics are conventionally known. Compared to the general drying method and those obtained under the drying conditions, it is greatly improved. This is a unique behavior achieved by the far-infrared heating method.

本発明において熱処理・脱溶剤時の長尺物の搬送方式は、ロールtoロール方式の連続搬送が好ましく、ロールサポート方式、フローティング方式等従来公知の方式を適用できるが、特に好ましい方式は、千鳥搬送方式である。千鳥搬送方式とは、図―1に示す様に、一定間隔に配置されたサポートロール間を、図―1のごとく、千鳥状に、長尺物の上面、下面が、互い違いにロールに接触させて搬送させる方式である。なお、ロールサポート方式とは、長尺物の上面のみ、又は下面のみに、ロールが接触するような形で搬送させる方式のことである。千鳥搬送方式により、TD方向(長手と垂直方向)に、定長に長尺物を搬送することができ、TD方向のカール(反り)、寸法精度を低減することができる。但し、通常は樹脂塗工面がロールに接する搬送となる為、ブロッキング等が生じ搬送できないが、本発明においては、遠赤外の熱源、場合により、近赤外と遠赤外との併用で該搬送が可能になる。
好ましいロールピッチは50mm以上、10000mm以下、より好ましくは、100mm以上5000mm以下、更に好ましくは、200mm以上1000mm以下で良好な傾向にあるが特に限定はない。ロールピッチが10000mmを超えると、長尺物によっては、カールが大きくなり、50mm未満では搬送性に劣り、生産性が低下する傾向にある。又、カールも大きくなる。ロール間の高低差も特に限定はないが、0mm以上10000mm以下、好ましくは、10mm以上5000mm以下、より好ましくは、100mm以上1000mm以下で良好な傾向にあるが、特に限定はない。10000mm以上では、長尺物の種類によってはカールが大きくなり、生産性が低下する傾向にある。
ロール直径の好ましい範囲は、厳密にはピッチにより異なるが、φ5mm〜φ500mm、より好ましくは、φ10mm〜φ100mm、更に好ましくは、φ20mm〜φ60mmである。φ5mm未満では、ロールピッチをかなり狭くしないとカール(反り)性に劣り、又、φ500mmより大きいと、設備が大きくなり、実質的に本発明の目的である生産性、効率性とは趣旨が異なってくる。又、ロール材質も特に限定はないが、より熱膨張の少ないSUS等が使用できる。
In the present invention, the continuous conveyance method of a long object at the time of heat treatment / solvent removal is preferably a roll-to-roll continuous conveyance, and a conventionally known method such as a roll support method or a floating method can be applied. It is a method. As shown in Fig. 1, the staggered transport system is a staggered arrangement of support rolls arranged at regular intervals, as shown in Fig. 1, with the upper and lower surfaces of the long object in contact with the rolls alternately. This is a method of conveying. The roll support method is a method in which the roll is conveyed in such a manner that the roll contacts only the upper surface or only the lower surface of the long object. By the staggered conveyance method, a long object can be conveyed in a fixed length in the TD direction (longitudinal direction and vertical direction), and curling (warping) and dimensional accuracy in the TD direction can be reduced. However, since the resin coated surface is usually conveyed in contact with the roll, blocking or the like occurs and cannot be conveyed, but in the present invention, the far infrared heat source, and in some cases, the combination of near infrared and far infrared Can be transported.
A preferable roll pitch is 50 mm or more and 10,000 mm or less, more preferably 100 mm or more and 5000 mm or less, and further preferably 200 mm or more and 1000 mm or less, but there is no particular limitation. When the roll pitch exceeds 10,000 mm, the curl becomes large depending on the long object. When the roll pitch is less than 50 mm, the transportability is inferior and the productivity tends to decrease. Also, the curl increases. There is no particular limitation on the height difference between rolls, but there is no particular limitation, although it tends to be good at 0 mm or more and 10,000 mm or less, preferably 10 mm or more and 5000 mm or less, and more preferably 100 mm or more and 1000 mm or less. If it is 10,000 mm or more, the curl becomes large depending on the type of the long object, and the productivity tends to be lowered.
Strictly speaking, the preferable range of the roll diameter is φ5 mm to φ500 mm, more preferably φ10 mm to φ100 mm, and still more preferably φ20 mm to φ60 mm, although it varies depending on the pitch. If the roll pitch is less than φ5 mm, the curl (warp) property is inferior unless the roll pitch is considerably narrowed, and if the roll pitch is larger than φ500 mm, the equipment becomes large, which is substantially different from the productivity and efficiency that are the objects of the present invention. Come. The material of the roll is not particularly limited, but SUS or the like with less thermal expansion can be used.

以下、実施例により、この発明をさらに詳しく説明する。なお、本発明は実施例により、特に制限されるものではない。各実施例における特性値の評価方法は以下の通りである。   Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to examples. The present invention is not particularly limited by the examples. The evaluation method of the characteristic value in each example is as follows.

対数粘度
ポリマー濃度が0.5g/dlとなるようにN−メチル−2−ピロリドンに溶解し、その溶液の溶液粘度及び溶媒粘度を30℃で、ウベローゼ型の粘度管により測定して、下記の式で計算した。
Logarithmic viscosity Dissolved in N-methyl-2-pyrrolidone so that the polymer concentration is 0.5 g / dl. The solution viscosity and solvent viscosity of the solution were measured at 30 ° C. using an Ubellose type viscosity tube. Calculated with the formula.

Figure 2009061446
Figure 2009061446

ガラス転移点、熱膨張係数
TMA(熱機械分析/理学(株)製)引張荷重法により本発明のフレキシブル金属積層体の金属箔をエッチング除去した樹脂フィルム層のガラス転移点を以下の条件で測定した。なおフィルムは、窒素中、昇温速度10℃/分で、一旦、250℃まで昇温し、その後室温まで冷却したフィルムについて測定を行った。熱膨張係数は100℃から200℃までの平均値とした。
荷重:1g
サンプルサイズ:4(幅)×20(長さ)mm
昇温速度:10℃/分
雰囲気:窒素
Glass transition point, coefficient of thermal expansion The glass transition point of the resin film layer obtained by etching away the metal foil of the flexible metal laminate of the present invention by TMA (Thermal Mechanical Analysis / manufactured by Rigaku Corporation) tensile load method was measured under the following conditions. did. The film was measured for a film that was once heated to 250 ° C. and then cooled to room temperature in nitrogen at a heating rate of 10 ° C./min. The thermal expansion coefficient was an average value from 100 ° C to 200 ° C.
Load: 1g
Sample size: 4 (width) x 20 (length) mm
Temperature increase rate: 10 ° C / min Atmosphere: Nitrogen

残存溶剤率
JIS K5400により、250℃×1hrの乾燥条件で以下の式より計算した。
Residual solvent ratio JIS K5400 was calculated from the following equation under the drying conditions of 250 ° C. × 1 hr.

Figure 2009061446
Figure 2009061446

基板のカール
25℃、65%RHにて24時間調湿したサンプル(サンプルサイズ100mm×100mm)について、金属張積層板のカールの反り率をJIS C6481より求めた。
Curling of the substrate The curling rate of the curl of the metal-clad laminate was determined from JIS C6481 for a sample (sample size 100 mm × 100 mm) conditioned for 24 hours at 25 ° C. and 65% RH.

半田耐熱
[半田耐熱性(常態)]
金属張積層体の金属箔をサブトラクティブ法によりエッチング加工し、(35%塩化第二鉄溶液)幅1mmの回路パターン(回路間幅5mmで複数パターン)を作成したサンプルを25℃、65%(湿度)で24時間調湿しフラックス洗浄した後、20秒間、320℃の噴流半田浴に浸漬し、顕微鏡で剥がれや膨れの有無を観察した。○は剥がれや膨れのないこと、×は剥がれや膨れが発生したことを示す。
[半田耐熱性(加湿処理後)]
金属張積層体の金属箔をサブトラクティブ法によりエッチング加工し、(35%塩化第二鉄溶液)幅1mmの回路パターン(回路間幅5mmで複数パターン)を作成したサンプルを40℃、90%(湿度)で24時間調湿しフラックス洗浄した後、20秒間、320℃の噴流半田浴に浸漬し、顕微鏡で剥がれや膨れの有無を観察した。○は剥がれや膨れのないこと、×は剥がれや膨れが発生したことを示す。
Solder heat resistance [Solder heat resistance (normal)]
A metal foil of a metal-clad laminate was etched by a subtractive method to produce a (35% ferric chloride solution) 1 mm wide circuit pattern (multiple patterns with a circuit width of 5 mm) at 25 ° C. and 65% ( The humidity was adjusted for 24 hours and the flux was washed, and then immersed in a jet solder bath at 320 ° C. for 20 seconds, and the presence or absence of peeling or swelling was observed with a microscope. ○ indicates that there is no peeling or swelling, and × indicates that peeling or swelling has occurred.
[Solder heat resistance (after humidification)]
A metal foil of a metal-clad laminate was etched by a subtractive method to produce a (35% ferric chloride solution) 1 mm wide circuit pattern (multiple patterns with a circuit width of 5 mm) at 40 ° C. and 90% ( The humidity was adjusted for 24 hours and the flux was washed, and then immersed in a jet solder bath at 320 ° C. for 20 seconds, and the presence or absence of peeling or swelling was observed with a microscope. ○ indicates that there is no peeling or swelling, and × indicates that peeling or swelling has occurred.

寸法変化率
IPC−FC241でB法(エッチング前後)とC法(150℃×30分熱処理前後)で、MD方向、TD方向について測定した。
Dimensional change rate Measured in the MD direction and TD direction by IPC-FC241 using the B method (before and after etching) and the C method (before and after heat treatment at 150 ° C. for 30 minutes).

[接着強度]
IPC−FC241(IPC−TM−650,2.4.9(A))に従い、サブトラクティブ法により回路パターン(回路幅1.2mm)を作成したサンプルを用いて、回路パターンと耐熱性樹脂層との接着強度を測定した。サンプルは常態及び、熱風循環方式の乾燥機にて空気雰囲気下、200℃で10日間熱処理した2種類について測定した。
[Adhesive strength]
In accordance with IPC-FC241 (IPC-TM-650, 2.4.9 (A)), a circuit pattern (heat-resistant resin layer) and a circuit pattern (circuit width 1.2 mm) were prepared by a subtractive method. The adhesive strength of was measured. The samples were measured for two types of samples which were heat-treated at 200 ° C. for 10 days in a normal condition and a hot-air circulating drier.

[吸湿率]
長さ及び幅が50±1mmの樹脂フィルムを以下の方法で測定した。(尚、サンプルの切断面が粗い場合は、JIS R 6252に規定のP240以上の研磨紙で平滑に仕上げた)。測定には5枚の試料を用いた。
(1)50±2℃に保った恒温槽中で試料を24時間放置する。
(2)試料が互いに接触しない様に、25℃、90%RHの条件で24時間静置する(試料表面の塵は羽毛又は毛筆で払う)。
(3)試料を秤量瓶に移し変え蓋で素早く密栓し、デシケータ中室温で1時間程度放置す
る。
(4)秤量瓶と試料の合計重量を測定し(W1とする)、次にそこから試料を素早く取り出して秤量瓶のみの重量(W0)を測定する。(もしくは、秤量瓶のみをデシケータ中に1時間以上放置しあらかじめその重量(W0)を測定しておく)
(5)秤量瓶の中の試料を、100±5℃に保った恒温機中で1時間乾燥する。
(6)試料を秤量瓶に移し変え蓋で素早く密栓し、デシケータ中室温で1時間程度放置する。
(7)秤量瓶と試料の合計重量を測定し(W3とする)、次にそこから素早く試料を取り出して秤量瓶のみの重量(W4)を測定する。(もしくは、秤量瓶のみをデシケータ中に1時間以上放置しあらかじめその重量(W4)を測定しておく)
(8)次の式によって吸湿率WA(%)を算出する。
WA=[{(W1−W0)−(W3−W4)}/(W1−W0)]×100
[Hygroscopic rate]
A resin film having a length and a width of 50 ± 1 mm was measured by the following method. (If the cut surface of the sample is rough, it was finished smoothly with abrasive paper of P240 or higher as defined in JIS R 6252). Five samples were used for the measurement.
(1) The sample is allowed to stand for 24 hours in a thermostat kept at 50 ± 2 ° C.
(2) Leave the sample for 24 hours under the conditions of 25 ° C. and 90% RH so that the samples do not come into contact with each other (use the feather or brush to remove dust on the sample surface).
(3) Transfer the sample to a weighing bottle, seal it quickly with a lid, and leave it in a desiccator for about 1 hour at room temperature.
(4) The total weight of the weighing bottle and the sample is measured (W1), and then the sample is quickly taken out and the weight (W0) of only the weighing bottle is measured. (Or just leave the weighing bottle in the desiccator for more than 1 hour and measure its weight (W0) in advance)
(5) The sample in the weighing bottle is dried for 1 hour in a thermostat kept at 100 ± 5 ° C.
(6) Transfer the sample to a weighing bottle, seal it quickly with a lid, and leave it in a desiccator at room temperature for about 1 hour.
(7) The total weight of the weighing bottle and the sample is measured (referred to as W3), and then the sample is quickly taken out therefrom and the weight (W4) of only the weighing bottle is measured. (Or just leave the weighing bottle in the desiccator for 1 hour or more and measure its weight (W4) in advance)
(8) The moisture absorption rate WA (%) is calculated by the following formula.
WA = [{(W1-W0)-(W3-W4)} / (W1-W0)] × 100

合成例1 樹脂Aの合成
反応容器に無水トリメリット酸153.7g(80モル%)、3、3’、4、4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物40.3g(12.5モル%)、3、3’、4、4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物22.1g(7.5モル%)、O−トリジンジイソシアネート264.3g(100モル%)、ジアザビシクロウンデセン1.0g、及びN−メチルー2―ピロリドン(純度99.9%)2500gを加え、窒素気流下、100℃まで昇温し、100℃で5時間反応させた。次いで、N−メチルー2―ピロリドン1031g(ポリマー濃度10重量%)を加え、室温まで冷却した。得られたポリマーの対数粘度は、1.4であり、25℃での溶液粘度(B型粘度計にて10回転で測定)は250ポイズであった。
Synthesis Example 1 Trimellitic anhydride 153.7 g (80 mol%), 3, 3 ′, 4, 4′-benzophenone tetracarboxylic dianhydride 40.3 g (12.5 mol%) in resin A synthesis reaction vessel 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride 22.1 g (7.5 mol%), O-tolidine diisocyanate 264.3 g (100 mol%), diazabicycloundecene 1.0 g , And 2500 g of N-methyl-2-pyrrolidone (purity 99.9%) were added, the temperature was raised to 100 ° C. under a nitrogen stream, and the mixture was reacted at 100 ° C. for 5 hours. Next, 1031 g of N-methyl-2-pyrrolidone (polymer concentration: 10% by weight) was added and cooled to room temperature. The logarithmic viscosity of the obtained polymer was 1.4, and the solution viscosity at 25 ° C. (measured at 10 revolutions with a B-type viscometer) was 250 poise.

合成例2 樹脂Bの合成
反応容器に無水トリメリット酸38.4g(20モル%)、3、3’、4、4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物128.9g(40モル%)、3、3’、4、4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物58.8g(20モル%)、ピロメリット酸二無水物21.8g(10モル%)、1,5−ナフタレンジイソシアネート210.2g(100モル%)、ジアザビシクロウンデセン1.5g、及び、N−メチル−2−ピロリドン2500gを加え、100℃まで1hrで昇温し、さらに100℃で5hr反応させた。次いで、NMP840g(ポリマー濃度10重量%)を加え、室温まで冷却した。得られたポリマーの対数粘度は、1.2であり、25℃での溶液粘度(B型粘度粘度計にて10回転で測定)は180ポイズであった。
Synthesis Example 2 Synthesis of Resin B Trimellitic anhydride 38.4 g (20 mol%), 3, 3 ′, 4, 4′-benzophenone tetracarboxylic dianhydride 128.9 g (40 mol%), 3 in a reaction vessel 3 ', 4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride 58.8 g (20 mol%), pyromellitic dianhydride 21.8 g (10 mol%), 1,5-naphthalene diisocyanate 210.2 g ( 100 mol%), 1.5 g of diazabicycloundecene and 2500 g of N-methyl-2-pyrrolidone were added, the temperature was raised to 100 ° C. over 1 hr, and the mixture was further reacted at 100 ° C. for 5 hr. Next, 840 g of NMP (polymer concentration 10% by weight) was added and cooled to room temperature. The logarithmic viscosity of the obtained polymer was 1.2, and the solution viscosity at 25 ° C. (measured at 10 revolutions with a B-type viscometer) was 180 poise.

合成例3 樹脂Cの合成
反応容器に無水トリメリット酸115.3g(60モル%)、3、3’、4、4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物32.2g(10モル%)、3、3’、4、4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物88.3g(30モル%)、O−トリジンジイソシアネート264.3g(100モル%)、ジアザビシクロウンデセン1.0g、及びN−メチルー2―ピロリドン(純度99.9%)2500gを加え、窒素気流下、100℃まで昇温し、100℃で5時間反応させた。次いで、N−メチルー2―ピロリドン1200g(ポリマー濃度10重量%)を加え、室温まで冷却した。得られたポリマーの対数粘度は、1.6であり、25℃での溶液粘度(B型粘度計にて10回転で測定)は330ポイズであった。
Synthesis Example 3 Trimellitic anhydride 115.3 g (60 mol%), 3, 3 ′, 4, 4′-benzophenone tetracarboxylic dianhydride 32.2 g (10 mol%), 3 3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride 88.3 g (30 mol%), O-tolidine diisocyanate 264.3 g (100 mol%), diazabicycloundecene 1.0 g, and N— 2500 g of methyl-2-pyrrolidone (purity 99.9%) was added, the temperature was raised to 100 ° C. under a nitrogen stream, and the mixture was reacted at 100 ° C. for 5 hours. Next, 1200 g of N-methyl-2-pyrrolidone (polymer concentration 10% by weight) was added, and the mixture was cooled to room temperature. The logarithmic viscosity of the obtained polymer was 1.6, and the solution viscosity at 25 ° C. (measured at 10 revolutions with a B-type viscometer) was 330 poise.

合成例4 樹脂Dの合成
反応容器にp−フェニレンジアミン43g(50モル%)、N−メチル−2−ピロリドン3200g、4,4’−ジアミノジフェニルエーテル80g(50モル%)を加え、5℃まで冷却後、攪拌し溶解した。次いで、3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物236g(三菱化学(株)製)を除々に加え、5℃で2時間反応させた(ポリマー濃度10%)。次いで、2−ヒドロキシピリジン1g(モノマーに対し2モル%;ナカライテスク(株)製)を加え1時間反応させた。得られた重合ドープは淡黄褐色透明でポリマーはNMPに溶解していた。対数粘度は1.9dl/gであった。
Synthesis Example 4 Synthesis of resin D 43 g (50 mol%) of p-phenylenediamine, 3200 g of N-methyl-2-pyrrolidone, and 80 g (50 mol%) of 4,4′-diaminodiphenyl ether were added and cooled to 5 ° C. Then, it stirred and melt | dissolved. Next, 236 g of 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride (manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation) was gradually added and reacted at 5 ° C. for 2 hours (polymer concentration 10%). Subsequently, 1 g of 2-hydroxypyridine (2 mol% with respect to the monomer; manufactured by Nacalai Tesque) was added and reacted for 1 hour. The obtained polymer dope was light yellowish brown and transparent, and the polymer was dissolved in NMP. The logarithmic viscosity was 1.9 dl / g.

実施例1
合成例1、2で得られた樹脂溶液を、それぞれ厚み18μm、巾540mmの電解銅箔(日本電解(株)製USLP−SE−18)の処理面にダイコーターを用いて、脱溶剤後の厚みが25μmになるように連続的にコーテイングした。次いで、100℃に設定された長さ20mのフローテイング方式の乾燥炉に、5m/分の速度で連続的に通過させ巻き取った。得られた金属積層板の残存溶剤率は25重量%であった。
このようにして得られた金属張積層体を、ロールサポート方式(ロールピッチ200mm、ロール系50mmΦ)の波長5.6〜1000μの遠赤外方式((株)ノリタケエンジニアリング製RtoR式熱処理装置熱)の加熱炉内を連続的に搬送させた。N2流量500L/分、酸素濃度100ppm、遠赤外プレートヒーター上面、下面配置、照射距離100mm、容量225kW、ヒーター寸法150mm×700mmとし、加熱炉内の温度は300℃(金属積層体表面温度)として、搬送速度は乾燥時間が10分になるようにした。得られた金属張積層体の塗膜中の溶剤は完全に除去されており、特性は表1、2に示すごときものであった。
Example 1
The resin solutions obtained in Synthesis Examples 1 and 2 were subjected to solvent removal using a die coater on a treated surface of an electrolytic copper foil (USLP-SE-18 manufactured by Nihon Electrolysis Co., Ltd.) having a thickness of 18 μm and a width of 540 mm, respectively. Coating was continuously performed so that the thickness was 25 μm. Subsequently, the film was continuously passed through a 20 m long floating drying oven set at 100 ° C. at a speed of 5 m / min and wound up. The residual solvent ratio of the obtained metal laminate was 25% by weight.
The metal-clad laminate thus obtained was subjected to a roll support system (roll pitch 200 mm, roll system 50 mmΦ) wavelength 5.6 to 1000 μm far infrared system (RtoR heat treatment apparatus heat manufactured by Noritake Engineering Co., Ltd.). The inside of the heating furnace was continuously conveyed. N2 flow rate 500L / min, oxygen concentration 100ppm, far infrared plate heater upper surface, lower surface arrangement, irradiation distance 100mm, capacity 225kW, heater dimensions 150mm x 700mm, temperature in heating furnace is 300 ° C (metal laminate surface temperature) The conveying speed was such that the drying time was 10 minutes. The solvent in the coating film of the obtained metal-clad laminate was completely removed, and the characteristics were as shown in Tables 1 and 2.

実施例2
合成例1、2で得られた樹脂溶液を、それぞれ厚み18μm、巾540mmの電解銅箔(古河サーキットフォイル(株)製F2−WS)の処理面にダイコーターを用いて、脱溶剤後の厚みが25μmになるように連続的にコーテイングした。次いで、100℃に設定された長さ20mのフローテイング方式の乾燥炉に、3m/分の速度で連続的に通過させ巻き取った。得られた金属積層板の残存溶剤率は12重量%であった。
このようにして得られた長尺物を遠赤外方式の加熱炉内に配置された、図1に示す様なロール間(ロールピッチ200mm、ロール系50mmΦ、ロール間高低差300mm)を千鳥状に搬送させた。加熱炉内の温度は300℃(金属積層体表面温度)、酸素濃度は100ppmとし、搬送速度は乾燥時間が10分になるようにした。その他の条件は、実施例1と同様にした。得られた金属張積層体の塗膜中の溶剤は完全に除去されており、特性は表1、2に示すごときものであった。
Example 2
Using the die coater on the treated surface of the electrolytic copper foil (F2-WS manufactured by Furukawa Circuit Foil Co., Ltd.) having a thickness of 18 μm and a width of 540 mm, respectively, the resin solutions obtained in Synthesis Examples 1 and 2 were removed. Was continuously coated to a thickness of 25 μm. Next, the film was continuously passed through a 20 m long flotation type drying furnace set at 100 ° C. at a speed of 3 m / min. The residual solvent ratio of the obtained metal laminate was 12% by weight.
The long product thus obtained is placed in a far-infrared heating furnace, and between the rolls as shown in FIG. 1 (roll pitch 200 mm, roll system 50 mmΦ, height difference between rolls 300 mm) is staggered. It was conveyed to. The temperature in the heating furnace was 300 ° C. (metal laminate surface temperature), the oxygen concentration was 100 ppm, and the conveying speed was such that the drying time was 10 minutes. Other conditions were the same as in Example 1. The solvent in the coating film of the obtained metal-clad laminate was completely removed, and the characteristics were as shown in Tables 1 and 2.

実施例3
合成例1、2で得られた樹脂溶液を、それぞれ厚み18μm、巾540mmの電解銅箔(古河サーキットフォイル(株)製FT0−WS)の処理面にダイコーターを用いて、脱溶剤後の厚みが35μmになるように連続的にコーテイングした。次いで、100℃に設定された長さ20mのフローテイング方式の乾燥炉に、3m/分の速度で連続的に通過させ巻き取った。得られた金属積層板の残存溶剤率は29重量%であった。
このようにして得られた長尺物を遠赤外方式の加熱炉内に配置された、図1に示す様なロール間(ロールピッチ200mm、ロール系50mmΦ、ロール間高低差300mm)を千鳥状に搬送させた。千鳥状に搬送させたロールには予め厚さ100μmのアラミド不織布を巻きつけておいた。加熱炉内の温度は300℃(金属積層体表面温度)、酸素濃度は100ppmとし、搬送速度は乾燥時間が10分になるようにした。その他の条件は、実施例1と同様にした。得られた金属張積層体の塗膜中の溶剤は完全に除去されており、特性は表1、2に示すごときものであった。
Example 3
Thickness after solvent removal of the resin solutions obtained in Synthesis Examples 1 and 2 using a die coater on the treated surface of electrolytic copper foil (FT0-WS manufactured by Furukawa Circuit Foil Co., Ltd.) having a thickness of 18 μm and a width of 540 mm, respectively. Was continuously coated to a thickness of 35 μm. Next, the film was continuously passed through a 20 m long flotation type drying furnace set at 100 ° C. at a speed of 3 m / min. The resulting metal laminate had a residual solvent ratio of 29% by weight.
The long product thus obtained is placed in a far-infrared heating furnace, and between the rolls as shown in FIG. 1 (roll pitch 200 mm, roll system 50 mmΦ, height difference between rolls 300 mm) is staggered. It was conveyed to. An aramid nonwoven fabric having a thickness of 100 μm was previously wound around the rolls conveyed in a staggered manner. The temperature in the heating furnace was 300 ° C. (metal laminate surface temperature), the oxygen concentration was 100 ppm, and the conveying speed was such that the drying time was 10 minutes. Other conditions were the same as in Example 1. The solvent in the coating film of the obtained metal-clad laminate was completely removed, and the characteristics were as shown in Tables 1 and 2.

実施例4
合成例2(樹脂B)で得られた樹脂溶液を厚み12μm、巾540mmの電解銅箔(日本電解(株)製USLP−SE−12)の処理面にダイコーターを用いて、脱溶剤後の厚みが20μmになるように連続的にコーテイングした。次いで、100℃に設定された長さ20mのフローテイング方式の乾燥炉に、5m/分の速度で連続的に通過させ巻き取った。得られた金属積層板の残存溶剤率は25重量%であった。
次いで、更に、合成例1(樹脂A)で得られた樹脂溶液を、上記積層体の塗工面に、ダイコーターを用いて、脱溶剤後の厚みが20μmになるように連続的にコーテイングし、120℃に設定された長さ20mのフローテイング方式の乾燥炉に、5m/分の速度で連続的に通過させ巻き取った。得られた金属積層板の残存溶剤率は25重量%であった。
このようにして得られた金属張積層体を、ロールサポート方式(ロールピッチ200mm、ロール系50mmΦ)の遠赤外方式の加熱炉内を連続的に搬送させた。加熱炉内の温度は300℃(金属積層体表面温度)、酸素濃度は100ppmとし、搬送速度は乾燥時間が15分になるようにした。その他の条件は、実施例1と同様にした。得られた金属張積層体の塗膜中の溶剤は完全に除去されており、特性は表1、2に示すごときものであった。
Example 4
The resin solution obtained in Synthesis Example 2 (resin B) was subjected to solvent removal using a die coater on the treated surface of an electrolytic copper foil (USLP-SE-12 manufactured by Nihon Denki Co., Ltd.) having a thickness of 12 μm and a width of 540 mm. Coating was continuously performed so that the thickness was 20 μm. Subsequently, the film was continuously passed through a 20 m long floating drying oven set at 100 ° C. at a speed of 5 m / min and wound up. The residual solvent ratio of the obtained metal laminate was 25% by weight.
Next, the resin solution obtained in Synthesis Example 1 (resin A) was continuously coated on the coated surface of the laminate using a die coater so that the thickness after solvent removal was 20 μm, It was continuously passed through a 20 m long floating drying oven set at 120 ° C. at a speed of 5 m / min and wound up. The residual solvent ratio of the obtained metal laminate was 25% by weight.
The metal-clad laminate thus obtained was continuously conveyed in a far-infrared heating furnace of a roll support system (roll pitch 200 mm, roll system 50 mmΦ). The temperature in the heating furnace was 300 ° C. (metal laminate surface temperature), the oxygen concentration was 100 ppm, and the conveying speed was such that the drying time was 15 minutes. Other conditions were the same as in Example 1. The solvent in the coating film of the obtained metal-clad laminate was completely removed, and the characteristics were as shown in Tables 1 and 2.

実施例5
合成例1、2で得られた樹脂溶液を、それぞれ厚み18μm、巾540mmの電解銅箔(古河サーキットフォイル(株)製FT0−WS)の処理面にダイコーターを用いて、脱溶剤後の厚みが35μmになるように連続的にコーテイングした。次いで、100℃に設定された長さ20mのフローテイング方式の乾燥炉に、3m/分の速度で連続的に通過させ巻き取った。得られた金属積層板の残存溶剤率は29重量%であった。
このようにして得られた長尺物を遠赤外方式の加熱炉内に配置された、ロールサポート方式(ロールピッチ200mm、ロール系50mmΦ)の遠赤外方式((株)ノリタケエンジニアリング製RtoR式熱処理装置熱)の加熱炉内を連続的に搬送させた。加熱炉内の温度は300℃(金属積層体表面温度)とし、搬送速度は乾燥時間が10分になるようにした。その他の条件は、実施例1と同様にした。得られた金属張積層体の塗膜中の溶剤は完全に除去されており、特性は表1、2に示すごときものであった。
Example 5
Thickness after solvent removal of the resin solutions obtained in Synthesis Examples 1 and 2 using a die coater on the treated surface of electrolytic copper foil (FT0-WS manufactured by Furukawa Circuit Foil Co., Ltd.) having a thickness of 18 μm and a width of 540 mm, respectively. Was continuously coated to a thickness of 35 μm. Next, the film was continuously passed through a 20 m long flotation type drying furnace set at 100 ° C. at a speed of 3 m / min. The resulting metal laminate had a residual solvent ratio of 29% by weight.
The long support thus obtained is placed in a far-infrared heating furnace, the far-infrared type (RtoR type manufactured by Noritake Engineering Co., Ltd.) of the roll support type (roll pitch 200 mm, roll type 50 mmΦ). The inside of the heating furnace was continuously conveyed. The temperature in the heating furnace was 300 ° C. (metal laminate surface temperature), and the conveying speed was such that the drying time was 10 minutes. Other conditions were the same as in Example 1. The solvent in the coating film of the obtained metal-clad laminate was completely removed, and the characteristics were as shown in Tables 1 and 2.

実施例6
合成例2(樹脂B)で得られた樹脂溶液を厚み12μm、巾540mmの電解銅箔(古河サーキットフォイル(株)製U−WZ)の処理面にダイコーターを用いて、脱溶剤後の厚みが20μmになるように連続的にコーテイングした。次いで、100℃に設定された長さ20mのフローテイング方式の乾燥炉に、5m/分の速度で連続的に通過させ巻き取った。得られた金属積層板の残存溶剤率は25重量%であった。
次いで、更に、合成例3(樹脂C)で得られた樹脂溶液を、上記積層体の塗工面に、ダイコーターを用いて、脱溶剤後の厚みが20μmになるように連続的にコーテイングし、長さ20mのフローテイング方式の乾燥炉に、5m/分の速度で連続的に通過させ巻き取った。得られた金属積層板の残存溶剤率は25重量%であった。
このようにして得られた金属張積層体を、図1に示す様なロール間(ロールピッチ200mm、ロール系50mmΦ、ロール間高低差300mm)を千鳥状に、遠赤外方式((株)ノリタケエンジニアリング製RtoR式熱処理装置熱)の加熱炉内で連続的に搬送させた。千鳥状に搬送させたロールには予め厚さ100μmのアラミド不織布を巻きつけておいた。加熱炉内の温度は300℃(金属積層体表面温度)、酸素濃度は100ppmとし、搬送速度は乾燥時間が15分になるようにした。その他の条件は、実施例1と同様にした。得られた金属張積層体の塗膜中の溶剤は完全に除去されており、特性は表1、2に示すごときものであった。
Example 6
Thickness after solvent removal using a die coater on the treated surface of an electrolytic copper foil (U-WZ manufactured by Furukawa Circuit Foil Co., Ltd.) having a thickness of 12 μm and a width of 540 mm. Was continuously coated so as to be 20 μm. Subsequently, the film was continuously passed through a 20 m long floating drying oven set at 100 ° C. at a speed of 5 m / min and wound up. The residual solvent ratio of the obtained metal laminate was 25% by weight.
Next, the resin solution obtained in Synthesis Example 3 (resin C) was continuously coated on the coated surface of the laminate using a die coater so that the thickness after solvent removal was 20 μm. It was continuously passed through a 20 m long flotation type drying furnace at a speed of 5 m / min and wound up. The residual solvent ratio of the obtained metal laminate was 25% by weight.
The metal-clad laminate obtained in this way is formed in a staggered manner between rolls (roll pitch 200 mm, roll system 50 mmΦ, height difference between rolls 300 mm) as shown in FIG. It was made to convey continuously in the heating furnace of engineering RtoR type heat treatment apparatus heat). An aramid nonwoven fabric having a thickness of 100 μm was previously wound around the rolls conveyed in a staggered manner. The temperature in the heating furnace was 300 ° C. (metal laminate surface temperature), the oxygen concentration was 100 ppm, and the conveying speed was such that the drying time was 15 minutes. Other conditions were the same as in Example 1. The solvent in the coating film of the obtained metal-clad laminate was completely removed, and the characteristics were as shown in Tables 1 and 2.

実施例7
合成例2(樹脂B)で得られた樹脂溶液を厚み12μm、巾540mmの電解銅箔(古河サーキットフォイル(株)製U−WZ)の処理面にダイコーターを用いて、脱溶剤後の厚みが10μmになるように連続的にコーテイングした。次いで、100℃に設定された長さ20mのフローテイング方式の乾燥炉に、5m/分の速度で連続的に通過させ巻き取った。得られた金属積層板の残存溶剤率は20重量%であった。
次いで、更に、合成例3(樹脂C)で得られた樹脂溶液を、上記積層体の塗工面に、ダイコーターを用いて、脱溶剤後の厚みが30μmになるように連続的にコーテイングし、長さ20mのフローテイング方式の乾燥炉に、5m/分の速度で連続的に通過させ巻き取った。得られた金属積層板の残存溶剤率は23重量%であった。
このようにして得られた金属張積層体を、図1に示す様なロール間(ロールピッチ200mm、ロール系50mmΦ、ロール間高低差300mm)を千鳥状に、遠赤外方式((株)ノリタケエンジニアリング製RtoR式熱処理装置熱)の加熱炉内を連続的に搬送させた。千鳥状に搬送させたロールには予め厚さ100μmのアラミド不織布を巻きつけておいた。加熱炉内の温度は300℃(金属積層体表面温度)、酸素濃度は100ppmとし、搬送速度は乾燥時間が15分になるようにした。その他の条件は、実施例1と同様にした。得られた金属張積層体の塗膜中の溶剤は完全に除去されており、特性は表1、2に示すごときものであった。
Example 7
Thickness after solvent removal using a die coater on the treated surface of an electrolytic copper foil (U-WZ manufactured by Furukawa Circuit Foil Co., Ltd.) having a thickness of 12 μm and a width of 540 mm. Was continuously coated so as to be 10 μm. Subsequently, the film was continuously passed through a 20 m long floating drying oven set at 100 ° C. at a speed of 5 m / min and wound up. The residual solvent ratio of the obtained metal laminate was 20% by weight.
Next, the resin solution obtained in Synthesis Example 3 (resin C) was continuously coated on the coated surface of the laminate using a die coater so that the thickness after solvent removal was 30 μm, It was continuously passed through a 20 m long flotation type drying furnace at a speed of 5 m / min and wound up. The resulting metal laminate had a residual solvent ratio of 23% by weight.
The metal-clad laminate obtained in this way is formed in a staggered manner between rolls (roll pitch 200 mm, roll system 50 mmΦ, height difference between rolls 300 mm) as shown in FIG. The inside of the heating furnace of engineering RtoR type heat treatment apparatus heat) was continuously conveyed. An aramid nonwoven fabric having a thickness of 100 μm was previously wound around the rolls conveyed in a staggered manner. The temperature in the heating furnace was 300 ° C. (metal laminate surface temperature), the oxygen concentration was 100 ppm, and the conveying speed was such that the drying time was 15 minutes. Other conditions were the same as in Example 1. The solvent in the coating film of the obtained metal-clad laminate was completely removed, and the characteristics were as shown in Tables 1 and 2.

実施例8
合成例4で得られた樹脂溶液Dを厚み18μm、巾540mmの電解銅箔(日本電解(株)製USLP−SE−18)の処理面にダイコーターを用いて、脱溶剤後の厚みが25μmになるように連続的にコーテイングした。次いで、140℃に設定された長さ20mのフローテイング方式の乾燥炉に、5m/分の速度で連続的に通過させ巻き取った。得られた金属積層板の残存溶剤率は25重量%であった。
このようにして得られた金属張積層体を、ロールサポート方式(ロールピッチ200mm、ロール系50mmΦ)の遠赤外方式((株)ノリタケエンジニアリング製RtoR式熱処理装置熱)の加熱炉内を連続的に搬送させた。加熱炉内の温度、乾燥時間は、300℃(金属積層体表面温度)で10分、350℃(金属積層体表面温度)で10分とし、その他の条件は実施例1と同様にした。得られた金属張積層体の塗膜中の溶剤は完全に除去されており、特性は表1、2に示すごときものであった。
Example 8
The resin solution D obtained in Synthesis Example 4 was treated with a die coater on an electrolytic copper foil having a thickness of 18 μm and a width of 540 mm (USLP-SE-18 manufactured by Nihon Denki Co., Ltd.), and the thickness after solvent removal was 25 μm. It was continuously coated so that Next, the film was continuously passed through a 20 m long floating drying oven set at 140 ° C. at a speed of 5 m / min and wound up. The residual solvent ratio of the obtained metal laminate was 25% by weight.
The metal-clad laminate thus obtained is continuously fed in the heating furnace of the far-infrared system (RtoR heat treatment device manufactured by Noritake Engineering Co., Ltd.) of the roll support system (roll pitch 200 mm, roll system 50 mmΦ). It was conveyed to. The temperature in the heating furnace and the drying time were 10 minutes at 300 ° C. (metal laminate surface temperature) and 10 minutes at 350 ° C. (metal laminate surface temperature), and other conditions were the same as in Example 1. The solvent in the coating film of the obtained metal-clad laminate was completely removed, and the characteristics were as shown in Tables 1 and 2.

比較例1
合成例1、2で得られた樹脂溶液を、それぞれ厚み18μm、巾540mmの電解銅箔(古河サーキットフォイル(株)製FT0−WS)の処理面にダイコーターを用いて、脱溶剤後の厚みが30μmになるように連続的にコーテイングした。次いで、100℃に設定された長さ20mのフローテイング方式の乾燥炉に、5m/分の速度で連続的に通過させ巻き取った。得られた金属積層板の残存溶剤率は32重量%であった。
このようにして得られた長尺物を、熱風循環方式の加熱炉内に配置されたロールサポート方式のロール間(ロール間ピッチ200mm、ロール系50mmΦ、ロール間高低差300mm)を連続的に搬送させた。加熱炉内の温度は300℃(金属積層体表面温度)とし、搬送速度は乾燥時間が15分になるようにした。得られた金属張積層体の塗膜中の溶剤は完全に除去されており、特性は表1、2に示すごときものであった。
Comparative Example 1
Thickness after solvent removal of the resin solutions obtained in Synthesis Examples 1 and 2 using a die coater on the treated surface of electrolytic copper foil (FT0-WS manufactured by Furukawa Circuit Foil Co., Ltd.) having a thickness of 18 μm and a width of 540 mm, respectively. Was continuously coated so as to be 30 μm. Subsequently, the film was continuously passed through a 20 m long floating drying oven set at 100 ° C. at a speed of 5 m / min and wound up. The residual solvent ratio of the obtained metal laminate was 32% by weight.
The long product thus obtained is continuously transported between roll support type rolls arranged in a hot air circulation type heating furnace (inter-roll pitch 200 mm, roll system 50 mmΦ, inter-roll height difference 300 mm). I let you. The temperature in the heating furnace was 300 ° C. (metal laminate surface temperature), and the conveying speed was such that the drying time was 15 minutes. The solvent in the coating film of the obtained metal-clad laminate was completely removed, and the characteristics were as shown in Tables 1 and 2.

比較例2
合成例1、2で得られた樹脂溶液を、それぞれ厚み18μm、巾540mmの電解銅箔(日本電解(株)製USLP−SE−18)の処理面にダイコーターを用いて、脱溶剤後の厚みが25μmになるように連続的にコーテイングした。次いで、100℃に設定された長さ20mのフローテイング方式の乾燥炉に、5m/分の速度で連続的に通過させ巻き取った。得られた金属積層板の残存溶剤率は25重量%であった。
このようにして得られた長尺物を、熱風循環方式の加熱炉内に配置されたロールサポート方式のロール間(ロール間ピッチ200mm、ロール系50mmΦ、ロール間高低差300mm)を連続的に搬送させた。加熱炉内の温度は300℃(金属積層体表面温度)とし、搬送速度は乾燥時間が15分になるようにした。得られた金属張積層体の塗膜中の溶剤は完全に除去されており、特性は表1、2に示すごときものであった。
Comparative Example 2
The resin solutions obtained in Synthesis Examples 1 and 2 were subjected to solvent removal using a die coater on a treated surface of an electrolytic copper foil (USLP-SE-18 manufactured by Nihon Electrolysis Co., Ltd.) having a thickness of 18 μm and a width of 540 mm, respectively. Coating was continuously performed so that the thickness was 25 μm. Subsequently, the film was continuously passed through a 20 m long floating drying oven set at 100 ° C. at a speed of 5 m / min and wound up. The residual solvent ratio of the obtained metal laminate was 25% by weight.
The long product thus obtained is continuously transported between roll support type rolls arranged in a hot air circulation type heating furnace (inter-roll pitch 200 mm, roll system 50 mmΦ, inter-roll height difference 300 mm). I let you. The temperature in the heating furnace was 300 ° C. (metal laminate surface temperature), and the conveying speed was such that the drying time was 15 minutes. The solvent in the coating film of the obtained metal-clad laminate was completely removed, and the characteristics were as shown in Tables 1 and 2.

Figure 2009061446
Figure 2009061446

Figure 2009061446
Figure 2009061446

本発明は長尺物の処理方法に関し、更に詳しくは、フィルム、繊維織物、シート、及び金属箔等の長尺物を水や有機溶剤溶液で含浸またはコーティング加工した後の長尺物の乾燥及び/又は熱処理を歩留まり良く、効率的に行う方法、及び、寸法安定性、吸湿特性等の性能に優れる長尺物の処理方法に関する。特に、フレキシブルプリント配線板として有用な、金属箔にポリイミド系樹脂、または、その前駆体と塗布、乾燥して得られるフレキシブル金属張積層板の製造方法に関する。     The present invention relates to a method for treating a long object, and more specifically, drying a long object after impregnating or coating a long object such as a film, a textile fabric, a sheet, and a metal foil with water or an organic solvent solution, and The present invention relates to a method for efficiently performing a heat treatment with a high yield and a method for treating a long object having excellent performance such as dimensional stability and moisture absorption characteristics. In particular, the present invention relates to a method for producing a flexible metal-clad laminate obtained by applying polyimide resin or a precursor thereof to a metal foil and drying, which is useful as a flexible printed wiring board.

千鳥搬送方式Staggered transport system

Claims (4)

長尺物を連続搬送させ、熱処理する工程を含む長尺物の連続処理方法において、該熱処理が、遠赤外加熱方式であることを特徴とする長尺物処理方法。 In the continuous processing method of a long thing including the process of carrying and heat-treating a long thing continuously, this heat treatment is a far-infrared heating system, The long thing processing method characterized by the above-mentioned. 搬送が千鳥搬送方式であることを特徴とする請求項1記載の長尺物処理方法。 The long object processing method according to claim 1, wherein the conveyance is a staggered conveyance system. 長尺物が金属箔にポリイミド系樹脂溶液又は/及びその前駆体を塗布・初期乾燥した金属箔積層体であることを特徴とする請求項1又は2記載の長尺物処理方法。 3. The long object processing method according to claim 1, wherein the long object is a metal foil laminate obtained by applying a polyimide resin solution or / and a precursor thereof to a metal foil and initially drying the metal foil. 請求項1〜3いずれか記載の長尺物処理方法により得られる長尺物。 The long thing obtained by the long thing processing method in any one of Claims 1-3.
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