JP2009058015A - 液体制御設備 - Google Patents
液体制御設備 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2009058015A JP2009058015A JP2007224585A JP2007224585A JP2009058015A JP 2009058015 A JP2009058015 A JP 2009058015A JP 2007224585 A JP2007224585 A JP 2007224585A JP 2007224585 A JP2007224585 A JP 2007224585A JP 2009058015 A JP2009058015 A JP 2009058015A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chamber
- valve
- port
- liquid control
- liquid
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Lift Valve (AREA)
- Details Of Valves (AREA)
Abstract
【解決手段】液体制御設備100は、第1ポート10および第2ポート12を有する弁Vと、第1ポート10に接続された第1管路30と、第2ポート12に接続された第2管路32と、第1管路30に連通し少なくとも一部分が第1管路30よりも高い位置に配置された空気室90とを備える。弁Vは、第1ポート10に連通した第1室20と、第2ポート12に連通した第2室22と、第1室20と第2室22との間に配置された弁座40と、弁座40に当接されるように駆動されることによって第1室20と第2室22とを分離し、第1室20内に向かって駆動されることによって第1室20と第2室22とを連通させる弁体50とを含む。
【選択図】図2
Description
12 第2ポート
14 第3ポート
20 第1室
22 第2室
24 第3室
30 第1管路
32 第2管路
34 第3管路
40 弁座
50、52 弁体
60 アクチュエータ
70 逆支弁
80 液体
100 液体制御設備
100’ 液体制御設備
V、V’ 弁
Claims (5)
- 液体の流れを制御する液体制御設備であって、
第1ポートおよび第2ポートを有する弁と、
前記第1ポートに接続された第1管路と、
前記第2ポートに接続された第2管路と、
前記第1管路に連通し少なくとも一部分が前記第1管路よりも高い位置に配置された空気室とを備え、
前記弁は、
前記第1ポートに連通した第1室と、
前記第2ポートに連通した第2室と、
前記第1室と前記第2室との間に配置された弁座と、
前記弁座に当接されるように駆動されることによって前記第1室と前記第2室とを分離し、前記第1室内に向かって駆動されることによって前記第1室と前記第2室とを連通させる弁体とを含む、
ことを特徴とする液体制御設備。 - 前記第1管路に接続された逆支弁を更に備え、前記逆支弁は、前記第1管路に向かう方向にのみ液体を流すように配置されている、ことを特徴とする請求項1に記載の液体制御設備。
- 前記弁は、前記第1室が前記第2室の上に位置するように配置されている、ことを特徴とする請求項1または2に記載の液体制御設備。
- 前記弁は、第3ポートと、前記第3ポートに連通した第3室とを更に有し、前記第1室と前記第3室との間に前記第2室が配置され、3方向弁として構成されている、ことを特徴とする請求項1ないし3のいずれか1項に記載の液体制御設備。
- 前記空気室に空気を供給する空気供給機を更に備えることを特徴とする請求項1ないし4のいずれか1項に記載の液体制御装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007224585A JP2009058015A (ja) | 2007-08-30 | 2007-08-30 | 液体制御設備 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007224585A JP2009058015A (ja) | 2007-08-30 | 2007-08-30 | 液体制御設備 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009058015A true JP2009058015A (ja) | 2009-03-19 |
Family
ID=40553941
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007224585A Pending JP2009058015A (ja) | 2007-08-30 | 2007-08-30 | 液体制御設備 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2009058015A (ja) |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4948528U (ja) * | 1972-08-02 | 1974-04-27 | ||
JPS5048528A (ja) * | 1973-06-08 | 1975-04-30 | ||
JPS5147921U (ja) * | 1974-10-09 | 1976-04-09 | ||
JPH0314977A (ja) * | 1989-06-12 | 1991-01-23 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 自動調圧温調弁 |
JPH0325765U (ja) * | 1989-07-24 | 1991-03-15 | ||
JPH11315802A (ja) * | 1998-05-08 | 1999-11-16 | Eagle Ind Co Ltd | アキュムレータ |
JP2002122286A (ja) * | 2000-10-12 | 2002-04-26 | Hoshizaki Electric Co Ltd | エアチャンバ |
-
2007
- 2007-08-30 JP JP2007224585A patent/JP2009058015A/ja active Pending
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4948528U (ja) * | 1972-08-02 | 1974-04-27 | ||
JPS5048528A (ja) * | 1973-06-08 | 1975-04-30 | ||
JPS5147921U (ja) * | 1974-10-09 | 1976-04-09 | ||
JPH0314977A (ja) * | 1989-06-12 | 1991-01-23 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 自動調圧温調弁 |
JPH0325765U (ja) * | 1989-07-24 | 1991-03-15 | ||
JPH11315802A (ja) * | 1998-05-08 | 1999-11-16 | Eagle Ind Co Ltd | アキュムレータ |
JP2002122286A (ja) * | 2000-10-12 | 2002-04-26 | Hoshizaki Electric Co Ltd | エアチャンバ |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
WO2008084367A3 (en) | System and method for controlling actuator position | |
EP0864792B1 (en) | Suck back valve | |
US20070267065A1 (en) | Chemical Liquid Supply System | |
ATE454568T1 (de) | Kupplungssystem | |
EP1972551A3 (en) | Cabin pressure control system dual valve control and monitoring architecture | |
WO2011162270A2 (en) | Pressure reducing apparatus | |
WO2008020966A3 (en) | Systems and methods for fluid flow control in an immersion lithograthy system | |
US7793912B2 (en) | Fluid pressure actuated poppet valve | |
CN106133422B (zh) | 方向控制阀 | |
EP1806288A3 (en) | Motor cooling system | |
EP1637952A3 (en) | Systems and methods for controlling temperature and pressure of fluids | |
WO2007149192A3 (en) | Poppet valve | |
EP1637953A3 (en) | Systems and methods for controlling pressure of fluids | |
CA2485018A1 (en) | Fluid control valve | |
US7896026B2 (en) | Filter and pressure control valve of electronically controllable power steering apparatus including the same | |
EP1647425A3 (de) | Steuervorrichtung für eine Luftfederungsanlage für ein Kraftfahrzeug | |
JP2016169814A (ja) | 油圧システム | |
JP2009058015A (ja) | 液体制御設備 | |
JP4344381B2 (ja) | 塗工液供給装置 | |
JP2017044255A (ja) | 連結装置 | |
US20090272922A1 (en) | Pressure-actuated normally open fluid valve | |
JP4974662B2 (ja) | 液化ガスの受入システム及び液化ガスの受入システムの運転方法 | |
WO2008020367A3 (en) | A break pressure tank | |
JP5123803B2 (ja) | 真空弁制御装置 | |
JP5063531B2 (ja) | 基板処理装置、基板処理方法、プログラムおよび記憶媒体 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Effective date: 20100802 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20110721 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120116 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20120130 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20120604 |