JP2009050964A

JP2009050964A - Robot

Info

Publication number: JP2009050964A
Application number: JP2007220391A
Authority: JP
Inventors: Makoto Kamogawa; 良加茂川; Takashi Kaieda; 隆海江田
Original assignee: Yamaha Motor Co Ltd
Current assignee: Yamaha Motor Co Ltd
Priority date: 2007-08-27
Filing date: 2007-08-27
Publication date: 2009-03-12
Anticipated expiration: 2027-08-27
Also published as: JP5058716B2

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a user-friendly robot capable of effectively preventing scattering of foreign matters such as dust to outside. <P>SOLUTION: A plurality of rows of guide rails 14, 15 extended along the longitudinal direction of a frame 2 is provided in the frame 2, and a plurality of slide tables 3, 4 individually movable along the guide rails 14, 15 are juxtaposed in the width direction of the frame 2. In portions corresponding to movable regions of the slide tables 3, 4 on the upper face of the frame 2, a pair of right and left opening parts 35 partitioned by a partition wall member 7 partitioning the respective slide tables 3, 4 are provided and covered with a plurality of shutter members 37. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は、一軸方向に延びるフレームと、このフレームに沿って延びるように設置されたガイドレールと、このガイドレールに沿って移動可能に支持されたスライドテーブルと、このスライドテーブルを上記フレームに対し移動させる駆動装置とを備えたロボットに関する。 The present invention includes a frame extending in a uniaxial direction, a guide rail installed so as to extend along the frame, a slide table supported so as to be movable along the guide rail, and the slide table with respect to the frame. The present invention relates to a robot provided with a moving drive device.

従来、下記特許文献１に示されるように、フレーム（固定台）に対し移動可能に支持されたスライドテーブルを、複数の永久磁石等からなる固定子と、この固定子に対し対向配置された電機子コイル等からなる可動子とを備えたリニアモータにより駆動するリニアモータ式ロボット（リニアスライダ）において、上記可動子およびこれと一体に移動する上記スライドテーブルを、その移動方向に沿って複数配置することが行われている。この特許文献１に開示されたロボットによれば、移動可能なスライドテーブルが複数設けられているため、このスライドテーブルに複数の作業用機器を取り付けることにより、これら複数の作業用機器を同時に移動させながら所望の作業を効率よく行うことができるという利点がある。 Conventionally, as shown in Patent Document 1 below, a slide table that is supported so as to be movable with respect to a frame (fixed base) includes a stator made up of a plurality of permanent magnets, and an electric machine arranged opposite to the stator. In a linear motor robot (linear slider) that is driven by a linear motor having a mover composed of a child coil or the like, a plurality of the mover and the slide table that moves together with the mover are arranged along the moving direction. Things have been done. According to the robot disclosed in Patent Document 1, since a plurality of movable slide tables are provided, by attaching a plurality of work devices to the slide table, the plurality of work devices can be moved simultaneously. However, there is an advantage that a desired operation can be performed efficiently.

ところで、上記のようなロボットにおいて、そのフレームの内部には、塵埃等の異物が存在しており、例えばクリーンルーム内で上記ロボットを使用する場合のように、使用環境を清浄に保つ必要がある場合には、上記のような異物がロボットの外部に飛散するのを防止することが望まれる。このことは、上記スライドテーブルを移動させる手段として、上記リニアモータとは別の種類の駆動装置を用いた場合でも同様である。 By the way, in the robot as described above, there is foreign matter such as dust inside the frame, and it is necessary to keep the usage environment clean, for example, when the robot is used in a clean room. For this reason, it is desired to prevent the above-mentioned foreign matter from being scattered outside the robot. This is the same even when a drive device of a different type from the linear motor is used as means for moving the slide table.

そこで、下記特許文献２には、単一のスライドテーブル（スライダ）を、フレーム（ハウジング）の上面に設けられた開口部に沿って移動可能に支持するとともに、上記スライドテーブルに一体的に設けられたボールナットを、これと螺合したボールネジ軸の回転駆動に応じてネジ送りすることにより、上記スライドテーブルを上記フレームの開口部に沿って移動させるロボットにおいて、上記フレームの開口部をシールプレートで閉塞することにより、上記フレームの内部に存在する異物が上記開口部を通じて外部に飛散するのを防止することが行われている。
特開２００１−２１１６３０号公報特開２０００−１９７３０４号公報 Therefore, in Patent Document 2 below, a single slide table (slider) is supported so as to be movable along an opening provided on the upper surface of a frame (housing), and is provided integrally with the slide table. In the robot that moves the slide table along the opening of the frame by feeding the ball nut according to the rotational drive of the ball screw shaft that is screwed with the ball nut, the opening of the frame is sealed with a seal plate. By blocking, foreign matter existing inside the frame is prevented from being scattered outside through the opening.
JP 2001-2111630 A JP 2000-197304 A

上記特許文献１に開示されたロボットでは、作業用機器を取り付け可能な複数のスライドテーブルが、その移動方向に並んで配置されているため、一方のスライドテーブルの可動範囲が、他方のスライドテーブルの移動によって影響されてしまい、これら各スライドテーブルと一体に移動する上記作業用機器の作業領域が制限されてしまうという問題がある。 In the robot disclosed in Patent Document 1, a plurality of slide tables to which work devices can be attached are arranged side by side in the moving direction, so that the movable range of one slide table is the same as that of the other slide table. There is a problem that the working area of the working device that is affected by the movement and moves together with the slide tables is limited.

一方、上記特許文献２に開示されたロボットでは、フレームの内部に存在する異物の飛散を防止することは可能であるものの、移動可能なスライドテーブルが１つしか設けられていないため、単一の作業用機器しか駆動することができず、ロボットの用途の幅がさらに制限されてしまうという問題がある。 On the other hand, in the robot disclosed in Patent Document 2, although it is possible to prevent the scattering of foreign matter existing inside the frame, only one movable slide table is provided. There is a problem that only the working device can be driven, and the range of application of the robot is further limited.

本発明は、上記のような事情に鑑みてなされたものであり、使い勝手に優れ、しかも塵埃等の異物が外部に飛散するのを効果的に防止することが可能なロボットを提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object thereof is to provide a robot that is excellent in usability and that can effectively prevent foreign matters such as dust from being scattered outside. And

上記課題を解決するためのものとして、本発明は、一軸方向に延びるフレームと、このフレームに沿って延びるように設置されたガイドレールと、このガイドレールに沿って移動可能に支持されたスライドテーブルと、このスライドテーブルを上記フレームに対し移動させる駆動装置とを備えたロボットであって、上記スライドテーブルが、上記フレームの幅方向に複数並んで配置されるとともに、これら複数のスライドテーブルが、上記駆動装置の駆動力に応じ上記ガイドレールに沿って個別に移動するように構成され、上記複数のスライドテーブルの間を隔てる隔壁部材が上記フレームに設けられることにより、このフレームの一面に、上記隔壁部材により区画された複数の開口部が、上記各スライドテーブルの可動領域に対応して設けられ、上記各開口部が、複数のシャッター部材によりそれぞれ覆われたことを特徴とするものである（請求項１）。 In order to solve the above problems, the present invention provides a frame extending in a uniaxial direction, a guide rail installed so as to extend along the frame, and a slide table supported so as to be movable along the guide rail. And a drive device that moves the slide table relative to the frame, wherein a plurality of the slide tables are arranged side by side in the width direction of the frame, and the plurality of slide tables are A partition member configured to move individually along the guide rail according to the driving force of the driving device and separating the plurality of slide tables is provided on the frame, so that the partition wall is provided on one surface of the frame. A plurality of openings defined by the members are provided corresponding to the movable areas of the slide tables. Are, each opening, and is characterized in that the covered respectively by a plurality of shutter members (claim 1).

本発明のロボットによれば、一軸方向に延びるフレームに対し、複数のスライドテーブルがフレームの幅方向に並ぶように配置され、これら各スライドテーブルが、ガイドレールに沿ってフレームの長手方向に個別に移動可能に支持されているため、上記複数のスライドテーブルを移動させる際に、両者の可動範囲が互いに影響し合うことがなく、上記フレームの長手方向に亘って上記各スライドテーブルをそれぞれ自在に移動させることができる。このため、上記各スライドテーブルに用途に応じた所定の作業用機器をそれぞれ取り付けることにより、複数の作業用機器を自在に移動させながら所望の作業を効率よく行えるという利点がある。 According to the robot of the present invention, a plurality of slide tables are arranged so as to be aligned in the width direction of the frame with respect to the frame extending in the uniaxial direction, and each of these slide tables is individually arranged in the longitudinal direction of the frame along the guide rail. Since the plurality of slide tables are moved, the movable ranges of the two do not affect each other, and the slide tables can be moved freely along the longitudinal direction of the frame. Can be made. For this reason, there is an advantage that a desired work can be efficiently performed while freely moving a plurality of work equipments by attaching predetermined work equipments according to applications to the respective slide tables.

しかも、上記各スライドテーブルの可動領域に対応してフレームの一面に設けられた複数の開口部がシャッター部材によってそれぞれ覆われるようになっているため、上記各スライドテーブルがフレームに沿ってそれぞれ移動した場合でも、このフレームの内部に存在する塵埃等の異物が、上記各開口部を通じてフレームの外部に飛散するのを効果的に防止することが可能である。 Moreover, since the plurality of openings provided on one surface of the frame corresponding to the movable areas of the slide tables are respectively covered by the shutter members, the slide tables are moved along the frame. Even in this case, it is possible to effectively prevent foreign matters such as dust existing inside the frame from being scattered outside the frame through the openings.

上記スライドテーブルを移動させる駆動装置の種類は特に問わないが、本発明の構成は、例えば、上記駆動装置が、上記フレームの長手方向に沿って配列された複数の磁石を有する固定子と、上記各スライドテーブルに一体的に設けられかつ上記固定子に対し相対移動可能な可動子とを備えたリニアモータである場合に、好適に適用することができる（請求項２）。 The type of the driving device that moves the slide table is not particularly limited. For example, the configuration of the present invention is such that the driving device includes a stator having a plurality of magnets arranged along the longitudinal direction of the frame; The present invention can be suitably applied to a linear motor that is provided integrally with each slide table and includes a mover that can move relative to the stator.

また、本発明において、上記スライドテーブルの数は特に問わないが、スライドテーブルが横並びに２つ設けられる場合には、上記ガイドレールが、上記フレームの左右両側部にそれぞれ設けられ、上記複数のスライドテーブルとして、上記各ガイドレールに沿って個別に移動可能な左右一対のスライドテーブルが設けられ、これら左右一対のスライドテーブルに対応して設けられた一対の開口部が、上記シャッター部材によりそれぞれ覆われることが好ましい（請求項３）。 In the present invention, the number of the slide tables is not particularly limited. However, when two slide tables are provided side by side, the guide rails are provided on both left and right sides of the frame, and the plurality of slide tables are provided. As the table, a pair of left and right slide tables that are individually movable along the guide rails are provided, and a pair of openings provided corresponding to the pair of left and right slide tables are respectively covered by the shutter members. (Claim 3).

この構成によれば、簡単かつ合理的な構成で、ロボットの使い勝手を向上させることができる。 According to this configuration, the usability of the robot can be improved with a simple and rational configuration.

上記駆動装置がリニアモータである場合、上記可動子として、上記各スライドテーブルに対応した複数の可動子が設けられ、これら複数の可動子に対し、上記固定子が共通に１列設けられることが好ましい（請求項４）。 When the drive device is a linear motor, a plurality of movers corresponding to the slide tables are provided as the movers, and the stators are provided in a common row for the plurality of movers. Preferred (claim 4).

この構成によれば、ロボットの構造をより簡素化できるとともに、部品コストやその組立工数をより効果的に削減できるという利点がある。 According to this configuration, there is an advantage that the structure of the robot can be further simplified and the parts cost and the number of assembly steps can be reduced more effectively.

一方、上記可動子として、上記各スライドテーブルに対応した複数の可動子が設けられるとともに、上記固定子として、これら複数の可動子にそれぞれ対応した複数列の固定子が設けられ、これら複数列の固定子の間に上記隔壁部材が設けられることも、また好ましい（請求項５）。 On the other hand, the mover is provided with a plurality of movers corresponding to the slide tables, and the stator is provided with a plurality of rows of stators respectively corresponding to the plurality of movers. It is also preferable that the partition member is provided between the stators (Claim 5).

この構成によれば、複数列の固定子の間に上記隔壁部材を簡単な構成で容易に設置できるという利点がある。 According to this structure, there exists an advantage that the said partition member can be easily installed with a simple structure between several rows of stators.

また、上記複数のスライドテーブルが、上記隔壁部材に設けられた補助ガイド部材に沿って移動可能に支持されることが好ましい（請求項６）。 Preferably, the plurality of slide tables are supported so as to be movable along auxiliary guide members provided on the partition wall member.

このように、フレームに設けられた上記ガイドレールとは別に、補助ガイド部材を隔壁部材に設け、これらガイドレールおよび補助ガイド部材に沿って上記各スライドテーブルを移動させるようにした場合には、上記各スライドテーブルの移動時の軌道をより正確に規定して各テーブルどうしの干渉を効果的に防止できるという利点がある。 As described above, when the auxiliary guide member is provided on the partition wall member separately from the guide rail provided on the frame and the slide tables are moved along the guide rail and the auxiliary guide member, There is an advantage that interference between the tables can be effectively prevented by more accurately defining the trajectory during movement of the slide tables.

以上説明したように、本発明によれば、使い勝手に優れ、しかも塵埃等の異物が外部に飛散するのを効果的に防止することが可能なロボットを提供することができる。 As described above, according to the present invention, it is possible to provide a robot that is easy to use and that can effectively prevent foreign matters such as dust from being scattered outside.

図１〜図３は、本発明のリニアモータ式ロボットの第１実施形態を示している。これらの図に示すように、当実施形態のリニアモータ式ロボット１（以下、ロボット１と略称する）は、一軸方向（図１および図３に示されるＸ軸方向）に延びるように設置されたフレーム２と、このフレーム２に沿って移動可能な２つのスライドテーブル３，４とを備える。なお、当明細書では以後、フレーム２の長手方向（Ｘ軸方向）を前後方向、フレーム２の幅方向（Ｘ軸方向と直交する方向）を左右方向として説明を進める。 1 to 3 show a first embodiment of a linear motor robot according to the present invention. As shown in these drawings, the linear motor type robot 1 (hereinafter abbreviated as “robot 1”) of the present embodiment is installed so as to extend in one axis direction (X axis direction shown in FIGS. 1 and 3). A frame 2 and two slide tables 3 and 4 movable along the frame 2 are provided. In the following description, the description will proceed with the longitudinal direction of the frame 2 (X-axis direction) as the front-rear direction and the width direction of the frame 2 (direction perpendicular to the X-axis direction) as the left-right direction.

上記フレーム２は、断面略Ｃ字状に形成されており、その開口部が上方を向く状態で設置されている。すなわち、上記フレーム２は、水平向きに設置された底壁部１１と、この底壁部１１の左右両端部から上方に延びる左右一対の側壁部１２と、これら一対の側壁部１２の上端部からそれぞれ水平方向に延びる左右一対の上壁部１３とを有している。このようなフレーム２は、例えばアルミニウム合金製の押出し材等によって構成することが可能である。 The frame 2 has a substantially C-shaped cross section, and is installed with its opening facing upward. That is, the frame 2 includes a bottom wall portion 11 installed horizontally, a pair of left and right side wall portions 12 extending upward from both left and right end portions of the bottom wall portion 11, and an upper end portion of the pair of side wall portions 12. Each has a pair of left and right upper wall portions 13 extending in the horizontal direction. Such a frame 2 can be constituted by an extruded material made of, for example, an aluminum alloy.

また、上記フレーム２の内部には、その底壁部１１の左右両側部において前後方向に延びる左右一対のガイドレール１４，１５が配置されているとともに、この左右のガイドレール１４，１５の内側に位置する上記底壁部１１の中央部には、前後方向に延びる固定子５が配置されている。 In addition, a pair of left and right guide rails 14 and 15 extending in the front-rear direction are disposed inside the frame 2 on both left and right sides of the bottom wall portion 11, and inside the left and right guide rails 14 and 15. A stator 5 extending in the front-rear direction is disposed at the center of the bottom wall portion 11 positioned.

上記固定子５は、前後方向に延びる平板状の固定ヨーク１７と、この固定ヨーク１７の上面に設けられ、交互に極性が異なるように（表面側の磁極がＮ，Ｓ，Ｎ，Ｓ…となるように）前後方向に配列された複数の磁石１６とから構成されている。 The stator 5 is provided on a flat plate-shaped fixed yoke 17 extending in the front-rear direction and the upper surface of the fixed yoke 17 so that the polarities are alternately different (the magnetic poles on the surface side are N, S, N, S... It comprises a plurality of magnets 16 arranged in the front-rear direction.

上記磁石１６は、上面視長方形をなす板状の永久磁石からなり、互いに平行に、かつ一定ピッチで前後方向に一列に並ぶように配置されている。なお、当実施形態における磁石１６は、上記フレーム２の前後軸に対し所定角度傾いた状態（磁石１６の短辺がフレーム２の前後軸と非平行な状態）で配置されている。 The magnets 16 are made of plate-like permanent magnets that are rectangular in top view, and are arranged in parallel to each other and in a line in the front-rear direction at a constant pitch. In addition, the magnet 16 in this embodiment is disposed in a state where the magnet 16 is inclined at a predetermined angle with respect to the longitudinal axis of the frame 2 (the short side of the magnet 16 is not parallel to the longitudinal axis of the frame 2).

上記左右一対のガイドレール１４，１５には、それぞれ、レールスライダ１８が摺動自在に嵌合しており、これら各レールスライダ１８の上面には、上記２つのスライドテーブル３，４の下部を構成するベース部１９が、それぞれボルト締結等の手段により固定されている。すなわち、上記各ガイドレール１４，１５上には、上記レールスライダ１８を介して各スライドテーブル３，４が移動可能に支持されている。 A rail slider 18 is slidably fitted to the pair of left and right guide rails 14 and 15, and the lower portions of the two slide tables 3 and 4 are formed on the upper surface of each rail slider 18. The base portions 19 are fixed by means such as bolt fastening. That is, the slide tables 3 and 4 are movably supported on the guide rails 14 and 15 via the rail slider 18.

上記スライドテーブル３，４は、上記フレーム２の上方側において左右方向に並ぶように配置されているとともに、上記各ガイドレール１４，１５に沿って個別に前後移動可能に支持されている。具体的に、これら左右一対のスライドテーブル３，４は、上記レールスライダ１８に固定されたベース部１９と、このベース部１９の上面にボルト締結等の手段により固定されたテーブル本体２１と、このテーブル本体２１の上面を覆うテーブルカバー２２とをそれぞれ有している。そして、このうちのベース部１９に、上記固定子５に対して相対移動可能な左右一対の可動子６（詳細は後述する）がそれぞれ取り付けられることにより、これら各可動子６と一体に、上記スライドテーブル３，４が上記各ガイドレール１４，１５に沿って個別に移動するように構成されている。なお、図１では、左右のスライドテーブル３，４のうちの一方側のテーブル４を、テーブルカバー２２を取り外した状態で示している。 The slide tables 3 and 4 are arranged so as to be lined up in the left-right direction on the upper side of the frame 2, and are supported so as to be individually movable back and forth along the guide rails 14 and 15. Specifically, the pair of left and right slide tables 3, 4 includes a base portion 19 fixed to the rail slider 18, a table body 21 fixed to the upper surface of the base portion 19 by means such as bolt fastening, A table cover 22 that covers the upper surface of the table body 21 is provided. Then, a pair of left and right movable elements 6 (details will be described later) that can move relative to the stator 5 are attached to the base portion 19, so that the movable elements 6 are integrated with the movable elements 6. The slide tables 3 and 4 are configured to move individually along the guide rails 14 and 15. In FIG. 1, the table 4 on one side of the left and right slide tables 3 and 4 is shown with the table cover 22 removed.

上記スライドテーブル３，４のテーブル本体２１は、その左右両側辺部に、前後方向に延びる左右一対のサイドフレーム部２４を有している。これら各サイドフレーム部２４の前後方向２箇所には、他の部分よりも上方に突出した取付座２４ａが設けられており、この取付座２４ａの上面に、用途に応じた各種の作業用機器が、ボルト締結等の手段により固定されるようになっている。 The table main body 21 of the slide tables 3 and 4 has a pair of left and right side frame portions 24 extending in the front-rear direction on both left and right side portions. At two places in the front-rear direction of each side frame portion 24, there are provided mounting seats 24a projecting upward from the other portions, and various work devices according to applications are provided on the upper surface of the mounting seat 24a. It is fixed by means such as bolt fastening.

また、上記サイドフレーム部２４のうち、上記取付座２４ａに隣接した前後方向２箇所には、この取付座２４ａよりも小さい突出量で上方に突出し、かつ上記テーブルカバー２２の載置面を構成するテーブル固定部２４ｂが設けられている。上記テーブルカバー２２は、上記取付座２４ａの設置部を除くテーブル本体２１の上面を覆うように形成されており、上記テーブル固定部２４ｂに載置された状態でテーブル本体２１に固定される。 Further, two side frame portions 24 adjacent to the mounting seat 24a in the side frame portion 24 project upward with a projecting amount smaller than the mounting seat 24a, and constitute a mounting surface for the table cover 22. A table fixing portion 24b is provided. The table cover 22 is formed so as to cover the upper surface of the table main body 21 excluding the installation portion of the mounting seat 24a, and is fixed to the table main body 21 while being placed on the table fixing portion 24b.

このようなテーブル本体２１およびこれを覆うテーブルカバー２２等からなる上記スライドテーブル３，４は、図１に示すように、その外形が上面視で略矩形状を呈している。ただし、この矩形状のスライドテーブル３（または４）のうち、隣接する他のスライドテーブル４（または３）と対向する側の側面部（つまりフレーム２の幅方向内側に位置する側面部）には、その前後端部に、上記テーブルカバー２２の角部を面取りしてなる面取り部２２ａが形成されている。 As shown in FIG. 1, the slide tables 3, 4 including the table main body 21 and the table cover 22 covering the table main body 21 have a substantially rectangular shape when viewed from above. However, of the rectangular slide table 3 (or 4), the side surface portion on the side facing the other adjacent slide table 4 (or 3) (that is, the side surface portion positioned on the inner side in the width direction of the frame 2) A chamfered portion 22a formed by chamfering the corner portion of the table cover 22 is formed at the front and rear end portions thereof.

また、上記面取り部２２ａが設置されるのと同じ側のスライドテーブル３，４の側面部には、テーブル本体２１に保持されて上下軸回りに回転可能な複数のローラ２３が設けられている。具体的に、このローラ２３は、テーブル本体２１側部の凹部２１ｂ（図２参照）に収容された状態で回転可能に取り付けられており、上記スライドテーブル３，４の側面から外側にわずかに突出するように設けられている。 A plurality of rollers 23 that are held by the table main body 21 and can be rotated about the vertical axis are provided on the side surfaces of the slide tables 3 and 4 on the same side as the chamfered portion 22a. Specifically, the roller 23 is rotatably mounted while being accommodated in a recess 21b (see FIG. 2) on the side of the table body 21, and slightly protrudes outward from the side surfaces of the slide tables 3 and 4. It is provided to do.

上記可動子６は、上記ベース部１９の下面に沿って前後方向に一列に並ぶように配置された複数の板状体からなる電機子コア２５と、この電機子コア２５に巻装されたコイル２６と、これら電機子コア２５およびコイル２６の周囲を覆うような形状に充填されて型成形された樹脂製の保護部２７とを有している。このような可動子６は、上記左右一対のガイドレール１４，１５に対しフレーム２の幅方向中心側に位置するように設けられているとともに、上記可動子５の磁石１６に対し所定隙間を隔てて上方側に対向配置されている。 The mover 6 includes an armature core 25 composed of a plurality of plate-like bodies arranged in a line in the front-rear direction along the lower surface of the base portion 19, and a coil wound around the armature core 25. 26 and a resin protective part 27 filled and molded in a shape that covers the periphery of the armature core 25 and the coil 26. Such a movable element 6 is provided so as to be positioned on the center side in the width direction of the frame 2 with respect to the pair of left and right guide rails 14 and 15, and is separated from the magnet 16 of the movable element 5 by a predetermined gap. Are arranged opposite to each other on the upper side.

そして、このような構造を有する可動子６において、そのコイル２６に図外の制御装置から電流が供給されると、これに応じて各コイル２６の周りに磁束が生じるとともに、この磁束と、上記固定子５の磁石１６との相互作用により、上記可動子６を固定子５に対し相対移動させる推力が発生し、この推力によって上記可動子６が前後方向に駆動されることになる。 In the mover 6 having such a structure, when a current is supplied to the coil 26 from a control device (not shown), a magnetic flux is generated around each coil 26 according to this, and the magnetic flux The interaction of the stator 5 with the magnet 16 generates a thrust that moves the mover 6 relative to the stator 5, and the thrust is driven in the front-rear direction.

図１および図２に示すように、上記フレーム２の幅方向中心部には、上記左右一対のスライドテーブル３，４（およびこれに対応して設けられる左右一対の可動子６）どうしを隔てる隔壁部材７が、上記フレーム２の底壁部１１から上方に起立するような状態で設けられている。この隔壁部材７は、上記固定子５の設置部の前後方向両外側（フレーム２の前後方向両端部）に位置して上記フレーム２の底壁部１１に固定される脚部３２と、この脚部３２に支持され、上記固定子５の上方を前後方向に亘って延びるように設置された縦壁部３１と、この縦壁部３１の上端部から左右両側に向かって延びる上壁部３３とを有している。 As shown in FIGS. 1 and 2, a partition wall that separates the pair of left and right slide tables 3 and 4 (and a pair of left and right movable elements 6 provided corresponding thereto) at the center in the width direction of the frame 2. The member 7 is provided so as to stand upward from the bottom wall portion 11 of the frame 2. The partition member 7 includes leg portions 32 that are positioned on both outer sides in the front-rear direction (both ends in the front-rear direction of the frame 2) of the installation portion of the stator 5 and are fixed to the bottom wall portion 11 of the frame 2. A vertical wall portion 31 supported by the portion 32 and installed so as to extend in the front-rear direction above the stator 5, and an upper wall portion 33 extending from the upper end portion of the vertical wall portion 31 toward the left and right sides. have.

このような隔壁部材７がフレーム２の内部に設けられることにより、上記フレーム２の上面には、上記隔壁部材７の上壁部３３と、上記フレーム２の左右の上壁部１３とにより区画された左右一対の開口部３５が形成されている。これら一対の開口部３５は、上記一対のスライドテーブル３，４の可動領域に対応して前後方向に延びるように形成されており、これら各開口部３５を介してフレーム２の上方に突出するように設けられた上記各スライドテーブル３，４が、上記各開口部３５を通って前後方向に移動するように構成されている。 By providing such a partition member 7 inside the frame 2, the upper surface of the frame 2 is partitioned by the upper wall portion 33 of the partition member 7 and the left and right upper wall portions 13 of the frame 2. A pair of left and right openings 35 are formed. The pair of openings 35 are formed so as to extend in the front-rear direction corresponding to the movable regions of the pair of slide tables 3, 4, and protrude above the frame 2 through the openings 35. Each of the slide tables 3 and 4 provided in the front is configured to move in the front-rear direction through the respective openings 35.

また、上記フレーム２の開口部３５は、その開口幅と略同一の幅を有して前後方向に延びるシャッター部材３７によって覆われている。このシャッター部材３７は、可撓性を有する帯状体からなり、その一部が上記スライドテーブル３，４の内部を通過するように設けられている。 The opening 35 of the frame 2 is covered with a shutter member 37 having a width substantially the same as the opening width and extending in the front-rear direction. The shutter member 37 is formed of a flexible belt-like body, and a part of the shutter member 37 is provided so as to pass through the slide tables 3 and 4.

すなわち、上記スライドテーブル３，４のテーブル本体２１には、その前後方向複数個所にローラ３９（図１および図３参照）が設けられており、このローラ３９によって上側に凸となるように案内された上記シャッター部材３７の一部が、上記スライドテーブル３，４の内部、すなわち、上記テーブル本体２１およびテーブルカバー２２の間を通過するように構成されている。そして、このようにスライドテーブル３，４の内部に導入されたシャッター部材３７が、上記複数のローラ３９のうちテーブル本体２１の前後端部に位置するローラによって下方に案内されることにより、上記スライドテーブル３，４の前後において、上記シャッター部材３７がフレーム２の開口部３５を覆う高さに再び戻されるようになっている。 That is, the table main body 21 of the slide tables 3 and 4 is provided with rollers 39 (see FIGS. 1 and 3) at a plurality of positions in the front-rear direction, and is guided by the rollers 39 so as to protrude upward. A part of the shutter member 37 is configured to pass through the inside of the slide tables 3, 4, that is, between the table main body 21 and the table cover 22. The shutter member 37 thus introduced into the slide tables 3 and 4 is guided downward by the rollers positioned at the front and rear end portions of the table body 21 among the plurality of rollers 39, whereby the slide Before and after the tables 3 and 4, the shutter member 37 is returned again to a height that covers the opening 35 of the frame 2.

ここで、フレーム２の上壁部１３と接する高さに位置して上記開口部３５を覆う上記シャッター部材３７が、ローラ３９により案内されて上方に遊離する（フレーム２に対し上方に離間する）位置は、上記スライドテーブル３，４の移動に伴い前後方向に変化する。そして、このようなシャッター部材３７の遊離部では、その側方部が、上記サイドフレーム部２４の内側壁部２４ｃによって左右から塞がれることにより、上記のようなシャッター部材３７の遊離にかかわらず、フレーム２の内部空間が外部から遮断されるように構成されている。 Here, the shutter member 37 located at a height in contact with the upper wall portion 13 of the frame 2 and covering the opening 35 is guided upward by the roller 39 and separated upward (separated upward from the frame 2). The position changes in the front-rear direction as the slide tables 3 and 4 move. And in the free part of such a shutter member 37, the side part is plugged from the left and right by the inner wall part 24c of the side frame part 24, so that the shutter member 37 is not released as described above. The internal space of the frame 2 is configured to be blocked from the outside.

上記隔壁部材７の縦壁部３１には、その左右両側の壁面から突出する一対の補助ガイド部材５２が、上記縦壁部３１に沿って前後方向に延びるように設置されている。そして、これら左右一対の補助ガイド部材５２に、上記可動子６の保護部２７に一体に設けられたスライダ５３が摺動自在に嵌合することにより、上記可動子６と一体に移動する上記一対のスライドテーブル３，４が、上記各補助ガイド部材５２に沿って前後移動可能に支持されている。すなわち、フレーム２の底壁部１１上に設置された上記ガイドレール１４，１５に沿って移動可能な上記各スライドテーブル３，４の前後移動が、上記ガイドレール１４，１５とは独立に設けられた補助ガイド部材５２によっても案内されることにより、上記各スライドテーブル３，４の前後移動時の軌道がより正確に規定されるようになっている。 On the vertical wall portion 31 of the partition wall member 7, a pair of auxiliary guide members 52 protruding from the left and right wall surfaces are installed so as to extend in the front-rear direction along the vertical wall portion 31. The pair of left and right auxiliary guide members 52 are slidably fitted with a slider 53 provided integrally with the protection portion 27 of the movable element 6, so that the pair of movable elements 6 move integrally with the movable element 6. The slide tables 3 and 4 are supported so as to be movable back and forth along the auxiliary guide members 52. That is, the back and forth movement of the slide tables 3 and 4 movable along the guide rails 14 and 15 installed on the bottom wall portion 11 of the frame 2 is provided independently of the guide rails 14 and 15. Further, by being guided by the auxiliary guide member 52, the trajectory when the slide tables 3 and 4 are moved back and forth is more accurately defined.

図２に示すように、上記フレーム２の底壁部１１には、その左右両側部に設けられた上記ガイドレール１４，１５と平行に前後方向に延びる板状の磁気スケール４２が、底壁部１１の略全長に亘って設けられている。一方、上記スライドテーブル３，４１のベース部１９には、その幅方向外側の側面部から側方かつ下方に突出するＭＲヘッド４３が設けられている。このＭＲヘッド４３は、上記磁気スケール４２の上方に対向配置されており、上記スライドテーブル３，４の移動中に上記磁気スケール４２を読取ることにより、スライドテーブル３，４の前後位置を検出するように構成されている。 As shown in FIG. 2, the bottom wall 11 of the frame 2 has a plate-like magnetic scale 42 extending in the front-rear direction in parallel with the guide rails 14 and 15 provided on both left and right sides thereof. 11 is provided over substantially the entire length. On the other hand, the base portion 19 of the slide tables 3 and 41 is provided with an MR head 43 that protrudes laterally and downward from the side surface portion on the outer side in the width direction. The MR head 43 is disposed above the magnetic scale 42 so as to detect the front and rear positions of the slide tables 3 and 4 by reading the magnetic scale 42 while the slide tables 3 and 4 are moving. It is configured.

上記のように一軸方向に延びるフレーム２と、このフレーム２に沿って延びるように設置されたガイドレール１４，１５と、このガイドレール１４，１５に沿って移動可能に支持されたスライドテーブル３，４とを備えるとともに、上記スライドテーブル３，４を上記フレーム２に対し移動させる駆動装置として、上記フレーム２の長手方向に沿って配列された複数の磁石１６を有する固定子５と、上記スライドテーブル３，４に一体的に設けられかつ上記固定子５に対し相対移動可能な可動子６とからなる駆動装置（つまりリニアモータ）を備えたロボット１において、上記スライドテーブル３，４を、上記フレーム２の左右にそれぞれ１つずつ設けるとともに、これら左右一対のスライドテーブル３，４を、上記リニアモータの駆動力に応じ上記各ガイドレール１４，１５に沿って個別に移動させるようにし、さらに、上記フレーム２の上面のうち上記スライドテーブル３，４の可動領域に対応した部分に、上記各スライドテーブル３，４の間を隔てる隔壁部材７によって区画された左右一対の開口部３５を設け、これら各開口部３５を一対のシャッター部材３７によってそれぞれ覆うようにした上記第１実施形態の構成によれば、より使い勝手に優れたロボット１を実現できるとともに、ロボット１の内部から塵埃等の異物が外部に飛散するのを効果的に防止できるという利点がある。 The frame 2 extending in the uniaxial direction as described above, the guide rails 14 and 15 installed so as to extend along the frame 2, and the slide table 3 supported so as to be movable along the guide rails 14 and 15. 4 and a stator 5 having a plurality of magnets 16 arranged along the longitudinal direction of the frame 2 as a driving device for moving the slide tables 3 and 4 relative to the frame 2, and the slide table In the robot 1 provided with a driving device (that is, a linear motor) that is provided integrally with 3 and 4 and that is movable relative to the stator 5, the slide tables 3 and 4 are attached to the frame. 2 on the left and right sides of the two, and the pair of left and right slide tables 3 and 4 are used as the driving force of the linear motor. Each of the slide tables 3 and 4 is moved individually along the guide rails 14 and 15 to the portion corresponding to the movable area of the slide tables 3 and 4 on the upper surface of the frame 2. According to the configuration of the first embodiment in which a pair of left and right openings 35 partitioned by the partition wall member 7 that separates each other is provided, and each of the openings 35 is covered by a pair of shutter members 37, it is more convenient. There is an advantage that an excellent robot 1 can be realized and foreign matters such as dust can be effectively prevented from scattering from the inside of the robot 1 to the outside.

すなわち、上記構成のロボット１によれば、一軸方向に延びるフレーム２に対し、２つのスライドテーブル３，４が左右方向（フレーム２の幅方向）に並ぶように配置され、これら各スライドテーブル３，４が、複数列のガイドレール１４，１５に沿って前後方向（フレーム２の長手方向）に個別に移動可能に支持されているため、上記２つのスライドテーブル３，４を前後移動させる際に、両者の可動範囲が互いに影響し合うことがなく、上記フレーム２の長手方向に亘って上記各スライドテーブル３，４をそれぞれ自在に移動させることができる。このため、上記各スライドテーブル３，４に用途に応じた所定の作業用機器をそれぞれ取り付けることにより、複数の作業用機器を自在に前後移動させながら所望の作業を効率よく行えるという利点がある。 That is, according to the robot 1 having the above-described configuration, the two slide tables 3 and 4 are arranged in the left-right direction (the width direction of the frame 2) with respect to the frame 2 extending in the uniaxial direction. 4 is supported so as to be individually movable in the front-rear direction (longitudinal direction of the frame 2) along the plurality of rows of guide rails 14, 15, when the two slide tables 3, 4 are moved back and forth. The movable ranges of the two do not affect each other, and the slide tables 3 and 4 can be moved freely along the longitudinal direction of the frame 2. For this reason, there is an advantage that desired work can be efficiently performed while freely moving a plurality of work devices back and forth by attaching predetermined work devices according to applications to the slide tables 3 and 4.

しかも、上記各スライドテーブル３，４の可動領域に対応してフレーム２の上面に設けられた左右一対の開口部３５が、一対のシャッター部材３７によってそれぞれ覆われるようになっているため、上記各スライドテーブル３，４がフレーム２に沿ってそれぞれ移動した場合でも、このフレーム２の内部に存在する塵埃等の異物が、上記各開口部３５を通じてフレーム２の外部に飛散するのを効果的に防止することが可能である。 In addition, since the pair of left and right openings 35 provided on the upper surface of the frame 2 corresponding to the movable areas of the slide tables 3 and 4 are respectively covered by the pair of shutter members 37, Even when the slide tables 3 and 4 are moved along the frame 2, it is possible to effectively prevent foreign matters such as dust existing inside the frame 2 from being scattered outside the frame 2 through the openings 35. Is possible.

なお、上記構成のロボット１に代えて、単一のスライドテーブルを備えたロボットを並列に２つ並べて使用した場合でも、これら２つのロボットによって個別に作業用機器を駆動しながら効率よく作業を行うことが可能である。しかしながら、このようにした場合には、フレーム２やその周辺部品等の部品を別々に備える独立した２つのロボットを用意する必要があるため、上記構成のロボット１と異なり、より多くの部品コスト等がかかることが避けられないという問題がある。これに対し、上記のように単一のフレーム２に対し２つのスライドテーブル３，４を個別に移動可能に設けた上記第１実施形態の構成によれば、ロボット１の使い勝手をより安価なコストで効果的に向上させることができるという利点がある。 Even when two robots each having a single slide table are used in parallel instead of the robot 1 having the above-described configuration, the two robots perform work efficiently while individually driving work devices. It is possible. However, in this case, since it is necessary to prepare two independent robots that are separately provided with parts such as the frame 2 and its peripheral parts, unlike the robot 1 configured as described above, more parts costs, etc. There is a problem that it is inevitable to take. On the other hand, according to the configuration of the first embodiment in which the two slide tables 3 and 4 are individually movable with respect to the single frame 2 as described above, the usability of the robot 1 is less expensive. There is an advantage that it can be improved effectively.

加えて、上記構成のロボット１は、左右一対のスライドテーブル３，４が、共通のフレーム２に設けられた複数列のガイドレール１４，１５に沿って移動可能に支持される構成であるため、ロボット１の製造時に、上記各スライドテーブル３，４の平行度が精度よく確保されるという利点がある。このため、上記のように単一のスライドテーブルを備えたロボットを２つ並べて使用した場合と異なり、各スライドテーブル３，４の移動時の位置精度を効果的に向上させることができ、これら各スライドテーブル３，４に取り付けられる作業用機器の駆動制御をより精度よく行えるという利点がある。 In addition, the robot 1 having the above configuration is configured such that the pair of left and right slide tables 3 and 4 are supported so as to be movable along a plurality of rows of guide rails 14 and 15 provided on the common frame 2. When the robot 1 is manufactured, there is an advantage that the parallelism of the slide tables 3 and 4 is ensured with high accuracy. For this reason, unlike the case where two robots having a single slide table are used side by side as described above, the positional accuracy during the movement of the slide tables 3 and 4 can be effectively improved. There is an advantage that the drive control of the work equipment attached to the slide tables 3 and 4 can be performed with higher accuracy.

また、上記第１実施形態では、左右一対のスライドテーブル３，４に対応して設けられた一対の可動子６に対し、前後方向に延びる固定ヨーク１７およびその上面に配列された複数の磁石１６からなる固定子５を、共通に１列だけ設けたため、例えば上記一対の可動子６に対して固定子５を別々に設けることにより、フレーム２の内部に２列の固定子５を設けた場合と異なり、ロボット１の構造をより簡素化できるとともに、部品コストやその組立工数をより効果的に削減できるという利点がある。 Moreover, in the said 1st Embodiment, with respect to a pair of needle | mover 6 provided corresponding to a pair of left-right slide tables 3 and 4, the fixed yoke 17 extended in the front-back direction and the several magnet 16 arranged on the upper surface are provided. Since only one row of the stators 5 is provided in common, for example, when two rows of stators 5 are provided inside the frame 2 by separately providing the stators 5 for the pair of movers 6 described above, Unlike the above, there is an advantage that the structure of the robot 1 can be further simplified and the cost of parts and the number of assembly steps can be reduced more effectively.

また、上記第１実施形態のように、隔壁部材７の左右両側の壁面に、上記ガイドレール１４，１５とは独立した補助ガイド部材５２を設け、この補助ガイド部材５２に沿って上記各スライドテーブル３，４が移動可能に支持されるように構成した場合には、当該補助ガイド部材５２と、上記ガイドレール１４，１５との２種類の部材によって上記各スライドテーブル３，４の前後移動を案内することにより、その移動時の軌道をより正確に規定できるため、上記各スライドテーブル３，４どうしがすれ違う際に両者が衝突または摺動して互いに干渉し合うのを効果的に防止でき、これら各テーブル３，４を上記フレーム２に沿って円滑に前後移動させることができるという利点がある。 Further, as in the first embodiment, auxiliary guide members 52 independent of the guide rails 14 and 15 are provided on the left and right wall surfaces of the partition wall member 7, and the slide tables are provided along the auxiliary guide members 52. In the case where 3 and 4 are supported so as to be movable, the back and forth movement of the slide tables 3 and 4 is guided by two types of members, the auxiliary guide member 52 and the guide rails 14 and 15. By doing so, the trajectory at the time of movement can be more accurately defined, so that when the slide tables 3 and 4 pass each other, it is possible to effectively prevent the two from colliding with each other and interfering with each other. There is an advantage that the tables 3 and 4 can be smoothly moved back and forth along the frame 2.

さらに、上記第１実施形態のように、スライドテーブル３（または４）のうち、隣接する他のスライドテーブル４（または３）と対向する側の側面部に、回転可能なローラ２３を設けた場合には、スライドテーブル３，４がそのすれ違い時に幅方向に傾く等により、仮に各スライドテーブル３，４の側面部どうしが互いに摺動（当接）したとしても、その摺動抵抗が上記ローラ２３の回転により効果的に低減されるため、上記のようなスライドテーブル３，４どうしの摺動にかかわらず、これら各スライドテーブル３，４を上記フレーム２に沿って円滑に前後移動させることができるという利点がある。 Further, as in the first embodiment, in the slide table 3 (or 4), the rotatable roller 23 is provided on the side surface facing the other adjacent slide table 4 (or 3). If the slide tables 3 and 4 are inclined in the width direction when they pass each other, even if the side surface portions of the slide tables 3 and 4 slide (contact) with each other, the sliding resistance of the rollers 23 is reduced. Therefore, the slide tables 3 and 4 can be smoothly moved back and forth along the frame 2 regardless of the sliding of the slide tables 3 and 4 as described above. There is an advantage.

なお、上記第１実施形態では、左右一対のスライドテーブル３，４の両方に上記ローラ２３を設けたが、このうちの一方側のスライドテーブル３（または４）についてはローラ２３を省略してもよい。 In the first embodiment, the roller 23 is provided on both the pair of left and right slide tables 3 and 4. However, the roller 23 may be omitted for the slide table 3 (or 4) on one side thereof. Good.

また、上記第１実施形態では、上記スライドテーブル３（または４）のうち、隣接する他のスライドテーブル４（または３）と対向する側の側面部に、その前後両端の角部を面取りしてなる面取り部２２ａを設けたため、これら各スライドテーブル３，４のすれ違い時に仮に衝突が起きたとしても、この衝突により上記スライドテーブル３，４の移動が阻害されるという事態を効果的に防止できるという利点がある。 Moreover, in the said 1st Embodiment, the corner | angular part of the front-and-rear both ends is chamfered in the side part of the side facing the other adjacent slide table 4 (or 3) among the said slide tables 3 (or 4). Since the chamfered portion 22a is provided, even if a collision occurs when the slide tables 3 and 4 pass each other, it is possible to effectively prevent a situation in which the movement of the slide tables 3 and 4 is hindered by the collision. There are advantages.

すなわち、スライドテーブル３，４に上記のような面取り部２２ａが設けられていない場合には、例えば一方のスライドテーブル３が幅方向に傾いた状態で他方のスライドテーブル４とすれ違おうとしたときに、両者の角部どうしが衝突する等により、これら各スライドテーブル３，４に大きな衝撃が加わり、各スライドテーブル３，４がそれ以上移動できなくなってしまうおそれがある。これに対し、上記のようにスライドテーブル３，４の角部に面取り部２２ａが設けられている場合には、上記のような衝突が起きたとしても、その衝撃が効果的に緩和されるとともに、面取り部２２ａのテーパ面によってスライドテーブル３，４の軌道が修正されるため、スライドテーブル３，４の衝突時にその前後移動が阻止されるという事態を効果的に防止できるという利点がある。 That is, when the slide tables 3 and 4 are not provided with the chamfered portion 22a as described above, for example, when one slide table 3 is inclined in the width direction and tries to pass the other slide table 4. If the corners of the two collide with each other, a large impact is applied to each of the slide tables 3 and 4, and the slide tables 3 and 4 may not be able to move any more. On the other hand, when the chamfered portions 22a are provided at the corners of the slide tables 3 and 4 as described above, even if the above collision occurs, the impact is effectively reduced. Since the orbits of the slide tables 3 and 4 are corrected by the tapered surface of the chamfered portion 22a, there is an advantage that it is possible to effectively prevent a situation in which the back and forth movement is prevented when the slide tables 3 and 4 collide.

なお、上記第１実施形態では、左右一対のスライドテーブル３，４がそのすれ違い時に互いに干渉（衝突または摺動）した場合に、両者の円滑な前後移動が阻害されるのを防止すべく、上記各スライドテーブル３，４に、面取り部２２ａやローラ２３を設けるようにしたが、当実施形態では、ガイドレール１４，１５および補助ガイド部材５２の２種類の部材によって上記各スライドテーブル３，４の移動が案内されることにより、これら各テーブル３，４の移動時の軌道がより正確に規定されるようになっているため、上記のような各テーブル３，４どうしの干渉が生じる心配がない場合には、上記面取り部２２ａやローラ２３を省略してもよい。 In the first embodiment, when the pair of left and right slide tables 3 and 4 interfere with each other (collision or sliding) when they pass each other, the above-described smooth back and forth movement is prevented from being hindered. The chamfered portions 22a and the rollers 23 are provided on the slide tables 3 and 4, but in this embodiment, the slide tables 3 and 4 are provided by two kinds of members, that is, the guide rails 14 and 15 and the auxiliary guide member 52. Since the movement is guided, the trajectory at the time of movement of each of the tables 3 and 4 is more accurately defined, so there is no concern that the above-described interference between the tables 3 and 4 will occur. In this case, the chamfered portion 22a and the roller 23 may be omitted.

また、上記第１実施形態では、左右一対のスライドテーブル３，４をそれぞれスライド自在に支持するガイドレール１４，１５および補助ガイド部材５２，５２を、各スライドテーブル３，４に対し１つずつ設けたが、上記ガイドレール１４，１５等の個数は適宜変更可能であり、例えば、各スライドテーブル３，４に対し、それぞれ２つずつガイドレールを設けるようにしてもよい。 In the first embodiment, the guide rails 14 and 15 and the auxiliary guide members 52 and 52 that slidably support the pair of left and right slide tables 3 and 4 are provided for each slide table 3 and 4, respectively. However, the number of the guide rails 14 and 15 can be appropriately changed. For example, two guide rails may be provided for each slide table 3 and 4.

また、上記第１実施形態では、左右一対のスライドテーブル３，４に対応して設けられた一対の可動子６に対し、固定子５を共通に１列設けたが、図４に示すように、上記各可動子６にそれぞれ対応した２列の固定子６０を設けてもよい。すなわち、この図４の例では、上記フレーム２の底壁部１１の上面のうち、上記一対の可動子６の下方に位置する左右２箇所に、前後方向に延びる平板状の固定ヨーク６７が設置され、この固定ヨーク６７の上面に前後方向に並ぶように複数の磁石６６がそれぞれ配置されることにより、上記２列の固定子６０が構成されている。そして、これら２列の固定子６０の間に、上記各スライドテーブル３，４の間を隔てる隔壁部材７０が設けられている。 Further, in the first embodiment, a single row of stators 5 is provided in common for the pair of movable elements 6 provided corresponding to the pair of left and right slide tables 3 and 4, as shown in FIG. Two rows of stators 60 corresponding to the respective movable elements 6 may be provided. That is, in the example of FIG. 4, flat fixed yokes 67 extending in the front-rear direction are installed at two left and right positions below the pair of movers 6 on the upper surface of the bottom wall portion 11 of the frame 2. The plurality of magnets 66 are arranged on the upper surface of the fixed yoke 67 in the front-rear direction, whereby the two rows of stators 60 are configured. A partition member 70 that separates the slide tables 3 and 4 is provided between the two rows of stators 60.

このように、上記構成によれば、一対の可動子６に対応して設けられた２列の固定子６０の間に隔壁部材７０を設置することができるため、上記第１実施形態のように固定子５の設置部を回避するような状態で隔壁部材７を設置する必要がなく、上記隔壁部材７０を簡単な構成で容易にフレーム２の内部に設置できるという利点がある。 As described above, according to the above configuration, the partition wall member 70 can be installed between the two rows of stators 60 provided corresponding to the pair of movers 6, and thus, as in the first embodiment. There is an advantage that it is not necessary to install the partition member 7 in a state where the installation portion of the stator 5 is avoided, and the partition member 70 can be easily installed inside the frame 2 with a simple configuration.

ところで、上記第１実施形態において、スライドテーブル３，４のベース部１９のうち、その下方のレールスライダ１８よりも隔壁部材７側に突出するように形成された部分（可動子６が取り付けられる部分）が、上記隔壁部材７側にさらに大きく突出するように形成されている場合には、このベース部１９の突出部と上記隔壁部材７とが、スライドテーブル３，４の移動時に当接するおそれがある。そこで、このような場合には、図５に示すように、上記隔壁部材７の縦壁部３１と対向する部分である上記ベース部１９の突出部の先端に、上記テーブル本体２１に設けられたローラ２３と同様のローラ４５を設けるとよい。このようにすれば、上記スライドテーブル３，４の移動時にそのベース部１９が上記隔壁部材７と摺動（当接）した場合でも、その摺動抵抗を低減して上記スライドテーブル３，４を円滑に移動させることができるという利点がある。 By the way, in the said 1st Embodiment, the part (part to which the needle | mover 6 is attached) of the base parts 19 of the slide tables 3 and 4 formed so that it might protrude on the partition member 7 side rather than the rail slider 18 of the downward | lower direction. ) Is formed so as to protrude further toward the partition member 7 side, the protruding portion of the base portion 19 and the partition member 7 may come into contact with each other when the slide tables 3 and 4 are moved. is there. Therefore, in such a case, as shown in FIG. 5, the table main body 21 is provided at the tip of the protruding portion of the base portion 19 which is a portion facing the vertical wall portion 31 of the partition wall member 7. A roller 45 similar to the roller 23 may be provided. In this way, even when the base portion 19 slides (contacts) with the partition member 7 when the slide tables 3 and 4 are moved, the sliding resistance is reduced and the slide tables 3 and 4 are moved. There is an advantage that it can be moved smoothly.

（実施形態２）
上記第１実施形態では、フレーム２の長手方向に沿って移動可能なスライドテーブル３，４を、フレーム２の左右にそれぞれ１つずつ配置したが、例えばフレーム２の左右いずれか一方側に、複数のスライドテーブル３，４を前後方向（フレーム２の長手方向）に並べるように配置してもよい。図６は、このように構成した場合の具体例を、本発明のロボットの第２実施形態として示したものである。 (Embodiment 2)
In the first embodiment, the slide tables 3 and 4 that are movable along the longitudinal direction of the frame 2 are arranged one on each of the left and right sides of the frame 2. The slide tables 3 and 4 may be arranged in the front-rear direction (longitudinal direction of the frame 2). FIG. 6 shows a specific example of such a configuration as the second embodiment of the robot of the present invention.

この図６に示されるロボット１００では、フレーム２の幅方向一側（図中では＋Ｙ側）に、１つのスライドテーブル１３１が設けられる一方、上記フレーム２の幅方向反対側（図中では−Ｙ側）には、前後方向（Ｘ軸方向）に並べられた２つのスライドテーブル１３２，１３３が配置されている。このうち、＋Ｙ側に設けられたスライドテーブル１３１は、上記第１実施形態のスライドテーブル３，４と同様に、フレーム２の内部に設けられた左右一対のガイドレール１４，１５のうち一方側（＋Ｙ側）のレール１４に沿って前後移動可能に支持されている。一方、−Ｙ側に設けられた２つのスライドテーブル１３２，１３３は、ともに、上記とは反対の−Ｙ側のガイドレール１５に沿って前後移動可能に支持されている。また、フレーム２の内部における隔壁部材７の壁面には補助ガイド部材５２が設けられ、上記各スライドテーブル１３１〜１３３の前後移動がこの補助ガイド部材５２によっても案内されるようになっている。 In the robot 100 shown in FIG. 6, one slide table 131 is provided on one side in the width direction of the frame 2 (+ Y side in the drawing), while on the other side in the width direction of the frame 2 (−Y in the drawing). 2), two slide tables 132 and 133 arranged in the front-rear direction (X-axis direction) are arranged. Among these, the slide table 131 provided on the + Y side is the same as the slide tables 3 and 4 of the first embodiment, on one side of the pair of left and right guide rails 14 and 15 provided inside the frame 2 ( (+ Y side) is supported so as to be movable back and forth along the rail 14. On the other hand, the two slide tables 132 and 133 provided on the −Y side are both supported so as to be movable back and forth along the guide rail 15 on the −Y side opposite to the above. Further, an auxiliary guide member 52 is provided on the wall surface of the partition member 7 inside the frame 2, and the back and forth movement of each of the slide tables 131 to 133 is also guided by the auxiliary guide member 52.

なお、上記各スライドテーブル１３１〜１３３を上記各ガイドレール１４，１５および補助ガイド部材５２に沿って移動させるための機構は、上記第１実施形態と同様である。すなわち、上記各スライドテーブル１３１〜１３３の下面側には、上記第１実施形態と同様の可動子（図示省略）がそれぞれ設けられており、これら各可動子が、前後方向に一列に配置された複数の磁石１６等からなる固定子５との相互作用で推力を得ることにより、上記各スライドテーブル１３１〜１３３が上記ガイドレール１４，１５等に沿って前後方向に移動するように構成されている。 The mechanism for moving the slide tables 131 to 133 along the guide rails 14 and 15 and the auxiliary guide member 52 is the same as that in the first embodiment. In other words, the same movable elements (not shown) as those in the first embodiment are provided on the lower surface side of each of the slide tables 131 to 133, and these movable elements are arranged in a line in the front-rear direction. The slide tables 131 to 133 are configured to move in the front-rear direction along the guide rails 14, 15, etc. by obtaining a thrust force through interaction with the stator 5 including a plurality of magnets 16. .

また、上記各スライドテーブル１３１〜１３３には、上記第１実施形態と同様に、面取り部４１が設けられている。なお、図６ではその図示を省略しているが、上記スライドテーブル１３１の内側（−Ｙ側）の側面部、およびこれに対向する側のスライドテーブル１３２，１３３の側面部には、上記第１実施形態と同様に、転動体としてのローラ（図１等の符号２３相当）が設けられることが好ましい。 Each of the slide tables 131 to 133 is provided with a chamfered portion 41 as in the first embodiment. Although not shown in FIG. 6, the first side surface (−Y side) of the slide table 131 and the side surfaces of the slide tables 132 and 133 on the opposite side are provided on the first side. Similarly to the embodiment, it is preferable to provide a roller (corresponding to reference numeral 23 in FIG. 1 and the like) as a rolling element.

上記フレーム２の上面部には、上記第１実施形態と同様の構成のシャッター部材３７が、＋Ｙ側に設けられたスライドテーブル１３１と、−Ｙ側に設けられたスライドテーブル１３２，１３３とにそれぞれ対応して左右一対設けられている。このうち、−Ｙ側に設けられたシャッター部材３７については、その前後方向の２箇所が、上記各スライドテーブル１３２，１３３の内部をそれぞれ通過するように配置されている。 On the upper surface of the frame 2, shutter members 37 having the same configuration as in the first embodiment are respectively provided on a slide table 131 provided on the + Y side and slide tables 132 and 133 provided on the -Y side. Correspondingly, a pair of left and right is provided. Among these, the shutter member 37 provided on the −Y side is arranged so that two places in the front-rear direction pass through the inside of each of the slide tables 132 and 133.

以上のような構成の本発明の第２実施形態によれば、フレーム２の幅寸法を大きく拡大することなく、スライドテーブル１３１〜１３３の数を増やすことができるため、コンパクトな構成でありながらより多くの作業用機器を移動させることが可能なロボット１００を実現できるという利点がある。また、フレーム２の上面部に設けられた上記シャッター部材３７の存在により、上記フレーム２の内部からの異物の飛散を上記各スライドテーブル１３１〜１３３の移動にかかわらず効果的に防止することができる。 According to the second embodiment of the present invention having the above-described configuration, the number of slide tables 131 to 133 can be increased without greatly increasing the width dimension of the frame 2. There is an advantage that the robot 100 capable of moving many work devices can be realized. In addition, the presence of the shutter member 37 provided on the upper surface of the frame 2 can effectively prevent the scattering of foreign matters from the inside of the frame 2 regardless of the movement of the slide tables 131 to 133. .

さらに、この第２実施形態の構成によれば、ロボット１００の用途をより多様化できるという利点がある。すなわち、例えば可動範囲を長く確保したい作業用機器を、＋Ｙ側に設けられた単一のスライドテーブル１３１（つまり、他のスライドテーブルの移動とは関係なく広範囲に移動可能なスライドテーブル１３１）に取り付けるとともに、可動範囲がある程度制限されても問題のない作業用機器を、−Ｙ側に設けられた２つのスライドテーブル１３２，１３３にそれぞれ取り付ければ、より多くの作業用機器を用途に応じた適正な可動範囲内で移動させながら、これらの作業用機器によって所望の作業を効率よく行うことができる。また例えば、−Ｙ側に設けられた２つのスライドテーブル１３２，１３３のうちの一方を、フレーム２の長手方向一端部に固定した状態で、残りのスライドテーブル（１３２，１３３のいずれか）と、＋Ｙ側に設けられた上記スライドテーブル１３１とにそれぞれ作業用機器を取り付ければ、これら２つの作業用機器を、上記第１実施形態と同様に、ともに十分な可動範囲内で自在に移動させることができる。 Furthermore, according to the configuration of the second embodiment, there is an advantage that the uses of the robot 100 can be further diversified. In other words, for example, a work device for which a long movable range is desired is attached to a single slide table 131 provided on the + Y side (that is, a slide table 131 that can move over a wide range regardless of the movement of other slide tables). At the same time, if work devices that do not have any problem even if the movable range is limited to some extent are attached to the two slide tables 132 and 133 provided on the −Y side, more work devices can be appropriately used according to the application. A desired work can be efficiently performed by these working devices while being moved within the movable range. Further, for example, in a state where one of the two slide tables 132 and 133 provided on the −Y side is fixed to one end portion in the longitudinal direction of the frame 2, the remaining slide table (any one of 132 and 133), If work devices are respectively attached to the slide table 131 provided on the + Y side, these two work devices can be freely moved within a sufficient movable range, as in the first embodiment. it can.

（実施形態３）
上記第１実施形態では、前後方向に延びるフレーム２に対し、２つのスライドテーブル３，４を左右方向に並べるように配置したが、３つ以上のスライドテーブル３，４を左右方向に並設することも当然に可能である。図７は、このように構成した場合の具体例を、本発明のロボットの第３実施形態として示したものである。 (Embodiment 3)
In the first embodiment, the two slide tables 3 and 4 are arranged in the left-right direction with respect to the frame 2 extending in the front-rear direction, but three or more slide tables 3, 4 are arranged in parallel in the left-right direction. Of course it is also possible. FIG. 7 shows a specific example of such a configuration as the third embodiment of the robot of the present invention.

この図７に示されるロボット２００では、前後方向（図中のＸ軸方向）に延びるフレーム２２０に対し、４つのスライドテーブル２３１〜２３４が左右方向（フレーム２の幅方向）に並ぶように配置されている。これら４つのスライドテーブル２３１〜２３４の下面側には、上記第１実施形態と同様の可動子（図示省略）がそれぞれ設けられているとともに、これら４つの可動子に対応して、フレーム２２０の底壁部には、前後方向に並べられた複数の磁石２６０等からなる合計４列の固定子２５０が設けられている。そして、上記各スライドテーブル２３１〜２３４に設けられた可動子が、上記各固定子２５０との相互作用でそれぞれ推力を得ることにより、上記スライドテーブル２３１〜２３４が上記可動子とともに前後方向に移動するように構成されている。なお、上記のように合計４列の固定子２５０を設ける構成に代えて、上記第１実施形態と同様に、上記各スライドテーブル２３１〜２３４に共通の１列の固定子を設けることも当然に可能である。 In the robot 200 shown in FIG. 7, four slide tables 231 to 234 are arranged in the left-right direction (the width direction of the frame 2) with respect to the frame 220 extending in the front-rear direction (X-axis direction in the drawing). ing. A movable element (not shown) similar to that of the first embodiment is provided on the lower surface side of these four slide tables 231 to 234, and the bottom of the frame 220 corresponding to these four movable elements. The wall portion is provided with a total of four rows of stators 250 made up of a plurality of magnets 260 and the like arranged in the front-rear direction. The sliders 231 to 234 move in the front-rear direction together with the movable elements when the movable elements provided on the respective slide tables 231 to 234 obtain a thrust by the interaction with the respective stators 250. It is configured as follows. In addition, it replaces with the structure which provides the stator 250 of a total of 4 rows as mentioned above, and it is natural also to provide the 1 row of common stator to each said slide table 231-234 similarly to the said 1st Embodiment. Is possible.

上記各スライドテーブル２３１〜２３４は、それぞれ、フレーム２２０の底壁部に設けられた合計４列のガイドレール２１４〜２１７、および、上記各スライドテーブル２３１〜２３４の間を隔てる隔壁部材２０７の壁面に設けられた補助ガイド部材２５２に沿って個別に移動可能に支持されている。 Each of the slide tables 231 to 234 is arranged on the wall surface of the partition member 207 that separates the total of four rows of guide rails 214 to 217 provided on the bottom wall portion of the frame 220 and the slide tables 231 to 234. The auxiliary guide member 252 is provided so as to be individually movable.

上記各スライドテーブル２３１〜２３４のうち、互いに対向する左右両側または片側の側面部には、その前後端部に、上記第１実施形態と同様の面取り部４１が設けられている。なお、図７ではその図示を省略しているが、上記各スライドテーブル２３１〜２３４の側面部には、上記第１実施形態と同様のローラ（図１等の符号２３相当）が設けられることが好ましい。 Among the slide tables 231 to 234, chamfered portions 41 similar to those of the first embodiment are provided at the front and rear end portions on the left and right side surfaces or one side surface portions facing each other. Although not shown in FIG. 7, rollers (corresponding to reference numeral 23 in FIG. 1 and the like) similar to those in the first embodiment may be provided on the side surfaces of the slide tables 231 to 234. preferable.

また、上記フレーム２２０の上面部には、上記各スライドテーブル２３１〜２３４用の各開口部をそれぞれ覆う合計４列のシャッター部材２３７が設けられている。 A total of four rows of shutter members 237 are provided on the upper surface of the frame 220 to cover the openings for the slide tables 231 to 234, respectively.

このような構成の本発明の第３実施形態によれば、４つのスライドテーブル２３１〜２３４にそれぞれ作業用機器を取り付けることにより、１つのロボット２００でより多くの作業用機器を個別に前後移動させることができるという利点がある。また、フレーム２２０の上面部に設けられた上記４つのシャッター部材２３７の存在により、上記フレーム２２０の内部からの異物の飛散を上記各スライドテーブル２３１〜２３４の移動にかかわらず効果的に防止することができる。 According to the third embodiment of the present invention having such a configuration, by attaching work devices to the four slide tables 231 to 234, more work devices can be individually moved back and forth by one robot 200. There is an advantage that you can. In addition, the presence of the four shutter members 237 provided on the upper surface of the frame 220 effectively prevents the scattering of foreign matters from the inside of the frame 220 regardless of the movement of the slide tables 231 to 234. Can do.

なお、上記第３実施形態では、フレーム２２０に４つのスライドテーブル２３１〜２３４を移動可能に設けたが、スライドテーブルの数をさらに増やすことにより、より多数の作業用機器を駆動し得るように構成することも当然に可能である。一方、例えば図１〜図３に示した上記第１実施形態のロボット１のように、左右一対のスライドテーブル３，４をフレーム２の幅方向に並べて配置し、フレーム２の左右両側部に設けられた左右一対のガイドレール１４，１５に沿って上記各スライドテーブル３，４を前後方向に移動可能に支持した場合には、より簡単かつ合理的な構成で、ロボット１の使い勝手を向上させることができるという利点がある。 In the third embodiment, the four slide tables 231 to 234 are movably provided on the frame 220. However, by further increasing the number of slide tables, a larger number of work devices can be driven. Of course it is also possible to do. On the other hand, a pair of left and right slide tables 3 and 4 are arranged side by side in the width direction of the frame 2 as in the robot 1 of the first embodiment shown in FIGS. When the slide tables 3 and 4 are supported along the pair of left and right guide rails 14 and 15 so as to be movable in the front-rear direction, the usability of the robot 1 is improved with a simpler and more rational configuration. There is an advantage that can be.

また、以上説明した第１〜第３の実施形態では、スライドテーブル（３，４，１３１〜１３３、２３１〜２３４）を移動させる駆動装置として、固定子５および可動子６等を備えたリニアモータを用いたが、これとは別の種類の駆動装置として、フレームに回転自在に保持されたボールネジ軸と、上記スライドテーブルに一体的に設けられて上記ボールネジ軸と螺合するボールナットと、上記ボールネジ軸を回転駆動することにより、上記ボールナットと一体に上記スライドテーブルを移動させるサーボモータとを備えた駆動装置を用いてもよい。または、フレームに固定されたボールネジ軸と、上記スライドテーブルに回転自在に保持されて上記ボールネジ軸と螺合するボールナットと、このボールナットを回転駆動することにより、上記ボールネジ軸に沿って上記スライドテーブルを移動させる中空式のサーボモータとを備えた駆動装置を用いてもよい。 Moreover, in the 1st-3rd embodiment demonstrated above, the linear motor provided with the stator 5, the needle | mover 6, etc. as a drive device which moves a slide table (3,4, 131-133, 231-234). However, as another type of driving device, a ball screw shaft rotatably held on a frame, a ball nut integrally provided on the slide table and screwed with the ball screw shaft, and the above You may use the drive device provided with the servomotor which moves the said slide table integrally with the said ball nut by rotationally driving a ball screw axis | shaft. Alternatively, a ball screw shaft fixed to the frame, a ball nut rotatably held on the slide table and screwed with the ball screw shaft, and rotating the ball nut to slide the slide along the ball screw shaft. You may use the drive device provided with the hollow type servomotor which moves a table.

本発明の第１実施形態にかかるロボットの一部切欠き平面図である。It is a partially cutaway top view of the robot concerning a 1st embodiment of the present invention. 図１のII−II線に沿った断面図である。It is sectional drawing along the II-II line of FIG. 図２のIII−III線に沿った断面図である。It is sectional drawing along the III-III line of FIG. 上記ロボットの変形例を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the modification of the said robot. 上記ロボットのさらに別の変形例を説明するための図である。It is a figure for demonstrating another modification of the said robot. 本発明のロボットの第２実施形態を示す図である。It is a figure which shows 2nd Embodiment of the robot of this invention. 本発明のロボットの第３実施形態を示す図である。It is a figure which shows 3rd Embodiment of the robot of this invention.

Explanation of symbols

１，１００，２００ロボット
２，２２０フレーム
３，４，１３１〜１３３，２３１〜２３４スライドテーブル
５，２５０固定子
６可動子
７，２０７隔壁部材
１４，１５ガイドレール
１６，２６０磁石
３５開口部
３７，２３７シャッター部材
５２，２５２補助ガイド部材 1,100,200 Robot 2,220 Frame 3,4,131-133,231-234 Slide table 5,250 Stator 6 Movable element 7,207 Bulkhead member 14,15 Guide rail 16,260 Magnet 35 Opening 37, 237 Shutter member 52, 252 Auxiliary guide member

Claims

A frame extending in a uniaxial direction, a guide rail installed so as to extend along the frame, a slide table supported so as to be movable along the guide rail, and a drive device for moving the slide table relative to the frame A robot equipped with
A plurality of the slide tables are arranged side by side in the width direction of the frame, and the plurality of slide tables are configured to move individually along the guide rail according to the driving force of the driving device,
The partition member separating the plurality of slide tables is provided in the frame, so that a plurality of openings defined by the partition member on one surface of the frame correspond to the movable regions of the slide tables. Provided,
Each of the openings is covered with a plurality of shutter members.

The robot according to claim 1, wherein
The drive device includes a stator having a plurality of magnets arranged along the longitudinal direction of the frame, and a mover integrally provided on each slide table and movable relative to the stator. A robot characterized by a linear motor.

The robot according to claim 1 or 2,
The guide rail is provided on each of the left and right sides of the frame,
As the plurality of slide tables, a pair of left and right slide tables that are individually movable along the guide rails are provided,
A robot characterized in that a pair of openings provided corresponding to the pair of left and right slide tables are respectively covered by the shutter member.

The robot according to claim 2, wherein
A robot characterized in that a plurality of movers corresponding to each of the slide tables are provided as the movers, and one row of the stators is provided in common for the plurality of movers.

The robot according to claim 2, wherein
As the mover, a plurality of movers corresponding to the slide tables are provided, and as the stator, a plurality of rows of stators respectively corresponding to the plurality of movers are provided,
A robot characterized in that the partition member is provided between the plurality of rows of stators.

In the robot according to any one of claims 1 to 5,
The robot, wherein the plurality of slide tables are supported so as to be movable along auxiliary guide members provided on the partition member.