JP2009042018A - 光学的測定室 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本願発明による光学窓を備える光学的測定室は、試料(5)を配置する台(4)を備えた筐体(光学的測定室:6)に光学窓(1)が結合されており、当該光学窓は、入射光の光軸(線分7−8)、及び、試料面での反射光の光軸(線分8−9)、それぞれが垂直に通過するように設置された個別の光学面(2及び3)から構成されている。当該光学窓(1)に設けられた光学面(2及び3)は、入射光及び反射光が対応する光学面に対して直交するように、試料面の法線に対する入射光の光軸の角度θ及び試料面の法線に対する反射光の光軸の角度θと同じ試料面に対する角度θw1をもつ。
【選択図】 図1
Description
2:入射光を透過させるための光学面
3:反射光を透過させるための光学面
4:試料台
5:測定試料
6:光学的測定室
7:入射光
8:試料面上の測定点
9:反射光
10:光学窓を形成するベースプレート
11:光学面
12:光学窓を形成するベースプレート
13:光学窓を形成するベースプレート
14:光学的測定室の開口部
15:光学窓
16:測定試料
17:試料台
18:入射光を透過させるための光学窓
19:反射光を透過させるための光学窓
20:入射光を透過させるための光学窓を固定するためのフランジ
21:反射光を透過させるための光学窓を固定するためのフランジ
22:測定試料
23:試料台
Claims (4)
- 光学的測定室であって、該光学的測定室の内部には、試料を載置するための試料台を備え、該光学的測定室は、外界に対して気密であるとともに光学窓を除き外界から光学的に遮断されており、該窓は単一であり、同一の材料により形成されており、入射光は、該窓を通して該光学的測定室に入射し、該試料により反射した反射光は、該窓を通して該光学的測定室から外界へ出射することを特徴とする光学的測定室。
- 上記光学窓は、少なくとも2つの光学面を有し、第1の光学面は、試料面の法線に対する角度が0度以上90度未満の範囲の特定の角度である第1の入射光の光軸と直交しており、第2の光学面は、該入射光が試料により反射した第1の反射光の光軸と直交していることを特徴とする請求項1に記載の光学的測定室。
- 上記光学窓は、上記特定の角度とは異なる角度で入射する第2の入射光の光軸と直交する第3の光学面及び該第2の入射光が試料により反射した第2の反射光の光軸と直交している第4の光学面を備えていることを特徴とする請求項2に記載の光学的測定室。
- 液体窒素温度以上600℃以下の温度範囲で、波長範囲が紫外から可視光領域である入射光及び反射光に対して、上記光学窓を単一の素材で構築し、構成部材の熱膨張率の差によるゆがみ及び内部応力に起因した複屈折性の発生並びに屈折率の変化がない光学面を備えた光学窓を有することを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載の光学的測定室。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN107036940A (zh) * | 2015-12-28 | 2017-08-11 | 松下知识产权经营株式会社 | 粒子检测传感器 |
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-
2007
- 2007-08-08 JP JP2007206125A patent/JP5555908B2/ja active Active
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