JP2009037056A

JP2009037056A - 情報表示用パネル

Info

Publication number: JP2009037056A
Application number: JP2007201999A
Authority: JP
Inventors: Kaoru Sugie; 薫杉江; Yoshinori Iwabuchi; 芳典岩淵; Masahito Yoshikawa; 雅人吉川; Hiroyuki Anzai; 弘行安西; Wataru Seki; 亙関; Yoshikatsu Sakai; 嘉克坂井
Original assignee: Bridgestone Corp
Current assignee: Bridgestone Corp
Priority date: 2007-08-02
Filing date: 2007-08-02
Publication date: 2009-02-19

Abstract

【課題】絶縁性酸化膜の膜厚を好ましくは５μｍ以上と厚くすることができ、粒子に働く鏡像力を効果的に抑制することができ、その結果、粒子の駆動電圧を減少させることのできる情報表示用パネルを提供する。
【解決手段】少なくとも一方が透明な２枚の基板１、２間に表示媒体を封入し、基板に設けた電極５、６に電圧を印加することで表示媒体３に電界を付与することによって、表示媒体を移動させて画像等の情報を表示する情報表示用パネルにおいて、電極のうち金属酸化物からなる電極表面に、スパッタリングによって成膜した珪素酸化物またはジルコニウム酸化物からなる絶縁性酸化膜１１、１２を形成した。
【選択図】図３

Description

本発明は、少なくとも一方が透明な２枚の基板間に表示媒体を封入し、基板に設けた電極に電圧を印加することで表示媒体に電界を付与することによって、表示媒体を移動させて画像等の情報を表示する情報表示用パネルに関するものである。

従来、少なくとも一方が透明な２枚の基板間に表示媒体を封入し、基板に設けた電極に電圧を印加することで表示媒体に電界を付与することによって、表示媒体を移動させて画像等の情報を表示する情報表示用パネルにおいて、電極表面に絶縁膜を付与することで、表示媒体を構成する粒子に働く鏡像力が抑制できることは知られている（例えば、特許文献１参照）。

特開２００６−５８５５９号公報

上述した鏡像力を抑制する効果は、絶縁膜の厚さが厚くなる程効果が高くなる。しかし、従来の技術では、絶縁膜のコンデンサー効果によって電圧が消費され、駆動部に加わる実効電圧が弱くなってしまう。そのため、膜厚を例えば５μｍより厚くすることが出来なかった。

本発明の目的は上述した問題点を解消して、絶縁性酸化膜の膜厚を好ましくは５μｍ以上と厚くすることができ、粒子に働く鏡像力を効果的に抑制することができ、その結果、粒子の駆動電圧を減少させることのできる情報表示用パネルを提供しようとするものである。

本発明の情報表示用パネルは、少なくとも一方が透明な２枚の基板間に表示媒体を封入し、基板に設けた電極に電圧を印加することで表示媒体に電界を付与することによって、表示媒体を移動させて画像等の情報を表示する情報表示用パネルにおいて、電極表面に、スパッタリングによって成膜した絶縁性酸化膜を形成したことを特徴とするものである。

なお、本発明の情報表示用パネルの好適例では、電極が酸化インジウム錫（ＩＴＯ）であり、絶縁性酸化膜が二酸化珪素（ＳｉＯ_２）または二酸化ジルコニウム（ＺｒＯ_２）であること、絶縁性酸化膜の膜厚を５μｍ以上とすること、がある。

本発明によれば、電極表面に、スパッタリングによって成膜した絶縁性酸化膜を形成したことで、絶縁性酸化膜の膜厚を好ましくは５μｍ以上と厚くすることができ、粒子に働く鏡像力を効果的に抑制することができ、その結果、粒子の駆動電圧を減少させることのできる情報表示用パネルを得ることができる。

まず、本発明の対象となる情報表示用パネルの基本的な構成について説明する。本発明で用いる情報表示用パネルでは、対向する２枚の基板間に封入した表示媒体に電界が付与される。付与された電界方向にそって、高電位側に向かっては低電位に帯電した表示媒体が電界による力やクーロン力などによって引き寄せられ、また、低電位側に向かっては高電位に帯電した表示媒体が電界による力やクーロン力などによって引き寄せられ、それら表示媒体が電位の切替による電界方向の変化によって往復運動することにより、画像表示がなされる。従って、表示媒体が、均一に移動し、かつ、繰り返し時あるいは保存時の安定性を維持できるように、情報表示用パネルを設計する必要がある。ここで、表示媒体を構成する粒子にかかる力は、粒子同士のクーロン力により引き付けあう力の他に、電極や基板との鏡像力、分子間力、液架橋力、重力などが考えられる。

本発明の対象となる情報表示用パネルの例を、図１（ａ）、（ｂ）〜図２（ａ）、（ｂ）に基づき説明する。
図１（ａ）、（ｂ）に示す例では、少なくとも１種以上の粒子から構成される色と帯電特性の異なる表示媒体３（ここでは白色粒子３Ｗと黒色粒子３Ｂを示す）を、基板１に設けた電極６と基板２に設けた電極５との間に電圧を印加することにより発生する電界に応じて、基板１、２と垂直に移動させ、黒色粒子３Ｂを観察者に視認させて黒色の表示を行うか、あるいは、白色粒子３Ｗを観察者に視認させて白色の表示を行っている。なお、図１（ｂ）に示す例では、図１（ａ）に示す例に加えて、基板１、２との間に例えば格子状に隔壁４を設け表示セルを画成している。
図２（ａ）、（ｂ）に示す例では、１種の色の表示媒体３（ここでは白色粒子３Ｗ）を、基板２上に設けた電極５と電極６との間に電圧を印加させることにより発生する電界に応じて、基板１、２と平行方向に移動させ、白色粒子３Ｗを観察者に視認させて白色表示を行うか、あるいは、電極６または基板１の色を観察者に視認させて電極６または基板１の色の表示を行っている。なお、図２（ｂ）に示す例では、図２（ａ）に示す例に加えて、基板１、２との間に例えば格子状に隔壁４を設け表示セルを画成している。
以上の説明は、白色粒子３Ｗを白色粉流体に、黒色粒子３Ｂを黒色粉流体に、それぞれ置き換えた場合も同様に適用することが出来る。

図３は本発明の情報表示用パネルの一例の構成を示す図である。図３に示す例では、透明な前面基板１には透明な参加インジウム錫（ＩＴＯ）からなる電極６を設け、不透明な背面基板２にはアルミニウムからなる金属電極５を設けている。図３に示す本発明の情報表示用パネルの特徴は、電極６の表面に、スパッタリングにより成膜した絶縁性酸化膜１２を形成する点にある。金属電極５の表面の絶縁性酸化膜１１についても、スパッタリングにより成膜することができる。

ここで、電極５、６の材料は特に限定するものではなく、金属、金属酸化物、そのほかの導電性材料のいずれも使用することが出来る。中でも、透過率と導電性の高いＩＴＯを用いることが好ましい。また、絶縁性酸化膜１１、１２の材料としては絶縁性の酸化物が最も好ましい。絶縁性酸化物としては、ＳｉＯ_２、ＺｒＯ_２、ＴｉＯ_２、Ａｌ_２Ｏ_３などがあり、中でも屈折率がガラスと近く、界面反射の小さいＳｉＯ_２、ＺｒＯ_２が最も好適である。また、絶縁性酸化物の成膜手法としては、スパッタリング法が良い。これは、スパッタリングによって形成される膜が、良い経時安定性や表面平坦性などの点でプラスの効果があること、成膜時の酸素流量を正確に制御することで厳密な化学組成比を実現しやすいためである。

その他の成膜法、例えば塗布法などで形成した場合、化学組成比のズレによって酸化膜内に自由電荷が発生してしまう。これは、特に膜厚が１μｍ以上で顕著になり、コンデンサー効果を生じて鏡像力低減を失わせる。そのため、スパッタリングを用いることで、絶縁性酸化膜１１、１２の厚みを５μｍ以上にすることが出来、それ以上の膜厚でも実効電圧の減少を上回る鏡像力低減効果が得られるようになった。

図４（ａ）、（ｂ）はそれぞれ粒子と金属酸化物からなる電極との間に働く鏡像力Ｆを説明するための図である。ここで、図４（ａ）に示す従来例ではＩＴＯ電極２１上に粒子２２が直接配置した例を示し、図４（ｂ）に示す本発明例ではＩＴＯ電極２１上に絶縁性酸化膜２３を介して粒子２２を配置した例を示している。そして、ＩＴＯ電極の厚さをＲ、絶縁性酸化膜の厚さをｄ、粒子２２の帯電量をｑ、絶縁性酸化膜の誘電率をεとしたとき、鏡像力Ｆは図４（ａ）、（ｂ）に示す式から求めることができる。

本発明例では、ＩＴＯ電極２１の表面に、所定の絶縁性酸化膜２３をスパッタリングにより成膜している。この場合、絶縁性酸化膜２３の内部はキャリアが乏しいので、帯電した表示媒体を構成する粒子２２によって誘起される鏡像電荷の大部分は、図４（ｂ）に示すように、絶縁性酸化膜２３の下のＩＴＯ電極２１に生じる。図４（ａ）、（ｂ）に示すように、ＩＴＯ電極２１と粒子２３との間の鏡像力Ｆは両者の間の距離の２乗に反比例するので、絶縁性酸化膜２３の厚さの分だけ鏡像力Ｆが抑制される効果を生じることがわかる。また、鏡像力Ｆは誘電率εに反比例するので、絶縁性酸化膜２３の誘電率は高い方が好ましいことがわかる。

以下、本発明の対象となる情報表示用パネルを構成する各部材について説明する。

必要に応じて設ける隔壁については、その形状は表示にかかわる表示媒体の種類により適宜最適設定され、一概には限定されないが、隔壁の幅は２〜１００μｍ、好ましくは３〜５０μｍに、隔壁の高さは１０〜５００μｍ、好ましくは１０〜２００μｍに調整される。これらのリブからなる隔壁により形成される表示セルは、図５に示すごとく、基板平面方向からみて四角状、三角状、ライン状、円形状、六角状が例示され、配置としては格子状やハニカム状や網目状が例示される。表示側から見える隔壁断面部分に相当する部分（表示セルの枠部の面積）はできるだけ小さくした方が良く、画像表示の鮮明さが増す。

基板については、少なくとも観察者側となる基板は情報表示用パネル外側から表示媒体の色が確認できる、透明な基板であり、可視光の透過率が高くかつ耐熱性の良い材料が好適である。もう一方の背面側基板となる基板は透明でも不透明でもかまわない。基板材料を例示すると、ポリエチレンテレフタレート、ポリエーテルサルフォン、ポリエチレン、ポリカーボネート、ポリイミド、アクリルなどのポリマーシートや、金属シートのように可とう性のあるもの、および、ガラス、石英などの可とう性のない無機シートが挙げられる。透明基板の厚みは、２〜５０００μｍが好ましく、さらに５〜２０００μｍが好適であり、背面基板の厚みは、２０〜５０００μｍが好ましく、さらに３０〜２０００μｍが好適である。いずれの基板においても薄すぎると、強度、基板間の間隔均一性を保ちにくくなり、５０００μｍより厚いと、薄型情報表示装置に搭載する情報表示用パネルとする場合に不都合がある。

本発明における電極については、視認側であり透明である必要のある基板側に設ける電極６は、ＩＴＯ（酸化インジウム錫）からなる電極を用いる。もう一方の背面基板に設ける電極５は透明でも不透明でもかまわない。これらの材料を例示すると、パターン形成可能である導電性材料で形成され、アルミニウム、銀、ニッケル、銅、金等の金属類やＩＴＯ、酸化インジウム、導電性酸化錫、導電性酸化亜鉛等の導電金属酸化物類、ポリアニリン、ポリピロール、ポリチオフェンなどの導電性高分子類が例示され適宜、適宜選択して用いられる。電極の形成方法としては、上記例示の材料をスパッタリング法、真空蒸着法、ＣＶＤ（化学蒸着）法、塗布法等で薄膜状に形成する方法や、導電剤を溶媒や合成樹脂バインダーに混合して塗布したりする方法が用いられる。なお、電極厚みは、導電性が確保でき光透過性に支障がなければ良く、３〜１０００ｎｍ、好ましくは５〜４００ｎｍが好適である。背面側の基板側に設ける電極５の材質や厚みなどは上述した電極６と同様であるが、透明である必要はない。なお、この場合の外部電圧入力は、直流あるいは交流を重畳しても良い。

次に、本発明の情報表示用パネルで用いる表示媒体としての粉流体について説明する。なお、本発明の表示媒体としての粉流体の名称については、本出願人が「電子粉流体（登録商標）」の権利を得ている。

本発明における「粉流体」は、気体の力も液体の力も借りずに、自ら流動性を示す、流体と粒子の特性を兼ね備えた両者の中間状態の物質である。例えば、液晶は液体と固体の中間的な相と定義され、液体の特徴である流動性と固体の特徴である異方性（光学的性質）を有するものである（平凡社：大百科事典）。一方、粒子の定義は、無視できるほどの大きさであっても有限の質量をもった物体であり、重力の影響を受けるとされている（丸善：物理学事典）。ここで、粒子でも、気固流動層体、液固流動体という特殊状態があり、粒子に底板から気体を流すと、粒子には気体の速度に対応して上向きの力が作用し、この力が重力とつりあう際に、流体のように容易に流動できる状態になるものを気固流動層体と呼び、同じく、流体により流動化させた状態を液固流動体と呼ぶとされている（平凡社：大百科事典）。このように気固流動層体や液固流動体は、気体や液体の流れを利用した状態である。本発明では、このような気体の力も、液体の力も借りずに、自ら流動性を示す状態の物質を、特異的に作り出せることが判明し、これを粉流体と定義した。

すなわち、本発明における粉流体は、液晶（液体と固体の中間相）の定義と同様に、粒子と液体の両特性を兼ね備えた中間的な状態で、先に述べた粒子の特徴である重力の影響を極めて受け難く、高流動性を示す特異な状態を示す物質である。このような物質はエアロゾル状態、すなわち気体中に固体状もしくは液体状の物質が分散質として安定に浮遊する分散系で得ることができ、本発明の情報表示用パネルで固体状物質を分散質とするものである。

本発明の情報表示用パネルは、少なくとも一方が透明な、対向する基板間に、表示媒体として例えば気体中に固体粒子が分散質として安定に浮遊するエアロゾル状態で高流動性を示す粉流体を封入するものであり、このような粉流体は、低電圧の印加でクーロン力などにより容易に安定して移動させることができる。
本発明に例えば用いる粉流体とは、先に述べたように、気体の力も液体の力も借りずに、自ら流動性を示す、流体と粒子の特性を兼ね備えた両者の中間状態の物質である。この粉流体は、特にエアロゾル状態とすることができ、本発明の情報表示用パネルでは、気体中に固体状の物質が分散質として比較的安定に浮遊する状態で用いられる。

次に、本発明の情報表示用パネルで用いる表示媒体としての粒子について説明する。粒子は、その主成分となる樹脂に、必要に応じて、従来と同様に、荷電制御剤、着色剤、無機添加剤等を含ますことができる。以下に、樹脂、荷電制御剤、着色剤、その他添加剤を例示する。

樹脂の例としては、ウレタン樹脂、ウレア樹脂、アクリル樹脂、ポリエステル樹脂、アクリルウレタン樹脂、アクリルウレタンシリコーン樹脂、アクリルウレタンフッ素樹脂、アクリルフッ素樹脂、シリコーン樹脂、アクリルシリコーン樹脂、エポキシ樹脂、ポリスチレン樹脂、スチレンアクリル樹脂、ポリオレフィン樹脂、ブチラール樹脂、塩化ビニリデン樹脂、メラミン樹脂、フェノール樹脂、フッ素樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリスルフォン樹脂、ポリエーテル樹脂、ポリアミド樹脂等が挙げられ、２種以上混合することもできる。特に、基板との付着力を制御する観点から、アクリルウレタン樹脂、アクリルシリコーン樹脂、アクリルフッ素樹脂、アクリルウレタンシリコーン樹脂、アクリルウレタンフッ素樹脂、フッ素樹脂、シリコーン樹脂が好適である。

荷電制御剤としては、特に制限はないが、負荷電制御剤としては例えば、サリチル酸金属錯体、含金属アゾ染料、含金属（金属イオンや金属原子を含む）の油溶性染料、４級アンモニウム塩系化合物、カリックスアレン化合物、含ホウ素化合物（ベンジル酸ホウ素錯体）、ニトロイミダゾール誘導体等が挙げられる。正荷電制御剤としては例えば、ニグロシン染料、トリフェニルメタン系化合物、４級アンモニウム塩系化合物、ポリアミン樹脂、イミダゾール誘導体等が挙げられる。その他、超微粒子シリカ、超微粒子酸化チタン、超微粒子アルミナ等の金属酸化物、ピリジン等の含窒素環状化合物及びその誘導体や塩、各種有機顔料、フッ素、塩素、窒素等を含んだ樹脂等も荷電制御剤として用いることもできる。

着色剤としては、以下に例示するような、有機または無機の各種、各色の顔料、染料が使用可能である。

黒色着色剤としては、カーボンブラック、酸化銅、二酸化マンガン、アニリンブラック、活性炭等がある。
青色着色剤としては、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：３、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５、紺青、コバルトブルー、アルカリブルーレーキ、ビクトリアブルーレーキ、フタロシアニンブルー、無金属フタロシアニンブルー、フタロシアニンブルー部分塩素化物、ファーストスカイブルー、インダスレンブルーＢＣ等がある。
赤色着色剤としては、ベンガラ、カドミウムレッド、鉛丹、硫化水銀、カドミウム、パーマネントレッド４Ｒ、リソールレッド、ピラゾロンレッド、ウォッチングレッド、カルシウム塩、レーキレッドＤ、ブリリアントカーミン６Ｂ、エオシンレーキ、ローダミンレーキＢ、アリザリンレーキ、ブリリアントカーミン３Ｂ、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２等がある。

黄色着色剤としては、黄鉛、亜鉛黄、カドミウムイエロー、黄色酸化鉄、ミネラルファーストイエロー、ニッケルチタンイエロー、ネーブルイエロー、ナフトールイエローＳ、ハンザイエローＧ、ハンザイエロー１０Ｇ、ベンジジンイエローＧ、ベンジジンイエローＧＲ、キノリンイエローレーキ、パーマネントイエローＮＣＧ、タートラジンレーキ、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１２等がある。
緑色着色剤としては、クロムグリーン、酸化クロム、ピグメントグリーンＢ、Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン７、マラカイトグリーンレーキ、ファイナルイエローグリーンＧ等がある。
橙色着色剤としては、赤色黄鉛、モリブデンオレンジ、パーマネントオレンジＧＴＲ、ピラゾロンオレンジ、バルカンオレンジ、インダスレンブリリアントオレンジＲＫ、ベンジジンオレンジＧ、インダスレンブリリアントオレンジＧＫ、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ３１等がある。
紫色着色剤としては、マンガン紫、ファーストバイオレットＢ、メチルバイオレットレーキ等がある。
白色着色剤としては、亜鉛華、酸化チタン、アンチモン白、硫化亜鉛等がある。

体質顔料としては、バライト粉、炭酸バリウム、クレー、シリカ、ホワイトカーボン、タルク、アルミナホワイト等がある。また、塩基性、酸性、分散、直接染料等の各種染料として、ニグロシン、メチレンブルー、ローズベンガル、キノリンイエロー、ウルトラマリンブルー等がある。

無機系添加剤の例としては、酸化チタン、亜鉛華、硫化亜鉛、酸化アンチモン、炭酸カルシウム、鉛白、タルク、シリカ、ケイ酸カルシウム、アルミナホワイト、カドミウムイエロー、カドミウムレッド、カドミウムオレンジ、チタンイエロー、紺青、群青、コバルトブルー、コバルトグリーン、コバルトバイオレット、酸化鉄、カーボンブラック、マンガンフェライトブラック、コバルトフェライトブラック、銅粉、アルミニウム粉などが挙げられる。
これらの顔料および無機系添加剤は、単独であるいは複数組み合わせて用いることができる。このうち特に黒色顔料としてカーボンブラックが、白色顔料として酸化チタンが好ましい。

また、本発明の情報表示用パネルで用いる表示媒体として用いる粒子は平均粒子径d(0.5)が、０．１〜２０μｍの範囲であり、均一で揃っていることが好ましい。平均粒子径d(0.5)がこの範囲より大きいと表示上の鮮明さに欠け、この範囲より小さいと粒子同士の凝集力が大きくなりすぎるために粒子の移動に支障をきたすようになる。

更に本発明では、各粒子の粒子径分布に関して、下記式に示される粒子径分布Spanを５未満、好ましくは３未満とする。
Span＝（ｄ(0.9)−ｄ(0.1)）／ｄ(0.5)
（但し、ｄ(0.5)は粒子の50％がこれより大きく、50％がこれより小さいという粒子径をμｍで表した数値、ｄ(0.1)はこれ以下の粒子の比率が10％である粒子径をμｍで表した数値、ｄ(0.9)はこれ以下の粒子が90％である粒子径をμｍで表した数値である。）
Spanを５以下の範囲に納めることにより、各粒子のサイズが揃い、均一な粒子移動が可能となる。

さらにまた、各粒子の相関について、使用した粒子の内、最大径を有する粒子のd(0.5)に対する最小径を有する粒子のd(0.5)の比を５０以下、好ましくは１０以下とすることが肝要である。

なお、上記の粒子径分布および粒子径は、レーザー回折／散乱法などから求めることができる。測定対象となる粒子にレーザー光を照射すると空間的に回折／散乱光の光強度分布パターンが生じ、この光強度パターンは粒子径と対応関係があることから、粒子径および粒子径分布が測定できる。
ここで、本発明における粒子径および粒子径分布は、体積基準分布から得られたものである。具体的には、Mastersizer2000(Malvern Instruments Ltd.）測定機を用いて、窒素気流中に粒子を投入し、付属の解析ソフト（Mie理論を用いた体積基準分布を基本としたソフト）にて、粒子径および粒子径分布の測定を行なうことができる。

表示媒体を構成する粒子の帯電量は当然その測定条件に依存するが、情報表示用パネルにおける表示媒体を構成する粒子の帯電量はほぼ、初期帯電量、隔壁との接触、基板との接触、経過時間に伴う電荷減衰に依存し、特に表示媒体を構成する粒子の帯電挙動の飽和値が支配因子となっているということが分かった。

更に、本発明において表示媒体に粒子群又は粉流体を用いる場合は、基板間の表示媒体３（粒子群又粉流体）を取り巻く空隙部分の気体の管理が重要であり、表示安定性向上に寄与する。具体的には、空隙部分の気体の湿度について、２５℃における相対湿度を６０％RH以下、好ましくは５０％RH以下とすることが重要である。
この空隙部分とは、図１（ａ）、（ｂ）〜図２（ａ）、（ｂ）において、対向する基板１、基板２に挟まれる部分から、電極５、６、表示媒体（粒子群あるいは粉流体３）の占有部分、隔壁４の占有部分（隔壁が存在する部分）、装置シール部分を除いた、いわゆる表示媒体が接する気体部分を指すものとする。
空隙部分の気体は、先に述べた湿度領域であれば、その種類は問わないが、乾燥空気、乾燥窒素、乾燥アルゴン、乾燥ヘリウム、乾燥二酸化炭素、乾燥メタンなどが好適である。この気体は、その湿度が保持されるようにパネルに封入することが必要であり、例えば、表示媒体の充填、パネルの組み立てなどを所定湿度環境下にて行い、さらに、外からの湿度侵入を防ぐシール材、シール方法を施すことが肝要である。

対向する基板間の空間における表示媒体（粒子群又は粉流体）の体積占有率は５〜７０％が好ましく、さらに好ましくは５〜６０％である。７０％を超える場合には表示媒体（粒子群又粉流体）の移動の支障をきたし、５％未満の場合にはコントラストが不明確となり易い。

＜実施例１＞
ガラス基板上にＩＴＯを成膜してＩＴＯ電極を形成した後、ＩＴＯ電極の表面上に、絶縁性酸化膜としてＳｉＯ_２をスパッタリングにより成膜した。ＳｉＯ_２の膜厚が１００ｎｍ、１μｍ、５μｍ、１０μｍの４種類のＩＴＯ電極と、比較用のＩＴＯ電極（絶縁性酸化膜なし）と合わせて、計５種類の異なるＩＴＯ電極を用いて、観察側および背面側との同じ種類の電極を用いることで図３に示す構造の情報表示用パネルを作製した。得られた各情報表示用パネルについて、コントラストと電圧との関係を示す駆動曲線を測定した所、絶縁性酸化膜の厚さが５μｍ、１０μｍのＩＴＯ電極を用いた例で、駆動電圧が大幅に減少する様子が観察された（図６参照）。

＜実施例２＞
ガラス基板上にＩＴＯを成膜してＩＴＯ電極を形成した後、ＩＴＯ電極の表面上に、絶縁性酸化膜としてＺｒＯ_２をスパッタリングにより成膜した。ＺｒＯ_２の膜厚が１００ｎｍ、１μｍ、５μｍ、１０μｍの４種類のＩＴＯ電極と、比較用のＩＴＯ電極（絶縁性酸化膜なし）と合わせて、計５種類の異なるＩＴＯ電極を用いて、観察側および背面側との同じ種類の電極を用いることで図３に示す構造の情報表示用パネルを作製した。得られた各情報表示用パネルについて、コントラストと電圧との関係を示す駆動曲線を測定した所、絶縁性酸化膜の厚さが５μｍ、１０μｍのＩＴＯ電極を用いた例で、駆動電圧が大幅に減少する様子が観察された（図７参照）。

また、実施例２に示すＺｒＯ_２からなる絶縁性酸化膜の厚さ５μｍ、１０μｍの例と、実施例１に示すＳｉＯ_２からなる絶縁性酸化膜の厚さ５μｍ、１０μｍの例とを比較したところ、実施例２は実施例１と比べて駆動電圧が更に大きく低減したことがわかる。これは絶縁性酸化膜の誘電率の違いによると考えられる。ここで、ＺｒＯ_２の誘電率は１２．８で、ＳｉＯ_２の３．８に比べて非常に高い。

本発明の情報表示用パネルは、ノートパソコン、ＰＤＡ、携帯電話、ハンディターミナル等のモバイル機器の表示部、電子書籍、電子新聞等の電子ペーパー、看板、ポスター、黒板等の掲示板、電卓、家電製品、自動車用品等の表示部、ポイントカード、ＩＣカード等のカード表示部、電子広告、電子ＰＯＰ、電子値札、電子楽譜、ＲＦ−ＩＤ機器の表示部などに好適に用いられる。

（ａ）、（ｂ）はそれぞれ本発明の情報表示用パネルの一例の動作を示す図である。（ａ）、（ｂ）はそれぞれ本発明の情報表示用パネルの他の例の動作を示す図である。本発明の情報表示用パネルの一例の構成を示す図である。（ａ）、（ｂ）はそれぞれ粒子と金属酸化物からなる電極との間に働く鏡像力Ｆを説明するための図である。本発明の対象となる画像表示用パネルにおける隔壁の形状の一例を示す図である。実施例１におけるコントラストと電圧との関係を示す駆動曲線を示すグラフである。実施例２におけるコントラストと電圧との関係を示す駆動曲線を示すグラフである。

符号の説明

１、２基板
３画像表示媒体（粒子群または粉流体）
３Ｗ白色粒子群
３Ｂ黒色粒子群
４隔壁
５、６電極
１１、１２、２３絶縁性酸化膜
２１ＩＴＯ電極
２２粒子

Claims

少なくとも一方が透明な２枚の基板間に表示媒体を封入し、基板に設けた電極に電圧を印加することで表示媒体に電界を付与することによって、表示媒体を移動させて画像等の情報を表示する情報表示用パネルにおいて、電極表面に、スパッタリングによって成膜した絶縁性酸化膜を形成したことを特徴とする情報表示用パネル。
電極が酸化インジウム錫（ＩＴＯ）であり、絶縁性酸化膜が二酸化珪素（ＳｉＯ_２）または二酸化ジルコニウム（ＺｒＯ_２）であることを特徴とする請求項１に記載の情報表示用パネル。
絶縁性酸化膜の膜厚を５μｍ以上とすることを特徴とする請求項１または２に記載の情報表示用パネル。