JP2009035483A - 光透過部材 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】この光透過部材は、チタンを含有する溶融石英ガラスよりなる光透過部材であって、当該光透過部材は、光入射面から100μmの表面層領域において、波長163nmに吸収を示す酸素欠陥構造の濃度が6×10-3mol/L以下であることを特徴とする。
【選択図】 なし
Description
当該光透過部材は、光入射面から100μmの表面層領域において、波長163nmに吸収を示す酸素欠陥構造の濃度が6×10-3mol/L以下であることを特徴とする。
図1は、本発明の光透過部材を利用した放電ランプの一例における構成を示す説明用断面図、図2は、本発明の光透過部材を利用した放電ランプの他の例における構成を示す説明用断面図、図3は、本発明の光透過部材を利用した放電ランプの更に他の例における構成を示す説明用断面図である。
そして、図1に示す放電ランプにおける窓部材5、図2に示す放電ランプにおける放電容器10、および図3に示す放電ランプにおける板状窓15が、光透過部材によって形成されている。
光透過部材について、外部放射光の放射照度は、図4に示す構成の測定器具を用いて測定することができる。
測定器具20は黒色筒状の器具本体23よりなり、その一端面にはピンホール21が形成され、他端面には受光用開口22が形成されている。この受光用開口22には、分光器の受光部24が当該受光用開口22を塞ぐように配設されている。図4においてPは照度測定対象である光の光源であるランプである。
このような測定器具20における寸法例は、ランプPに係る光透過部材の外面からピンホール21までの距離aが20mm、器具本体23の全長(図において左右方向の長さ)bが180mm、ピンホール21の直径cが5mm、そして、受光用開口22の直径dが8mmである。
ここで、光透過部材用原材とは、溶融石英ガラスよりなるものであって、上記酸素欠陥低減化処理が行われていない状態のものをいう。
この表面層除去処理は、光透過部材用原材における特定の表面を形成する表面層を、例えば研磨法、化学エッチング法などの適宜の手法によって除去し、これによって、表面を新たに形成する処理である。
この表面層除去処理においては、除去される表面層の厚さは少なくとも100μm以上である。
この表面加熱処理は、光透過部材用原材における特定の表面を形成する表面層を、酸素若しくは水素を含む雰囲気下で加熱する処理である。
具体的には、特定の表面から、少なくとも100μm以上の深さの表面層に対して、酸素を大気より高い濃度、具体的には20%以上含有する雰囲気下において900℃以上の条件で、例えば6〜12時間処理することにより、または、水素を99%以上含有する雰囲気下において800〜900℃の条件で、1〜7時間処理することが行われる。
具体的には、例えばケイ砂、天然水晶などの原材料に、予め、二酸化チタンなどのチタン金属化合物を混合し、その後に溶融する方法などによりチタンが含有された溶融石英ガラスを得、この溶融石英ガラスよりなる光透過部材用原材の光入射面となる表面を形成する表面層に対して前記酸素欠陥低減化処理が実行されることによって光透過部材が製造される。
そして、チタンが含有された溶融石英ガラスよりなる本発明の光透過部材は、光源からの光が入射する、当該光透過部材の入射面から100μmの表面層領域において、波長163nmに吸収を示す酸素欠陥構造の濃度が、例えば6×10-3mol/L以下であればよい。
例えば、酸素欠陥低減化処理を、チタンが含有された溶融石英ガラスよりなる光透過部材用原材の、光入射面となる表面を形成する表面層および光放射面となる他面を形成する表面層の両方に対して実施することも可能であり、この場合には、光透過部材について更に好ましい放射照度維持特性を達成することが可能である。
<参考例1A>
溶融石英ガラスよりなり、厚み方向の全体における酸素欠陥構造の平均濃度(以下、単に「酸素欠陥バルク濃度」ともいう。)が1.5×10-4mol/Lである厚さ2.2mmの光透過部材用原材に対してふっ酸水溶液を用いた化学エッチング処理を行うことにより、その光入射面となる表面を形成する厚さ100μmの表面層を除去して表面層除去処理を行うことにより、光透過部材を得た。
結果を表1に示す。
結果を図5および図6に示す。
参考例1Aで用いたものと同様の光透過部材用原材について、当該参考例1Aと同様に酸素欠陥表面濃度を測定した。
また、当該光透過部材用原材を、表面層除去処理をせずにそのまま用いて放電容器を形成したこと以外は参考例1Aと同様にして放電ランプを得ると共に、その放射照度を測定して、当該放電ランプに係る放射照度維持特性を評価した。
結果を表1、図5および図6に示す。図5においては、参考例1Aに係る結果を四角で、対照例1Aを丸で示す。また、図6においては、各参考例に係る結果を四角で、各対照例に係る結果を黒丸で示す。
光透過部材における酸素欠陥構造の濃度は、下記の一般式(4)に従って求めた。
また、表1に示す通り、参考例1Aに係る光透過部材の酸素欠陥表面濃度は、対照例1Aに係る光透過部材用原材の酸素欠陥表面濃度と比して低減されており、この酸素欠陥表面濃度の低減により、優れた放射照度維持特性が得られることが明らかである。
光透過部材用原材として、表1に示す酸素欠陥バルク濃度を有するものを用いたこと以外は参考例1Aと同様にして光透過部材を得ると共に、この光透過部材について酸素欠陥表面濃度を測定した。
また、参考例1Aと同様に、得られた光透過部材を用いて放電ランプを得、この放電ランプについて点灯開始から100時間後の時点の放射照度維持率を測定した。
結果を表1および図6に示す。
参考例1Bで用いたものと同様の光透過部材用原材を用いたこと以外は対照例1Aと同様にして、酸素欠陥表面濃度を測定すると共に、当該光透過部材用原材を用いて放電ランプを得、この放電ランプについて点灯開始から100時間後の時点の放射照度維持率を測定した。
結果を表1および図6に示す。
光透過部材用原材として、表1に示す酸素欠陥バルク濃度を有するものを用いたこと以外は参考例1Aと同様にして厚さ2.2mmの光透過部材を得ると共に、この光透過部材について酸素欠陥表面濃度を測定した。
また、得られた光透過部材を用いることにより、図3に示す構成を有する、当該光透過部材よりなる板状窓(15)を備え、放電容器(10)の内部空間にキセノンガスが充填された放電ランプを作製した。得られた放電ランプについて、参考例1Bと同様に、点灯開始から100時間後の時点の放射照度維持率の測定を行った。
結果を表1および図6に示す。
参考例2Aで用いたものと同様の光透過部材用原材について、当該参考例1Aと同様に酸素欠陥表面濃度を測定した。
また、当該光透過部材用原材を、表面層除去処理をせずにそのまま用いて板状窓を形成したこと以外は参考例2Aと同様にして放電ランプを得ると共に、点灯開始から100時間後の時点の放射照度維持率の測定を行った。
結果を表1および図6に示す。
光透過部材用原材として、表1に示す酸素欠陥バルク濃度を有するものを用いたこと以外は参考例1Aと同様にして光透過部材を得ると共に、この光透過部材について酸素欠陥表面濃度を測定した。
また、参考例2Aと同様に、得られた光透過部材を用いて放電ランプを得、この放電ランプについて点灯開始から100時間後の時点の放射照度維持率を測定した。
結果を表1および図6に示す。
参考例2Bで用いたものと同様の光透過部材用原材を用いたこと以外は対照例2Aと同様にして、酸素欠陥表面濃度を測定すると共に、当該光透過部材用原材を用いて放電ランプを得、この放電ランプについて点灯開始から100時間後の時点の放射照度維持率の測定を行った。
結果を表1および図6に示す。
光透過部材用原材として、チタンを7.1×10-3mol/Lの割合で含有する溶融石英ガラスよりなるものを用いたこと以外は参考例1Aと同様にして光透過部材を得ると共に、この光透過部材について酸素欠陥表面濃度を測定したところ、3.0×10-3mol/Lであった。
また、参考例1Aと同様に、得られた光透過部材を用いて放電ランプを得、この放電ランプについて点灯開始から100時間後の時点の放射照度維持率を測定したところ、95%であった。
ここで、この光透過部材用原材においては、全体厚での波長163nmの紫外線の透過率はほぼ零であり、当該光透過部材用原材に係る酸素欠陥バルク濃度は測定できなかった。
光透過部材用原材として、チタンを7.1×10-3mol/Lの割合で含有する他の溶融石英ガラスよりなるものを用いたこと以外は参考例1Aと同様にして光透過部材を得ると共に、この光透過部材について酸素欠陥表面濃度を測定したところ、5.0×10-3mol/Lであった。
また、実施例1Aと同様に、得られた光透過部材を用いて放電ランプを得、この放電ランプについて点灯開始から100時間後の時点の放射照度維持率を測定したところ、93%であった。
1b 内管
2 内部電極
3 外部電極
4 封止部材
5 窓部材
10 放電容器
11 発光管部
12a 電極棒
12b 電極棒
13 陽極
14 陰極
15 板状窓
16 光取出用突出部
20 測定器具
21 ピンホール
22 受光用開口
23 器具本体
24 受光部
Claims (1)
- チタンを含有する溶融石英ガラスよりなる、紫外線を含む光を透過する光透過部材であって、
当該光透過部材は、光入射面から100μmの表面層領域において、波長163nmに吸収を示す酸素欠陥構造の濃度が6×10-3mol/L以下であることを特徴とする光透過部材。
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---|---|---|---|---|
JPS5289280A (en) * | 1976-01-21 | 1977-07-26 | Toshiba Ceramics Co | Inner bulb for mercury lamp |
JPH0761829A (ja) * | 1993-08-27 | 1995-03-07 | Nikon Corp | 合成石英ガラス光学部材およびその製造方法 |
JPH0769671A (ja) * | 1993-09-07 | 1995-03-14 | Shinetsu Quartz Prod Co Ltd | 紫外線吸収性シリカガラスおよびその製造方法 |
JPH08290935A (ja) * | 1995-04-14 | 1996-11-05 | Corning Inc | 光学的損傷に対する耐性を有する高純度溶融シリカガラス部材およびその製造方法 |
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Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5289280A (en) * | 1976-01-21 | 1977-07-26 | Toshiba Ceramics Co | Inner bulb for mercury lamp |
JPH0761829A (ja) * | 1993-08-27 | 1995-03-07 | Nikon Corp | 合成石英ガラス光学部材およびその製造方法 |
JPH0769671A (ja) * | 1993-09-07 | 1995-03-14 | Shinetsu Quartz Prod Co Ltd | 紫外線吸収性シリカガラスおよびその製造方法 |
JPH08290935A (ja) * | 1995-04-14 | 1996-11-05 | Corning Inc | 光学的損傷に対する耐性を有する高純度溶融シリカガラス部材およびその製造方法 |
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