JP2009034621A - Suction device, droplet discharge apparatus, method of manufacturing electrooptic device and electrooptic device - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、インクジェットヘッドに代表される機能液滴吐出ヘッドに密接し、機能液滴吐出ヘッドの吐出ノズルを保全する吸引装置、液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法および電気光学装置に関するものである。 The present invention relates to a suction device, a droplet discharge device, a method for manufacturing an electro-optical device, and an electro-optical device that are in close contact with a functional droplet discharge head represented by an inkjet head and maintain a discharge nozzle of the functional droplet discharge head. It is.
従来、クリーニングユニット(吸引装置)として、複数の機能液吐出ヘッドに対応して設けられた複数のヘッドキャップ及び複数のヘッドキャップを搭載したキャッププレートから成るキャップユニットと、キャッププレートの四隅をボルト止めするようにしてキャップユニットを支持固定するキャップベース(支持フレーム)と、を備えたものが知られている(特許文献1参照)。
このような従来の吸引装置(クリーニングユニット)では、ワークギャップ調整により水平に配設した複数の機能液滴吐出ヘッドのノズル面に対し、複数のヘッドキャップの接触面が精度良く平行に配設されていないと、一部の機能液液滴吐出ヘッドとヘッドキャップとの密接が不十分となり、機能液の漏出やエアーのリークが発生してしまう問題があった。もっとも、キャップユニットや支持フレーム(キャップベース)を高い精度で作製すればかかる不具合は解消するが、コスト高となってしまう。 In such a conventional suction device (cleaning unit), the contact surfaces of the plurality of head caps are accurately disposed in parallel with the nozzle surfaces of the plurality of functional liquid droplet ejection heads disposed horizontally by adjusting the work gap. Otherwise, the close contact between some of the functional liquid droplet discharge heads and the head cap becomes insufficient, causing a problem that functional liquid leaks or air leaks. However, if the cap unit and the support frame (cap base) are manufactured with high accuracy, such a problem is solved, but the cost is increased.
本発明は、キャッププレートを介して複数のヘッドキャップの接触面の傾き調整を簡単に行うことができる吸引装置、液滴吐出装置電気光学装置の製造方法および電気光学装置を提供することをその課題としている。 It is an object of the present invention to provide a suction device, a droplet discharge device electro-optical device manufacturing method, and an electro-optical device capable of easily adjusting the inclination of contact surfaces of a plurality of head caps via a cap plate. It is said.
本発明の吸引装置は、インクジェット方式の複数の機能液滴吐出ヘッドをヘッドプレートに下向きに搭載したヘッドユニットに対応して設けられ、複数の機能液滴吐出ヘッドに対応する複数のヘッドキャップを略方形のキャッププレートに上向きに搭載したキャップユニットと、キャップユニットを下側から支持する支持フレームと、支持フレームとキャッププレートとの間に介設され、キャッププレートを介して複数のキャップユニットのピッチング方向およびヨーイング方向の傾きを調整する傾き調整手段と、を備え、傾き調整手段は、支持フレームに対しキャッププレートの四隅をそれぞれ高さ調整可能な4つの高さ調整機構を有していることを特徴とする。 The suction device of the present invention is provided corresponding to a head unit in which a plurality of ink jet type functional liquid droplet ejection heads are mounted downward on a head plate, and has a plurality of head caps corresponding to the plurality of functional liquid droplet ejection heads. A cap unit mounted upward on a rectangular cap plate, a support frame that supports the cap unit from below, and a gap between the support frame and the cap plate. And an inclination adjusting means for adjusting the inclination in the yawing direction, and the inclination adjusting means has four height adjusting mechanisms capable of adjusting the heights of the four corners of the cap plate with respect to the support frame. And
この構成によれば、4つの高さ調整機構により、キャップユニットのピッチング方向およびヨーイング方向の傾きをそれぞれ調整することができるので、複数の機能液滴吐出ヘッドのノズル面に対する複数のヘッドキャップの平行度を精度良く調整することができる。これにより、複数の機能液滴吐出ヘッドに対しキャッププレートに搭載されている各ヘッドキャップを精度良く密接させることができ、機能液の漏出やエアーものリークを確実に防止することができる。 According to this configuration, the inclination of the cap unit in the pitching direction and the yawing direction can be adjusted by the four height adjustment mechanisms, respectively, so that the plurality of head caps are parallel to the nozzle surfaces of the plurality of functional liquid droplet ejection heads. The degree can be adjusted with high accuracy. Thereby, each head cap mounted on the cap plate can be brought into close contact with a plurality of functional liquid droplet ejection heads with high accuracy, and leakage of functional liquid and air leakage can be surely prevented.
この場合、各高さ調整機構は、上側からキャッププレートを貫通するように螺合すると共に、下端が支持フレームの上面に突き当てられる調整ねじを有していること、が好ましい。 In this case, it is preferable that each height adjustment mechanism has an adjustment screw that is screwed so as to penetrate the cap plate from above and whose lower end is abutted against the upper surface of the support frame.
この構成によれば、調整ねじを正逆回転させることによりキャッププレートが上下動するため、キャッププレートの傾きを簡単に調整することができる。なお、調整ねじのリードを短くしてキャッププレートの上下動を微調整できるようにすることが、好ましい。 According to this configuration, since the cap plate moves up and down by rotating the adjusting screw forward and backward, the inclination of the cap plate can be easily adjusted. It is preferable to shorten the lead of the adjustment screw so that the vertical movement of the cap plate can be finely adjusted.
この場合、各高さ調整機構は、調整ねじの軸心を貫通して支持フレームに螺合する固定ねじを、更に有していること、が好ましい。 In this case, it is preferable that each height adjusting mechanism further includes a fixing screw that passes through the axis of the adjusting screw and is screwed into the support frame.
また、調整ねじの上端部外周面には、調整ねじを正逆回転させるための工具掛け部が形成されていること、が好ましい。 Moreover, it is preferable that a tool hook portion for rotating the adjustment screw forward and reverse is formed on the outer peripheral surface of the upper end portion of the adjustment screw.
これらの構成によれば、4つの調整ねじによりキャッププレートの傾き調整を行った後、固定ねじを締め付ければ、キャッププレートを介してキャップユニットを支持フレームに固定することができる。また、固定ねじを、緩めた状態で調整ねじによる調整を行うことができる。 According to these configurations, the cap unit can be fixed to the support frame via the cap plate by tightening the fixing screw after adjusting the inclination of the cap plate with the four adjusting screws. In addition, the adjustment screw can be adjusted with the fixing screw loosened.
この場合、調整ねじの下端部は、冠球状に形成されていること、が好ましい。 In this case, it is preferable that the lower end part of the adjusting screw is formed in a crowned spherical shape.
この構成によれば、調整ねじの下端部が支持プレートに線状(円)に当接するため、面状に当接する場合に比して調整ねじの回転角度に対する調整のくるいを抑制することができる。 According to this configuration, since the lower end portion of the adjustment screw comes into contact with the support plate in a linear shape (circle), the adjustment screw with respect to the rotation angle of the adjustment screw can be suppressed as compared with the case of making contact with the surface shape. it can.
本発明の液滴吐出装置は、ワークに対し、インクジェット方式の複数の機能液滴吐出ヘッドを移動させながら、複数の機能液滴吐出ヘッドから機能液滴を吐出させて描画を行なう描画手段と、複数のヘッドキャップを介して、複数の機能液滴吐出ヘッドに対し機能液の吸引処理を行うことを特徴とする。 The liquid droplet ejection apparatus of the present invention includes a drawing unit that performs drawing by ejecting functional liquid droplets from a plurality of functional liquid droplet ejection heads while moving the plurality of functional liquid droplet ejection heads of an ink jet system with respect to a work, A functional liquid suction process is performed on a plurality of functional liquid droplet ejection heads via a plurality of head caps.
この構成によれば、複数の機能液滴吐出ヘッドと複数のヘッドキャップを精度良く密接させることができるため、複数の機能性液滴吐出ヘッドの吸引処理を効率良く行うことができる。すなわち、機能性液滴吐出ヘッドの機能維持や機能回復を効率良く行うことができ、生産性を向上させることができる。 According to this configuration, the plurality of functional liquid droplet ejection heads and the plurality of head caps can be brought into close contact with each other with high accuracy, so that the suction processing of the plurality of functional liquid droplet ejection heads can be performed efficiently. That is, it is possible to efficiently maintain and recover the function of the functional droplet discharge head, and to improve productivity.
本発明の電気光学装置の製造方法は、上記した液滴吐出装置を用い、ワーク上に機能液滴による成膜部を形成することを特徴とする。 A method for manufacturing an electro-optical device according to the present invention is characterized in that a film-forming unit made of functional droplets is formed on a workpiece using the above-described droplet discharge device.
また、本発明の電気光学装置は、上記の液滴吐出装置を用い、ワーク上に機能液滴による成膜部を形成したことを特徴とする。 In addition, an electro-optical device according to the present invention is characterized in that the above-described droplet discharge device is used to form a film forming portion with functional droplets on a workpiece.
これらの構成によれば、機能液滴吐出ヘッドの機能維持および機能回復を効率良く行うことができる液滴吐出装置により製造することで、ワークの生産性を向上させることができる。なお、電気光学装置(フラットパネルディスプレイ:FPD)としては、カラーフィルタ、液晶表示装置、有機EL装置、PDP装置、電子放出装置等が考えられる。なお、電子放出装置は、いわゆるFED(Field Emission Display)やSED(Surface-conduction Electron-Emitter Display)装置を含む概念である。さらに、電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等を包含する装置が考えられる。 According to these configurations, the productivity of the workpiece can be improved by manufacturing with the droplet discharge device capable of efficiently maintaining and recovering the function of the functional droplet discharge head. As an electro-optical device (flat panel display: FPD), a color filter, a liquid crystal display device, an organic EL device, a PDP device, an electron emission device, and the like are conceivable. The electron emission device is a concept including a so-called FED (Field Emission Display) or SED (Surface-conduction Electron-Emitter Display) device. Further, as the electro-optical device, devices including metal wiring formation, lens formation, resist formation, light diffuser formation, and the like are conceivable.
以下、添付の図面を参照して、本発明の機能液供給装置を適用した液滴吐出装置について説明する。この液滴吐出装置は、フラットパネルディスプレイの製造ラインに組み込まれており、例えば、特殊なインクや発光性の樹脂液である機能液を導入した機能液滴吐出ヘッドを用い、液晶表示装置のカラーフィルタや有機EL装置の各画素となる発光素子等を形成するものである。 Hereinafter, a droplet discharge device to which a functional liquid supply device of the present invention is applied will be described with reference to the accompanying drawings. This droplet discharge device is incorporated in a flat panel display production line, and uses, for example, a function droplet discharge head into which a special ink or a functional liquid that is a light-emitting resin liquid is introduced, and the color of a liquid crystal display device A light emitting element or the like to be used for each pixel of a filter or an organic EL device is formed.
図1、図2および図3に示すように、液滴吐出装置1は、石定盤に支持されたX軸支持ベース2上に配設され、主走査方向となるX軸方向に延在して、ワークWをX軸方向(主走査方向)に移動させるX軸テーブル11と、複数本の支柱4を介してX軸テーブル11を跨ぐように架け渡された1対(2つ)のY軸支持ベース3上に配設され、副走査方向となるY軸方向に延在するY軸テーブル(移動テーブル)12と、複数の機能液滴吐出ヘッド17が搭載された10個のキャリッジユニット51と、から成り、10個のキャリッジユニット51は、Y軸テーブル12に移動自在に吊設されている。さらに、液滴吐出装置1は、これらの装置を温度および湿度が管理された雰囲気内に収容するチャンバ6と、チャンバ6を貫通して、チャンバ6の外部から内部の機能液滴吐出ヘッド17に機能液を供給する3組の機能液供給装置101を有した機能液供給ユニット7と、を備えている。X軸テーブル11およびY軸テーブル12の駆動と同期して機能液滴吐出ヘッド17を吐出駆動させることにより、機能液供給ユニット7から供給されたR・G・B3色の機能液滴を吐出させ、ワークWに所定の描画パターンが描画される。
As shown in FIGS. 1, 2 and 3, the
また、液滴吐出装置1は、フラッシングユニット14、複数の吸引装置15、ワイピングユニット16、吐出性能検査ユニット18から成るメンテナンス装置5を備えており、これらユニットを機能液滴吐出ヘッド17の保守に供して、機能液滴吐出ヘッド17の機能維持・機能回復を図るようになっている。なお、メンテナンス装置5を構成する各ユニットのうち、フラッシングユニット14および吐出性能検査ユニット18は、X軸テーブル11に搭載され、複数の吸引装置15およびワイピングユニット16は、X軸テーブル11から直角に延び、かつY軸テーブル12によりキャリッジユニット51が移動可能である位置に配設された架台上に配設されている(厳密には、吐出性能検査ユニット18は、後述するステージユニット77がX軸テーブル11に搭載され、カメラユニット78がY軸支持ベース3に支持されている。)。
Further, the
フラッシングユニット14は、一対の描画前フラッシングユニット71,71と、定期フラッシングユニット72とを有し、機能液滴吐出ヘッド17の吐出直前や、ワークWの載換え時等の描画処理休止時に行われる、機能液滴吐出ヘッド17の捨て吐出(フラッシング)を受ける。各吸引装置15は、各機能液滴吐出ヘッド17の吐出ノズル98から機能液を強制的に吸引すると共に、キャッピングを行う。ワイピングユニット16は、ワイピングシート75を有し、吸引後の機能液滴吐出ヘッド17のノズル面97を拭取る。吐出性能検査ユニット18は、機能液滴吐出ヘッド17から吐出された機能液滴を受ける検査シート83を搭載したステージユニット77と、ステージユニット77上の機能液滴を画像認識により検査するカメラユニット78を有し、機能液滴吐出ヘッド17の吐出性能(吐出の有無および飛行曲り)を検査する。
The
次に、液滴吐出装置1の構成要素について簡単に説明する。図2または図3に示すように、X軸テーブル11は、ワークWをセットするセットテーブル21と、セットテーブル21をX軸方向にスライド自在に支持するX軸第1スライダ22と、上記のフラッシングユニット14およびステージユニット77をX軸方向にスライド自在に支持するX軸第2スライダ23と、X軸方向に延在し、X軸第1スライダ22を介してセットテーブル21(ワークW)をX軸方向に移動させると共に、X軸第2スライダ23を介してフラッシングユニット14およびステージユニット77をX軸方向に移動させる左右一対のX軸リニアモータ(図示省略)と、X軸リニアモータに並設され、X軸第1スライダ22およびX軸第2スライダ23の移動を案内する一対(2本)のX軸共通支持ベース24と、を備えている。
Next, components of the
セットテーブル21は、ワークWを吸着セットする吸着テーブル31と、吸着テーブル31を支持し、吸着テーブル31にセットしたワークWの位置をθ軸方向に補正するためのθテーブル32等を有している。また、セットテーブル21のY軸方向と平行な一対の辺には、それぞれ上記の描画前フラッシングユニット71が添設されている。
The set table 21 includes a suction table 31 for sucking and setting the work W, and a θ table 32 for supporting the suction table 31 and correcting the position of the work W set on the suction table 31 in the θ-axis direction. Yes. The
Y軸テーブル12は、10個の各キャリッジユニット51をそれぞれ吊設した10個のブリッジプレート52と、10個のブリッジプレート52を両持ちで支持する10組のY軸スライダ(図示省略)と、上記した一対のY軸支持ベース3上に設置され、10組のY軸スライダを介してブリッジプレート52をY軸方向に移動させる一対のY軸リニアモータ(図示省略)と、を備えている。また、Y軸テーブル12は、各キャリッジユニット51を介して描画時に機能液滴吐出ヘッド17を副走査するほか、機能液滴吐出ヘッド17をメンテナンス装置5(吸引装置15およびワイピングユニット16)に臨ませる。
The Y-axis table 12 includes 10
一対のY軸リニアモータを(同期して)駆動すると、各Y軸スライダが一対のY軸支持ベース3を案内にして同時にY軸方向を平行移動する。これにより、ブリッジプレート52がY軸方向を移動し、これと共にキャリッジユニット51がY軸方向に移動する。なお、この場合、Y軸リニアモータの駆動を制御することにより、各キャリッジユニット51を独立させて個別に移動させることも可能であるし、10個のキャリッジユニット51を一体として移動させることも可能である。
When the pair of Y-axis linear motors are driven (synchronously), each Y-axis slider translates in the Y-axis direction simultaneously with the pair of Y-
また、Y軸テーブル12の両脇には、これに平行にケーブル坦持体81が配設されている。両ケーブル坦持体81は、一端がY軸支持ベース3に固定されると共に他端が各ブリッジプレート52の1つに固定されている。このケーブル坦持体81には、各キャリッジユニット51用のケーブル類、エアーチューブ類および機能液流路等が収容されている。
Further, on both sides of the Y-axis table 12, a
各キャリッジユニット51は、12個の機能液滴吐出ヘッド17と、12個の機能液滴吐出ヘッド17を6個ずつ2群に分けて支持するヘッドプレート53と、から成るヘッドユニット13を備えている(図4参照)。また、各キャリッジユニット51は、ヘッドユニット13をθ補正(θ回転)可能に支持するθ回転機構61と、θ回転機構61を介して、ヘッドユニット13をY軸テーブル12(各ブリッジプレート52)に支持させる吊設部材62と、を備えている。加えて、各キャリッジユニット51は、その上部にサブタンク121が配設されており(実際には、ブリッジプレート52上に配設)、このサブタンク121から自然水頭を利用して各機能液滴吐出ヘッド17に機能液が供給されるようになっている。
Each
図5に示すように、機能液滴吐出ヘッド17は、いわゆる2連のものであり、2連の接続針92を有する機能液導入部91と、機能液導入部91に連なる2連のヘッド基板93と、機能液導入部91の下方に連なり、内部に機能液で満たされるヘッド内流路が形成されたヘッド本体94と、を備えている。接続針92は、機能液供給ユニット7(機能液供給装置101)に接続され、機能液導入部91に機能液を供給する。ヘッド本体94は、キャビティ95(ピエゾ圧電素子)と、多数の吐出ノズル98が開口したノズル面97を有するノズルプレート96と、で構成されている。機能液滴吐出ヘッド17を吐出駆動すると(ピエゾ圧電素子に電圧が印加され)、キャビティ95のポンプ作用により、吐出ノズル98から機能液滴が吐出される。
As shown in FIG. 5, the functional liquid
なお、ノズル面97には、多数の吐出ノズル98からなる2つのノズル列98bが相互に平行に形成されている。そして、2つのノズル列98b同士は、相互に半ノズルピッチ分位置ずれしている。
In addition, two
チャンバ6は、内部温度および湿度を一定に保つように構成されている。すなわち、液滴吐出装置1によるワークWへの描画は、温度および湿度が一定値に管理された雰囲気中で行われる。そして、チャンバ6の側壁の一部には、タンクユニット122を収納するためのタンクキャビネット84が設けられている。なお、有機EL装置等を製造する場合には、チャンバ6内を、不活性ガス(窒素ガス)の雰囲気で構成することが好ましい。
The
図1および図2に示すように、ワイピングユニット16と10台(複数)の吸引装置15とが配設された領域は、メンテナンスエリア213となっており、液滴吐出装置1の稼動停止時には、Y軸テーブル12により10個のキャリッジユニット51が10台の吸引装置15の位置まで移動し、全機能液滴吐出ヘッド17に対し、いわゆるキャッピングが行われる。一方、稼動開始時には、全機能液滴吐出ヘッド17に対し、吸引処理が行なわれ、続いてキャリッジユニット51単位でワイピング処理が行なわれ、10台のキャリッジユニット51は順次、X軸テーブル11上の描画エリア214に移動する。
As shown in FIGS. 1 and 2, the area where the wiping
また、稼動中に、例えばメンテナンスエリア213側から3つ目のキャリッジユニット51に吐出不良が検出されると、1つ目から3つ目までの3つのキャリッジユニットが描画エリア214側の3台の吸引装置15上に移動し、該当する1のキャリッジユニット51には、吸引装置15による吸引処理が行なわれ、その間他の2つのキャリッジユニット51では、各機能液滴吐出ヘッド17から吸引装置15に捨て吐出(フラッシング)が行われる。このように、10個のキャリッジユニット51が個別に制御され、これに合わせて10台の吸引装置15も個別に制御される。すなわち、10台の吸引装置15は、本装置の吸引システムを構成している。
In addition, during operation, for example, if a discharge failure is detected in the
次に、図6および図7を参照して、各吸引装置15について説明する。吸引装置15は、12個の機能液滴吐出ヘッド17に対応する12個のヘッドキャップ201を、キャッププレート202に配置したキャップユニット203と、各ヘッドキャップに連なる吸引機構204(図11参照)と、キャップユニット203を支持する支持部材205と、支持部材205を介してキャップユニット203を昇降させる昇降機構206と、後述するキャップユニット203のピッチング方向およびヨーイング方向の傾きを調整する傾き調整機構207と、後述するヘッドキャップ201の大気開放弁208を開放させる弁作動機構209とを備えている。
Next, each
図7に示すように、キャップユニット203は、12個のヘッドキャップ201とこれを搭載したキャッププレート202とから成り、12個のヘッドキャップ201は、12個の機能液滴吐出ヘッド17と同じ並びで且つ同じ傾き姿勢で、キャッププレート202に搭載されている。キャッププレート202は、12個のヘッドキャップ201に対応して12個の取付け開口が形成されると共に、この取付け開口を含むように12個の受け溝が形成されている(いずれも図示省略)。各ヘッドキャップ201は、下部を取付け開口に挿入し、受け溝に位置決めされた状態で、受け溝にねじ止めされている。
As shown in FIG. 7, the
図8ないし図10に示すように、ヘッドキャップ201は、機能液滴吐出ヘッド17に接触するキャップアッセンブリ221およびキャップアッセンブリ221を受けるアッセンブリベース222からなるキャップ本体223と、キャップアッセンブリ221を保持するキャップホルダ224とを有している。キャップ本体223の下面には、キャップ本体223内を大気に開放する大気開放弁208と、キャップ本体223内に連通する吸引チューブ225用の吸引継手226と、が取り付けられている。
As shown in FIGS. 8 to 10, the
キャップアッセンブリ221は、キャップアッセンブリ221の主体を為すと共に、表面中央部に吸収材収容部231aを形成した吸収材ホルダ231と、吸収材収容部231aに収容された機能液吸収材232と、膨張した機能液吸収材232を平坦に抑える機能液吸収材押さえ233と、吸収材収容部231aを囲繞するように設けられ、機能液滴吐出ヘッド17のノズル面97に密接するシール部材234と、シール部材234の周縁部を押さえる枠状押さえ部材235と、枠状押さえ部材235を吸収材ホルダ231に締結する2本の締結ねじ236と、を有している。
The
吸収材ホルダ231は、略方形に作成されており、吸収材ホルダ231の表面中央部には、機能液吸収材232を収容する方形の吸収材収容部231aが枠状に突設されている。また、吸収材ホルダ231の長辺方向両側部には、締結ねじ236用の締結ねじ貫通孔241と後述する取付ねじ242用の取付ねじ貫通孔243とが、短辺方向に並んで形成されている(図9参照)。また、吸収材ホルダ231の裏面には、後述する一対のX軸位置決めピン244が係合するX軸切欠き部245が長辺方向に延在するように形成されて、また吸収材ホルダ231の1の角部には後述するY軸位置決めピン246が係合するY軸切欠き部247が形成されている。
The
吸収材収容部231aの底面には、長辺方向に並ぶよう吸引口248および大気挿入口250が開口しており、吸引口248は、吸引流路251を介して上記の吸引継手226に連通し、大気挿入口250は大気開放流路252を介して上記の大気開放弁208に連通している。そして、吸収材ホルダ231の下面には、吸引流路251と同心円を為するように、後述する液密シール部材237(Oリング)が装着される環状溝253が形成されている。同様に、吸収材ホルダ231の下面には、大気開放流路252と同心円を為するように、後述する気密シール部材238(Oリング)が装着される環状溝253が形成されている。なお、液密シール部材237および気密シール部材238は、キャップアッセンブリ221の交換に際し、その一部として一体に交換される(図8参照)。
A
機能液吸収材232は、機能液吸収を主体とする上側の上吸収材232aと機能液保持を主体する下側の下吸収材232bとから成る2種類の機能液吸収材232を積層して構成されており、吸収材収容部231aに敷設するように収容されている。なお、機能液吸収材232は、2層構造に限らず単層構造または多層構造にしてもよい。
The functional liquid absorbent 232 is configured by laminating two types of functional
機能液吸収材押さえ233は、ステンレス等の耐食性材料の薄板で構成されており、略方形の枠状部233aと、枠状部233aを横断するように形成された桟状部233b(3つ)とで一体に形成されている。これにより、機能液吸収材232の膨潤を防止し、平坦に抑えることができるようになっている。
The functional liquid
シール部材234は、耐食性ゴムや樹脂等で構成されており、断面がクランク状に且つ吸収材収容部231aに沿って環状に形成されている(図8参照)。これにより、シール部材234を、ノズル列98bを包含するようにノズル面97に密着させることができる。また、シール部材234と吸収材ホルダ231とが機能液吸収材押さえ233の縁部を挟み込むように構成されており、機能液吸収材押さえ233を安定的にかつ気密に固定することが可能となる。
The
枠状押さえ部材235は、ステンレス等で構成されており、シール部材234が臨む開口を有して略方形の枠状に形成されている。枠状押さえ部材235の長辺方向の両端部には、の取付ねじ242用の取付ねじ貫通穴261と締結ねじ236用の締結ねじ穴262が、短辺方向に並ぶように形成されている。一対の締結ねじ236、236は、吸収材ホルダ231を貫通して枠状押さえ部材235に螺合するようになっており、両締結ねじ236、236により、キャップアッセンブリ221が一体化される。なお、取付ねじ242により、キャップアッセンブリ221をアッセンブリベース222に固定した状態では、締結ねじ236は、キャップ本体223内に隠ぺいされる。
The frame-shaped
アッセンブリベース222は、キャップ本体223よりわずかに長くにかつ略方形に形成されており、キャップ本体223が着座するベース本体222aと、ベース本体222aから長辺方向両側に延設された一対の被保持部222bと、で一体に形成されている。そして、アッセンブリベース222は、この一対の被保持部222bの部分でキャップホルダ224に保持されている。また、ベース本体222aには、上記の吸引流路251に連結する吸引連通流路271が形成され、この吸引連通流路271には、ストレート形状に形成された吸引継手226が取り付けられている。そして、吸引継手226の継手本体には、吸引した機能液を後述する廃液タンク281(図11参照)に導く吸引チューブ225が接続されている。この場合、吸引チューブ225がストレート形状に形成されているため、吸引チューブ225を簡単に離接することができると共に、吸引継手226やキャップアッセンブリ221が吸引チューブ225から無用な力を受けることがない。
The
同様に、ベース本体222aの下面には、大気開放流路252に連通する大気連通流路272が形成され、この大気連通流路272には、下方に延在するロッドホルダ291に、上下方向スライド自在に支持するようにして大気開放弁208が取り付けられている。大気開放弁208は、上記大気連通流路272に埋め込んだ弁座302aと、ロッドホルダ291にスライド自在に支持された操作ロッド301の上端部に形成した弁体302bと、ロッドホルダ291に設けられ操作ロッド301を閉弁方向(上方)に付勢する戻しばね303と、操作ロッド301の下部に螺合した入力コマ304と、入力コマ304を固定するロックナット305と、で構成されている。詳細は後述するが、入力コマ304には、上記の弁作動機構209が係合しており、弁作動機構209により、入力コマ304を介して操作ロッド301が引き上げられることにより、大気開放弁208が閉弁する一方、戻しばね303により、操作ロッド301が引き上げられることにより大気開放弁208が閉弁する。さらに、ベース本体222aの下面には、吸引継手226および大気開放弁208の外側に位置して、後述する密接ばね322を受容する一対のばね受け穴326,326が形成されている。
Similarly, an
キャップアッセンブリ221とアッセンブリベース222との間には、吸収材ホルダ231の一対の環状溝253に装着するようにして、液密シール部材237(Oリング)および気密シール部材238(Oリング)が介設されている。
A liquid-tight seal member 237 (O-ring) and an air-tight seal member 238 (O-ring) are interposed between the
取付ねじ242は、枠状押さえ部材235の表面からキャップアッセンブリ221をアッセンブリベース222に固定するために、枠状押さえ部材235および吸収材ホルダ231を貫通して、アッセンブリベース222に螺合するようになっている。この一対の取付ねじ242により、キャップアッセンブリ221をアッセンブリベース222に固定すると、液密シール部材237および気密シール部材238が押しつぶされて、吸引流路251と吸引連通流路271とが液密に接続され、且つ大気開放流路252と大気連通流路272とが気密に接続される。これにより、キャップアッセンブリ221とアッセンブリベース222の接続部分からの機能液の漏出やエアーのリークを有効に防止することができる。なお本実施形態では、液密シール部材237および気密シール部材238にOリングを採用するが、機能液の漏出やエアーのリークを有効に防止することができれば、XリングやDリングを採用しても良い(図示省略)。
The mounting
キャップホルダ224は、ステンレス等の耐食性材料で構成され、細長形状の外形を有するキャップホルダ本体320と、キャップホルダ本体320上にキャップ本体223を押さえるように保持する一対の保持ブロック321と、キャップホルダ本体320を受けとしてキャップ本体223を上方に付勢する一対の密接ばね322,322と、を備えている。キャップホルダ本体320は、一対の保持ブロック321が固定されている両端部の一対の厚肉部320aと、中間の薄肉部320bとで一体に形成されており、薄肉部320bの中央には、上記の吸引継手226および大気開放弁208が挿入する開口部323が形成されている。また、薄肉部320bには、開口部323の外側に位置して、後述する密接ばね322を受容する一対のばね受け溝212,212が形成されている。各ばね受け溝212には、その中心にばね支持ピン324が立設されており、このばね支持ピン324に巻回するようにして、密接ばね322が配設されている。すなわち、各密接ばね322は、キャップホルダ本体320のばね受け溝212とアッセンブリベース222のばね受け穴326との間に介設され、キャップホルダ本体320を受けにして、キャップ本体223を上方に付勢している。
The
一対の保持ブロック321は、キャップホルダ本体320の厚肉部にそれぞれねじ止めされており、その内側でアッセンブリベース222の一対の被保持部222b,222bが、上下方向にスライド自在に係合し、且つ一対の密接ばね322に接してアッセンブリベース222の上動端位置を規制している。すなわち、キャップ本体223は、この一対の保持ブロック321により位置規制された状態で一対の密接ばね322により上方に付勢されている。これによりキャップ本体223を、機能液滴吐出ヘッド17のノズル面97に確実に密着させ得るようになっている。また、一対の保持ブロック321は、キャップ本体223をわずかに傾斜するように位置規制しており、機能液滴吐出ヘッド17のノズル面97が離間するときにキャップ本体223の表面から機能液が大きく飛散するのを防止している。
The pair of holding
ここで、図9を参照にして、キャップ本体223の組立て手順を説明する。予め、吸収材ホルダ231と、機能液吸収材232と、機能液吸収材押さえ233と、シール部材234および枠状押さえ部材235を組み付け、吸収材ホルダ231の裏面から締結ねじ236を枠状押さえ部材235に螺合することでキャップアッセンブリ221を組み立てておく。この状態で、吸収材ホルダ231の下面に形成された切欠き部245および切欠き部247をベース本体222aのX軸位置決めピン244およびY軸位置決めピン246に位置合わせをする。そして、枠状押さえ部材235の上面から、取付ねじ242をキャップアッセンブリ221を貫通するようにベース本体222aに螺合させることで、キャップアッセンブリ221をベース本体222aに固定する。
Here, the assembly procedure of the
一方、機能液吸収材232や、シール部材234を交換する場合には、吸収材ホルダ231、機能液吸収材232、シール部材234等を組み立てた新たなキャップアッセンブリ221を用意しておき、取付ねじ242を外し、既存のキャップアッセンブリ221を取り外した後、新たなキャップアッセンブリ221を装着する。このように、キャップアッセンブリとして、吸収材ホルダ231と、機能液吸収材232と、機能液吸収材押さえ233と、シール部材234と、枠状押さえ部材235とが吸収材ホルダ231の下面から締結ねじ236で螺合されており、且つキャップアッセンブリ221が枠状押さえ部材235の上面からベース本体222aに螺合されることで固定されている。
On the other hand, when the functional liquid absorbent 232 or the
よって、キャップアッセンブリ221交換時には、枠状押さえ部材235の上面には、一対の取付ねじ242のみ露出していることになる。したがって、キャップアッセンブリ221を間違えて解体することなく、取付ねじ242を外すことで、一体として交換することができる。よって、確実に短時間でキャップアッセンブリ221の交換作業を行うことができる。例えば、この交換作業の作業時間は、従来のねじ固定では1のヘッドキャップ201(消耗品の)の交換作業につき約5分であるが、本実施形態の方法では約30秒である。したがって、12個のヘッドキャップ201に対し、従来の交換作業は約60分を要したが、本実施形態の方法による交換作業は約6分で完了する。
Therefore, when the
上記したようにキャップユニット203は、ヘッドユニット13の各色4個、計12個の機能液滴吐出ヘッド17に対応して、各色4個、計12個のヘッドキャップ201を有している。本実施形態の吸引機構204は、この色別に吸引処理を行なえるようになっている。すなわち、図11に示すように、吸引機構204は、R・B・G3色の機能液滴吐出ヘッド17に対応して、別個独立のR色吸引機構204a、G色吸引機構204bおよびB色吸引機構204cとで構成されている。
As described above, the
ここで、各吸引機構204の構成および機能は同じであるため、R色吸引機構204を例に挙げ説明する。各R色吸引機構204は、R色の4個の各ヘッドキャップ201に接続した4本の個別吸引チューブ225、及びマニホールド330を介して4本の個別チューブ225aの下流端に接続した合流チューブ225bとから成る吸引チューブ225と、吸引チューブ225の下流端が接続される廃液タンク281と、廃液タンク281と一次側にエアーを導入すると共に二次側を廃液タンク281に接続したイジェクタ331とを有している。各個別吸引チューブ225には、圧力センサ332および開閉バルブ333が介設されており、4個のヘッドキャップ201が同一の吸引圧力で吸引される。
Here, since the configuration and function of each suction mechanism 204 are the same, the R color suction mechanism 204 will be described as an example. Each R-color suction mechanism 204 includes four
各機能液滴吐出ヘッド17と各ヘッドキャップ201とを密着させた状態で、一次側に圧縮エアーを導入するようにしてイジェクタ331を駆動すると、廃液タンク281および吸引流路251が負圧(吸引圧力)に成る。これにより機能液がヘッドキャップ201を介して機能液滴吐出ヘッド17から吸引され、廃液タンク281に貯留される。また、本実施形態の吸引装置15では、機能液滴吐出ヘッド17から機能液を吸引する場合の他、機能液滴吐出ヘッド17からの捨て吐出(フラッシング)を受ける場合があり、かかる場合には、ヘッドキャップ201を機能液滴吐出ヘッド17からわずかに離間させ、イジェクタ331を駆動させながら捨て吐出を受けるようにしている。なお、負圧力は、圧力センサ332により、検出され、この検出結果に基づいて、一次側のレギュレータ334がフィードバック制御される。また、本字実施形態では、イジェクタ331による吸引を示したが、これに換えて、吸引ポンプによる吸引方法でも良い。
When the
図6に示すように、昇降機構206は、支持部材205を介してヘッドキャップ201を直接昇降させる昇降シリンダ311と、昇降シリンダ311による昇降をガイドする一対のリニアガイド314と、これらを支持するベース部341と、を有している。昇降シリンダ311は、ヘッドユニット13の交換時にヘッドキャップ201を大きく下降させると共に、機能液滴吐出ヘッド17のノズル面97からヘッドキャップ201を離接させるものである。すなわち、昇降シリンダ311は、吸引用の密接位置と、フラッシング用の離接位置と、ヘッドユニット13の交換やキャップユニット203の消耗品交換(メンテナンス)用の交換位置との間でキャップユニット203を3段階に昇降させる。
As shown in FIG. 6, the elevating
支持部材205は、上端にキャップユニット203を支持する支持フレーム342を有する支持部材本体343と、支持フレーム342を上下方向にスライド自在に支持するスタンド344とを有している。支持部材本体343の長手方向の両側下面には、一対のエアーシリンダ345、345が固定されており、この一対のエアーシリンダ345、345で昇降される操作プレート312を設けて、操作プレート312上に各ヘッドキャップ201の大気開放弁208の入力コマ304に係合する複数(12個)の作動部材307を取り付けられている(詳細は後述する)。かくて、一対のエアーシリンダ345、345および作動部材307により操作プレート312を介して大気開放弁208を開閉する弁作動機構209が形成されている(図13参照)。
The
次に、図7および図12を参照して、キャップユニット203のピッチング方向およびヨーイング方向の傾きを調整する傾き調整機構207について説明する。傾き調整機構207は、上記のキャップユニット203におけるキャッププレート202の四隅に設けられた4個の高さ調整機構313により構成されており、各高さ調整機構313は、下端が支持フレーム342の上面に突き当てられる調整ねじ351と、調整ねじ351の軸心を貫通してキャッププレート202を支持フレーム342に螺合する固定ねじ352と、を有している。
Next, an
支持フレーム342は、略方形に形成されており、キャッププレート202の長辺方向の両端を下側から支持している。支持フレーム342の両端部には、一対のY軸位置決め板354,354が設けられ、一方の端部にはX軸位置決めブロック355が設けられている(図7参照)。キャップユニット203は、そのキャッププレート202をY軸位置決め板354およびX軸位置決めブロック355に突き当てるようにして、支持フレーム342上に位置決めされる。なお、図中の符号346は、固定ねじ352をロックするロックねじである。
The
調整ねじ351は、外周面でキャッププレート202に螺合する雄ネジ部材であり、上端部外周面に調整ねじ351を正逆回転させるための工具掛け部355が形成されている。調整ねじ351を工具等により正逆回転させると、相対的にキャッププレート202が上下動する。一方、調整ねじ351の下端部は、調整ねじ351の回転角度に対する調整のくるいを抑制するために冠球状に形成されており、この部分で調整ねじ351は支持フレーム342に突き当てられている。なお、調整ねじ351の側面に形成されているリードは、キャッププレート202の上下動を微調整できるように短く形成されている。また、調整ねじ351の軸心には、固定ねじ352が貫通する貫通孔356が形成されている。
The
固定ねじ352は、調整ねじ351の軸心を貫通して支持フレーム342に螺合している。すなわち、4本の調整ねじ351により、キャッププレート202のピッチング方向およびヨーイング方向の傾きを調整した後、4本の固定ねじ352を支持フレーム342に締結することにより、傾き調整されたキャップユニット203が支持フレーム342に固定される。
The fixing
次に、傾き調整機構207によるキャッププレート202の傾き調整方法について説明する。まず、キャッププレート202の四隅と機能液滴吐出ヘッド17のノズル面97との最短距離をマイクロメーター等により測定することで、4つの高さ調整機構313によりキャッププレート202を四隅の上下動する移動距離をそれぞれ決定する。次に、支持フレーム342に螺合している4つの調整ねじ351を緩めることで、固定ねじ352を回転可能にする。そして、上記で決定した移動距離に合致するように、キャッププレート202の四隅に配設された調整ねじ351をレンチ等により正逆回転させキャッププレート202の高さレベルを調整する。最後に、固定ねじ352を締めることで、調整ねじ351を介してキャップユニット203を支持フレームに固定する。
Next, a method for adjusting the inclination of the
したがって、固定ねじ352を、緩めた状態で4つの調整ねじ351により調整ねじ351に対するキャッププレート202の位置を調整後、固定ねじ352を締め付ければ、キャッププレート202を介してキャップユニット203を支持フレーム342に固定することができる。また、キャッププレート202の四隅をそれぞれ高さ調整することが可能であるため、複数の機能液滴吐出ヘッド17のノズル面に複数のヘッドキャップ201の傾きを合わせることができる。したがて、キャッププレート202に搭載されているヘッドキャップ201を機能液滴吐出ヘッド17に精度良く密着させることができ、機能液の漏出やエアーのリークを確実に防止することができる。なお、複数の機能液滴吐出ヘッド17のノズル面97の傾きとキャッププレート202の傾きが完全に一致しなくても、上記したように、キャップ本体223がキャップホルダ224に僅かに上下動するように配設されているため、複数の機能液滴吐出ヘッド17とヘッドキャップ201とを精度良く密着させることができる。
Therefore, after adjusting the position of the
次に、図10および図13を参照して、大気開放弁208を開閉する弁作動機構209について説明する。上記のように大気開放弁208は、キャップ本体223に対し離接する方向にスライド自在に設けられ、このスライド動作で大気連通流路272を開閉させる操作ロッド301と、操作ロッド301の下部に設けられた入力コマ304と、入力コマを固定するロックナット305と、を有している。一方、弁作動機構209は、この入力部306と係合する作動部材307と、作動部材307を上下動させる動力源である一対のエアーシリンダ345,345と、操作ロッド301を弁閉塞方向に付勢する戻しばね303と、を有している。
Next, the
入力コマ304は、正逆回転することで操作ロッド301に対する軸方向の取付位置を調整することができるように操作ロッド301に螺合しており、調整した位置をロックナット305により固定する。入力コマ304は、円筒状に形成され、上下両端部には、それぞれ上フランジ部304aおよび下フランジ部304bが一体に形成されている。一方、作動部材307は、爪部307aと取付部307bとで断面逆「L」字状に形成され、取付部307bで操作プレート312の上面に固定され、爪部307aで入力コマに係合している。爪部307aは、「U」字状に形成された切欠き部310を有しており、切欠き部310は、上記した傾き調整機構207の傾き調整に伴う入力コマ304の移動に加え、キャップ本体223の傾動に伴う入力コマ304の移動を許容する間隙Sを存して臨んでいる。すなわち、傾き調整機構207による調整に伴って、操作ロッド301が振られ、入力コマ304の傾きが移動するが、この移動範囲を想定して、入力コマ304の胴体と切欠き部310の間隙(クリアランス)Sが設計されている。このように入力コマ304と切欠き部310との間に大きなクリアランスを設けているため、下フランジ部と作動部材307の爪部307aとの係合を確実なものとすべく下フランジ部304bの直径は、作動部材307の幅より大きく形成されている(図14参照)。
The
次に、吸引動作完了直後に行う大気開放弁208の開閉動作について説明する。まず、エアーシリンダ345と連結している操作プレート312をエアーシリンダ345により下動させる。これに伴い、作動部材307が引き下げられ、入力コマ304の下フランジ部304bを介して操作ロッド301が引かれ大気開放弁208が開放する。一方、動力源により操作プレート312を上動させると、上記の戻しばね303により大気開放弁208が開放する。
Next, the opening / closing operation of the
なお、上記したように、切欠き部310は、高さ調整機構313によるヘッドキャップ201の傾動に伴う入力コマ304の移動および機能液滴吐出ヘッド17とキャップ本体223との密着時のキャップ本体223の傾動に伴う入力コマ304の移動を許容する間隙Sを存している。よって、組立時に、作動部材307と入力部306とを簡単に係合させることができ、且つ切欠き部310が操作ロッド301に螺合している入力コマ304に干渉することがない。また、フランジ部309が作動部材307の幅より大きく形成されているため入力部306と切欠き部310との間隙Sが大きくても作動部材307にフランジ部309が掛かることで、確実に開弁することができ、且つ戻しばね303により円滑に大気開放弁208を閉弁させることができる。これにより、機能液吸収材232に含まれている機能液を吸引することができると共に、ノズル面97近傍に残存している機能液の飛散を防止することができる。この場合、間隙Sは2mmとすることが好ましい。
Note that, as described above, the
なお、特に図示はしないが、本実施形態では、吸収材ホルダ231のX軸、Y軸両切欠き部245、247と、アッセンブリベース222のX軸、Y軸両位置決めピン244、246とで位置合わせしているが、これに代えて、吸収材ホルダ231に設けたピン穴とキャップアッセンブリ221に設けたX軸、Y軸両位置決めピン244、246を嵌合させることで位置決めをしてもよい。さらに、吸収材ホルダ231に設けた凹部とアッセンブリベース222に設けた凸部が嵌合することで位置決めをしてもよい。また、キャップアッセンブリ221をユニット化(枠状押さえ部材235を吸収材ホルダ231に圧入)するようにしてもよい。
Although not particularly illustrated, in this embodiment, the X-axis and Y-
また、本実施形態においては、10個のキャリッジユニット51を備えた液滴吐出装置1を備えたものを使用しているが、キャリッジユニット51の個数および各キャリッジユニット51に搭載される機能液滴吐出ヘッド17の個数は任意である。
In the present embodiment, the apparatus including the
次に、本実施形態の液滴吐出装置1を用いて製造される電気光学装置(フラットパネルディスプレイ)として、カラーフィルタ、液晶表示装置、有機EL装置、プラズマディスプレイ(PDP装置)、電子放出装置(FED装置、SED装置)、さらにこれら表示装置に形成されてなるアクティブマトリクス基板等を例に、これらの構造およびその製造方法について説明する。なお、アクティブマトリクス基板とは、薄膜トランジスタ、および薄膜トランジスタに電気的に接続するソース線、データ線が形成された基板をいう。
Next, as an electro-optical device (flat panel display) manufactured using the
まず、液晶表示装置や有機EL装置等に組み込まれるカラーフィルタの製造方法について説明する。図15は、カラーフィルタの製造工程を示すフローチャート、図16は、製造工程順に示した本実施形態のカラーフィルタ500(フィルタ基体500A)の模式断面図である。
まず、ブラックマトリクス形成工程(S101)では、図16(a)に示すように、基板(W)501上にブラックマトリクス502を形成する。ブラックマトリクス502は、金属クロム、金属クロムと酸化クロムの積層体、または樹脂ブラック等により形成される。金属薄膜からなるブラックマトリクス502を形成するには、スパッタ法や蒸着法等を用いることができる。また、樹脂薄膜からなるブラックマトリクス502を形成する場合には、グラビア印刷法、フォトレジスト法、熱転写法等を用いることができる。
First, a method for manufacturing a color filter incorporated in a liquid crystal display device, an organic EL device or the like will be described. FIG. 15 is a flowchart showing the manufacturing process of the color filter, and FIG. 16 is a schematic cross-sectional view of the color filter 500 (filter
First, in the black matrix forming step (S101), a
続いて、バンク形成工程(S102)において、ブラックマトリクス502上に重畳する状態でバンク503を形成する。即ち、まず図16(b)に示すように、基板501およびブラックマトリクス502を覆うようにネガ型の透明な感光性樹脂からなるレジスト層504を形成する。そして、その上面をマトリクスパターン形状に形成されたマスクフィルム505で被覆した状態で露光処理を行う。
さらに、図16(c)に示すように、レジスト層504の未露光部分をエッチング処理することによりレジスト層504をパターニングして、バンク503を形成する。なお、樹脂ブラックによりブラックマトリクスを形成する場合は、ブラックマトリクスとバンクとを兼用することが可能となる。
このバンク503とその下のブラックマトリクス502は、各画素領域507aを区画する区画壁部507bとなり、後の着色層形成工程において機能液滴吐出ヘッド17により着色層(成膜部)508R、508G、508Bを形成する際に機能液滴の着弾領域を規定する。
Subsequently, in the bank formation step (S102), a
Further, as shown in FIG. 16C, the resist
The
以上のブラックマトリクス形成工程およびバンク形成工程を経ることにより、上記フィルタ基体500Aが得られる。
なお、本実施形態においては、バンク503の材料として、塗膜表面が疎液(疎水)性となる樹脂材料を用いている。そして、基板(ガラス基板)501の表面が親液(親水)性であるので、後述する着色層形成工程においてバンク503(区画壁部507b)に囲まれた各画素領域507a内への液滴の着弾位置のばらつきを自動補正できる。
The
In the present embodiment, as the material for the
次に、着色層形成工程(S103)では、図16(d)に示すように、機能液滴吐出ヘッド17によって機能液滴を吐出して区画壁部507bで囲まれた各画素領域507a内に着弾させる。この場合、機能液滴吐出ヘッド17を用いて、R・G・Bの3色の機能液(フィルタ材料)を導入して、機能液滴の吐出を行う。なお、R・G・Bの3色の配列パターンとしては、ストライプ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。
Next, in the colored layer forming step (S103), as shown in FIG. 16 (d), functional droplets are ejected by the functional
その後、乾燥処理(加熱等の処理)を経て機能液を定着させ、3色の着色層508R、508G、508Bを形成する。着色層508R、508G、508Bを形成したならば、保護膜形成工程(S104)に移り、図16(e)に示すように、基板501、区画壁部507b、および着色層508R、508G、508Bの上面を覆うように保護膜509を形成する。
即ち、基板501の着色層508R、508G、508Bが形成されている面全体に保護膜用塗布液が吐出された後、乾燥処理を経て保護膜509が形成される。
そして、保護膜509を形成した後、カラーフィルタ500は、次工程の透明電極となるITO(Indium Tin Oxide)などの膜付け工程に移行する。
Thereafter, the functional liquid is fixed through a drying process (a process such as heating), and three
That is, after the protective film coating liquid is discharged over the entire surface of the
Then, after forming the
図17は、上記のカラーフィルタ500を用いた液晶表示装置の一例としてのパッシブマトリックス型液晶装置(液晶装置)の概略構成を示す要部断面図である。この液晶装置520に、液晶駆動用IC、バックライト、支持体などの付帯要素を装着することによって、最終製品としての透過型液晶表示装置が得られる。なお、カラーフィルタ500は図16に示したものと同一であるので、対応する部位には同一の符号を付し、その説明は省略する。
FIG. 17 is a cross-sectional view of a main part showing a schematic configuration of a passive matrix liquid crystal device (liquid crystal device) as an example of a liquid crystal display device using the
この液晶装置520は、カラーフィルタ500、ガラス基板等からなる対向基板521、および、これらの間に挟持されたSTN(Super Twisted Nematic)液晶組成物からなる液晶層522により概略構成されており、カラーフィルタ500を図中上側(観測者側)に配置している。
なお、図示していないが、対向基板521およびカラーフィルタ500の外面(液晶層522側とは反対側の面)には偏光板がそれぞれ配設され、また対向基板521側に位置する偏光板の外側には、バックライトが配設されている。
The
Although not shown, polarizing plates are provided on the outer surfaces of the
カラーフィルタ500の保護膜509上(液晶層側)には、図17において左右方向に長尺な短冊状の第1電極523が所定の間隔で複数形成されており、この第1電極523のカラーフィルタ500側とは反対側の面を覆うように第1配向膜524が形成されている。
一方、対向基板521におけるカラーフィルタ500と対向する面には、カラーフィルタ500の第1電極523と直交する方向に長尺な短冊状の第2電極526が所定の間隔で複数形成され、この第2電極526の液晶層522側の面を覆うように第2配向膜527が形成されている。これらの第1電極523および第2電極526は、ITOなどの透明導電材料により形成されている。
On the
On the other hand, a plurality of strip-shaped
液晶層522内に設けられたスペーサ528は、液晶層522の厚さ(セルギャップ)を一定に保持するための部材である。また、シール材529は液晶層522内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するための部材である。なお、第1電極523の一端部は引き回し配線523aとしてシール材529の外側まで延在している。
そして、第1電極523と第2電極526とが交差する部分が画素であり、この画素となる部分に、カラーフィルタ500の着色層508R、508G、508Bが位置するように構成されている。
The
A portion where the
通常の製造工程では、カラーフィルタ500に、第1電極523のパターニングおよび第1配向膜524の塗布を行ってカラーフィルタ500側の部分を作成すると共に、これとは別に対向基板521に、第2電極526のパターニングおよび第2配向膜527の塗布を行って対向基板521側の部分を作成する。その後、対向基板521側の部分にスペーサ528およびシール材529を作り込み、この状態でカラーフィルタ500側の部分を貼り合わせる。次いで、シール材529の注入口から液晶層522を構成する液晶を注入し、注入口を閉止する。その後、両偏光板およびバックライトを積層する。
In a normal manufacturing process, patterning of the
実施形態の液滴吐出装置1は、例えば上記のセルギャップを構成するスペーサ材料(機能液)を塗布すると共に、対向基板521側の部分にカラーフィルタ500側の部分を貼り合わせる前に、シール材529で囲んだ領域に液晶(機能液)を均一に塗布することが可能である。また、上記のシール材529の印刷を、機能液滴吐出ヘッド17で行うことも可能である。さらに、第1・第2両配向膜524,527の塗布を機能液滴吐出ヘッド17で行うことも可能である。
The
図14は、本実施形態において製造したカラーフィルタ500を用いた液晶装置の第2の例の概略構成を示す要部断面図である。
この液晶装置530が上記液晶装置520と大きく異なる点は、カラーフィルタ500を図中下側(観測者側とは反対側)に配置した点である。
この液晶装置530は、カラーフィルタ500とガラス基板等からなる対向基板531との間にSTN液晶からなる液晶層532が挟持されて概略構成されている。なお、図示していないが、対向基板531およびカラーフィルタ500の外面には偏光板等がそれぞれ配設されている。
FIG. 14 is a cross-sectional view of a principal part showing a schematic configuration of a second example of a liquid crystal device using the
The
The
カラーフィルタ500の保護膜509上(液晶層532側)には、図中奥行き方向に長尺な短冊状の第1電極533が所定の間隔で複数形成されており、この第1電極533の液晶層532側の面を覆うように第1配向膜534が形成されている。
対向基板531のカラーフィルタ500と対向する面上には、カラーフィルタ500側の第1電極533と直交する方向に延在する複数の短冊状の第2電極536が所定の間隔で形成され、この第2電極536の液晶層532側の面を覆うように第2配向膜537が形成されている。
On the
A plurality of strip-shaped
液晶層532には、この液晶層532の厚さを一定に保持するためのスペーサ538と、液晶層532内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するためのシール材539が設けられている。
そして、上記した液晶装置520と同様に、第1電極533と第2電極536との交差する部分が画素であり、この画素となる部位に、カラーフィルタ500の着色層508R、508G、508Bが位置するように構成されている。
The
Similarly to the
図19は、本発明を適用したカラーフィルタ500を用いて液晶装置を構成した第3の例を示したもので、透過型のTFT(Thin Film Transistor)型液晶装置の概略構成を示す分解斜視図である。
この液晶装置550は、カラーフィルタ500を図中上側(観測者側)に配置したものである。
FIG. 19 shows a third example in which a liquid crystal device is configured using a
In the
この液晶装置550は、カラーフィルタ500と、これに対向するように配置された対向基板551と、これらの間に挟持された図示しない液晶層と、カラーフィルタ500の上面側(観測者側)に配置された偏光板555と、対向基板551の下面側に配設された偏光板(図示せず)とにより概略構成されている。
カラーフィルタ500の保護膜509の表面(対向基板551側の面)には液晶駆動用の電極556が形成されている。この電極556は、ITO等の透明導電材料からなり、後述の画素電極560が形成される領域全体を覆う全面電極となっている。また、この電極556の画素電極560とは反対側の面を覆った状態で配向膜557が設けられている。
The
A liquid
対向基板551のカラーフィルタ500と対向する面には絶縁層558が形成されており、この絶縁層558上には、走査線561および信号線562が互いに直交する状態で形成されている。そして、これらの走査線561と信号線562とに囲まれた領域内には画素電極560が形成されている。なお、実際の液晶装置では、画素電極560上に配向膜が設けられるが、図示を省略している。
An insulating
また、画素電極560の切欠部と走査線561と信号線562とに囲まれた部分には、ソース電極、ドレイン電極、半導体、およびゲート電極とを具備する薄膜トランジスタ563が組み込まれて構成されている。そして、走査線561と信号線562に対する信号の印加によって薄膜トランジスタ563をオン・オフして画素電極560への通電制御を行うことができるように構成されている。
In addition, a
なお、上記の各例の液晶装置520,530,550は、透過型の構成としたが、反射層あるいは半透過反射層を設けて、反射型の液晶装置あるいは半透過反射型の液晶装置とすることもできる。
Note that the
次に、図20は、有機EL装置の表示領域(以下、単に表示装置600と称する)の要部断面図である。 Next, FIG. 20 is a cross-sectional view of an essential part of a display region (hereinafter simply referred to as a display device 600) of the organic EL device.
この表示装置600は、基板(W)601上に、回路素子部602、発光素子部603および陰極604が積層された状態で概略構成されている。
この表示装置600においては、発光素子部603から基板601側に発した光が、回路素子部602および基板601を透過して観測者側に出射されると共に、発光素子部603から基板601の反対側に発した光が陰極604により反射された後、回路素子部602および基板601を透過して観測者側に出射されるようになっている。
The
In the
回路素子部602と基板601との間にはシリコン酸化膜からなる下地保護膜606が形成され、この下地保護膜606上(発光素子部603側)に多結晶シリコンからなる島状の半導体膜607が形成されている。この半導体膜607の左右の領域には、ソース領域607aおよびドレイン領域607bが高濃度陽イオン打ち込みによりそれぞれ形成されている。そして陽イオンが打ち込まれない中央部がチャネル領域607cとなっている。
A base
また、回路素子部602には、下地保護膜606および半導体膜607を覆う透明なゲート絶縁膜608が形成され、このゲート絶縁膜608上の半導体膜607のチャネル領域607cに対応する位置には、例えばAl、Mo、Ta、Ti、W等から構成されるゲート電極609が形成されている。このゲート電極609およびゲート絶縁膜608上には、透明な第1層間絶縁膜611aと第2層間絶縁膜611bが形成されている。また、第1、第2層間絶縁膜611a、611bを貫通して、半導体膜607のソース領域607a、ドレイン領域607bにそれぞれ連通するコンタクトホール612a,612bが形成されている。
In the
そして、第2層間絶縁膜611b上には、ITO等からなる透明な画素電極613が所定の形状にパターニングされて形成され、この画素電極613は、コンタクトホール612aを通じてソース領域607aに接続されている。
また、第1層間絶縁膜611a上には電源線614が配設されており、この電源線614は、コンタクトホール612bを通じてドレイン領域607bに接続されている。
A
A
このように、回路素子部602には、各画素電極613に接続された駆動用の薄膜トランジスタ615がそれぞれ形成されている。
Thus, the driving
上記発光素子部603は、複数の画素電極613上の各々に積層された機能層617と、各画素電極613および機能層617の間に備えられて各機能層617を区画するバンク部618とにより概略構成されている。
これら画素電極613、機能層617、および、機能層617上に配設された陰極604によって発光素子が構成されている。なお、画素電極613は、平面視略矩形状にパターニングされて形成されており、各画素電極613の間にバンク部618が形成されている。
The light emitting
The
バンク部618は、例えばSiO、SiO2、TiO2等の無機材料により形成される無機物バンク層618a(第1バンク層)と、この無機物バンク層618a上に積層され、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂等の耐熱性、耐溶媒性に優れたレジストにより形成される断面台形状の有機物バンク層618b(第2バンク層)とにより構成されている。このバンク部618の一部は、画素電極613の周縁部上に乗上げた状態で形成されている。
そして、各バンク部618の間には、画素電極613に対して上方に向けて次第に拡開した開口部619が形成されている。
The
An
上記機能層617は、開口部619内において画素電極613上に積層状態で形成された正孔注入/輸送層617aと、この正孔注入/輸送層617a上に形成された発光層617bとにより構成されている。なお、この発光層617bに隣接してその他の機能を有する他の機能層をさらに形成しても良い。例えば、電子輸送層を形成することも可能である。
正孔注入/輸送層617aは、画素電極613側から正孔を輸送して発光層617bに注入する機能を有する。この正孔注入/輸送層617aは、正孔注入/輸送層形成材料を含む第1組成物(機能液)を吐出することで形成される。正孔注入/輸送層形成材料としては、公知の材料を用いる。
The
The hole injection /
発光層617bは、赤色(R)、緑色(G)、または青色(B)のいずれかに発光するもので、発光層形成材料(発光材料)を含む第2組成物(機能液)を吐出することで形成される。第2組成物の溶媒(非極性溶媒)としては、正孔注入/輸送層617aに対して不溶な公知の材料を用いることが好ましく、このような非極性溶媒を発光層617bの第2組成物に用いることにより、正孔注入/輸送層617aを再溶解させることなく発光層617bを形成することができる。
The
そして、発光層617bでは、正孔注入/輸送層617aから注入された正孔と、陰極604から注入される電子が発光層で再結合して発光するように構成されている。
The
陰極604は、発光素子部603の全面を覆う状態で形成されており、画素電極613と対になって機能層617に電流を流す役割を果たす。なお、この陰極604の上部には図示しない封止部材が配置される。
The
次に、上記の表示装置600の製造工程を図21〜図29を参照して説明する。
この表示装置600は、図21に示すように、バンク部形成工程(S111)、表面処理工程(S112)、正孔注入/輸送層形成工程(S113)、発光層形成工程(S114)、および対向電極形成工程(S115)を経て製造される。なお、製造工程は例示するものに限られるものではなく必要に応じてその他の工程が除かれる場合、また追加される場合もある。
Next, a manufacturing process of the
As shown in FIG. 21, the
まず、バンク部形成工程(S111)では、図22に示すように、第2層間絶縁膜611b上に無機物バンク層618aを形成する。この無機物バンク層618aは、形成位置に無機物膜を形成した後、この無機物膜をフォトリソグラフィ技術等によりパターニングすることにより形成される。このとき、無機物バンク層618aの一部は画素電極613の周縁部と重なるように形成される。
無機物バンク層618aを形成したならば、図23に示すように、無機物バンク層618a上に有機物バンク層618bを形成する。この有機物バンク層618bも無機物バンク層618aと同様にフォトリソグラフィ技術等によりパターニングして形成される。
このようにしてバンク部618が形成される。また、これに伴い、各バンク部618間には、画素電極613に対して上方に開口した開口部619が形成される。この開口部619は、画素領域を規定する。
First, in the bank part forming step (S111), as shown in FIG. 22, an
When the
In this way, the
表面処理工程(S112)では、親液化処理および撥液化処理が行われる。親液化処理を施す領域は、無機物バンク層618aの第1積層部618aaおよび画素電極613の電極面613aであり、これらの領域は、例えば酸素を処理ガスとするプラズマ処理によって親液性に表面処理される。このプラズマ処理は、画素電極613であるITOの洗浄等も兼ねている。
また、撥液化処理は、有機物バンク層618bの壁面618sおよび有機物バンク層618bの上面618tに施され、例えば四フッ化メタンを処理ガスとするプラズマ処理によって表面がフッ化処理(撥液性に処理)される。
この表面処理工程を行うことにより、機能液滴吐出ヘッド17を用いて機能層617を形成する際に、機能液滴を画素領域に、より確実に着弾させることができ、また、画素領域に着弾した機能液滴が開口部619から溢れ出るのを防止することが可能となる。
In the surface treatment step (S112), a lyophilic process and a lyophobic process are performed. The regions to be subjected to lyophilic treatment are the first stacked portion 618aa of the
In addition, the lyophobic treatment is performed on the
By performing this surface treatment process, when forming the
そして、以上の工程を経ることにより、表示装置基体600Aが得られる。この表示装置基体600Aは、図1に示した液滴吐出装置1のセットテーブル21に載置され、以下の正孔注入/輸送層形成工程(S113)および発光層形成工程(S114)が行われる。
Then, the display device base 600A is obtained through the above steps. The display device base 600A is placed on the set table 21 of the
図24に示すように、正孔注入/輸送層形成工程(S113)では、機能液滴吐出ヘッド17から正孔注入/輸送層形成材料を含む第1組成物を画素領域である各開口部619内に吐出する。その後、図25に示すように、乾燥処理および熱処理を行い、第1組成物に含まれる極性溶媒を蒸発させ、画素電極(電極面613a)613上に正孔注入/輸送層617aを形成する。
As shown in FIG. 24, in the hole injection / transport layer forming step (S113), the first composition containing the hole injection / transport layer forming material is transferred from the functional liquid
次に発光層形成工程(S114)について説明する。この発光層形成工程では、上述したように、正孔注入/輸送層617aの再溶解を防止するために、発光層形成の際に用いる第2組成物の溶媒として、正孔注入/輸送層617aに対して不溶な非極性溶媒を用いる。
しかしその一方で、正孔注入/輸送層617aは、非極性溶媒に対する親和性が低いため、非極性溶媒を含む第2組成物を正孔注入/輸送層617a上に吐出しても、正孔注入/輸送層617aと発光層617bとを密着させることができなくなるか、あるいは発光層617bを均一に塗布できない虞がある。
そこで、非極性溶媒並びに発光層形成材料に対する正孔注入/輸送層617aの表面の親和性を高めるために、発光層形成の前に表面処理(表面改質処理)を行うことが好ましい。この表面処理は、発光層形成の際に用いる第2組成物の非極性溶媒と同一溶媒またはこれに類する溶媒である表面改質材を、正孔注入/輸送層617a上に塗布し、これを乾燥させることにより行う。
このような処理を施すことで、正孔注入/輸送層617aの表面が非極性溶媒になじみやすくなり、この後の工程で、発光層形成材料を含む第2組成物を正孔注入/輸送層617aに均一に塗布することができる。
Next, the light emitting layer forming step (S114) will be described. In this light emitting layer forming step, as described above, in order to prevent re-dissolution of the hole injection /
However, since the hole injection /
Therefore, in order to increase the surface affinity of the hole injection /
By performing such treatment, the surface of the hole injection /
そして次に、図26に示すように、各色のうちのいずれか(図26の例では青色(B))に対応する発光層形成材料を含有する第2組成物を機能液滴として画素領域(開口部619)内に所定量打ち込む。画素領域内に打ち込まれた第2組成物は、正孔注入/輸送層617a上に広がって開口部619内に満たされる。なお、万一、第2組成物が画素領域から外れてバンク部618の上面618t上に着弾した場合でも、この上面618tは、上述したように撥液処理が施されているので、第2組成物が開口部619内に転がり込み易くなっている。
Then, as shown in FIG. 26, the pixel composition (second liquid composition containing a light emitting layer forming material corresponding to one of the colors (blue (B) in the example of FIG. 26)) is used as a functional droplet. A predetermined amount is driven into the opening 619). The second composition driven into the pixel region spreads on the hole injection /
その後、乾燥工程等を行うことにより、吐出後の第2組成物を乾燥処理し、第2組成物に含まれる非極性溶媒を蒸発させ、図27に示すように、正孔注入/輸送層617a上に発光層617bが形成される。この図の場合、青色(B)に対応する発光層617bが形成されている。
Thereafter, by performing a drying process and the like, the second composition after discharge is dried, the nonpolar solvent contained in the second composition is evaporated, and as shown in FIG. 27, a hole injection /
同様に、機能液滴吐出ヘッド17を用い、図28に示すように、上記した青色(B)に対応する発光層617bの場合と同様の工程を順次行い、他の色(赤色(R)および緑色(G))に対応する発光層617bを形成する。なお、発光層617bの形成順序は、例示した順序に限られるものではなく、どのような順番で形成しても良い。例えば、発光層形成材料に応じて形成する順番を決めることも可能である。また、R・G・Bの3色の配列パターンとしては、ストライプ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。
Similarly, using the functional liquid
以上のようにして、画素電極613上に機能層617、即ち、正孔注入/輸送層617aおよび発光層617bが形成される。そして、対向電極形成工程(S115)に移行する。
As described above, the
対向電極形成工程(S115)では、図29に示すように、発光層617bおよび有機物バンク層618bの全面に陰極604(対向電極)を、例えば蒸着法、スパッタ法、CVD法等によって形成する。この陰極604は、本実施形態においては、例えば、カルシウム層とアルミニウム層とが積層されて構成されている。
この陰極604の上部には、電極としてのAl膜、Ag膜や、その酸化防止のためのSiO2、SiN等の保護層が適宜設けられる。
In the counter electrode forming step (S115), as shown in FIG. 29, a cathode 604 (counter electrode) is formed on the entire surface of the
On top of the
このようにして陰極604を形成した後、この陰極604の上部を封止部材により封止する封止処理や配線処理等のその他処理等を施すことにより、表示装置600が得られる。
After forming the
次に、図30は、プラズマ型表示装置(PDP装置:以下、単に表示装置700と称する)の要部分解斜視図である。なお、同図では表示装置700を、その一部を切り欠いた状態で示してある。
この表示装置700は、互いに対向して配置された第1基板701、第2基板702、およびこれらの間に形成される放電表示部703を含んで概略構成される。放電表示部703は、複数の放電室705により構成されている。これらの複数の放電室705のうち、赤色放電室705R、緑色放電室705G、青色放電室705Bの3つの放電室705が組になって1つの画素を構成するように配置されている。
Next, FIG. 30 is an exploded perspective view of a main part of a plasma display device (PDP device: hereinafter simply referred to as a display device 700). In the figure, the
The
第1基板701の上面には所定の間隔で縞状にアドレス電極706が形成され、このアドレス電極706と第1基板701の上面とを覆うように誘電体層707が形成されている。誘電体層707上には、各アドレス電極706の間に位置し、且つ各アドレス電極706に沿うように隔壁708が立設されている。この隔壁708は、図示するようにアドレス電極706の幅方向両側に延在するものと、アドレス電極706と直交する方向に延設された図示しないものを含む。
そして、この隔壁708によって仕切られた領域が放電室705となっている。
A region partitioned by the
放電室705内には蛍光体709が配置されている。蛍光体709は、赤(R)、緑(G)、青(B)のいずれかの色の蛍光を発光するもので、赤色放電室705Rの底部には赤色蛍光体709Rが、緑色放電室705Gの底部には緑色蛍光体709Gが、青色放電室705Bの底部には青色蛍光体709Bが各々配置されている。
A
第2基板702の図中下側の面には、上記アドレス電極706と直交する方向に複数の表示電極711が所定の間隔で縞状に形成されている。そして、これらを覆うように誘電体層712、およびMgOなどからなる保護膜713が形成されている。
第1基板701と第2基板702とは、アドレス電極706と表示電極711が互いに直交する状態で対向させて貼り合わされている。なお、上記アドレス電極706と表示電極711は図示しない交流電源に接続されている。
そして、各電極706,711に通電することにより、放電表示部703において蛍光体709が励起発光し、カラー表示が可能となる。
On the lower surface of the
The
When the
本実施形態においては、上記アドレス電極706、表示電極711、および蛍光体709を、図1に示した液滴吐出装置1を用いて形成することができる。以下、第1基板701におけるアドレス電極706の形成工程を例示する。
この場合、第1基板701を液滴吐出装置1のセットテーブル21に載置された状態で以下の工程が行われる。
まず、機能液滴吐出ヘッド17により、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料(機能液)を機能液滴としてアドレス電極形成領域に着弾させる。この液体材料は、導電膜配線形成用材料として、金属等の導電性微粒子を分散媒に分散したものである。この導電性微粒子としては、金、銀、銅、パラジウム、またはニッケル等を含有する金属微粒子や、導電性ポリマー等が用いられる。
In the present embodiment, the
In this case, the following steps are performed with the
First, a liquid material (functional liquid) containing a conductive film wiring forming material is landed on the address electrode formation region as a functional liquid droplet by the functional liquid
補充対象となるすべてのアドレス電極形成領域について液体材料の補充が終了したならば、吐出後の液体材料を乾燥処理し、液体材料に含まれる分散媒を蒸発させることによりアドレス電極706が形成される。
When the replenishment of the liquid material is completed for all the address electrode formation regions to be replenished, the
ところで、上記においてはアドレス電極706の形成を例示したが、上記表示電極711および蛍光体709についても上記各工程を経ることにより形成することができる。
表示電極711の形成の場合、アドレス電極706の場合と同様に、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料(機能液)を機能液滴として表示電極形成領域に着弾させる。
また、蛍光体709の形成の場合には、各色(R,G,B)に対応する蛍光材料を含んだ液体材料(機能液)を機能液滴吐出ヘッド17から液滴として吐出し、対応する色の放電室705内に着弾させる。
By the way, although the formation of the
In the case of forming the
Further, in the case of forming the
次に、図31は、電子放出装置(FED装置あるいはSED装置ともいう:以下、単に表示装置800と称する)の要部断面図である。なお、同図では表示装置800を、その一部を断面として示してある。
この表示装置800は、互いに対向して配置された第1基板801、第2基板802、およびこれらの間に形成される電界放出表示部803を含んで概略構成される。電界放出表示部803は、マトリクス状に配置した複数の電子放出部805により構成されている。
Next, FIG. 31 is a cross-sectional view of an essential part of an electron emission device (also referred to as FED device or SED device: hereinafter simply referred to as a display device 800). In the drawing, a part of the
The
第1基板801の上面には、カソード電極806を構成する第1素子電極806aおよび第2素子電極806bが相互に直交するように形成されている。また、第1素子電極806aおよび第2素子電極806bで仕切られた部分には、ギャップ808を形成した導電性膜807が形成されている。すなわち、第1素子電極806a、第2素子電極806bおよび導電性膜807により複数の電子放出部805が構成されている。導電性膜807は、例えば酸化パラジウム(PdO)等で構成され、またギャップ808は、導電性膜807を成膜した後、フォーミング等で形成される。
A
第2基板802の下面には、カソード電極806に対峙するアノード電極809が形成されている。アノード電極809の下面には、格子状のバンク部811が形成され、このバンク部811で囲まれた下向きの各開口部812に、電子放出部805に対応するように蛍光体813が配置されている。蛍光体813は、赤(R)、緑(G)、青(B)のいずれかの色の蛍光を発光するもので、各開口部812には、赤色蛍光体813R、緑色蛍光体813Gおよび青色蛍光体813Bが、上記した所定のパターンで配置されている。
An
そして、このように構成した第1基板801と第2基板802とは、微小な間隙を存して貼り合わされている。この表示装置800では、導電性膜(ギャップ808)807を介して、陰極である第1素子電極806aまたは第2素子電極806bから飛び出す電子を、陽極であるアノード電極809に形成した蛍光体813に当てて励起発光し、カラー表示が可能となる。
The
この場合も、他の実施形態と同様に、第1素子電極806a、第2素子電極806b、導電性膜807およびアノード電極809を、液滴吐出装置1を用いて形成することができると共に、各色の蛍光体813R,813G,813Bを、液滴吐出装置1を用いて形成することができる。
Also in this case, as in the other embodiments, the
第1素子電極806a、第2素子電極806bおよび導電性膜807は、図28(a)に示す平面形状を有しており、これらを成膜する場合には、図32(b)に示すように、予め第1素子電極806a、第2素子電極806bおよび導電性膜807を作り込む部分を残して、バンク部BBを形成(フォトリソグラフィ法)する。次に、バンク部BBにより構成された溝部分に、第1素子電極806aおよび第2素子電極806bを形成(液滴吐出装置1によるインクジェット法)し、その溶剤を乾燥させて成膜を行った後、導電性膜807を形成(液滴吐出装置1によるインクジェット法)する。そして、導電性膜807を成膜後、バンク部BBを取り除き(アッシング剥離処理)、上記のフォーミング処理に移行する。なお、上記の有機EL装置の場合と同様に、第1基板801および第2基板802に対する親液化処理や、バンク部811,BBに対する撥液化処理を行うことが、好ましい。
The
また、他の電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等の装置が考えられる。上記した液滴吐出装置1を各種の電気光学装置(デバイス)の製造に用いることにより、各種の電気光学装置を効率的に製造することが可能である。
As other electro-optical devices, devices such as metal wiring formation, lens formation, resist formation, and light diffuser formation are conceivable. By using the
1…液滴吐出装置1 13…ヘッドユニット 203…キャップユニット 342…支持フレーム 202…キャッププレート 313…高さ調整機構 351…調整ねじ 15…吸引装置 352…固定ねじ W…ワーク 508…成膜部
DESCRIPTION OF
Claims (8)
前記キャップユニットを下側から支持する支持フレームと、
前記支持フレームと前記キャッププレートとの間に介設され、前記キャッププレートを介して前記キャップユニットのピッチング方向およびヨーイング方向の傾きを調整する傾き調整手段と、を備え、
前記傾き調整手段は、前記支持フレームに対し前記キャッププレートの四隅をそれぞれ高さ調整可能な4つの高さ調整機構を有していることを特徴とする吸引装置。 Provided in correspondence with a head unit in which a plurality of ink jet type liquid droplet ejection heads are mounted downward on a head plate, a plurality of head caps corresponding to the plurality of functional liquid droplet ejection heads are directed upward to a substantially square cap plate A cap unit mounted on the
A support frame for supporting the cap unit from below;
Inclination adjusting means that is interposed between the support frame and the cap plate and adjusts the inclination of the cap unit in the pitching direction and the yawing direction via the cap plate,
The suction device according to claim 1, wherein the inclination adjusting means has four height adjusting mechanisms capable of adjusting heights of the four corners of the cap plate with respect to the support frame.
前記複数のヘッドキャップを介して、前記複数の機能液滴吐出ヘッドに対し機能液の吸引処理を行う請求項1ないし5のいずれかに記載の吸引装置と、を備えたことを特徴とする液滴吐出装置。 A drawing means for performing drawing by discharging functional liquid droplets from the plurality of functional liquid droplet discharge heads while moving the plurality of functional liquid droplet discharge heads of the ink jet system with respect to the workpiece;
A liquid device comprising: the suction device according to claim 1, which performs a functional liquid suction process on the plurality of functional liquid droplet ejection heads via the plurality of head caps. Drop ejection device.
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