JP2009013001A - 先端球形成方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】炭素繊維からなる極細のステムの先端を、ステム1周りの酸素を排除した状態で先端球材料2に入れる。すなわち、ステム1の先端11が酸化により細くなることを防ぎながら、当該先端11を先端球材料2に入れるので、当該先端11を先端球材料2に入れ過ぎることを防止できる。従って、当該先端11のみに先端球材料2を付着させることができ、当該先端11に先端球4を形成することができる。また、当該ステム1を用いて測定子を製作すれば、先端球4を被測定物に当接させることができて正確な測定を行うことができる極細の測定子とすることができる。
【選択図】図1
Description
ところが、従来、極細で、かつ剛性のあるステムがなかった。例えば、超合金やタングステン等の超硬材を放電加工することにより極細のステムを形成することが考えられるが、超硬材を放電加工すると外周面が梨地状となってしまうため、超硬材を放電加工によって極細にしたものは、剛性が著しく低くステムとして用いることはできなかった。
しかしながら、ステム1は、炭素繊維から構成されているために、加熱されると酸化されて二酸化炭素となり、空気中に飛散していってしまう。そのため、前述のような方法では、図3(A),(B)に示すように、ステム1は、先端球材料2に入れられる前に、当該先端球材料2の熱により先端11側から加熱されて酸化してしまい、先細り形状となってしまう。そして、先端球材料2に入れられる寸前には、図3(C)において一点鎖線で示すように、先端11が光学顕微鏡の観測限界以下にまで細くなってしまう。
このような構成によれば、炭素繊維からなる極細(例えば直径5μm)のステムの先端を、ステム周りの酸素を排除した状態で先端球材料に入れる。すなわち、ステムの先端が酸化により細くなることを防ぎながら、当該先端を先端球材料に入れるので、当該先端を先端球材料に入れ過ぎることを防止できる。従って、当該先端のみに先端球材料を付着させることができ、当該先端に先端球を形成することができる。また、当該ステムを用いて測定子を製作すれば、先端球を被測定物に当接させることができて正確な測定を行うことができる極細の測定子とすることができる。
このような構成によれば、ステムに対して不活性ガスを吹きかけることのできる噴射ノズル等を用いて、ステムの先端に先端球を形成するので、先端球の形成に掛かるコストを抑えることができる。
このような構成によれば、略真空中でステムの先端を先端球材料に入れるので、ステムの先端が酸化して細くなることを確実に防止することができる。従って、当該先端を先端球材料に入れ過ぎることを確実に防止でき、当該先端に確実に先端球を形成することができる。
このような構成によれば、ステムの先端には略平坦な端面が形成されているので、ステムの先端を先端球材料から引き上げた際に、先端球材料は、表面張力により、前記端面で先端球を形成する。この際、端面は非常に表面積が小さいので、先端球を真球度の高い球状に形成することができる。また、当該ステムを用いることで、より正確な測定を行うことができる極細の測定子を製作することができる。
〔第1実施形態〕
図1の(A)〜(C)は、本発明の第1実施形態に係る先端球形成方法を説明するための図である。
本実施形態の先端球形成方法では、先端球材料2と噴射ノズル3とを用いてステム1の先端11に先端球4を形成する。
先端球材料2はガラスから構成されている。先端球材料2は、容器21に入れられており、図示しない加熱手段によって約700℃に加熱され、溶融状態となっている。
噴射ノズル3は、開口31をステム1に向けた状態で配置されている。噴射ノズル3は、コンプレッサを有する図示しない気体供給手段に接続され、当該気体供給手段から供給される二酸化炭層や窒素、アルゴン等の不活性ガスを、ステム1の先端11に向かって噴射する。
本実施形態の先端球形成方法では、図1(A),(B)に示すように、作業員が噴射ノズル3でステム1の先端11に不活性ガスを吹きかけながら、当該先端11を先端球材料2に入れる。すなわち、ステム1の周囲の酸素(空気)を不活性ガスによって排除し、当該先端11が酸化により細くなることを防止しながら、当該先端11を先端球材料2に入れるので、当該先端11を先端球材料2に入れ過ぎることを防止できる。
(1)ステム1の先端11に不活性ガスを吹きかけ、先端11が酸化により細くなることを防ぎながら当該先端11を先端球材料2に入れるので、当該先端11を先端球材料2に入れ過ぎることを防止できる。従って、当該先端11のみに先端球材料2を付着させることができ、当該先端11に先端球4を形成することができる。また、当該ステム1を用いて測定子を製作すれば、先端球4を被測定物に当接させることができて正確な測定を行うことができる極細の測定子とすることができる。
図2の(A)〜(C)は、本発明の第2実施形態に係る先端球形成方法を説明するための図である。なお、ステム1および先端球材料2は、前記第1実施形態と同一のものを使用するものとする。また、本実施形態以降、前記第1実施形態と同一機能部位には同一符号を付し、それらの説明を省略若しくは簡略化する。
前記第1,2実施形態では、先端球材料2はガラスから構成されていたが、金属から構成されていてもよく、ガラスから構成されることに限定されない。ただし、金属を溶かすためには非常に高温にしなければならないが、ガラスは約700度で溶かすことができるので、ガラスを先端球材料2として用いることが好ましい。
Claims (4)
- 柱状のステムの先端に先端球を形成する先端球形成方法であって、
炭素繊維からなる前記ステムの先端を、前記ステム周りの酸素を排除した状態で、溶融状態の先端球材料に入れ、引き上げることで、前記ステムの先端に先端球を形成することを特徴とする先端球形成方法。 - 請求項1に記載の方法において、
前記ステムに対して不活性ガスを吹きかけることで、前記ステム周りの酸素を排除することを特徴とする先端球形成方法。 - 略真空中で、請求項1に記載の方法で前記ステムの先端に先端球を形成することを特徴とする先端球形成方法。
- 請求項1から請求項3のいずれかに記載の先端球形成方法において、
前記ステムは略円柱状に形成され、先端には略平坦な端面が形成されていることを特徴とする先端球形成方法。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016156633A (ja) * | 2015-02-23 | 2016-09-01 | 株式会社ミツトヨ | ステム、及びプローブ |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03181801A (ja) * | 1989-12-12 | 1991-08-07 | Seiko Instr Inc | 表面形状測定用微小探針およびその製造方法 |
JPH05306486A (ja) * | 1990-03-08 | 1993-11-19 | Forschungszentrum Juelich Gmbh | プローブ先端に導電性材料の微小溶融組織を形成する方法とその装置 |
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2007
- 2007-07-03 JP JP2007175390A patent/JP4856592B2/ja active Active
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JPH05306486A (ja) * | 1990-03-08 | 1993-11-19 | Forschungszentrum Juelich Gmbh | プローブ先端に導電性材料の微小溶融組織を形成する方法とその装置 |
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