JP2009009689A5 - - Google Patents

Claims (10)

1. メインポール、リターンヨーク及び前記メインポールが記録媒体に情報を記録する磁場を発生させるように電流が印加されるコイルを備える垂直磁気記録ヘッドにおいて、
   前記メインポールの両側にそれぞれ形成され、前記メインポールと第１間隙をなして離隔されたサイドシールドと、
   前記メインポールの上部領域及び前記サイドシールドの上部領域にわたって形成され、前記メインポールと第２間隙をなして前記サイドシールドと所定距離ほど離隔されたトップシールドと、を備えることを特徴とする垂直磁気記録ヘッド。
2. 前記サイドシールドと前記トップシールドとの離隔距離は、前記第２間隙と同じであることを特徴とする請求項１に記載の垂直磁気記録ヘッド。
3. 前記サイドシールドのスロート長は、前記トップシールドのスロート長と同じであるか、またはそれより長いことを特徴とする請求項１または２に記載の垂直磁気記録ヘッド。
4. 前記メインポールの記録媒体側の端部に磁場が集束されるように、前記端部から記録媒体を遠ざかる方向に離隔されたサブヨークがさらに設けられたことを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の垂直磁気記録ヘッド。
5. 前記サブヨークは、前記メインポールの上面または下面に接して形成されたことを特徴とする請求項４に記載の垂直磁気記録ヘッド。
6. 垂直磁気記録ヘッドの製造方法において、
   （イ）メインポール、及び前記メインポールの両側部に前記メインポールと第１間隙ほど離隔されたサイドシールドを形成する工程と、
   （ロ）前記メインポールの上部領域及びサイドシールドの上部領域にわたって形成され、前記メインポールと第２間隙をなして前記サイドシールドと所定距離ほど離隔されたトップシールドを形成する工程と、を含むことを特徴とする垂直磁気記録ヘッドの製造方法。
7. 前記（イ）工程は、
   メインポールを形成する工程と、
   前記メインポールの側面及び上面を前記第１間隙とほぼ同じ厚さに取り囲む第１絶縁層を形成する工程と、
   前記メインポールの両側にサイドシールドを形成する工程と、
   前記サイドシールド及び絶縁層が形成されたメインポールを研磨する工程と、を含むことを特徴とする請求項６に記載の垂直磁気記録ヘッドの製造方法。
8. 前記（イ）工程は、
   第１絶縁層及びストップ層を順次に形成する工程と、
   前記第１絶縁層及びストップ層をエッチングして前記メインポール形状のトレンチを形成する工程と、
   前記トレンチの内部及び前記ストップ層上に磁性層を形成する工程と、
   前記磁性層を研磨する工程と、
   前記第１絶縁層の両側の一部領域をエッチングする工程と、
   前記第１絶縁層の両側にサイドシールドを形成する工程と、を含むことを特徴とする請求項６に記載の垂直磁気記録ヘッドの製造方法。
9. 前記（ロ）工程は、
   前記サイドシールド及びメインポール上に前記第２間隙とほぼ同じ厚さを有する第２絶縁層を形成する工程と、
   前記第２絶縁層上にトップシールドを形成する工程と、を含むことを特徴とする請求項６から８のいずれか１項に記載の垂直磁気記録ヘッドの製造方法。
10. 前記サイドシールドのスロート長は、前記トップシールドのスロート長と同じであるか、またはそれより長く形成されることを特徴とする請求項６から９のいずれか１項に記載の垂直磁気記録ヘッドの製造方法。