JP2009004776A - プローブカード配置物 - Google Patents
プローブカード配置物 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2009004776A JP2009004776A JP2008153213A JP2008153213A JP2009004776A JP 2009004776 A JP2009004776 A JP 2009004776A JP 2008153213 A JP2008153213 A JP 2008153213A JP 2008153213 A JP2008153213 A JP 2008153213A JP 2009004776 A JP2009004776 A JP 2009004776A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- circuit board
- printed circuit
- stiffener
- probe card
- card arrangement
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000523 sample Substances 0.000 title claims abstract description 31
- 239000003351 stiffener Substances 0.000 claims abstract description 53
- 238000012360 testing method Methods 0.000 claims abstract description 21
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 claims description 13
- 230000036316 preload Effects 0.000 claims 2
- 241000239290 Araneae Species 0.000 abstract description 13
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 abstract 1
- 230000003014 reinforcing effect Effects 0.000 description 2
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 210000000078 claw Anatomy 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 239000007779 soft material Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
- G01R1/02—General constructional details
- G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
- G01R1/067—Measuring probes
- G01R1/073—Multiple probes
- G01R1/07307—Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card
- G01R1/07342—Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card the body of the probe being at an angle other than perpendicular to test object, e.g. probe card
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
- G01R1/02—General constructional details
- G01R1/04—Housings; Supporting members; Arrangements of terminals
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
Abstract
【解決手段】プローブカード配置物は、スティフナー1と、スティフナー1に配置されたプリント基板2と、スティフナーおよびプリント基板2に取り付けられ、ウェハ5を試験するニードルを少なくとも1本持つスパイダーとを備える。熱によって生じる強いひずみが伝達されるのを防止するため、このプローブカード配置物では、プリント基板2が結合を緩められてスティフナー1に取り付けられている。
【選択図】図1
Description
Claims (10)
- スティフナー(1)と、
前記スティフナー(1)に取り付けられるプリント基板(2)と、
前記スティフナーおよび前記プリント基板(2)に取り付けられ、ウェハ(5)を試験するニードル(30)を少なくとも1本持つテストヘッド(3)とを備える、
プリント基板を固定するためのプローブカード配置物であって、
プリント基板(2)が結合を緩められた状態でスティフナー(1)に取り付けられていることを特徴とする、上記のプローブカード配置物。 - 多数の前記ニードル(30)が、前記ニードルの取り付け点に向かって、前記プリント基板(2)がぴんと張った状態ではなく、たわみを有するようにたるみを持たせた形状で取り付けられている、請求項1に記載のプローブカード配置物。
- 側面からみて前記プリント基板(2)が、前記テストヘッド(3)と間隔を取るように、少なくとも1つの固定エレメント、または多数の固定エレメントにより、前記スティフナー(1)に取り付けられ、その際、前記プリント基板(2)と前記スティフナー(1)との間に間隔を残す、請求項1または2に記載のプローブカード配置物。
- 前記少なくとも1つの前記固定エレメントと前記スティフナー(1)との間に、スペーサーが挿入されていて、その際、開口部、特に前記プリント基板(2)の穴が、当該スペーサーの全体または一部を収めるように寸法付けられている、前記各請求項のいずれかに記載のプローブカード配置物。
- 前記スペーサーがスペーサースリーブ(17)として形成され、当該スペーサースリーブは、前記固定エレメントとして形成されたネジ(15)の軸を把握する、請求項4に記載のプローブカード配置物。
- 前記少なくとも1つの前記固定エレメント、または複数の前記固定エレメントが、前記ネジ(15)として形成され、この場合、当該ネジがネジ頭の方向に拡幅された部分を持ち、またこの場合、対応する開口、特に前記プリント基板(2)の穴が、拡幅された部分の少なくとも一部を収めるように寸法付けられている、請求項3〜5のいずれかに記載のプローブカード配置物。
- 前記固定エレメントが前記スティフナーに固定されるか、または前記スティフナーの一部として形成されており、そして当該固定エレメントが前記プリント基板(2)の一部と当接する、請求項3〜6のいずれかに記載のプローブカード配置物。
- 前記プリント基板(2)と前記スティフナー(1)との間に、弾性エレメントが挿入されている、前記各請求項のいずれかに記載のプローブカード配置物。
- 前記弾性エレメントが、前記プリント基板(2)からの無応力状態であるときに、前記プリント基板(2)と前記スティフナー(1)との間に、プリロードなしで、またはあってもわずかなプリロードが加えられた状態で挿入されている、請求項8に記載のプローブカード配置物。
- 前記スティフナー(1)がブリッジの形状に形成されている、前記各請求項1乃至9のいずれかに記載のプローブカード配置物。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102007027380.2 | 2007-06-11 | ||
DE102007027380A DE102007027380A1 (de) | 2007-06-11 | 2007-06-11 | Nadelkartenanordnung |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009004776A true JP2009004776A (ja) | 2009-01-08 |
JP5506165B2 JP5506165B2 (ja) | 2014-05-28 |
Family
ID=39764090
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008153213A Active JP5506165B2 (ja) | 2007-06-11 | 2008-06-11 | プローブカード配置物 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8125234B2 (ja) |
EP (1) | EP2003460B1 (ja) |
JP (1) | JP5506165B2 (ja) |
DE (1) | DE102007027380A1 (ja) |
TW (1) | TWI422827B (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI421506B (zh) * | 2010-03-11 | 2014-01-01 | Mpi Corp | Probe card and matching method for impedance matching structure of replaceable electronic components |
US8736294B2 (en) * | 2010-12-14 | 2014-05-27 | Formfactor, Inc. | Probe card stiffener with decoupling |
KR20200097924A (ko) * | 2019-02-11 | 2020-08-20 | 삼성전자주식회사 | 스티프너 및 이를 포함하는 프로브 카드 |
CN111257605B (zh) * | 2020-02-03 | 2022-06-14 | 上海华力集成电路制造有限公司 | 探针卡及wat测试机台 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005328053A (ja) * | 2004-05-14 | 2005-11-24 | Feinmetall Gmbh | 電気検査装置 |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1996007921A1 (en) * | 1994-09-09 | 1996-03-14 | Micromodule Systems | Membrane probing of circuits |
KR0150334B1 (ko) * | 1995-08-17 | 1998-12-01 | 남재우 | 수직형니들을 가지는 프로브카드 및 그 제조방법 |
US6799976B1 (en) * | 1999-07-28 | 2004-10-05 | Nanonexus, Inc. | Construction structures and manufacturing processes for integrated circuit wafer probe card assemblies |
US6667631B2 (en) * | 2001-12-27 | 2003-12-23 | Stmicroelectronics, Inc. | High temperature probe card |
TWI294523B (en) * | 2004-07-28 | 2008-03-11 | Microelectonics Technology Inc | Integrated circuit probe card |
US7218130B2 (en) * | 2004-08-25 | 2007-05-15 | Micron Technology, Inc. | Bottom side stiffener probe card |
CN100520414C (zh) * | 2004-12-14 | 2009-07-29 | 株式会社爱德万测试 | 触针以及探针板 |
US7285968B2 (en) * | 2005-04-19 | 2007-10-23 | Formfactor, Inc. | Apparatus and method for managing thermally induced motion of a probe card assembly |
TW200739083A (en) * | 2005-09-30 | 2007-10-16 | Sv Probe Pte Ltd | Cantilever probe structure for a probe card assembly |
JP4860242B2 (ja) * | 2005-11-11 | 2012-01-25 | 東京エレクトロン株式会社 | プローブ装置 |
US7365553B2 (en) * | 2005-12-22 | 2008-04-29 | Touchdown Technologies, Inc. | Probe card assembly |
US7791361B2 (en) * | 2007-12-10 | 2010-09-07 | Touchdown Technologies, Inc. | Planarizing probe card |
-
2007
- 2007-06-11 DE DE102007027380A patent/DE102007027380A1/de not_active Withdrawn
-
2008
- 2008-06-05 EP EP08010224A patent/EP2003460B1/de active Active
- 2008-06-09 TW TW097121388A patent/TWI422827B/zh active
- 2008-06-10 US US12/155,846 patent/US8125234B2/en active Active
- 2008-06-11 JP JP2008153213A patent/JP5506165B2/ja active Active
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005328053A (ja) * | 2004-05-14 | 2005-11-24 | Feinmetall Gmbh | 電気検査装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP2003460A1 (de) | 2008-12-17 |
US20080303540A1 (en) | 2008-12-11 |
JP5506165B2 (ja) | 2014-05-28 |
EP2003460B1 (de) | 2011-09-21 |
TWI422827B (zh) | 2014-01-11 |
US8125234B2 (en) | 2012-02-28 |
TW200912321A (en) | 2009-03-16 |
DE102007027380A1 (de) | 2008-12-18 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7372286B2 (en) | Modular probe card | |
JP5283266B2 (ja) | 光デバイス用検査装置 | |
KR101142760B1 (ko) | 프로브 카드의 고정장치 | |
KR20090120513A (ko) | 접속용 보드, 프로브 카드 및 이를 구비한 전자부품 시험장치 | |
JP5506165B2 (ja) | プローブカード配置物 | |
TW201534931A (zh) | 用於電子裝置測試器以特別供極端溫度應用的探針卡 | |
US20110248735A1 (en) | Probecard System and Method | |
KR100967339B1 (ko) | 웨이퍼 테스트용 프로브 카드 | |
US20100039133A1 (en) | Probe head controlling mechanism for probe card assemblies | |
KR20150070766A (ko) | 테스터 및 이를 구비하는 반도체 소자 검사 장치 | |
JP4567063B2 (ja) | 電気的接続装置の組み立て方法 | |
KR20150024063A (ko) | 블록단위 결합용 프로브블록을 구비하는 프로브카드 | |
JP4815192B2 (ja) | 電気的接続装置 | |
JP2011141227A (ja) | 半導体試験装置 | |
KR100691164B1 (ko) | 프로브 카드 조립체 | |
KR20090014755A (ko) | 프로브 카드 및 이를 갖는 웨이퍼 검사 장치 | |
JP2007086044A (ja) | プローバ装置及びこれに用いるプローブ組立体 | |
TW200846672A (en) | Stiffening connector and probe card assembly incorporating same | |
JP2009198258A (ja) | 縦型プローブを搭載したプローブカード | |
KR100903290B1 (ko) | 듀얼 서포트 프레임을 갖는 프로브 카드 | |
JPWO2009141907A1 (ja) | 試験用ウエハユニットおよび試験システム | |
KR100725838B1 (ko) | 웨이퍼 테스트용 프로브 카드 | |
KR100725456B1 (ko) | 웨이퍼 검사용 프로브 카드 | |
JP5047322B2 (ja) | プローブカード及びその製造方法 | |
KR101540239B1 (ko) | 프로브 조립체 및 프로브 기판 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110425 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130212 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130422 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20130716 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20131114 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20131129 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20131220 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140121 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140203 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140225 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140318 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5506165 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |