JP2009001894A - 樹脂表面上への透明dlc膜の形成方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】対象物を加熱することなく樹脂フィルムなどの絶縁体膜上に炭素系膜を成膜し、透明性を保つ形成法の提供。
【解決手段】炭素を含むガスと不活性ガスとの混合ガスをプラズマ生成部によりプラズマ化し、このプラズマから引出電極によりイオンビームを引き出して加速し酸化シリコンをコーティングした対象物に照射することにより炭素原子と酸化シリコン原子が結合する事により、透明性の高いダイヤモンドライクカーボン膜の形成を行う。
【選択図】図2
【解決手段】炭素を含むガスと不活性ガスとの混合ガスをプラズマ生成部によりプラズマ化し、このプラズマから引出電極によりイオンビームを引き出して加速し酸化シリコンをコーティングした対象物に照射することにより炭素原子と酸化シリコン原子が結合する事により、透明性の高いダイヤモンドライクカーボン膜の形成を行う。
【選択図】図2
Description
本発明は、樹脂表面上に水封止性、ガスバリア性、透明性を備えたダイヤモンドライクカーボン(DLC)膜の形成方法に関する。
DLC膜を形成する方法の一つとして、プラズマCVD(化学気相成長)法が知られている(例えば、特許文献1、非特許文献1参照。)。図7は従来のプラズマCVD装置の模式図である。図7に示すプラズマCVD装置は、真空チャンバ100内に互いに離間させて電極101,102を配置し、一方の電極101に高周波電源103を接続したものである。このプラズマCVD装置では、高周波電源103が接続された電極101にDLC膜を形成する基板104が配設される。
チャンバ内にアルゴンガスとメタンガスとを導入し、電極101に高周波電力を印加して、基板101にセルフバイアスが掛かるようにすると、発生した炭素を含むイオンが加速されて基板101をたたく。基板101上に薄い膜が形成されると、この膜は炭素を含むイオンがたたく衝撃によって高圧状態となり、ダイヤモンド状の炭素膜すなわちDLC膜が形成される。
現在の透明DLC膜を形成する方法として瞬間的に成膜を行い薄膜する方法が取られていた。PETなど樹脂や金属にDLCをつけるとDLC膜等の炭素系膜を厚く成膜する事に比例して炭素が対象物表面に付着する事により徐々に黒くなっていく性質を持つ為、このような方法をとっている。この方法はDLC成膜プロセスの1つである。
ダイヤモンドライクカーボン膜の特性として高硬度、高いガスバリア性、低摩擦係数、高耐摩耗性、高化学的安定性等が挙げられる、多くの優れた点があることから様々な分野での活用が見込まれている
前述のように、従来プラズマCVD法等によりDLC膜を形成することが可能であるが高いガスバリア性や水封止力を得るために、100nm程度の厚い膜を対象物表面付けしようとすると膜厚に比例して対象物表面の光透過性が悪くなる。このため,光透過性や透明度が必要な対象物表面への成膜には従来法は不向きとされている。
(1)そこで、本発明においてはDLC膜を対象物表面に成膜する前に酸化シリコンなどの透明絶縁膜を下地として対象物表面に膜付けを行い、その上にDLC成膜をする事により、膜厚が厚くても透明性が高いDLC膜になる事を確認し、透明性が必要なPETフィルムなどにも成膜する事が可能となった。
(2)引出電極から引き出されたイオンビームおよび対象物表面のいずれか、または両方を電気的に中和する中和器を有する構成により、炭素を含むイオンを電気的に中和し、高エネルギを持った中性粒子として対象物上に照射し、この中性粒子により成膜させることができるので、対象物が絶縁体であってもDLCを含む炭素系膜を形成することが可能となる。
図2に示すように酸化シリコン、DLC、酸化シリコンと交互に積層したPETフィルムの水蒸気透過度(WVTR)を差圧式(ガスクロマトグラフィー)で測定したところ,通常のPETフィルムの水蒸気透過度が7.0〜8.0/m2(day)なのに対し0.73/m2(day)と向上し、十倍以上の水封止機能が見つかった。この実験により酸化シリコンとDLCの積層膜は光透明性の確保のみならず水封止力も高めることを確認した。また、DLC膜はガスバリア性をも持っているので、PET等の劣化しやすい樹脂対象物表面にこれを成膜した場合、樹脂の耐久性の向上も見込まれる。
図3に示すように引出電極によりこのプラズマからイオンビームを引き出して加速し、ニュートラライザにより電気的に中和し、高エネルギを持った中性粒子としてホルダ上の対象物Xへと照射する。これにより、対象部X上では、アルゴンガスのイオン衝撃により表面がスパッタリングされて改質されながら、高エネルギを持ったメタンの中性粒子の衝撃によりDLC膜52が形成される。本成膜法をとる事によりガラスなどの対象物にバッファ層を設けることなく直接、炭素系膜を形成することが可能となった。
上記のイオンビーム成膜法にて、炭素を含むガス(メタンガス等)と不活性ガス(アルゴンガス)をプラズマ化し、このプラズマからイオンビームを引き出して加速し、この引き出されたイオンビームを照射することにより対象物表面の改質を行いながら樹脂などのフィルムに成膜が行える、フィルムなど熱に弱い対象物に成膜する場合には,対象物のホルダーを水などで冷却する事により成膜時に問題となる対象物の熱変形も回避できる。本成膜法をとることにより改質された対象物表面上に成膜ができ、対象物表面と膜との強い密着性を確保できる。この、成膜法により,対象物をガラスや酸化シリコン膜にしてDLCを直接成膜したところ密着性のよい透明な膜が成膜できることを確認した。
図5に示すように、アルゴンガスの混合量が多い程、同じ膜厚を得るまでの成膜時間は長くなる。また、図6に示すように、メタンガスとアルゴンガスとを混合する場合には、CH4/Ar=60%以上としなければDLC膜は形成されない。
ガラス上の透明DLC膜は,外見上ではその成膜の有無は確認しにくいため、膜付けされた試料についてスクラッチテストを行い電子顕微鏡で測定した結果、DLCの成膜レートは金属等に成膜した時と変化はなく、この測定によりガラスや酸化シリコンにもDLC膜が成長している事が証明できた。
なお、本実施形態においては、DLC膜を形成する原料としてメタンガスを用いた例について説明したが、メタンガス以外の炭素を含むガスとして、例えば、アセチレン(C2H2)ガスやプロパン(C3H8)ガス等を用いることも可能である。また、アルゴンガスに代えて他のヘリウム(He)、ネオン(Ne)、クリプトン(Kr)、キセノン(Xe)等の不活性ガスを用いることも可能である。
101、102 電極
103 高周波電源
104 基板
50、51 熱電子
52 ダイヤモンドライクカーボン膜
X 成膜対象物
103 高周波電源
104 基板
50、51 熱電子
52 ダイヤモンドライクカーボン膜
X 成膜対象物
Claims (5)
- 透明性と水封し機能を備えた樹脂フィルムを提供するための,透明樹脂表面の改質方法
- 透明樹脂フィルム上に酸化シリコン膜とダイヤモンドライクカーボン(DLC)膜を,この順に積層成膜し,樹脂フィルムに透明性と水封し機能を持たせる方法
- 透明樹脂フィルム上に酸化シリコン膜とDLC膜を,この順に積層成膜する方法
- 酸化シリコン膜とDLC膜を積層することによりガス封止力と水封止力を高める形成方法。
- 酸化シリコン膜などの透明絶縁膜の上にDLC膜を成膜することにより透明に近い、もしくは透明のDLC膜を成膜する方法。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007190173A JP2009001894A (ja) | 2007-06-22 | 2007-06-22 | 樹脂表面上への透明dlc膜の形成方法 |
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ID=40318593
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2007190173A Pending JP2009001894A (ja) | 2007-06-22 | 2007-06-22 | 樹脂表面上への透明dlc膜の形成方法 |
Country Status (1)
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---|---|
JP (1) | JP2009001894A (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2010113950A1 (ja) | 2009-03-30 | 2010-10-07 | ダイキン工業株式会社 | ポリテトラフルオロエチレン及びその製造方法 |
CN110609455A (zh) * | 2018-06-15 | 2019-12-24 | 富士施乐株式会社 | 聚四氟乙烯颗粒、组合物、层状材料、电子照相感光体、处理盒和图像形成装置 |
WO2020017472A1 (ja) | 2018-07-20 | 2020-01-23 | ダイキン工業株式会社 | エアフィルタ濾材、フィルタパック、およびエアフィルタユニット |
WO2020067182A1 (ja) | 2018-09-28 | 2020-04-02 | ダイキン工業株式会社 | エアフィルタ濾材、フィルタパック、エアフィルタユニット、およびこれらの製造方法 |
WO2022168877A1 (ja) | 2021-02-04 | 2022-08-11 | ダイキン工業株式会社 | エアフィルタ濾材、エアフィルタ濾材の製造方法、マスク用濾材、および、プリーツ状マスク用濾材 |
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2007
- 2007-06-22 JP JP2007190173A patent/JP2009001894A/ja active Pending
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