JP2008537842A - 二重管構造の誘電体バリヤ放電ランプ - Google Patents
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Abstract
Description
冒頭で述べた誘電体バリヤ放電ランプは独国特許出願公開第19613502号明細書に述べられている。この誘電体バリヤ放電ランプは、閉鎖された放電空間を有しこの放電空間が互いに同軸に配置された2つの石英ガラス管の間に環状隙間として構成されているエキシマー放射器である。放電空間は放電条件のもとでエキシマーを形成する封入ガスを含んでいる。外側石英ガラス管の壁の外面に網状の外電極が設けられており、内部電極は内側石英ガラス管の壁の内面に当接する螺旋線材によって形成される。隣接電極との間隔が比較的大きいので高電界強度の領域は空間的に小さな領域に集中し、放射器表面に高い電界強度勾配が生じる。これにより、螺旋線材の領域で容易に線条放電を形成することがある。電極間に高電圧を印加すると放電空間の封入ガス中にいわゆるエキシマーが形成され、エキシマーは化学組成に応じてコヒーレントの、但し実質的に単色の紫外線を放出する。しかし公知のエキシマー放射器では螺旋線材の態様の内電極は非常に容易には取付けることができない。
本発明の課題は、改良された内部電極を有する同軸二重管構成の誘電体バリヤ放電ランプを提供することである。
外管と内管とを含む放電管を備え、内管が外管の内部に配置され、内管と外管とが互いに気密に結合され、これにより内管と外管との間に、放電媒体を封入された放電空間が形成され、
第1電極と少なくとも1つの他の電極とを備え、第1電極が内管の内部に配置されている誘電体バリヤ放電ランプにおいて、
第1電極が導電性ブラシとして構成されていることによって解決される。
以下において実施例に基づいて本発明が詳しく説明される。
図1aは円形ブラシ状内部電極を有する本発明に係る放電ランプを側面図で示す。
図1bは図1aの実施例の横断面図を示す。
図2はセグメント化された内部電極を有する本発明に係る放電ランプを側面図で示す。
図3aは半円形ブラシ状の内部電極を有する本発明に係る放電ランプを側面図で示す。
図3bは図3aの実施例の横断面図を示す。
図4は円形ブラシ状内部電極を有する本発明に係るU形放電ランプを側面図で示す。
図1aおよび図1bは本発明に係る誘電体バリヤ放電ランプ1の第1実施例を概略側面図および概略横断面図で示す。ランプ1の縦長放電管は外管2と内管3とから同軸二重管構成に構成され、こうして外管と内管は放電管の長手軸線を規定する。20Wの消費電力用に設計された誘電体バリヤ放電ランプ1の長さは20cmである。外管2は40mmの直径および1mmの壁厚を有する。内管3は11mmの直径および1.2mmの壁厚を有する。両管2,3は紫外線透過性石英ガラスからなる。さらに放電管は両端面を閉鎖されて、環状隙間状の縦長放電空間4を形成されている。このために放電管は両端部に、それぞれ適切に成形された環状放電管区域5を有する。さらに、放電管区域5の1つに排気管(図示せず)が継ぎ足されており、この排気管により放電空間4が先ず排出され、引き続き15kPaキセノンを封入される。外管2の壁の外面に放電管の長手軸線と平行に合計8個の均一に分布した幅1mmの直線状外電極5が配置されている。内管3の内部に、すなわち放電管によって取り囲まれた放電空間4の同様に外側に、円形ブラシ状内部電極6が配置されている。内部電極6は軸線方向の支持要素7(ここでは簡略して図示されている)と多数の剛毛8とからなる。支持要素7は、それぞれ直径1mmの互いに撚られた2本の特殊鋼線(撚り線)で形成されている(図示せず)。支持要素7のこれら両撚り線に、支持要素7の全長に沿って螺旋状に、それぞれ直径0.06mmの多数の特殊鋼線が束にされて織り込まれており、支持要素7に対して半径方向に向き、剛毛8として機能する。
2 外管
3 内管
4 放電空間
5 放電管区域
6 電極
7 支持要素
8 剛毛
9 誘電体バリヤ放電ランプ
10乃至14 セグメント
16 外部電極
17 内管
18 外管
Claims (15)
- 外管(2)と内管(3)とを含む放電管を備え、内管(3)が外管(2)の内部に配置され、内管(3)と外管(2)とが互いに気密に結合され、これにより内管と外管との間に、放電媒体を封入された放電空間(4)が形成され、
第1電極(6)と少なくとも1つの他の電極(5)とを備え、第1電極(6)が内管(3)の内部に配置されている誘電体バリヤ放電ランプ(1)において、
第1電極(6)が導電性ブラシとして構成されていることを特徴とする誘電体バリヤ放電ランプ。 - ブラシ状第1電極(6)が縦長の支持要素(7)とこれに対して実質的に半径方向に配置された剛毛(8)とを有し、剛毛が実質的に内管(3)の壁まで延びている請求項1記載の誘電体バリヤ放電ランプ。
- 支持要素(7)および剛毛(8)が柔軟な材料からなる請求項1または2記載の誘電体バリヤ放電ランプ。
- 柔軟な材料が金属、好ましくは特殊鋼である請求項3記載の誘電体バリヤ放電ランプ。
- 支持要素(7)が少なくとも一部に、周面全体に、円形ブラシとして形成された剛毛を備えている請求項1乃至4の1つに記載の誘電体バリヤ放電ランプ。
- 分解状態のとき円形ブラシ状電極(6)の直径が放電管の内管(3)の内径よりも大きい請求項5記載の誘電体バリヤ放電ランプ。
- 各剛毛(8)が線材からなる請求項1乃至6の1つに記載の誘電体バリヤ放電ランプ。
- 剛毛線の直径が0.005mm〜0.5mm、好ましくは0.02mm〜0.2mmである請求項7記載の誘電体バリヤ放電ランプ。
- 分解状態のときブラシ状電極の隣接する剛毛線の相互の平均間隔が0.01mm〜1mm、好ましくは0.05mm〜0.2mmである請求項7記載の誘電体バリヤ放電ランプ。
- 支持要素が少なくとも2つの互いに撚られた撚り線からなる請求項1乃至9の1つに記載の誘電体バリヤ放電ランプ。
- 各撚り線の直径が0.2mm〜2mmである請求項10記載の誘電体バリヤ放電ランプ。
- 少なくとも1つの他の電極(5)が外管(2)の外面に配置されている請求項1乃至11の1つに記載の誘電体バリヤ放電ランプ。
- 少なくとも1つの他の電極(5)が網状、または条帯状もしくは線状である請求項12記載の誘電体バリヤ放電ランプ。
- 他の電極として機能する金属ブロック内に少なくとも部分的に埋め込まれている請求項1乃至11の1つに記載の誘電体バリヤ放電ランプ。
- 放電管が曲げられている請求項1乃至14の1つに記載の誘電体バリヤ放電ランプ。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102005006656.9 | 2005-02-14 | ||
DE102005006656A DE102005006656A1 (de) | 2005-02-14 | 2005-02-14 | Dielektrische Barriere-Entladungslampe in Doppelrohrkonfiguration |
PCT/DE2006/000181 WO2006086942A2 (de) | 2005-02-14 | 2006-02-06 | Dielektrische barriere-entladungslampe in doppelrohrkonfiguration |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008537842A true JP2008537842A (ja) | 2008-09-25 |
JP4833285B2 JP4833285B2 (ja) | 2011-12-07 |
Family
ID=36693047
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008520701A Expired - Fee Related JP4833285B2 (ja) | 2005-02-14 | 2006-02-06 | 二重管構造の誘電体バリヤ放電ランプ |
Country Status (9)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20080197775A1 (ja) |
EP (1) | EP1849178B1 (ja) |
JP (1) | JP4833285B2 (ja) |
KR (1) | KR101216450B1 (ja) |
CN (1) | CN101120432A (ja) |
CA (1) | CA2597559A1 (ja) |
DE (1) | DE102005006656A1 (ja) |
TW (1) | TW200644038A (ja) |
WO (1) | WO2006086942A2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011505061A (ja) * | 2007-11-28 | 2011-02-17 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ | 誘電バリア放電ランプ |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8022377B2 (en) * | 2008-04-22 | 2011-09-20 | Applied Materials, Inc. | Method and apparatus for excimer curing |
NL1036561C2 (nl) * | 2009-02-11 | 2010-08-12 | Stichting Wetsus Ct Excellence Sustainable Water Technology | Werkwijze en inrichting voor het behandelen en / of karakteriseren van een fluidum. |
JP5223772B2 (ja) * | 2009-05-11 | 2013-06-26 | ウシオ電機株式会社 | 希ガス放電ランプ |
DE102009036297B3 (de) * | 2009-08-06 | 2011-01-13 | Heraeus Noblelight Gmbh | Excimerlampe |
TWI569301B (zh) | 2010-06-04 | 2017-02-01 | 通路實業集團國際公司 | 感應耦合介電質屏障放電燈 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE59105798D1 (de) * | 1991-04-15 | 1995-07-27 | Heraeus Noblelight Gmbh | Bestrahlungseinrichtung. |
DE19613502C2 (de) * | 1996-04-04 | 1998-07-09 | Heraeus Noblelight Gmbh | Langlebiger Excimerstrahler und Verfahren zu seiner Herstellung |
JP3520708B2 (ja) * | 1997-02-25 | 2004-04-19 | ウシオ電機株式会社 | 誘電体バリア放電ランプ |
DE19741668C2 (de) * | 1997-09-22 | 2003-04-17 | Heraeus Noblelight Gmbh | Entladungslampe für Oberflächen-Gleitentladung |
DE19856428C1 (de) * | 1998-12-08 | 2000-05-04 | Heraeus Noblelight Gmbh | Entladungslampe |
JP3506055B2 (ja) | 1999-07-28 | 2004-03-15 | ウシオ電機株式会社 | 誘電体バリア放電ランプ、およびその光照射装置 |
JP3385259B2 (ja) | 2000-03-15 | 2003-03-10 | 株式会社エム・ディ・コム | 誘電体バリヤ放電ランプ及びそれを利用したドライ洗浄装置 |
AU2003266866A1 (en) * | 2002-09-19 | 2004-04-08 | Vlaamse Instelling Voor Technologisch Onderzoek (Vito) | Method and apparatus for generating and maintaining a plasma |
-
2005
- 2005-02-14 DE DE102005006656A patent/DE102005006656A1/de not_active Withdrawn
-
2006
- 2006-02-06 CA CA002597559A patent/CA2597559A1/en not_active Abandoned
- 2006-02-06 WO PCT/DE2006/000181 patent/WO2006086942A2/de active Application Filing
- 2006-02-06 CN CNA2006800048004A patent/CN101120432A/zh active Pending
- 2006-02-06 EP EP06705909.7A patent/EP1849178B1/de not_active Not-in-force
- 2006-02-06 US US11/884,264 patent/US20080197775A1/en not_active Abandoned
- 2006-02-06 KR KR1020077020968A patent/KR101216450B1/ko active IP Right Grant
- 2006-02-06 JP JP2008520701A patent/JP4833285B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2006-02-13 TW TW095104721A patent/TW200644038A/zh unknown
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011505061A (ja) * | 2007-11-28 | 2011-02-17 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ | 誘電バリア放電ランプ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CA2597559A1 (en) | 2006-08-24 |
CN101120432A (zh) | 2008-02-06 |
EP1849178A2 (de) | 2007-10-31 |
EP1849178B1 (de) | 2017-07-26 |
US20080197775A1 (en) | 2008-08-21 |
KR20070103496A (ko) | 2007-10-23 |
KR101216450B1 (ko) | 2013-01-09 |
WO2006086942A3 (de) | 2007-09-20 |
JP4833285B2 (ja) | 2011-12-07 |
TW200644038A (en) | 2006-12-16 |
DE102005006656A1 (de) | 2006-08-17 |
WO2006086942A2 (de) | 2006-08-24 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110222 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110513 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110531 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110805 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110823 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110921 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140930 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
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|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |