JP2008532470A - 電磁アクチュエータ - Google Patents
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- 230000004907 flux Effects 0.000 claims abstract description 16
- 230000008859 change Effects 0.000 claims abstract description 5
- 230000006835 compression Effects 0.000 claims description 19
- 238000007906 compression Methods 0.000 claims description 19
- 230000009471 action Effects 0.000 claims description 14
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 13
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 12
- 230000036316 preload Effects 0.000 claims description 10
- 230000000452 restraining effect Effects 0.000 claims description 6
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 3
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 8
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 8
- 241000238631 Hexapoda Species 0.000 description 3
- 229910001329 Terfenol-D Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
- 229910000976 Electrical steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 241000258937 Hemiptera Species 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000004323 axial length Effects 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
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-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
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- H02N2/021—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors using intermittent driving, e.g. step motors, piezoleg motors
- H02N2/023—Inchworm motors
-
- H—ELECTRICITY
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- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N35/00—Magnetostrictive devices
Abstract
電磁アクチュエータ(10)は、被駆動部材(20)と、磁歪要素(24、26、28)とを備え、磁歪要素はその内部に選択的に磁束をかけることにより作動または非作動としてその寸法を変化させる。被駆動部材(20)は、適合した要素(24、26、28)が、制御された方法で作動および非作動にされた際に、選択された方向に移動する。
Description
本発明はアクチュエータに関し、さらに詳しくは電磁アクチュエータに関する。
尺取虫型の電磁リニアアクチュエータが知られており、それらに共通する方策はアクチュエータ電機子を、圧電式、電磁式または磁歪式電機子変換機を用い微少なステップで直接移動させることである。この様な変換機はナノメートルの増分で電機子を移動させることができ、またこれら変換機は膨張または収縮する材料の剛性を利用するめ、非常に大きな力を発揮することができる。例えば、尺取虫型電磁リニアアクチュエータは米国特許第5,027,027号(Orbachら)、米国特許第3,902,085号(Bizzigotti)および米国特許第3,902,084号(May,Jr.)に開示されている。これ等の先行技術文献に開示されたアクチュエータの性能効率は、それらの構造の制約のため限界がある。
しかしながら、電磁アクチュエータ分野には改良の余地がある。
本発明の目的は電磁アクチュエータを提供することにある。
本発明の一つの態様によれば、第1部材と、第1部材に対して移動可能な第2部材と、を備えた電磁アクチュエータが提供される。第2部材は、磁歪材料製の第1端部要素、中央要素および第2端部要素を含み、これらの要素は、中央要素が第1端部要素と第2端部要素の間に位置するように互いに直列に配置されている。第2部材は、第1端部要素および第2端部要素と第1部材との係合を強制する係合強制手段と、第1端部要素および第2端部要素のそれぞれにそれらと第1部材との強制的係合を選択的、協働的に解放させ、一方、中央要素を長手方向に制御可能に膨張、収縮させ、これにより、第1部材の第2部材に対する移動を引き起こすように、制御された方法で、第1端部要素、中央要素および第2端部要素を選択的に磁歪作動させる磁歪作動手段と、をさらに含む。
本発明のもう一つの態様によれば、第1部材と、第1部材に対して移動可能な第2部材と、を備えた電磁アクチュエータが提供される。第2部材は、互いに直列に配置された磁歪材料製の第1端部要素、中央要素および第2端部要素であって、それらを貫通する第1部材を受け入れる通路を少なくとも部分的に画成する第1端部要素、中央要素および第2端部要素を含む。中央要素は、その磁歪作動が第1端部要素と第2端部要素の間の距離を変化させるように、第1端部要素と第2端部要素の間に配置される。第1端部要素および第2端部要素は、それらの半径方向の膨張を拘束するそれぞれの拘束部材をそれらの周囲に有している。第1端部要素および第2端部要素は、第1部材に対する締付け動作を作動させるように予荷重を与えられ、この締付け動作は、第1端部要素および第2端部要素の磁歪作動により解放可能である。第2部材は、第1端部要素、中央要素および第2端部要素を制御順序に従って制御可能に磁歪作動させるように適合された作動装置をさらに含む。
本発明のさらにもう一つの態様によれば、第1部材と第2部材の間で移動を行う方法において、第2部材が磁歪材料製の第1端部要素、中央要素および第2端部要素を含み、これらは中央要素が第1端部要素と第2端部要素の間に位置するように互いに直列に配置されており、この方法は、(a)第1および第2端部要素が第1部材と係合するように、第1および第2端部要素の所定の表面を拘束しつつこれらの要素を通じて予荷重圧縮力をかけるステップと、(b)第1および第2端部要素と第1部材との非係合、係合を交互に行うように、第1および第2端部要素それぞれの内部に磁束を間欠的に発生させるステップと、(c)中央要素が、圧縮力に逆らって膨張しその後圧縮力下で収縮することにより、第1および第2端部要素の一方が他方に対して往復移動するように、中央要素内に磁束を間欠的に発生させるステップと、(d)第1および第2端部要素の上記一方が、第1部材に係合し、中央要素が膨張した際には磁歪力によって一つの方向に、また中央要素が収縮した際には予荷重圧縮力によって反対の方向に、第1部材と共に他に対して移動するように、ステップ(b)およびステップ(c)のタイミングを制御するステップと、を含む。
本発明の電磁アクチュエータは、動作制御の容易さに加え、非常に高い力の容量を有する点に利点がある。本装置の実施形態におけるリニアアクチュエータのストローク長は、被駆動部材の長さによってのみ制約される。
本発明の他の特徴および利点は、以下に示す発明の記述を参照することにより、より良く理解されるであろう。
以下、添付図面を参照する。
図1を参照すると、本発明の一実施例による電磁リニアアクチュエータは、全体が参照符号10で示されており、基本構造を含み、この基本構造は好ましくは、2つの対向する端壁16、18間で軸方向に伸びる円筒壁14を有するハウジング12である。対向する端壁16、18のそれぞれは、細長い被駆動部材を受け入れる中央開口部(表示せず)をその中に画成し、この細長い被駆動部材は好ましくは、その内部を貫通する非磁性の鋼製ロッド20であり、このロッド20がハウジング14に対しいずれの方向にも軸方向に移動可能となっている。ロッド20は必ずしも剛体の鋼製ロッドである必要はなく、可撓性でかつ非伸縮性のケーブルの一部分でも、他の種類のものでも構わないが、この点については以下に詳述する。
駆動アッセンブリ22はハウジング12内部に動作可能に支持されており、磁歪材料製の中央要素、第1および第2端部要素、好ましくは中央中空円筒24、第1および第2端部中空円筒26、28を含む。磁歪材料は、非常に大きな磁歪変形を有する化合物Terfenol−Dであることが好ましい。プレストレスを受けた条件下において、磁歪材料に磁場をかけると大きな正の磁歪変形、すなわち材料の膨張変形が発生する。
第1端部中空円筒、中央中空円筒および第2端部中空円筒26、24、28は直列に配置されており、各円筒はその内部を貫通するロッド20を受け入れる内部通路(表示せず)を画成する。ワッシャ30、32、34、36が、第1および第2端部中空円筒26、28それぞれの外端、第1端部中空円筒26と中央中空円筒24の間、および中央中空円筒24と第2端部中空円筒の間にそれぞれ設けられる。ワッシャ30、32、34、36は磁束を導く磁束透過性材料、好ましくは電磁鋼でできている。ハウジング12内部には、磁束透過性材料、好ましくは電磁鋼でできた円筒38があり、この円筒38がその中にワッシャ30〜36と中空円筒24〜28を収容している。ワッシャ30〜36は、それらがロッド20に対して軸方向に移動することができる内径と、ワッシャ30〜36が鋼製円筒36と接触を保ちつつ鋼製円筒38に対して軸方向に移動することができる外径を有しており、これにより第1端部中空円筒、中央中空円筒および第2端部中空円筒26、24、28のそれぞれに、閉鎖された磁束導入回路を形成している。
第1および第2端部中空円筒26、28には拘束リング40、42が設けられており、これら拘束リングは第1および第2端部中空円筒26、28の外周にしっかり嵌合して、これら中空円筒の半径方向の膨張を拘束している。拘束リング40、42は非磁性金属、好ましくはチタンで作られている。
第1および第2励磁コイル44、46および主伸長コイル48などの電磁回路が、鋼製円筒38の内部で、第1および第2端部円筒26、28および中央中空円筒24の周囲にそれぞれ設けられ、各円筒26、24、28内部に磁束を発生させる。
例えば皿板バネ50などの軸方向圧縮力をかける手段がワッシャ36とハウジング12の端壁18との間に設けられており、駆動アッセンブリ22全体をハウジング12の端壁16の方向に押し付け、これにより各円筒26、24、28を通じて軸方向圧縮力をかけている。この軸方向圧縮力下において、中央中空円筒24は内側および外側の両方向に向かって半径方向に膨張する。中央中空円筒24の内部通路は、軸方向圧縮力によって生じる半径方向に膨張する条件下において、中央中空円筒24がロッド20対して軸方向に移動可能な特徴を維持するような直径を有している。第1および第2端部中空円筒26、28に軸方向圧縮力がかかった際、それらの半径方向外側に向う膨張は拘束リング40、42によってそれぞれ抑えられ、第1および第2端部中空円筒26、28が半径方向内側にのみ膨張するため、それらの内部通路の直径が減少する。第1および第2端部中空円筒26、28それぞれの内部通路は、バネ50によって軸方向圧縮力がかけられた際、ロッド20と第1および第2端部中空円筒26、28それぞれとの間に締付け動作が起こるよう適宜大きさが決められており、これにより、ロッド20と第1および第2端部中空円筒26、28それぞれとの間における軸方向の相対的な移動が妨げられている。各コイル44、46に電流が流れると、各中空円筒26、28のTerfenol−D内に磁束が形成され、それらはバネ50によってかけられた軸方向圧縮力に逆らい強制的に軸方向に膨張する。これに伴い各中空円筒26、28の直径の変化も起こり、それにより第1および第2端部中空円筒26、28それぞれの間の締付け動作が解放され、ロッド20と第1および第2端部中空円筒26、28それぞれとの間における軸方向の相対的な移動が可能になる。
バネ50によってかけられた軸方向圧縮力下において、第1端部中空円筒26はハウジング12の端壁16により拘束されており、一方、第2端部中空円筒28の第1端部中空円筒26およびハウジング12に対する軸方向の位置は可変である旨、留意されるべきである。第1および第2端部中空円筒26、28間の距離は、中央中空円筒24の軸方向の寸法によって決められる。従って、主伸長コイル48を付勢、消勢することにより、中央中空円筒24を作動、非作動にすると、中央中空円筒24はそれぞれ軸方向に膨張、収縮を起こし、第2端部中空円筒28を往復移動させる。第1および第2端部中空円筒26、28のいずれがロッド20に対する締付け動作を解放するよう作動するかによって、第2端部中空円筒28はロッド20を伴って、または伴わずに、移動する。第1および第2励磁コイル44、46それぞれおよび主伸長コイル48の付勢、消勢のタイミングを適宜調節することで、ロッド20のハウジング12に対する両方向への尺取虫型移動を達成することができる。コイル44、46、48それぞれの付勢、消勢のタイミングの適宜調節は、各コイル44、46、48に導入される交流電流の周波数および位相を調整する制御装置52によって行われる。
図2A〜図2Cを参照すると、電磁リニアアクチュエータ10の動作順序が一例として示される。動作の第1ステップは、第1端部中空円筒26と中央中空円筒24の非作動状態を保ちつつ、第2端部中空円筒28とロッド20の間の締付け動作を解放するように、この円筒を作動させることである。従って、第1端部中空円筒26はロッド20を締付けており、中央中空円筒24は矢印54で示される軸方向圧縮力下における軸方向寸法を保っている。この際、第2端部中空円筒28は軸方向圧縮力54によって中央中空円筒24の方向に押し付けられ、図2Aの線56に示す第1の位置(始点)に維持される。次のステップで、中央中空円筒24が作動し軸方向に膨張する。中央円筒24は第2端部中空円筒28の方向にのみ膨張し、これを軸方向圧縮力54に逆らって線58で示す第2の位置に移動させるが、これは、中央中空円筒24のもう一方の端部において、ハウジングの端壁16に接する第1端部中空円筒26により中央中空円筒24の軸方向への膨張が拘束されているためである。第2端部中空円筒28が第1の位置56から第2の位置58へ軸方向に移動する間、ロッド20は移動する第2端部中空円筒28によってではなく、静止した第1端部中空円筒26によって締付けられており、このためロッド20は静止したままである。第2端部中空円筒28が第2の位置58に到達すると、第2端部中空円筒28は非作動となり、これによって図2Bに示すようにロッド20を締付ける。
第1端部円筒26のロッド20に対する締付け動作を解放するように第1端部円筒26が作動されると、中央円筒が非作動にされ、その軸方向寸法が図2Aに示された長さに収縮する。このように軸方向圧縮力54は第2端部中空円筒28を図2Cに示される第1の位置56に押し戻す。第2端部中空円筒28が第2の位置58から第1の位置56へ軸方向に移動する間、ロッド20と移動中の第2端部中空円筒28の間の締付け動作のため、ロッド20は第2端部中空円筒28と共に、図2Cの矢印60で示される左方向に移動する。その結果、被駆動部材としてのロッド20は60で示される方向への尺取虫動作の第1ステップを完了する。
ロッド20を締付けるように第1端部中空円筒26が非作動にされ、その後、図2Aに示すように第2端部中空円筒28が作動され、そのロッド20に対する締付け動作を解放する。以降、矢印60で示される方向へ尺取虫型動作によりロッド20が連続的に移動するように制御された方法で、上記のステップが繰り返される。
この動作モードにおいて、ロッドは図1のバネ50によってかけられる軸方向圧縮力54によって移動される旨、留意されるべきである。適用される皿板バネ50は、ロッド20によってもたらされる軸方向荷重に打ち勝つように、最大数千PSIにおよぶ強力な圧縮力を及ぼす。
図3A〜図3Cを参照すると、電磁リニアアクチュエータ10のもう一つの動作モードにおける動作順序が示される。図3A〜図3Cの動作ステップは、図2A〜図2Cに示す動作ステップと同様で、第1端部、中央および第2端部中空円筒26、24、28それぞれを選択的に作動および非作動にすることで、中央中空円筒24が、それにかけられた軸方向圧縮力54と協働して第2端部中空円筒を往復移動させ、その一方、第1および第2円筒26、28それぞれは、ロッド20が第2端部中空円筒28と共に選択された方向に移動するように協働する。
しかしながら図2A〜図2Cに示す動作ステップとは対照的に、中央中空円筒24を作動してこれを軸方向に膨張させる前に、第1端部円筒26のロッド20に対する締付け動作を解放するように第1端部円筒26が作動し、その間、第2端部中空円筒28はその非作動状態を保ちつつロッド20を締付けたままでいる。この締付け状態は、作動された中央中空円筒24の膨張によって第2端部中空円筒28が押された際、第2端部中空円筒28と共に第2端部中空円筒28の第1の位置56から第2の位置58へのロッド20の移動を引き起こす。ロッド20のこのような尺取虫動作の方向を図3B中の矢印62で示すが、この方向は図2Cのロッド20の尺取虫動作方向と反対である。非作動となった中央円筒24が収縮し、第2端部中空円筒28が軸方向圧縮力54によって第2の位置58から第1の位置56に押し戻される際、静止した第1端部中空円筒26は非作動となりロッド20を締付け、移動する第2端部中空円筒28が第2端部中空円筒28のロッド20に対する締付け動作を解放するように作動され、このことによってロッド20のリニアアクチュエータ10に対する位置が固定されて、ロッド20は軸方向圧縮力54による第2端部中空円筒と共に戻ることができなくなる。図3A〜図3Cの動作ステップが、被駆動部材としてのロッド20を62の方向へ連続的な尺取虫動作で駆動するように繰り返される。この動作モードにおいてロッド20は、軸方向圧縮力54に逆らった中央中空円筒24の磁歪力によって移動される。
ハウジング12に代わってロッド20が静止構造物に固定されている場合、アクチュエータ10の動作においてハウジング12がロッド20に沿ったいずれの方向にも移動するようにできる旨、留意されるべきである。
十分な電流が供給されると、磁歪力は、軸方向圧縮力54の予荷重と、ロッド20によって軸方向に負荷される荷重とを克服するように、最大8000PSIにまで到達することができる。第1および第2端部中空円筒26、28のそれぞれもまた、同様な締付け力を達成することができる。本リニアアクチュエータ10のストローク長はロッド20の長さによってのみ制限される。それでもなお、ロッド20の尺取虫動作の各歩みは、中央円筒24の軸方向における寸法変化によって決められる。ロッド20の尺取虫動作をより効果的にするためには、中央円筒24の軸方向寸法を、第1および第2端部中空円筒26、28それぞれの軸方向寸法より大幅に大きくすることが好ましい。この点は、その軸方向長さの半分のみが動作中のいずれかの方向への軸方向寸法変化に寄与するように、中央円筒がその中心部で静止構造に固定され、アクチュエータの性能を制限する従来技術に比べ有利な点である。また本発明の電磁リニアアクチュエータ10は、第1端部中空円筒、中央中空円筒および第2端部中空円筒それぞれを毎秒数千回にわたり作動・非作動させることができるため、ハウジングに対してロッドを非常に細やか、かつ迅速に移動させることもできる。
上記の実施例において鋼製ロッドとして記述された被駆動部材は、鋼製ケーブルなど、可撓性でかつ非伸縮性のいずれの部材にも置き換えることができる旨、留意されるべきである。例えば、被駆動部材は巻上げ機のケーブルであっても良い。さらに別の代替的構成として、必要に応じ、被駆動部材を湾曲あるいは一様な円形にすることもできる。さらに、半径方向内側への絞り動作によって被駆動部材を把持することに制約されるのではなく、代わりに半径方向外側に膨張(好ましくは半径方向内側への移動を拘束)するようにアクチュエータを構成し、外側に位置する被駆動部材と外側方向に係合、そしてこれを把持することも可能である。すなわち、上述した棒状の被駆動部材の代わりに、中空のドラム状被駆動部材が膨張可能な磁歪要素を取り囲むように構成することができることを、当業者は理解するであろう。このような構造において、磁歪要素の把持動作は圧縮力ではなく、むしろ磁束によって作動する。したがって、圧縮力をかける手段および膨張拘束装置は不要となり、これに応じ動作ステップも変化する。
被駆動部材が静止構造物に取付けられている場合、磁歪要素を含む駆動部材を被駆動部材とすることができ、本発明の用途がさらに広範囲に広がることもまた留意されるべきである。
本発明の原理から逸脱することなく、本発明の上述した実施例にさらに改良を加えることは当業者にとって明白である。したがってこれまでの記述は例示を意図し、限定を意図したものではない。本発明はもっぱら添付の特許請求の範囲によってのみ限定されることを意図する。
Claims (20)
- 第1部材と、
前記第1部材に対して移動可能な第2部材と、
を備えた電磁アクチュエータであって、
前記第2部材は、磁歪材料製の第1端部要素、中央要素および第2端部要素を含み、
前記要素は、前記中央要素が前記第1端部要素と第2端部要素の間に位置するように互いに直列に配置され、
前記第2部材は、
前記第1端部要素および第2端部要素と前記第1部材との係合を強制する係合強制手段と、
前記第1端部要素および第2端部要素のそれぞれにそれらと前記第1部材との強制的係合を選択的、協働的に解放させ、一方、前記中央要素を長手方向に制御可能に膨張、収縮させ、これにより、前記第1部材の前記第2部材に対する移動を引き起こすように、制御された方法で、前記第1端部要素、中央要素および第2端部要素を選択的に磁歪作動させる磁歪作動手段と、
をさらに含むことを特徴とする、電磁アクチュエータ。 - 前記磁歪作動手段が、前記第1端部要素、中央要素および第2端部要素のそれぞれに付随し、前記要素を制御順序に従って磁歪作動させるために磁束を選択的に発生させる電気コイルを備え、これにより前記第2端部要素の位置が、前記中央要素の長手方向における磁歪による寸法変化によって実質的に決定されることを特徴とする請求項1記載の電磁アクチュエータ。
- 前記第1および第2端部要素と前記第1部材との係合強制手段が、前記3つの要素を通じて長手方向に圧縮力をかけるように適合された予荷重装置と、前記第1および第2端部要素のそれぞれに付随する拘束装置とを備え、これにより前記第1および第2端部要素それぞれの前記第1部材に向かう膨張を発生させ、前記第1および第2端部要素のそれぞれと前記第1部材との係合を引き起こすことを特徴とする請求項1記載の電磁アクチュエータ。
- 前記第1および第2端部要素それぞれの内部に磁束が発生した際に、前記第1および第2端部要素のそれぞれが、それらと第1部材との強制的係合を解放することを特徴とする請求項2記載の電磁アクチュエータ。
- 前記第1部材が終端の無い円の一部から構成され、これにより前記第2部材に対する前記第1部材の連続的な尺取虫式移動を達成することを特徴とする請求項1記載の電磁アクチュエータ。
- 第1部材と、
前記第1部材に対して移動可能な第2部材と、
を備えた電磁アクチュエータであって、
前記第2部材は、互いに直列に配置された磁歪材料製の第1端部要素、中央要素および第2端部要素であって、それらを貫通する前記第1部材を受け入れる通路を少なくとも部分的に画成する第1端部要素、中央要素および第2端部要素を含み、
前記中央要素は、その磁歪作動が前記第1端部要素と第2端部要素の間の距離を変化させるように、前記第1端部要素と第2端部要素の間に配置され、
前記第1端部要素および第2端部要素は、それらの半径方向の膨張を拘束するそれぞれの拘束部材をそれらの周囲に有し、
前記第1端部要素および第2端部要素は、前記第1部材に対する締付け動作を作動させるように圧縮力により予荷重を与えられ、
前記締付け動作は、前記第1端部要素および第2端部要素の磁歪作動により解放可能であり、
前記第2部材は、前記第1端部要素、中央要素および第2端部要素を制御順序に従って制御可能に磁歪作動させるように適合された作動装置をさらに含むことを特徴とする、電磁アクチュエータ。 - 前記第1端部要素、中央要素および第2端部要素が、磁歪性の第1端部中空円筒、中央中空円筒および第2端部中空円筒であって、それらを軸方向に貫通するように前記通路を画成する第1端部中空円筒、中央中空円筒および第2端部中空円筒から構成され、前記中央中空円筒が、前記圧縮力下において軸方向に移動可能となるように前記第1部材の外寸よりも大きな内寸を有することを特徴とする請求項6記載の電磁アクチュエータ。
- 前記拘束部材が、前記第1および第2中空円筒それぞれの外周にしっかり嵌合した一対の非磁性金属製拘束リングで構成されることを特徴とする請求項7記載の電磁アクチュエータ。
- 前記第1部材が剛体で湾曲していることを特徴とする請求項6記載の電磁アクチュエータ。
- 前記第1部材が可撓性でかつ非伸縮性のケーブルから構成されることを特徴とする請求項6記載の電磁アクチュエータ。
- 前記第2部材が、前記中央要素、第1および第2端部要素を動作可能に支持する基本支持構造を備え、前記第1端部要素が前記基本支持構造に対して実質的に静止していることを特徴とする請求項6記載の電磁アクチュエータ。
- 前記第2部材が、前記3つの中空円筒を収容し前記第1部材が貫通できるような端部開口部を有するハウジングを備えることを特徴とする請求項7記載の電磁アクチュエータ。
- 前記作動装置が、前記ハウジング内部で前記中空円筒それぞれの周囲にあり、前記円筒それぞれの内部に選択的に磁束を発生させる電気コイルから構成されていることを特徴とする請求項12記載の電磁アクチュエータ。
- 前記第2部材が、磁束を導入するように、前記第1および第2端部中空円筒の外端と、前記中央中空円筒と前記第1および第2端部中空円筒のそれぞれとの間と、に電磁性金属ワッシャを備えることを特徴とする請求項13記載の電磁アクチュエータ。
- 前記第2部材が、前記ハウジングの内部でその一方の端部に位置し、前記予荷重を引き起こすバネを備え、前記第2端部中空円筒および前記中央中空円筒を通じて前記圧縮力をかけ、前記第1端部中空円筒をハウジングの他方の端部に押し付け、これにより前記第1および第2端部中空円筒を軸方向に圧縮して前記締付け動作を起こすことを特徴とする請求項12記載の電磁アクチュエータ。
- 第1部材と第2部材の間で移動を行う方法において、前記第2部材が磁歪材料製の第1端部要素、中央要素および第2端部要素を含み、これらは前記中央要素が第1端部要素と第2端部要素の間に位置するように互いに直列に配置されており、前記方法が、
(a)前記第1および第2端部要素が前記第1部材と係合するように、前記第1および第2端部要素の所定の表面を拘束しつつ前記要素を通じて予荷重圧縮力をかけるステップと、
(b)前記第1および第2端部要素と前記第1部材との非係合とその後の再係合を交互に行うように、前記第1および第2端部要素それぞれの内部に磁束を間欠的に発生させるステップと、
(c)前記中央要素が、前記圧縮力に逆らって膨張しその後前記圧縮力下で収縮することにより、前記第1および第2端部要素の一方が他方に対して往復移動するように、前記中央要素内に磁束を間欠的に発生させるステップと、
(d)前記第1および第2端部要素の前記一方が、前記第1部材に係合し、前記中央要素が膨張した際には磁歪力によって一つの方向に、また前記中央要素が収縮した際には前記予荷重圧縮力によって反対の方向に、第1部材と共に他方に対して移動するように、ステップ(b)およびステップ(c)のタイミングを制御するステップと、
を含むことを特徴とする、第1および第2部材間の移動方法。 - 前記第2部材を被駆動部材として使用するために、前記第1部材を静止構造物に取り付けるステップを含むことを特徴とする請求項16記載の方法。
- 前記第1部材を被駆動部材として使用するために、前記第2部材を静止構造物に取り付けるステップを含むことを特徴とする請求項16記載の方法。
- 前記ステップ(d)が、
(1)前記第1端部要素と前記第1部材との係合を維持しつつ、前記第2端部要素を前記第1部材から非係合にするステップと、
(2)前記第2端部要素が、前記第2端部要素の第1の位置から、前記第1端部要素からさらに遠くに離れた前記第2端部要素の第2の位置に移動するように、前記中央要素を前記予荷重圧縮力に逆らって膨張させるステップと、
(3)前記第2端部要素の前記第2の位置において、前記第1端部要素を前記第1部材から非係合としつつ、前記第2端部要素を前記第1部材に再係合するステップと、
(4)前記第2端部要素が、係合した前記第1部材と共に前記予荷重圧縮力下において前記第2の位置から前記第1の位置に移動するように、前記中央要素を収縮させるステップと、
(5)前記第1端部要素を前記第1部材に再係合させるステップと、
(6)前記第1部材が前記第2部材に対して前記第2端部要素から前記第1端部要素に向かう方向に移動するように(1)から(5)のステップを繰り返すステップと、
によって実行されることを特徴とする請求項16記載の方法。 - 前記ステップ(d)が、
(1)前記第2端部要素と前記第1部材との係合を維持しつつ、前記第1端部要素を前記第1部材から非係合にするステップと、
(2)前記第2端部要素が、係合した第1部材と共に、前記第2端部要素の第1の位置から、前記第1端部要素からさらに遠くに離れた前記第2端部要素の第2の位置に移動するように、前記中央要素を前記予荷重圧縮力に逆らって膨張させるステップと、
(3)前記第2端部要素の前記第2の位置において、前記第1端部要素を前記第1部材と再係合しつつ、前記第2端部要素を前記第1部材から非係合にするステップと、
(4)前記第2端部要素が、前記予荷重圧縮力下において前記第2端部要素の前記第2の位置から前記第2端部要素の前記第1の位置に移動するように、前記中央要素を収縮させるステップと、
(5)前記第2端部要素を前記第1部材に再係合させるステップと、
(6)前記第1部材が前記第2部材に対して前記第1端部要素から前記第2端部要素に向かう方向に移動するように(1)から(5)のステップを繰り返すステップと、
によって実行されることを特徴とする請求項16記載の方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US11/070,265 US7227440B2 (en) | 2005-03-03 | 2005-03-03 | Electromagnetic actuator |
PCT/CA2006/000299 WO2006092048A1 (en) | 2005-03-03 | 2006-03-01 | Electromagnetic actuator |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008532470A true JP2008532470A (ja) | 2008-08-14 |
Family
ID=36303461
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007557299A Pending JP2008532470A (ja) | 2005-03-03 | 2006-03-01 | 電磁アクチュエータ |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7227440B2 (ja) |
EP (1) | EP1699093B1 (ja) |
JP (1) | JP2008532470A (ja) |
CA (1) | CA2599839C (ja) |
DE (1) | DE602006016665D1 (ja) |
WO (1) | WO2006092048A1 (ja) |
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2005
- 2005-03-03 US US11/070,265 patent/US7227440B2/en active Active
-
2006
- 2006-03-01 JP JP2007557299A patent/JP2008532470A/ja active Pending
- 2006-03-01 CA CA2599839A patent/CA2599839C/en not_active Expired - Fee Related
- 2006-03-01 WO PCT/CA2006/000299 patent/WO2006092048A1/en active Search and Examination
- 2006-03-02 DE DE602006016665T patent/DE602006016665D1/de active Active
- 2006-03-02 EP EP06251124A patent/EP1699093B1/en active Active
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---|---|
WO2006092048A1 (en) | 2006-09-08 |
CA2599839A1 (en) | 2006-09-08 |
EP1699093A3 (en) | 2007-07-25 |
US20060197167A1 (en) | 2006-09-07 |
US7227440B2 (en) | 2007-06-05 |
CA2599839C (en) | 2012-12-04 |
DE602006016665D1 (de) | 2010-10-21 |
EP1699093A2 (en) | 2006-09-06 |
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