JP2008527375A5 - - Google Patents

Claims (16)

1. 複数の水性流体サンプルを分析する装置であって、
   １つ以上のサンプル注入口を備える複数のエッチングされた毛細管空間を含む１つ以上の赤外線透過性領域を有するサンプルホルダと、
   広帯域幅の赤外線の光源と、
   複数のサンプルからの光を同時に検出する赤外線検出器と、
   前記広帯域幅の赤外線の変調器と、
   検出された複数の光信号を比較する格納プログラムを備えるコンピュータと
   を含む装置。
2. 前記赤外線の放射を５ミクロンから１６．５ミクロンの対象帯域幅に制限するスペクトルフィルタをさらに含む、請求項１に記載の装置。
3. 前記１つ以上の赤外線透過性領域は、リソグラフィによって微小加工されたシリコンである、請求項１に記載の装置。
4. １つの赤外線透過性領域は、その縁部分まわりで保持される、請求項３に記載の装置。
5. 深堀反応性イオンエッチングによってウエハ上に深堀凹部が形成される、請求項３に記載の装置。
6. 前記赤外線と前記サンプルとの相互作用前に前記赤外線を変調するマイケルソン干渉計を含む、請求項１に記載の装置。
7. 前記検出器は焦点面アレイである、請求項１に記載の装置。
8. 前記サンプルホルダのための調整可能な温度制御をさらに含む、請求項１から７のいずれか１項に記載の装置。
9. 前記サンプルホルダは識別マークを備えるウエハである、請求項１に記載の装置。
10. 水性溶液中の１つのサンプルの赤外線吸収スペクトルと水性溶液のみの赤外線吸収スペクトルとの比較を得る格納プログラムをさらに含み、両方の吸収スペクトルが同時に得られる、請求項１から９のいずれか１項に記載の装置。
11. 前記１つ以上の赤外線透過性領域は、伝導帯と価電子帯とを切り離すゼロではないエネルギーギャップを備える材料から作られる半導体基板を含む、請求項１に記載の装置。
12. 複数の水性流体サンプルを分析する方法であって、
    ホルダ内の、赤外線透過性のエッチングされた毛細管空間にサンプル注入口を介して水性流体中の生物学的サンプルを加えることと、
    前記ホルダ内の、他の赤外線透過性のエッチングされた毛細管空間に他のサンプル注入口を介して水性流体を加えることと、
    両方のエッチングされた毛細管空間に５ミクロンから１６．５ミクロンの範囲内の波長の赤外線を同時に照射して、前記２つのサンプルから広範囲吸収スペクトルを得ることと、
    前記２つのサンプル間の比較信号を得て前記生物学的サンプルの吸収に対する水の影響を除去することと
    を含む方法。
13. 赤外線の放射を５ミクロンから１６．５ミクロンの対象帯域幅に制限するスペクトルフィルタが使用される、請求項１２に記載の方法。
14. 温度を調整して異なる温度での測定を繰り返すことをさらに含む、請求項１２に記載の方法。
15. 前記赤外線の放射と前記サンプルとの相互作用前に前記赤外線の放射を変調するマイケルソン干渉計が使用される、請求項１２に記載の方法。
16. 前記ホルダ内の前記エッチングされた毛細管空間はシリコンウエハ内の全面に画定される、請求項１２に記載の方法。