JP2008517411A - 多次元光スキャナ - Google Patents

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Abstract

本発明は、光記憶媒体(1)上の複数のトラックに読み書きする光スキャン装置に関する。該スキャン装置は、前記媒体で反射された後に前記複数のビームを観測平面(22)にフォーカスし、前記反射ビームの少なくとも1つに非点収差を導入する光学手段(17)と、複数のディテクタセグメントを有し、前記観測平面(22)内に配置され前記非点収差を有する少なくとも1つの反射ビームを受けるフォトディテクタ(18)とを有する。本スキャン装置は、さらに、前記ディテクタセグメントにより発生された信号を結合することによりフォーカスエラー信号(FES)を発生する手段(19)と、すべてのディテクタセグメントからの信号を加算して中心開口信号を発生する手段(19)と、前記中心開口信号が所定閾値を越えるときを判断して、前記フォーカスエラー信号の有用範囲を示し、前記中心開口信号が所定閾値を越えたとき、前記対物レンズ(15)のフォーカスを前記フォーカスエラー信号に基づいて調節する手段(19、21)とを有する。この設計では、CA信号により、トラッキングを、フォーカスエラー信号に基づいてできる範囲においてのみフォーカスエラー信号に基づいて行い、十分な閉ループトラッキングを保証する。

Description

本発明は、批点収差フォーカス法を用いたフォーカストラッキング分岐を有する、多次元光記憶媒体のための光スキャナに関する。本発明は、かかるスキャナで使用する方法にも関する。
従来、光記憶は1次元で行われている。すなわち、連続するビットのトラックがディスク(例えば、CD、DVD等)に書き込まれる。近年、2次元光記憶の考え方が導入された。2次元ディスクのフォーマットは、いくつかのパラレルなビット列を構成する幅広のらせんに基づく。パラレルな読み出しの実現には単一のレーザビームを用いる。このレーザビームは、回折格子を通過して幅広のらせんの幅全体をスキャンするスポット列を形成する。かかるシステムの詳細は、非特許文献1に記載されている。この文献はここで参照援用する。
レーザのフォーカストラッキングのため、例えば列の中央スポットに従来の方法(例えば、フーコー、非点収差、スポットサイズ等)を適用して、フォーカスエラー信号を発生する。しかし、スポット間の分離が小さい(マイクロメータのオーダー)ので、フォーカスがはずれるとスポットがすぐにオーバーラップ(overlap)してしまう。オーバーラップしている領域では、隣接するスポットからの干渉により強度プロファイル(intensity profile)が大きく歪んでしまい、フォーカス信号が乱される(disturb)。結果として、キャプチャレンジ(capture range)すなわちフォーカスSカーブ長は大幅に短くなる。従来の一次元光学リーダ(例えば、CD−ROMドライブ)のキャプチャレンジが約5−10マイクロメータであるのに対し、2次元リーダのキャプチャレンジは1マイクロメータより小さいことがある。ディスクへの書き込みでも問題が起きる。
本発明が関する非点収差フォーカス法では、反射ビームの少なくとも1つは非点収差レンズを通過し、最小錯乱円(circle of least confusion)と呼ばれるスポットの基本的に円形の像を形成する。この面の外では円はより一層楕円形になり、最終的には2つの直交する線になる。1つは最小錯乱円の前であり、もう1つは最小錯乱円の後である。観測平面内のスポットは、検出したスポットの計上に基づき信号を発生し、最小錯乱円からの偏差(deviation)を示すように構成されたクアドラントディテクタ(quadrant detector)により検出される。このフォーカスエラー信号を用いて、対物レンズのフォーカスを調節し、偏差を是正し、それにより検出スポットを最小錯乱円に近づける。しかし、上記の通りスポット間の分離が小さいため、多次元記憶システムでは、伸張したスポットは最小錯乱円の周りの非常に短い範囲を除いて重なり、この小さな領域だけがフォーカスエラーのSカーブとして使える部分となり、システムのキャプチャレンジが非常に限定されてしまう。
特許文献1は、反射ビームを1次と2次のビームに分けるために回折光学要素(DOE)(diffractive optical element)を使用することにより、この問題を解消する方法を開示している。1次と2次のビームは、データディテクタ列と非点収差法を用いるフォーカストラッキングディテクタ列に送られる。非点収差レンズの焦線(focal line)の方向は、フォーカストラッキングアレイのクアドラントディテクタ(quadrant detector)の形状とともに、ディテクタのサイズを超えるスポットサイズとスポット間のオーバーラップを補償し、フォーカスエラー信号の有用なSカーブを長くする。
しかし、特許文献1により複雑な設計を用いても、Sカーブ(s−curve)はビーム間の干渉により歪められる。よって、かかる信号に基づいて十分なフォーカストラッキングを実行することは非常に困難である。
米国特許第6,229,771号公報 Wim M.J. Coene著「2次元光記憶」(OSA Topical Meetings on Optical Data Storage, May 11−14, 2003, Technical Digest, pp 90 − 92)
本発明の一目的は、この問題を解消して、フォーカストラッキングを改良した、特にキャプチャレンジを向上した多次元光スキャンを提供することである。
この目的その他はスキャン装置により達成される。該スキャン装置は、複数の放射ビームを発生する手段と、前記ビームを反射することを目的としている前記媒体に前記ビームを照射する対物レンズと、前記媒体で反射された後に前記複数のビームを観測平面にフォーカスし、前記反射ビームの少なくとも1つに非点収差を導入する光学手段と、複数のディテクタセグメントを有し、前記観測平面内に配置され前記非点収差を有する少なくとも1つの反射ビームを受けるフォトディテクタと、前記ディテクタセグメントにより発生された信号を結合することによりフォーカスエラー信号を発生する手段と、すべてのディテクタセグメントからの信号を加算して中心開口信号を発生する手段と、前記中心開口信号が所定閾値を越えるときを判断して、前記フォーカスエラー信号の有用範囲を示し、前記中心開口信号が所定閾値を越えたとき、前記対物レンズのフォーカスを前記フォーカスエラー信号に基づいて調節する手段とを有する。
この設計では、CA信号により、トラッキングを、フォーカスエラー信号に基づいてできる範囲においてのみフォーカスエラー信号に基づいて行い、十分な閉ループトラッキングを保証する。スポットのフォーカスが所定量だけはずれていることを示す所定の閾値よりCA信号が小さいとき、フォーカスエラー信号は有用なトラッキングを行うには歪みすぎているとみなし、個の信号に基づいてトラッキングをしない。
前記光学手段は、好ましくは、少なくとも最小錯乱円の周りの範囲において有用なフォーカスエラー信号の決定ができるくらい短い距離だけ軸方向に離れた非点収差焦線を与えるように構成される。言い換えると、フォーカスエラー信号は、ビームがほぼフォーカスされているときには、隣接するビームにより基本的に歪められない。中心開口信号を使用してこの歪んでいない範囲を選択することができる。この範囲では、支障なくフォーカスエラー信号に基づきフォーカストラッキングをすることができる。
最も好ましくは、光学手段は、Dを観測平面におけるビーム間の距離、NAを光学手段の開口数とすると、前記距離zが
Figure 2008517411
より小さいように、構成される。かかる距離zでは、伸びたスポットはディテクタセグメントにオーバーラップせず、完全に歪みのないフォーカスエラー信号を発生し、このフォーカスエラー信号に基づいてフォーカストラッキングをすることができる。しかし、焦線間の距離が短い結果として、スポットは非常に早く伸び、歪みのないSカーブのキャプチャレンジは極端に短い。このキャプチャレンジの外では、複数の補助(secondary)Sカーブが形成され、CA信号を使用して「正しい」Sカーブを選択する。
好ましくは、CA信号が所定の閾値より小さいとき、所定のスケジュールに従って、例えば所定の方向に所定の増分ステップで対物レンズを調節する。この調節の効果に基づき、CA信号が再び閾値を越えて、閉ループトラッキングを再開するまで、開ループトラッキング手続においてさらに別の調節をすることができる。
光学手段は円筒形レンズ等の非点収差レンズである。これは、フォーカス効果と非点収差の導入を結合した、簡単で費用効率の高い実施形態である。
フォーカスエラー信号は、好ましくは特徴Sカーブである。この特徴Sカーブは、観測平面においてスポットが基本的に円形(フォーカスしている)ときに0を通り、楕円歪みにより0の各側において最大及び最小になり、像が線に近づくと再び0に近づく。
かかるフォーカスエラー信号は、有利にも、十字で分離された4つの隣接するディテクタクアドラントを有し、導入された前記非点収差による歪みの軸が前記十字の中心を通り、2つの反対に配置されたクアドラントを通って伸びるフォトディテクタを用いて取得される。かかるディテクタはそれ自体知られており、有利にも非点収差歪みの程度を決定するために使用される。このフォーカスエラー信号は、好ましくは、反対に配置されたクアドラント(quadrants)のペア間の正規化された差である。
スキャン装置は、好ましくは、反射ビームを前記光学手段に向けて導く光学誘導手段をさらに有する。スキャン装置のこの分岐は、フォーカストラッキング分岐と呼ばれる。光読み出し情報の検出は、同じ分岐で行っても別の検出分岐で行ってもよい。後者の場合、追加の光学誘導手段により、ビームをこの分岐に導ける。
上記の目的は光スキャン装置を制御する方法によっても達成できる。該方法は、前記媒体から反射された複数のビームを観測平面にフォーカスする段階と、前記反射ビームの少なくとも1つに非点収差を導入する段階と、複数のディテクタセグメントを有するフォトディテクタにおいて前記非点収差を有する少なくとも1つの反射ビームを検出する段階と、前記ディテクタセグメントにより発生された信号を結合することによりフォーカスエラー信号を発生する段階と、すべてのディテクタセグメントからの信号を加算して中心開口信号を発生する段階と、前記中心開口信号が所定閾値を越えるときを判断して、前記中心開口信号が所定閾値を越えたとき、前記対物レンズのフォーカスを前記フォーカスエラー信号に基づいて調節する段階とを有する。
本発明の上記その他の態様を、以下に説明する実施形態を参照して明らかにし、説明する。
添付した図面を参照して実施例により本発明をより詳細に説明する。
光ディスク1上の2次元記憶の原理を図1に示す。情報は、いくつか(この例では5つ)の平行なビット列(bit−rows)3と保護帯(guard band)4とを含む幅広のらせん2に記憶される。図1の例では、ビット列3は半径方向に互いに整列され、ビットの六方格子を形成する。このことは、各ビット5、6が物理的な六角形のビットセル7、8に結びついている(associated with)ことを意味する。一般的に、値が0のビットのビットセル7は、一様に平坦な領域を有し、値が1のビットのビットセル8は六角形の領域の中心に穴9を有する。かかる穴9のサイズは、信号の畳み込みを無くすために、すなわち、0のクラスター及び1のクラスターが完全なミラー(mirror)となるように、好ましくはビットセル領域の半分以下である。
図2は、本発明によるディスク1に読み書きする概略配置を示す図である。この配置は、ビームを発生するレーザ11を含み、そのビームは回折格子12を通過してビーム列13となり、そのビーム列13はコリメータレンズ14と対物レンズ15によりディスクにフォーカスされ、らせん2の幅全体にわたってスポット列を形成する。対物レンズ15は、スポットをフォーカス(focus)した状態に保ち、ディスク上の正しい半径位置にあるようにするため、アクチュエータ21により動かされる。各ビーム13はディスク1により反射・回折され、ビームスプリッタ16により反射されて検出分岐(detection branch)に行く。検出ブランチは、観測平面22、複数分割フォトディテクタ(multi−partitioned photo−detector)18にビームをフォーカスさせるレンズ17を有する。そのフォトディテクタは、いくつかの高周波波形を発生する。この高周波波形はプロセッサ19に供給される。プロセッサ19では、2次元信号処理を用いて反射ビームから情報を取得する。
図示した実施例では、検出ブランチはビームのフォーカストラッキング手段も含む。ここでは、フォーカストラッキング手段は非点収差法を使用する。このために、プロセッサ19は1つ以上のスポットに基づきフォーカストラッキング信号20を供給する。フォーカストラキング信号はアクチュエータ21に供給される。アクチュエータ21は、本システムのフォーカストラッキングを確保するため、対物レンズ15の焦点距離を調節する。フォーカストラッキングは一般的には閉ループシステムであり、この調節の効果として、トラッキング信号の値にすぐに影響する(フィードバック)。
非点収差トラッキングを可能とするため、レンズ17は、ビームに非点収差を導入するように構成されており、例えば円筒形レンズである。あるいは、非点収差は別の光学要素(例えば、他のレンズやホログラム板等)により導入されてもよく、状況(発散ビーム)次第ではビームスプリッタ16により導入されてもよい。
非点収差の効果を図3に示す。図3は、非点収差レンズ17を示している。対物平面24中の点23の像は、最初は断面が円形であるが、軸Aに沿って第1の線25の1次像(primary image)に変形される。この線は最小錯乱円と呼ばれる円形スポット26になり、最終的に、軸Aに直交する軸Bに沿った第2の線27である2次像(secondary image)を形成する。線25、27は焦線(focal line)と呼ぶ。最小錯乱円と1次像及び2次像との間では、像の形状は楕円形であり、その長軸はそれぞれ軸A及びBと整列している。
図4は、非点収差フォーカス法の原理を示す図である。フォトディテクタ17の分割(partition)30の少なくとも1つは4つのクアドラント(quadrants)31a、31b、31c及び31dを有し、2つの好ましくは直交する分割線は十字32を形成する。その十字は、非点収差レンズ17の軸AとBが2つの反対に位置するクアドラントを通って伸びるように、調整される。各クアドラントからの信号は、このクアドラントをあたる入射光量を表し、反対に位置するクアドラント(すなわち、同じ軸AまたはBに沿ったクアドラント)の和をとり、2つの和の差をとることにより結合される。これは、図4では2つの加算器33、34と差動増幅器35により、概略的に示した。もちろん、その代わりに、かかる信号処理をプロセッサ19がアクセスできるRAM28に記憶したソフトウェアにより実行できる。いかなる場合にも、結果はフォーカスエラー信号FESであり、(Sa+Sc)−(Sb+Sd)に等しい。ここで、Sxはクアドラント31xからの信号である。この和は一般的に規格化される。すなわち、FES=(Sa+Sd)−(Sb+Sd)/(Sa+Sb+Sc+Sd)である。別のFESであって同様の特徴を有するが信号エラーに対する安定性がよいFESを、(Sa−Sd)/(Sa+Sd)+(Sc−Sb)/(Sb+Sc)として求めることもできる。
対称なスポット26がディテクタ30にあたると、すべての信号Sxは等しく、フォーカスエラー信号は0である。しかし、スポットのフォーカスがはずれると、スポットは楕円形になり、軸AまたはBの一方に沿ったセグメントがより多くの光を受け、大きな信号を発生するようになる。FESの値は、最大になるまで増加または減少し、楕円が線になるにつれて0に近づく。典型的なフォーカスエラー信号を図5に示し、フォーカスSカーブと呼ぶ。
上述の通り、隣接するスポットは、フォーカスがはずれるとスポットがオーバーラップするので、フォーカスエラー信号を乱す。その状況を図6に示した。ディテクタ30は意図したスポット36bだけでなく、スポット36a、36b、36cによる影響を受ける。その結果、スポットがほぼフォーカスしているSカーブの小さな部分、すなわち0の近くの小さな範囲のみが正確であり使用できる。この小さな範囲はフォーカストラッキングのキャプチャレンジを決定する。
閉トラッキングループが間違って対物レンズの位置を補正しないように、プロセッサは、フォーカスエラー信号FESを対物レンズの位置の補正に有効に使用できる時を判断するように構成されている。このため、第2の信号をディテクタ30から発生し、すべてのクアドラント(quadrants)の和とする。すなわち、CA=Sa+Sb+Sc+Sdである。個の信号は中心開口信号またはCA信号と呼ばれ、スポットがフォーカスしているとき、すべての光がディテクタにあたるので、最大値となる。スポットは、フォーカスからはずれると、大きくなる(光が広がる)。光の一部はディテクタにあたらず、CA信号は弱くなる。プロセッサは、CA信号を所定の閾値と比較して、CA信号がこの閾値より大きい時のみ、フォーカストラッキング信号20がFESに基づくようにするようさらに構成されている。閾値はアプリケーションに応じて決まることに留意すべきである。
CA信号が閾値よりも小さいとき、プロセッサは、対物レンズの位置をFESのSカーブに基づいて効率的に補正できないと判断し、開ループ補正を実現する。例えば、アクチュエータ21が対物レンズ15を所定の方向に所定のステップだけ動かす。CA信号が大きくなると、これは変位が正しい方向に行われたことを意味し、大きくならないと、方向を反対にしなければならない。この動作はCA信号が閾値より大きくなるまで繰り返され、CA信号が閾値より大きくなるとプロセッサ19が閉サーボループを再起動する。
別の実施形態では、ディテクタ30は、最初の4つのクアドラント31a−dを含む、別のディテクタセグメント31eを有する。規格化されたCA信号CAは、4つのクアドラント31a−dからの信号及びすべてのセグメント31a−eからの信号の比として、次のように計算できる:
CA=(Sa+Sb+Sc+Sd)/(Sa+Sb+Sc+Sd+Se)
ここで、再び、Sxはセグメント31xからの信号である。
プロセッサ19は、規格化信号CAが所定の第2の閾値より大きいとき、対物レンズ位置の補正にフォーカスエラー信号を使用すると決定できる。この代替案の利点は、孤立した反射サブビームにより形成されたスポットが、ディテクタ30のクアドラント検出領域をどこまで越えるかを示す点である。それゆえ、強度が十分高いすべてのスポットでは、フォーカスエラー信号を利用できる。
1次像と2次像の間の距離zを十分短くすることにより、観測平面におけるオーバーラップ(overlap)を避けられる。図7aは、2つの隣接するディテクタ30を示す。各々はスポット36の1次(または2次)像、すなわち焦線25または27の一方を受ける。この状況では、スポットの歪みは最大なので、干渉をさけるために、ディテクタの外に延ばしてはいけない。観測平面におけるスポット間の距離がDである場合、歪んだスポット(焦線)の最大許容長さwはディテクタの対角線の長さである、すなわちw=Dsqrt(2)である。図7bは、距離zだけ隔てられた、図3の2つの焦線(focal lines)25と27の間の領域を示す。第2の線27の長さをwとすると、
Figure 2008517411
である。ここで、φはレンズ17の半角である。wをDsqrt(2)で置き換えて、zについて解くと、
Figure 2008517411
となる。レンズは通常その開口数NA=sin(φ)により決まるから、
Figure 2008517411
となり、NAが小さい(φが小さい)場合、
Figure 2008517411
と近似できる。
それゆえ、好ましい実施形態では、非点収差レンズの1次像と2次像の間の距離zは、上記の式よりも短くなる。NA=0.1の非点収差レンズを用い、観測平面22におけるスポット間の距離Dが100μmのオーダーである一般的なシステムでは、距離zは近似的に
Figure 2008517411
であり、すなわちmm以下のオーダーである。
かかる距離zは短すぎてスポットはフォーカスしていない状態にならず、干渉するほど大きくならない。結果として、フォーカスエラー信号はSカーブの範囲全体にわたり歪まずに、全体を使用できる。しかし、同時に、Sカーブは圧縮されるので、キャプチャレンジは改善されない。歪みのないSカーブの外では、別の「偽の」Sカーブが現れ、CA信号は正しいSカーブを選択する必要がある。図8は、CA信号(CAS)、CA信号が閾値(TH)より大きくなった時を示すスイッチ信号(SW)、及びフォーカスエラー信号(FES)の例を示している。この図から明らかなように、スイッチ信号は「有用な」フォーカスエラー信号の期間でスイッチしている。
当業者には明らかなように、本発明は上記の好ましい実施形態に限定されるものではない。というより、添付した請求項の範囲内において、多数の修正と変形が可能である。例えば、中央のビームにトラッキングする方が有利なので、フォトディテクタ17の中央の部分のみをフォーカス信号の発生に使用することが好ましい。しかし、その他の代替案も可能であり、クアドラントディテクタを複数含んでもよい。トラッキングは、検出分岐とは離れた、別のトラッキング分岐で実行することができることに留意すべきである。これは、ビームスプリッタ16の後に第2のビームスプリッタを入れることにより実現できる。しかし、検出分岐及びフォーカス分岐は各々別のフォーカスレンズと検出器を必要とする。これは異なる種類のディテクタが必要な場合に有利である。
クレームにおいて、括弧の間に入れた参照符号はクレームを限定するものと解釈してはならない。用語「有する(comprising)」等は、クレームまたは明細書に列挙した要素またはステップ以外の要素またはステップを排除するものではない。要素を単数形で示しても、かかる要素が複数ある場合を排除するものではなく、またその逆も言える。本発明は、複数の異なる構成要素を有するハードウェア手段によって、または好適にプログラムされたコンピュータによって実施してもよい。複数の手段を挙げる装置クレームにおいて、これらの手段は、1つの同じハードウェアにより実施してもよい。相異なる従属クレームに手段が記載されているからといって、その手段を組み合わせて有利に使用することができないということではない。
光ディスク上の2次元記憶のレイアウトを示す図である。 図1に示したディスクをパラレル読み出しするための、本発明による光学スキャン装置を示す図である。 非点収差の効果を示す図である。 非点収差フォーカス法の原理を示す図である。 典型的なフォーカスエラー信号を示す図である。 隣接スポットからの干渉を示す図である。 2つの歪められたビームを受ける2つの隣接するディテクタを示す図である。 図3を詳細に示す図である。 フォーカスエラー信号と中心開口信号(central aperture signal)の例を示す図である。

Claims (11)

  1. 光記憶媒体上の複数のトラックに読み書きする光スキャン装置であって、
    複数の放射ビームを発生する手段と、
    前記ビームを反射することを目的としている前記媒体に前記ビームを照射する対物レンズと、
    前記媒体で反射された後に前記複数のビームを観測平面にフォーカスし、前記反射ビームの少なくとも1つに非点収差を導入する光学手段と、
    複数のディテクタセグメントを有し、前記観測平面内に配置され前記非点収差を有する少なくとも1つの反射ビームを受けるフォトディテクタと、
    前記ディテクタセグメントにより発生された信号を結合することによりフォーカスエラー信号を発生する手段と、
    すべてのディテクタセグメントからの信号を加算して中心開口信号を発生する手段と、
    前記中心開口信号が所定閾値を越えるときを判断して、前記フォーカスエラー信号の有用範囲を示し、前記中心開口信号が所定閾値を越えたとき、前記対物レンズのフォーカスを前記フォーカスエラー信号に基づいて調節する手段とを有する光スキャン装置。
  2. 前記光学手段は、少なくとも最小錯乱円の周りの範囲において有用なフォーカスエラー信号の決定ができるくらい短い距離だけ軸方向に離れた非点収差焦線を与えるように構成される、請求項1に記載の光スキャン装置。
  3. 前記距離は、Dを観測平面におけるビーム間の距離、NAを光学手段の開口数として、
    Figure 2008517411
    より小さい、請求項2に記載の光スキャン装置。
  4. 前記中心開口信号が前記所定の閾値より小さいとき、前記対物レンズのフォーカスを所定方向に所定量調節する手段をさらに有する、請求項1乃至3いずれか一項に記載の光スキャン装置。
  5. 前記光学手段は円筒形レンズ等の非点収差レンズである、請求項1乃至4いずれか一項に記載の光スキャン装置。
  6. 前記フォーカスエラー信号は、前記非点収差を有する反射ビームが観測平面において基本的に円形な断面を有するときに0を通る、請求項1乃至5いずれか一項に記載の光スキャン装置。
  7. 前記フォトディテクタは、十字で分離された4つの隣接するディテクタクアドラントを有し、導入された前記非点収差による歪みの軸が前記十字の中心を通り、2つの反対に配置されたクアドラントを通って伸びる、請求項1乃至6いずれか一項に記載の光スキャン装置。
  8. 反射ビームを前記光学手段に向けて導く光学誘導手段をさらに有する、請求項1乃至7いずれか一項に記載の光スキャン装置。
  9. 多次元光記憶媒体の光スキャン装置の制御方法であって、
    前記媒体から反射された複数のビームを観測平面にフォーカスする段階と、
    前記反射ビームの少なくとも1つに非点収差を導入する段階と、
    複数のディテクタセグメントを有するフォトディテクタにおいて前記非点収差を有する少なくとも1つの反射ビームを検出する段階と、
    前記ディテクタセグメントにより発生された信号を結合することによりフォーカスエラー信号を発生する段階と、
    すべてのディテクタセグメントからの信号を加算して中心開口信号を発生する段階と、
    前記中心開口信号が所定閾値を越えるときを判断して、前記フォーカスエラー信号の有用範囲を示し、前記中心開口信号が所定閾値を越えたとき、前記対物レンズのフォーカスを前記フォーカスエラー信号に基づいて調節する段階とを有する方法。
  10. 前記フォーカスエラー信号が非点収差焦線の間の範囲において基本的に歪んでいないことを確定的にする段階をさらに有する、請求項9に記載の方法。
  11. 前記中心開口信号が前記所定の閾値より小さいとき、前記対物レンズのフォーカスを所定方向に所定量調節する段階をさらに有する、請求項9または10に記載の方法。
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